JP2000118712A - 浮上搬送装置用の気体噴出構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送板を構成する封止板の変形などを防ぐこ
とができる浮上搬送装置用の気体噴出構造を提供する。 【解決手段】 封止板２が流路形成部分２Ａと封止部分
２Ｂとを備え、流路形成部分２Ａは、上面を加工板１の
下面に取り付けられ、噴出方向に応じてグループ化され
た噴出部（噴出孔１Ａ，１Ｂとその気体室）に対して供
給系からの気体を流すための供給穴をそれぞれ備え、封
止部分２Ｂは、流路形成部分２Ａの下面を覆うようにこ
の流路形成部分２Ａに取り付けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、浮上搬送装置用の
気体噴出構造に係わる。より詳細には、搬送板を構成す
る封止板の変形などを防ぐことができる浮上搬送装置用
の気体噴出構造に関する。本発明は、液晶ディスプレイ
等に用いられるガラス板、半導体装置が形成されるウエ
ハなどの気流搬送をする浮上搬送装置や浮上搬送システ
ムに好適に用いられる。

【０００２】

【従来の技術】板状基体を浮上させて搬送するシステム
として、例えば、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のガラス
板を搬送するものがある。この搬送システムを図３８に
示す。この搬送システムは、移送ユニット１００と制御
ユニット２００とを組み合わせて、構成されたものであ
る。移送ユニット１００は、四角形状のガラス板３００
を浮上させて移動方向３１０の方向に移動させる。制御
ユニット２００は、ガラス板３００を浮上させた状態で
停止、静止させると共に、転換方向３１１に方向転換さ
せる。さらに、搬送システムは、図示を省略している
が、ガラス板３００に対して各種の処理を行う処理ユニ
ットを備えている。

【０００３】移送ユニット１００は、ガラス板３００を
直線的に移動させるために、通常、連結されて用いられ
る。この移送ユニット１００の一例を図３９に示す。移
送ユニット１００は、基台１１０と囲い材１２０とを備
えている。基台１１０には、ガラス板３００を浮上させ
るための気体、例えば、ガラス板３００に影響を与えな
い窒素ガス、アルゴンガス、乾燥空気やその他のガスを
供給する供給系１１１が配管されている。囲い材１２０
が覆う、基台１１０の面１１２が搬送路の搬送面であ
り、搬送面１１２には、複数の噴出孔１１３が空けられ
ている。

【０００４】噴出孔１１３は、図４０に示すように、搬
送面１１２に対して傾斜して設けられ、噴出孔１１３の
傾斜方向は、ガラス板３００の移動方向３１０の中心１
１２Ａに向かって傾斜している。また、噴出孔１１３と
は別に、図４１に示すように、推進用の噴出孔１１５
が、ガラス板３００の移動方向３１０と平行に並んで、
かつ、搬送面１１２に対して傾斜して空けられている。
噴出孔１１３，１１５は、搬送面１１２から気体室１１
４，１１６に至る間に空けられている。気体室１１４，
１１６は、供給系１１１にそれぞれ通じている。

【０００５】各噴出孔１１３，１１５によって、供給系
１１１から供給される気体は、気体室１１４，１１６を
経て、噴出孔１１３，１１５から噴出する。噴出孔１１
３，１１５からの気体の噴出方向が搬送面１１２に対し
て斜め上方に傾斜し、かつ、移動方向３１０に対して、
噴出孔１１３が直角になり、噴出孔１１５が平行になっ
ている。このような気体の噴出が、図４２の噴出方向１
１３Ａ，１１５Ａによって、平面的に表されている。

【０００６】こうして、各噴出孔１１３，１１５から噴
出方向１１３Ａ，１１５Ａに噴出された気体によって、
ガラス板３００が浮上して移動方向３１０に動くと同時
に、ガラス板３００の中心が搬送面１１２の中心１１２
Ａに沿って移動するので、ガラス板３００の側面が囲い
材１２０の側壁に接触することがない。つまり、ガラス
板３００は、搬送面１１２や囲い材１２０に対して非接
触の状態で移動する。

【０００７】制御ユニット２００は、移送ユニット１０
０から送られてくるガラス板３００を受け取り、このガ
ラス板３００の停止、静止および移動方向の変更や、ガ
ラス板３００自身の回転等を行う。制御ユニット２００
は、図４３に示すように、基台２１０と囲い材２２０と
を備えている。囲い材２２０には、基台１１０と同じよ
うに、ガラス板３００を浮上させるための気体を供給す
る供給系２１１が配管されている。囲い材２２０が覆
う、基台２１０の面２１２が搬送路の搬送面であり、搬
送面２１２には、吸引口と複数の噴出孔とが空けられて
いる。

【０００８】搬送面２１２の中心には、図４４に示すよ
うに、吸引口２１３が空けられている。吸引口２１３
は、中心付近の気体を吸い込んで、ガラス板３００を浮
上させたまま静止させる。吸引口２１３の周りには、内
側から順に設定ライン２２１〜２２４が設定されてい
る。

【０００９】設定ライン２２２には、噴出孔２１５が空
けられている。噴出孔２１５は、噴出孔１１３と同じよ
うに、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられている
が、気体の噴出方向は、反時計方向の噴出方向２１５Ａ
である。噴出孔２１５からの気体によって、ガラス板３
００が反時計方向に回転する。

【００１０】また、設定ライン２２２には、噴出孔２１
６が空けられている。噴出孔２１６は、噴出孔１１３と
同じように、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられ
ているが、気体の噴出方向は、時計方向の噴出方向２１
６Ａである。噴出孔２１６からの気体によって、ガラス
板３００が時計方向に回転する。

【００１１】設定ライン２２１，２２３，２２４には、
噴出孔２１４，２１７，２１８が空けられている。噴出
孔２１４，２１７，２１８は、噴出孔１１３と同じよう
に、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられている。
噴出孔２１４，２１７，２１８による気体は、吸引口２
１３に向かう噴出方向２１４Ａ，２１７Ａ，２１８Ａに
噴出される。噴出方向２１４Ａ，２１７Ａ，２１８Ａか
らの気体によって、ガラス板３００の中心が吸引口２１
３に位置するようになる。

【００１２】さらに、制御ユニット２００には、ガラス
板３００の推進および捕捉用の噴出孔２５１〜２５３
が、各２列の設定ライン２２５，２２６に空けられてい
る。噴出孔２５１は、ガラス板３００の移動方向３１０
と１８０度逆の方向である噴出方向２５１Ａに気体を噴
出し、噴出孔２５２は、移動方向３１０と同じ方向であ
る噴出方向２５２Ａに気体を噴出する。

【００１３】噴出孔２５３は、ガラス板３００の転換方
向３１１と同方向である噴出方向２５３Ａに気体を噴出
する。

【００１４】ガラス板３００が移動方向３１０から制御
ユニット２００に入ってくると、移動方向３１０とは逆
の方向に、噴出孔２１５が気体を噴出する。これによっ
て、ガラス板３００は、噴出された気体の減速作用によ
って捕捉され、搬送面２１２の中心に円滑に停止され
る。この結果、ガラス板３００の静止、回転動作がスム
ーズに行える。例えば、ガラス板３００が転換方向３１
１に方向転換される場合、噴出孔２５３が気体を噴出す
る。噴出された気体によって、ガラス板３００は転換方
向３１１に推進される。

【００１５】こうした動作によって、ガラス板３００の
方向転換が行われる。なお、ガラス板３００を移動方向
３１０と同じ方向に送り出す場合、噴出孔２５２が気体
を噴出する。

【００１６】このような移送ユニット１００および制御
ユニット２００とで構成される搬送システムと、各種の
処理ユニットとを組み合わせることによって、ガラス板
３００の処理システムが構築される。このような搬送シ
ステムの一例が国際出願番号ＰＣＴ／ＪＰ９１／０１４
６９に示されている。

【００１７】ところで、移送ユニット１００の基台１１
０と制御ユニット２００の基台２１０とは、次のように
して作られている。例えば、移送ユニット１００の場
合、基台１１０は、図４５に示すように、搬送板１１０
Ａを備えている。搬送板１１０Ａは、加工板１３０と封
止板１４０とで構成されている。

【００１８】従来、加工板１３０に対する加工は次のよ
うにして行われた。すなわち、図４６に示すように、加
工板１３０の下面１３１から、ドリル（図示を省略）に
よって、穴１３２が空けられた。穴１３２の直径が数ｍ
ｍ程度であり、穴空けの加工が下面１３１に対して直角
方向から行われた。ドリルは、加工板１３０を加工する
ための加工機（図示を省略）に、あらかじめセットされ
ている。

【００１９】穴１３２の形成が終了すると、図４７に示
すように、加工板１３０の上面１３３から、孔１３４が
穴１３２に向けて空けられた。孔１３４は、直径が０．
３〜１ｍｍ程度であり、穴１３２に貫通している。孔１
３４の孔空け加工は、上面１３３に対して傾斜した方向
からドリル（図示を省略）によって行われた。

【００２０】こうして、加工板１３０には、穴１３２と
孔１３４とが形成された。穴１３２が気体室１１４や気
体室１１６であり、孔１３４が噴出孔１１３や噴出孔１
１５である。

【００２１】加工板１３０に対する噴出孔１１３，１１
５と気体室１１４，１１６の形成が終了すると、図４８
に示すように、溝１３５，１３６が加工板１３０の下面
１３１に設けられた。このとき、気体室１１４だけを連
結するように、溝１３５が設けられ、また、気体室１１
６だけを連結するように、溝１３６が設けられた。

【００２２】溝１３５，１３６の形成が終了すると、先
の図４５に示すように、下面１３１に封止板１４０が取
り付けられて、下面１３１の各溝１３５，１３６が互い
に独立して密封された。これらの溝１３５，１３６によ
って、移送ユニット１００内に供給系が形成された。な
お、加工板１３０が溝１３５，１３６を持つ代わりに、
封止板１４０が溝を持つようにしてもよい。

【００２３】こうして、加工板１３０と封止板１４０と
によって、搬送板１１０Ａが作られた。さらに、搬送板
１１０Ａ内の供給系が、気体の流れを制御するバルブ等
を経て、供給系１１１に接続されて、基台１１０が作ら
れた。同様にして、制御ユニット２００の基台２１０も
加工板と封止板とによって作られた。

【００２４】しかし、この技術には、次に示すような問
題があった。つまり、移送ユニット１００および制御ユ
ニット２００の加工板または封止板が供給系の溝を備え
る構成であった。このために、加工板や封止板の厚さが
溝の部分で薄くなり、板の反りが加工板や封止板に発生
するという問題点があった。板の反りによって、封止板
１４０を加工板１３０に取り付けるための作業性が悪く
なってしまう。また、加工板１３０と封止板１４０との
密着の状態も悪くなり、気体の漏れが発生することにも
なる。

【００２５】以上、説明したとおり、従来の技術によれ
ば、以下の問題点があった。つまり、気体を噴出孔に供
給するための供給系を搬送板に設けるために、気体を流
す溝が加工板や封止板に必要になる。この結果、加工板
や封止板に反りが発生し、加工板や封止板を取り扱うた
めの作業性が悪化し、さらに、供給された気体の漏れが
発生するという問題があった。

【００２６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、搬送板を構
成する封止板の変形などを防ぐことができる浮上搬送装
置用の気体噴出構造を提供することを目的とする。

【００２７】

【課題を解決するための手段】本発明の浮上搬送装置用
の気体噴出構造は、搬送面から噴出する気体で板状基体
を浮上させる搬送板と、この搬送板に気体を供給する供
給系とを備え、前記搬送板が加工板と封止板とを備え、
前記加工板が、下面から供給された気体を上面である搬
送面から噴出する複数の噴出部を備え、前記封止板が前
記加工板の下面に取り付けられた浮上搬送装置用の気体
噴出構造において、前記封止板が流路形成部分と封止部
分とを備え、前記流路形成部分は、上面を前記加工板の
下面に取り付けられ、噴出方向に応じてグループ化され
た前記噴出部に対して前記供給系からの気体を流すため
の供給穴をそれぞれ備え、前記封止部分は、前記流路形
成部分の下面を覆うようにこの流路形成部分に取り付け
られたことを特徴とする。

【００２８】本発明によって、外部の供給系からの気体
を流すための、搬送板内の内部の供給系が、流路形成部
分と封止部分とによって形成される。これによって、外
部の供給系からの気体が流路形成部分を通って噴出部に
送られる。この結果、グループ化された噴出部に、外部
の供給系からの気体を流すための溝を封止板に設けるこ
とが不要になるので、封止板の変形などの発生を防ぐこ
とができる。

【００２９】本発明の浮上搬送装置用の気体噴出構造
は、搬送面から噴出する気体で板状基体を浮上させる搬
送板と、この搬送板に気体を供給する供給系とを備え、
前記搬送板が加工板と封止板とを備え、前記加工板は、
下面から供給された気体を上面である搬送面から噴出す
る複数の噴出部を備え、前記封止板が前記加工板の下面
に取り付けられた浮上搬送装置用の気体噴出構造におい
て、前記封止板が流路形成部分と封止部分とを備え、前
記流路形成部分は、上面を前記加工板の下面に取り付け
られると共に、噴出方向に応じてグループ化された前記
噴出部に対して気体を流すための供給穴をそれぞれ備
え、前記封止部分は、前記流路形成部分の下面を覆うよ
うにこの流路形成部分に取り付けられ、前記供給系から
の気体を前記各供給穴に流すことを特徴とする。

【００３０】本発明によって、外部の供給系からの気体
を流すための、搬送板内の内部の供給系が、流路形成部
分と封止部分とによって形成される。これによって、供
給系からの気体が封止部と流路形成部分とを通って噴出
部に送られる。この結果、グループ化された噴出部に、
外部の供給系からの気体を流すための溝を封止板に設け
ることが不要になるので、封止板の変形などの発生を防
ぐことができる。

【００３１】本発明の浮上搬送装置用の気体噴出構造
は、搬送面から噴出する気体で板状基体を浮上させる搬
送板と、この搬送板に気体を供給する供給系とを備え、
前記搬送板が加工板と封止板とを備え、前記加工板の上
面が前記搬送面であり、前記封止板が前記加工板の下面
を覆うように取り付けられた浮上搬送装置用の気体噴出
構造において、前記加工板が板部分と流路形成部分とを
備え、前記板部分は、上面が前記搬送面であり、この上
面から下面に貫通する複数の噴出孔を備え、前記流路形
成部分は、噴出方向に応じてグループ化された前記噴出
孔に対して、前記供給系からの気体を流すための供給穴
をそれぞれ備え、上面に前記板部分の下面が取り付けら
れたことを特徴とする。

【００３２】本発明によって、外部の供給系からの気体
を流すための、搬送板内の内部の供給系が、加工板の流
路形成部分と封止板とによって形成される。これによっ
て、外部の供給系からの気体が流路形成部分を通って噴
出孔に送られる。この結果、グループ化された噴出孔
に、供給系からの気体を流すための溝を封止板に設ける
ことが不要になるので、封止板の変形などの発生を防ぐ
ことができる。

【００３３】本発明の浮上搬送装置用の気体噴出構造
は、搬送面から噴出する気体で板状基体を浮上させる搬
送板と、この搬送板に気体を供給する供給系とを備え、
前記搬送板が加工板と封止板とを備え、前記加工板の上
面が前記搬送面であり、前記封止板が前記加工板の下面
を覆うように取り付けられた浮上搬送装置用の気体噴出
構造において、前記加工板が板部分と流路形成部分とを
備え、前記板部分は、上面が前記搬送面であり、この上
面から下面に貫通する複数の噴出孔を備え、前記流路形
成部分は、噴出方向に応じてグループ化された前記噴出
孔に対して気体を流すための供給穴をそれぞれ備え、上
面に前記板部分の下面が取り付けられ、前記封止板は、
前記供給系からの気体を前記各供給穴に流すことを特徴
とする。

【００３４】本発明によって、外部の供給系からの気体
を流すための、搬送板内の内部の供給系が、加工板の流
路形成部分と封止板とによって形成される。これによっ
て、外部の供給系からの気体が封止板と流路形成部分と
を通って噴出孔に送られる。この結果、グループ化され
た噴出孔に、外部の供給系からの気体を流すための溝を
封止板に設けることが不要になるので、封止板の変形な
どの発生を防ぐことができる。

【００３５】

【発明の実施の形態】［実施の形態１］次に、図１〜図
４を参照して、本発明の実施の形態１を詳細に述ベる。
図１は、実施の形態１に係わる浮上搬送装置用の気体噴
出構造を示す斜視図である。図２は、図１の流路形成部
分のＩ−Ｉ断面を示す断面図である。図３は、図２のＩ
Ｉ−ＩＩ断面を示す断面図である。図４は、実施の形態
１に係る搬送板の組み立ての様子を示す断面図である。

【００３６】実施の形態１による浮上搬送装置用の気体
噴出構造は、移送ユニットの搬送板に適用されている。
移送ユニットは、気流搬送システムの中で用いられてい
る浮上搬送装置の１つである。実施の形態１の浮上搬送
装置用の気体噴出構造は、図１に示すように、搬送面Ａ
₁から噴出する気体で板状基体（例えば、ガラス板）を
浮上させる搬送板Ａと、この搬送板Ａに気体を供給する
供給系とを備えている。搬送板Ａが加工板１と封止板２
とを備え、加工板１が、下面から供給された気体を上面
である搬送面Ａ₁から噴出する複数の噴出部（噴出孔１
Ａとその気体室、噴出孔１Ｂとその気体室）を備えてい
る。封止板２が加工板１の下面に取り付けられている。
この浮上搬送装置用の気体噴出構造において、封止板２
が流路形成部分２Ａと封止部分２Ｂとを備えている。流
路形成部分２Ａは、上面を加工板１の下面に取り付けら
れ、噴出方向に応じてグループ化された噴出部に対して
供給系からの気体を流すための供給穴をそれぞれ備えて
いる。封止部分２Ｂは、流路形成部分２Ａの下面を覆う
ようにこの流路形成部分２Ａに取り付けられている。

【００３７】加工板１は、図４７に示されている加工板
１３０と同じであり、加工板１の搬送面Ａ₁には、図４
２に示されている噴出孔１１３，１１５と同じ噴出孔１
Ａ₁，１Ｂ₁が下面まで空けられている。

【００３８】流路形成部分２Ａは、縦横の長さが加工板
１と同じ板状体である。図２に示すように、流路形成部
分２Ａには、６列に並べられた噴出孔１Ａ₁の気体室１
Ａ₂に気体を流すための、長方形をした供給穴２Ａ₁〜２
Ａ₆が空けられている。供給穴２Ａ₁〜２Ａ₆は移動方向
３１０に沿って互いに平行に配列されている。図３に示
すように、供給穴２Ａ₁の一端が流路形成部分２Ａの側
面２Ａ₂₁まで延びている。また、供給穴２Ａ₁の他端が
供給穴２Ａ₇によって供給穴２Ａ₂〜２Ａ₆の端と連結さ
れている。

【００３９】さらに、流路形成部分２Ａには、噴出孔１
Ｂ₁の気体室１Ｂ₂の各列に気体を流すための、長方形を
した供給穴２Ａ₁₁，２Ａ₁２が空けられている。供給穴
２Ａ_{1 1}，２Ａ₁₂の端が供給穴２Ａ₁と同様に流路形成部
分２Ａの側面２Ａ₂₁まで延びている。供給穴２Ａ₁〜２
Ａ₇，２Ａ₁₁，２Ａ₁₂はプレス加工による打ち抜きで製
作される。

【００４０】封止部分２Ｂは、縦横の長さが流路形成部
分２Ａと同じ板状体であり、流路形成部分２Ａを密着状
態で覆うものである。

【００４１】図４に示すように、流路形成部分２Ａの上
面２Ａ₂₂が加工板１の下面１Ｄに密着して取り付けられ
た。この結果、流路形成部分２Ａの供給穴２Ａ₁〜２
Ａ₇，２Ａ₁₁，２Ａ₁₂による、搬送板Ａ内の供給系が形
成された。この後、流路形成部分２Ａの下面２Ａ₂₃に封
止部分２Ｂが密着状態で取り付けられて、搬送板Ａが作
られた。こうして作られた搬送板Ａによって、供給穴２
Ａ₁〜２Ａ₇が供給穴２Ａ₁₁，２Ａ₁₂と互いに独立して気
体を流すことが可能になる。

【００４２】さらに、気体の流れを制御するバルブ等を
経て、搬送板Ａ内の供給穴２Ａ₁と供給穴２Ａ₁₁，２Ａ
₁₂とが外部の供給系に接続されて、移送ユニット用の基
台が作られた。

【００４３】こうして、実施の形態１によれば、気体室
を連結する溝が不要になるので、移送ユニットの封止板
２が反ることを防ぐことができる。かつ、気体室を設け
ることが不要であるので、移送ユニットの封止板２に対
する工程を減らすことができる。

【００４４】また、流路形成部分２Ａを打ち抜きによっ
て作るので、気体室を設ける工程を不要にすることがで
き、移送ユニットの搬送板を作るための加工時間を短く
することができる。

【００４５】[実施の形態２]次に、図５と図６とを参照
して、本発明の実施の形態２を詳細に述ベる。図５は、
実施の形態２に係る流路形成部分の断面を示す断面図で
ある。図６は、実施の形態２に係る封止部分を示す平面
図である。

【００４６】実施の形態２による浮上搬送装置用の気体
噴出構造では、実施の形態１の流路形成部分２Ａと封止
部分２Ｂに相当するものとして、図５に示す流路形成部
分３Ａと図６に示す封止部分３Ｂとが用いられている。
つまり、実施の形態２では、封止板が流路形成部分３Ａ
と封止部分３Ｂとを備えている。流路形成部分３Ａは、
上面が加工板の下面に取り付けられ、噴出方向に応じて
グループ化された噴出部（噴出孔１Ａとその気体室、噴
出孔１Ｂとその気体室）に対して気体を流すための供給
穴３Ａ₁〜３Ａ₇，３Ａ₁₁〜３Ａ₁₃をそれぞれ備えてい
る。封止部分３Ｂは、流路形成部分の下面を覆うように
この流路形成部分に取り付けられ、供給系からの気体を
供給穴３Ａ₁〜３Ａ₇，３Ａ₁₁〜３Ａ₁₃に流すことを特徴
とする。

【００４７】流路形成部分３Ａは、縦横の長さが加工板
１と同じ板状体である。流路形成部分３Ａには、６列に
並べられた噴出孔１Ａ₁の気体室１Ａ₂の各列に気体を流
すための、長方形をした供給穴３Ａ₁〜３Ａ₆が空けられ
ている。供給穴３Ａ₁〜３Ａ₆は移動方向３１０に沿って
互いに平行に配列されている。供給穴３Ａ₁〜３Ａ₆の端
が供給穴３Ａ₇によって連結されている。

【００４８】さらに、流路形成部分３Ａには、噴出孔１
Ｂ₁の気体室１Ｂ₂の各列に気体を流すための、長方形を
した供給穴３Ａ₁₁，３Ａ₁₂が空けられている。供給穴３
Ａ₁₁，３Ａ₁₂の端は供給穴３Ａ₁₃によって連結されてい
る。供給穴３Ａ₁〜３Ａ₇，３Ａ₁₁〜３Ａ₁₃はプレス加工
による打ち抜きで製作される。

【００４９】封止部分３Ｂは、縦横の長さが流路形成部
分３Ａと同じ板状体であり、流路形成部分３Ａの下面を
覆うものである。供給穴３Ａ₇に対応する封止部分３Ｂ
の位置には、接続穴３Ｂ₁が空けられている。接続穴３
Ｂ１は封止部分３Ｂを貫通している。同じようにして、
供給穴３Ａ₁₃に対応して接続穴３Ｂ₂が封止部分３Ｂに
空けられている。接続穴３Ｂ₁，３Ｂ₂は、プレス加工に
よる打ち抜きで製作される。

【００５０】これらの流路形成部分３Ａと封止部分３Ｂ
とによって、実施の形態１と同じように搬送板が作られ
た。さらに、気体の流れを制御するバルブ等が封止部分
３Ｂの接続穴３Ｂ₁，３Ｂ₂に接続されて、制御ユニット
用の基台が作られた。

【００５１】こうして実施の形態２によれば、供給穴３
Ａ₁〜３Ａ₇，３Ａ₁₁〜３Ａ₁₃に対して、封止部分３Ｂの
接続穴３Ｂ₁と接続穴３Ｂ₂との２つだけが必要であるの
で、搬送板に対して外部の供給系を接続するための構造
を簡単にすることができる。

【００５２】[実施の形態３]次に、図７〜図１２を参照
して、本発明の実施の形態３を詳細に述ベる。図７は、
実施の形態３に係わる浮上搬送装置用の気体噴出構造を
示す斜視図である。図８は、図７の平面を示す平面図で
ある。図９は、図８のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図
である。図１０は、実施の形態３に係る流路形成部分を
示す平面図である。図１１は、実施の形態３に係る封止
部分を示す平面図である。図１２は、実施の形態３に係
る搬送板の組み立ての様子を示す断面図である。

【００５３】実施の形態３による浮上搬送装置用の気体
噴出構造は、制御ユニットの搬送板に適用されている。
制御ユニットは、気流搬送システムの中で用いられてい
る浮上搬送装置の１つである。実施の形態３の浮上搬送
装置用の気体噴出構造は、図７に示すように、搬送面Ｂ
１から噴出する気体で板状基体（例えば、ガラス板）を
浮上させる搬送板Ｂと、この搬送板Ｂに気体を供給する
供給系とを備えている。搬送板Ｂが加工板４と封止板５
とを備え、加工板４が、下面から供給された気体を上面
である搬送面Ｂ₁から噴出する複数の噴出部（噴出孔と
その気体室、噴出孔とその気体室）を備えている。封止
板５が加工板４の下面に取り付けられている。この浮上
搬送装置用の気体噴出構造において、封止板５が流路形
成部分５Ａと封止部分５Ｂとを備えている。流路形成部
分５Ａは、上面を加工板４の下面に取り付けられ、噴出
方向に応じてグループ化された噴出部に対して気体を流
すための供給穴をそれぞれ備えている。封止部分５Ｂ
は、流路形成部分５Ａの下面を覆うようにこの流路形成
部分５Ａに取り付けられ、供給系からの気体を各供給穴
に流す。

【００５４】加工板４は、浮上させた状態でガラス板を
停止、静止させると共に、ガラス板の方向転換等をさせ
るために、多数の噴出孔を搬送面Ｂ₁に備えている。つ
まり、図８と図９とに示すように、加工板４の上面４１
₁の中心には、吸引口４１Ａが空けられている。上面４
１₁が図７に示す搬送板Ｂの搬送面Ｂ₁である。吸引口４
１Ａは図４４の吸引口２１３と同じである。

【００５５】吸引口４１Ａの周りには、内側から順に設
定ライン４１₁₁〜４１₁₄が設定されている。設定ライン
４１₁₁には、噴出孔４１Ｂ₁が空けられている。噴出孔
４１Ｂ₁は、図９に示すように、気体室４１Ｂ₂に通じて
いる。噴出孔４１Ｂ₁は噴出方向４２Ｂつまり反時計方
向に気体を噴出する。噴出孔４１Ｂ₁からの気体によっ
て、搬送面Ｂ₁から浮上しているガラス板が反時計方向
に回転する。設定ライン４１₁₂には、噴出孔４１Ｃ₁が
空けられている。噴出孔４１Ｃ₁は気体室４１Ｃ ₂に通じ
ている。噴出孔４１Ｃ₁は噴出方向４２Ｃつまり時計方
向に気体を噴出する。噴出孔４１Ｃ₁からの気体によっ
て、ガラス板が時計方向に回転する。

【００５６】設定ライン４１₁₃，４１₁₄には、噴出孔４
１Ｄ₁，４１Ｅ₁が空けられている。噴出孔４１Ｄ₁，４
１Ｅ₁は気体室４１Ｄ₂，４１Ｅ₂に通じている。噴出孔
４１Ｄ ₁，４１Ｅ₁は噴出方向４２Ｄ，４２Ｅつまり吸引
口４１Ａに向けて気体を噴出する。噴出孔４１Ｄ₁，４
１Ｅ₁からの気体によって、ガラス板の中心が吸引口４
１Ａに位置するようになる。

【００５７】さらに、上面４１₁には、ガラス板の推進
および捕捉用の噴出孔が設けられている。このために、
上面４１₁の３つの端部には、設定ライン４１₂₁〜４１
₂₃が設定されている。設定ライン４１₂₁には、噴出孔４
１Ｆ₁が空けられている。噴出孔４１Ｆ₁は気体室４１Ｆ
₂に通じている。噴出孔４１Ｆ₁は、噴出方向４２Ｆつま
り移動方向３１０に気体を噴出する。噴出孔４１Ｆ₁か
らの気体によって、ガラス板が移動方向３１０に移動さ
れる。また、移動方向３１０の反対方向から進入してく
るガラス板に対して、噴出孔４１Ｆ₁が気体を噴出す
る。この噴出された気体の減速作用によって、ガラス板
が捕捉される。

【００５８】設定ライン４１₂₂には、噴出孔４１Ｇ₁が
空けられている。噴出孔４１Ｇ₁は、噴出方向４２Ｇつ
まり移動方向３１１に気体を噴出する。噴出孔４１Ｇ₁
からの気体によって、ガラス板が移動方向３１１に移動
される。また、移動方向３１１の反対側から進入してく
るガラス板に対して、噴出孔４１Ｇ₁が気体を噴出す
る。この噴出された気体の減速作用によって、ガラス板
が捕捉される。

【００５９】設定ライン４１₂₃には、噴出孔４１Ｈ₁が
空けられている。噴出孔４１Ｈ₁は気体室４１Ｈ₂に通じ
ている。噴出孔４１Ｈ₁は、噴出方向４２Ｈつまり移動
方向３１０と反対方向に気体を噴出する。噴出孔４１Ｈ
₁からの気体によって、ガラス板が移動方向３１０と反
対に移動される。また、移動方向３１０から進入してく
るガラス板に対して、噴出孔４１Ｈ₁が気体を噴出す
る。この噴出された気体の減速作用によって、ガラス板
が捕捉される。

【００６０】このような吸引口４１Ａと噴出孔４１Ｂ₁
〜４１Ｈ₁とが空けられて、加工板４が作られる。

【００６１】封止板５は、流路形成部分５Ａと封止部分
５Ｂとを備えている。流路形成部分５Ａは、縦横の長さ
が加工板４と同じ板状体である。図１０に示すように、
流路形成部分５Ａの中心には、吸引口４１Ａから気体を
吸引するための円形状の吸引穴５Ａ₁₁が空けられてい
る。吸引穴５Ａ₁₁の外側には、各噴出孔４１Ｂ₁の気体
室４１Ｂ₂に気体を供給するための環状の供給穴５Ａ₁₂
が吸引穴５Ａ₁₁を中心にして同心円状に空けられてい
る。この場合、気体室４１Ｂ₂すべてのが１つのグルー
プを構成している。グループ化は、同じ機能の複数噴出
孔の気体室を集めたものである。供給穴５Ａ₁₂によっ
て、円板５Ａ₁が流路形成部分５Ａから分離された状態
になる。

【００６２】供給穴５Ａ₁₂の外側には、各噴出孔４１Ｃ
₁の気体室４１Ｃ₂に気体を供給するための環状の供給穴
５Ａ₁₃が、吸引穴５Ａ₁₁を中心にして同心円状に空けら
れている。この場合、各気体室４１Ｃ₂が１つのグルー
プを構成している。供給穴５Ａ₁₃によって、環状の円板
５Ａ₂が流路形成部分５Ａから分離された状態になる。

【００６３】供給穴５Ａ₁₃の外側には、噴出孔４１
Ｄ₁，４１Ｅ₁の気体室４１Ｄ₂，４１Ｅ₂に気体を供給す
るための、４つの円弧状の供給穴５Ａ₁₄が吸引穴５Ａ₁₁
を中心にして同心円状に空けられている。この場合、気
体室４１Ｄ₂，４１Ｅ₂が４つのグループに分けられてい
る。供給穴５Ａ₁₄の外側には、噴出孔４１Ｆ₁の気体室
４１Ｆ₂、４１Ｇ₁の気体室４１Ｇ₂、４１Ｈ₁の気体室４
１Ｈ₂に気体を供給するための長方形状の供給穴５
Ａ₁₅，５Ａ₁₆，５Ａ₁₇が空けられている。吸引穴５Ａ₁₁
と供給穴５Ａ₁₂〜５Ａ₁₇の形成は、プレス加工による打
ち抜きで製作される。

【００６４】封止部分５Ｂは、縦横の長さが流路形成部
分５Ａと同じ板状体であり、流路形成部分５Ａの下面を
覆うものである。図１１に示すように、吸引穴５Ａ₁₁に
対応する、封止部分５Ｂの位置には、接続穴５Ｂ₁が空
けられている。接続穴５Ｂ₁は封止部分５Ｂを貫通して
いる。同じようにして、供給穴５Ａ₁₂，５Ａ₁₃，５Ａ₁₄
に対応して接続穴５Ｂ₂，５Ｂ₃，５Ｂ₄が封止部分５Ｂ
に空けられている。そして、供給穴５Ａ₁₅〜５Ａ₁₇に対
応して接続穴５Ｂ₅〜５Ｂ₇が封止部分５Ｂに空けられて
いる。

【００６５】接続穴５Ｂ₁〜５Ｂ₇は、プレス加工による
打ち抜きで形成される。打ち抜きが終了すると、封止部
分５Ｂの製作が終了する。

【００６６】図１２に示すように、流路形成部分５Ａの
下面５Ａ₂₂が封止部分５Ｂの上面５Ｂ₂₁に密着して取り
付けられた。このとき、封止部分５Ｂの上面５Ｂ₂₁に対
して、円板５Ａ₁が中心に位置するように取り付けら
れ、また、円板５Ａ₂が、円板５Ａ₁に対して同心円状に
なるように、上面５Ｂ₂₁に取り付けられた。これによっ
て、封止板５が作られた。

【００６７】この後、流路形成部分５Ａの上面５Ａ₂₁が
加工板４の下面４１₂に密着して取り付けられて、搬送
板１が作られた。さらに、気体の流れを制御するバルブ
等が封止部分５Ｂの下面５Ｂ₂₂側から接続穴５Ｂ₁〜５
Ｂ₇に接続されて、制御ユニット用の基台が作られた。

【００６８】こうして実施の形態３によれば、気体室を
連結するための溝が封止板５に対して不要になるので、
封止板５が反ることを防ぐことができる。

【００６９】また、流路形成部分５Ａと封止部分５Ｂと
を打ち抜きによって作るので、気体を流すための流路の
形成が簡単になるり、搬送板Ｂの製造時間を短縮するこ
とができる。

【００７０】［実施の形態４］次に、図１３〜図１７を
参照して、本発明の実施の形態４を詳細に述ベる。図１
３は、実施の形態４に係わる浮上搬送装置用の気体噴出
構造を示す斜視図である。図１４は、図１３の板部分の
ＩＶ−ＩＶ断面を示す断面図である。図１５は、図１３
のＶ−Ｖ断面を示す断面図である。図１６は、図１５の
ＶＩ−ＶＩ断面を示す断面図である。図１７は、実施の
形態４に係る搬送板の組み立ての様子をす断面図であ
る。

【００７１】実施の形態４による浮上搬送装置用の気体
噴出構造は、移送ユニットの搬送板に適用されている。
実施の形態４の浮上搬送装置用の気体噴出構造は、図１
３に示すように、搬送面Ｃ₁から噴出する気体で板状基
体（例えば、ガラス板）を浮上させる搬送板Ｃと、この
搬送板Ｃに気体を供給する供給系とを備えている。搬送
板Ｃが加工板６と封止板７とを備えている。加工板６の
上面が搬送面Ｃ１であり、封止板７が加工板６の下面を
覆うように取り付けられている。この浮上搬送装置用の
気体噴出構造において、加工板６が板部分６Ａと流路形
成部分６Ｂとを備えている。板部分６Ａは、上面が搬送
面Ｃ₁であり、この上面から下面に貫通する複数の噴出
孔６Ａ₁，６Ａ₂を備えている。流路形成部分６Ｂは、噴
出機能に応じてグループ化された噴出孔６Ａ₁，６Ａ₂に
対して、供給系からの気体を流すための供給穴をそれぞ
れ備え、上面には板部分７の下面が取り付けられてい
る。

【００７２】つまり、板部分６Ａには、図４２の噴出孔
１１３と同じ噴出孔６Ａ₁が空けられ、噴出孔１１５と
同じ噴出孔６Ａ₂が空けられている。図１４に示すよう
に、噴出孔６Ａ₁，６Ａ₂は板部分６Ａの上面６Ａ１１か
ら下面６Ａ₁₂に貫通している。板部分６Ａの上面６Ａ₁₁
が搬送板Ｃの搬送面Ｃ₁である。

【００７３】流路形成部分６Ｂは、図１５に示すよう
に、縦横の長さが板部分６Ａと同じ板状体である。流路
形成部分６Ｂには、６列に並べられた噴出孔６Ａ₁の各
列に気体を流すための、長方形をした供給穴６Ｂ₁〜６
Ｂ₆が空けられている。供給穴６Ｂ₁〜６Ｂ₆は移動方向
３１０に沿って互いに平行に配列されている。図１６に
示すように、供給穴６Ｂ₁の一端が流路形成部分６Ｂの
側面６Ｂ₂₁まで延びている。また、供給穴６Ｂ₁の他端
が供給穴６Ｂ₇によって供給穴６Ｂ₂〜６Ｂ₆の端と連結
されている。

【００７４】さらに、流路形成部分６Ｂには、噴出孔６
Ａ₂の各列に気体を流すための、長方形をした供給穴６
Ｂ₁₁，６Ｂ₁₂が空けられている。供給穴６Ｂ₁₁，６Ｂ₁₂
の端が供給穴６Ｂ₁と同様に板状体の側面６Ｂ₂₁まで延
びている。供給穴６Ｂ₁〜６Ｂ ₇、６Ｂ₁₁，６Ｂ₁₂はプレ
ス加工による打ち抜きで製作される。

【００７５】封止板７は、縦横の長さが流路形成部分６
Ｂと同じ板状体であり、流路形成部分６Ｂの下面を覆う
ものである。

【００７６】図１７に示すように、板部分６Ａの下面６
Ａ₁₂が流路形成部分６Ｂの上面６Ｂ ₂₂に密着して取り付
けられて、加工板６が作られた。この後、封止板７が流
路形成部分６Ｂの下面６Ｂ₂₃に密着して取り付けられ
て、搬送板Ｃが作られた。こうして作られた搬送板Ｃに
よって、供給穴６Ｂ₁〜６Ｂ₆が供給穴６Ｂ₁₁，６Ｂ₁₂と
互いに独立して気体を流すことが可能になる。

【００７７】さらに、気体の流れを制御するバルブ等を
経て、搬送板Ｃ内の供給穴６Ｂ₁と供給穴６Ｂ₁₁，６Ｂ
₁₂とが供給系に接続されて、移送ユニット用の基台が作
られた。

【００７８】こうして実施の形態４によれば、気体室を
連結する溝が不要になるので、移送ユニットの加工板６
が反ることを防ぐことができる。かつ、搬送板Ｃに気体
室を設けることが不要であるので、移送ユニットの加工
板６に対する工程を減らすことができる。

【００７９】また、流路形成部分６Ｂを打ち抜きによっ
て作るので、気体室を設ける工程を不要にすることがで
き、移送ユニットの搬送板を作るための加工時間を短く
することができる。

【００８０】[実施の形態５]次に、図１８と図１９とを
参照して、本発明の実施の形態５を詳細に述ベる。図１
８は、実施の形態５に係る流路形成部分の断面を示す断
面図である。図１９は、実施の形態５に係る封止板を示
す平面図である。

【００８１】実施の形態５による浮上搬送装置用の気体
噴出構造では、実施の形態４の流路形成部分６Ｂと封止
板７として、図１８に示す流路形成部分８と図１９に示
す封止板９とが用いられている。つまり、実施の形態５
では、加工板が板部分と流路形成部分８とで構成されて
いる。板部分は、上面が搬送面であり、この上面から下
面に貫通する複数の噴出孔６Ａ₁，６Ａ₂を備えている。
流路形成部分８は、噴出方向に応じてグループ化された
噴出孔６Ａ₁，６Ａ₂に対して気体を流すための供給穴８
Ａ〜８Ｊをそれぞれ備え、上面に板部分６Ａの下面が取
り付けられている。封止板９は、供給系からの気体を供
給穴８Ａ〜８Ｊに流す。

【００８２】つまり、流路形成部分８は、縦横の長さが
板部分６Ａと同じ板状体である。流路形成部分８には、
６列に並べられた板部分６Ａの噴出孔６Ａ₁の各列に気
体を流すための、長方形をした供給穴８Ａ〜８Ｆが空け
られている。供給穴８Ａ〜８Ｆは移動方向３１０に沿っ
て互いに平行に配列されている。供給穴８Ａ〜８Ｆの端
が供給穴８Ｇによって連結されている。

【００８３】さらに、流路形成部分８には、板部分６Ａ
の噴出孔６Ａ₂の各列に気体を流すための、長方形をし
た供給穴８Ｈ，８Ｉが空けられている。供給穴８Ｈ，８
Ｉの端は供給穴８Ｊによって連結されている。供給穴８
Ａ〜８Ｊはプレス加工による打ち抜きで製作される。

【００８４】封止板９は、縦横の長さが板部分８と同じ
板状体であり、流路形成部分８の下面を覆うものであ
る。供給穴８Ｇに対応する封止板９の位置には、接続穴
９Ａが空けられている。接続穴９Ａは封止板９を貫通し
ている。同じようにして、供給穴８Ｊに対応して接続穴
９Ｂが封止板９に空けられている。

【００８５】接続穴９Ａ，９Ｂは、プレス加工による打
ち抜きで形成される。打ち抜きが終了すると、封止板９
の製作が終了する。

【００８６】これらの流路形成部分８と封止板９とによ
って、実施の形態４と同じように搬送板が作られた。さ
らに、気体の流れを制御するバルブ等が封止板９の接続
穴９Ａ，９Ｂに接続されて、移送ユニット用の基台が作
られた。

【００８７】こうして、実施の形態５によれば、封止板
９の接続穴９Ａと接続穴９Ｂとの２つに対して、気体を
流すための制御を行えばよいので、搬送板の構造を簡単
にすることができる。

【００８８】[実施の形態６]次に、図２０〜図２５を参
照して、本発明の実施の形態６を詳細に述ベる。図２０
は、実施の形態６に係わる浮上搬送装置用の気体噴出構
造を示す斜視図である。図２１は、図２０の平面を示す
平面図である。図２２は、図２１のＶＩＩ−ＶＩＩ断面
を示す断面図である。図２３は、実施の形態６に係る流
路形成部分を示す平面図である。図２４は、実施の形態
６に係る封止板を示す平面図である。図２５は、実施の
形態６に係る搬送板の組み立ての様子を示す断面図であ
る。

【００８９】実施の形態６による浮上搬送装置用の気体
噴出構造は、制御ユニットの搬送板に適用されている。
実施の形態６による浮上搬送装置用の気体噴出構造は、
図２０に示すように、搬送面Ｄ₁から噴出する気体で板
状基体（例えば、ガラス板）を浮上させる搬送板Ｄと、
この搬送板Ｄに気体を供給する供給系とを備えている。
搬送板Ｄが加工板１０と封止板１４とを備えている。加
工板１０の上面が搬送面Ｄ₁であり、封止板１４が加工
板１０の下面を覆うように取り付けられている。この浮
上搬送装置用の気体噴出構造において、加工板１０が板
部分１１と流路形成部分１２とを備えている。板部分１
１は、上面が搬送面Ｄ₁であり、この上面から下面に貫
通する複数の噴出孔を備えている。流路形成部分１２
は、噴出方向に応じてグループ化された噴出孔に対して
気体を流すための供給穴をそれぞれ備え、上面に板部分
１１の下面が取り付けられている。封止板１４は、供給
系からの気体を各供給穴に流す。

【００９０】図２１に示すように、板部分１１の上面１
１₁の中心には、吸引口１１Ａが空けられている。上面
１１₁が搬送板Ｄの搬送面Ｄ₁である。吸引口１１Ａは図
４４の吸引口２１３と同じである。また、図２２に示す
ように、吸引口１１Ａは、板部分１１の上面１１₁から
下面１１₂に貫通している。

【００９１】吸引口１１Ａの周りには、内側から順に設
定ライン１１₁₁〜１１₁₄が設定されている。設定ライン
１１₁₁には、噴出孔１１Ｂが空けられている。噴出孔１
１Ｂは、板部分１１の上面１１₁から下面１１₂に貫通し
ている。噴出孔１１Ｂからの気体によって、搬送面Ｄ₁
から浮上しているガラス板が反時計方向に回転する。設
定ライン１１₁₂には、噴出孔１１Ｃが空けられている。
噴出孔１１Ｃは噴出方向１１Ｃ₁つまり時計方向に気体
を噴出する。

【００９２】設定ライン１１₁₃，１１₁₄には、噴出孔１
１Ｄ，１１Ｅが空けられている。噴出孔１１Ｄ，１１Ｅ
は、板部分１１の上面１１₁から下面１１₂に貫通してい
る。噴出孔１１Ｄ，１１Ｅは噴出方向１１Ｄ₁，１１Ｅ₁
つまり吸引口１１Ａに向けて気体を噴出する。

【００９３】さらに、上面１１₁には、ガラス板の推進
および捕捉用の噴出孔が設けられている。このために、
上面１１₁の３つの端部には、設定ライン１１₂₁〜１１
₂₃が設定されている。設定ライン１１₂₁には、噴出孔１
１Ｆが空けられている。噴出孔１１Ｆは、板部分１１の
上面１１₁から下面１１₂に貫通している。噴出孔１１Ｆ
は移動方向３１０に気体を噴出する。

【００９４】設定ライン１１₂₂には、噴出孔１１Ｇが空
けられている。噴出孔１１Ｇは、板部分１１の上面１１
₁から下面１１₂に貫通している。噴出孔１１Ｇは移動方
向３１１に気体を噴出する。

【００９５】設定ライン１１₂₃には、噴出孔１１Ｈが空
けられている。噴出孔１１Ｈは、板部分１１の上面１１
₁から下面１１₂に貫通している。噴出孔１１Ｈは移動方
向３１０と反対に気体を噴出する。

【００９６】このような吸引口１１Ａと噴出孔１１Ｂ〜
１１Ｈが空けられて、板部分１１が作られる。

【００９７】流路形成部分１２は、縦横の長さが板部分
１１と同じ板状体である。図２３に示すように、流路形
成部分１２の中心には、吸引口１１Ａに気体を供給する
ための円形状の吸引穴１２Ａが空けられている。吸引穴
１２Ａの外側には、各噴出孔１１Ｂに気体を供給するた
めの環状の供給穴１２Ｂが吸引穴１２Ａを中心にして同
心円状に空けられている。この場合、すべての噴出孔１
１Ｂが１つのグループを構成している。供給穴１２Ｂに
よって、円板１２₁が流路形成部分１２から分離された
状態になる。

【００９８】供給穴１２Ｂの外側には、各噴出孔１１Ｃ
に気体を供給するための環状の供給穴１２Ｃが吸引穴１
２Ａを中心にして同心円状に空けられている。この場
合、各噴出孔１１Ｃが１つのグループを構成している。
供給穴１２Ｃによって、環状の円板１２Ａ₂が流路形成
部分１２から分離された状態になる。

【００９９】供給穴１２Ｃの外側には、噴出孔１１Ｄ，
１１Ｅに気体を供給するための４つの円弧状の供給穴１
２Ｄが吸引穴１２Ａを中心にして同心円状に空けられて
いる。この場合、噴出孔１１Ｄ，１１Ｅが４つのグルー
プに分けられている。供給穴１２Ｄの外側には、噴出孔
１１Ｆ〜１１Ｈに気体を供給するための長方形状の供給
穴１２Ｅ〜１２Ｇが空けられている。吸引穴１２Ａおよ
び供給穴１２Ｂ〜１２Ｇの形成は、プレス加工による打
ち抜きで製作される。

【０１００】封止板１４は、縦横の長さが流路形成部分
１２と同じ板状体であり、流路形成部分１２の下面を覆
うものである。図２４に示すように、吸引穴１２Ａに対
応する封止板１４の位置には、接続穴１４Ａが空けられ
ている。接続穴１４Ａは封止板１４を貫通している。同
じようにして、供給穴１２Ｂ，１２Ｃに対応して接続穴
１４Ｂ，１４Ｃが封止板１４に空けられ、各供給穴１２
Ｄに対応して接続穴１４Ｄが封止板１４にそれぞれ空け
られている。そして、供給穴１２Ｅ〜１２Ｇに対応して
接続穴１４Ｅ〜１４Ｇが封止板１４に空けられている。
接続穴１４Ａ〜１４Ｇは、プレス加工による打ち抜きで
製作される。

【０１０１】図２５に示すように、流路形成部分１２の
上面１２₁₁が板部分１１の下面１１ ₂に密着して取り付
けられる。このとき、板部分１１の下面１１₂に対し
て、円板１２₁が中心に位置するように取り付けられ、
また、円板１２₂が円板１２₁に対して同心円状になるよ
うに下面１１２に取り付けられた。この後、流路形成部
分１２の下面１２₁₂が封止板１４の上面１４₁に密着し
て取り付けられて、搬送板Ｄが作られた。

【０１０２】さらに、気体の流れを制御するバルブ等が
封止板１４の下面１４₂側から接続穴１４Ａ〜１４Ｇに
接続されて、制御ユニット用の基台が作られた。

【０１０３】こうして、実施の形態６によれば、気体室
を連結する溝が不要になるので、制御ユニットの加工板
１０が反ることを防ぐことができる。かつ、加工板１０
に気体室を設けることが不要であるので、制御ユニット
の加工板１０に対する工程を減らすことができる。

【０１０４】また、流路形成部分１２と封止板１４とを
打ち抜きによって作るので、各噴出孔用の気体室を設け
る工程を不要にすることができ、搬送板Ｄを作るための
加工時間を短くすることができる。

【０１０５】[実施の形態７]以下、図２６〜図３０を参
照して、本発明の実施の形態７について詳細に述べる。
図２６は、実施の形態７に係わる浮上搬送装置用の気体
噴出構造を示す平面図である。図２７は、図２６の部分
的な拡大を示す拡大図である。図２８は、搬送面に設定
された加工位置を示す平面図である。図２９は、図２７
のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面を示す断面図である。図３０
は、係合体の取り付けの様子を示す断面図である。

【０１０６】実施の形態７に係る浮上搬送装置用の気体
噴出構造では、移送ユニットの板部分として次のものを
用いている。つまり、図２６および図２７に示すよう
に、板部分２１の搬送面２１₁に、受け穴２１Ａが空け
られている。なお、図２７は図２６の破線部分２１₂の
拡大図である。

【０１０７】受け穴２１Ａは、図２８に示すように、移
送ユニットの板部分の搬送面２１₁に設定されている、
移送ユニットの噴出孔の加工位置２１Ｂに空けられてい
る。受け穴２１Ａは、図２９に示すように、板部分２１
を貫通する、円筒形をした穴である。受け穴２１Ａの貫
通方向は、搬送面２１₁に対して直角である。つまり、
受け穴２１Ａを形成するための加工が、加工位置２１Ｂ
の部分で搬送面２１₁に対して直角方向から行われる。

【０１０８】係合体２２は、受け穴２１Ａに嵌合する、
直径が受け穴２１Ａと同じである円柱形状をしたもので
ある。係合体２２の上面２２₁には、下面２２₂に貫通す
る噴出孔２２Ａが空けられている。

【０１０９】係合体２２は、次のようにして作られる。
つまり、直径が受け穴２１Ａと同じであり、長さが板部
分２１の厚さと同じである丸棒状のチップが用意され
た。このチップに対して、直径が０．３ｍｍ程度の孔が
設けられた。この孔は、ドリルを用いて、上面２２₁か
ら下面２２₂に達するまで空けられた。開けられた孔が
係合体２２の噴出孔２２Ａである。そして、噴出孔２２
Ａを空けるための加工は、加工機を用いて次のようにし
て行われた。つまり、治具によって挟まれたチップが加
工機にセットされ、加工機に装着されたドリルがチップ
に噴出孔２２Ａを形成した。この結果、噴出孔２２Ａが
上面２２₁に対して傾斜している場合でも、チップが治
具によって傾斜されて保持されたので、加工機による直
角方向からの加工が可能になった。

【０１１０】係合体２２に対する噴出孔２２Ａの加工が
終了すると、図３０に示すように、噴出孔２２Ａの噴出
方向が所定方向に位置決めされて、係合体２２は、が下
面から板部分２１の受け穴２１Ａに打ち込まれて、板部
分２１に挿入された。これによって、図２６に示される
板部分２１が作られた。この後、実施の形態１と同じよ
うにして、流路形成部分が板部分２１に密着状態で取り
付けられ、さらに、封止板が流路形成部分に密着状態で
取り付けられた。こうして、移送ユニット用の搬送板が
作られた。

【０１１１】実施の形態７によって、板部分２１とは別
に作られた係合体２２が板部分２１の受け穴２１Ａに打
ち込まれて、噴出方向が特定された噴出孔が形成され
る。この結果、向きが異なる噴出孔が１枚の板部分２１
に形成される場合でも、板部分２１の向きを変えなが
ら、孔を空ける作業が不要になり、噴出孔の形成を極め
て容易に行うことができる。また、これによって、板部
分２１に対する加工時間を短縮することができる。

【０１１２】また、受け穴２１Ａに係合体２２を打ち込
むので、板部分２１に対する噴出孔の加工ミスの発生を
防ぐことができ、また、加工ミスが発生しても、係合体
２２を受け穴２１Ａから抜き出すだけで、板部分２１に
対する修正を簡単に行うことができる。

【０１１３】［実施の形態８］次に、図３１および図３
２を参照して、本発明の実施の形態８について説明す
る。図３１は、実施の形態８に係わる浮上搬送装置用の
気体噴出構造を示す拡大図である。図３２は、図３１の
ＩＸ−ＩＸ断面を示す断面図である。

【０１１４】実施の形態８では、実施の形態７に対して
ガイド部が設けられている。つまり、図３１および図３
２に示すように、板部分２１に設けられている受け穴２
１Ａの側壁に、溝２３Ａがガイド用溝部として設けられ
ている。溝２３Ａは、噴出孔２２Ａが空けられている位
置を示している。また、係合体２２の側壁には、受け穴
２１Ａの溝２３Ａと嵌合する突出部２３Ｂがガイド用突
出部として設けられている。突出部２３Ｂは、噴出孔２
２Ａによる気体の噴出方向を特定するためのものであ
る。

【０１１５】突出部２３Ｂが溝２３Ａに嵌合することに
よって、受け穴２１Ａに対して、噴出孔２２Ａの噴出方
向を簡単に設定することができる。

【０１１６】［実施の形態９］次に、図３３および図３
４を参照して、本発明の実施の形態９について説明す
る。図３３は、実施の形態９に係わる加工板を示す平面
図である。図３４は、実施の形態９に係わる係合体を示
す平面図である。

【０１１７】実施の形態９では、実施の形態７の受け穴
２１Ａおよび係合体２２に、実施の形態８とは別のガイ
ド部が設けられている。つまり、図３３に示すように、
板部分２１の下面２１₃には、合わせ印２４Ａが設けら
れている。合わせ印２４Ａは、印刷等によって、受け穴
２１Ａの周辺に形成されている。

【０１１８】また、図３４に示すように、係合体２２の
下面２２₂には、合わせ印２４Ｂが設けられている。合
わせ印２４Ｂは、合わせ印２４Ａと位置合わせをするた
めのものであり、噴出孔２２Ａの噴出方向を示してい
る。合わせ印２４Ｂは、印刷等によって、係合体２２の
下面２２₂の外周付近に形成されている。

【０１１９】係合体２２が受け穴２１Ａに打ち込まれる
ときに、係合体２２の合わせ印２４Ｂが、受け穴２１Ａ
の周辺に設けられた合わせ印２４Ａと一致するようにす
る。これよって、係合体２２の噴出孔２２Ａの噴出方向
を受け穴２１Ａに対して簡単に設定することができる。

【０１２０】［実施の形態１０］次に、図３５を参照し
て、本発明の実施の形態１０について説明する。図３５
は、実施の形態１０に係わる浮上搬送装置用の気体噴出
構造を示す平面図である。

【０１２１】実施の形態１０では、実施の形態７〜実施
の形態９の円形状の受け穴２１Ａの代わりに、多角形状
として例えば６角形状の受け穴２５が、板部分２１に空
けられている。また、実施の形態７〜実施の形態９の円
形状の係合体２２の代わりに、受け穴２５と嵌合する形
状の６角形状の係合体２６が、受け穴２５に挿入されて
いる。

【０１２２】６角形状の受け穴２５および係合体２６に
よって、ガイド部が形成されている。この６角形状のガ
イド部によって、噴出孔２２Ａの噴出方向を特定するこ
とができる。

【０１２３】［実施の形態１１］次に、図３６を参照し
て、本発明の実施の形態１１について説明する。図３６
は、実施の形態１１に係わる浮上搬送装置用の気体噴出
構造を示す断面図である。

【０１２４】実施の形態１１では、係止部が実施の形態
７〜実施の形態１０に設けられている。つまり、直径ａ
２の受け穴２１Ａが板部分２１に形成されるときに、搬
送面２１₁近くの受け穴２１Ａに、段差部２７が設けら
れている。段差部２７によって、搬送面２１₁側の受け
穴２１Ａは、直径ａ２に比べて小さなものとなってい
る。こうして、段差部２７が設けられた受け穴２１Ａ
が、板部分２１に空けられている。

【０１２５】係合体２２は、受け穴２１Ａに嵌合する形
状をしている。つまり、直径がａ２である係合体２２
の、上面２２₁近くの部分が、直径ａ２に比べて狭く形
成されている。こうして、受け穴２１Ａと同様に、係合
体２２に対しても、段差部２８が設けられている。

【０１２６】実施の形態１１では、受け穴２１Ａの段差
部２７と、係合体２２の段差部２８とによって、係止部
が形成されている。この係止部によって、係合体２２が
受け穴２１Ａに打ち込まれる際に、係合体２２の上面２
２₁が搬送面２１₁から飛び出ることを防止することがで
きる。この結果、係合体２２の上面２２₁を板部分２１
の搬送面２１₁に対して、簡単に平らにすることができ
る。

【０１２７】［実施の形態１２］次に、本発明の実施の
形態１２について説明する。図３７は、実施の形態１２
に係わる浮上搬送装置用の気体噴出構造を示す断面図で
ある。

【０１２８】実施の形態１２では、実施の形態１１と別
の係止部が、実施の形態７〜実施の形態１０に設けられ
ている。つまり、直径ａ２を最大径とし、直径ａ３を最
小径とする円錐形状の受け穴２９が、板部分２１に空け
られている。受け穴２９の最大径が板部分２１の下面２
１₃に位置し、最小径が板部分２１の搬送面２１₁に位置
している。

【０１２９】噴出孔３０Ａが空けられている係合体３０
は、受け穴２９と嵌合する形状をしている。つまり、係
合体３０は、直径ａ２を最大径とし、直径ａ３を最小径
とし、かつ、長さａ１を高さとする円錐である。

【０１３０】実施の形態１２では、受け穴２９の円錐形
状と、係合体３０の円錐とによって、係止部が形成され
ている。この係止部によって、実施の形態１１と同じよ
うに、係合体３０が受け穴２９に打ち込まれる際に、係
合体３０の上面が搬送面２１ ₁から飛び出ることを防止
することができる。

【０１３１】以上、実施の形態１〜実施の形態１２につ
いて説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定
されることはない。例えば、実施の形態１〜実施の形態
１２では、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のガラス板等を
気流搬送するものを例としたが、本発明は、ガラス板に
限られることなく、各種板状基体を搬送するシステムに
適用可能である。

【０１３２】また、移送ユニットと制御ユニットとに設
けられた噴出孔の配列方式としては、各種のものがあ
り、これら各種の配列方式に本発明の適用が可能であ
る。

【０１３３】また、実施の形態７〜実施の形態１２で
は、板部分が移送ユニット用のものであったが、制御ユ
ニット用の板部分に対しても、同様に本発明の適用が可
能である。

【０１３４】さらに、噴出孔から噴出する気体として、
高純度乾燥空気、高純度窒素ガス、高純度アルゴンガ
ス、高純度炭酸ガス等を用いることが可能である。ウエ
ハを気流搬送する場合には、搬送用のガスとして、不純
物濃度が数ｐｐｂ以下の高純度窒素ガスを用いるのが最
適である。

【０１３５】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明の浮上搬
送装置用の気体噴出構造では、封止板が流路形成部分と
封止部分とを備え、流路形成部分は、上面を加工板の下
面に取り付けられ、噴出方向に応じてグループ化された
噴出部に対して供給系からの気体を流すための供給穴を
それぞれ備え、封止部分は、流路形成部分の下面を覆う
ようにこの流路形成部分に取り付けられたことを特徴と
する。また、本発明の浮上搬送装置用の気体噴出構造で
は、封止板が流路形成部分と封止部分とを備え、流路形
成部分は、上面を加工板の下面に取り付けられ、噴出方
向に応じてグループ化された噴出部に対して気体を流す
ための供給穴をそれぞれ備え、封止部分は、流路形成部
分の下面を覆うようにこの流路形成部分に取り付けら
れ、供給系からの気体を各供給穴に流すことを特徴とす
る。

【０１３６】これによって、グループ化された噴出部に
気体を流すための溝を封止板に設けることが不要なる。
この結果、封止板の変形の発生を防ぐことができる。ま
た、あらかじめ打ち抜き等で作った流路形成部分を用い
るので、搬送板の製造工程に要する時間を短縮すること
ができる。

【０１３７】本発明の浮上搬送装置用の気体噴出構造で
は、加工板が板部分と流路形成部分とを備え、板部分
は、上面が搬送面であり、この上面から下面に貫通する
複数の噴出孔を備え、流路形成部分は、噴出方向に応じ
てグループ化された噴出孔に対して、供給系からの気体
を流すための供給穴をそれぞれ備え、上面に板部分の下
面が取り付けられたことを特徴とする。また、本発明の
浮上搬送装置用の気体噴出構造では、加工板が板部分と
流路形成部分とを備え、板部分は、上面が搬送面であ
り、この上面から下面に貫通する複数の噴出孔を備え、
流路形成部分は、噴出方向に応じてグループ化された噴
出孔に対して気体を流すための供給穴をそれぞれ備え、
上面に板部分の下面が取り付けられ、封止板は、供給系
からの気体を各供給穴に流すことを特徴とする。

【０１３８】これによって、グループ化された噴出孔に
気体を流すための溝を加工板に設けることが不要なる。
この結果、加工板の変形の発生を防ぐことができる。ま
た、あらかじめ打ち抜き等で作った流路形成部分を用い
て加工板を作るので、搬送板の製造工程に要する時間を
短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態１に係わる浮上搬送装置用の気体噴
出構造を示す斜視図である。

【図２】図１の流路形成部分のＩ−Ｉ断面を示す断面図
である。

【図３】図２のＩＩ−ＩＩ断面を示す断面図である。

【図４】実施の形態１に係る搬送板の組み立ての様子を
示す断面図である。

【図５】実施の形態２に係る流路形成部分の断面を示す
断面図である。

【図６】実施の形態２に係る封止部分を示す平面図であ
る。

【図７】実施の形態３に係わる浮上搬送装置用の気体噴
出構造を示す斜視図である。

【図８】図７の平面を示す平面図である。

【図９】図８のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図であ
る。

【図１０】実施の形態３に係る流路形成部分を示す平面
図である。

【図１１】実施の形態３に係る封止部分を示す平面図で
ある。

【図１２】実施の形態３に係る搬送板の組み立ての様子
を示す断面図である。

【図１３】実施の形態４に係わる浮上搬送装置用の気体
噴出構造を示す斜視図である。

【図１４】図１３の板部分のＩＶ−ＩＶ断面を示す断面
図である。

【図１５】図１３のＶ−Ｖ断面を示す断面図である。

【図１６】図１５のＶＩ−ＶＩ断面を示す断面図であ
る。

【図１７】実施の形態４に係る搬送板の組み立ての様子
を示す断面図である。

【図１８】実施の形態５に係る流路形成部分の断面を示
す断面図である。

【図１９】実施の形態５に係る封止板を示す平面図であ
る。

【図２０】実施の形態６に係わる浮上搬送装置用の気体
噴出構造を示す斜視図である。

【図２１】図２０の平面を示す平面図である。

【図２２】図２１のＶＩＩ−ＶＩＩ断面を示す断面図で
ある。

【図２３】実施の形態６に係る流路形成部分を示す平面
図である。

【図２４】実施の形態６に係る封止板を示す平面図であ
る。

【図２５】実施の形態６に係る搬送板の組み立ての様子
を示す断面図である。

【図２６】実施の形態７に係わる浮上搬送装置用の気体
噴出構造を示す平面図である。

【図２７】図２６の部分的な拡大を示す拡大図である。

【図２８】搬送面に設定された加工位置を示す平面図で
ある。

【図２９】図２７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面を示す断面
図である。

【図３０】係合体の取り付けの様子を示す断面図であ
る。

【図３１】実施の形態８に係わる浮上搬送装置用の気体
噴出構造を示す拡大図である。

【図３２】図３１のＩＸ−ＩＸ断面を示す断面図であ
る。

【図３３】実施の形態９に係わる加工板を示す平面図で
ある。

【図３４】実施の形態９に係わる係合体を示す平面図で
ある。

【図３５】実施の形態１０に係わる浮上搬送装置用の気
体噴出構造を示す平面図である。

【図３６】実施の形態１１に係わる浮上搬送装置用の気
体噴出構造を示す断面図である。

【図３７】実施の形態１２に係わる浮上搬送装置用の気
体噴出構造を示す断面図である。

【図３８】従来の板状基体搬送システムを示す平面図で
ある。

【図３９】従来の移送ユニットを示す斜視図である。

【図４０】図３９のＸＩ−ＸＩ断面を示す断面図であ
る。

【図４１】図３９のＸＩＩ−ＸＩＩ断面を示す断面図で
ある。

【図４２】従来の移送ユニットによる噴出方向を示す説
明図である。

【図４３】従来の制御ユニットを示す斜視図である。

【図４４】従来の移送ユニットによる噴出方向を示す説
明図である。

【図４５】従来の移送ユニットの構造を示す断面図であ
る。

【図４６】従来の移送ユニットの加工板に対する加工の
様子を示す断面図である。

【図４７】従来の移送ユニットの加工板に対する加工の
様子を示す断面図である。

【図４８】従来の移送ユニットの加工板の底面を示す底
面図である。

【符号の説明】

Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，１１０Ａ 搬送板 Ａ₁，Ｂ₁，Ｃ₁，１０，２１₁，１１₂，２１₂ 搬送面 １，４，６，１０，１３０ 加工板 １Ａ₁，１Ｂ₁，４１Ｂ₁〜４１Ｈ₁，６Ａ₁，６Ａ₂，１１
Ｂ〜１１Ｈ，２２Ａ，３０Ａ，１１３，１１５，２１４
〜２１８，２５１〜２５３ 噴出孔 １Ａ₂，１Ｂ₂，４１Ｂ₂〜４１Ｈ₂，１１４，１１６ 気
体室 ２，７，９，１４，１４０ 封止板 ２Ａ，３Ａ，５Ａ，６Ｂ，８，１２ 流路形成部分 ２Ａ₁〜２Ａ₇，２Ａ₁₁，２Ａ₁₂，３Ａ₁〜３Ａ₇，３Ａ₁₁
〜３Ａ₁₃，５Ａ₁₂〜５Ａ₁₇，６Ｂ₁〜６Ｂ₇，６Ｂ₁₁，６
Ｂ₁₂，８Ａ〜８Ｊ，９Ａ，９Ｂ，１２Ｂ〜１２Ｇ 供給
穴 ５Ａ₁₁，１２Ａ 吸引穴 ２Ａ₂₁，６Ｂ₂₁ 側面 ２Ａ₂₂，４１₁，５Ａ₂₁，５Ｂ₂₁，６Ａ₁₁，６Ｂ₂₂，１
１₁，１２₁₁，１４₁，２２₁ 上面 １Ｄ，２Ａ₂₃，４１₂，５Ａ₂₂，５Ｂ₂₂，６Ａ₁₂，６Ｂ
₂₃，１１₂，１２₁₂，１４₂，２２₂，１２１₃，１３１
下面 ２Ｂ，３Ｂ，５Ｂ 封止部分 ３Ｂ₁，３Ａ₂，５Ｂ₁〜５Ｂ₇，１４Ａ〜１４Ｇ 接続穴 １１₁₁〜１１₁₄，１１₂₁〜１１₂₃，４１₁₁〜４１₁₄，４
１₂₁〜４１₂₃，２２１〜２２６ 設定ライン １１Ａ，４１Ａ，２１３ 吸引口 １１Ｂ₁〜１１Ｅ₁，
４２Ｂ〜４２Ｆ，１１３Ａ，１１５Ａ，２１４Ａ〜２１
８Ａ，２５１Ａ〜２５３Ａ 噴出方向 ５Ａ₁，５Ａ₂，１２₁，１２₂ 円板 ６Ａ，１１，２１ 板部分 ２１₂ 破線部分 ２１Ａ，２５，２９ 受け穴 ２１Ｂ 加工位置 ２２，２６，３０ 係合体 ２３Ａ 溝 ２３Ｂ 突出部 ２４Ａ，２４Ｂ 合わせ印 ２７，２８ 段差部 １００ 移送ユニット １１０，２１０ 基台 １１１，２１１ 供給系 １１２Ａ 中心 １２０，２２０ 囲い材 １３２ 穴 １３４ 孔 １３５，１３６ 溝 ２００ 制御ユニット ３００ ガラス板 ３１０ 移動方向 ３１１ 転換方向

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 辻村 正之 埼玉県大里郡川本町田中568 株式会社ワ コム電創内 (72)発明者 都田 昌之 山形県米沢市東２丁目７の139 (72)発明者 楠原 昌樹 東京都中央区日本橋室町４丁目２番16号 株式会社渡邊商行内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 CA05 GA63

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送面から噴出する気体で板状基体を浮
   上させる搬送板と、この搬送板に気体を供給する供給系
   とを備え、前記搬送板が加工板と封止板とを備え、前記
   加工板が、下面から供給された気体を上面である搬送面
   から噴出する複数の噴出部を備え、前記封止板が前記加
   工板の下面に取り付けられた浮上搬送装置用の気体噴出
   構造において、 前記封止板が流路形成部分と封止部分とを備え、 前記流路形成部分は、上面を前記加工板の下面に取り付
   けられ、噴出方向に応じてグループ化された前記噴出部
   に対して前記供給系からの気体を流すための供給穴をそ
   れぞれ備え、 前記封止部分は、前記流路形成部分の下面を覆うように
   この流路形成部分に取り付けられたことを特徴とする浮
   上搬送装置用の気体噴出構造。
2. 【請求項２】 搬送面から噴出する気体で板状基体を浮
   上させる搬送板と、この搬送板に気体を供給する供給系
   とを備え、前記搬送板が加工板と封止板とを備え、前記
   加工板は、下面から供給された気体を上面である搬送面
   から噴出する複数の噴出部を備え、前記封止板が前記加
   工板の下面に取り付けられた浮上搬送装置用の気体噴出
   構造において、 前記封止板が流路形成部分と封止部分とを備え、 前記流路形成部分は、上面を前記加工板の下面に取り付
   けられ、噴出方向に応じてグループ化された前記噴出部
   に対して気体を流すための供給穴をそれぞれ備え、 前記封止部分は、前記流路形成部分の下面を覆うように
   この流路形成部分に取り付けられ、前記供給系からの気
   体を前記各供給穴に流すことを特徴とする浮上搬送装置
   用の気体噴出構造。
3. 【請求項３】 搬送面から噴出する気体で板状基体を浮
   上させる搬送板と、この搬送板に気体を供給する供給系
   とを備え、前記搬送板が加工板と封止板とを備え、前記
   加工板の上面が前記搬送面であり、前記封止板が前記加
   工板の下面を覆うように取り付けられた浮上搬送装置用
   の気体噴出構造において、 前記加工板が板部分と流路形成部分とを備え、 前記板部分は、上面が前記搬送面であり、この上面から
   下面に貫通する複数の噴出孔を備え、 前記流路形成部分は、噴出方向に応じてグループ化され
   た前記噴出孔に対して、前記供給系からの気体を流すた
   めの供給穴をそれぞれ備え、上面に前記板部分の下面が
   取り付けられたことを特徴とする浮上搬送装置用の気体
   噴出構造。
4. 【請求項４】 搬送面から噴出する気体で板状基体を浮
   上させる搬送板と、この搬送板に気体を供給する供給系
   とを備え、前記搬送板が加工板と封止板とを備え、前記
   加工板の上面が前記搬送面であり、前記封止板が前記加
   工板の下面を覆うように取り付けられた浮上搬送装置用
   の気体噴出構造において、 前記加工板が板部分と流路形成部分とを備え、 前記板部分は、上面が前記搬送面であり、この上面から
   下面に貫通する複数の噴出孔を備え、 前記流路形成部分は、噴出方向に応じてグループ化され
   た前記噴出孔に対して気体を流すための供給穴をそれぞ
   れ備え、上面に前記板部分の下面が取り付けられ、 前記封止板は、前記供給系からの気体を前記各供給穴に
   流すことを特徴とする浮上搬送装置用の気体噴出構造。