KR20110031158A

KR20110031158A - 선회류 형성체 및 비접촉 반송 장치

Info

Publication number: KR20110031158A
Application number: KR1020107028290A
Authority: KR
Inventors: 히데오 오자와; 코이치 츠노다; 히토시 이와사카; 히데유키 토쿠나가; 유지 카사이
Original assignee: 오일레스고교 가부시키가이샤; 가부시키가이샤 하모테크
Priority date: 2008-07-10
Filing date: 2009-04-22
Publication date: 2011-03-24
Also published as: JPWO2010004800A1; JP5425069B2; KR101588440B1; TW201002596A; CN102083720A; WO2010004800A1; CN102083720B

Abstract

피반송물의 반송 과정에서 피반송물이 기체나 선회류 형성체와 접촉하는 것을 회피하여, 피반송물에 상처를 입히는 것을 방지한다.
표면으로부터 이면으로 관통하는 횡단면 원형의 관통 구멍(11)과, 관통 구멍(11)의 내주측면으로부터 유체를 분출시켜 선회류를 발생시키는 제1 분출구(14a, 14b)와, 평판부(18)로부터 상방을 향하여 유체를 분출하는 제2 분출구(16a~16d)를 구비하는 선회류 형성체(1). 제1 분출구(14a, 14b)로부터의 선회류에 의해 생기는 부력이 부족한 경우에도, 제2 분출구(16a~16d)로부터의 상승류에 의해 유리(3)를 보조적으로 부상시킬 수 있다. 이 때문에 유리(3)의 반송 과정에서 유리(3)의 가장자리부가 선회류 형성체(1)의 일부와 겹쳐지는 상태가 되어도, 유리(3)의 가장자리부가 선회류 형성체(1)와 접촉하는 것을 회피할 수 있다.

Description

선회류 형성체 및 비접촉 반송 장치{SWIRL FLOW FORMING BODY AND NON-CONTACT CONVEYING DEVICE}

본 발명은 선회류 형성체 및 비접촉 반송 장치에 관한 것으로, 특히 대형의 FPD 패널이나 태양전지 패널 등의 부상 반송에 사용하는 장치 등에 관한 것이다.

종래, FPD 패널이나 태양전지 패널의 생산시에, 1장의 패널을 대형화함으로써 생산 효율을 높이는 방법이 채용되어 있다. 예를 들어, 액정 유리의 경우에는, 제10세대에서 2850×3050×0.7mm의 크기가 된다. 그 때문에, 종래와 같이 복수개 늘어놓은 롤러상에 액정 패널을 얹어 굴림 반송하면, 샤프트의 휨이나 롤러 높이의 불균일에 의해 유리에 국부적으로 강한 힘이 작용하여, 유리를 상처입힐 우려가 있다. 또한, 프로세스 공정에서는 비접촉일 것이 요구되고 있기 때문에, 공기 부상 반송이 채용되기 시작하고 있다.

공기 부상 반송 장치의 일례로서, 액정용의 유리를 부상시킴에 있어서, 작은 직경의 구멍을 복수개 설치하고, 이들 작은 직경의 구멍으로부터 공기가 분출되는 판형상의 레일을 유리의 크기에 맞추어 복수개 서로 연결시켜 반송 장치를 구성하는 것이 행해지고 있다. 또, 다공질 카본을 레일재로 사용하여, 그 기공으로부터 공기를 분출시키는 방법도 존재한다.

그러나, 상기한 방법에 있어서는, 1000×1000mm의 면적당의 공기 유량으로서 다수공(多數孔) 타입에서 250L/min, 카본 다공질 타입에서 150L/min을 필요로 하여, 매우 많은 공기 유량이 요구된다. 또, 종래의 비접촉 반송 장치는 진공흡착과 공기의 분출의 힘의 균형 원리를 이용하여 부상 높이의 정밀도를 유지하는데, 그 때, 진공흡착용으로 상시 펌프를 운전할 필요가 있기 때문에, 엄청난 에너지를 소비한다는 문제도 있다.

그래서, 본 출원인은 부상 높이 정밀도를 높게 유지하면서, 공기 유량 및 에너지 소비량을 저감하기 위해서, 선회류를 이용한 비접촉 반송 장치를 제안했다(특허문헌 1 참조). 이 비접촉 반송 장치는 도 10에 도시한 바와 같이 표면으로부터 이면으로 관통하는 횡단면 원형의 관통 구멍(61)과, 관통 구멍(61)내에 공기를 분출하여 선회류를 발생시키는 유체 분출구(62)와, 유체 분출구(62)에 공기를 공급하는 원환형상의 급기 홈(63)을 가지는 선회류 형성체(64)를 구비한다. 그리고, 급기 홈(63)에 공기를 공급하는 공기 공급로(65)가 설치된 기체(레일)(66)의 표면에, 상기한 선회류 형성체(64)를 배치하여 반송 장치를 구성한다.

상기 비접촉 반송 장치에 의하면, 선회류 형성체(64)의 표면측에 상방을 향하는 상승 선회류를 발생시킴으로써 피반송물(유리)(67)을 부상시키고, 그것에 의해, 종래의 1/2정도의 공기 유량에서의 반송을 가능하게 한다. 한편, 관통 구멍(61)의 개구부 근방에 부압에 의한 하방으로의 공기류를 발생시켜, 부상 높이 정밀도를 유지하기 위한 진공흡착과 동등한 효과를 발휘시킨다. 이것에 의해, 진공흡착용의 펌프가 불필요하여 에너지 소비량을 저감시킨다.

일본 특허 출원 2008-75068호

상기 비접촉 반송 장치를 사용하여, FPD 패널이나 태양전지 패널 등의 대형 패널을 반송하는 경우, 도 11에 도시한 바와 같이 기체(66)의 표면상에 피반송물의 반송 방향을 따라 다수의 선회류 형성체(64)를 늘어놓아 배치하고, 피반송물(67)을 부상시키면서 순차 이동시켜 간다.

그러나, 이 반송 장치에서는 피반송물(67)이 레일(66)상을 이동할 때, 피반송물(67)의 가장자리부가 선회류 형성체(64)의 중앙부 근방에 위치하는 상태가 되면, 피반송물(67)이 선회류 형성체(64)에 접촉할 우려가 있었다. 즉, 도 11의 영역 M에 있어서는, 피반송물(67)이 선회류 형성체(64)의 일부하고만 겹쳐지게 되기 때문에, 상승 선회류에 의한 부상력이 부족한 한편, 관통 구멍(61)의 중앙부 근방에서는, 부압에 의한 하방으로의 공기류가 발생하여 흡착력이 작용한다. 이 때문에, 강성이 작은 박판형상의 피반송물을 반송하면, 도 12에 도시한 바와 같이 가장자리부(67a)가 관통 구멍(61)의 내측에 끌려들어가 국부적인 휨이 발생하고, 기체(66)나 관통 구멍(61)의 개구단부에 접촉하여 상처입힐 위험성이 있었다.

그래서, 본 발명은 상기한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 피부상물이 선회류 형성체와 부분적으로 겹쳐지는 상태여도, 피부상물이 선회류 형성체와 접촉하는 것을 회피하여, 피부상물에 상처를 입히는 것을 방지할 수 있는 선회류 형성체를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또, 본 발명의 다른 목적은 피반송물의 반송 과정에서 피반송물의 가장자리부가 선회류 형성체의 일부와 겹쳐지는 상태가 되어도, 피반송물의 가장자리부가 기체나 선회류 형성체와 접촉하는 것을 회피하여, 피반송물에 상처를 입히는 것을 방지할 수 있는 비접촉 반송 장치를 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 선회류 형성체로서, 적어도 표면측에서 개구하는 횡단면 원형의 구멍과, 이 구멍의 내주측면으로부터 유체를 분출시켜 선회류를 발생시키는 제1 유체 분출구와, 상기 표면으로부터 상방을 향하여 유체를 분출하는 제2 유체 분출구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

그리고, 본 발명에 의하면, 제1 유체 분출구로부터의 선회류에 의해 생기는 부력이 부족한 경우에도, 제2 유체 분출구로부터의 상승류에 의해 보조적인 부력을 부여할 수 있어, 피부상물을 부상시킬 수 있다. 이 때문에, 피부상물이 선회류 형성체와 부분적으로 겹쳐지는 상태여도, 피부상물이 선회류 형성체와 접촉하는 것을 회피하여, 피부상물에 상처를 입히는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.

상기 선회류 형성체에 있어서, 상기 제2 유체 분출구를 상기 구멍의 개구부 주변에 복수 설치할 수 있고, 바람직하게는 구멍을 중심으로 하여 십자형상으로 배치할 수 있다.

상기 선회류 형성체에 있어서, 상기 제2 유체 분출구에 유체를 반송하는 유체 통로에 조리개를 설치할 수 있고, 이것에 의하면, 제2 유체 분출구의 수나 유체유량을 적게 해도 높은 부력을 얻을 수 있다.

또, 본 발명은, 비접촉 반송 장치로서, 적어도 표면측에서 개구하는 횡단면 원형의 구멍과, 이 구멍의 내주측면으로부터 유체를 분출시켜 선회류를 발생시키는 제1 유체 분출구와, 상기 표면으로부터 상방을 향하여 유체를 분출하는 제2 유체 분출구를 가지는 선회류 형성체를, 기체의 반송면에 구비하는 것을 특징으로 한다.

그리고, 본 발명에 의하면, 제1 유체 분출구로부터의 선회류에 의해 생기는 부력이 부족한 경우에도, 제2 유체 분출구로부터의 상승류에 의해 보조적인 부력을 부여할 수 있어, 피반송물을 부상시킬 수 있다. 이 때문에, 피반송물의 반송 과정에서 피반송물의 가장자리부가 선회류 형성체의 일부와 겹쳐지는 상태가 되어도, 피반송물의 가장자리부가 기체나 선회류 형성체와 접촉하는 것을 회피하여, 피반송물에 상처를 입히는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 선회류 형성체를, 이면에 상기 제1 및 제2 유체 분출구에 연통하는 평면에서 보아 원형의 홈부를 구비하도록, 상기 기체를, 반송면에 상기 홈부에 연통하는 유체 공급구를 구비하고, 이 유체 공급구를 통하여 상기 홈부에 유체가 공급되도록 구성할 수 있다. 이것에 의해, 기체의 반송면에는 유체 공급구를 뚫어 설치하기만 하면 되기 때문에, 기체를 간단한 구성으로 할 수 있다.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 기체를, 상기 반송면에 평면에서 보아 원형의 홈부를 구비하도록, 상기 선회류 형성체를, 상기 홈부 및 상기 제1 유체 분출구에 연통하는 제1 유체 통로와, 상기 홈부 및 상기 제2 유체 분출구에 연통하는 제2 유체 통로를 구비하고, 상기 홈부를 통하여 상기 제1 및 제2 유체 통로에 유체가 공급되도록 구성할 수 있다. 이것에 의해, 선회류 형성체의 이면에는 유체 분출구 및 유체 통로를 형성하기만 하면 되기 때문에, 선회류 형성체를 간단한 구성으로 할 수 있다.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 선회류 형성체를 상기 기체의 반송면에 형성한 오목부에 수용할 수 있다. 또, 상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 기체의 반송면에 형성한 오목부에 상기 선회류 형성체를 수용하고, 이 오목부의 내주측면을 변형시켜서 상기 선회류 형성체를 코킹 접합할 수 있다. 이것에 의해, 접착제를 사용하지 않고, 선회류 형성체와 기체 사이의 기밀 상태도 유지하면서 용이하게 선회류 형성체를 기체에 장착할 수 있다.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 선회류 형성체를 상기 기체에 2열에 걸쳐 각 열에 복수개 배치하고, 일방의 열에 속하는 선회류 형성체의 각각의 선회류의 방향과, 타방의 열에 속하는 선회류 형성체의 각각의 선회류의 방향이 서로 상이하게 구성할 수 있다. 이 구성에 의해, 인접하는 열의 이웃하는 선회류 형성체로부터의 선회류가 증강되어, 선회류 형성체로부터 분출되는 유체에 의해 피반송물을 부상시키면서 반송할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 피반송물의 반송 과정에서 피반송물이 다른 부재와 접촉하는 것을 회피하여, 피반송물에 상처를 입히는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.

도 1은 본 발명에 따른 선회류 형성체의 제1 실시형태를 나타내는 도면으로서, (a)는 상면도, (b)는 (a)의 A-A선 단면도, (c)는 하면도, (d)는 (c)의 B-B선 단면도, (e)는 선회류 형성체의 이면을 (c)에 나타내는 선회류 형성체의 이면과 어긋나도록 형성한 경우를 나타내는 하면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제1 실시형태를 나타내는 도면으로서, (a)는 상면도, (b)는 (a)의 영역 C의 확대도, (c)는 (a)의 영역 D의 확대도이다.
도 3은 (a)는 도 2(b)의 E-E선 단면도, (b)는 (a)의 G-G 선 단면도이다.
도 4는 도 2(c)의 F-F선 단면도이며, 피반송물의 가장자리부가 선회류 형성체의 일부와 겹쳐지는 영역에서의 단면도이다.
도 5는 도 1의 선회류 형성체를 기체의 오목부에 코킹 접합하는 경우를 나타내는 단면도이다.
도 6은 코킹 접합의 다른 예를 나타내는 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제2 실시형태를 나타내는 도면으로서, (a)는 상면도, (b)는 (a)의 H-H선 단면도, (c)는 하면도, (d)는 (c)의 J-J선 단면도, (e)는 선회류 형성체의 이면을 (c)에 나타내는 선회류 형성체의 이면과 어긋나도록 형성한 경우를 나타내는 하면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제2 실시형태를 나타내는 도면으로서, (a)는 도 2(b)의 E-E선 단면에 상당하는 단면의 단면도, (b)는 (a)의 K-K선 단면도이다.
도 9는 도 2(c)의 F-F선 단면에 상당하는 단면의 단면도이며, 피반송물의 가장자리부가 선회류 형성체의 일부와 겹쳐지는 영역에서의 단면도이다.
도 10은 종래의 비접촉 반송 장치를 나타내는 단면도이다.
도 11은 종래의 비접촉 반송 장치를 나타내는 상면도이다.
도 12는 피반송물의 가장자리부가 선회류 형성체의 일부와 겹쳐지는 영역에서의 단면도이다.

다음에, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서는, 반송용 유체로서 공기를 사용하고, 피반송물로서 액정용의 유리(3)를 반송하는 경우를 예로 들어서 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 선회류 형성체의 제1 실시형태를 나타내며, (a)는 상면도, (b)는 (a)의 A-A선 단면도, (c)는 하면도, (d)는 (c)의 B-B선 단면도이다. 또한, 도 1(e)에 관한 설명은 후술한다.

이 선회류 형성체(1)는 표면으로부터 이면으로 관통하는 횡단면 원형의 관통 구멍(11)과, 이면에 설치되고, 공기를 받아들이는 환형상 홈(12)과, 환형상 홈(12)에 고인 공기를 공기 통로(13)를 통하여 관통 구멍(11)의 내주측면으로부터 분출시키고, 관통 구멍(11)의 내주방향을 따라 선회류를 발생시키는 제1 분출구(14a, 14b)와, 환형상 홈(12)에 고인 공기를 공기 통로(15)를 통하여 선회류 형성체(1)의 표면으로부터 분출시키고, 상방을 향하는 상승류를 발생시키는 제2 분출구(16a~16d)로 구성된다. 또한, 선회류 형성체(1)의 표면은 모따기 가공되어, 모따기부(17a, 17b)가 형성된다.

제2 분출구(16a~16d)는 도 1(a)에 도시한 바와 같이 예를 들어 4개 설치되고, 관통 구멍(11)을 중심으로 하여 십자형상으로 배치된다. 이들 제2 분출구(16a~16d)는 도 1(b)에 도시한 바와 같이 공기 통로(15)에 조리개가 설치되어, 자체형성 조리개로 가공된다. 또한, 제2 분출구(16)의 수는 반드시 4개일 필요는 없고, 예를 들어, 제2 분출구(16)를 5개 설치하여 오각형상으로 배치해도 되고, 3개를 삼각형상으로 배치해도 된다. 또, 조리개에 대해서도, 자체형성 조리개에 한정되는 것은 아니며, 오리피스 조리개나 슬롯 조리개 등을 사용할 수 있다.

도 2 및 도 3은 상기 선회류 형성체(1)를 사용한 비접촉 반송 장치를 나타내고, 도 3(a)는 도 2(b)의 E-E선 단면도, (b)는 도 3(a)의 G-G선 단면도이다. 이 비접촉 반송 장치(20)는 도 2(a)에 도시한 바와 같이 선회류 형성체(1a, 1b)를 판형상의 기체(2)에 2열에 걸쳐 지면상에서 상하 좌우로 교대로 복수개 설치하여 구성된다. 유리(3) 등의 반송에 있어서, 대형 패널 등을 대상으로 하는 경우에는, 비접촉 반송 장치(20)를 병렬로 복수기(예를 들어 3기) 배치하여 반송 래인(10)을 구성한다.

여기서, 선회류 형성체(1a, 1b)는 모두 도 1에 나타내는 선회류 형성체(1)와 마찬가지의 것인데, 선회류 형성체(1b)는 선회류 형성체(1a)와 역방향의 선회류를 발생시키도록 구성된다. 이 때문에, 도 1(c), (e)에 도시한 바와 같이 선회류 형성체(1b)의 제1 분출구(14a, 14b)는 선회류 형성체(1a)의 그것과 위치가 어긋나도록 배치된다. 또한, 도 2(a)에 있어서는, 도면을 보기 쉽게 하기 위해서, 선회류 형성체(1b)를 검은색으로 나타내고 있다.

도 3에 도시한 바와 같이, 기체(2)는 선회류 형성체(1)를 수용하는 오목부(21)와, 기체(2)의 장축 방향으로 연장설치되어, 펌프(도시하지 않음)로부터 공급되는 공기를 반송하는 공기 통로(22)와, 공기 통로(22)중을 흐르는 공기를 선회류 형성체(1)의 환형상 홈(12)에 공급하는 관통 구멍(23)을 구비한다. 또한, 기체(2)와 선회류 형성체(1)의 접합은 접착제 등을 사용하여, 선회류 형성체(1)의 바닥면을 기체(2)의 오목부(21)에 고정함으로써 행해진다.

다음에, 상기 선회류 형성체 및 비접촉 반송 장치의 동작에 대해서, 도 1 내지 도 4를 참조하면서 설명한다.

도 3에 도시한 바와 같이, 펌프로부터 기체(2)의 공기 통로(22)에 공급된 공기는 관통 구멍(23)을 통하여 선회류 형성체(1)의 환형상 홈(12)에 공급되어, 공기 통로(13)(도 1(c) 참조)를 통하여 제1 분출구(14a, 14b)로부터 분출된다. 이것에 의해, 선회류 형성체(1)의 표면측의 평판부(18)의 상방에 있어서, 상승 선회류를 발생시킴과 아울러, 관통 구멍(11)의 개구부 근방에 있어서, 부압에 의한 이면 방향으로의 공기 흐름을 발생시킨다. 또, 환형상 홈(12)에 공급된 공기는 공기 통로(15)(도 1(b) 참조)를 통하여 제2 분출구(16a~16d)로부터 분출되고, 평판부(18)로부터 상방을 향하는 상승류를 발생시킨다.

이 때, 유리(3)와 선회류 형성체(1)의 전체가 겹쳐지는 영역(도 2의 영역 C)에 있어서는, 평판부(18)의 상방에 생성된 상승 선회류에 의해, 피반송물인 액정용의 유리(3)를 부상시킴과 동시에, 관통 구멍(11)의 개구부 근방에 생성된 이면 방향으로의 공기 흐름에 의해, 유리(3)를 기체(2)측으로 끌어 당겨, 유리(3)의 부상 높이 정밀도를 유지한다. 또, 제2 분출구(16a~16d)로부터의 상승류도 보조 부력으로서 기능하여, 유리(3)를 부상시키도록 작용한다.

또, 선회류 형성체(1a, 1b)의 선회류는 서로 역방향이며, 도 2(a)의 지면상에서 상하 좌우로 선회류 형성체(1a, 1b)를 교대로 배치했기 때문에, 각각의 선회류 형성체(1a, 1b)가 형성한 선회류의 수평분력이 상쇄된다. 이것에 의해, 선회류에 의해 유리(3)에 부가되는 힘은 부상력 및 흡인력의 2개의 연직성분의 힘만이 되어, 유리(3)의 회전을 확실히 방지할 수 있다.

한편, 유리(3)와 선회류 형성체(1)의 일부가 겹쳐지는 영역(도 2의 영역 D)에 있어서는, 평판부(18)의 상방에 생성된 상승 선회류에 의한 부력이 부족하지만, 도 4에 도시한 바와 같이, 제2 분출구(16a~16d)로부터의 상승류가 유리(3)에 보조적인 부력을 주어, 당해 부력의 부족분을 보충한다. 이것에 의해, 유리(3)의 가장자리부(3a) 및 외측 가장자리(3b)를 부상시켜서 유리(3)의 휨(변형)을 억제하고, 유리(3)가 기체(2)나 관통 구멍(11)의 개구단부에 접촉하는 것을 회피한다. 또한, 본 영역에 있어서도, 부압에 의한 흡착력은 작용하고 있어, 유리(3)를 끌어당겨서 안정적으로 부상시킨다.

이렇게 하여 부상한 유리(3)는 도시하지 않은 리니어 모터, 마찰 롤러, 벨트 등에 의해 반송 구동력이 부여되어, 도 2(a)에 나타내는 화살표 방향으로 반송된다.

또한, 상기 실시형태에 있어서는, 유체로서 공기를 사용하는 경우에 대해서 설명했지만, 공기 이외의 질소 등의 프로세스 가스를 사용할 수도 있다. 또, 선회류 형성체(1)에 관통 구멍(11)을 설치했지만, 관통 구멍(11) 대신에 선회류 형성체(1)의 표면측에서 개구하는 횡단면 원형의 오목부를 설치해도 된다. 또한, 제2 분출구(16a~16d)에 연통하는 공기 통로(15)에 조리개를 설치했지만, 조리개는 불가결한 것이 아니며 생략할 수도 있다.

또, 선회류 형성체(1)의 바닥면을 기체(2)의 오목부(21)에 접착제 등으로 고정함으로써, 기체(2)와 선회류 형성체(1)를 접합하는데, 도 5에 도시한 바와 같이 기체(2)의 오목부(21)의 주변에 환형상 오목부(51) 및 융기부(52)를 설치하고, 선회류 형성체(1)를 코킹 접합해도 된다. 코킹 접합에 있어서는, 기체(2)의 오목부(21)에 선회류 형성체(1)를 탑재시킨 후, 지그(53)의 선단부(53a)를 기체(2)의 환형상 오목부(51)에 삽입하고, 융기부(52)를 선회류 형성체(1)측으로 압압한다. 이것에 의해, 오목부(21)의 내주측면을 선회류 형성체(1)의 모따기부(17b)를 따라 경사시켜, 선회류 형성체(1)를 고정한다. 이 방법에 따르면, 기체(2)의 표면 가공이 필요하게 되지만, 접착제 등의 도포에 의한 선회류 형성체(1)의 경사를 고려할 필요가 없어지기 때문에, 유리(3)의 부상 높이 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 도 6은 기체(2)와 선회류 형성체(1)를 코킹 접합하는 다른 방법을 나타내는 것으로, 이 방법은 예리한 환형상 날(55a)을 구비한 지그(55)를 사용하여, 선회류 형성체(1)를 기판(2)에 고정하는 것이다. 이 방법에서는, 기체(2)의 오목부(21)에 선회류 형성체(1)를 탑재시킨 후, 지그(55)의 환형상 날(55a)을 기판(2)에 대고 눌러 오목부(21)의 주위를 압압하고, 기체(2)의 표면의 일부를 소성 변형시킨다. 이것에 의해, 오목부(21)의 내주측면을 선회류 형성체(1)의 모따기부(17b)를 따라 경사시켜, 선회류 형성체(1)를 고정한다. 이 방법에 따르면, 도 5에 나타내는 환형상 오목부(51)나 융기부(52)가 불필요해지기 때문에, 저렴한 코킹 고정을 행할 수 있다.

도 7은 본 발명에 따른 선회류 형성체의 제2 실시형태를 나타내며, (a)는 상면도, (b)는 (a)의 H-H선 단면도, (c)는 하면도, (d)는 (c)의 J-J선 단면도, (e)는 선회류 형성체의 이면을 (c)에 나타내는 선회류 형성체의 이면과 어긋나도록 형성한 경우를 나타내는 하면도이다.

이 선회류 형성체(30)는 표면으로부터 이면으로 관통하는 횡단면 원형의 관통 구멍(31)과, 관통 구멍(31)의 내주측면으로부터 공기를 분출시키고, 관통 구멍(31)의 내주방향을 따라 선회류를 발생시키는 제1 분출구(32a, 32b)와, 선회류 형성체(30)의 표면으로부터 공기를 분출시키고, 상방을 향하는 상승류를 발생시키는 제2 분출구(33a~33d)를 구비한다. 또, 도 7(c) 및 (d)에 도시한 바와 같이, 선회류 형성체(30)의 이면에는 공기 통로(34)를 통하여 제1 분출구(32a, 32b)에 공기를 공급하는 제1 오목부(35a, 35b)와, 공기 통로(36)를 통하여 제2 분출구(33a~33d)에 공기를 공급하는 제2 오목부(37a~37d)가 설치된다.

도 8은 상기 선회류 형성체(30)를 사용한 비접촉 반송 장치를 나타내며, (a)는 도 2(b)의 E-E선 단면에 상당하는 단면의 단면도, (b)는 (a)의 K-K선 단면도이다. 기체(40)는 선회류 형성체(30)를 수용하는 오목부(41)와, 기체(40)의 장축 방향으로 연장설치되어, 펌프로부터 공급되는 공기를 반송하는 공기 통로(42)와, 선회류 형성체(30)의 이면에 설치된 제1 및 제2 오목부(35a~37d)(도 7(c) 참조)에 공기를 공급하기 위한 평면에서 보아 원형의 환형상 홈(43)과, 공기 통로(42)로부터 환형상 홈(43)에 공기를 반송하는 관통 구멍(44)을 구비한다.

또한, 도시는 생략하지만, 선회류 형성체(30)를 사용하는 경우에도, 도 2에 도시한 경우와 마찬가지로 복수의 선회류 형성체(30)를 기체(40)에 2열에 걸쳐 설치하여 비접촉 반송 장치를 구성함과 아울러, 그 비접촉 반송 장치를 병렬로 복수기 배치하여 반송 래인을 구성한다. 또, 선회류 형성체(30)의 배치 방법에 대해서도, 상하 좌우로 이웃하는 선회류 형성체(30)가 상반되는 방향의 선회류를 발생시키도록 배치한다.

다음에, 상기 선회류 형성체 및 비접촉 반송 장치의 동작에 대해서, 도 7 내지 도 9를 참조하면서 설명한다.

도 8에 도시한 바와 같이, 펌프로부터 기체(40)의 공기 통로(42)에 공급된 공기는 관통 구멍(44)을 통하여 환형상 홈(43)에 공급되고, 환형상 홈(43)으로부터 선회류 형성체(30)의 제1 오목부(35a, 35b)(도 7(c) 참조)에 공급되어, 공기 통로(34)를 통하여 제1 분출구(32a, 32b)로부터 관통 구멍(31)으로 분출된다. 이것에 의해, 선회류 형성체(30)의 표면측의 평판부(38)의 상방에 있어서, 상승 선회류를 발생시킴과 아울러, 관통 구멍(31)의 개구부 근방에 있어서, 부압에 의한 이면 방향으로의 공기류를 발생시킨다. 또, 환형상 홈(43)에 공급된 공기는 제2 오목부(37a~37d) 및 공기 통로(36)(도 7(c) 참조)를 통하여 제2 분출구(33a~33d)로부터 분출되고, 평판부(38)로부터 상방을 향하는 상승류를 발생시킨다.

도 9에 도시한 바와 같이, 상기한 경우에도, 유리(3)의 가장자리부가 선회류 형성체(30)의 일부와 겹쳐지는 영역에 있어서는, 제2 분출구(33a~33d)로부터의 상승류가 유리(3)에 보조적인 부력을 주어, 유리(3)의 가장자리부(3a) 및 외측 가장자리(3b)를 들어올리도록 작용한다. 따라서, 제1 실시형태와 마찬가지로 유리(3)의 가장자리부(3a)가 기체(40)나 관통 구멍(31)의 개구단부에 접촉하는 것을 회피하여, 유리(3)에 상처를 입히는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 실시형태에 있어서도, 유체로서 공기 이외의 유체를 사용할 수 있고, 또, 관통 구멍(31) 대신에 선회류 형성체(30)의 표면측에서 개구하는 횡단면 원형의 오목부를 설치할 수 있다. 또한, 제2 분출구(33a~33d)에 연통하는 공기 통로(35)의 조리개를 생략해도 되며, 또, 도 5 및 도 6에 도시한 경우와 마찬가지로 하여, 선회류 형성체(30)를 코킹 접합할 수도 있다.

1(1a, 1b)…선회류 형성체
2…기체
3…유리
3a…가장자리부
3b…외측 가장자리
10…반송 래인
11…관통 구멍
12…환형상 홈
13…공기 통로
14(14a, 14b)…제1 분출구
15…공기 통로
16(16a~16d)…제2 분출구
17(17a, 17b)…모따기부
18…평판부
20…비접촉 반송 장치
21…오목부
22…공기 통로
23…관통 구멍
30…선회류 형성체
31…관통 구멍
32(32a, 32b)…제1 분출구
33(33a~33d)…제2 분출구
34…공기 통로
35(35a, 35b)…제1 오목부
36…공기 통로
37(37a~37d)…제2 오목부
38…평판부
40…기체
41…오목부
42…공기 통로
43…환형상 홈
44…관통 구멍
51…환형상 오목부
52…융기부
53…지그
53a…선단부
55…지그
55a…환형상 날

Claims

적어도 표면측에서 개구하는 횡단면 원형의 구멍과,
이 구멍의 내주측면으로부터 유체를 분출시켜 선회류를 발생시키는 제1 유체 분출구와,
상기 표면으로부터 상방을 향하여 유체를 분출하는 제2 유체 분출구를 구비하는 것을 특징으로 하는 선회류 형성체.
제 1 항에 있어서, 상기 제2 유체 분출구를 상기 구멍의 개구부 주변에 복수 설치하는 것을 특징으로 하는 선회류 형성체.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제2 유체 분출구에 유체를 반송하는 유체 통로에 조리개를 설치하는 것을 특징으로 하는 선회류 형성체.
적어도 표면측에서 개구하는 횡단면 원형의 구멍과, 이 구멍의 내주측면으로부터 유체를 분출시켜 선회류를 발생시키는 제1 유체 분출구와, 상기 표면으로부터 상방을 향하여 유체를 분출하는 제2 유체 분출구를 가지는 선회류 형성체를, 기체의 반송면에 구비하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
제 4 항에 있어서, 상기 선회류 형성체는 이면에 상기 제1 및 제2 유체 분출구에 연통하는 평면에서 보아 원형의 홈부를 구비하고, 상기 기체는 반송면에 상기 홈부에 연통하는 유체 공급구를 구비하고, 이 유체 공급구를 통하여 상기 홈부에 유체가 공급되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
제 4 항에 있어서, 상기 기체는 상기 반송면에 평면에서 보아 원형의 홈부를 구비하고, 상기 선회류 형성체는 상기 홈부 및 상기 제1 유체 분출구에 연통하는 제1 유체 통로와, 상기 홈부 및 상기 제2 유체 분출구에 연통하는 제2 유체 통로를 구비하고, 상기 홈부를 통하여 상기 제1 및 제2 유체 통로에 유체가 공급되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
제 4 항, 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 선회류 형성체를 상기 기체의 반송면에 형성한 오목부에 수용한 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
제 4 항, 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 기체의 반송면에 형성한 오목부에 상기 선회류 형성체를 수용하고, 이 오목부의 내주측면을 변형시켜서 상기 선회류 형성체를 코킹 접합한 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
제 4 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 선회류 형성체는 상기 기체에 2열에 걸쳐 각 열에 복수개 배치되고, 일방의 열에 속하는 선회류 형성체의 각각의 선회류의 방향과, 타방의 열에 속하는 선회류 형성체의 각각의 선회류의 방향이 서로 상이한 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.