TW418427B - Gas blow-out structure for floatation carrying device and blow-out hole forming method - Google Patents

Description

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發明所屬技術領域 本發明係有關於用以對於利用對板狀基體喷出氣體而、 將板狀基體設為浮起之狀態後在該狀態令板狀基體移動' 停止、靜止及轉換方向之漂浮搬運裝置設置噴出氣體之喷 出孔之漂浮搬運裝置用之氣體喷出構造及喷出孔形成方 法。本發明很適用於進行在液晶顯示器等使用之玻璃板或 形成半v體裝置之晶圓等之氣流搬運之漂浮搬運裝置或浮 起搬運系統。 習知技術 在令板狀基體浮起之搬運系統上例如有搬運TFT型液 Γ 晶顯示器用之玻璃板的。該搬運系統如圖丨7所示。該搬運 系統係由移送單元1 〇 〇和控制單元2 〇 〇組合而成的。移送單 元100令四角形之玻璃板3〇〇浮起後向移動方向方向移 動。控制早元200在令玻璃板300浮起之狀態令停止、靜止 而且令向轉換方向311轉換方向。此外，搬運系統具有對 於玻璃板3 00進行各種處理之處理單元，但是省略圖示。 移送單元100為了令玻璃板3〇〇直線移動，一般連結使 用。該移送單元100之一例如圖18所示。移送單元1〇〇具有 基座110和包圍用構件120。在基座110進行供給用以令玻 一 璃板300浮起之氣體例如不影響玻璃板3〇〇之氮氣、氬氣或 其他氣體之供給系111之配管。包圍用構件12〇覆蓋之基座 110之面112係搬運路之搬運面’在搬運面112開設多個噴 出孔11 3。 喷出孔11 3如圖1 9所示，相對於搬運面11 2傾斜設置，

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41842T 五、發明說明（2) 喷出孔113之傾斜方向朝向玻璃板300之移動方向3 1.0之中 心1 1 2 A傾斜。又，除了喷出孔1 1 3以外，如圖2 0所示，推 進用喷出孔115和玻璃板300之移動方向31 0平行排列，而 且開設成相對於搬運面11 2傾斜。在自搬運面11 2至氣體室 1 1 4、11 6之間開設噴岀孔11 3、11 5。氣體室Π 4.、1 1 6各自 和供給系11 1相通。 利用各喷出孔11 3、11 5供給供給系1 11之氣體經甴氣 體室114、116由喷出孔113、115喷出。來自噴出孔113、 Π5之氣體之喷出方向相對於搬運面112向斜上方傾斜，而 且相對於移動方向310，喷出孔113成直角，喷出孔115成 〇 平行。利用圖21之噴出方向11 3A、11 5A在平面上表示這種 氣體之啥出。 照這樣，玻璃板300利用自各喷出孔113、115向喷出 方向113A、115A喷出之氣體浮起而向移動方向31〇移動， 同時因玻璃板3 0 0之中心沿著搬運面i丨2之中心11 2 A移動， 玻璃板3 0 0之側面不會接觸包圍用構件丨2 〇之侧壁。即，玻 璃板300以相對於搬運面il2或包圍用構件12〇非接觸之狀 態移動。 、—控制單元200收取自移送單元1〇()送來之玻璃板3〇{)， ，仃該玻璃板300之停止、靜止及移動方向之變更或玻璃、丫丨 本身之轉動等。控制單元2〇〇如圖22所示，具有基座 和包圍用構件220。在包圍用構件22〇和基座11(} 一樣地 ，行供給用以令玻璃板3〇〇浮起之氣體之供給系211之配 吕包圍用構件220覆蓋之基座210之面212係搬運路之搬

Ί 418427 五、發明說明（3) 運面，在搬運面2 1 2開設吸引孔和多個噴出孔。 __ 在搬運面212之中心開設吸引孔213 ’如圖23所示。吸 引孔2 1 3吸入中心附近之氣體，在令玻璃板3 〇 〇浮起下令靜 止。在吸引孔213之周圍自内側依次設定設定線22卜224。 又，在設定線222開設喷出孔216。喷出孔216和喷出 孔11 3 —樣地開設成相對於搬運面2 1 2斜上方，但是氣體之 喷出方向係反時鐘方向之噴出方向216Α =玻璃板300利闬 來自喷出孔216之氣體朝時鐘方向轉動。 在設定線221、223、224開設喷出孔214、217、218。 喷出孔214、217、218和喷出孔11·3 —樣地開設成相對於搬 p 運面212斜上方。來自喷出孔214、217、218之氣體往朝向 吸引口 21 3之喷出方向214Α、21 7Α、218Α喷出。利用來自 噴出方向214人、217人、218入之氣體，玻璃板300之中心位 於吸引口 213。 此外，在控制單元2 0 0 ’在各2列之設定線2 2 5、2 2 6開 設玻璃板3 00之推進及捕捉用之喷出孔2 5卜253。喷出孔 251朝方向係和玻璃板300之移動方向310反向180度之喷出 方向251Α噴出氣體’噴出孔2 52朝方向係和移動方向31〇相 同之喷出方向252Α喷出氣體。 喷出孔253朝方向係和玻璃板3 00之轉換方向3il相同 ^ 之噴出方向253A喷出氣體。 玻璃板300自移動方向310進入控制單元2〇〇時，噴出 孔215朝和移動方向310相反之方向喷出氣體t藉此，玻璃 板300利用所喷出之氣體之減速作用捕捉，圓滑地停在搬

五、發明說明（4) 運面212之中心。因而，玻璃板300之靜止、轉動動作圓 滑。例如，在玻璃板3 0 0朝轉換方向3 11轉換方向之情況， 喷出孔253喷出氣體。藉此’玻璃板300朝轉換方向311推 進。 利用樣的動作轉換玻璃板3 0 0之方向。此外，在朝 和移動方向31 0相同之方向送出玻璃板3 0 0之情況，噴出孔 252喷出氣體。 藉著組合由這種移送單元100和控制單元2〇〇構成之搬 運系統與各種處理單元，建立玻璃板3 〇 〇之處理系統。這 種搬運系統之一例如國際專利申請號碼PCT/JP91 /01 469。 p 而’照如下所示製作移送單元1 0 0之基座11 〇和控制單 元200之基座210。例如，在移送單元1〇〇之情況，基座 如圖24所示，具有搬運板110A。搬運板110A由加工板130 和密封板1 4 0構成。 習知照如下所示加工加工板1 3 0。即，如圖2 5所示， 利用開設頭（省略圖示）自加工板1 3 0之背面1 3 1開設孔 1 3 2。孔1 3 2之直徑係約數mm，開設孔加工相對於背面1 31 由直角方向進行。開設頭預先設定於用以加工加工板130 之加工機（省略圖示）。 ， ' .) 孔132之形成終了時，如圖26所示，自加工板130之表 、 面133向孔132開設孔134。孔134係直徑約0. 3mm，貫穿孔 1 32。孔1 34之開設孔加工係利用開設頭（省略圖示）自相對 於表面1 3 3傾斜之方向開設。 照這樣在加工板130形成孔132和孔134，孔132係氣體

第7頁 五、發明說明（5) 室1 1 4或氣體室11 6，孔1 34係喷出孔11 3或喷出孔1 1 5。 .. 對於加工板130完成喷出孔il3、115和氣體室114、 116之形成後，如圖27所示，在加工板130之背面131設置 槽1 3 5、1 3 6。此時，如只連結氣體室11 4般設置槽1 3 5， 又’如連結氣體室116般設置槽136。 完成槽135、136之形成後，如圖24所示，在背面131 安裝密封板140。彼此獨立的密封背面131之各槽135 ' 136。利用這些槽135、136在移送單元1〇〇内形成供給系。 照這樣利用加工板1 3 0和密封板1 4 0製作搬運板1 1 〇 A。 此外’搬運板11 0A内之供給系經由控制氣體之流動之閥等；: 和供給系111連接，製作基座11 〇。同樣地，也利用加工板 和密封板製作控制單元2〇〇之基座21〇。 ，可是’在製作移送單元100或控制單元2〇〇之搬運板之 =·術有如下之問題。即’利兩加工板和密封板製作搬運 相在加工板設置多個噴出孔。因喷出孔喷出氣體之方向 =街於加工板之表面傾斜’用以開設喷出孔之加工自相對 Λη -I- 1 工板之表面傾斜之方向進行。 定因而’在用以開設喷出孔之加工機之開設頭之方向設 嘴出對於加工板之表面傾斜後’開始加工喷出孔。結果， 复出孔之傾斜方向不同時，發生了需要轉動在加工機所放| 力σ <加工板之問題。因而，因用以設置噴出孔之加工包含 口工板之轉動等，變得複雜。 題點如上述所示，在習知之對於加工板之加工有以下之問I 。即，在對於一片加工板需要不同方向之噴出孔之情

/Π8427 板以改變 得複雜之 之課題 在於提供 板簡單的 噴出孔形 之手段 搬運裝置 令板狀基 面噴出之 該氣體之 ;以及卡 開設喷出 漂浮搬運 面喷出之 供給自該 喷出孔形 之間而且 將開設喷 卡合體插 ，將開設 排列成自 卡合體之 入承孔即 加工位置 課題。 使得可在 設置噴出 成方法。 用之氣體 體浮起之 氣體之供 位置開設 合體，係 供給該承 裝置用之 氣體令板 搬運面喷 成方法， 在噴出該 出氣體之 入該搬運 了喷出孔 搬運板喷 喷出方向 可，在搬 移送單元 孔之漂浮 噴出構造 搬運板和 給系，其 在該搬運 和該承孔 孔之氣體 喷出孔形 狀基體浮 出之氣體 其特徵在 氣體之位 噴出孔而 面之該承 之卡合體 出之氣體 和所排列 運板之搬 五、發明說明（6) 況，需要轉動加工 設喷出孔之作業變 發明所欲解決 本發明之目的 之基座使用之搬運 之氣體喷出構造及 用以解決課題 本發明之漂浮 搬運面喷出之氣體 備並供給自該搬運 括：承孔，在喷出 給系接受氣體供給 狀，插入該承孔並 又，本發明之 關於具有以自搬運 和該搬運板具備並 漂浮搬運裝置用之 搬運面至該供給系 面開設承孔；以及 承孔嵌合之形狀之 若依據本發明 板所開設之承孔。 不同時’因只要如 一致般將卡合體插 之製程，發生用以開 或控制單元 搬運裝置用 ，具有以自 該搬運板具 特徵在於包 面並自該供 嵌合之形 之喷出孔。 成方法’係 起之搬運板 之供給系之 於：在自該 置在該搬運 且具有和該 孔。 插入在搬運 之喷出方向 之喷出方向 km

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第9頁 t 418427 五、發明說明（7) 出孔變成簡單。 發明之實施例 實施例1 以下參照圖卜圖9詳述本發明之實施例1。圖1係表示 實施例1之漂浮搬運裝置用之氣體喷出構造之平面圖。圖2 係表不圖1之部分放大之放大圖。圖3係表示在搬運面所設 疋加工位置之平面圖。圖4係表示圖2之I-Ι剖面之剖面 圖。圖5係表示圖1之π - π剖面之剖面圖。圖6係表示用以 製作卡合體之條塊之正視圖。圖7係表示對於卡合體形成 喷出孔之狀況之剖面圖β圖8係表示卡合體之安裝狀況之 剖面圖。圖9係表示搬運板之剖面圖。 實施例1之漂浮搬運裝置用之氣體噴出構造在如圖17 所示漂浮搬運裝置中之移送單元1〇〇係噴出孔113、115及 氣體室114、116之構造’在控制單元2〇〇係噴出孔 214~218、251〜253及和這些喷出孔相通之氣體室之構造。 在實施例1 ’如圖1及圖2所示’在加工板2〇之搬運面 21開設承孔1。此外’圖2係圖1之虛線部分2〇Α之放大圖。 承孔1如圖3所示，開設在設於移送單元之加工板2 〇之 搬運面之21之移送單元之喷出孔之加工位置22。承孔1如 圖4所示’係貫穿加工板2〇之直徑為&2之圓筒形孔，承孔i 之長度係加工板20之板厚al。承孔1之貫穿方向與搬運面 21垂直。即’用以形成承孔1之加工係在加工位置2 2部分 相對於搬運面21由直角方向進行。 卡合體2係和承孔1嵌合之直徑為a2之圓筒形。如圖5

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第10頁 五、發明說明（8) 所示，在卡合體2之表面2Α開設喷出孔2Β，在背面2C開設 和喷出孔2Β連結之氣體室2D。 卡合體2照如下所示製造11即，如圖6所示，準備受直 徑為a2、自表面31至背面32為止之長度係al之圓棒形之條 塊（ch i ρ ) 3 0，對於該條塊3 0使用開設頭自背面3 2側開設直 徑約數_之孔3 3。用以開設孔3 3之加工係相對於背面3 2自 直角方向進行。該孔33成為卡合體2之氣體室2D。 然後，如圖7所示，設置直徑約0. 3 ra m之孔3 4。該孔3 4 使用開設頭34A自表面31開設至孔33。孔34係卡合體2之喷 出孔2B。而，和開設頭34A之行進方向相反之方向（箭號 401所示方向）係喷出孔2B之喷出方向。用以開設孔34之加 工藉著利用治具夾住條塊3 0後設於加工機，然後利用裝在 加工機之開設頭開設。結果’在孔34相對於表面31傾^之 情況，也因條塊3 0利用治具傾斜並保持，可利用加工機自 直角方向加工。

對加工板20之承孔1之加工完了或準備了多個卡合體2 後，如圖8所示，將箭號401所示喷出方向設為既定方向， 由加工板20之背面23將卡合體2打入承孔！後，插入卡合體 2 °藉此製作圖1所示之加工板20。然後，如圖9所示，對 於加工板20，為了連結向同方向噴出氣體之卡合體2之喷 射口，將槽35設為通氣槽部，然後，用密封板4〇和加工板 20之背面23黏合。照這樣製造移送單元用之搬運板。 依據實施例1，和加工板20分開製造之卡合體2打入加 工板20之承孔1 ’形成噴出孔2B。結果，如移送單元或控

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' 41842T -----—_________ 五、發明說明（9) 一 ~ 制單元身又在—片搬運板50形成方向不同之喷出孔之情況， t在改變搬運板50之方向下，不需要開設孔之作業，可極 谷易加工噴出孔2B。又’藉此可縮短對於搬運板50之加工 時間。 又’因將卡合體2打入承孔1 ’可完全防止對於搬運板 50之噴出孔之加工錯誤發生。 實施例2 其次參照圖1 0及圖11說明本發明之實施例2 ^圖丨〇係 表不實施例2之漂浮搬運裝置同之氣體喷出構造之放大 圖。圖11係表示圖1 〇之羾—羾剖面之剖面圖。 在實施例2，對於實施例1設置導引部。即，如圖j 〇及 圖U所不’在氣體之噴出方向之承孔1之侧壁設置槽3，作 為導引用槽。又’在喷出孔⑼朝向之卡合體2之側壁設置 和承孔1之槽3嵌合之突出部4，作為導引用突出部。 用槽3和突出部4構成導引部。藉著突出部4和槽3嵌 合’對於承孔1可簡單的設定喷出孔2B之喷出方向β 實施例3 其次參照圖1 2及圖1 3說明本發明之實施例3。圖1 2係 表示實施例3之加工板之平面圖.圖丨3係表示實施例3之卡 合體之平面圖。 在實施例3，在實施例1之承孔1及卡合體2設置和實施 例2不同之導引部。即，如圖1 2所示，在加工板2 〇之背面 23設置對準記號5。利用印刷等在承孔1之周邊形成對準記 號5。

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五、發明說明（ίο) 又，如圖13所示，在卡合體2之背面2C設置對 。 6。對準5己號6係用以和對準記號5對準位置的，表―己號· 孔2Β之方向。利用印刷等在背面2C之外周附近 ^ ¾•出 號5。 战_準記 利用對準記號5、6形成導引部。在將卡合體2打 孔1時，使得設於承孔1之周邊之對準記號5和卡合=入承 準記號6 —致。藉此，對於承孔】可簡單的設定 & t對 喷出方向。 ' 印孔28之 實施例4 其次參照圖14說明本發明之實施例4 ^圖14係表八— 施例4之漂浮搬運裝置用之氣體喷出構造之平面圖。= 施例4，替代實施例1〜實施例3之圓形之承孔1，在多肖二 狀上例如在加工板2 〇開設六角形之承孔7。又， 你f 1〜给从Μ。 日Τ^灵施 1 只备例3之圓形之卡合體2，在承孔7插入和承孔 之形狀為六角形之卡合體8。 承孔7喪合 备报Ϊ ^六角形之承孔7及卡合體8形成導引部。利用該六 v引部可特定噴出孔2Β之喷出方向。 實施例5 施例5其次%參照圖1 5說明本發明之實施例5。圖1 5係表示實 ?， <漂浮搬運裝置用之氣體喷出構造之剖面圖。 ,,, 實施例5 ’在實施例1〜實施例4設置卡正部。即，在 形成直栌 iRQA 之承孔9時，在接近搬運面21之承孔9設置段差 邵y a，你氣哲 IF馬第—段差部。由於段差部9A ’承孔9變成比直 Ί%=- 3. Δ ΛΑ °此這樣在加工板20開設具有段差部9Α之承孔

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卡合體10成和承孔9嵌合之形狀。即，直徑係a2之卡 合體1 0之接近表面丨〇A之部分形成比直徑a2窄。照這樣和 承孔9 一樣地對於卡合體丨〇也設置段差部〗，作為第二 差部。 在實施例5，利用承孔9之段差部“和卡合體丨〇之段差 部1 0B形成卡止部。在將卡合體1 0打入承孔9時利用該卡止 部可防止卡合體1〇之表面自搬運面21龍出。結果，可簡單 的使卡合體10之表面相對於加工板20之搬運面21平坦。 實施例6 .· 其次說明本發明之實施例6。圖1 6係表示實施例6之漂 浮搬運裝置用之氣體喷出構造之剖面圖。 在實施例6 »在實施例卜實施例4設置和實施例5不同 之卡止部。即’在加工板2〇開設最大徑為直徑a2、最小徑 為直徑a3之圓錐形之承孔丨丨。承孔u之最大徑位於加工板 20之背面23 ’最小徑位於加工板2〇之搬運面21。 卡合體12形成和承孔11喪合之形狀。即，卡合體12係 最大住為直控a2、最小徑為直徑a3，而且高度為長度31之 圓錐。 在實施例6，利用承孔11之圓錐形和卡合體丨2之圓錐 、 形成卡止部。利用該卡止部，如同實施例5般在將卡合體 12打入承孔11時’可防止卡合體12之表面自搬運面以飛 出。 以上說明了實施例1〜實施例6，但是本發明未限定為

五、發明說明（12) ： 一 這些實施例。例如，在實施例卜實施例6，加工板係移送 單元用的，但是對於控制單元用之加工板，本發明也一樣 適用。 尸又，在自噴出孔噴出之氣體上可使罔高純度乾燥空 氣、高純度氮氣、尚純度氬氣、高純度二氧化碳等。在以 氣流搬運晶圓之情況，在搬運用之氣體上使用雜質濃度數 ppb以下之尚純度氮氣最適合。 I» 又，在洋起搬運系統上，以氣流搬運^丁型液晶顯示 器用之玻璃板等為例’但是本發明未限定為玻璃板，可適 用於搬運各種板狀基體之系统。 、此外，在設於移送單元和控制單元之喷出孔之排列方 式上有各種方式’但是本發明也可適用於這些各種排列方 式。 發明之效果 如上述所示，本發明設置了在噴出該氣體之位置開設 在該搬運面並自該供給系接受氣體供給之承孔、及係和該 承孔嵌合之形狀而插入該承孔並開設喷出供給該承孔之氣 體之噴出孔之卡合體。又，本發明在自該搬運面至該供給 系之間而且在喷出該氣體之位置在該搬運面開設承孔，並 將開設喷出氣體之噴出孔而且具有和該承孔嵌合之形狀之 卡合體插入該搬運面之該承孔。 結果’若依據本發明，藉著將開設了噴出孔之卡合體 插入搬運板之承孔’可在搬運板形成喷出孔。藉此可使在 搬運板形成噴出孔變得簡單。

第15頁 4 184 27 五、發明說明（13) 在本發明，該搬運板具有表面係搬運面之加工板和封 住該加工板之背面之密封板，在該加工板如貫穿該板般分 別開設該承孔’對於將該卡合體分別插入了該承孔之加工 板，設置連結方向相同之喷出孔之通氣槽部’將該通氣槽 部設為該供給系。又，本發明用表面係搬運面之加工板和 封住該加工板之背面之密封板形成該搬運板，如貫穿該加

工板般分別開設承孔，在該承孔分別插入卡合體，如該喷 出孔之方向連結該卡合體般在加工板之背面設置通氣槽 部’用該密封板封住該背面並將該通氣槽部設為供給系。 結果’若依據本發明，在搬運板設置喷出孔時，因在 加工板開設承孔後用密封板封住背面，可使得搬運板之製 造變得簡單。

本發明在該承孔及該卡合體設置用以決定對於該承孔 之卡合體之喷出孔之方向之導引部。此外，在該導引部 上’在該承孔之侧壁設置導引用槽部，在該卡合體之侧壁 6又置和該導引用槽部嵌合之形狀之導引用突出部。本發明 在该承孔及該卡合體設置用以決定對於該承孔之卡合體之 嘴出孔之方向之導引部。此外，在該導引部上，在該承孔 之侧壁設置導引用槽部’在該卡合體之侧壁設置和該導引 用槽部嵌合之形狀之導引用突出部。 ^結果，若依據本發明，因利用導引部表示喷出孔喷出 之氣體之噴出方向，可簡單的決定氣體之喷出方向。 人本發明在該承孔及該卡合體設置用以將插入承孔之該 «體卡止之卡止部。此外，在該卡止部上’在該承孔之

^16427 五、發明說明（14) 側壁設置第一段差部，在該卡合體設置和該第一段差部嵌_ 合之第二段差部。本發明在該承孔及該卡合體設置周以將 插入承孔之該卡合體卡止之卡止部。此外，在該卡止部 上，在該承孔之側壁設置第一段差部，在該卡合體設置和 該第一段差部嵌合之第二段差部。 結果，若依據本發明，在將卡合體插入承孔時，因用I 卡止部擋住，可防止自搬運面突出。 i 圖式簡單說明 圖1係表示實施例1之漂浮搬運裝置用之氣體喷出構造 之平面圖。 圖2係表示圖1之部分放大之放大圖。 圖3係表示在搬運面所設定加工位置之平面圖。 圖4係表示圖2之I - I剖面之剖面圖。 圖5係表示圖1之Π - Π剖面之剖面圖。 圖6係表示用以製作卡合體之條塊之正視圖。 圖7係表示對於卡合體形成喷出孔之狀況之剖面圖。 圖8係表示卡合體之安裝狀況之剖面圖。 |

圖9係表示搬運板之剖面圖。 i Y 圖1 0係表示實施例2之漂浮搬運裝置用之氣體喷出構 造之放大圖。 圖11係表示圖1 0之ΠΙ - ΙΠ剖面之剖面圖。 圖1 2係表示實施例3之加工板之平面圖。 圖1 3係表示實施例3之卡合體之平面圖。

第17頁 41842 ί 五、發明說明（15) 圖1 4係表 造之平面圖。 圖1 5係表 造之剖面圖。 圖1 6係表 造之剖面圖。 圖1 7係表 圖1 8係表 圖1 9係表 圖2 0係表 圖2 1係表 圖2 2係表 圖2 3係表 圖24係表 圖2 5係表 之剖面圖。 圖2 6係表 之剖面圖。 圖2 7係表 圖。 示實施例4之漂浮搬運裝置用之氣體喷出構 示實施例5之漂浮搬運裝置用之氣體喷出構 示實施例6之漂浮搬運裝置用之氣體喷出構 示習知之板狀基體搬運系統之平面圖D 示習知之移送單元之立體圖。 示圖18之IV- IV剖面圖。 示圖18之V-V剖面圖。 示習知之移送單元之喷出方向之說明圖。 示習知之控制單元之立體圖。 示習知之移送單元之噴出方向之說明圖。 示習知之移送單元之構造之剖面圖。 示對於習知之移送單元之加工板加工之狀況 示對於習知之移送單元之加工板加工之狀況 示習知之移送單元之加工板之底面之下視 符號說明 9、 11 承孔 10、 12卡合體

第18頁 五、發明說明（16) 2Α ' 31 、 133 表面 2Β、 113、 115、 214〜218、 25卜253 喷出孔 2 C、2 3、3 2、1 3 1 背面 2D 氣體室 3、35、135、136 槽部 5、6 對準用記號 9Α、10Β 段差部 2 0、1 3 0 加工板 2 Ο Α虛線部分 21 ' 112、212 搬運面 2 2 加工位置 30條塊 33 、 132 孔 34 、 134 孔 34A 開設頭 4 0密封板 1 0 0 移送單元 110、210 基座 110A搬運板 111 '211 供給系 112A 中心 113A、115A、214A〜218A、251A~253A 喷出方向 114、116 氣體室 120、220 包圍用構件

第19頁 f 418427 五、發明說明（17) 1 4 0 密封板 2 0 0 控制單元 2 1 3 吸引孔 2 21〜2 2 6 設定線 3 0 0破璃板 31 0 移動方向 3 1 1 轉換方向 401箭號 al長度 a2、a3 直徑

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Claims (1)

1. 4184 2j 六、申請專利範圍 1 · 一種潆 運面喷出之氣 備並供給自該 其特徵在 承孔，在 給糸接受氣體. 卡合體， 嘖出供給該承 2.如申請 出構造，其中 該加工板之背 開設該承孔， 板，設置連結 部設為該供給 浮搬運 體令板 搬運面 於包括 噴出該 供給； 係和該 孔之氣 專利範 該搬運 面之密 對於將 方向相 裝置用之氣體喷屮姐 狀基體浮起之搬運’ “以自： 喷出之氣體之供給J和該搬運板所具 3之位置開設在該搬運面並自該供 以及 承孔歲合之形壯 立 # β ^ 1 #入該承孔並開設 體之贺出孔。 圍第1項之漂浮搬運裝置用之氣體噴 板/、有表面係搬運面之加工板和封住 封板，在該加工板如貫穿該板般分別 該卡合體分別插入了該承孔之加工 同之喷出孔之通氣槽部，將該通氣槽 3. 如申請專利範圍第i項之漂浮搬運裝置用之氣體噴 出構造，其中在該承孔及該卡合體設置用以決定對於該承 孔之卡合體之噴出孔之方向之導引部。 4. 如申請專利範圍第2項之漂浮搬運裝置用之氣體喷 出構造，其中在該承孔及該卡合體設置用以決定對於該承 | 孔之卡合體之喷出孔之方向之導引部。 1 5. 如申請專利範圍第3項之漂浮搬運裝置用之氣體喷 出構造，其中在該導引部上’在該承孔之側壁設置導引用 槽部，在該卡合體之侧壁設置和該導引用槽部嵌合之形狀 之導引用突出部。

   第21頁 418427 六、申請專利範圍 6. 如申請專利範圍第4項之漂浮搬運裝置用之氣體喷 出構造，其中在該導引部上，在該承孔之側壁設置導引周 槽部，在該卡合體之側壁設置和該導引用槽部嵌合之形狀 之導引用突出部。 7. 如申請專利範圍第1、2、3 ' 4 ' 5或8項之漂浮搬運 裝置兩之氣體喷出構造，其中在該承孔及該卡合體設置用 以將插入承孔之該卡合體卡止之卡止部。 8. 如申請專利範圍第7項之漂浮搬運裝置用之氣體喷 出構造，其中在該卡止部上，在該承孔之側壁設置第一段 差部，在該卡合體設置和該第一段差部嵌合之第二段差 部。 9. 一種漂浮搬運裝置用之喷出孔形成方法，該漂浮搬 運裝置具有以自搬運面喷出之氣體令板狀基體浮起之搬運 板和該搬運板具備並供給自該搬運面喷出之氣體之供給 系， 其特徵在於包括： 在自該搬運面至該供給系之間而且在喷出該氣體之位 置在該搬運面開設承孔；以及 將開設噴出氣體之喷出孔而且具有和該承孔嵌合之形 狀之卡合體插入該搬運面之該承孔。 1 0.如申請專利範圍第9項之漂浮搬運裝置用之喷出孔 形成方法，其中： 用表面係搬運面之加工板和封住該加工板之背面之密 封板形成該搬運板；

   第22頁 丨.418427____ 六、申請專利範圍 ' 如貫穿該加工板般分別開設承孔； 在該承孔分別插入卡合體； 如該嗔出孔之方向連結該卡合體般在加工板之背面設 置通氣槽部；以及 用該密封板封住該背面並將該通氣槽部設為供給系。 U.如申請專利範圍第9項之漂浮搬運裝置用之噴出孔 形成方法’其中在該承孔及該卡合體設置用以決定對於該 承孔之卡合體之喷出孔之方向之導引部。 1 2.如申請專利範圍第i 〇項之漂浮搬運裝置用之喷出 孔形成方法，其中在該承孔及該卡合體設置兩以決定對於 該承孔之卡合體之噴出孔之方向之導引部。 13. 如申請專利範圍第丨丨項之漂浮搬運裝置用之喷出 孔形成方法’其中在該導引部上，在該承孔之侧壁設置導 引用槽部’在該卡合體之側壁設置和該導引用槽部嵌合之 形狀之導引用突出部β 14. 如申請專利範圍第丨2項之漂浮搬運裝置用之喷出 孔形成方法，其中在該導引部上’在該承孔之側壁設置導 引用槽部，在該卡合體之側壁設置和該導引用槽部嵌合之 形狀之導引用突出部β 15. 如申請專利範圍第9、ι〇 、12、13或14項之漂y 序搬運裝置用之喷出孔形成方法1中在該承孔及該卡合 體設置用以將插入承孔之該卡合體卡止之卡止部。 ,1 6.如申μ專利範圍第丨5項之漂浮搬運裝置用之喷出 孔形成方法，其中在該卡止部上，在該承孔之側壁設置第 418427

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