JP2001010724A - 浮上搬送装置 - Google Patents
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Abstract
き、板状基体に対して迅速な調芯をすることができる浮
上搬送装置を提供する。 【解決手段】 板状の搬送面(上面11)を具備し、こ
の搬送面に沿って板状基体を送るための基部1と、搬送
面から気体を噴出することによって、板状基体を搬送面
から浮上させると共に浮上した板状基体を搬送面に沿っ
て移動させる第1噴出手段と、第1噴出手段によって浮
上した板状基体を搬送面の中心位置I2に保つために、
気体を噴出する第2噴出手段(2F1〜2H1,2F2〜
2H2)とを備えた。
Description
わり、より詳細には、板状基体としてウエハやガラス板
などを搬送するときに、板状基体を浮上させる浮上搬送
装置に関する。
体を搬送するシステムとして、例えば、TFT型液晶デ
ィスプレイ用のガラス板を搬送するものがある。この搬
送システムを図20に示す。この搬送システムは、移送
ユニット100と制御ユニット200との組み合わせで
構成されたものである。移送ユニット100は、四角形
状のガラス板300を浮上させて移動方向310に移動
させる。制御ユニット200は、ガラス板300を浮上
させた状態で停止、静止させると共に、転換方向311
に方向転換させる。さらに、搬送システムは、図示を省
略しているが、ガラス板300に対して各種の処理を行
う処理ユニットを備えている。
直線的に移動させるために、通常、連結されて用いられ
る。この移送ユニット100の一例を図21に示す。移
送ユニット100は、基部110と囲い材120とを備
えている。基部110には、ガラス板300を浮上させ
るための気体、例えば、ガラス板300に影響を与えな
い窒素ガス、アルゴンガス、乾燥空気やその他のガスを
供給する供給系111が配管されている。
12が搬送路の搬送面であり、上面112には、複数の
噴出孔113が空けられている。図22に示すように、
噴出孔113が上面112に対して傾斜して設けられ、
噴出孔113の傾斜方向がガラス板300の移動方向3
10の中心112Aに向かって傾斜している。中心11
2Aは、上面112の中心でもある。
すように、推進用の噴出孔115が、ガラス板300の
移動方向310と平行に並んで、かつ、上面112に対
して傾斜して空けられている。
補助穴114,116に至る間に空けられている。補助
穴114,116は、供給系111にそれぞれ通じてい
る。補助穴114,116は、噴出孔113,115の
径が小さいので、噴出孔113,115の形成に際して
前もって基部110に空けられる、径の大きな予備的な
穴である。
穴114,116を経て、噴出孔113,115から噴
出する。噴出孔113,115からの気体の噴出方向
は、上面112に対して斜め上方に傾斜している。か
つ、移動方向310に対して、噴出孔113からの気体
が直角になり、噴出孔115からの気体が平行になって
いる。このような気体の噴出が、図24の噴出方向11
3A,115Aによって、平面的に表されている。
出方向113A,115Aに噴出された気体によって、
ガラス板300が浮上して移動方向310に動くと同時
に、ガラス板300の中心が上面112の中心112A
に沿って移動するので、ガラス板300の側面が囲い材
120の側壁に接触することがない。つまり、各噴出孔
113による調芯作用によって、ガラス板300の中心
が上面112の中心112Aに移動する。ガラス板30
0に対する調芯によって、ガラス板300が囲い材12
0に対して非接触の状態で移動される。
0から送られてくるガラス板300を受け取り、このガ
ラス板300の停止、静止および移動方向の変更や、ガ
ラス板300自身の回転等を行う。制御ユニット200
は、ガラス板300に対する停止、静止等の制御を気体
の噴出によって行う。
ユニット200で構成される搬送システムと、各種の処
理ユニットとを組み合わせることによって、ガラス板3
00の処理システムが構築される。この搬送システムの
一例が特願平3−328052号公報に示されている。
搬送装置には、以下の問題点があった。つまり、移送ユ
ニットの噴出孔113は、ガラス板300の浮上とガラ
ス板300に対する調芯との両方を、気体の噴出で行っ
ている。このために、ガラス板300が重くなると、ガ
ラス板300に対して噴出孔113による調芯作用が弱
くなってくる。この結果、ガラス板300が蛇行して、
移動時間が増加したり、また、ガラス板300が囲い材
120に衝突するという課題が発生する。
基体の形状や重量の影響を除き、板状基体に対して迅速
な調芯をすることができる浮上搬送装置を提供すること
を目的とする。
は、板状の搬送面を具備し、この搬送面に沿って板状基
体を送るための基部と、前記搬送面から気体を噴出する
ことによって、板状基体を前記搬送面から浮上させると
共に浮上した板状基体を前記搬送面に沿って移動させる
第1噴出手段と、前記第1噴出手段によって浮上した板
状基体を前記搬送面の中心位置に保つために、気体を噴
出する第2噴出手段とを備えたことを特徴とする。
来た板状基体が第1噴出手段からの気体で浮上する。同
時に、板状基体は、第2噴出手段からの気体によって、
基部の上面の中心方向に迅速に移動される。これによっ
て、板状基体は、蛇行して基部の上面からはみ出すこと
なく、この上面の上を直線的に移動する。
載の浮上搬送装置において、前記第2噴出手段は、前記
搬送面上の両側に沿って配置されている2つの側方噴出
部と、これらの2つの側方噴出部に気体を供給する供給
系とを備え、前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方
向に気体を噴出する噴出孔を多数具備したことを特徴と
する。
載の浮上搬送装置において、前記各側方噴出部は、前記
搬送面の中心方向に移動可能であることを特徴とする。
載の浮上搬送装置において、前記第2噴出手段は、前記
搬送面の中心を挟むように前記搬送面に配置されると共
に前記搬送面の中心方向に気体を噴出する2つの面側噴
出部と、これらの面側噴出部に気体を供給する供給系と
を備えたことを特徴とする。
載の浮上搬送装置において、前記各面側噴出部は、前記
搬送面に沿って少なくとも1つの噴出孔列を具備し、前
記噴出孔列は、前記搬送面の中心に向かって複数列設け
られ、前記各噴出孔列は、前記搬送面の中心に向けて気
体を噴出すると共に前記搬送面に沿って並んでいる多数
の噴出孔を具備したことを特徴とする。
載の浮上搬送装置において、前記各面側噴出部は、前記
搬送面に沿って少なくとも1つの噴出スリット列を具備
し、前記噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向かっ
て複数列設けられ、前記各噴出スリット列は、前記搬送
面の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿
って並んでいる複数の噴出スリットを具備したことを特
徴とする。
を参照して、本発明の実施の形態1について述ベる。図
1は、実施の形態1に係わる浮上搬送装置の基部を示す
平面図である。図2は、図1のI―I断面を示す断面図
である。図3は、図1のII―II断面を示す断面図で
ある。図4は、気体の噴出の様子を説明するための説明
図である。図5は、噴出された気体による調芯の様子を
説明するための説明図である。
代わりに、図1に示される基部1が用いられている。基
部1は、移動方向310に対して長い長方形をしてい
る。かつ、基部1は、上面11が平らな板状体である。
イン1A1,1A2が設定されている。さらに、設定ライ
ン1A1,1A2の内側には、設定ライン1B1,1B2が
設定され、その内側には、設定ライン1C1,1C2が設
定されている。
2は、浮上用噴出孔を配置するためのものである。つま
り、設定ライン1A1,1A2には、図2に示すように、
多数の噴出孔2A11,2A21と多数の補助穴2A12,2
A22とが設けられ、設定ライン1B1,1B2には、多数
の噴出孔2B11,2B21と多数の補助穴2B12,2B22
とがそれぞれ設けられている。さらに、設定ライン1C
1,1C2には、多数の噴出孔2C11,2C21と多数の補
助穴2C12,2C22とが設けられている。
よび補助穴2A12〜2C12,2A22〜2C22は、図22
の噴出孔113および補助穴114とそれぞれ同じであ
る。そして、噴出孔2A11と補助穴2A12、噴出孔2B
11と補助穴2B12、噴出孔2C11と補助穴2C12、噴出
孔2A21と補助穴2A22、噴出孔2B21と補助穴2B 22
および噴出孔2C21と補助穴2C22が、浮上用噴出部分
2A1,2B1,2C1,2A2,2B2,2C2をそれぞれ
構成する。さらに、すべての噴出孔2A11,2B11,2
C11,2A21,2B21,2C21が、浮上用噴出孔列をそ
れぞれ形成する。
には、設定ライン1D1,1D2,1E1,1E2がそれぞ
れ設定されている。設定ライン1D1,1D2,1E1,
1E2は、移動用噴出孔を配置するためのものである。
つまり、設定ライン1D1,1D2には、多数の噴出孔2
D11,2D21と多数の補助穴2D12,2D22とが設けら
れている。設定ライン1E1,1E2には、多数の噴出孔
2E11,2E21と多数の補助穴2E12,2E22とが設け
られている。
E12,2E22は、図23の噴出孔115および補助穴1
16とそれぞれ同じであり、ガラス板を移動方向310
に送る。各噴出孔2D11,2D21および各補助穴2
D12,2D22は、ガラス板を移動方向310と反対方向
に送る。そして、噴出孔2D11と補助穴2D12、噴出孔
2D21と補助穴2D22が第1移動用噴出部分2D1,2
D2をそれぞれ形成し、噴出孔2E11と補助穴2E12、
噴出孔2E21と補助穴2E22が第2移動用噴出部分2E
1,2E2をそれぞれ形成する。
ン1A1との間、および、上面11の他方の端部と設定ラ
イン1A2との間には、設定ライン1F1,1F2がそれ
ぞれ設定されている。設定ライン1A1,1B1,1C1
の各間には、設定ライン1G1,1H1がそれぞれ設定さ
れ、設定ライン1A2,1B2,1C2の各間には、設定
ライン1G2,1H2がそれぞれ設定されている。つま
り、設定ライン1A1,1B1,1C1と設定ライン1
F1,1G1,1H1とが交互に配置され、同様に、設定
ライン1A2,1B2,1C2と設定ライン1F2,1
G2,1H2とが交互に配置されている。この結果、設定
ライン1F1,1G1,1H1が一定間隔で配置され、同
じく、設定ライン1F2,1G2,1H2が一定間隔で配
置されることになる。
ように、多数の噴出孔2F11,2F 21と多数の補助穴2
F12,2F22とが設けられている。各噴出孔2F11,2
F21が、基部1の上面11に対して上方向に、かつ、上
面11の中心12に向けて気体を噴出する。
と補助穴2F12とが、ガラス板300の調芯をするため
の調芯用噴出部分2F1を構成する。図4に示すよう
に、調芯用噴出部分2F1の噴出孔2F11が、ガラス板
300の側壁301に向けて、噴出方向θ1で気体を噴
出する。このときの気体の噴出方向θ1は、浮上用噴出
部分2A1の噴出孔2A11が噴出する気体の噴出方向が
θ2であるとき、次のように設定されている。なお、噴
出方向θ1,θ2は、上面11を基準にした角度であ
る。
噴出で発生する力がガラス板300に働く。つまり、噴
出方向θ1に噴出された気体によって、ガラス板300
が受ける力W1は、上面11と平行な力である調芯力W11
と、上面11に対して直角な力である浮上力W12とに分
けられる。同じく、噴出方向θ2に噴出された気体によ
って、ガラス板300が受ける力W2は、調芯力W21と
浮上力W2 2とに分けられる。
いので、推進力と浮上力との関係が次のようになる。
べて、調芯用噴出部分2F1の調芯力W11が大きくなる
ので、主に、噴出方向θ1の気体によって、ガラス板3
00が上面1の中心12に移動する。
ライン1F2には、多数の噴出孔2F 21と多数の補助穴
2F22とが設けられている。噴出孔2F21と補助穴2F
22とが調芯用噴出部分2F2を構成する。調芯用噴出部
分2F2が噴出する気体の噴出方向が、調芯用噴出部分
2F1からの気体の噴出方向と向かい合うように、調芯
用噴出部分2F2の噴出孔21と調芯用噴出部分2F1の噴
出孔2F11とが配列されている。これによって、調芯用
噴出部分2F2は、調芯用噴出部分2F1と対になって、
ガラス板に対する調芯を行う。
孔2G11,2G21と多数の補助穴2G12,2G22とが設
けられている。噴出孔2G11と補助穴2G12とが調芯用
噴出部分2G1を構成し、噴出孔2G21と補助穴2G22
とが調芯用噴出部分2G2を構成する。調芯用噴出部分
2G1,2G1は、調芯噴出部分2F1,2F2と同じであ
り、各噴出孔2G11,2G21が上面11の中心12に向け
て、噴出方向θ1に気体をそれぞれ噴出する。
孔2H11,2H21と多数の補助穴2H12,2H22とが設
けられている。噴出孔2H11と補助穴2H12とが調芯用
噴出部分2H1を構成し、噴出孔2H21と補助穴2H22
とが調芯用噴出部分2H2を構成する。調芯用噴出部分
2H1,2H1は、調芯噴出部分2F1,2F2と同じであ
り、各噴出孔2H11,2H21が上面11の中心12に向け
て、噴出方向θ1に気体をそれぞれ噴出する。
ライン1G1上の噴出孔2G11と設定ライン1H1上の噴
出孔2H11とが第1の面側噴出部を形成し、また、設定
ライン1F2上の噴出孔2F21と設定ライン1G2上の噴
出孔2G21と設定ライン1H 2上の噴出孔2H21とが第
2の面側噴出部を形成する。さらに、第1と第2の面側
噴出部と供給系(図示を省略)とが第2噴出手段を構成
する。
明する。
浮上用噴出部分2A1〜2C1,2A 2〜2C2から噴出さ
れる気体で浮上する。また、ガラス板300は、第1移
動用噴出部分2D1,2D2から噴出される気体で移動方
向310に送られる。
は、このガラス板300の幅に応じた調芯用噴出部分、
例えば図5に示すように、調芯用噴出部分2F1,2F2
からの気体が噴出される。噴出される気体によって、ガ
ラス板300が中心12に移動し、ガラス板300に対
する調芯が行われる。
用噴出部分2A1〜2C1,2A2〜2C2、第1移動用噴
出部分2D1,2D2、第2移動用噴出部分2E1,2E2
とは別に、調芯用噴出部分2F1〜2H1,2F2〜2H2
が設けられている。そして、調芯用噴出部分2F1〜2
H1,2F2〜2H2が噴出する気体によって、ガラス板
300に対する調芯が行われるので、ガラス板300が
重くなっても、調芯用に強く噴出される気体によって、
ガラス板300に対する調芯を行うことができる。
用噴出部分2F2〜2H2とが、上面11の中心12に向か
って順に並んでいる。この結果、ガラス板の幅に応じて
調芯用噴出部分2F1〜2H1と調芯用噴出部分2F2〜
2H2との中から、最適な調芯用噴出部分を選択すれ
ば、任意の幅のガラス板に対する調芯を行うことができ
る。つまり、ガラス板の搬送の後、このガラス板と幅が
異なるガラス板の搬送(以下、ガラス板の混載搬送とい
う)を可能にする。
発明の実施の形態2について述ベる。図6は、実施の形
態2に係わる浮上搬送装置の基部を示す断面図である。
れた浮上用噴出部分2A1〜2C1,2A2〜2C2の代わ
りに、図6に示す浮上用噴出部分11A1〜11C1,1
1A 2〜11C2が用いられている。つまり、実施の形態
2の浮上用噴出部分11A1,11A2は、多数の噴出孔
11A11,11A21と多数の補助穴11A12,11A22
とを備えている。各補助穴11A12,11A22は、実施
の形態1の補助穴2A12,2A22とそれぞれ同じであ
る。
態1の噴出孔2A11,2A21と異なり、基部10の上面
101に対して直角方向に気体を噴出する。つまり、実
施の形態2では、図5の噴出方向θ2が90度であり、
各噴出孔11A11,11A21は、ガラス板の浮上専用と
して用いられている。
の噴出孔11B11,11C11と多数の補助穴11B12,
11C12とを備え、浮上用噴出部分11B2,11C
2は、多数の噴出孔11B21,11C21と多数の補助穴
11B22,11C22とを備えている。
1B12,11C12は、噴出孔11A 11および補助穴11
A12とそれぞれ同じであり、噴出孔11B21,11C21
および補助穴11B22,11C22は、噴出孔11A21お
よび補助穴11A22とそれぞれ同じである。
同じ第1移動用噴出部分11D1,11D2と第2移動用
噴出部分11E1,11E2とを備えている。
ているが、実施の形態1と同じ調芯用噴出部分を備えて
いる。
噴出部分11A1〜11C1,11A 2〜11C2が基部1
0の上面101に対して直角方向に気体を噴出するの
で、ガラス板が重くなっても、浮上用噴出部分11A1
〜11C1,11A2〜11C2と調芯用噴出部分とによ
って、上面101の中心に沿ってガラス板を浮上させ
て、移動させることができる。
11A2〜11C2が基部10の上面101に対して直角
方向に気体を噴出するので、図4の噴出方向θ1を、 0<θ1<90 のように、広範囲に設定することができる。
て、本発明の実施の形態3について述ベる。図7は、実
施の形態3に係わる浮上搬送装置の基部を示す平面図で
ある。図8は、図7のIII−III断面を示す断面図
である。図9は、実施の形態3に係わる噴出装置を示す
斜視図である。
によって板状基体を搬送する搬送システムの中の移送ユ
ニットであり、基部21、囲い材22および側方噴出部
として調芯部23,24を備えている。
じである。基部21は、噴出孔21A11〜21A61と補
助穴21A12〜21A62とをそれぞれ備えている浮上用
噴出部分21A1〜21A6、噴出孔21B11,21B12
と補助穴21B12,21B22とをそれぞれ備えている第
1移動用噴出部分21B1,21B2、および、噴出孔2
1C11,21C12と補助穴21C12,21C22とをそれ
ぞれ備えている第2移動用噴出部分21C1,21C2を
備えている。
4〜21A6は、実施の形態1の浮上用噴出部分2A1〜
2C1,2A2〜2C2とそれぞれ同じであり、第1移動
用噴出部分21B1,21B2は、実施の形態1の第1移
動用噴出部分2D1,2D2と同じである。また、第2移
動用噴出部分21C1,21C2は、実施の形態1の第2
移動用噴出部分2E1,2E2と同じである。
4A、4つの伸縮装置23B,24Bおよび4つの噴出
装置23C,24Cをそれぞれ備えている。
空けられた貫通穴22Aを通り、4つの噴出装置23
C,24Cを駆動装置23A,24Aにそれぞれ接続す
る。伸縮装置23B,24Bは、移動方向310と直角
な方向に、かつ、基部21の中心に向かって、駆動装置
23A,24Aの制御でそれぞれ伸縮する。また、伸縮
装置23B,24Bは、駆動装置23A,24Aからの
気体を噴出装置23C,24Cにそれぞれ送る。
置23B,24Bをそれぞれ駆動する。つまり、駆動装
置23A,24Aは、送られてくるガラス板300の幅
に応じて、4つの伸縮装置23B,24Bを基部21の
中心に向かってそれぞれ伸縮させる。これによって、駆
動装置23A,24Aは、噴出装置23C,24Cをガ
ラス板300の側壁付近に位置するようにする。同時
に、駆動装置23A,24Aは、伸縮装置23B,24
Bを経て、噴出装置23C,24Cにそれぞれ気体を送
る。
方体の形状であり、ガラス板300の送り方向に長くな
っている。噴出装置23Cの内部が中空である。噴出装
置23Cの正面23C1、つまり、噴出装置24Cと向
かい合う面には、複数の噴出孔23C2が空けられてい
る。噴出孔23C2は、浮上したガラス板300の側面
の下部に位置するように、正面23C1に空けられてい
る。かつ、噴出孔23C2は、噴出装置23Cの長手方
向に一列に並んで空けられている。これによって、噴出
孔23C2は、基部21の上面に対して水平方向に、つ
まり、この上面に対して傾斜角度0(ゼロ)で気体を噴
出する。各噴出装置24Cは、噴出装置23Cとそれぞ
れ同じであるので、説明を省略する。
置23A,24Aから送られてくる気体を、基部21の
中心に向けて噴出孔23C2からそれぞれ噴出する。こ
のとき、噴出装置23C,24Cは、ガラス板300の
側面の下部に気体を噴出する。この結果、実施の形態3
によって、噴出装置23C,24Cは、ガラス板300
の中心が基部21の中心に位置するように、ガラス板3
00を気体の噴出で動かすことができる。
たガラス板300の下部の側面に気体を噴出するので、
ガラス板300の厚さが異なっても、ガラス板300を
基部21の中心に動かすことができる。
斜角度0(ゼロ)で気体が噴出されるので、ガラス板3
00に作用する調芯用の力を大きくすることができる。
この結果、ガラス板300の中心を短時間で基部21の
中心に移動させることができる。
て、本発明の実施の形態4について述ベる。図10は、
実施の形態4の噴出装置を示す斜視図である。
置23C,24Cの代わりに、図10に示す噴出装置2
5が用いられている。噴出装置25は、噴出装置23
C,24Cを分割型にしたものである。つまり、噴出装
置25は、上部25Aと下部25Bとで構成されてい
る。上部25Aと下部25Bとは、同じ箱型の形状をし
ている。下部25Bの開口25B1には、四角形状の複
数の切り欠き25B2が設けられている。下部25Bの
開口25B1に上部25Aの開口が覆うように、上部2
5Aが下部25Bに取り付け可能である。上部25Aが
下部25Bに取り付けられたとき、切り欠き25B2が
噴出孔になる。
部に塵等が付着して、気体の流れが悪くなったとき、上
部25Aと下部25Bとを分離して、噴出装置25の内
部を簡単に清掃することを可能にする。つまり、実施の
形態4によって、噴出装置25に対する日常の保守点検
が簡単化することを可能にする。
て、本発明の実施の形態5について述ベる。図11は、
実施の形態5に係わる基部の断面を示す断面図である。
と異なる。つまり、実施の形態3では、噴出装置23
C,24Cに対する気体供給が駆動装置23A,24A
で行われていた。実施の形態5では、基部30から気体
供給が行われている。実施の形態5の基部30は、実施
の形態3と同じように、浮上噴出部分31A1〜31
A6、第1移動用噴出部分31B1,31B2および第2
移動用噴出部分31C1,31C2を内部に備えている。
置32,33を内部に備えている。供給装置32,33
は、基部30の上面30bに沿うように、かつ、基部3
0の両側に設けられている。供給装置32,33は、供
給系(図示を省略)から気体の供給を受ける。そして、
供給装置32,33は、供給された気体を上方に向けて
流す。
供給装置32,33の上端に、噴出装置34,35が置
かれている。噴出装置34,35は、噴出装置23C,
24Cと同じように、内部が中空の直方体である。噴出
装置34,35が互いに向かい合う面である正面には、
複数の噴出孔が噴出装置23C,24Cと同じように設
けられている。このような噴出装置34,35は、実施
の形態3の噴出装置23C,24Cと同じように、ガラ
ス板300の側面の下部に向けて気体を噴出する。
0や囲い材30Aの外側に気体供給をする装置を不要に
することができる。
照して、本発明の実施の形態6について述ベる。図12
は、実施の形態6に係わる浮上搬送装置の基部を示す平
面図である。図13は、図12のIV―IV断面を示す
断面図である。図14は、図12のスリットの部分を示
す斜視図である。
によって板状基体を搬送する搬送システムの中の移送ユ
ニットである。実施の形態6では、実施の形態1の基部
1の代わりに、図12に示す基部40が用いられてい
る。基部40の上面401には、調芯用スリット列411
〜41n,421〜42n、浮上用スリット列431〜43
n,441〜44n、多数の噴出孔4511,4521を具備
する第1移動用噴出孔列451,452、および、多数の
噴出孔4531,4541を具備する第2移動用噴出孔列4
52,454が設けられている。第1移動用噴出孔列45
1,452と第2移動用噴出孔列452,454とは、図1
の第1移動用噴出孔列2D11,2D21と第2移動用噴出
孔列2E11,2E21とそれぞれ同じであるので、これら
の説明を省略する。調芯用スリット列411〜41nと調
芯用スリット列421〜42nとが面側噴出部をそれぞれ
形成し、これらの2つの面側噴出部が第2噴出手段を形
成する。
01の中心に向かって等間隔に並んで設けられている。
調芯用スリット列411〜41nは、複数の噴出スリット
41 11〜41n1をそれぞれ備える。噴出スリット4111
は、次のように形成されている。つまり、図14に示す
ように、噴出スリット4111は、基部40の内部の補助
穴4112に設けられている。補助穴4112は、基部40
の長手方向に延びた中空の穴であり、供給系(図示を省
略)から気体の供給を受ける。基部40の上面401に
向かい合う補助穴4112の部分が、三角柱の形状をして
いる。補助穴4112の三角柱の部分から基部40の上面
401までの間に設けられたスリットが、噴出スリット
4111である。
て、角度θ3の方向に空けられている。角度θ3は、実
施の形態1の噴出方向θ1と同じである。これによっ
て、噴出スリット4111は、上面401から角度θ3つ
まり噴出方向θ1で、かつ、上面401の中心に向かっ
て、調芯用の気体を噴出する。
のも、噴出スリット4111と同様である。
スリット列411〜41nと同じように、上面401の中
心向かって等間隔に並んで設けられている。調芯用スリ
ット列421〜42nは、調芯用スリット列411〜41n
と同じように、複数の噴出スリット4211〜42n1をそ
れぞれ備える。そして、噴出スリット4211は、補助穴
4212〜42n2と上面401との間に設けられている。
噴出スリット4211〜42n1は、調芯用スリット列41
1〜41nと同じように、上面401から角度θ3つまり
噴出方向θ1に、かつ、上面401の中心に向かって、
調芯用の気体を噴出する。
調芯用スリット列421〜42nとによって、搬送される
ガラス板の中心を基部40の上面401の中心に合うよ
うにする。
リット4311〜43n1と補助穴43 12〜43n2とをそれ
ぞれ備える。また、浮上用スリット列441〜44nは、
噴出スリット4411〜44n1と補助穴4412〜44n2と
をそれぞれ備える。浮上用スリット列431〜43nおよ
び浮上用スリット列441〜44nは、次の点を除いて、
調芯用スリット列411〜41nおよび調芯用スリット列
421〜42nとそれぞれ同じような構造をしている。つ
まり、浮上用スリット列431〜43nの噴出スリット4
311〜43n1と、浮上用スリット列441〜44nの噴出
スリット4411〜44n1とが空けられている角度が、実
施の形態1の噴出方向θ2と同じである。これによっ
て、浮上用スリット列431〜43n,441〜44nは、
実施の形態1と同じようにガラス板を浮上させる。
と調芯用とに用いられる噴出スリットが細長形状である
ので、上面401を斜めに切る加工だけで、噴出スリッ
トを形成することができる。また、1つの噴出スリット
が複数の噴出孔に対応するので、調芯用や浮上用の気体
を噴出するための構造を、少ない工数で形成することが
できる。
照して、本発明の実施の形態7について説明する。図1
5は、実施の形態7に用いられている噴出スリット構造
を示す平面図である。図16は、図15のV−V断面を
示す断面図である。図17は、図16の溝を示す斜視図
である。図18は、図16の遮蔽板の断面を示す断面図
である。図19は、図16の遮蔽板の底面を示す底面図
である。
リットが異なる構造をしている。つまり、図15,16
に示すように、実施の形態7の噴出スリットを形成する
ための噴出スリット構造50は、遮蔽板51、溝52お
よび供給穴53によって形成される。
れている。溝52は、図17に示すように、底面52A
を備えている。底面52Aは、幅がL1である長方形で
あり、基部の上面401に沿って長くなっている。底面
52Aの一方の端には、この底面52Aと直交するよう
に、側面52Bが形成されている。側面52Bの上端が
上面401と直角に交差し、側面52Bの幅が溝52の
深さになっている。底面52Aの他方の端には、斜面5
2Cが形成されている。斜面52Cは、上面401に対
して角度がθ4になるように、傾斜している。斜面52
Cの上端は、上面401と交差している。このように、
溝52は、角度θ4で傾斜した斜面52Cを持ち、開口
の最大が幅L2である台形をしている。
であり、底面52Aが斜面52Cと交差する部分に一定
間隔で設けられている。供給穴53には、供給系(図示
を省略)から気体が供給される。
ある。遮蔽板51は、図18に示すように、断面形状が
台形をした板である。つまり、遮蔽板51の側面51A
が溝52の側面52Bと同じ形状をしている。遮蔽板5
1が溝52に置かれたとき、側面51Aが側面52Bに
接触する。遮蔽板51の上面51Bおよび下面51Cの
一方の端が、側面51Aの上下の両端になっている。そ
して、上面51Bおよび下面51Cは、側面51Aに対
して直角になっている。上面51Bの幅が遮蔽板51の
幅L2より所定長だけ短く、同じく、下面51Cの幅が
遮蔽板51の幅L1より所定長だけ短くなっている。遮
蔽板51が溝52に置かれたとき、下面51Cが溝52
の底面52Aに接触する。
に形成される面が、斜面51Dである。斜面51Dは、
溝52の斜面52Cと同じ形状をしている。上面51B
の幅が幅L2より所定長だけ短く、下面51Cの幅が幅
L1より所定長だけ短くなっているので、遮蔽板51が
溝52に置かれたとき、斜面51Dが溝52の斜面52
Cから離れる。このとき、斜面51Dは、斜面52Cと
向かい合うように、かつ、斜面52Cに対して一定の間
隔を保つ。この結果、気体を噴出する角度がθ4である
噴出スリット50Aが形成される。
1Eが設けられている。スペーサ51Eの厚さは、斜面
51Dと斜面52Cとの距離に等しい。また、スペーサ
51Eは、図19に示すように、供給穴53を覆わない
ように、かつ、気体の流れを良好に保つために等間隔で
斜面51Dに配置されている。スペーサ51Eによっ
て、遮蔽板51が溝52に置かれたときに、側面51A
が側面52Bに密着する。つまり、スペーサ51Eによ
って、遮蔽板51を溝52に置くだけで、位置決め等を
不要にして、確実に噴出スリット50Aを形成すること
ができる。
は、実施の形態6と同じように、浮上用と調芯用とに用
いることができる。このとき、浮上用と調芯用とでは、
角度θ4を変えればよい。
合、カッター等を用いて基部40の上面401に対する
加工が不要になる。この結果、噴出スリット50Aの形
成を簡単化することができ、かつ、角度θ4の設定を簡
単にすることができる。
の搬送面を具備し、この搬送面に沿って板状基体を送る
ための基部と、前記搬送面から気体を噴出することによ
って、板状基体を前記搬送面から浮上させると共に浮上
した板状基体を前記搬送面に沿って移動させる第1噴出
手段と、前記第1噴出手段によって浮上した板状基体を
前記搬送面の中心位置に保つために、気体を噴出する第
2噴出手段とを備えたことを特徴とする。
よび調芯専用として設けられているので、板状基体が重
くなっても、気体の噴出による調芯のための強い力を板
状基体に加えることができる。これによって、板状基体
の蛇行を防いで、板状基体を基部の中心位置に迅速に移
動させることができ、板状基体の非接触による搬送を可
能にする。
送面上の両側に沿って配置されている2つの側方噴出部
と、これらの2つの側方噴出部に気体を供給する供給系
とを備え、前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方向
に気体を噴出する噴出孔を多数具備したことを特徴とす
る。また、本発明では、前記各側方噴出部は、前記搬送
面の中心方向に移動可能であることを特徴とする。
管状のものを用いると、各側方噴出部を簡単な材料を用
いて形成することができる。さらに、各側方噴出部を移
動可能にすることによって、幅の異なる板状基体に対応
することができる。
送面の中心を挟むように前記搬送面に配置されると共に
前記搬送面の中心方向に気体を噴出する2つの面側噴出
部と、これらの面側噴出部に気体を供給する供給系とを
備えたことを特徴とする。また、本発明では、前記各面
側噴出部は、前記搬送面に沿って少なくとも1つの噴出
孔列を具備し、前記噴出孔列は、前記搬送面の中心に向
かって複数列設けられ、前記各噴出孔列は、前記搬送面
の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿っ
て並んでいる多数の噴出孔を具備したことを特徴とす
る。
けられているので、気体を噴出するための機構を搬送面
上に設けることを不要にすることができる。また、ガラ
ス板の幅に応じて第2噴出手段が自動的に選択されるか
ら、任意の幅のガラス板の混載搬送を可能にする。この
結果、装置が簡単になるので、装置の信頼性を向上させ
ることができる。
送面に沿って少なくとも1つの噴出スリット列を具備
し、前記噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向かっ
て複数列設けられ、前記各噴出スリット列は、前記搬送
面の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿
って並んでいる複数の噴出スリットを具備したことを特
徴とする。
の噴出孔に対応するので、第2噴出手段の形成を簡単化
することができる。
す平面図である。
る。
めの説明図である。
す断面図である。
す平面図である。
る。
ある。
である。
図である。
示す平面図である。
る。
る。
構造を示す平面図である。
ある。
る。
ある。
明図である。
A2〜11C2,21A1〜21A6,31A1〜31A6
浮上用噴出部分 2D1,2D2,11D1,11D2,21B1,21B2,
31B1,31B2 第1移動用噴出部分 2E1,2E2,11E1,11E2,21C1,21C2,
31C1,31C2 第2移動用噴出部分 2F1〜2H1,2F2〜2H2 調芯用噴出部分 2A11〜2H11,2A21〜2H21,11A11〜11
E11,11A21〜11E21,21A11〜21A61,21
B11,21C11,23C2,4511〜4541,113,
115 噴出孔 2A12〜2H12,2A22〜2H22,11A12〜11
E12,11A22〜11E22,21A12〜21A62,21
B12,21B22,21C12,21C22,114,11
6,4112〜41n2,4212〜42n2,4312〜4
3n2,4412〜44n2 補助穴 22,120,30A 囲い材 22A 貫通穴 23,24 調芯部 23C1 正面 23A,24A 駆動装置 23B,24B 伸縮装置 23C,24C,25,34,35 噴出装置 23C1 正面 25A 上部 25B 下部 25B1 開口 25B2 切り欠き 32,33 供給装置 411〜41n 調芯用スリット列 4111〜41n1,4211〜42n1,4311〜43n1,4
411〜44n1,50A 噴出スリット 421〜42n 調芯用スリット列 431〜43n,441〜44n 浮上用スリット列 451,452 第1移動用噴出孔列 453,454 第2移動用噴出孔列 50 噴出スリット構造 51 遮蔽板 51A 側面 51C 下面 51D 斜面 51E スペーサ 52 溝 52A 底面 52B 側面 52C 斜面 53 供給穴 130 加工板 100 移送ユニット 111 供給系 112A 中心 113A,115A 噴出方向 140 封止板 200 制御ユニット 300 ガラス板 310 移動方向 311 転換方向 L1,L2 幅 W11,W21 調芯力 W12,W22 浮上力 θ1,θ2 噴出方向 θ3,θ4 角度
Claims (6)
- 【請求項1】 板状の搬送面を具備し、この搬送面に沿
って板状基体を送るための基部と、 前記搬送面から気体を噴出することによって、板状基体
を前記搬送面から浮上させると共に浮上した板状基体を
前記搬送面に沿って移動させる第1噴出手段と、 前記第1噴出手段によって浮上した板状基体を前記搬送
面の中心位置に保つために、気体を噴出する第2噴出手
段とを備えたことを特徴とする浮上搬送装置。 - 【請求項2】 前記第2噴出手段は、前記搬送面上の両
側に沿って配置されている2つの側方噴出部と、これら
の2つの側方噴出部に気体を供給する供給系とを備え、
前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方向に気体を噴
出する噴出孔を多数具備したことを特徴とする請求項1
に記載の浮上搬送装置。 - 【請求項3】 前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心
方向に移動可能であることを特徴とする請求項2に記載
の浮上搬送装置。 - 【請求項4】 前記第2噴出手段は、前記搬送面の中心
を挟むように前記搬送面に配置されると共に前記搬送面
の中心方向に気体を噴出する2つの面側噴出部と、これ
らの面側噴出部に気体を供給する供給系とを備えたこと
を特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。 - 【請求項5】 前記各面側噴出部は、前記搬送面に沿っ
て少なくとも1つの噴出孔列を具備し、前記噴出孔列
は、前記搬送面の中心に向かって複数列設けられ、前記
各噴出孔列は、前記搬送面の中心に向けて気体を噴出す
ると共に前記搬送面に沿って並んでいる多数の噴出孔を
具備したことを特徴とする請求項4に記載の浮上搬送装
置。 - 【請求項6】 前記各面側噴出部は、前記搬送面に沿っ
て少なくとも1つの噴出スリット列を具備し、前記噴出
スリット列は、前記搬送面の中心に向かって複数列設け
られ、前記各噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向
けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿って並んでい
る複数の噴出スリットを具備したことを特徴とする請求
項4に記載の浮上搬送装置。
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