201002596 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明，是有關迴旋流形成體及非接觸搬運裝 別是，有關於被使用在大型的FPD面板和太陽電 等的浮上搬運的裝置等。 【先前技術】 習知，在F P D面板和太陽電池面板的生產時 用藉由將一枚的面板大型化來提高生產效率的方法 ，液晶玻璃的情況時，在第1 〇世代成爲2 8 5 0 X 0 · 7 mm的大小。因此，如習知，在複數個並列的為 著液晶面板滾動搬運的話，因爲軸的撓曲和滾子高 差不一而會對於玻璃局部施加較強的力量，而有可 璃刮傷。進一步，在處理過程中，爲了求得非接觸 始採用空氣浮上搬運。 空氣浮上搬運裝置的其中一例，是在將液晶用 浮上時，將小徑的孔設置複數個，使從這些的小徑 出空氣的板狀的軌道，配合玻璃的大小連結複數個 搬運裝置。且，也存在有將多孔質碳使用在軌道材 氣孔將空氣噴出的方法。 但是，在上述的方法中，每1 000 X 1 000mm 積的空氣流量，在多數孔型式需要250L/min，在 質型式需要150 L/min，即要求非常大的空氣流量 習知的非接觸搬運裝置，是利用真空吸著及空氣的 置，特 池面板 ，是採 。例如 3 05 0 X 子上載 度的參 能將玻 ，才開 的玻璃 的孔噴 而構成 ，從其 單位面 碳多孔 。且， 噴出的 -5- 201002596 力的平衡原理保持浮上高度的精度，但此時，爲了真空吸 著用而有需要時常運轉泵，也有需消耗很大能量的問題。 在此，本申請人，是爲了將浮上高度精度有效維持， 且減少空氣流量及能量的消耗量，而提案利用迴旋流的非 接觸搬運裝置（專利文獻1參照）。此非接觸搬運裝置， 是如第10圖所示，具備迴旋流形成體64，其具有：從表 面貫通背面的橫剖面圓形的貫通孔6 1、及在貫通孔6 1內 將空氣噴出使產生迴旋流流體噴出口 62、及供給空氣至 流體噴出口 62的圓環狀的給氣溝63。且，在給氣溝6 3 中設有供給空氣的空氣供給路65的基體（軌道）66的表 面上’配置上述的迴旋流形成體64而構成搬運裝置。 依據上述非接觸搬運裝置’藉由在迴旋流形成體64 的表面側使發生朝向上方的上昇迴旋流來使被搬運物（玻 璃）6 7浮上’藉此，由習知的1 /2程度的空氣流量就可進 行搬運。另一方面，在貫通孔61的開口部附近由負壓產 生的朝下方的空氣流，來發揮與將浮上高度精度保持用的 真空吸著同等的效果。由此，不需要真空吸著用的泵，可 減少能量消耗量。 專利文獻1:日本特願2008_75068號 【發明內容】 (本發明所欲解決的課題） 使用上述非接觸搬運裝置，將F P D面板和太陽電池 面板等的大型面板搬運的情況，如第11圖所示，在基體 -6- 201002596 66的表面上沿著被搬運物的搬運方向將多數的迴旋流形 成體64並列配置，一邊將被搬運物67浮上一邊依序移動 〇 但是’在此搬運裝置中，被搬運物67是在軌道66上 移動時，被搬運物67的緣部是成爲位置在迴旋流形成體 64的中央部附近的狀態的話，被搬運物67可能會與迴旋 流形成體64接觸。即，在第1 1圖的領域Μ中，因爲被 搬運物67只有與迴旋流形成體64的一部分重疊，所以由 上昇迴旋流所產生的浮上力不足，另一方面，在貫通孔 6 1的中央部附近，由負壓所產生的朝下方的空氣流會發 生並使吸著力作用。因此，將剛性的小的薄板狀的被搬運 物搬運的話，如第12圖所示，緣部67a會插入貫通孔61 的內側而使局部發生彎曲，而有與基體66和貫通孔61的 開口端部接觸而刮傷的危險性。 在此’本發明，是有鑑於上述的問題點，其目的是提 供一種迴旋流形成體，即使被浮上物是與迴旋流形成體部 分地重疊的狀態下，被浮上物也可回避與迴旋流形成體接 觸’可防止被浮上物刮傷。且，本發明的其他的目的是提 供一種非接觸搬運裝置，在被搬運物的搬運過程，即使被 搬運物的緣部是成爲與迴旋流形成體的一部分重疊的狀態 ’被搬運物的緣部也可回避與基體和迴旋流形成體接觸， 可防止被搬運物刮傷。 (用以解決課題的手段） 201002596 爲了達成上述目，本發明是一種迴旋流形成體，其特 徵爲，具備：至少在表面側開口的橫剖面圓形的孔、及從 該孔的內周側面將流體噴出使產生迴旋流的第1流體噴出 口、及從前述表面朝向上方將流體噴出的第2流體噴出口 〇 且，依據本發明，即使藉由來自第1流體噴出口的迴 旋流發生的浮力是不足的情況，也可以藉由來自第2流體 噴出口的上昇流補助地施加浮力，就可以將被浮上物浮上 。因此’被浮上物即使是與迴旋流形成體部分地重疊的狀 態下’被浮上物也可回避與迴旋流形成體接觸，就可防止 被浮上物刮傷。 在上述迴旋流形成體，可以將前述第2流體噴出口複 數設置在前述孔的開口部周邊，較佳是，可以孔爲中心呈 十字狀配置。 在上述迴旋流形成體，可以在朝前述第2流體噴出口 將流體搬運的流體通路設置縮徑部，依據此，第2流體噴 出口的數量和流體流量即使減少也可以獲得較高的浮力。 且’本發明’是一種非接觸搬運裝置，其特徵爲：在 基體的搬運面具備迴旋流形成體，該迴旋流形成體具有·' 至少在表面側開口的橫剖面圓形的孔、及從該孔的內周側 面將流體噴出使產生迴旋流的第1流體噴出口、及從前述 表面朝向上方將流體噴出的第2流體噴出口。 且，依據本發明，即使藉由來自第1流體噴出口的迴 旋流發生的浮力是不足的情況，也可以藉由來自第2流體 -8- 201002596 噴出口的上昇流補助地施加浮力，就可以將被搬運物浮上 。因此，在被搬運物的搬運過程，即使被搬運物的緣部是 成爲與迴旋流形成體的一部分重疊的狀態，被搬運物的緣 部也可回避與基體和迴旋流形成體接觸’可防止被搬運物 刮傷。 對於上述非接觸搬運裝置，前述迴旋流形成體，是在 背面具備與前述第1及第2流體噴出口連通的平面視圓形 的溝部，前述基體，是在搬運面具備與前述溝部連通的流 體供給口，透過該流體供給口將流體供給至前述溝部也可 以。由此，因爲在基體的搬運面中只有穿設流體供給口即 可，所以基體可以爲簡單的構成。 對於上述非接觸搬運裝置，前述基體，是在前述搬運 面具備平面視圓形的溝部，前述迴旋流形成體，是具備： 與前述溝部及前述第1流體噴出口連通的第1流體通路、 及與前述溝部及前述第2流體噴出口連通的第2流體通路 ’透過前述溝部將流體供給至前述第1及第2流體通路也 可以。由此’在迴旋流形成體的背面中，因爲只有形成流 體噴出口及流體通路即可，所以迥旋流形成體可以爲簡單 的構成。 對於上述非接觸搬運裝置’將前述迴旋流形成體收容 在形成於前述基體的搬運面的凹部也可以。且，對於上述 非接觸搬運裝置，在形成於前述基體的搬運面的凹部收容 前述迴旋流形成體’使該凹部的內周側面變形將前述迴旋 流形成體夾插接合也可以。由此，不使用接合劑，也可以 -9- 201002596 一邊維持迴旋流形成體及基體之間的氣密狀態一邊容易地 將迴旋流形成體裝設在基體。 對於上述非接觸搬運裝置，前述迴旋流形成體，是在 前述基體橫跨地設置2列且在各列配置複數個，屬於一方 的列的迴旋流形成體的各迴旋流的方向、及屬於另一方的 列的迴旋流形成體的各迴旋流的方向彼此之間是不同也可 以。藉由此構成，來自相鄰接的列的相鄰接的迴旋流形成 體的迴旋流會增強，可以一邊藉由從迴旋流形成體噴出的 流體將被搬運物浮上一邊進行搬運。 [發明的效果] 如以上，依據本發明，在被搬運物的搬運過程’被搬 運物可回避與其他的構件接觸，可防止被搬運物刮傷。 【實施方式】 接著，對於本發明的實施例一邊參照圖面一邊說明。 且，在以下的說明中，搬運用流體是使用空氣，進行被搬 運物爲液晶用的玻璃3搬運的情況的例。 第1圖，是顯示本發明的迴旋流形成體的第1實施例 ，（a )是俯視圖，（b )是（a )的A - A線剖面圖’ （c ) 是下面圖，（d )是（c )的B - B線剖面圖。且’有關於第 1圖（e )的說明是如後述。 此迴旋流形成體1，是由：從表面貫通背面的橫剖面 圓形的貫通孔11 ;及設在背面，將空氣收容的環狀溝12 -10- 201002596 :及將滯留於環狀溝12的空氣透過空氣通路13從貫通孔 1 1的內周側面噴出，沿著貫通孔1 1的內周方向使產生迴 旋流的第1噴出口 1 4a、1 4b ;及將滯留於環狀溝！ 2的空 氣透過空氣通路15從迴旋流形成體1的表面噴出，產生 朝向上方的上昇流的第2噴出口 16a〜16d所構成。且， 迴旋流形成體1的表面是被倒角加工，而形成面取部17a 、1 7b ° 第2噴出口 16a〜16d，是如第1圖（a)所示，例如 設有4個，以貫通孔11爲中心呈十字狀配置。這些第2 噴出口 16a〜16d’是如第1圖（b)所示，在空氣通路15 設有縮徑部，被自成縮徑（self-forming SqUeezed )加工 。且，第2噴出口 16的數量，不一定需要4個，例如， 將第2噴出口 16設置5個並配置成五角形狀也可以，將 3個配置成三角形狀也可以。且，對於縮徑部，也不限定 於自成縮徑加工，使用孔（orifice squeezed)縮徑加工和 狹長孔縮徑（slot squeezed )加工等也可以。 第2圖及第3圖’是顯示使用上述迴旋流形成體1的 非接觸搬運裝置，第3圖（a)是第2圖（b)的E-E線剖 面圖，（b )是第3圖（a )的G - G線剖面圖。此非接觸 搬運裝置20’是如弟2圖（a)所不，將迴旋流形成體ia 、lb’在板狀的基體2橫跨地設置2列，在紙面上使上下 左右交互地設置複數個的方式構成。在玻璃3等的搬運時 ’將大型面板等作爲對象的情況時，將非接觸搬運裝置 20並列配置複數基（例如3基）而構成搬運通道1〇。 -11 - 201002596 在此’迴旋流形成體〗a、lb，是皆與第1圖所示的 迴旋流形成體1同樣’但是迴旋流形成體1 b，是產生與 迴旋流形成體1 a反向的迴旋流的方式構成。因此，如第 1圖（c) ' (e)所示’迴旋流形成體α的第丨噴出口 1 4a、1 4b ’是使迴旋流形成體1 ^的其及位置成爲左右相 反的方式被配置。且’在第2圖（a)中，爲了容易看， 而將迴旋流形成體1 b黑塗顯示。 如第3圖所示’基體2，是具備：將迴旋流形成體1 收谷的凹部21;及朝基體2的長軸方向延設，將從泵（ 未圖示）供給的空氣搬蓮用的空氣通路22 ;及將流動於 空氣通路22中的空氣供給至迴旋流形成體丨的環狀溝j 2 的貫通孔23°且’基體2及迴旋流形成體1的接合，是 藉由使用接合劑等將迴旋流形成體1的底面固定於基體2 的凹部2 1。 接著’對於上述迴旋流形成體及非接觸搬運裝置的動 作，一邊參照第1圖〜第4圖一邊說明。 如第3圖所示’從泵供給至基體2的空氣通路22的 空氣，是透過貫通孔23被供給至迴旋流形成體1的環狀 溝12’透過空氣通路13(第1圖（c)參照）從第1噴出 口〗4a、14b噴出。由此，在迴旋流形成體！的表面側的 平板部1 8的上方，發生上昇迴旋流，並且在貫通孔Η的 開口部附近’產生由負壓朝所產生的背面方向的空氣流動 。且’被供給至環狀溝1 2的空氣，是透過空氣通路1 5 ( 第1圖（b )參照）從第2噴出口 16a〜16d噴出，產生從 -12- 201002596 平板部1 8朝向上方的上昇流。 此時，在玻璃3及迴旋流形成體1的整體重疊的領域 C第2圖的領域C)中，藉由在平板部18的上方生成的 上昇迴旋流，將被搬運物也就是液晶用的玻璃3浮上的話 同時，藉由在貫通孔1 1的開口部附近生成的朝背面方向 的空氣流動，將玻璃3挪近基體2側，來保持玻璃3的浮 上高度精度。且，來自第2噴出口 16a〜16d的上昇流也 作爲補助浮力功能，使玻璃3浮上的方式作用。 且，迴旋流形成體1 a、1 b的迴旋流彼此之間是相反 方向’在第2圖（a)的紙面上因爲上下左右交互地配置 迴旋流形成體1 a、1 b，所以形成有各迴旋流形成體丨a、 1 b的迴旋流的水平分力被抵消。由此，藉由迴旋流施加 在玻璃3附加的力，是只有成爲浮上力及吸引力的2個鉛 直成分的力，就可以確實地防止玻璃3旋轉。 另一方面，在玻璃3及迴旋流形成體1的—·部分重疊 的領域（第2圖的領域D )中，由在平板部1 8的上方生 成的上昇迴旋流所產生的浮力雖是不足，但是如第4圖所 示，來自第2噴出口 16a〜16d的上昇流可給與玻璃3補 助性的浮力，將該浮力的不足分補足。由此，將玻璃3的 緣部3 a及外緣3 b浮上使抑制玻璃3的撓曲（變形），使 玻璃3回避與基體2和貫通孔1 1的開口端部接觸。且， 在本領域中，由負壓所產生的吸著力也作用，可拉引玻璃 3使其穩定地浮上。 如此浮上的玻璃3，是藉由無圖示的線性馬達、摩擦 -13- 201002596 滾柱、皮帶等給與搬運驅動力’朝第2圖（a )所示的箭 頭方向被搬運。 且’在上述實施例中’雖說明流體是使用空氣的情況 時’但是使用空氣以外的氮等的處理氣體也可以。且，雖 在迴旋流形成體1設有貫通孔1 1 ’但是可取代貫通孔1 1 ，在迴旋流形成體1的表面側設置開U的橫剖面圚形的凹 部也可以。進一步，在與第2噴出a 16a〜16d連通的空 氣通路1 5設有縮徑部，但是縮徑部不是不可缺，省略也 可以。 且，雖藉由將迴旋流形成體1的底面由接合劑等固定 在基體2的凹部21，將基體2及迴旋流形成體〗接合， 但是如第5圖所示，在基體2的凹部21的周邊設置環狀 凹部5 1及隆起部5 2，將迴旋流形成體1夾箍接合也可以 。在夾箍接合時，將迴旋流形成體1載置在基體2的凹部 2 1之後，將夾具5 3的先端部5 3 a插入基體2的環狀凹部 5 1 ’將隆起部5 2按壓在迴旋流形成體1側。由此，將凹 部2 1的內周側面沿著迴旋流形成體丨的面取部1 7b傾斜 ，將迴旋流形成體1固定。依據此方法，雖需要基體2的 表面加工，但因爲不需要考慮由接合劑等的塗抹所產生的 迴旋流形成體1的傾斜，所以可以提高玻璃3的浮上高度 精度。 進一步’第6圖，是顯示將基體2及迴旋流形成體1 夾箍接合的其他的方法，此方法，是使用具備銳利的環狀 刃5 5 a的夾具5 5 ’將迴旋流形成體丨固定於基板2。在此 -14- 201002596 方法中，將迴旋流形成體1載置在基體2的凹部21之後 ，將夾具55的環狀刃55a按壓在基板2將凹部21的周圍 按壓，使基體2的表面的一部分塑性變形。由此’使凹部 2 1的內周側面沿著迴旋流形成體1的面取部1 7 b傾斜， 將迴旋流形成體1固定。依據此方法’因爲不需要第5圖 所示的環狀凹部5 1和隆起部5 2 ’所以可以進行便宜的夾 箍固定。 第7圖，是顯示本發明的迴旋流形成體的第2實施例 ，（a )是俯視圖，（b )是（a )的Η - Η線剖面圖，（c ) 是下面圖，（d )是（c )的J-J線剖面圖’ （e )，是使 迴旋流形成體的背面成爲與（c )所示的迴旋流形成體的 背面左右相反的方式形成的情況的下面圖。 此迴旋流形成體3 0，是具備：從表面貫通背面的橫 剖面圓形的貫通孔3〗；及從貫通孔3 1的內周側面將空氣 噴出，沿著貫通孔3 1的內周方向使產生迴旋流第1噴出 口 32a、32b;及從迴旋流形成體30的表面將空氣噴出， 使產生朝向上方的上昇流的第2噴出口 33a〜33d。且， 如第7圖（c)及（d)所示’在迴旋流形成體30的背面 中’設有：透過空氣通路34供給空氣至第1噴出口 32a 、32b的第1凹部35a、35b、及透過空氣通路36供給空 氣至第2噴出口 33a〜33d的第2凹部37a〜37d。 第8圖’是顯示使用上述迴旋流形成體3 〇的非接觸 搬運裝置’ （a )是相當於第2圖（b )的E - E線剖面的剖 面的剖面圖’ （b )是（a )的κ-Κ線剖面圖。基體40， -15- 201002596 是具備：將迴旋流形成體30收容的凹部41;及朝基體40 的長軸方向延設’將從泵供給的空氣搬運的空氣通路42 :及供給空氣至設在迴旋流形成體3 0的背面的第1及第 2凹部35a〜37d (第7圖（c)參照）用的平面視圚形的 環狀溝43 ;及從空氣通路42將空氣搬運至環狀溝43的 貫通孔44。 且’雖圖示省略，但是即使是使用迴旋流形成體30 的情況，也與第2圖所示的情況同樣，將2列的複數迴旋 流形成體30橫跨地設置在基體40而構成非接觸搬運裝置 ，並且將該非接觸搬運裝置複數基並列配置而構成搬運通 道。且，對於迴旋流形成體3 0的配置方法，也是使上下 左右相鄰接的迴旋流形成體3 0產生相反方向的迴旋流的 方式配置。 接著’對於上述迴旋流形成體及非接觸搬運裝置的動 件’一邊參照第7圖〜第9圖一邊說明。 如第8圖所示’從泵朝基體40的空氣通路42被供給 的空氣’是透過貫通孔44被供給至環狀溝43，從環狀溝 4 3被供給至迴旋流形成體3 0的第1凹部3 5 a、3 5 b (第7 圖（c)參照）’透過空氣通路34從第1噴出口 32a、 3 2b朝貫通孔3 1噴出。由此，在迴旋流形成體3 0的表面 側的平板部3 8的上方，發生上昇回旋流，並且在貫通孔 3 1的開口部附近’使由負壓產生所產生的朝背面方向的 空氣流動。且，被供給至環狀溝43的空氣，是透過第2 凹部37a〜3 7d及空氣通路36 (第7圖（c )參照）從第2 -16- 201002596 噴出口 33a〜33d噴出，使從平板部38產生朝向 昇流。 如第9圖所示，即使上述的情況，在玻璃3 與迴旋流形成體30的一部分重疊的領域中，來 出口 3 3 a〜3 3 d的上昇流是給與玻璃3補助性的 起玻璃3的緣部3a及外緣3b的方式作用。因财 實施例同樣’玻璃3的緣部3 a可回避與基體4 〇 31的開口端部接觸，就可防止玻璃3刮傷。 且’在本實施例中’流體可以使用空氣以外 且’可取代貫通孔31’在迴旋流形成體3〇的表 開口的橫剖面圓形的凹部。進一步，省略與第 33a〜33d連通的空氣通路35的縮徑部也可以， 5圖及第6圖所示的情況同樣，將迴旋流形成體 接合也可以。 【圖式簡單說明】 [第1圖]顯示本發明的迴旋流形成體的第1 圖，（a )是俯視圖，（b )是（a )的A - A線音！J ] )是下面圖’ （d )是（c )的 B - B線剖面圖， 使迴旋流形成體的背面成爲與（c )所示的迴旋 的背面左右相反的方式形成的情況的下面圖。 [第2圖]顯示本發明的非接觸搬運裝置的第 的圖，（a )是俯視圖，（b )是（a )的領域c ，（c )是（a )的領域D的擴大圖。 上方的上 的緣部是 自第2噴 浮力，抬 :’與第1 和貫通孔 的流體， 面側設置 2噴出口 且，與第 30夾箍 實施例的 S 圖，（c (e )，是 流形成體 1實施例 的擴大圖 -17- 201002596 [第3圖](a )是第2圖（b )的E - E線剖面圖，（b )是（a )的G - G線剖面圖。 [第4圖]第2圖（c)的F-F線剖面圖，被搬運物的 緣部是與迴旋流形成體的一部分重疊的領域中的剖面圖。 [第5圖]顯示將第1圖的迴旋流形成體夾箍接合在基 體的凹部的情況的剖面圖。 [第6圖]顯示夾箍接合的其他例的剖面圖。 [第7圖]顯示本發明的非接觸搬運裝置的第2實施例 的圖，（a )是俯視圖，（b )是（a )的Η - Η線剖面圖， (c )是下面圖’ （d )是（c )的J - J線剖面圖，（e )， 是使迴旋流形成體的背面成爲與（c )所示的迴旋流形成 體的背面左右相反的方式形成的情況的下面圖。 [第8圖]顯示本發明的非接觸搬運裝置的第2實施例 的圖，（a)是相當於第2圖（b)的E-E線剖面的剖面的 剖面圖，（b )是（a )的K - K線剖面圖。 [第9圖]相當於第2圖（c )的F - F線剖面的剖面的 剖面圖，被搬運物的緣部是與迴旋流形成體的一部分重疊 的領域中的剖面圖。 [第1 〇圖]顯示習知的非接觸搬運裝置的剖面圖。 [第11圖]顯示習知的非接觸搬運裝置的俯視圖。 [第1 2圖]被搬運物的緣部是與迴旋流形成體的一部 分重疊的領域中的剖面圖。 【主要元件符號說明】 -18- 201002596 1 ( 1 a、1 b ):迴旋流形成體 2 ： 基體 3 ： 玻璃 3 a :緣部 3b _•外緣 10 :搬運 通 道 11 =貫通 孔 12 :環狀 溝 13 :空氣 通 路 14 (14a、 1 4b ) :第 1噴 出 P 15 :空氣 通 路 16 (1 6 a - -1 6d ) :第： 2噴 出 □ 17 (17a、 1 7b ) :面取部 18 :平板 部 20 =非接 觸 搬 運裝置 2 1 :凹部 22 :空氣 通 路 23 貫通 孔 3 0 :迴旋 流 形 成體 3 1 =貫通 孔 32 (32a、 3 2b ) :第 1噴 出 α 3 3 (33a、 -3 3d ) :第： 2噴 出 □ 34 :空氣 通 路 3 5 (35a、 3 5b ) ••第 1凹 部 -19- 201002596 3 6 :空氣通路 37 (37a〜37d) ••第 2 凹部 3 8 :平板部 40 :基體 4 1 :凹部 4 2 :空氣通路 4 3 :環狀溝 44 :貫通孔 5 1 :環狀凹部 5 3 :夾具 5 3 a :先端部 5 5 :夾具 5 5 a :環狀刃 -20-