TWI327128B - Plate-shaped work piece transporting apparatus - Google Patents

Description

玫、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 技術領域 本發明係有關於具有將潔淨空氣供給至所搬送之板狀 體下面，且以非接觸狀態支持前述板狀體之送風式支持機 構的板狀體搬送裝置。 【先前3 背景技術 口 +寻扪么開公報特開2002 —321820號所揭示 之板^體搬送裝置係用以搬送液晶用玻璃基板等板狀體， 且包含具有一面接觸支持前述板狀體的兩端部-面賦予搬 =向之推進力的驅動旋動體之推進力賦予機構。板狀體 由由該推進力賦予機構來接觸支持兩端部，而其中間部則 且=風式核㈣來續。此外，更設有送風式支持機構， 著2風式支持機構包含多數沿著板狀體之搬送路徑且隔 源：間搞設置之空氣喷出部，及具有壓縮泵等之供給 ，由供給管連接供給源與空氣喷出部，以將來自供給 ，空氣分配供給至多數空㈣料，_，將從空 間，拉。卩'出雜縮空氣供給至前述板狀體的兩端部之 糟此，以非接觸狀態支持板狀體。 所又’例如’如日本專利公開公報特開細—3_3號 ^者，以縱向姿勢或與其接近的姿勢來搬送板狀體且 持前=方向的推進力之推進力賦予機構具有一面接觸支 嘯狀體之下端部—面職予推進力之驅動旋動體。並 且，可由該推進力賦予機構接觸支持兩端部的其中一端， 且由送風式支持機構來支持以縱向姿勢或與其接近的姿勢 搬送之板狀體的中間部。送夙式支持機構包含多數沿著板 狀體之搬送路徑且隔著預定間隔設置之空氣噴出部!1及具 有送風機等之供給源，並由供給管連接供給源與空氣喷/出 部，以將來自供給源的壓縮空氣分配供給至多數空氣喷出 部，然後，將從空氣喷出部嘴出的壓縮空氣供給至前 狀體的中間部，藉此，轉接觸狀態支持板狀體。 在上述習知技術之板狀體搬送裝置中，一旦來自供仏 源的壓縮空氣中產生有時該壓縮空氣的量會改變之脈： ㈣福_，則在供給至板狀體下面的壓縮空氣中也會產 生脈動，而使供給有空氣之板狀體的中間部上 對板狀體造成很大的負擔。 又，在習知板狀體搬送裝置中，當送風式支持機 些微異常而減少潔淨空氣的供給量時，對搬送物的支 會普，因此，搬送物會從由送風式支持機構所支持 定馬度下降’且’搬送物會與位於其下方之送風式支 構相接觸，而破壞搬送物本身或送風式支持機構。 再者’在習知板狀體搬送裝置中，由於藉由推進 予機構獅支躲送細兩端部，因此，t送風式支持二 構的支持力下料’搬送物的巾間部會因為下降而彎 形，且因該變形而破壞搬送物。此情況在搬送作為: 之液晶用玻璃基板等板狀體時特 、物 本發明之目的在於提供可抑制供給至板狀體下面之空 1327128

<明第1態樣所記載之板狀體搬送裝置係具古 夺空氣供給至所搬送之板狀體下面且 糸具有將潔 ίο 15 20 前述板狀體之送風式支持機構，該送_ =狀態支持 除塵過攄器，可除去塵埃；送禮支持機構包含·· 塵過濾器將潔淨空氣冓，係通過前述除 可形成遮蔽，以允許已通過前述除 ^體， 過，並阻止異物掉落至前述除塵過“^之^：空氣通 體與前述除塵過據器 、別述遮蔽 室。 H成可積存前述潔淨空氣之腔 即，可藉由送風式支持機構 下面，非接觸狀態支持罐。又二 =細構上’亦可藉由_來阻止異物掉= 心慮15，因此，可保護除塵過遽器。 于 〜^者’由於遮蔽體設置成形成可積存潔淨空氣的腔 古即使由运風機構吹送之空氣中產生脈動該脈動也 :破允許之腔室内潔淨空氣的壓力改變之緩衝作用吸收，因 ^可減少供給至板狀體下面之潔淨空氣的脈動 〇如此一 ★供..。有办淨空氣之板狀體之中間部的上下移動會變 7 1327128 少，因此，可減輕對板狀體的負擔。 根據第2態樣所記載之特徵，其中前述遮蔽體係由可允 許已通過前述除塵過濾器之潔淨空氣通過之多孔體所構 成。 5 即，可藉由多孔體，在板狀體下面遍及大範圍均勻地 供給潔淨空氣，且，可阻止大的異物掉落至除塵過濾器， 因此，可保護除塵過濾器。 根據第3態樣所記載之特徵，其中前述遮蔽體包含可允 許已通過前述除塵過濾器之潔淨空氣通過之多孔體，及較 10 該多孔體更靠近前述除塵過濾器之副過濾器。 即，可藉由多孔體，在板狀體下面遍及大範圍均勻地 供給潔淨空氣，且，可阻止大的異物掉落至除塵過濾器， 又，可藉由副過濾器來阻止小的異物掉落至除塵過濾器， 因此，可更確實地保護除塵過濾器。 15 根據第4態樣所記載之特徵，其中前述遮蔽體具有較前 述副過濾器更靠近前述除塵過濾器，以支持前述副過濾器 之多孔支持體。 即，由於副過濾器存在於多孔體與多孔支持體之間， 故不必藉由將副過濾器安裝於多孔體等來支持該副過濾 20 器，而可輕易地支持副過渡器。 根據第5態樣所記載之特徵，其中前述送風式支持機構 係將前述除塵過濾器與前述送風機構一體組成之送風單元 排列於搬送方向所構成者。 即，由於僅將送風裝置與除塵過濾器一體組成之送風 8 單π排列於搬送方向，即可設置可以非接觸狀態支持板狀 ，之送風式支持機構，故送風式支持機構的設置相當簡 單，且可使製作變得容易。 根據第6態樣所記載之特徵，更具有將搬送方向之推進 力職予則述板狀體之推進力賦Τ機構，該推進力賦予機構 面朗請水平或大致水平狀態之前述板狀體的兩 P 面賦予推進力之驅動旋動體，又，前述送風式支 持機構係構成為可支持前述板狀體之兩端部之_部分。 藉由該特徵’由於可藉由驅動旋轉體接觸支持兩端 ^以在穩疋狀態下支持板狀體，且由於由該用以支持之 驅動旋動輯特進力，以在穩定狀態下搬送，同時，可 將板狀體之中間部支持成可—面避免板狀體破損一面抑制 板狀體彎曲，因此，板狀體可在以穩定㈣支持之狀態下 搬送，並可順利地搬送板狀體。 第7態樣所記載之本發明的板狀體搬送裝置包含：送風 式支持機構’係將潔淨空氣供给至板狀脸送物下面，且 以非接觸狀態支持前述搬送物；及推進力賦傾構，係將 搬送方向之推進力賦予由前料風式支持機_支持之前 述搬送物又，更^有接觸式支持機構，該接觸式支持機 構係在較前述送風式支持機構上面更上方的位置支持從由 前述送風式支持機構所域之設定高度下降的搬送物。 即，即使送風式支持機構產生些許異常而減少潔淨空 風的供給I，且雜送物之支持力降低導致搬送物從設定 高度下降’亦可藉由接觸式支持機構在較送風式支持機構 A / 1^0 面更上方的位置支持該已下降的搬送物以抑制搬送物 :下=，並可防止搬送物與位於其下方之送風式支持機 構相接觸，或因搬送物變形而破壞搬送物本身或者送風式 支持機構。 5 域第8態樣所記載之特徵，其中前述送風式支持機構 係將可除去塵埃之除塵過濾器與可通過前述除塵過渡器以 將潔淨空氣供給至前述搬送物下面之送風風扇一體組成之 j風單元排列於前述搬送方向所構成者，a，在前述送風 單元上叹有可對供給至前述搬送物下面的潔淨空氣進行整 10風之多孔體。 即，由於僅將送風裝置與除塵過遽器一體組成 之送風 單疋排列於搬送物之搬送方向，即可設置可將潔淨空氣供 給至所搬送之搬送物下面且以非接觸狀態支持搬送物之送 風式支持機構，故送風式支持機構的設置相當簡單，因此， 15可提供容易製作的搬送裝置。 又，由於設有多孔體，故供給至搬送物下面的潔淨空 氣可由多孔體進行整風並供給至搬送物下面。即，可在搬 送物下面遍及大範圍均勻地供給潔淨空氣，特別是在搬送 作為搬送物之液晶用玻璃基板等板狀體時，可抑制集中該 20板狀搬送物下面的一部分來供給潔淨空氣導致搬送物彎曲 的情況發生。 根據第9態樣所記載之特徵，其中前述接觸式支持機構 係將多數支持體分散配置於搬送方向以及寬度方向所構成 者0 10 將各數支㈣所構成，且可 構， 寸，故可輕易地配置各支持機 因此，可輕易地配置接觸式支持機構。 在搬樣所記載之特徵’其中前述支持體係由可 送方向自由旋轉之旋轉滾輪所構成。 予機1:搬送物從設定高度下降時，即使因為推進力赋 2構職予推進力或慣性使搬送物朝搬送方向移動，亦可 错由旋轉滾輪與搬藝__擦而誠轉方向旋轉，藉 此，可避免因為搬送物與支持體接觸而損傷搬送物的情況 發生。 根據第11態樣所記载之特徵，其中前述支持體係由球 形或與其接近的雜之突起部所構成。 即’由於支持體呈球形或與其接近的形狀，使支持體 的角部與搬送物接觸的可能性降低，故可避免搬送物與支 持體接觸時損傷搬送物的情況發生。 根據第12態樣所記載之特徵，其中前述支持體係設於 前述多孔體。 即，由於突起部設於多孔體，故不必準備欲設置突起 部的專用構件，且利用多孔體作為可設置突起部的構件， 如此一來’可簡化搬送裝置的構造。 根據第13態樣所記載之特徵，更具有用以檢测前述送 風風扇之旋轉速度的檢測機構，及可根據前述檢測機構的 檢測資訊’當前述送風風扇之旋轉速度在設定速度以下 時，使前述推進力賦予機構停止運轉之控制機構。 卩…旦送風式支持機構的旋轉速度下降，則供終至 搬送物下面之潔淨空氣的量會減少，且送風式切機 讀力會降低，科易將搬送物支持在預定高度，因此， -旦在送風式支持機構之旋轉速度降低的狀^持續由推 進力賦予機構對搬送物舒推進力，職預定^下降的 搬送録由接觸式支持機構制支持之狀態下搬^的可能 性會變面’因此’搬送物與接觸式支持機構會滑動接觸， 而才貝傷搬送物。 因此’先將速度設定成即使送風風扇在該速度下旋 轉，對搬送物的支持力也很㈣情況會導馳送物有可能 由接觸式支賴構來域且作為設定速度，#送風式支^ 機構的旋轉速度在上述設定速度以下時，則使推進力賦予 機構停止運轉，藉此，搬送物不會在由接觸式支持機構接 觸支持之狀態下搬送，因此，可抑制搬送物與接觸式支持 機構滑動接觸導致損傷搬送物的情況發生。 圖式簡單說明 第1圖係板狀體搬送裝置的透視圖。 第2圖係板狀體搬送裝置的正視截面圖。 第3圖係板狀體搬送裝置的正視截面的部分放大圖。 第4圖係板狀體搬送裝置的侧視戴面圖。 第5圖係遮蔽體的部分放大截面圖。 第6圖係推進力賦予機構的側視圖。 第7圖係推進力賦•予機構的正視圖。 第8圖係推進力職予機構之側面部分放大圖。 1327128 第9圖係搬送裝置之控制方塊圖。 第10圖係另一實施形態之板狀體搬送裝置的透視圖。 第11圖係另一實施形態之板狀體搬送裝置的側視圖。 第12圖係另一實施形態之板狀體搬送裝置的部分放大 5 截面圖。 第13(A)圖係另一實施形態之遮蔽體的部分放大截面 圖，第13(B)圖係顯示另一實施形態之過濾片的透視圖。

第14(A)圖係另一實施形態之遮蔽體的部分放大截面 圖，第14(B)圖、第14(C)圖係顯示另一實施形態之具突起之 10 過遽片的透視圖。 第15(A)圖係另一實施形態之遮蔽體的部分放大截面 圖，第15(B)圖係顯示另一實施形態之嵌合過濾器的透視 圖。 第16圖係另一實施形態之遮蔽體的部分放大截面圖。 15 第17圖係搬送裝置之透視圖。

第18圖係搬送單元之部分放大正視圖。 第19圖係搬送單元之側視圖。 第20圖係搬送單元之平面圖。 第21圖係顯示支持體以及靜電消除器之支持狀態之多 20 孔體的側視圖。 第22(A)圖係顯示玻璃基板支持在預定高度之狀態，第 22(B)圖係顯示玻璃基板從預定高度下降之狀態。 第23圖係另一實施形態之推進力賦予機構的側視圖。 第24圖係另一實施形態之推進力賦予機構的正視圖。 13 1327128 第2 5圖係顯示另一實施形態之支持體的支持狀態之側 視圖。 第26圖（A)、第26(B)圖係顯示另一實施形態之支持體 的支持狀態之側視圖與透視圖。 5 第27(A)圖〜第27(E)圖係另一實施形態之多孔體的截面 圖。

【實施方式;J 實施發明之最佳形態 以下，根據圖式說明與本發明相關之板狀體搬送裝 10置。雖然使用液晶用玻璃基板作為板狀體的例子，但板狀 體並不限於此。 如第1圖所示，板狀體搬送裝置Η具有排列於玻璃基板2 之搬送方向的多數板狀體搬送單元丨。移載至位於搬送上游 之板狀體搬送單元1的玻璃基板2由送風式支持機構3與推 15進力賦予機構4來支持，且藉由推進力賦予機構4從位於上 游之板狀體搬送單元1搬送至位於下游之板狀體搬送單元 1。另，玻璃基板移載至位於上游之板狀體搬送單元丨或從 位於下游之板狀體搬送單元丨移載至其他地方的動作係藉 由未圖示之移載機來進行。 20 如第2圖、第3圖所示，板狀體搬送單元1分別具有將潔 淨空氣供給至以水平或大致水平狀態搬送之玻璃基板2下 面2a，且以非接觸狀態支持玻璃基板2之送風式支持機構 3、將搬送方向之推進力賦予玻璃基板2之推進力賦予機構4 及以大致密閉狀態覆蓋後述搬送空間A以及收納空間B之 14 1327128 殼體7 » 如第3圖或第4圖所示，前述送風式支持機構3由將多數 送風單元排列於搬送方向所構成者。作為該送風單元之風 扇過濾器單元14分別具有可除去塵埃且由^^以過滤器所 5構成之除塵過濾器U、通過該除塵過濾器12將潔淨空氣供 給至玻璃基板2下面2a之作為送風機構的送風風扇13及電 動式風扇馬達。又，在送風風扇13附近設有用以檢測送風 風扇13的旋轉速度之作為檢測機構的旋轉速度感測器RS。 即，風扇過濾、器單元14係由將排列於與玻璃基板2之搬 10送方向垂直之寬度方向的2個送風風扇13與用以覆蓋該等2 個送風風扇13上方的丨個除塵過濾器12支持於套罩，且使兩 者形成為一體並單元化所構成者。送風式支持機構3由沿著 搬送方向排列之3個風扇過濾器單元14所構成。又，可形成 遮蔽以允許已通過前述除塵過濾器12的潔淨空氣通過，並 15阻止異物掉落至除塵過濾器12之遮蔽體6係藉由支持於前 述套罩而以覆蓋3個風扇過濾器單元14上方之狀態配置於 达風式支持機構3。又，在該遮蔽體6與除塵過慮器12之間 形成可積存潔淨空氣的腔室c。腔室c的高度，即，遮蔽體 6與除塵财'器12之間的距離宜^為―以上，以充分地減 〇少脈動。另’可利用潔淨室所使用之安裝於收納倉庫背面 的結構作為前述風扇過遽器單元14與遮蔽體6的組合。 接著針對前述遮蔽體6詳細說明。如第5圖所示，遮 蔽體6ζ^3可對已通過除塵過濾器η的潔淨空氣進行整風 之板狀多孔體11、較該多孔體11更靠近除塵過滤器12之副 15 1327128 過;慮器43較該4過;絲43更靠近除塵m 12且可支持 前述副過渡器43之多孔支持體44。並且，在多孔體u藉由 沖孔(punching press)在其整體形成通氣孔iu，且亦在多孔 支持體44藉由沖孔形成通風孔44a。 5 即’如第5圖所*，送風式支持機構3之罩套的側壁3& 朝較除塵過滤器12上面更上方的位置延伸出去。多孔_ 安裝於侧壁3a之上端部，而多孔支持體做較安裝有多孔 體11之處更靠近除塵過漉器12且與除塵過遽器12隔著間隔 之狀態安裝於側壁3a。並且，副過渡器43夹在多孔體_ 10 孔支持體44之間。 並且’由於將多孔支持體44安裝於與除塵過滤器12隔 著間隔的位置，因此，可形成由送風式支持機構3之側壁％ 與除塵過濾1112與多孔支持體44所圍住m個腔室c。 月’J述送風式支持機構3藉由送風風扇13的送風作用吸 丨送風風扇13下方的空氣，且將該空氣供給至除塵過渡器 斤在的上方 供給至其上方的空氣係作為潔淨空氣且通 過^塵過渡器12與遮蔽體6並供給至玻璃基板2下面&之中 間。P2c(即，兩端部21?之間的領域），且以該潔淨空氣支持玻 璃基板2之中間部以。即，藉由送風風扇_上方供給的空 扣氣在通過除塵過遽器U時會除去塵埃而成為潔淨空氣。即 $該通過除塵過衫12的潔淨空氣產生脈動，亦可藉由腔 至C的功&來抑制該脈動，又，可藉由多孔支持體料或多孔 體11在板狀體下面遍及大範圍均勻地供給至玻璃基板2下 面2a之中間部2c。 16 以/128 如第2圖、第3圖所示，前述殼體7包含用以載置支持風 扇過濾器單元14且從平面看呈大致長方形之單元用框體 15 /σ著搬送方向分別設於單元用框體15之兩端部的左右 對收納框架8、遍及右側之收納框架8的上端部至左側之 5收納框架8的上端部之搬送蓋體20。前述收納框架8分別形 成為具有上壁8c、下壁8b以及搬送空間Α側之内周壁如且從 搬送方向看呈大致]字形者，並在搬送空間A的相反侧設有 收納蓋體8d。X，前述單元用框體15由組成框架構件之支 持框部分15a及位於支馳部分的下方且具有將外部空氣 〇導入搬达空間A内之空氣導人口18之板狀的板狀框部分⑽ 所構成。 15 20 則述搬送空間A及前述收納空間B係藉由排列設置於 ，送方向之上_板狀體搬送單元〖與下㈣板狀體搬送 ^1互相連通。板狀體搬送裝置时位於最上游之板狀體 送單元1的搬送空間A及收納空間B之上游端部由未圖示 ^塞構件來·’特於最下游之板狀驗送單元1的搬 ^間A及收納空間B之下游端部由閉塞構件來閉塞。因 與搬送= 藉由單元用框體15與收納框架8之内周壁如 則藉由收㈣閉塞構件形成為大致密閉狀態。收納空間B 則猎由收納框架8與閉塞構件形成為大致密閉狀離。 上方並構成為可藉由取出搬送蓋體:來開放 邊。=====_斜開放側 -_的_輪9及破‘=及= 17 1327128 述，在收納空間B中收納有可驅動驅動滾輪9之電動馬達 10。並且，在收納框架8之下壁8b設有用以將收納空間3的 空氣排出至外部之外部排出口 24,且，設有具有送風功能 與除塵功能且作為外部排出機構之次送風單元23來閉塞該 5 外部排出口 24。 因此，在搬送空間A内，藉由前述風扇過濾器單元14 吸引搬送空間A内的空氣，且通過除塵過濾器12與遮蔽體6 將該所吸引的空氣作為潔淨空氣並供給至玻璃基板2下面 2a ’在該形態下，搬送空間a内的空氣會循環。又藉由風 ίο扇過濾n單元14將外部空氣從空氣導人σ 18導人搬送空間 Α内且對搬送空間a内加壓，藉此，在搬送空間a内循環 之空氣的—部分會從收納框架8與搬送蓋體20之間隙等排 出至外部’且與在搬送内循環之空氣的一部分交換。 -在收納二間B中，藉由次送風單元23將收納空間b内 15的工乳從外部排出口 24排出至外部且對收納空間b内減 藉此外°卩空氣會從上壁8c與收納蓋體8d之間隙等導 入收納工間B内，且與收納空間B内之空氣的一部分交換。 因此由於搬送空間八中成為加壓狀態，故可防止外部氣體 從收納框架8與搬送蓋體2〇之間隙等進入，且，由於收納空 門中成為減壓狀態，故可防止收納空間B内的空氣從上辟 8C與收納蓋體如之間隙等進出。 土 接著’針對前述推進力賦予機構4詳細說明。如第6圖、 第7圖第8圖所不，於前述-對殼體7之收納空間B中分別 .又有在搬送方向排列多根且互相藉由聯結器Μ連動連結之 18 1327128 傳動軸27及將輸出傳動機構咬合於其中一傳動轴27所具有 之正齒輪28的電動馬達1〇。又，在一對收纳框架8之内壁8a 中，分別突出至收納空間B以及搬送空間A之多數輸出軸％ 係支持成可沿著搬送方向自由旋轉者。在輸出轴26突出至 5搬送空間A的部分設有具有大直徑部9a之驅動滾輪9，在輸 出軸26突出至收納空間B的部分則設有由斜齒輪所構成且 與傳動軸所具有之輸出傳動部29相咬合之輸入傳動部3〇。 因此，如第3圖所示，玻璃基板2可藉由推進力賦予機 構4之驅動滾輪9以接觸狀態支持兩端部2b，並藉由送風式 10 支持機構3的清淨空氣以非接觸狀態支持中間部以，且，由 藉電動馬達10旋轉驅動之驅動滾輪9賦予推進力，藉此，可 沿著搬送方向搬送。玻璃基板2在與搬送方向交又之方向的 位置則由驅動滾輪9的大直徑部9a來控制。 如第2圖所示，板狀體搬送機構Η具有用以搬送玻璃基 15 板2之上下2段搬送部Μ，該上下2段搬送部Μ中上側的搬送 部Μ構成為可開放下側的搬送部Μ上方且以其中—端為支 點並在上方搖動操作。即，在板狀體搬送單元1中分別在上 下2段具有搬送殼體5 ’且該等搬送殼體5中分別收納有由送 風式支持機構3或推進力賦予機構4等所構成之搬送部Μ。 20 並且，使上側之搬送殼體5在上方繞轴心Ρ搖動，藉此，上 側之搬送部Μ亦可與該上側之搬送殼體5同時在上方搖 動，且開放下側之搬送殼體5上方，並取走下側之搬送殼體 5的蓋體20,藉此，可從上方對搬送空間Α内進行維修。另， 上下2段之搬送部μ的使用形態可使上側之搬送部!^與下側 19 1327128 之搬送部Μ的搬送方向逆向，並藉由上段搬送部玻璃基 板2從搬送源搬送至搬送處，且藉由下段搬送部河將進行同 樣步驟的玻璃基板2或不良的玻璃基板2等從搬送處搬送至 搬送源。再者，亦可使上側之搬送部河與下側之搬送部M 5的搬送方向同向，並藉由上側之搬送部Μ及下側之搬送部^^ 將板狀體從搬送源搬送至搬送處。又，亦可在板狀體搬送 單兀1中設有1段可自由升降之搬送部1;1來取代上下2段之 搬送部Μ，且使用在將從相鄰接之板狀體搬送單元丨之上段 搬送部Μ接收之玻璃基板2傳送至相鄰接之板狀體搬送單 1〇元1之下侧的搬送部Μ等藉由上侧之搬送部Μ與下側之搬送 部Μ傳送玻璃基板2時。 接著，針對前述控制機構£作說明。 15 20 23 如第9圖所不，控制裝置诚據來自運轉切換開關s的指 令’控制板狀體搬送裝置Η的開始運轉、停止運轉及停止搬 达。即’控制裝置Ε在由運轉切換開關s下開始運轉的指令 時^在板狀體搬送單元1中分別使送風式支持機構3、次送 =几23、推進力賦予機構4運轉，以開始運轉板狀體搬送 H。又’當運轉切換開關S下停止運轉的指令時，則在 板狀體搬送單元1中分別使送風式支持機構3、次送風單元 套推，力賦予機構4停止運轉，以停止運轉搬送系統Η。 二“轉切換開關s下停止搬送的指令時，則在板狀體 力賦繼續風式支持機構3的運轉並停止推進 _ ’以停止搬送系統Η搬送玻璃基板2的動 20 1327128 10 15 20 [第2實施形態] 在上述實施形態中，雖然將板狀體搬送裝置設為以水 平或大致水平狀態搬送板狀體，但亦可設為以接近縱向狀 態搬送板狀體。又，雖然以多數驅動滾輪構成驅動旋轉體， 5 且以多數從動滾輪構成從動旋轉體，但亦可以確動皮帶等 無端帶狀體構成驅動旋轉體或從動旋轉體。接著說明該板 狀體搬送裝置。另，關於與上述實施形態同樣構造者則職 予與實施形態相同之編號，並省略其說明。 如第10圖，第11圖所示，板狀體搬送裝置H係將板狀體 縱向搬送單元33排列於玻璃基板2之搬送方向來使用。而 且，板狀體縱向搬送單元33分別包含可將潔淨空氣供給至 以接近縱向姿勢的姿勢搬送之玻璃基板2下面2a,且可以非 接觸狀態支持玻璃基板2之呈接近縱向姿勢的姿勢之送風 式支持機構3，及一面接觸支持玻璃基板2之兩端部此的其 中-端，-面料推進力之作為鶴旋動體之確動皮帶 34。板狀體搬送裝置Η更具有可將搬送方向之推進力賦予玻 璃基板2之縱向姿勢推進力賦予機構35。 方推進力賦予機構35由位於下 游且藉由電動式馬達4G旋轉之驅動輪％、位於上游且可自 由旋轉之從動輪37、從驅動糾繞到從動輪37之前述確動 皮帶34、從關面域確動皮帶3种之輸送路徑部分的内 支持輪38、從外職讀確較帶辦之返⑽徑部分的 外支持輪39所構成。 ~ 因此’玻璃基板2藉由縱向 姿勢推進力賦予機構35中之 21 1327128 確動皮帶34以接觸狀態支持其中一端部2d，且藉由送風式 支持機構4的潔淨空氣以非接觸狀態支持中間部。，並且， 藉由旋轉驅動之確動皮帶34賦予推進力，藉此，可沿著搬 送方向搬送。 5 上述第2實施形態中亦與第1實施形態相同，亦可具有 以大致密閉狀態覆蓋用以收納送風式支持機構3與玻璃基 板2之搬送路徑的搬送空間之殼體。 [第3實施形態] 接著，說明根據本發明之其他實施形態。該說明中， 10與上述實施形態相同的部分則利用相同的編號，且不重複 說明。 如第17圖、第20圖所示，在板狀體搬送裝置η中設有在 較玻璃基板2上面，即，較多孔體11上面更上方的位置支持 從由前述送風式支持機構3所支持之設定高度下降之玻璃 15基板2之接觸式支持機構。而且，接觸式支持機構係由分散 配置於搬送方向以及寬度方向之多數支持體17所構成。補 充說明’在多孔體11中，分別在搬送方向以及寬度方向將 由樹脂材料所構成之多數支持體17分散配置於多孔體11， 該支持體17係如第21圖所示，藉由將其基部i7b嵌合於通氣 2〇孔Ua，以支持於多孔體11，且支持體Π之半球狀前端部17a 突出至多孔體11上面。 因此，即使如第22(A)圖所示，玻璃基板2從由送風式 支持機構3支持在設定高度之狀態下降，亦可如第22(b)圖 所示，在較送風式支持機構3上面更上方的位置，藉由多數 22 1327128 支持體Π支持該下降之玻璃基板2。 又，如第20圖、第21圖所示，在排列於搬送方向之風 扇過濾器單元14中位於中央的2個風扇過濾器單元14所具 有之多孔體11分別形成有沿著寬度方向之凹入部lib，且在 5該凹入部丨沁設有可除去玻璃基板2的靜電之靜電消除器 (i〇nizer)19 »

又，控制裝置E構成為可在運轉切換開關s下開始運轉 的指令之狀態下，根據前述旋轉速度感測器!^的檢測資 訊’在送風風扇13的旋轉速度在設定速度以下時，停止推 10 進力賦予機構4的運轉。 即，前述設定速度係設定成當在該速度以下使送風風 扇13旋轉’則無法將充分的潔淨空氣供給至玻璃基板2下 面，且對玻璃基板2的支持力變弱時，則由接觸式支持機構 P來支持玻璃基板2，如此一來，一旦送風風扇13的旋轉迷 15度在上述設定速度以下，則停止推進力賦予機構的運轉，

因此，在由接觸式支持機構支持玻璃基板2之狀態下無法搬 送玻璃基板2 » 在運轉切換開關S下開始運轉或停止搬送的指令之狀 態下，根據旋轉速度感測器RS的檢測資訊，當送風風扇U 20的旋轉速度在設定速度以下時，則使警報燈K(第9圖）亮 燈，使周圍的作業員知道玻璃基板2的搬送因為送風風扇^ 的旋轉速度下降而停止。 [其他實施形態] (1)在上述第1實施形態中’雖然由多孔體與副過濾器與 23 1327128 多孔支持體構成遮蔽體，但亦可僅由多孔體與副過濾器構 成遮蔽體，且副過濾器可藉由用接著劑黏在多孔體等來支 持。又，如第12圖所示，亦可僅由多孔體11構成遮蔽體6’ 並僅防止較大的異物掉落。 5 [a]如第13(A)圖、第13(B)圖所示，亦可由用以閉塞多 孔體11之其中一通氣孔11a與多孔支持體44之其中一通風 孑L 44a所設置之多數過渡片46構成副過濾器。 [b] 如第14(A)圖、第14(B)圖、第14(C)圖所示，亦可由 用以閉塞多孔體11之其中一通氣孔11a與多孔支持體44之 10 其中一通風孔44a所設置之多數具突起之過濾片47構成副 過濾器，藉由使形成於具突起之過濾片47之突起部47a與多 孔體11之通氣孔11a相嵌合，可限制副過濾器43在寬度方向 的位置偏移。 [c] 如第15(A)圖、第15(B)圖所示，亦可將多孔體η之 15 通氣孔Ua形成為靠近多孔支持體44處擴展開來的形狀，且 由分別配設於該等通氣孔11a之多數嵌合過濾片48構成副 過濾器，並以封止狀態將多孔體11設於多孔支持體，以構 成薄型的遮蔽部。 並且’如[b]、[c]所述，使具突起之過濾片47或嵌合過 20濾片48的上面與多孔體π的上面成為同一面，藉此，可防 止塵埃堆積在通氣孔11a。 又’如上述[a]、[b]、[c] ’即使在多孔體與多孔支持體 之間對應於通氣孔或通風孔部分性地設置副過濾器，如上 所述，亦可藉由分別用接著劑黏在多孔體來支持過濾片或 24 1327128 具突起之過濾片或嵌合過濾片，且由多孔體與副過濾器構 成遮蔽體，來省略多孔支持體。即，以上述[b]為例來作說 明’如第16圖所示，亦可藉由分別用接著劑黏在多孔體^ 來支持具突起之過濾片47，且由多孔體丨丨與具突起之過濾 5片47(*彳過渡器）構成遮蔽體6，來省略多孔支持體。並且， 由於具突起之過濾片或嵌合過濾片嵌合於多孔體之通氣 孔，因此，亦可在嵌合處進行黏貼，以更牢固地黏貼。 (3) 如第23圖、第24圖所示，上述第丨與第3實施形態之 推進力賦予機構4亦可由電動式馬達55、藉該電動式馬達55 10旋轉驅動之驅動輪56、藉由旋轉軸57與前述驅動滾輪連動 連結之從動輪58、將來自驅動輪56的動力傳達至從動輪58 之驅動傳達皮帶59、抵接於該驅動傳達皮帶59之内周及外 周之移動輪60構成。並且’可將電動式馬達55、驅動輪56、 從動輪58、驅動傳達皮帶59及移動輪60設置於前述收納空 15間B内’且以分別突出至收納空間B以及搬送空間A之狀態 將前述旋轉轴57可自由旋轉地支持於前述内壁8a，並在旋 轉軸57突出於收納空間B的部分設置從動輪58,且在旋轉轴 57突出於搬送空間a的部分設置前述驅動滾輪9。 (4) 雖然在上述第3實施形態中，個別構成各支持體17 20 與多孔體11，但，亦可如第25圖所示，將多數與多孔體11 形成為一體之球形或與其接近之形狀的突起部41分散配置 於搬送方向以及寬度方向，且由該等多數突起部41構成前 述接觸式支持機構17。又，亦可將第26(A)圖、第26(B)圖所 示之可在搬送方向自由旋轉之多數旋轉滾輪42分散配置於 25 1327128 搬送方向以及寬度方向，且由該等多數旋轉滾輪42構成前 述接觸式支持機構17。 η又如第27(A)圖所示，亦可由可使通過前述除塵過渡 器12之，絜淨空氣流動之多孔體11與多孔支持體44及夾在多 5减11與多孔支持體44之間且可堵塞形成於多孔體^之通 氣孔11a或形成於多孔支持體44之通氣孔咏之多數過遽器 所構成i使過濾器6〇從多孔體η上端突出，以藉由從 多孔體11上端突出之多數過溏器6〇的前端部6如構成前述 接觸式支持機構17。 10 即’過濾器60係如第27(A)圖、第27(B)圖所示，由嵌 合於前述多孔體丨丨之通氣孔Ua的突起部所構成且從該突 起部之多孔體11的上面突出之前端部6〇a形成為凸曲狀， 故，可在較送風式支持機構3上面更上方的位置藉由該前端 部60a支持下降之玻璃基板2。 15 又，過濾器60亦可如第27(C)圖所示，平坦地形成前端 部60a ’或者如第27(D)圖所示，使突起部的一部分突出以 形成前端部60a。另，若是第27(C)圖，則亦可如第27(£)圖 所示，使板狀之過遽材料成型，藉此，形成上述第27(a)圖、 第27(C)圖、第27(D)圖之各過濾器60。 20 (5)亦可使多孔體11構成為可覆蓋例如6個風扇過遽器 單元14。

(6)在上述第3實施形態中，雖然設有警報燈κ作為警報 機構，且使該警報燈K亮燈，但，亦可設置警報汽笛，且使 該警報汽笛運作’以發出警報音，又，亦可設置警報燈K 26 1327128 與警報汽笛兩者》 ⑺又’送風式支持機構亦可構成為將送風 與前述寬度方向，且使排列於寬度方向之各 送風早7C/W)開，並使排列於搬送方向之一一 10 且形成可將供給至前述板狀體下㈣潔淨空氣排出3方 的通氣路。再者’為了以送風單元單位相分，在上述實 施形態中，於搬送方向將腔室劃分形成為3個且為了以送 風機構單位劃分，在上述實施形態中，於寬度方向劃分形 成為2個’而總共劃分形成為6個。而且，在如上所述形成 通氣路時’亦可分割構成遮蔽體，使多孔體、副過濾器、 多孔支持體的任何-個皆不在該通氣路上，亦可構成遮蔽 體，且僅使多孔體位於通氣路上，而不使副過濾器、多孔 支持體位於其上。 (8) 在上述實施形態中，雖然以將除塵過濾器與送風機 構體組成之送風風扇為例，但，不一定要將除塵過滤器 與送風機構一體組成，例如，亦可設置可將藉送風機構吹 送的空氣引導至除塵過濾器的引導路等，且個別構成除塵 過濾器與送風機構。 (9) 雖然在上述實施形態中以液晶用玻璃基板作為板狀 體’但半導體晶圓等亦可，且，被支持體的形狀或大小並 不限於上述實施形態。 【圖式簡單說明】 第1圖係板狀體搬送裝置的透視圖。 第2圖係板狀體搬送裝置的正視截面圖。 27 1327128 第3圖係板狀體搬送裝置的正視截面的部分放大圖。 第4圖係板狀體搬送裝置的側視截面圖。 第5圖係遮蔽體的部分放大截面圖。 5 第6圖係推進力賦予機構的側視圖。 圖係推進力料機構的正視圖。 系推進力職予機構之側面部分放大圖。 圖係概送裝置之控制方塊圖。 $10圖係另—由 、乃一實施形態之板狀體搬送裝置的透視圖。 第11圖係另^ !〇 哲 、乃—實施形態之板狀體搬送裝置的側視圖。 第12圖係另 ^ 鸯•面圖 、乃一實施形態之板狀體搬送裝置的部分放大 第13(八)同^ 圖，第Ι3(β圖係另一實施形態之遮蔽體的部分放大截面 第 圖係顯示另一實施形態之過濾片的透視圖。 15 圖，第1 (A)圖係另一實施形態之遮蔽體的部分放大截面 過溏 圖、第14(c)圖係顯示另一實施形態之具突起之 …巧的透視圖。 第1气 圖 阳，哲圖係另一實施形態之遮蔽體的部分放大戴面 。 闯係顯示另一實施形態之嵌合過濾器的透視 20 第16 圖係另 第 實施形態之遮蔽體的部分放大截面圖 17圖係搬送裝置之透視圖 圖係概送單元之部分放大正視 第19圖係搬i 第2〇圖 圖 迭單元之側視圖 係概送單元之平面圖 28 1327128 第21圖係顯示支持體以及靜電消除器之支持狀熊之多 孔體的側視圖。 第22(A)圖係顯示玻璃基板支持在預定高度之狀熊，第 22(B)圖係顯示玻璃基板從預定高度下降之狀態。 5 第23圖係另一實施形態之推進力賦予機構的侧視圖。 第24圖係另一實施形態之推進力賦予機構的正視圖。 第2 5圖係顯示另一實施形態之支持體的支持狀態之側 視圖。 第26圖（A)、第26(B)圖係顯示另一實施形態之支持體 10 的支持狀態之側視圖與透視圖。 第27(A)圖〜第27(E)圖係另一實施形態之多孔體的截面 圖。 【圖式之主要元件代表符號表】 1..板狀體搬送單元 8…收納框架 2·..玻璃基板 8a...内周壁 2a...下面 8b...下壁 2b...兩端部 8c.··上壁 2c...中間部 8d...收納蓋體 3.··送風式支持機構 9…驅動滾輪 3a...侧壁 9a..·大直徑部 4...推進力賦予機構 10...電動馬達 S...搬送殼體 11...多孔體 6...遮蔽體 11a...通氣孔 7...殼體 lib...凹入部 1327128 12...除塵過濾器 36...驅動輪 13...送風風扇 37...從動輪 14...風扇過濾器單元 38...内支持輪 15...單元用框體 39...外支持輪 15a...支持框部分 40...電動式馬達 15b...板狀框部分 41...突起部 17...支持體 42...旋轉滚輪 17a...別端部 43...副過濾器 17b...基部 44...孔支持體 18...空氣導入口 44a...通風孔 19...靜電消除器 46...過遽片 20...搬送蓋體 47...具突起之過濾片 23…次送風單元 47a...突起部 24...外部排出口 48...嵌合過濾片 26...輸出轴 55...電動式馬達 27...傳動軸 56...驅動輪 28...正齒輪 57...旋轉軸 29...輸出傳動部 58...從動輪 30…輸入傳動部 59...驅動傳達皮帶 31...聯結器 60...移動輪 33...板狀體縱向搬送單元 60...過遽器 34...確動皮帶 60a...前端部 35...縱向姿勢推進力賦予機 H...板狀體搬送裝置 構 RS...旋轉速度感測器 1327128 c...腔室 M...搬送部 Ρ…軸心 Α...搬送空間 B...收納空間 E...控制機構 S...運轉切換開關 K...警報燈

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Claims (1)

1327128 第93117327號申靖宏 99.01.22

種板狀體搬送裝置’係具有朝所搬送之板狀體下面 -一__^^申訥專利範圍替換本 拾、申請專利範圍： 給潔淨空氣，以_咖態讀前述板雜之送風^ 冓豸送風式支持機構係於搬送路徑所搬送之前 述板狀體的下方包含下述構件而構成： 除塵過濾器，可除去塵埃； 广電動式送風風扇，係通過前述除塵過滤器將潔淨空 氣供給至前述板狀體下面之作為送風機構者；及 10 。遮蔽體可形成遮蔽，以允許已通過前述除塵過遽 器之潔淨空氣通過，並阻止異物掉落至前述除塵過遽器 側， 又，前述遮蔽體在與前述除塵過濾器之間形成矸積 存前述潔淨空氣之腔室。 2.如申請專利範圍第！項之板狀體搬送裝置，其中前述遮 15 1體係以可允許已通過前述除塵m之潔淨空氣通 過之多孔體所構成。 3·如申請專利_第丨項之板狀體搬送|置，其中前述遮 蔽體包含可允許已通過前述除塵過據器之潔淨空氣通 過之夕孔體’及較❹孔體更位於前述除塵過濾器側之 20 副過濾器。 4·如申請專利範圍第3項之板狀體概送裝置，其中前述遮 蔽體具有較前述副過滤器更位於前述除塵過據器側，以 支持前述副過濾器之多孔支持體。 5.如申請專利範圍第1項之板狀體搬送裝置，其中送風式 32 1^27128

寺機構係將μ述除塵過遽器與前述電動式送風風扇 體’'且成之送風單元排列於搬送方向所構成者。 6’如申請專利_第1項之板狀體搬送裝置，更具有對前 Ά狀體賦予在搬送方向之推進力之推進力賦予機 構’该推進力賦予機構具有—面接觸支持水平或大致水 平狀態之前述板狀體的兩端部，一面賦予推進力之驅動 旋動體， 又，前述送風式支持機構係構成為可支持前述板狀 體之兩端部之間的部分。 10 一種板狀體搬送裝置，包含： 迗風式支持機構，係朝板狀體搬送物下面供給潔淨 二氣，且以非接觸狀態支持前述搬送物；及 15 推進力賦予機構’係對以前述送風式支持機構所支 持之前述搬送物賦予在搬送方向之推進力， 20 ，更設有接觸式支持機構，該接觸式支持機構係 j較前述送風式支持機構上面更上方的位置支持從以 前述送風式支持機構所支持之設定高度下降的搬送物。 如申凊專利範圍第7項之板狀體搬送裝置，其中前述送 風式支持機構係將可除去塵埃之除塵過濾器、與可通過 刖述除塵過濾器朝前述搬送物下面供給潔淨空氣之送 風風扇一體組成之送風單元排列於前述搬送方向所構 成者，且，在前述送風單元上設有可對供給至前述搬送 物下面的潔淨空氣進行整風之多孔體。 •如申請專利範圍第7項之板狀體搬送裝置，其中前述接 33 1327128 fp-1 ’ “ 一· * 觸式支持機構係將多數支持體分散配置於搬送方向以 及寬度方向所構成者。 10.如申請專利範圍第9項之板狀體搬送裝置，其中前述支 持體係以可在搬送方向自由旋轉之旋轉滾輪所構成。 5 11.如申請專利範圍第9項之板狀體搬送裝置，其中前述支 持體係由球形或與其接近的形狀之突起部所構成。 12. 如申請專利範圍第9項之板狀體搬送裝置，其中前述支 持體係設於前述多孔體。 13. 如申請專利範圍第8項之板狀體搬送裝置，更具有用以 10 檢測前述送風風扇之旋轉速度的檢測機構，及可根據前 述檢測機構的檢測資訊，當前述送風風扇之旋轉速度在 設定速度以下時，使前述推進力賦予機構停止作動之控 制機構。 14. 如申請專利範圍第1項之板狀體搬送裝置，其中成為前 15 述遮蔽體與前述除塵過濾器之間隔之前述腔室的高度 在1 cm以上。 34 1327128 柒、指定代表圖： (一） 本案指定代表圖為：第（5 )圖。 (二) 本代表圖之元件代表符號簡單說明： 3.. .送風式支持機構 3a...侧壁 6.. .遮蔽體 11.. .多孔體 11a...通氣孔 12.. .除塵過濾器 13.. .送風風扇 43.. .副過濾器 44.. .孔支持體 44a...通風孔 C...腔室 捌、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式：