KR100525926B1 - 기판 부상 장치 - Google Patents

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KR100525926B1 KR10-2002-0021189A KR20020021189A KR100525926B1 KR 100525926 B1 KR100525926 B1 KR 100525926B1 KR 20020021189 A KR20020021189 A KR 20020021189A KR 100525926 B1 KR100525926 B1 KR 100525926B1
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Abstract

본 발명은 유리 기판 부상시, 유리 기판과 부상판 사이의 충돌을 방지할 수 있는 액정 표시 장치용 기판 부상 장치를 개시한다. 개시된 본 발명의 부상 장치는, 부상 유체가 유입되며 부상 유체를 저장하는 바디부와, 상기 바디부 상부에 놓여지며, 상기 부상 유체를 분출하여 상기 기판을 일정 높이만큼 부상시키는 부상판, 및 상기 바디부상에 부상판을 기계적으로 고정시키기 위한 고정부를 포함한다.

Description

기판 부상 장치{Floating apparatus of substrate}
본 발명은 기판 부상 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 이송중인 유리 기판과 부상판 사이의 충돌을 방지할 수 있는 액정 표시 장치용 기판 부상 장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정 표시 장치용 유리 기판은 기존의 반도체 웨이퍼와 달리 로울러를 구비한 이송 장치 상에 장착된 상태에서 챔버 내부를 이동 또는 순환하면서, 소정의 층이 증착 및 식각된다. 이러한 이송 장치는 유리 기판을 직접적으로 이동시키는 다수개의 반송 로울러와, 반송 로울러들을 구동시키는 구동 로울러를 포함한다. 상기한 유리 기판은 이송부와의 상호 마찰력에 의하여 반송된다.
그러나, 기판의 이송시, 반송 로울러의 설치 간격과 유리 기판의 자중에 의하여, 반송 로울러 사이에 유리 기판이 처질 수 있다. 또한, 세정이나 식각 공정시, 반송 로울러에 의하여 상대적으로 들려진 기판 부분에 세정액 및 식각액이 일정한 힘을 가지고 분사되므로써, 반송 로울러에 의하여 들려진 부분에 손상이 발생되기 쉽다.
종래에는 유리 기판의 처짐 현상 및 손상을 방지하기 위하여, 도 1에 도시된 바와 같이, 유리 기판 이송 장치에 기판 부상 장치를 설치하고 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 기판 부상 장치(50)는, 부상 유체가 유입되며 부상 유체를 저장하는 바디부(10)와, 바디부(10) 상부에 놓여지며 부상 유체를 분출에 의하여 기판을 부상시키는 부상판(20)을 포함한다.
바디부(10)는 유체가 공급되는 유체 공급부(12)와 유체 공급부(12)로부터 공급된 유체를 저장하는 저수조(13)를 포함한다. 부상판(20)은 바디부(10) 상면에 접착제에 의하여 접착되어 있으며, 저수조(13)내의 부상 유체의 압력에 따라 부상판(20)상에 얹혀질 기판이 부상된다.
그러나, 종래의 부상판(20)은 바디부(10)와 접착제에 의하여 부착되어 있으므로, 고온 및 고온 공정을 진행하거나 장시간 공정을 진행하게 되면, 접착제의 접착력이 약화되기 쉽다. 이와같이 부상판(20)과 바디부(10)의 접착력이 약화되면, 부상판(20)이 바디부(10)로부터 이탈되어, 이송되어지는 유리 기판과 충돌이 빈번해진다. 이로 인하여, 유리 기판이 파손되어 액정 표시 장치의 제조 수율이 크게 저하된다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 부상판과 이송중인 유리 기판간의 충돌을 방지할 수 있는 기판 부상 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 고온, 고압 또는 장시간의 공정을 진행하더라도 부상판이 이탈을 방지할 수 있는 기판 부상 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적과 더불어 그의 다른 목적 및 신규한 특징은, 본 명세서의 기재 및 첨부 도면에 의하여 명료해질 것이다.
본원에서 개시된 발명중, 대표적 특징의 개요를 간단하게 설명하면 다음과 같다. 먼저, 본 발명에 따른 기판 부상 장치는, 부상 유체가 유입되며 부상 유체를 저장하는 바디부와, 상기 바디부 상부에 놓여지며, 상기 부상 유체를 분출하여 상기 기판을 일정 높이만큼 부상시키는 부상판, 및 상기 바디부상에 부상판을 기계적으로 고정시키기 위한 고정부를 포함한다.
여기서, 상기 부상판은 외곽에 홈을 구비하며, 상기 고정 수단은, 상기 부상판의 외주를 둘러싸도록 배치되며 상기 부상판의 홈에 삽입, 고정되는 돌출부를 구비하는 커버부 및 상기 커버부와 바디부를 체결하는 체결부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 부상판은 원반 형태를 가지며, 상기 홈은 외곽에 일정 간격을 두고 설치될 수 있다.
아울러, 상기 고정 수단은, 상기 부상판의 외주를 둘러싸도록 설치되며, 부상판의 가장자리 부분을 구부려진 상태로 눌러 고정하는 지지턱을 구비하는 커버부와, 상기 커버부와 상기 바디부를 체결하는 체결 수단을 포함한다.
또한, 상기 고정 수단은 상기 부상판과 바디부를 체결하는 체결 수단을 포함할 수 있다. 이때, 상기 각각의 체결 수단은 상기 바디부의 가장자리에 적어도 하곳에 설치될 수 있으며, 상기 체결 수단은 나사이다.
상기 바디부는 부상 유체가 공급되는 유체 공급구와, 유체 공급구로부터 주입되는 부상 유체를 담고 있는 저수조를 한정, 지지하며, 상기 저수조는 상기 바디부의 측단부로부터 일정 거리만큼 이격되어 있으며, 상기 체결 수단은 상기 저수조와 바디부 측단부 사이에 설치될 수 있다. 상기 부상판은 다공성 판일 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 기판 부상 장치는, 부상 유체가 유입되며 부상 유체를 저장하는 바디부와, 상기 바디부 상부에 놓여지고, 상기 부상 유체를 분출하여 상기 기판을 일정 높이만큼 부상시키며, 외곽에 홈을 구비하는 부상판과, 상기 부상판의 표면과 동일 평면을 가지면서 부상판의 외곽을 둘러싸도록 설치되며, 상기 부상판의 홈에 삽입,고정되는 돌출부를 구비한 커버부, 및 상기 바디부의 가장자리 부분의 적어도 한곳에 설치되며, 상기 커버부와 바디부를 체결하는 체결부를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 부상 장치는, 부상 유체가 유입되며 부상 유체를 저장하는 바디부와, 상기 바디부 상부에 놓여지고, 상기 부상 유체를 분출하여 상기 기판을 일정 높이만큼 부상시키는 부상판과, 상기 부상판의 표면과 동일 평면을 가지면서 부상판의 외곽을 둘러싸도록 설치되며, 상기 부상판 가장자리를 구부려서 눌러 지지하는 지지턱을 구비하는 커버부, 및 상기 바디부의 가장자리 부분의 적어도 한곳에 설치되며, 상기 커버부와 바디부를 체결하는 체결 수단을 구비할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 부상 장치는,부상 유체가 유입되며 부상 유체를 저장하는 바디부와, 상기 바디부 상부에 놓여지고, 상기 부상 유체를 분출하여 상기 기판을 일정 높이만큼 부상시키는 부상판과, 상기 바디부의 가장자리 부분의 적어도 한곳에 설치되며, 상기 바디부와 상기 부상판을 체결하는 체결 수단을 구비할 수 있다.
이하 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하도록 한다. 그러나, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 발명의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이며, 도면상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 의미한다.
(실시예 1)
도 2는 본 발명의 실시예 1에 따른 기판 부상 장치의 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 부상판의 평면도이며, 도 4는 도 2의 "A"부분을 확대하여 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하여, 본 실시예에 따른 부상 장치(100)는, 부상 유체가 유입되며 부상 유체를 저장하는 바디부(110)와, 바디부(110) 상부에 놓여지며 부상 유체의 분출에 의하여 유리 기판을 일정 높이만큼 부상시키는 부상판(130)을 포함한다. 또한, 부상 장치(100)는, 바디부(110)에 부상판(130)을 기계적으로 고정시키는 커버부(140) 및 커버부(140)와 바디부(110)를 체결하는 체결부(150)를 포함한다.
바디부(110)는 그 하단에 부상 유체가 공급되는 유체 공급구(120)와, 유체 공급구(120)과 연통되며 유체 공급구(120)로부터 주입되는 부상 유체를 담고 있는 저수조(125)를 한정, 지지한다. 이때, 부상 유체로는 CDA, 탈이온수등이 이용될 수 있으며, 유체 공급구(120)와 저수조(125)는 유체가 이동될 수 있도록 서로 연결되어 있다.
또한, 부상판(130)은 바디부(110) 상면에 기계적으로 고정된다. 보다 상세하게는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 부상판(130)은 외곽에 소정 깊이의 홈(135)을 구비하며, 커버부(140)는 부상판(130)의 홈(135)에 삽입, 고정될 수 있도록 돌출부(145)를 구비한다. 이에따라, 부상판(130)의 홈(135)에 커버부(140)의 돌출부(145)가 고정되어 있으므로, 부상판(130)이 바디부(110) 표면으로 돌출되지 않고, 부상판(130)과 커버부(140)는 동일 평면에 위치하게 된다. 아울러, 부상판(140)은 다공판으로서, 내부의 개구를 통하여 유체가 분출되고, 이 분출되는 힘 즉, 압력에 의하여 유리 기판(도시되지 않음)이 부상하게 된다.
또한, 커버부(140)와 바디부(110)는 체결부(150), 예를들어 나사등에 의하여 체결된다. 이때, 저수조(125)는 바디부(110)의 측단부로부터 소정거리 이격되어져 위치하며, 체결부(150)는 저수조(125)와 바디부(110) 사이의 공간중 적어도 하나에 설치된다.
이러한 부상 장치는, 유체 공급부(120)으로부터 부상 유체가 공급되면, 저수조(125)에 내에 유체들이 집결된다. 이어, 저수조(125)내의 유체의 유량 및 압력에 의하여 부상판(130) 상부에 놓인 유리 기판(도시되지 않음)이 일정 높이만큼 부상시킨다. 이때, 부상판(130)은 접착제가 아닌 커버부(140) 및 체결부(150)에 의하여 바디부(110) 상에 기계적으로 고정되어 있으므로, 고압 및 장시간의 공정을 진행하더라도 바디부(110)로부터 이탈되지 않는다. 이에따라, 부상판(130)의 이탈로 인한이송중인 유리 기판의 충돌을 방지할 수 있어, 디스플레이 장치의 제조 수율을 향상시킬 수 있다.
(실시예 2)
도 5는 본 발명의 실시예 2에 따른 기판 부상 장치의 단면도이고, 도 6은 본 발명의 실시예 2에 따른 부상판의 평면도이며, 도 7은 도 5의 "B" 부분을 확대하여 나타낸 도면이다. 본 실시예는 원반 타입의 부상판을 갖는 부상 장치를 나타낸다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 부상 장치(200)는, 부상 유체가 유입되며 부상 유체를 저장하는 바디부(210)와, 바디부(210) 상부에 기계적으로 고정되며, 부상 유체를 분출하여 유리 기판을 일정 높이만큼 부상시키는 부상판(230)을 포함한다. 또한, 부상 장치(200)는 부상판의 외주를 둘러싸도록 설치되며, 부상판(230)을 바디부(210)에 고정시키는 커버부(240) 및 커버부(240)와 바디부(210)를 체결하는 체결부(250)를 포함한다.
보다 자세히 설명하면, 바디부(210)는 중앙에 부상 유체가 공급되는 유체 공급구(200)가 구비되며, 유체 공급구(200)과 연통되도록 유체 공급구(200) 상에 저수조(225)가 구비된다. 바디부(210)는 유체 공급구(200)과 저수조(225)를 한정, 지지하며, 바디부(210) 내부의 형태는 자유자재로 변화될 수 있다. 아울러, 바디부(210) 및 저수조(225)는 원통 형태로 형성될 수 있으며, 부상 유체로는 상술한 실시예 1과 마찬가지로 CDA, 탈이온수등이 이용될 수 있다.
부상판(230) 역시 바디부(210) 상면에 기계적으로 고정된다. 보다 상세하게는, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 부상판(230)은 외곽에 일정 간격을 두고 홈(235)을 구비하고, 커버부(240)는 부상판(230)의 홈(235)에 삽입, 고정될 수 있도록 일정 간격을 두고 돌출부(245)가 구비되어 있다. 즉, 커버부(240)는 부상판(230) 및 바디부(210), 더욱 바람직하게는 저수조(225)의 외주를 둘러싸도록 형성되면서, 부상판(230)의 외주 홈에 각각 삽입 고정되도록 돌출부(245)를 구비한다. 더불어, 커버부(240)는 단면이 직각 삼각형과 유사한 형태를 취할 수 있다.
또한, 커버부(240)와 바디부(210)는 체결부(250), 예를들어 나사등에 의하여 체결되어지고, 체결부(250)는 바디부(210)의 가장자리 영역중 적어도 하나에 설치된다.
이와같이 부상판 및 부상 장치를 구현하여도 동일한 효과를 거둘수 있다.
(실시예 3)
도 8은 본 발명의 실시예 3에 따른 기판 부상 장치의 단면도이다. 도 9는 도 8의 "C"부분을 확대하여 나타낸 도면이다.
도 8을 참조하여, 본 실시예에 따른 기판 부상 장치(300)는, 부상 유체가 유입되며 부상 유체를 저장하는 바디부(310)와, 바디부(310) 상부에 부상 유체를 분출하여 유리 기판을 일정 높이만큼 부상시키는 부상판(330)을 포함한다. 또한, 부상 장치(300)는 부상판(330)의 가장자리를 바디부(310)쪽으로 구부려 눌러 고정시키는 지지턱(345)을 구비하는 커버부(140) 및 커버부(140)와 바디부(110)를 체결하는 체결부(150)를 포함한다.
이를 보다 자세하게 설명하면, 부상판(330)은 상술한 실시예들과 같이 홈을 구비하지 않고, 도 9에 도시된 바와 같이, 가장자리가 커버부(340)의 지지턱(345)에 의하여 구부려진 상태로 눌려 고정된다. 이때, 부상판(330)은 상술한 바와 같이 다수개의 홀을 포함하고 있으므로, 플랙서블(flexible)하다. 아울러, 지지턱(345)의 표면과 부상판(330)의 주된 표면은 동일 평면상에 있음이 바람직하고, 부상판(330)의 측단면은 커버부(340)의 측면과 맞닿을 수 있다.
아울러, 바디부(310) 및 체결부는 상술한 실시예 1과 동일한 형태를 취한다.
본 실시예에 의하면, 커버부(340)의 지지턱에 의하여 부상판(330)의 양 가장자리가 구부러진 상태로 눌러 고정되고, 커버부(340)는 체결부(350)에 의하여 바디부(310)에 고정되므로써, 접착제를 사용하지 않고도 부상판(330)을 바디부(310)에 고정시킬 수 있다.
(실시예 4)
도 10은 본 발명의 실시예 4에 따른 기판 부상 장치의 단면도이다.
도 10을 참조하면, 본 발명의 기판 부상 장치는, 부상 유체가 유입되며 부상 유체를 저장하는 바디부(410)와, 바디부(410) 상부에 부상 유체를 분출하여 유리 기판을 일정 높이만큼 부상시키는 부상판(430)과, 바디부(410)와 부상판(430)을 직접적으로 체결하는 체결부(450)를 포함한다.
바디부(410)는 상술한 바와 같이 부상 유체가 공급되는 유체 공급구(415)와, 유체 공급구(415)로부터 주입되는 부상 유체를 담고 있는 저수조(420)를 한정,지지한다.
부상판(430)은 바디부(410) 상면에 놓여지는데, 부상판(430)의 폭과 바디부(410)의 폭은 동일함이 바람직하고, 저수조(420)는 부상판(430)의 폭보다는 좁도록 설치되며, 저수조(420)는 바디부(410)의 양측단부로 각각 소정 거리만큼 이격되어 있음이 바람직하다.
체결부(450)는 예를들어, 나사로서, 부상판(430)과 바디부(410)를 기계적으로 고정한다. 이때, 체결부는 바디부(410)의 측단부와 저수조(420) 사이에 설치된다.
본 실시예에 의하면, 바디부(410)와 부상판(430)을 체결부(450)에 의하여 직접적으로 고정하므로써, 고온, 고압 및 장시간의 공정을 진행하여도 부상판(430)이 바디부(410)로부터 이탈되지 않는다.
이상에서 자세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 유리 기판을 일정 높이만큼 부상시키는 부상 장치에 있어서, 부상판을 부상장치의 바디에 기계적으로 고정시킨다. 이에따라, 고온, 고압의 공정 및 장시간의 공정을 진행하여도, 부상판이 바디부로부터 이탈되지 않는다. 이에따라, 유리 기판 이송시 유리 기판이 이탈된 부상판과 충돌이 감소되어, 액정 표시 장치의 제조 수율이 크게 증가된다.
이상 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러가지 변형이 가능하다.
도 1은 일반적인 기판 부상 장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1에 따른 기판 부상 장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 부상판의 평면도이다.
도 4는 도 2의 "A"부분을 확대하여 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예 2에 따른 기판 부상 장치의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예 2에 따른 부상판의 평면도이다.
도 7은 도 5의 "B" 부분을 확대하여 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예 3에 따른 기판 부상 장치의 단면도이다.
도 9는 도 8의 "C"부분을 확대하여 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시예 4에 따른 기판 부상 장치의 단면도이다.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
100,200,300,400 : 부상 장치 110,210,310,410 : 바디부
130,230,330,430 : 부상판 140,240,340 : 커버부
150,250,350,450 : 체결부

Claims (8)

  1. 기판을 일정 높이만큼 부상시키는 기판 부상 장치로서,
    부상 유체가 유입되며 부상 유체를 저장하는 바디부;
    상기 바디부 상부에 놓여지며, 상기 부상 유체를 분출하여 상기 기판을 일정 높이만큼 부상시키는 부상판; 및
    상기 바디부상에 부상판을 기계적으로 고정시키기 위한 고정 수단을 포함하며,
    상기 부상판은 외곽에 홈을 구비하고,
    상기 고정 수단은, 상기 부상판의 외주를 둘러싸도록 배치되며 상기 부상판의 홈에 삽입고정되는 돌출부를 구비하는 커버부, 및 상기 바디부와 상기 커버부를 체결하는 체결 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 부상 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정 수단은 상기 부상판과 바디부를 체결하는 체결 수단인 것을 특징으로 하는 기판 부상 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 체결 수단은 상기 바디부의 가장자리에 적어도 하나 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 부상 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 체결 수단은 나사인 것을 특징으로 하는 기판 부상 장치.
  6. 기판을 일정 높이만큼 부상시키는 기판 부상 장치로서,
    부상 유체가 유입되며 부상 유체를 저장하는 바디부;
    상기 바디부 상부에 놓여지고, 상기 부상 유체를 분출하여 상기 기판을 일정 높이만큼 부상시키며, 외곽에 홈을 구비하는 부상판;
    상기 부상판의 표면과 동일 평면을 가지면서 부상판의 외곽을 둘러싸도록 설치되며, 상기 부상판의 홈에 삽입,고정되는 돌출부를 구비한 커버부; 및
    상기 바디부의 가장자리 부분의 적어도 한곳에 설치되며, 상기 커버부와 바디부를 체결하는 나사를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 부상 장치.
  7. 기판을 일정 높이만큼 부상시키는 기판 부상 장치로서,
    부상 유체가 유입되며 부상 유체를 저장하는 바디부;
    상기 바디부 상부에 놓여지고, 상기 부상 유체를 분출하여 상기 기판을 일정 높이만큼 부상시키는 부상판;
    상기 부상판의 표면과 동일 평면을 가지면서 부상판의 외곽을 둘러싸도록 설치되며, 상기 부상판 가장자리를 구부려서 눌러 지지하는 지지턱을 구비하는 커버부; 및
    상기 바디부의 가장자리 부분의 적어도 한곳에 설치되며, 상기 커버부와 바디부를 체결하는 체결 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 부상 장치.
  8. 삭제
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