KR20180027911A - 기판 세정 장치 - Google Patents

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KR20180027911A
KR20180027911A KR1020160115157A KR20160115157A KR20180027911A KR 20180027911 A KR20180027911 A KR 20180027911A KR 1020160115157 A KR1020160115157 A KR 1020160115157A KR 20160115157 A KR20160115157 A KR 20160115157A KR 20180027911 A KR20180027911 A KR 20180027911A
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KR1020160115157A
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이제윤
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

복수의 기판을 세정하는 기판 세정 장치가 제공된다. 복수의 기판을 세정시키는 적어도 하나의 세정유닛 및 복수의 기판이 수용된 카세트를 세정유닛에 로딩 또는 언로딩 하기 위해 이송시키는 이송유닛을 포함하고, 세정유닛은, 기판을 세정하기 위한 세정액이 수용되는 외부세정조, 외부세정조 내측에 결합되는 내부세정조 및 카세트의 측면과 상부 중 적어도 일측에 접촉되어 카세트를 고정하여 세정공정 시 발생하는 카세트의 부유를 방지하는 클램프파트를 구비한다. 클램프파트가 세정공정 시 발생하는 카세트의 부유현상을 방지하여 기판의 세정을 균일하게 실시할 수 있고 기판의 정위치에 안착시켜 이송유닛의 로딩과 언로딩 시에 사고를 방지한다.

Description

기판 세정 장치 {SUBSTRATE CLEANING APPARATUS}
본 발명은 기판 세정 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 세정공정을 진행 시 카세트를 고정하여 기판이 상부로 부유하는 현상을 방지하는 기판 세정 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정에서는 절연막 및 금속물질의 증착(Deposition), 식각(Etching), 감광제(Photoresist)의 도포(Coating), 현상(Develop), 애셔(Asher)나 파티클 등의 불순물 제거 등이 수회 반복되어 미세한 패터닝(Patterning)의 배열을 만들어 나가게 된다. 각각의 단위 공정들을 수행하는 동안 기판 표면에는 이물질 또는 불필요한 막과 같은 오염원들이 기판 표면에 화학적, 물리적 또는 전기적으로 부착될 수 있다. 이와 같은 오염 물질은 제품의 수율 및 신뢰성에 악영향을 미치기 때문에 반도체 제조 공정 중 기판의 오염 물질을 제거하기 위한 세정 공정이 수행된다.
종래의 반도체 제조공정의 세정방법은 사용된 기체 또는 액체의 종류에 따라 그 세정방법을 달리하며, 크게는 건식방법과 습식방법으로 나눌 수 있다. 이중 건식방법으로는 증기 상 세정(Vapor phase cleaning), UV세정, 스퍼터링 세정, 순수 열적 세정(Purely thermally enhanced cleaning)법 등이 있다. 이중 일반적으로 이용되는 습식방법은 특정 화학용액에 처리하고자 하는 세정조에 대상을 침지시킨 후, 다시 초음파 처리 및 린스과정을 거친 다음, 베이킹하여 건조하는 공정을 거치게 된다.
하지만, 종래의 배치식 세정 장치의 세정조는 기판을 고정할 수 있는 수단이 없어서 기판이 안착된 위치에서 벗어나거나 위치가 달라져 공정 시, 세정조내 정위치가 아닌 다른 위치에 있어 기판의 세정이 불균일하게 실시될 수 있다.
또한, 이송유닛으로 카세트를 로딩, 언로딩 시, 세정조에서 부유된 카세트가 안착된 위치에서 벗어날 수 있어 이송간에 사고를 야기할 수 있다.
종래 기술의 문제를 클램프파트가 복수의 기판을 수용한 카세트를 고정할 수 있는 기판 세정 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 복수의 기판을 수용한 카세트가 세정조 내에 안착했을 시, 기판의 부유를 방지하도록 클램프파트가 카세트를 고정할 수 있어 기판의 세정을 균일하게 실시할 수 있는 기판 세정 장치에 관한 것이다.
또한, 이송유닛으로 카세트를 로딩, 언로딩 시, 카세트가 정위치에 안착되어 있어 이송간의 사고를 방지할 수 있는 기판 세정 장치에 관한 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치에 대해 설명한다.
기판 세정 장치는 복수의 기판을 세정시키는 적어도 하나의 세정유닛 및 상기 복수의 기판이 수용된 카세트를 세정유닛에 로딩 또는 언로딩 하기 위해 이송시키는 이송유닛을 포함하고, 상기 세정유닛은, 상기 기판을 세정하기 위한 세정액이 수용되는 외부세정조 상기 외부세정조 내측에 결합되는 내부세정조 및 상기 카세트의 측면과 상부 중 적어도 일측에 접촉되어 상기 카세트를 고정하여 세정공정 시 발생하는 상기 카세트의 부유를 방지하는 클램프파트를 구비할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 내부세정조는, 상기 외부세정조 저면부에 소정간격을 형성하여 결합되고, 상기 적어도 하나이상의 카세트를 수용할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 내부세정조는, 상기 내부세정조 저면부와 소정공간을 두고 결합된 순환격벽을 포함할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 순환격벽은, 복수의 천공이 형성된 평판 형상일 수 있다.
일측에 따르면, 상기 순환격벽에 결합하되, 상기 카세트의 저면이 상기 순환격벽에 소정공간을 형성하도록 상기 카세트의 측면 하부에 쌍으로 형성되는 안착파트를 포함할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 안착파트는, 'ㄴ'자 형상의 단면을 가지며 내부 면에 하향경사를 가지는 안내경사면이 형성될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 클램프파트는, 상기 안착파트에 외팔보 형태로 결합하기 위해 하단부가 'ㄴ'자 형상으로 굴곡된 결합부를 구비할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 결합부는, 저면에 상기 카세트의 정위치 안착을 위해 길이방향으로 형성된 적어도 하나의 위치조절용 제 1슬롯홀을 구비할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 클램프파트는, 상기 카세트의 상부에 접촉되어 고정하기 위해 단부가 '<' 형상으로 굴곡된 고정부를 구비할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 클램프파트는, 중심부가 안착된 상기 카세트 외측면과 멀어지는 방향으로 중심부가 'C'자 형상으로 형성된 굴곡부를 구비할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 클램프파트는, 세정액의 영향을 받지 않도록 내산성 또는 내염기성 재질로 형성될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 클램프파트는, 상기 카세트의 안착 및 탈착 시 상기 클램프파트가 탄성 지지하도록 탄성 재질로 형성될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 클램프파트는, 상기 카세트를 고정하기 위해 대향되는 상기 카세트의 측면에 쌍으로 형성될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 안착파트에 결합되고, 상기 카세트가 안착될 수 있도록 대향되는 상기 카세트의 측면에 복수의 쌍으로 형성되는 정렬파트를 포함할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 정렬파트는, 'ㄴ'자 형상의 단면을 가지며, 상기 카세트의 안착위치에 맞춰 상기 안착파트와 결합하기 위해 저면부에 길이방향으로 길게 제 2슬롯홀이 형성될 수 있다.
일측에 따르면, 안착된 상기 카세트의 배면을 안내할 수 있도록 상기 순환격벽에 결합되는 가이드파트를 포함할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 가이드파트는, 상기 세정액의 순환을 위해 복수의 천공이 형성된 가이드바 및 상기 가이드바와 상기 순환격벽을 연결하는 지지기둥을 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 복수의 기판을 수용한 카세트가 세정조 내에 안착했을 시, 기판의 부유를 방지하도록 클램프파트가 카세트를 고정할 수 있어 기판의 세정을 균일하게 실시 할 수 있다.
또한, 이송유닛으로 카세트를 로딩, 언로딩 시, 카세트가 정위치에 안착되어 있어 이송간의 사고를 방지할 수 있다.
도 1은 기판 세정 장치의 구성을 보여주는 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정유닛을 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 카세트가 안착된 세정유닛을 보여주는 정단면도이다.
도 4는 본발명의 일 실시예에 따른 복수의 카세트가 안착된 세정유닛을 보여주는 측단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정유닛에 하나의 카세트가 안착되는 정면 모습을 보여주는 확대도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트의 안착 시 클램프파트를 보여주는 개략도이다.
이하, 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다.
각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속" 된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
본 발명의 실시예를 설명하기에 앞서 도 3에 도시된 상태를 기준으로 상하좌우의 방향을 설명하며, 도 1에 도시된 상태를 '정면'이라 한다.
도 1은 기판 세정 장치(10)의 구성을 보여주는 개략도이다.
도 1을 참조하면, 기판 세정 장치(10)는 세정 목적에 따라 서로 다른 성분의 1차 세정액 및 2차 세정액이 사용될 수 있으며, 1차 세정액이 수용되는 제 1세정조(11), 2차 세정액이 수용되는 제 2세정조(12) 및 초순수가 수용되는 린스조(13) 및 복수의 기판(W)이 수용된 카세트(20)를 각각의 세정조(11,12) 및 린스조(13)로 이송하는 이송유닛(200)을 포함할 수 있다.
이송유닛(200)은 이송암(210)으로 복수의 기판(W)이 수용된 카세트(20)의 측면을 파지하여 제 1세정조(11)로 이송할 수 있다. 제 1세정조(11)에 이송된 카세트(20)는 소정 시간 침지될 수 있으며, 기판(W)이 1차 세정액에 의해 세정될 수 있다. 1차 세정이 완료되면 이송유닛(200)은 카세트(20)를 제 2세정조(12)로 이송하여, 기판(W)이 제 2세정조(12)에 침지되어 세정될 수 있다.
1차 세정액과 2차 세정액에 의해 세정된 기판(W)는 마지막으로 린스조(13)에 침지되어 초순수에 의해 세정될 수 있다.
이하에서는 제 1세정조(11)와 제 2세정조(12)를 통칭하여 '세정유닛(100)'으로 설명하겠다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정유닛(100)을 보여주는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 카세트(20)가 안착된 세정유닛(100)을 보여주는 정단면도이다.
도 2 내지 도 3을 참조하면, 세정유닛(100)은 외부세정조(110), 내부세정조(130), 안착파트(150), 정렬파트(160), 가이드파트(170) 및 클램프파트(190)를 구비할 수 있다.
외부세정조(110)는 상부가 개방된 직육면체 형상으로 형성될 수 있고, 기판(W)을 세정하기 위한 세정액이 수용될 수 있도록 수용 공간이 형성된다.
내부세정조(130)는 상부가 개방된 직육면체 형상으로 외부세정조(110) 보다 작게 형성되어 외부세정조(110)와 일측면을 공유하는 공유측벽(101)을 형성하고, 타벽면들과 저면부가 외부세정조(110)와 소정간격을 두고 결합될 수 있다. 내부세정조(130)는 적어도 하나 이상의 카세트를 수용할 수 있다. 내부세정조(130)와 외부세정조(110)의 결합으로 저면에 생기는 공간에 복수개의 히터(111)가 구비될 수 있다.
히터(111)의 일측부가 내부세정조(130)와 외부세정조(110)가 공유하는 공유측벽(101)에 결합될 수 있다. 히터(111)는 공유측벽(101)에 대향되는 측벽으로 일 방향으로 길게 연장된 형상일 수 있다. 히터(111)는 세정액이 기판(W)을 세정하는 효과를 상승할 수 있도록 소정온도로 가열하고, 유지할 수 있다.
세정배관(120)은 공유측벽(101)의 히터(111)의 결합부의 하단에 연결되고 또한 내부세정조(130) 내부저면의 상측으로 연결될 수 있다. 세정배관(120)은 외부세정조(110)에서 가열된 세정액을 내부세정조(130)로 공급할 수 있다.
내부세정조(130)에 공급된 세정액은 공유측벽(101)을 제외한 벽면들의 상측에 일정간격으로 형성된 상부슬롯홀(137)들에 의해 외부세정조(110)로 넘칠 수 있다.
외부세정조(110)는 내부세정조(130)의 결합으로 생기는 정면과 배면공간에 공유측벽(101)과 대향되는 측벽 방향으로 세정액이 흘러 내려갈 수 있도록 경사면(113)을 형성할 수 있다. 그리고, 외부세정조(110)는 측면과 생기는 공간으로 경사면을 타고 흐르는 세정액이 외부세정조(110) 하부로 순환할 수 있다.
버블배관(131)은 공유측벽(101)에 결합되어 내부세정조(130)의 내측저면과 소정간격을 형성하고 공유면(101)의 대향되는 측면에 근접하도록 길게 연장된 형태로 구비될 수 있다. 마이크로 나노버블은 초순수(DIW), 오존(O₃), 질소(N₂)들을 혼합하고, 마이크로 나노버블 제너레이터(미도시)를 통과시켜 5nm이하로 생성되어 노즐(133)을 통해 내부세정조(130) 내부로 분사될 수 있다. 복수의 노즐(133)은 마이크로 나노버블을 카세트(20)에 균일하게 제공하여 세정이 가능하도록, 카세트(20)와 소정간격을 형성하고 상향 분사할 수 있도록 버블배관(121)에 결합될 수 있다.
지지격벽(140)은 길이방향으로 내부세정조(130)의 저면 중앙에 결합될 수 있다. 지지격벽(140)은 직사각형 단면을 갖는 바(bar) 형상으로 세정액이 순환할 수 있도록 길이방향으로 개구된 복수의 내부슬롯홀(141)을 구비할 수 있다. 지지격벽(140)은 버블배관(131)이 설치되는 공간을 구획하고 순환격벽(135)을 지지할 수 있다.
순환격벽(135)은 내부세정조(130)의 저면에 평행하게 소정공간을 형성하고 평판형상으로 지지격벽(140)의 상면에 결합될 수 있다. 순환격벽(135)은 내부세정조(130)의 내부벽면에 밀착하는 충분한 크기를 형성하여 결합될 수 있다. 순환격벽(135)은 노즐(133)이 분사하는 마이크로 나노버블과 세정액이 내부세정조(130) 상부로 순환될 수 있도록 복수의 천공이 형성될 수 있다.
안착파트(150)는 카세트(20)의 대향되는 측면의 하부를 지지할 수 있도록 순환격벽(135)에 쌍으로 결합될 수 있다. 안착파트(150)는 'ㄴ'자 형상의 단면을 가지며 'ㄴ'자 형상의 내부면은 카세트(20)의 정면 하측을 안착위치로 안내할 수 있도록 하향경사를 가지는 안내경사면(151)을 형성할 수 있다. 안착파트(150)는 복수의 카세트(20)를 수용할 수 있도록 복수개가 연이어 결합될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 카세트(20)가 안착된 세정유닛(100)을 보여주는 측단면도이다.
도 4를 참조하면, 안착파트(150)의 내부저면에 클램프파트(190)가 결합되는 제1 결합홈(155)을 형성할 수 있다. 제 1결합홈(155)은 내부저면의 중앙에 클램프파트(190)의 두께와 동일하도록 형성된다. 복수의 제 2결합홈(153)은 내부저면의 중앙에서 소정거리를 형성하고 정렬파트(160)의 두께와 동일하도록 형성된다. 제1 결합홈(155)과 제2 결합홈(153)은 클램프파트(190)와 정렬파트(160)가 결합되었을 때 안착파트(150)의 내부저면에 고저차를 방지할 수 있다.
다시 도 2 내지 3으로 돌아와서 설명하면, 복수의 정렬파트(160)는 각각의 안착파트(150)의 내측 저면부의 중앙을 기준으로 양측에 생성된 제 2결합홈(153)에 결합될 수 있다. 정렬파트(160)는 'ㄴ'자 형상의 단면을 가질 수 있다. 정렬파트는(160) 저면에 카세트(20) 안착위치에 맞춰 안착파트(150)와 결합 시 정밀한 조정이 가능하도록 길이방향으로 적어도 하나 이상의 제 2슬롯홀(161)이 형성될 수 있다. 정렬파트(160)는 카세트(20)의 양 측면을 안착위치에 맞춰 지지할 수 있다. 정렬파트(160)는 각각의 안착파트(150)에 결합되어 각각의 카세트(20)에 대해 복수쌍으로 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에서는, 정렬파트(160)가 안착파트(150)의 내부 중앙을 기점으로 양쪽에 2개가 결합되는 것을 도시하였지만 이에 한정되는 것은 아니다. 정렬파트는 적어도 하나 이상의 카세트(20)를 효과적으로 정렬하는 부분에 결합될 수 있다.
가이드파트(170)는 순환격벽(135)에 카세트(20)의 배면을 안착위치로 안내하여 안착될 수 있도록 결합될 수 있다. 가이드파트(170)는 가이드바(171)와 지지기둥(173)을 포함할 수 있다.
가이드바(171)는 일 방향으로 길게 연장된 직사각형의 단면을 갖는 바(bar)형상일 수 있다. 가이드바(171)는 세정액의 순환을 위해 복수의 천공이 형성될 수 있다.
지지기둥(173)은 일 방향으로 길게 연장된 원형단면을 가지는 기둥형상일 수 있다. 복수의 지지기둥(173)의 일측평면은 순환격벽(135)의 평면에 결합되며 타측평면은 가이드바(171)의 저면에 결합될 수 있다.
가이드바(171)는 지지기둥(173)에 의해 순환격벽(135)의 평면과 소정간격을 형성하고 평행하게 결합될 수 있다.
가이드파트(170)는 카세트(20)가 안착파트(150)의 안내경사면(151)을 통해 내부세정조(130)에 안착하면 카세트(20)의 배면을 안착위치에 안내하고 카세트(20)에 결합된 지지샤프트(21)를 고정할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정유닛(100)에 하나의 카세트(20)가 안착되는 정면 모습을 보여주는 확대도이다.
도 5를 참조하면, 클램프파트(190)는 일 방향으로 길게 연장된 직사각형의 단면을 가지는 바 형상일수 있다. 클램프파트(190)는 안착파트(150) 내부저면의 중앙에 형성된 제 1결합홈(155)에 결합될 수 있다.
클램프파트(190)는 안착파트(150)에 외팔보 형태로 결합하기 위하여 'ㄴ'자 형상으로 굴곡된 결합부(191)를 구비할 수 있다. 결합부(191)는 카세트(20)의 안착위치에 맞춰 안착파트(150)와 결합 시 정밀한 조정이 가능하도록 길이방향으로 적어도 하나 이상의 제 1슬롯홀(192)이 형성될 수 있다.
클램프파트(190)는 대향되는 카세트(20)의 측면에 결합되는 각각의 안착파트(150)에 결합되므로 쌍으로 형성될 수 있다.
클램프파트(190)는 카세트(20)의 상부를 눌러서 고정하기 위하여 그 단부가 '<' 형상으로 굴곡된 고정부(193)를 구비할 수 있다. 고정부(193)는 '<' 형상으로 굴곡된 중앙 부분이 카세트(20)를 향하도록 형성되어서, 고정부(193)의 굴곡된 부분이 카세트(20) 상부에 접촉되어 고정하기 위한 충분한 길이가 되도록 형성될 수 있다. 또한, 고정부(193)의 '<' 형상의 상단부는 카세트(20)가 내측 및 하부로의 이동을 안내할 수 있도록 충분한 길이와 경사를 갖도록 형성될 수 있다. 고정부(193)는 카세트(20)가 안착되거나 탈착될 경우 카세트(20) 측면과의 마찰로 인한 손상으로 생기는 파티클을 방지하기 위하여 굴곡 중앙의 모서리가 완만한 곡선을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에서는, '<' 형상으로 굴곡된 고정부(193)를 도시하였지만 이에 한정되는 것은 아니다. 카세트(20)의 안착 또는 탈착을 방해하지 않고 카세트(20)의 상면을 효과적으로 고정할 수 있는 모든 형상이면 가능할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에서는 고정부(193) 굴곡의 모서리가 완만한 곡선을 가지는 것을 도시하였지만 이에 한정되는 것이 아니다. 고정부(193) 굴곡된 부분에 카세트(20)와의 마찰을 효과적으로 방지할 수 있는 다양한 수단이 구비될 수 있다.
클램프파트(190)는 탄성력을 높이기 위해 결합부(191)와 고정부(193)를 제외한 중심부가 카세트 외측면과 멀어지는 방향으로 'C'자 형상으로 굴곡되는 굴곡부(195)를 구비할 수 있다. 굴곡부(195)는 카세트가 안착 또는 탈착 시 클램프파트(190)가 연속적으로 카세트(20)와 접촉하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시예에서는, 클램프파트(190)의 굴곡부(195)가 'C'자 형상으로 굴곡된 형상으로 도시하였지만 이에 한정되는 것은 아니다. 굴곡부(195)는 중심부가 카세트 외측면과 멀어지는 방향으로 '<'자 형태 등으로 굴곡될 수 있다.
클램프파트(190)는 세정액에 의해 부식 또는 손상 등의 영향을 받지 않도록 내산성 및 내염기성 재질로 구비될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트의 안착 시 클램프파트(190)를 보여주는 개략도이다.
도 6을 참조하면, 클램프파트(190)가 카세트(20)의 안착 또는 탈착 시 탄성 지지할 수 있도록 탄성 재질로 구비될 수 있다. 클램프파트(190)는 카세트(20)의 안착 과정에서 카세트(20)의 측면이 고정부(193)와 밀착하여 양측 면으로 밀려나게 되어 변형을 발생할 수 있다. 클램프파트(190)는 카세트(20)의 안착이 완료되면 원래의 형상으로 복원되어 카세트(20)의 상측면을 고정부(193)로 고정할 수 있다. 카세트(20)의 탈착 시에는 도 6에 도시한 것과 역순으로 진행될 수 있다.
다시 설명하면, 카세트(20)가 내부세정조(130)에 안착할 시 안착파트(150)의 안내경사면(151)이 카세트(20)의 정면을 안내하며, 클램프파트(190)가 측면을 안내할 수 있다. 카세트(20)의 측면이 정렬파트(160)에 안착될 수 있고, 카세트(20)의 정면은 안착파트(150)에 안착될 수 있다. 또한, 카세트(20)의 배면의 지지샤프트(21)는 가이드파트(170)로 고정될 수 있으며, 안착된 카세트(20)의 상면은 클램프파트(190)의 고정부(193)가 고정할 수 있다.
카세트(20)는 안착파트(150) 저면의 높이만큼 순환격벽(135)과 소정간격을 가지고 안착될 수 있다.
이후에 카세트(20)에 수용된 기판(W)은 세정액과 마이크로 버블이 순환격벽(135)의 천공으로 순환되면서 세정될 수 있다. 세정공정 시 고정부(193)가 카세트(20)의 상측면을 고정하고 있으므로, 카세트(20)의 부유를 방지할 수 있다.
본 실시예에 따르면 고정부(193)가 카세트(20)의 상측면을 고정하는 것을 도시하였지만, 이에 한정되는 것은 아니다.
본 실시예에 의하면, 카세트(20)를 클램프파트(190)로 고정함으로써 기판(W)이 안착된 위치에서 벗어나 부유하는 것을 방지하여 기판의 세정을 균일하게 실시할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 카세트(20)를 클램프파트(190)로 고정함으로써 기판(W)의 정위치에 안착시켜 이송유닛(200)의 로딩과 언로딩 시에 사고를 방지할 수 있다.
이상과 같이 실시예들에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것이다. 또한, 본 발명이 상술한 실시 예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 사상은 상술한 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
W : 기판 10 : 기판 세정 장치
20 : 카세트 100: 세정유닛
110 : 외부세정조 120 : 세정배관
130 : 내부세정조 131 : 버블배관
133 : 노즐 135 : 순환격벽
140 : 지지격벽 150 : 안착파트
160 : 정렬파트 170 : 가이드파트
190 : 클램프파트 200 : 이송유닛

Claims (17)

  1. 복수의 기판을 세정시키는 적어도 하나의 세정유닛; 및
    상기 복수의 기판이 수용된 카세트를 세정유닛에 로딩 또는 언로딩 하기 위해 이송시키는 이송유닛;
    을 포함하고,
    상기 세정유닛은,
    상기 기판을 세정하기 위한 세정액이 수용되는 외부세정조;
    상기 외부세정조 내측에 결합되는 내부세정조; 및
    상기 카세트의 측면과 상부 중 적어도 일측에 접촉되어 상기 카세트를 고정하여 세정공정 시 발생하는 상기 카세트의 부유를 방지하는 클램프파트;
    를 구비하는 기판 세정 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 내부세정조는,
    상기 외부세정조 저면부에 소정간격을 형성하여 결합되고,
    상기 적어도 하나 이상의 카세트를 수용하는 기판 세정 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 내부세정조는,
    상기 내부세정조 저면부와 소정공간을 두고 결합된 순환격벽;
    을 포함하는 기판 세정 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 순환격벽은,
    복수의 천공이 형성된 평판 형상인 기판 세정 장치.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 순환격벽에 결합하되, 상기 카세트의 저면이 상기 순환격벽에 소정공간을 형성하도록 상기 카세트의 측면 하부에 쌍으로 형성되는 안착파트;
    를 포함하는 기판 세정 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 안착파트는,
    'ㄴ'자 형상의 단면을 가지며 내부 면에 하향경사를 가지는 안내경사면이 형성된 기판 세정 장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 클램프파트는,
    상기 안착파트에 외팔보 형태로 결합하기 위해 하단부가 'ㄴ'자 형상으로 굴곡된 결합부;
    를 구비하는 기판 세정 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 결합부는,
    저면에 상기 카세트의 정위치 안착을 위해 길이방향으로 형성된 적어도 하나 이상의 위치조절용 제 1슬롯홀;
    을 구비하는 기판 세정 장치.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 클램프파트는,
    상기 카세트의 상부를 눌러서 고정하기 위해 단부가 '<' 형상으로 굴곡된 고정부;
    를 구비하는 기판 세정 장치.
  10. 제 7항에 있어서,
    상기 클램프파트는,
    중심부가 안착된 상기 카세트 외측면과 멀어지는 방향으로 중심부가 'C'자 형상으로 형성된 굴곡부;
    를 구비하는 기판 세정 장치.
  11. 제 7항에 있어서,
    상기 클램프파트는,
    세정액의 영향을 받지 않도록 내산성 또는 내염기성 재질로 형성되는 기판 세정 장치.
  12. 제 7항에 있어서,
    상기 클램프파트는,
    상기 카세트의 안착 및 탈착 시 상기 클램프파트가 탄성 지지하도록 탄성 재질로 형성되는 기판 세정 장치.
  13. 제 7항에 있어서,
    상기 클램프파트는,
    상기 카세트를 고정하기 위해 대향되는 상기 카세트의 측면에 쌍으로 형성되는 기판 세정 장치.
  14. 제 5항에 있어서,
    상기 안착파트에 결합되고,
    상기 카세트가 안착될 수 있도록 대향되는 상기 카세트의 측면에 복수의 쌍으로 형성되는 정렬파트;
    를 포함하는 기판 세정 장치.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 정렬파트는,
    'ㄴ'자 형상의 단면을 가지며,
    상기 카세트의 안착위치에 맞춰 상기 안착파트와 결합하기 위해 저면부에 길이방향으로 길게 제 2슬롯홀이 형성된 기판 세정 장치.
  16. 제 3항에 있어서,
    안착된 상기 카세트의 배면을 안내할 수 있도록 상기 순환격벽에 결합되는 가이드파트;
    를 포함하는 기판 세정 장치.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 가이드파트는,
    상기 세정액의 순환을 위해 복수의 천공이 형성된 가이드바; 및
    상기 가이드바와 상기 순환격벽을 연결하는 지지기둥;
    을 포함하는 기판 세정 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN110153111A (zh) * 2019-06-05 2019-08-23 安徽省恒泰动力科技有限公司 一种丝网印刷活塞机加工用机体预清洁设备

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