CN102267630B - 空气浮抬运送装置和空气运送方法 - Google Patents

Abstract

一种空气浮抬运送装置及空气运送方法，把形成平面基板(10)的运送路的空气浮抬单元(1)朝向平面基板运送方向地配列成线状，把该空气浮抬单元(1)的列并列配列多列。空气浮抬单元(1)包括有：形成平面基板(10)的运送路的背面板(13)、位于与背面板(13)的运送路方向平行的两侧面且具有向背面板(13)的中央部上方喷出空气的倾斜喷嘴(21)的一对空气供给管(11、12)。因此，能够按照液晶基板等平面基板的大小和重量灵活地构成，且能够在稳定的状态下运送平面基板。

Description

空气浮抬运送装置和空气运送方法

本申请是申请日为2007年11月21日、申请号为200780042925.0（国际申请号为PCT/JP2007/072549）、发明名称为“空气浮抬运送装置和空气运送方法”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及半导体基板、液晶基板等平面基板的运送装置，特别是涉及利用空气使被浮抬而能够没有破损和擦伤地稳定进行运送的空气浮抬运送装置和空气运送方法。

本发明要求2006年11月22日向日本特许厅提出的特愿2006-315498号及2007年8月10日向日本特许厅提出的特愿2007-210201号专利的优先权，在此引用其内容。

背景技术

一般来说把平面板一边由空气浮抬一边进行运送的装置有各种提案。例如有图6A和图6B所示的浮子（参照非专利文献1）。图8A表示浮子的概念图，图8B表示浮子的截面图（带钢行进方向的截面图）。

图8A和图8B所示的浮子101在端部设置朝向内的一对窄缝喷嘴102，向与带钢103移动方向平行的方向喷出流体以把带钢103浮抬。从窄缝喷嘴102喷出的流体在带钢103的下面通过改变方向流出时运动量的变化而使产生静压，使带钢103被浮抬。

但上述的浮子101用于使带钢103等连续形状的运送物被浮抬，在想运送半导体基板、液晶基板等一个一个形状的平面基板时，就必须把上述的浮子101朝向运送方向配置多个地敷设，有浮子101的个数多的问题。

由于连续形状的运送物在运送方向的上游侧和下游侧被一直支承着，所以运送物的端部不会横跨（越过）浮子101，但一个一个形状的平面基板则基板端部需要顺次越过浮子101，有基板在浮子101之间上下波动、震动而基板端部与浮子碰撞的问题。

现有技术有基板运送装置（参照专利文献1）。该基板运送装置的目的在于把高密度多层收容的玻璃基板任意且以最小程度的污染进行搬入搬出。图9表示被多层收容的玻璃基板内一块玻璃基板110的收容状态，表示玻璃基板110两侧边缘部内的一侧边缘部。如图9所示，运送辊113一边支承玻璃基板110的其两侧边缘部110a一边进行运送（向与纸面垂直的方向运送）。在运送玻璃基板110时从空气喷出管112向被运送辊113支承的玻璃基板110与背面板111之间喷出压缩空气。

但上述现有技术的基板运送装置在利用运送辊113一边支承玻璃基板110的其两侧边缘部110a一边进行运送时，向背面板111与玻璃基板110之间吹入空气，目的在于使背面板111与玻璃基板110不接触，由两端部进行支承，使基板载重的大部分由两端部的辊来承受，不适合把基板完全非接触的运送。

专利文献1：（日本）特开2005-159141号公报

非专利文献1：高原、平井、谷崎、神田、立原、“制铁处理线用带钢浮抬运送装置的实用化”、三菱重工技报、Vol29、№1（1992-1）、p36～41则有如上述那样利用空气使被浮抬而能够没有破损和擦伤地进行运送的运送装置被各种提案。但近来液晶基板等被大型化，作为能够稳定运送它的空气浮抬运送装置则难于说已经是充分的。

一边利用空气把运送面上的板状被运送物从所述运送面浮抬一边运送的现有空气浮抬运送装置中，配置在所述运送面下的多个空气浮抬单元从其所述运送方向的下游侧端向该运送方向的上游侧喷出空气，有时使所述运送方向下游侧端附近的被运送物浮抬量增加（例如参照专利文献2）。

专利文献2：（日本）特开2006-222209号公报

上述的现有技术防止了被运送物的运送方向前端部（下游侧端部）在通过了空气浮抬单元的运送方向下游侧端后向下垂而与其前面的空气浮抬单元等产生干涉。

上述空气浮抬运送装置在运送面下配列多个空气浮抬单元，根据被运送物的大小和重量等能够容易且灵活地设定其规格，在进一步还要应对运送线的规模等时，由于有时要扩展空气浮抬单元之间的间隔，所以希望把空气浮抬单元运送方向下游侧端附近的被运送物浮抬量更加增加。另一方面，为了抑制空气浮抬运送装置的运转负载则希望能够降低装置整体的空气喷出量（空气消耗量）。

发明内容

本发明是为了解决这些问题而开发的，其目的在于提供一种空气浮抬运送装置和空气运送方法，按照液晶基板等平面基板的大小和重量并通过选择空气浮抬单元的个数和配置来灵活构成空气浮抬运送装置，能够以稳定的状态来运送平面基板，通过使用简单结构的空气浮抬单元而能够降低空气浮抬运送装置的制造成本。

本发明是为了解决上述课题而开发的，本发明的空气浮抬运送装置由形成平面基板运送路的多个空气浮抬单元构成，从所述空气浮抬单元喷出空气来浮抬所述平面基板进行运送，把所述空气浮抬单元朝向所述平面基板运送方向配列成线状的空气浮抬单元列并列配置多列，且所述空气浮抬单元具备：从与平面基板运送方向正交的两侧方向向所述平面基板的下面喷出空气的机构。

根据该结构，把空气浮抬单元的列并列配列多列，一个一个的空气浮抬单元从与平面基板运送方向正交的两侧方向向平面基板的下面喷出空气。

由此，通过按照液晶基板等平面基板的大小和重量而选择空气浮抬单元的个数和配置，从而能够以稳定的状态来运送平面基板。由于能够使用简单结构的空气浮抬单元而能够降低空气浮抬运送装置的制造成本。且通过选择空气浮抬单元的个数和配置而能够灵活构成空气浮抬运送装置。

本发明的空气浮抬运送装置把所述空气浮抬单元配列成两条轨道状。

根据这种结构，把空气浮抬单元配列成两条轨道状，由此，能够稳定地浮抬平面基板。

本发明的空气浮抬运送装置中，所述空气浮抬单元具备：从所述平面基板运送方向的下游侧向所述平面基板的下面喷出空气的机构。

根据这种结构，从平面基板运送方向的下游侧向平面基板的下面喷出空气，把平面基板的前端部抬起来。

由此，即使在平面基板刚性小的前端部出现下垂部分的情况下，也能够把该下垂部分抬起来，所以在平面基板换乘空气浮抬单元时能够抑制前端部与空气浮抬单元产生干涉。

本发明的空气浮抬运送装置中，所述空气浮抬单元具备：从所述平面基板运送方向的下游侧和上游侧向所述平面基板的下面喷出空气的机构。

根据这种结构，从平面基板运送方向的下游侧和上游侧向平面基板的下面喷出空气，把平面基板的前端部抬起来。

由此，即使在平面基板刚性小的情况或空气浮抬单元之间的距离长的情况下，不仅从平面基板运送方向的下游侧，而且从上游侧也如愿地在空气浮抬单元之间向平面基板喷出空气，通过把平面基板向上方抬起来而在运送中的平面基板前端部出现下垂的情况下，结果也是能够把平面基板前端的下垂部分向上方抬起来，能够避免平面基板前端部与空气浮抬单元产生碰撞。

本发明的空气浮抬运送装置中，所述空气浮抬单元具备：背面板，其与所述平面基板的下面相对而形成所述平面基板的运送路；一对空气供给管，其位于所述背面板的与运送路方向平行的两侧面，具有向所述背面板的中央部上方喷出空气的倾斜喷嘴。

根据这种结构，在形成平面基板运送路的背面板两侧配置空气供给管，从设置于该空气供给管的倾斜喷嘴向背面板的中央部上方喷出空气。

由此，能够把空气浮抬单元的结构简单化。

本发明的空气浮抬运送装置中，所述空气浮抬单元在所述背面板的位于与运送路方向正交的下游侧的侧面还具备空气供给管，具有向所述背面板的上方或中央部上方喷出空气的喷嘴。

根据这种结构，在背面板的下游侧配置空气供给管，从设置于该空气供给管的倾斜喷嘴向背面板的上方或中央部上方喷出空气。

因此，通过使用空气供给管这样的简单结构而使平面基板在换乘空气浮抬单元时，能够抑制前端部与空气浮抬单元产生干涉。

本发明的空气运送方法是如下所述的空气浮抬运送装置的空气运送方法，该空气浮抬运送装置由形成平面基板运送路的多个空气浮抬单元构成，从所述空气浮抬单元喷出空气来浮抬所述平面基板进行运送，包含：把所述空气浮抬单元朝向所述平面基板运送方向配列成线状的空气浮抬单元列并列配置多列的步骤、所述空气浮抬单元从与平面基板运送方向正交的两侧方向向所述平面基板的下面喷出空气的步骤。

根据该步骤，把空气浮抬单元的列并列配列多列，一个一个的空气浮抬单元从与平面基板运送方向正交的两侧方向向平面基板的下面喷出空气。

由此，通过按照液晶基板等平面基板的大小和重量而选择空气浮抬单元的个数和配置，从而能够以稳定的状态来运送平面基板。由于能够使用简单结构的空气浮抬单元而能够降低空气浮抬运送装置的制造成本。且通过选择空气浮抬单元的个数和配置而能够灵活构成空气浮抬运送装置。

作为上述课题的解决方法，本发明的把运送面上的板状被运送物利用空气一边从所述运送面浮抬一边进行运送的空气浮抬运送装置中，配置在所述运送面下的空气浮抬单元在与所述被运送物运送方向正交的单元宽度方向两侧具备向该单元宽度方向的中央侧喷出空气的侧部喷出部，而且在所述运送方向的下游侧端具备向该运送方向的上游侧喷出空气的下游侧喷出部，位于所述运送方向下游侧端附近的所述侧部喷出部向所述单元宽度方向中央侧且向所述运送方向下游侧倾斜地喷出空气。

本发明在把运送面上的板状被运送物利用空气一边从所述运送面浮抬一边进行运送的空气浮抬运送装置中，配置在所述运送面下的单一空气浮抬单元在与所述被运送物运送方向正交的单元宽度方向两侧具备向该单元宽度方向的中央侧喷出空气的侧部喷出部，而且在所述运送方向的下游侧端具备向该运送方向的上游侧喷出空气的下游侧喷出部。

本发明在发明内容1或2记载的空气浮抬运送装置中，所述侧部喷出部和下游侧喷出部的至少一个朝向所述被运送物的下面向斜上方喷出空气。

本发明在发明内容1到3任一项记载的空气浮抬运送装置中，所述侧部喷出部和下游侧喷出部的至少一个具有：设置在所述单元宽度方向两侧或运送方向下游侧端的喷出基部、与该喷出基部重叠而安装的第一板、与该第一板重叠而安装的第二板，所述第一板设置有缺口，该缺口从与设置于所述喷出基部的空气喷出口对应的位置向所述侧部喷出部或下游侧喷出部的空气喷出方向敞开，通过由所述喷出基部和第二板夹住该缺口而形成所述侧部喷出部或下游侧喷出部的空气喷出路径。

本发明在发明内容4记载的空气浮抬运送装置中，所述喷出基部被与所述空气浮抬单元的单元本体设置成一体，在所述单元本体内设置空气通路，把从所述喷出基部的外面到所述空气通路的通孔设定为是所述喷出基部的空气喷出口。

本发明在发明内容5记载的空气浮抬运送装置中，把所述喷出基部的所述空气喷出口开口的外面被设置成相对所述运送面倾斜。

本发明在把运送面上的板状被运送物利用空气一边从所述运送面浮抬一边进行运送的空气浮抬运送装置所使用的空气浮抬单元中，在与所述被运送物运送方向正交的单元宽度方向两侧具备向该单元宽度方向的中央侧喷出空气的侧部喷出部，而且在所述运送方向的下游侧端具备向该运送方向的上游侧喷出空气的下游侧喷出部，所述侧部喷出部和下游侧喷出部的至少一个具有：设置在所述单元宽度方向两侧或运送方向下游侧端的喷出基部、与该喷出基部重叠而安装的第一板、与该第一板重叠而安装的第二板，在所述第一板设置有缺口，该缺口从与设置于所述喷出基部的空气喷出口对应的位置向所述侧部喷出部或下游侧喷出部的空气喷出方向敞开，通过由所述喷出基部和第二板夹住该缺口而形成所述侧部喷出部或下游侧喷出部的空气喷出路径。

本发明在把运送面上的板状被运送物利用空气一边从所述运送面浮抬一边进行运送的空气浮抬运送方法中，从与所述被运送物运送方向正交的单元宽度方向两侧向该单元宽度方向的中央侧喷出空气，而且从所述运送方向的下游侧端向该运送方向的上游侧喷出空气，从所述运送方向下游侧端附近的所述单元宽度方向两侧向所述单元宽度方向的中央侧且是所述运送方向下游侧倾斜地喷出空气。

本发明的空气浮抬运送装置通过按照液晶基板等平面基板的大小和重量而选择空气浮抬单元的个数和配置，从而能够灵活构成空气浮抬运送装置，以稳定的状态来运送平面基板。由于能够使用简单结构的空气浮抬单元而能够降低空气浮抬运送装置的制造成本。

根据本发明，通过从空气浮抬单元的单元宽度方向两侧向该单元宽度方向的中央侧喷出空气，使该两空气在单元宽度方向中央侧相互碰撞而在被运送物与运送面之间生成相对外部大气压力高的空气积存。该空气积存的压力由于作用在被运送物比较大的面积上，所以与把空气向上方喷出而仅以其局部的压力使被运送物被浮抬的情况相比，能够以少的空气喷出量（空气消耗量）使被运送物有效地被浮抬。

在空气浮抬单元运送方向的下游侧端附近，从单元宽度方向两侧向该单元宽度方向中央侧喷出空气，而且从运送方向下游侧端也向该运送方向上游侧喷出空气，由此能够有效地提高该部位产生的空气积存的压力，能够以少的空气消耗量来增加被运送物的浮抬量。因此，例如即使在运送方向上以长的单一空气浮抬单元来构成空气浮抬运送装置的情况下也是适合的。

特别是在空气浮抬单元运送方向的下游侧端附近，从单元宽度方向两侧向单元宽度方向中央侧且是运送方向下游侧倾斜地喷出空气，由此使该两空气与从所述运送方向下游侧端喷出的空气碰撞而提高空气压力，而且还能够抑制该部位产生的空气积存中的空气向运送方向上游侧逃逸，能够有效地提高该部位产生的空气压力，能够以少的空气消耗量来增加被运送物的浮抬量。

通过在空气浮抬单元的运送方向下游侧端附近增加被运送物的浮抬量，使被运送物容易越过空气浮抬单元之间的间隙部分，空气浮抬单元之间的间隙设定宽度变宽，且空气浮抬单元之间在高度方向上的位置偏差容许范围也变宽，能够提高空气浮抬运送装置的设计自由度。

侧部喷出部和下游侧喷出部只要是朝向被运送物的下面向斜上方喷出空气，就能够使该喷出空气的向上方的压力成分直接作用在被运送物的浮抬上。

只要侧部喷出部和下游侧喷出部在喷出基部安装第一和第二板，第一板设置的缺口通过被喷出基部和第二板夹住而形成侧部喷出部和下游侧喷出部的空气喷出路径，则仅通过更换第一板而变更其缺口就能够容易且灵活地设定具有希望空气喷出方向的侧部喷出部和下游侧喷出部。

只要侧部喷出部和下游侧喷出部把其喷出基部与单元本体设置成一体，且在单元本体内设置空气通路，把从喷出基部的外面到空气通路的通孔设定成喷出基部的空气喷出口，就能够把侧部喷出部和下游侧喷出部的结构以至空气浮抬单元的结构简单化。

只要喷出基部的开有空气喷出口的外面被设置成相对所述运送面倾斜，则仅通过在该外面安装平坦的第一和第二板就能够朝向被运送物的下面向斜上方喷出空气。

附图说明

图1A是表示空气浮抬运送装置第一实施例结构例的图；

图1B是表示空气浮抬运送装置第一实施例结构例的图；

图1C是表示空气浮抬运送装置第一实施例结构例的图；

图2A是表示空气浮抬运送装置第二实施例中空气浮抬单元结构例的图；

图2B是表示空气浮抬运送装置第二实施例中空气浮抬单元结构例的图；

图2C是表示空气浮抬运送装置第二实施例中空气浮抬单元结构例的图；

图3是表示空气浮抬运送装置第二实施例结构例的图；

图4A是表示空气浮抬运送装置第三实施例中空气浮抬单元结构例的图；

图4B是表示空气浮抬运送装置第三实施例中空气浮抬单元结构例的图；

图4C是表示空气浮抬运送装置第三实施例中空气浮抬单元结构例的图；

图5是表示空气浮抬运送装置第三实施例结构例的图；

图6A是表示空气浮抬单元其他结构例的图；

图6B是表示空气浮抬单元其他结构例的图；

图7是表示空气浮抬单元其他结构例的图；

图8A是表示现有技术的浮子结构的图；

图8B是表示现有技术的浮子结构的图；

图9是表示现有技术的基板运送装置结构的图；

图10是本发明第四实施例空气浮抬运送装置的立体图；

图11是构成上述空气浮抬运送装置的空气浮抬单元的俯视图；

图12是图11的A-A剖视图；

图13是图11的B-B剖视图；

图14是上述空气浮抬单元的侧部和下游侧喷出部的分解立体图；

图15是把上述空气浮抬单元的一部分分解的与图11相当的俯视图；

图16是本发明第五实施例中与图15相当的俯视图；

图17是表示上述各实施例变形例的与图13相当的剖视图；

图18是表示上述各实施例其他变形例的与图13相当的剖视图。

符号说明

1  空气浮抬单元  2空气浮抬单元  3   空气浮抬单元

4  空气浮抬单元  10平面基板     10a 下垂部分    11  空气供给管

13 背面板        21倾斜喷嘴     31  空气供给管  32  倾斜喷嘴

41  空气供给路   42 倾斜喷嘴  43  倾斜喷嘴      51  空气浮抬运送装置

52  运送面       53 平面基板  53a 运送方向前端部

55  空气浮抬单元 56 单元本体  56a 空气通路      57  侧部喷出部

58  下游侧喷出部 61 喷出基部  61a 外面          62  运送方向的第一板

63  运送方向的第二板          64  空气喷出口    66  喷出基部    61a 外面

67  运送方向下游的第一板      68  运送方向下游的第二板

69  空气喷出口   71 空气浮抬运送装置            75  空气浮抬单元

77  侧部喷出部   82 第一板    95  空气浮抬单元  95a 凹部

95b 凸部         96 单元本体  97  侧部喷出部    A   运送方向

具体实施方式

下面参照附图说明本发明的实施例。

[第一实施例]

图1是表示本发明空气浮抬运送装置第一实施例结构例的图。

图1A是表示成为本发明空气浮抬运送装置构成单位的空气浮抬单元1的例的图。

如图1A所示，空气浮抬单元1在背面板13的两侧配置一对空气供给管11、12。向空气供给管11、12供给压缩空气。

空气供给管11、12设置有倾斜喷嘴21，如箭头所示是朝向背面板13的斜上方喷出空气的结构。

且如图1B所示，通过从倾斜喷嘴21向背面板13的斜上方喷出空气而在成为运送对象的平面基板10与背面板13之间形成空气积存，把平面基板10从背面板13浮抬。

图1C是表示本发明空气浮抬运送装置结构例的图，把空气浮抬单元1朝向平面基板10的运送方向A而配列成两条轨道状。图中所示的例表示的是把空气浮抬单元1并列成两列的例，也可以按照平面基板10的大小和重量而设定成三列以上。

根据该结构，通过把简易结构的空气浮抬单元1并列配列，就能够按照平面基板10的大小和重量而灵活地构成空气浮抬运送装置。且一个一个的空气浮抬单元1结构简单，能够降低空气浮抬运送装置的制作成本。

[第二实施例]

图2和图3是表示本发明空气浮抬运送装置第二实施例结构例的图。

图2A是表示空气浮抬运送装置第二实施例中空气浮抬单元2的结构例的图。

图2A所示的空气浮抬单元2是在图1A所示的空气浮抬单元1的背面板13前面侧（平面基板运送方向的下游侧）追加了空气供给管31。该空气供给管31设置有倾斜喷嘴32，如图2B所示，当平面基板10的刚性小而在平面基板10的前端产生下垂部分10a时，通过从倾斜喷嘴32向背面板13的斜上方喷出空气而把平面基板10前端的下垂部分10a向上方抬起来。

由此，如图2C所示，在平面基板10从空气浮抬单元2向下一个空气浮抬单元换乘时抑制了平面基板10前端部的下垂部分10a与空气浮抬单元2产生干涉。

图3表示把空气浮抬单元2朝向平面基板10的运送方向A而配列成轨道状构成空气浮抬运送装置的例。图中所示的例表示的是把空气浮抬单元2并列成两列的例，也可以按照平面基板10的大小和重量而设定成三列以上。

根据该结构，通过把简易结构的空气浮抬单元2使用多个，就能够按照平面基板10的大小和重量而灵活地构成空气浮抬运送装置。

[第三实施例]

图4和图5是表示本发明空气浮抬运送装置第三实施例结构例的图。

图4A是表示空气浮抬运送装置第三实施例中空气浮抬单元2的结构例的图。

图4A所示的空气浮抬单元2是在图1A所示的空气浮抬单元1的背面板13的前面侧和后面侧（平面基板运送方向的下游侧和上游侧）追加了空气供给管31和31-1。该空气供给管31和31-1设置有倾斜喷嘴32和32-1，如图4B所示，当平面基板10的刚性小而在平面基板10的前端产生下垂部分10a时，通过从倾斜喷嘴32向背面板13的斜上方喷出空气而把平面基板10前端的下垂部分10a向上方抬起来。但在空气浮抬单元之间的距离长的情况下和在基板刚性小的情况下，在基板到达了下一个空气浮抬单元时有时还有例如产生下垂，得不到足够的浮抬量而与空气浮抬单元接触的情况。

这时，通过从基板的上游侧从倾斜喷嘴32-1向基板与空气浮抬单元之间喷出空气，把平面基板10向上方抬起来，避免平面基板10与空气浮抬单元发生碰撞。

由此，如图4C所示，在平面基板10从空气浮抬单元2向下一个空气浮抬单元换乘时抑制了平面基板10前端部的下垂部分10a与空气浮抬单元2产生干涉。

图5表示把空气浮抬单元2朝向平面基板10的运送方向A而配列成轨道状构成空气浮抬运送装置的例。图中所示的例表示的是把空气浮抬单元2并列成两列的例，也可以按照平面基板10的大小和重量而设定成三列以上。

根据该结构，通过把简易结构的空气浮抬单元2使用多个，就能够按照平面基板10的大小和重量而灵活地构成空气浮抬运送装置。

以上说明了本发明的实施例，图1A所示的空气浮抬单元1能够被设定为是图6A和图6B所示的结构。图6A所示的空气浮抬单元3在背面板13中形成空气供给路41和倾斜喷嘴42。由此，能够省略图1A所示的空气供给管11、12。图6B表示图6A的A-A′方向剖视图。

如图7所示，也能够在背面板13中形成图2所示的空气供给管31和倾斜喷嘴32的部分。同样地，虽然未图示，也能够在背面板13中形成图4所示的空气供给管31、31-1和倾斜喷嘴32、32-1的部分。

图7所示的空气浮抬单元4是把图6A和图6B所示的空气浮抬单元3作为基本结构而在空气供给路41追加倾斜喷嘴43的结构。

以上说明了本发明的实施例，但本发明的空气浮抬运送装置并不仅限定于上述的图示例，当然在不脱离本发明要旨的范围内能够得到各种变更。

[第四实施例]

图10所示的空气浮抬运送装置51从大致水平的运送面52（参照图12、13）把沿着它的平面状基板等平面基板53利用空气进行浮抬，并在该状态下利用图外的送进机构使沿所述运送面52向一个方向移动。在运送面52的下方把多个空气浮抬单元55具有规定间隔地配置成格子状，通过从该各空气浮抬单元55适当地喷出空气而把平面基板53从所述运送面52浮抬。把所述平面基板53的运送方向在图中以箭头F表示。

平面基板53例如俯视看是长方形，把该平面基板53按规定间隔顺次进行运送。平面基板53的运送方向前端部53a（下游侧端部）在空气浮抬单元55之间间隙的上方顺次通过。空气浮抬单元55沿运送方向被并列多列（图10是两列），平面基板53以跨越这些多列的状态而在运送面52上被浮抬运送。

图10表示了把空气浮抬单元55并列成两列的例，但也可以按照平面基板53的大小和重量等，进而按照运送线的规模等而把空气浮抬单元55配列成一列或并列三列以上，适当地变更其个数和配置。即通过适当地配列多个空气浮抬单元55来构成空气浮抬运送装置51，则能够按照平面基板53的大小和重量等容易且灵活地设定其规格，稳定地运送平面基板53。

合并参照图11，从所述运送面52俯视看，空气浮抬单元55是在运送方向上长的长方形，主要包括：形成其外观的大致水平的厚板状单元本体56、设置在与运送方向正交的单元宽度方向两侧的侧部喷出部57、设置在运送方向下游侧端的下游侧喷出部58。单元本体56的上面被配置在与所述运送面52同一面上。

侧部喷出部57向所述单元宽度方向的中央侧喷出空气，下游侧喷出部58向运送方向的上游侧喷出空气。各喷出部57、58的空气喷出方向在图中以箭头H表示，单元宽度方向的中心线以符号C表示。各喷出部57、58的空气喷出方向是朝向通过其上方的平面基板53的下面而指向斜上方（参照图12、13）。

在此，由于空气浮抬单元55被设置成在运送方向上长的长方形，所以侧部喷出部57在该运送方向上按每规定长度被分开设置多个（本实施例是三个）。

以下有时把空气浮抬单元55中位于运送方向最下游侧（位于运送方向下游侧端的附近）的侧部喷出部57以符号57′表示。

位于所述运送方向最下游侧的侧部喷出部57′在俯视看运送面52中向单元宽度方向的中央侧且是运送方向的下游侧倾斜地喷出空气。

合并参照图12、图13，在上述的空气浮抬运送装置51中，空气浮抬单元55从单元宽度方向的两侧向该单元宽度方向的中央侧喷出空气，使在单元宽度方向的中央侧产生相对外部大气压力高的空气积存，使运送面52上的平面基板53被从运送面52浮抬。

在空气浮抬单元55的运送方向下游侧端附近，进一步地从运送方向下游侧端向该运送方向的上游侧喷出空气，提高该部位产生的空气积存（图中以符号59表示）压力来增加平面基板53的浮抬量。

这时，各喷出部57、58朝向平面基板53的下面向斜上方喷出空气，该空气喷出压力的向上方的成分也使平面基板53被浮抬。

通过在空气浮抬单元55的运送方向下游侧端附近从单元宽度方向两侧向单元宽度方向中央侧且是运送方向下游侧倾斜地喷出空气，有效地提高该部位处的空气压力，增加平面基板53的浮抬量。

由此，在平面基板53的运送方向前端部53a通过空气浮抬单元55之间的间隙之上时，即使该运送方向前端部53a（参照图12）向下方下垂时，也能够防止它与其前面的空气浮抬单元55等产生干涉，能够防止平面基板53在浮抬运送中有破损和擦伤。

如图12、图13所示，空气浮抬单元55的单元本体56是中空的，其内部空间被设定为是从图外的空气供给装置供给压缩空气的空气通路56a。

单元本体56的单元宽度方向两侧部的上面侧被设置成越向单元宽度方向外侧越位于朝下方地倾斜，该部位构成所述侧部喷出部57的喷出基部61。另一方面，单元本体56的运送方向下游侧端部的上面侧被设置成越向运送方向下游侧越位于朝向下方地倾斜，该部位构成所述下游侧喷出部58的喷出基部66。把各喷出基部61、66的倾斜外面（上面）在图中以符号61a、66a表示。

合并参照图12、图13，侧部喷出部57具有：所述喷出基部61、与该喷出基部61重叠而安装的运送方向的第一板62、与该第一板62重叠而安装的运送方向的第二板63。另一方面，下游侧喷出部58具有：所述喷出基部66、与该喷出基部66重叠而安装的第一板67、与该第一板67重叠而安装的第二板68。

侧部喷出部57的喷出基部61设置有在运送方向上并列的多个空气喷出口64。另一方面，下游侧喷出部58的喷出基部66设置有在单元宽度方向上并列的多个空气喷出口69。

各空气喷出口64、69是从各喷出基部61、66的外面61a、66a到单元本体56内的空气通路56a的通孔，能够把向该空气通路56a内供给的压缩空气向外部喷出。

侧部喷出部57的运送方向的第一板62设置有缺口62a，该缺口62a从与喷出基部61的各空气喷出口64相对的位置朝向侧部喷出部57的空气喷出方向敞开。即所述位于运送方向最下游侧的侧部喷出部57′的运送方向的第一板62（图中合并记作符号62′）设置有缺口62a（图中合并记作符号62a′），该缺口62a从与各空气喷出口64相对的位置朝向单元宽度方向中央侧且是运送方向下游侧，在俯视看运送面52时是相对单元宽度方向和运送方向倾斜地敞开，除了该侧部喷出部57′之外的其他侧部喷出部57的运送方向的第一板62设置有缺口62a，该缺口62a从与各空气喷出口64相对的位置朝向单元宽度方向中央侧，在俯视看运送面52时是沿单元宽度方向敞开。

另一方面，下游侧喷出部58的第一板67设置有缺口67a，该缺口67a从与喷出基部66的各空气喷出口69相对的位置朝向下游侧喷出部58的空气喷出方向敞开。即下游侧喷出部58的第一板67设置有缺口67a，该缺口67a从与各空气喷出口69相对的位置朝向运送方向上游侧，在俯视看运送面52时是沿运送方向敞开。

各喷出部57、58的运送方向的第二板63和运送方向下游的68是没有缺口的平坦板状盖部件，在把该运送方向的第二板63和运送方向下游的68与对应的运送方向的第一板62和运送方向下游的67重叠且把各缺口62a、67a的外侧覆盖的状态下，通过把它们固定在对应的喷出基部61、66而使运送方向的第一板62和运送方向下游的67的各缺口62a、67a被喷出基部61、66、运送方向的第二板63、运送方向下游的68所夹住，构成各喷出部57、58的空气喷出路径。

这样，相对固定设置于单元本体56的喷出基部61、66而仅通过更换各板61、63、67、68（特别是运送方向的第一板62和运送方向下游的67）就能够容易且灵活地设定各喷出部57、58的空气喷出方向等。

这时，侧部喷出部57的喷出基部61的外面61a被设置成越向单元宽度方向外侧越位于朝下方地（即越向单元宽度方向中央侧越位于上方）倾斜，仅通过在该外面安装平坦的板状板62、67就能够形成越向单元宽度方向中央侧越位于上方地倾斜的空气喷出路径。同样地，下游侧喷出部58的喷出基部66的外面66a被设置成越向运送方向下游侧越位于朝下方地（即越向运送方向上游侧越位于上方）倾斜，仅通过在该外面安装平坦的板状板63、68就能够形成越向运送方向上游侧越位于上方地倾斜的空气喷出路径。

如以上说明的那样，上述第四实施例的空气浮抬运送装置51在把运送面52上的板状平面基板53利用空气一边从所述运送面52浮抬一边进行运送，配置在所述运送面52下的空气浮抬单元55，在与所述平面基板53运送方向正交的单元宽度方向两侧具备向该单元宽度方向的中央侧喷出空气的侧部喷出部57，而且在所述运送方向的下游侧端具备向该运送方向的上游侧喷出空气的下游侧喷出部58，位于所述运送方向下游侧端附近的所述侧部喷出部57向所述单元宽度方向中央侧且是所述运送方向下游侧倾斜地喷出空气。

上述第四实施例中，通过从空气浮抬单元55的单元宽度方向两侧向该单元宽度方向的中央侧喷出空气，使该两空气在单元宽度方向中央侧相互碰撞而在平面基板53与运送面52之间生成相对外部大气压力高的空气积存。该空气积存的压力由于作用在平面基板53比较大的面积上，所以与把空气向上方喷出而仅以其局部的压力使平面基板53被浮抬的情况相比，能够以少的空气喷出量（空气消耗量）使平面基板53有效地被浮抬。

在空气浮抬单元55运送方向的下游侧端附近，从单元宽度方向两侧向该单元宽度方向中央侧喷出空气，而且从运送方向下游侧端也向该运送方向上游侧喷出空气，由此能够有效地提高该部位产生的空气积存的压力，能够以少的空气消耗量来增加平面基板53的浮抬量。

特别是在空气浮抬单元55运送方向的下游侧端附近，从单元宽度方向两侧向单元宽度方向中央侧且是运送方向下游侧倾斜地喷出空气，由此使该两空气与从所述运送方向下游侧端喷出的空气碰撞而提高空气压力，而且还能够抑制该部位产生的空气积存中的空气向运送方向上游侧逃逸，能够有效地提高该部位的空气压力，能够以少的空气消耗量来增加平面基板53的浮抬量。

通过在空气浮抬单元55的运送方向下游侧端附近增加平面基板53的浮抬量，使平面基板53容易越过空气浮抬单元55之间的间隙部分，空气浮抬单元55之间的间隙设定宽度变宽，且空气浮抬单元55之间在高度方向上的位置偏差容许范围也变宽，能够提高空气浮抬运送装置51的设计自由度。

上述第四实施例中，侧部喷出部57和下游侧喷出部58通过朝向平面基板53的下面向斜上方喷出空气，能够使该喷出空气的向上方的压力成分直接作用在平面基板53的浮抬上。

上述第四实施例中，侧部喷出部57和下游侧喷出部58在喷出基部61、66安装板62、63、67、68，设置于62、67的缺口62a、67a通过被喷出基部61、66和板63、68夹住而形成侧部喷出部57和下游侧喷出部58的空气喷出路径，仅通过更换运送方向的第一板62和运送方向下游的第一板67而变更其缺口62a、67a，就能够容易且灵活地设定具有希望空气喷出方向的侧部喷出部57和下游侧喷出部58。

上述第四实施例中，侧部喷出部57和下游侧喷出部58把其喷出基部61、66与单元本体56设置成一体，且在单元本体56内设置空气通路56a，把从喷出基部61、66的外面61a、66a到空气通路56a的通孔设定成是喷出基部61、66的空气喷出口64、69，能够把侧部喷出部57和下游侧喷出部58的结构以至空气浮抬单元55的结构简单化。

上述第四实施例中，喷出基部61、66的开有空气喷出口64、69的外面61a、66a被设置成相对所述运送面52倾斜，仅通过在该外面61a、66a安装平坦的第一和第二板62、63、67、68就能够朝向平面基板53的下面向斜上方喷出空气。

[第五实施例]

下面参照图16说明本发明的第五实施例。

该第五实施例的空气浮抬运送装置71相对上述第四实施例来说主要不同之处在于：位于空气浮抬单元75运送方向下游侧端附近的侧部喷出部77相对其他的侧部喷出部57增加了空气喷出量，因此，对与上述第四实施例相同的部分则付与相同的符号而省略说明。

侧部喷出部77的向单元宽度方向中央侧且向斜上方喷出空气的点与其他侧部喷出部57相同，但其具有第一板82，该第一板82相对所述第一板62具有宽度扩宽了的缺口82a，由此而相对其他侧部喷出部57增加了空气喷出量。

图16的侧部喷出部77是沿单元宽度方向而向单元宽度方向的中央侧喷出空气，但也可以如上述第四实施例那样向单元宽度方向的中央侧且是运送方向的下游侧倾斜地喷出空气。侧部喷出部77的空气喷出方向与上述第四实施例相同，是朝向平面基板53的下面地指向斜上方。

该第五实施例也与上述第四实施例相同，能够以少的空气喷出量（空气消耗量）使平面基板53有效地被浮抬，能够有效地增加空气浮抬单元55运送方向下游侧端附近的平面基板53的浮抬量，能够提高空气浮抬运送装置51的设计自由度。

本发明并不限定于上述各实施例，例如也可以如图17所示那样在空气浮抬单元95上面侧的单元宽度方向中央侧设置凹部95a，以容易确保平面基板53下的空气积存。也可以如图18所示那样在所述凹部95a内设置台形的凸部95b，以把来自侧部喷出部97的空气向斜上方引导。在此，图17、图18所示的侧部喷出部97被与单元本体96（固定地）设置成一体，但也可以如上述各实施例那样把它由固定在单元本体96的喷出基部和安装在该喷出基部的另外体即板部件所构成。另外，上述各实施例的侧部和下游侧喷出部57、58的至少一个也可以与单元本体56另外设置。

上述实施例的结构是本发明的一例，当然把空气浮抬运送装置由在运送方向上长的单一空气浮抬单元构成等在不脱离本发明要旨的范围能够有各种变更。

Claims (7)

1.一种空气浮抬运送装置，利用空气一边把运送面上的板状被运送物从所述运送面浮抬一边进行运送，其特征在于，

配置在所述运送面下的空气浮抬单元在与所述被运送物运送方向正交的单元宽度方向两侧具备向该单元宽度方向的中央侧喷出空气的侧部喷出部，而且在所述运送方向的下游侧端具备向该运送方向的上游侧喷出空气的下游侧喷出部，

位于所述运送方向下游侧端附近的所述侧部喷出部向所述单元宽度方向中央侧且向所述运送方向下游侧倾斜地喷出空气；

所述侧部喷出部和下游侧喷出部的至少一个具有：设置在所述单元宽度方向两侧或运送方向下游侧端的喷出基部、与该喷出基部重叠而安装的第一板、与该第一板重叠而安装的第二板，

在所述第一板设置有缺口，该缺口从与设置于所述喷出基部的空气喷出口对应的位置向所述侧部喷出部或下游侧喷出部的空气喷出方向敞开，通过由所述喷出基部和第二板夹住该缺口而形成所述侧部喷出部或下游侧喷出部的空气喷出路径。

2.一种空气浮抬运送装置，利用空气一边把运送面上的板状被运送物从所述运送面浮抬一边进行运送，其特征在于，

配置在所述运送面下的单一空气浮抬单元在与所述被运送物运送方向正交的单元宽度方向两侧具备向该单元宽度方向的中央侧喷出空气的侧部喷出部，而且在所述运送方向的下游侧端具备向该运送方向的上游侧喷出空气的下游侧喷出部；

所述侧部喷出部和下游侧喷出部的至少一个具有：设置在所述单元宽度方向两侧或运送方向下游侧端的喷出基部、与该喷出基部重叠而安装的第一板、与该第一板重叠而安装的第二板，

在所述第一板设置有缺口，该缺口从与设置于所述喷出基部的空气喷出口对应的位置向所述侧部喷出部或下游侧喷出部的空气喷出方向敞开，通过由所述喷出基部和第二板夹住该缺口而形成所述侧部喷出部或下游侧喷出部的空气喷出路径。

3.如权利要求1或2所述的空气浮抬运送装置，其特征在于，所述侧部喷出部和下游侧喷出部的至少一个朝向所述被运送物的下面向斜上方喷出空气。

4.如权利要求1或2所述的空气浮抬运送装置，其特征在于，所述喷出基部被与所述空气浮抬单元的单元本体设置成一体，在所述单元本体内设置空气通路，把从所述喷出基部的外面到所述空气通路的通孔设定为是所述喷出基部的空气喷出口。

5.如权利要求4所述的空气浮抬运送装置，其特征在于，所述喷出基部的所述空气喷出口开口的外面被设置成相对所述运送面倾斜。

6.一种空气浮抬单元，其在利用空气一边把运送面上的板状被运送物从所述运送面浮抬一边进行运送的空气浮抬运送装置中使用，其特征在于，

在与所述被运送物运送方向正交的单元宽度方向两侧具备向该单元宽度方向的中央侧喷出空气的侧部喷出部，而且在所述运送方向的下游侧端具备向该运送方向的上游侧喷出空气的下游侧喷出部，

所述侧部喷出部和下游侧喷出部的至少一个具有：设置在所述单元宽度方向两侧或运送方向下游侧端的喷出基部、与该喷出基部重叠而安装的第一板、与该第一板重叠而安装的第二板，

在所述第一板设置有缺口，该缺口从与设置于所述喷出基部的空气喷出口对应的位置向所述侧部喷出部或下游侧喷出部的空气喷出方向敞开，通过由所述喷出基部和第二板夹住该缺口而形成所述侧部喷出部或下游侧喷出部的空气喷出路径。

7.一种空气浮抬运送方法，利用空气一边把运送面上的板状被运送物从所述运送面浮抬一边进行运送，其特征在于，

使用如权利要求6所述的空气浮抬单元，

从与所述被运送物运送方向正交的单元宽度方向两侧向该单元宽度方向的中央侧喷出空气，而且从所述运送方向的下游侧端向该运送方向的上游侧喷出空气，

从所述运送方向下游侧端附近的所述单元宽度方向两侧向所述单元宽度方向的中央侧且是所述运送方向下游侧倾斜地喷出空气。

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