JP2000072250A

JP2000072250A - 浮上搬送装置用の気体噴出構造および噴出孔形成方法

Info

Publication number: JP2000072250A
Application number: JP24464498A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Tsujimura; 正之辻村; Michio Tanikai; 道雄谷貝; Masayuki Tsuda; 昌之都田; Masaki Kusuhara; 昌樹楠原
Original assignee: WAKOMU DENSO KK; Watanabe Shoko KK; M Watanabe and Co Ltd
Current assignee: WAKOMU DENSO KK; Watanabe Shoko KK; M Watanabe and Co Ltd
Priority date: 1998-08-31
Filing date: 1998-08-31
Publication date: 2000-03-07
Also published as: WO2000012417A1; TW418427B

Abstract

(57)【要約】【課題】移送ユニットや制御ユニットの基台に用いら
れる搬送板に、簡単に噴出孔を設けることを可能にする
浮上搬送装置用の気体噴出構造および浮上搬送装置用の
噴出孔形成方法を提供する。【解決手段】搬送面２１から噴出する気体で板状基体
を浮上させる搬送板と、この搬送板に具備されていると
共に搬送面２１から噴出される気体を供給する供給系と
を備えた浮上搬送装置用の気体噴出構造において、気体
を噴出する位置で搬送面２１に空けられると共に、供給
系から気体の供給を受ける受け穴１と、受け穴１に嵌合
する形状であり、受け穴１に挿入されていると共に、受
け穴１に供給された気体を噴出する噴出孔が空けられた
係合体とを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、板状基体に対する
気体の噴出によって、板状基体を浮上した状態にし、こ
の状態で板状基体を移動、停止、静止および方向転換さ
せる浮上搬送装置に対して、気体を噴出する噴出孔を設
けるための浮上搬送装置用の気体噴出構造および浮上搬
送装置用の噴出孔形成方法に関する。本発明は、液晶デ
ィスプレイ等に用いられるガラス板や半導体装置が形成
されるウエハ等の気流搬送をする浮上搬送装置や浮上搬
送システムに好適に用いられる。

【０００２】

【従来の技術】板状基体を浮上させて搬送するシステム
として、例えば、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のガラス
板を搬送するものがある。この搬送システムを図１７に
示す。この搬送システムは、移送ユニット１００と制御
ユニット２００とを組み合わせて、構成されたものであ
る。移送ユニット１００は、四角形状のガラス板３００
を浮上させて移動方向３１０の方向に移動させる。制御
ユニット２００は、ガラス板３００を浮上させた状態で
停止、静止させると共に、転換方向３１１に方向転換さ
せる。さらに、搬送システムは、図示を省略している
が、ガラス板３００に対して各種の処理を行う処理ユニ
ットを備えている。

【０００３】移送ユニット１００は、ガラス板３００を
直線的に移動させるために、通常、連結されて用いられ
る。この移送ユニット１００の一例を図１８に示す。移
送ユニット１００は、基台１１０と囲い材１２０とを備
えている。基台１１０には、ガラス板３００を浮上させ
るための気体、例えば、ガラス板３００に影響を与えな
い窒素ガス、アルゴンガスやその他のガスを供給する供
給系１１１が配管されている。囲い材１２０が覆う、基
台１１０の面１１２が搬送路の搬送面であり、搬送面１
１２には、複数の噴出孔１１３が空けられている。

【０００４】噴出孔１１３は、図１９に示すように、搬
送面１１２に対して傾斜して設けられ、噴出孔１１３の
傾斜方向は、ガラス板３００の移動方向３１０の中心１
１２Ａに向かって傾斜している。また、噴出孔１１３と
は別に、図２０に示すように、推進用の噴出孔１１５
が、ガラス板３００の移動方向３１０と平行に並んで、
かつ、搬送面１１２に対して傾斜して空けられている。
噴出孔１１３，１１５は、搬送面１１２から気体室１１
４，１１６に至る間に空けられている。気体室１１４，
１１６は、供給系１１１にそれぞれ通じている。

【０００５】各噴出孔１１３，１１５によって、供給系
１１１から供給される気体は、気体室１１４，１１６を
経て、噴出孔１１３，１１５から噴出する。噴出孔１１
３，１１５からの気体の噴出方向は、搬送面１１２に対
して斜め上方に傾斜し、かつ、移動方向３１０に対し
て、噴出孔１１３は直角に、噴出孔１１５は平行になっ
ている。このような気体の噴出が、図２１の噴出方向１
１３Ａ，１１５Ａによって、平面的に表されている。

【０００６】こうして、各噴出孔１１３，１１５から噴
出方向１１３Ａ，１１５Ａに噴出された気体によって、
ガラス板３００が浮上して移動方向３１０に動くと同時
に、ガラス板３００の中心が搬送面１１２の中心１１２
Ａに沿って移動するので、ガラス板３００の側面が囲い
材１２０の側壁に接触することがない。つまり、ガラス
板３００は、搬送面１１２や囲い材１２０に対して非接
触の状態で移動される。

【０００７】制御ユニット２００は、移送ユニット１０
０から送られてくるガラス板３００を受け取り、このガ
ラス板３００の停止、静止および移動方向の変更や、ガ
ラス板３００自身の回転等を行う。制御ユニット２００
は、図２２に示すように、基台２１０と囲い材２２０と
を備えている。囲い材２２０には、基台１１０と同じよ
うに、ガラス板３００を浮上させるための気体を供給す
る供給系２１１が配管されている。囲い材２２０が覆
う、基台２１０の面２１２が搬送路の搬送面であり、搬
送面２１２には、吸引口と複数の噴出孔とが空けられて
いる。

【０００８】搬送面２１２の中心には、図２３に示すよ
うに、吸引口２１３が空けられている。吸引口２１３
は、中心付近の気体を吸い込んで、ガラス板３００を浮
上させたまま、静止させる。吸引口２１３の周りには、
内側から順に設定ライン２２１〜２２４が設定されてい
る。

【０００９】設定ライン２２２には、噴出孔２１５が空
けられている。噴出孔２１５は、噴出孔１１３と同じよ
うに、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられている
が、気体の噴出方向は、反時計方向の噴出方向２１５Ａ
である。噴出孔２１５からの気体によって、ガラス板３
００が反時計方向に回転する。

【００１０】また、設定ライン２２２には、噴出孔２１
６が空けられている。噴出孔２１６は、噴出孔１１３と
同じように、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられ
ているが、気体の噴出方向は、時計方向の噴出方向２１
６Ａである。噴出孔２１６からの気体によって、ガラス
板３００が時計方向に回転する。

【００１１】設定ライン２２１，２２３，２２４には、
噴出孔２１４，２１７，２１８が空けられている。噴出
孔２１４，２１７，２１８は、噴出孔１１３と同じよう
に、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられている。
噴出孔２１４，２１７，２１８による気体は、吸引口２
１３に向かう噴出方向２１４Ａ，２１７Ａ，２１８Ａに
噴出される。噴出方向２１４Ａ，２１７Ａ，２１８Ａか
らの気体によって、ガラス板３００の中心が吸引口２１
３に位置するようになる。

【００１２】さらに、制御ユニット２００には、ガラス
板３００の推進および捕捉用の噴出孔２５１〜２５３
が、各２列の設定ライン２２５，２２６に空けられてい
る。噴出孔２５１は、ガラス板３００の移動方向３１０
と１８０度逆の方向である噴出方向２５１Ａに気体を噴
出し、噴出孔２５２は、移動方向３１０と同じ方向であ
る噴出方向２５２Ａに気体を噴出する。

【００１３】噴出孔２５３は、ガラス板３００の転換方
向３１１と同方向である噴出方向２５３Ａに気体を噴出
する。

【００１４】ガラス板３００が移動方向３１０から制御
ユニット２００に入ってくると、噴出孔２１５が気体
を、移動方向３１０とは逆の方向に噴出する。これによ
って、ガラス板３００は、噴出された気体の減速作用に
よって捕捉され、搬送面２１２の中心に円滑に停止され
る。これによって、ガラス板３００の静止、回転動作が
スムーズに行える。例えば、ガラス板３００が転換方向
３１１に方向転換される場合、噴出孔２５３が気体を噴
出する。これによって、ガラス板３００は、転換方向３
１１に推進される。

【００１５】このような動作によって、ガラス板３００
の方向転換が行われる。なお、ガラス板３００を移動方
向３１０と同じ方向に送り出す場合、噴出孔２５２が気
体を噴出する。

【００１６】このような移送ユニット１００および制御
ユニット２００とで構成される搬送システムと、各種の
処理ユニットとを組み合わせることによって、ガラス板
３００の処理システムが構築される。このような搬送シ
ステムの一例が国際出願番号ＰＣＴ／ＪＰ９１／０１４
６９に示されている。

【００１７】ところで、移送ユニット１００の基台１１
０と制御ユニット２００の基台２１０は、次のようにし
て作られている。例えば、移送ユニット１００の場合、
基台１１０は、図２４に示すように、搬送板１１０Ａを
備えている。搬送板１１０Ａは、加工板１３０と封止板
１４０とで構成されている。

【００１８】従来、加工板１３０に対する加工は、次の
ようにして行われた。すなわち、図２５に示すように、
加工板１３０の裏面１３１から、ドリル（図示を省略）
によって、穴１３２が空けられた。穴１３２の直径が数
ｍｍ程度であり、穴空けの加工が裏面１３１に対して直
角方向から行われた。ドリルは、加工板１３０を加工す
るための加工機（図示を省略）に、あらかじめセットさ
れている。

【００１９】穴１３２の形成が終了すると、図２６に示
すように、加工板１３０の表面１３３から、孔１３４が
穴１３２に向けて空けられた。孔１３４は、直径が０．
３ｍｍ程度であり、穴１３２に貫通している。孔１３４
の孔空け加工は、表面１３３に対して傾斜した方向か
ら、ドリル（図示を省略）によって行われた。

【００２０】こうして、加工板１３０には、穴１３２と
孔１３４とが形成され、穴１３２が気体室１１４や気体
室１１６であり、孔１３４が噴出孔１１３や噴出孔１１
５である。

【００２１】加工板１３０に対する噴出孔１１３，１１
５と気体室１１４，１１６の形成が終了すると、図２７
に示すように、溝１３５，１３６が加工板１３０の裏面
１３１に設けられた。このとき、気体室１１４だけを連
結するように、溝１３５が設けられ、また、気体室１１
６だけを連結するように、溝１３６が設けられた。

【００２２】溝１３５，１３６の形成が終了すると、先
の図２４に示すように、裏面１３１に封止板１４０が取
り付けられて、裏面１３１の各溝１３５，１３６が互い
に独立して密封された。これらの溝１３５，１３６によ
って、移送ユニット１００内に供給系が形成された。

【００２３】こうして、加工板１３０と封止板１４０と
によって、搬送板１１０Ａが作られた。さらに、搬送板
１１０Ａ内の供給系が、気体の流れを制御するバルブ等
を経て、供給系１１１に接続されて、基台１１０が作ら
れた。同様にして、制御ユニット２００の基台２１０も
加工板と封止板とによって作られた。

【００２４】しかし、移送ユニット１００や制御ユニッ
ト２００の搬送板を作る技術には次に示すような問題が
あった。つまり、搬送板は、加工板と封止板とによって
作られ、加工板には、多数の噴出孔が設けられた。噴出
孔が気体を噴出する方向が加工板の表面に対して傾斜し
ているので、噴出孔を空けるための加工は、加工板の表
面に対して傾斜した方向から行われた。

【００２５】このために、噴出孔を空けるための加工機
のドリルの方向が、加工板の表面に対して傾斜するよう
にセットされた後で、噴出孔の加工が開始された。この
結果、噴出孔の傾斜方向が異なると、加工機に置かれた
加工板を回すことが必要になるという問題が発生した。
これによって、噴出孔を設けるための加工が加工板の回
転等を含むために、複雑になってしまう。

【００２６】以上、説明したとおり、従来の加工板に対
する加工には、以下の問題点があった。つまり、１枚の
加工板に対して、異なる向きの噴出孔が必要である場
合、加工板を回して、加工位置を変える工程が必要にな
り、噴出孔を空けるための作業が複雑になるという課題
が発生する。

【００２７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、移送ユニッ
トや制御ユニットの基台に使用される搬送板に、簡単に
噴出孔を設けることを可能にする浮上搬送装置用の気体
噴出構造および浮上搬送装置用の噴出孔形成方法を提供
することを目的とする。

【００２８】

【課題を解決するための手段】本発明の浮上搬送装置用
の気体噴出構造は、搬送面から噴出する気体で板状基体
を浮上させる搬送板と、この搬送板に具備されていると
共に前記搬送面から噴出される気体を供給する供給系と
を備えた浮上搬送装置用の気体噴出構造において、前記
気体を噴出する位置で前記搬送面に空けられると共に、
前記供給系から気体の供給を受ける受け穴と、前記受け
穴に嵌合する形状であり、前記受け穴に挿入されている
と共に、前記受け穴に供給された気体を噴出する噴出孔
が空けられた係合体とを設けたことを特徴とする。

【００２９】また、本発明の浮上搬送装置用の噴出孔形
成方法は、搬送面から噴出する気体で板状基体を浮上さ
せる搬送板と、この搬送板に具備されていると共に前記
搬送面から噴出される気体を供給する供給系とを備える
浮上搬送装置用の噴出孔形成方法において、前記搬送面
から前記供給系に至るまでの間に、かつ、前記気体を噴
出する位置で、前記搬送面に受け穴を空け、気体を噴出
する噴出孔が空けられていると共に、前記受け穴に嵌合
する形状をしている係合体を、前記搬送面の前記受け穴
に挿入することを特徴とする。

【００３０】本発明によれば、噴出孔が空けられた係合
体を、搬送板に空けられた受け穴に挿入する。搬送板か
ら噴出される気体の噴出方向が異なるように配列されて
いるとき、係合体の噴出方向が、配列された噴出方向に
合うように、係合体が受け穴に挿入されればよいので、
搬送板の搬送面に噴出孔を形成することが簡単になる。

【００３１】

【発明の実施の形態】［実施の形態１］以下、図１〜図
９を参照して、本発明の実施の形態１について詳細に述
べる。図１は、実施の形態１に係わる浮上搬送装置用の
気体噴出構造を示す平面図である。図２は、図１の部分
的な拡大を示す拡大図である。図３は、搬送面に設定さ
れた加工位置を示す平面図である。図４は、図２のＩ−
Ｉ断面を示す断面図である。図５は、図１のＩＩ−ＩＩ
断面を示す断面図である。図６は、係合体を作るための
チップを示す正面図である。図７は、係合体に対する噴
出孔の形成の様子を示す断面図である。図８は、係合体
の取り付けの様子を示す断面図である。図９は、搬送板
を示す断面図である。

【００３２】実施の形態１に係る浮上搬送装置用の気体
噴出構造は、図１７に示す浮上搬送システムの中の移送
ユニット１００では、噴出孔１１３，１１５および気体
室１１４，１１６の仕組みであり、制御ユニット２００
では、噴出孔２１４〜２１８，２５１〜２５３およびこ
れらの噴出孔に通じる気体室の仕組みである。

【００３３】実施の形態１では、図１および図２に示す
ように、加工板２０の搬送面２１に、受け穴１が空けら
れている。なお、図２は、図１の破線部分２０Ａの拡大
図である。

【００３４】受け穴１は、図３に示すように、移送ユニ
ットの加工板２０の搬送面２１に設定されている、移送
ユニットの噴出孔の加工位置２２に空けられている。受
け穴１は、図４に示すように、加工板２０を貫通する、
直径がａ２の円筒形をした穴であり、受け穴１の長さ
は、加工板２０の板厚ａ１である。受け穴１の貫通方向
は、搬送面２１に対して直角である。つまり、受け穴１
を形成するための加工は、加工位置２２の部分で、搬送
面２１に対して直角方向から行われる。

【００３５】係合体２は、受け穴１に嵌合する、直径が
ａ２である円筒形状をしたものである。図５に示すよう
に、係合体２の表面２Ａには、噴出孔２Ｂが空けられ、
裏面２Ｃには、噴出孔２Ｂと連結されている気体室２Ｄ
が空けられている。

【００３６】係合体２は、次のようにして作られる。つ
まり、図６に示すように、直径がａ２であり、表面３１
から裏面３２までの長さがａ１である丸棒状のチップ３
０が用意された。このチップ３０に対して、裏面３２側
から直径数ｍｍ程度の穴３３が、ドリルを用いて空けら
れた。穴３３を空けるための加工は、裏面３２に対して
直角方向から行われた。この穴３３が、係合体２の気体
室２Ｄになる。

【００３７】この後、図７に示すように、直径が０．３
ｍｍ程度の孔３４が設けられた。この孔３４は、ドリル
３４Ａを用いて、表面３１から穴３３に達するまで空け
られた。孔３４が、係合体２の噴出孔２Ｂである。そし
て、ドリル３４Ａの進行方向と逆方向（矢印４０１で示
される方向）が、噴出孔２Ｂの噴出方向である。孔３４
を空けるための加工は、治具によってチップ３０を挟ん
で加工機にセットし、この後、加工機に装着されたドリ
ルによって行われた。この結果、孔３４が表面３１に対
して傾斜している場合でも、チップ３０が治具によって
傾斜されて保持されたので、加工機による、直角方向か
らの加工が可能になった。

【００３８】加工板２０に対する受け穴１の加工が終了
し、また、多数の係合体２が準備されると、図８に示す
ように、矢印４０１で示される噴出方向を所定方向にし
て、加工板２０の裏面２３から、係合体２を受け穴１に
打ち込んで、係合体２を挿入した。これによって、図１
に示される加工板２０が作られた。この後、図９に示す
ように、加工板２０に対して、同じ方向に気体を吹き出
す係合体２の噴出孔２Ｂを連結するために、溝３５が通
気溝部として設けられ、この後、加工板２０の裏面２３
が封止板４０で張り合わされた。こうして、移送ユニッ
ト用の搬送板５０が作られた。

【００３９】実施の形態１によって、加工板２０とは別
に作られた係合体２が、加工板２０の受け穴１に打ち込
まれて、噴出孔２Ｂが形成される。この結果、移送ユニ
ットや制御ユニットのように、向きが異なる噴出孔が１
枚の搬送板５０に形成される場合でも、搬送板５０の向
きを変えながら、孔を空ける作業が不要になり、噴出孔
２Ｂを極めて容易に行うことができる。また、これによ
って、搬送板５０に対する加工時間を短縮することがで
きる。

【００４０】また、受け穴１に係合体２を打ち込むの
で、搬送板５０に対する噴出孔の加工ミスの発生を、完
全に防ぐことができる。

【００４１】［実施の形態２］次に、図１０および図１
１を参照して、本発明の実施の形態２について説明す
る。図１０は、実施の形態２に係わる浮上搬送装置用の
気体噴出構造を示す拡大図である。図１１は、図１０の
ＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図である。

【００４２】実施の形態２では、実施の形態１に対して
ガイド部が設けられている。つまり、図１０および図１
１に示すように、気体の噴出方向の、受け穴１の側壁
に、溝３がガイド用溝部として設けられている。また、
噴出孔２Ｂが向いている、係合体２の側壁に、受け穴１
の溝３と嵌合する突出部４がガイド用突出部として設け
られている。

【００４３】ガイド部は、溝３と突出部４とで構成され
ている。突出部４が溝３に嵌合することによって、受け
穴１に対して、噴出孔２Ｂの噴出方向を簡単に設定する
ことができる。

【００４４】［実施の形態３］次に、図１２および図１
３を参照して、本発明の実施の形態３について説明す
る。図１２は、実施の形態３に係わる加工板を示す平面
図である。図１３は、実施の形態３に係わる係合体を示
す平面図である。

【００４５】実施の形態３では、実施の形態１の受け穴
１および係合体２に、実施の形態２とは別のガイド部が
設けられている。つまり、図１２に示すように、加工板
２０の裏面２３には、合わせ印５が設けられている。合
わせ印５は、印刷等によって、受け穴１の周辺に形成さ
れている。

【００４６】また、図１３に示すように、係合体２の裏
面２Ｃには、合わせ印６が設けられている。合わせ印６
は、合わせ印５と位置合わせをするためのものであり、
噴出孔２Ｂの向きを示している。合わせ印６は、印刷等
によって、裏面２Ｃの外周付近に形成されている。

【００４７】ガイド部は、合わせ印５，６によって形成
されている。係合体２が受け穴１に打ち込まれるとき
に、係合体２の合わせ印６が、受け穴１の周辺に設けら
れた合わせ印５と一致するようにする。これよって、受
け穴１に対して噴出孔２Ｂの噴出方向を簡単に設定する
ことができる。

【００４８】［実施の形態４］次に、図１４を参照し
て、本発明の実施の形態４について説明する。図１４
は、実施の形態４に係わる浮上搬送装置用の気体噴出構
造を示す平面図である。

【００４９】実施の形態４では、実施の形態１〜実施の
形態３の円形状の受け穴１の代わりに、多角形状として
例えば６角形状の受け穴７が、加工板２０に空けられて
いる。また、実施の形態１〜実施の形態３の円形状の係
合体２の代わりに、受け穴７と嵌合する形状の、６角形
状の係合体８が、受け穴７に挿入されている。

【００５０】６角形状の受け穴７および係合体８によっ
て、ガイド部が形成されている。この６角形状のガイド
部によって、噴出孔２Ｂの噴出方向を特定することがで
きる。

【００５１】［実施の形態５］次に、図１５を参照し
て、本発明の実施の形態５について説明する。図１５
は、実施の形態５に係わる浮上搬送装置用の気体噴出構
造を示す断面図である。

【００５２】実施の形態５では、係止部が実施の形態１
〜実施の形態４に設けられている。つまり、直径ａ２の
受け穴９が形成されるときに、搬送面２１近くの受け穴
９に、段差部９Ａが第１段差部として設けられている。
段差部９Ａによって、受け穴９は、直径ａ２に比べて小
さなものとなっている。こうして、段差部９Ａを持つ受
け穴９が、加工板２０に空けられている。

【００５３】係合体１０は、受け穴９に嵌合する形状を
している。つまり、直径がａ２である係合体１０の、表
面１０Ａ近くの部分が、直径ａ２に比べて狭く形成され
ている。こうして、受け穴９と同様に、係合体１０に対
しても、段差部１０Ｂが第２段差部として設けられてい
る。

【００５４】実施の形態５では、受け穴９の段差部９Ａ
と、係合体１０の段差部９Ｂとによって、係止部が形成
されている。この係止部によって、係合体１０が受け穴
９に打ち込まれる際に、係合体１０の表面が搬送面２１
から飛び出ることを防止することができる。この結果、
係合体１０の表面を加工板２０の搬送面２１に対して、
簡単に平らにすることができる。

【００５５】［実施の形態６］次に、本発明の実施の形
態６について説明する。図１６は、実施の形態６に係わ
る浮上搬送装置用の気体噴出構造を示す断面図である。

【００５６】実施の形態６では、実施の形態５と別の係
止部が、実施の形態１〜実施の形態４に設けられてい
る。つまり、直径ａ２を最大径とし、直径ａ３を最小径
とする円錐形状の受け穴１１が、加工板２０に空けられ
ている。受け穴１１の最大径が加工板２０の裏面２３に
位置し、最小径が加工板２０の搬送面２１に位置してい
る。

【００５７】係合体１２は、受け穴１１と嵌合する形状
をしている。つまり、係合体１２は、直径ａ２を最大径
とし、直径ａ３を最小径とし、かつ、長さａ１を高さと
する円錐である。

【００５８】実施の形態６では、受け穴１１の円錐形状
と、係合体１２の円錐とによって、係止部が形成されて
いる。この係止部によって、実施の形態５と同じよう
に、係合体１２が受け穴１１に打ち込まれる際に、係合
体１２の表面が搬送面２１から飛び出ることを防止する
ことができる。

【００５９】以上、実施の形態１〜実施の形態６につい
て説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定さ
れることはない。例えば、実施の形態１〜実施の形態６
では、加工板が移送ユニット用のものであったが、制御
ユニット用の加工板に対しても、同様に本発明が適用さ
れる。

【００６０】また、噴出孔から噴出する気体として、高
純度乾燥空気、高純度窒素ガス、高純度アルゴンガス、
高純度炭酸ガス等を用いることが可能である。ウエハを
気流搬送する場合には、搬送用のガスとして、不純物濃
度が数ｐｐｂ以下の高純度窒素ガスを用いるのが最適で
ある。

【００６１】また、浮上搬送システムとして、ＴＦＴ型
液晶ディスプレイ用のガラス板等を気流搬送するものを
例としたが、本発明は、ガラス板に限られることなく、
各種板状基体を搬送するシステムに適用可能である。

【００６２】さらに、移送ユニットと制御ユニットとに
設けられた噴出孔の配列方式としては、各種のものがあ
るが、本発明は、これら各種の配列方式にも適用が可能
である。

【００６３】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明は、前記
気体を噴出する位置で前記搬送面に空けられると共に、
前記供給系から気体の供給を受ける受け穴と、前記搬送
板の前記受け穴に嵌合する形状であり、前記受け穴に挿
入されていると共に、前記受け穴に供給された気体を噴
出する噴出孔が空けられた係合体とを設けた。また、本
発明は、前記搬送面から前記供給系に至るまでの間に、
かつ、前記気体を噴出する位置で、前記搬送面に受け穴
を空け、気体を噴出する噴出孔が空けられていると共
に、前記受け穴に嵌合する形状をしている係合体を、前
記搬送面の前記受け穴に挿入する。

【００６４】この結果、本発明によれば、噴出孔が空け
られた係合体が、搬送板の受け穴に挿入されることによ
って、噴出孔を搬送板に形成することができる。これに
よって、搬送板に対する噴出孔の形成を簡単にすること
ができる。

【００６５】本発明では、前記搬送板は、表面が前記搬
送面である加工板と、この加工板の裏面をふさぐ封止板
とを備え、前記加工板には、この板を貫通するように前
記受け穴がそれぞれ空けられ、前記係合体が前記受け穴
にそれぞれ挿入された加工板に対して、同じ向きの噴出
孔を連結する通気溝部を設け、この通気溝部を前記供給
系とした。また、本発明は、表面が搬送面である加工板
と、この加工板の裏面をふさぐ封止板とで前記搬送板を
形成し、前記加工板を貫通するように受け穴をそれぞれ
空け、前記受け穴に前記係合体をそれぞれ挿入し、前記
噴出孔の向きが前記係合体を連結するように、前記加工
板の裏面に通気溝部を設け、前記裏面を前記封止板でふ
さいで前記通気溝部を供給系とする。

【００６６】この結果、本発明によれば、噴出孔を搬送
板に設ける際に、加工板に受け穴を空けて、封止板で裏
面をふさぐので、搬送板の製造を簡単にすることができ
る。

【００６７】本発明は、前記受け穴に対する前記係合体
の噴出孔の向きを決めるためのガイド部を、前記受け穴
および前記係合体に設けた。さらに、前記ガイド部とし
て、前記受け穴の側壁にガイド用溝部を設け、前記係合
体の側壁に、前記ガイド用溝部に嵌合する形状のガイド
用突出部を設けた。また、本発明は、前記受け穴に対す
る前記係合体の噴出孔の向きを決めるためのガイド部
を、前記受け穴および前記係合体に設ける。さらに、前
記ガイド部として、前記受け穴の側壁にガイド用溝部を
設け、前記係合体の側壁に、前記ガイド用溝部に嵌合す
る形状のガイド用突出部を設ける。

【００６８】この結果、本発明によれば、噴出孔が噴出
する気体の噴出方向がガイド部によって示されるので、
気体の噴出方向を簡単に決めることができる。

【００６９】本発明は、前記受け穴に挿入された前記係
合体を係止するための係止部を、前記受け穴および前記
係合体に設けた。さらに、前記係止部として、前記受け
穴の側壁に第１段差部を設け、この第１段差部と嵌合す
る第２段差部を前記係合体に設けた。また、本発明は、
前記受け穴に挿入された前記係合体を係止するための係
止部を、前記受け穴および前記係合体に設ける。さら
に、前記係止部として、前記受け穴の側壁に第１段差部
を設け、この第１段差部と嵌合する第２段差部を前記係
合体に設ける。

【００７０】この結果、本発明によれば、係合体は、受
け穴に挿入される際に、係止部で止められるので、搬送
面から突き出ることを防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態１に係わる浮上搬送装置用の気体噴
出構造を示す平面図である。

【図２】図１の部分的な拡大を示す拡大図である。

【図３】搬送面に設定された加工位置を示す平面図であ
る。

【図４】図２のＩ−Ｉ断面を示す断面図である。

【図５】図１のＩＩ−ＩＩ断面を示す断面図である。

【図６】係合体を作るためのチップを示す正面図であ
る。

【図７】係合体に対する噴出孔の形成の様子を示す断面
図である。

【図８】係合体の取り付けの様子を示す断面図である。

【図９】搬送板を示す断面図である。

【図１０】実施の形態２に係わる浮上搬送装置用の気体
噴出構造を示す拡大図である。

【図１１】図１０のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図で
ある。

【図１２】実施の形態３に係わる加工板を示す平面図で
ある。

【図１３】実施の形態３に係わる係合体を示す平面図で
ある。

【図１４】実施の形態４に係わる浮上搬送装置用の気体
噴出構造を示す平面図である。

【図１５】実施の形態５に係わる浮上搬送装置用の気体
噴出構造を示す断面図である。

【図１６】実施の形態６に係わる浮上搬送装置用の気体
噴出構造を示す断面図である。

【図１７】従来の板状基体搬送システムを示す平面図で
ある。

【図１８】従来の移送ユニットを示す斜視図である。

【図１９】図１８のＩＶ−ＩＶ断面図である。

【図２０】図１８のＶ−Ｖ断面図である。

【図２１】従来の移送ユニットによる噴出方向を示す説
明図である。

【図２２】従来の制御ユニットを示す斜視図である。

【図２３】従来の移送ユニットによる噴出方向を示す説
明図である。

【図２４】従来の移送ユニットの構造を示す断面図であ
る。

【図２５】従来の移送ユニットの加工板に対する加工の
様子を示す断面図である。

【図２６】従来の移送ユニットの加工板に対する加工の
様子を示す断面図である。

【図２７】従来の移送ユニットの加工板の底面を示す底
面図である。

【符号の説明】

１，７，９，１１受け穴２，８，１０，１２係合体２Ａ，３１，１３３表面２Ｂ，１１３，１１５，２１４〜２１８，２５１〜２５
３噴出孔２Ｃ，２３，３２，１３１裏面２Ｄ気体室３，３５，１３５，１３６溝４突出部５，６合わせ印９Ａ，１０Ｂ段差部２０，１３０加工板２０Ａ破線部分２１，１１２，２１２搬送面２２加工位置３０チップ３３，１３２穴３４，１３４孔３４Ａドリル４０封止板１００移送ユニット１１０，２１０基台１１０Ａ搬送板１１１，２１１供給系１１２Ａ中心１１３Ａ，１１５Ａ，２１４Ａ〜２１８Ａ，２５１Ａ〜
２５３Ａ噴出方向１１４，１１６気体室１２０，２２０囲い材１４０封止板２００制御ユニット２１３吸引孔２２１〜２２６設定ライン３００ガラス板３１０移動方向３１１転換方向４０１矢印ａ１長さａ２，ａ３直径

フロントページの続き (72)発明者谷貝道雄東京都中央区日本橋室町４丁目２番16号株式会社渡邊商行内 (72)発明者都田昌之山形県米沢市東２丁目７の139 (72)発明者楠原昌樹東京都中央区日本橋室町４丁目２番16号株式会社渡邊商行内Ｆターム(参考） 5F031 AA10 CC52 CC53 CC54 LL03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送面から噴出する気体で板状基体を浮
上させる搬送板と、この搬送板に具備されていると共に
前記搬送面から噴出される気体を供給する供給系とを備
えた浮上搬送装置用の気体噴出構造において、前記気体を噴出する位置で前記搬送面に空けられると共
に、前記供給系から気体の供給を受ける受け穴と、前記受け穴に嵌合する形状であり、前記受け穴に挿入さ
れていると共に、前記受け穴に供給された気体を噴出す
る噴出孔が空けられた係合体とを設けたことを特徴とす
る浮上搬送装置用の気体噴出構造。
【請求項２】前記搬送板は、表面が前記搬送面である
加工板と、この加工板の裏面をふさぐ封止板とを備え、
前記加工板には、この板を貫通するように前記受け穴が
それぞれ空けられ、前記係合体が前記受け穴にそれぞれ
挿入された加工板に対して、同じ向きの噴出孔を連結す
る通気溝部を設け、この通気溝部を前記供給系としたこ
とを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置用の気体
噴出構造。
【請求項３】前記受け穴に対する前記係合体の噴出孔
の向きを決めるためのガイド部を、前記受け穴および前
記係合体に設けたことを特徴とする請求項１または２に
記載の浮上搬送装置用の気体噴出構造。
【請求項４】前記ガイド部として、前記受け穴の側壁
にガイド用溝部を設け、前記係合体の側壁に、前記ガイ
ド用溝部に嵌合する形状のガイド用突出部を設けたこと
を特徴とする請求項３に記載の浮上搬送装置用の気体噴
出構造。
【請求項５】前記受け穴に挿入された前記係合体を係
止するための係止部を、前記受け穴および前記係合体に
設けたことを特徴とする請求項１乃至４に記載の浮上搬
送装置用の気体噴出構造。
【請求項６】前記係止部として、前記受け穴の側壁に
第１段差部を設け、この第１段差部と嵌合する第２段差
部を前記係合体に設けたことを特徴とする請求項５に記
載の浮上搬送装置用の気体噴出構造。
【請求項７】搬送面から噴出する気体で板状基体を浮
上させる搬送板と、この搬送板に具備されていると共に
前記搬送面から噴出される気体を供給する供給系とを備
える浮上搬送装置用の噴出孔形成方法において、前記搬送面から前記供給系に至るまでの間に、かつ、前
記気体を噴出する位置で、前記搬送面に受け穴を空け、気体を噴出する噴出孔が空けられていると共に、前記受
け穴に嵌合する形状をしている係合体を、前記搬送面の
前記受け穴に挿入することを特徴とする浮上搬送装置用
の噴出孔形成方法。
【請求項８】表面が搬送面である加工板と、この加工
板の裏面をふさぐ封止板とで前記搬送板を形成し、前記加工板を貫通するように受け穴をそれぞれ空け、前記受け穴に前記係合体をそれぞれ挿入し、前記噴出孔の向きが前記係合体を連結するように、前記
加工板の裏面に通気溝部を設け、前記裏面を前記封止板でふさいで前記通気溝部を供給系
とすることを特徴とする請求項７に記載の浮上搬送装置
用の噴出孔形成方法。
【請求項９】前記受け穴に対する前記係合体の噴出孔
の向きを決めるためのガイド部を、前記受け穴および前
記係合体に設けることを特徴とする請求項７または８に
記載の浮上搬送装置用の噴出孔形成方法。
【請求項１０】前記ガイド部として、前記受け穴の側
壁にガイド用溝部を設け、前記係合体の側壁に、前記ガイド用溝部に嵌合する形状
のガイド用突出部を設けることを特徴とする請求項９に
記載の浮上搬送装置用の噴出孔形成方法。
【請求項１１】前記受け穴に挿入された前記係合体を
係止するための係止部を、前記受け穴および前記係合体
に設けることを特徴とする請求項７乃至１０に記載の浮
上搬送装置用の噴出孔形成方法。
【請求項１２】前記係止部として、前記受け穴の側壁
に第１段差部を設け、この第１段差部と嵌合する第２段
差部を前記係合体に設けることを特徴とする請求項１１
に記載の浮上搬送装置用の噴出孔形成方法。