KR20090094083A - 에어 부상 반송장치 및 에어 반송방법 - Google Patents

에어 부상 반송장치 및 에어 반송방법

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KR20090094083A
KR20090094083A KR1020097011003A KR20097011003A KR20090094083A KR 20090094083 A KR20090094083 A KR 20090094083A KR 1020097011003 A KR1020097011003 A KR 1020097011003A KR 20097011003 A KR20097011003 A KR 20097011003A KR 20090094083 A KR20090094083 A KR 20090094083A
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야스요시 키타자와
요시마사 수다
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신포니아 테크놀로지 가부시키가이샤
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Abstract

평면 기판(10)의 반송로를 형성하는 에어 부상 유닛(1)을 평면 기판의 반송 방향으로 향하여 라인 형태로 배열한 에어 부상 유닛(1)의 열(列)을 복수 병렬로 배열한다. 그리고, 에어 부상 유닛(1)을 평면 기판(10)의 반송로를 형성하는 배면판(背面板)(13)과 배면판(13)의 반송로 방향과 평행한 양측면의 옆면에 위치하고, 배면판(13)의 중앙부 윗방향으로 향하여 에어를 분출하는 경사 노즐(21)을 가지는 한쌍의 에어 공급관(11, 12)으로 구성한다. 이것에 의해, 액정 기판 등의 평면 기판의 크키, 중량에 따라 유연하게 구성할 수 있음과 동시에 평면 기판을 안정한 상태로 반송 가능하다.

Description

에어 부상 반송장치 및 에어 반송방법{AIR FLOATATION CONVEYANCE DEVICE AND METHOD OF CONVEYANCE USING AIR}
본 발명은 반도체 기판, 액정 기판 등의 평면 기판의 반송장치에 관한 것이고, 특히 에어에 의해 부상시킴으로써 파손이나 상처를 주지 않고 안정하게 반송할 수 있는 에어 부상 반송장치 및 에어 반송방법에 관한 것이다.
본 발명은 2006년 11월 22일에 일본 특허청에 출원된 특원2006-315498호와 2007년 8월 10일에 일본 특허청에 출원된 특원2007-210201호에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.
일반적으로, 평면판을 에어 부상시키면서 반송하는 장치는 여러가지가 제안되고 있다. 예를 들면, 도 6A 및 6B에 나타낸 플로터(Floater)가 있다(비특허문헌 1을 참조). 도 8A는 플로터의 개관도를 나타내고, 도 8B는 플로터의 단면도(띠강판재(帶鋼材) 진행 방향의 단면도)를 나타내고 있다.
도 8A 및 8B에 나타낸 플로터(Floater)(101)는 안쪽으로 향한 한쌍의 슬릿 노즐(102)을 단부에 설치하여 띠강판(帶鋼)(103)의 이동방향과 평행한 방향으로 유체를 분출하여 띠강판(103)을 부상시킨다. 슬릿 노즐(102)로부터 분출된 유체는 띠강판(103)의 아랫면에서 방향을 바꾸어 유출할 때의 운동량 변화에 의해 정압(靜壓)을 발생시켜 띠강판(103)을 부상시킨다.
그러나, 상기 플로터(Floater)(101)는 띠강판(帶鋼)(103) 등의 연속된 형상의 반송물을 부상시키기 위한 것이고, 반도체 기판, 액정 기판 등의 개별 형상의 평면 기판을 반송하려는 경우에는 상기 플로터(101)를 반송 방향으로 향하여 다수를 전면에 깔아서 배치하지 않으면 안되고, 플로터(101)의 개수가 많아진다는 문제가 있다.
또한, 연속된 형상의 반송물의 반송 방향의 상류측 및 하류측은 항상 지지받고 있으며, 반송물의 단부가 플로터(Floater)(101)를 횡단(넘어감)하는 일은 없으나, 개별 형상의 평면 기판에서는 기판 단부가 플로터(101)를 순차적으로 넘을 필요가 있고, 플로터(101) 사이에서 기판이 상하로 구불거리거나, 진동한다거나, 기판 단부가 플로터와 충돌한다고 하는 문제가 있다.
또한, 종래 기술의 기판 반송장치가 있다(특허문헌 1을 참조). 이 기판 반송장치는 고밀도로 다단 수납된 유리 기판을 임의로, 그리고 최소한의 오염으로 반입출 하는 것을 목적으로 하고 있다. 도 7은 다단 수납된 유리 기판 내의 한장의 유리 기판(110)의 수납 상태를 나타내고 있고, 유리 기판(110)의 양측 가장자리 내의 한쪽 가장자리를 나타낸 것이다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 반송 롤러(113)는 유리 기판(110)을 그 양측 가장자리(110a)에서 지지하면서 반송한다(지면에 수직 방향으로 반송). 또한, 유리 기판(110)을 반송할 때, 에어 분출관(112)에 의해 반송 롤러(113)로 지지를 받은 유리 기판(110)과 배면판(背面板)(111) 사이에 압착공기를 분사한다.
그러나, 상기 종래 기술의 기판 반송장치는 반송 롤러(113)에 의해 유리 기판(110)을 그 양측 가장자리(110a)에서 지지하면서 반송할 때, 배면판(背面板)(111)과 유리 기판(110) 사이에 에어를 불어넣어 배면판(111)과 유리 기판(110)이 접촉하지 않는 것을 목적으로 한 것이고, 양 단부가 지지되어 있고 기판의 하중(荷重)의 대부분을 양 단부의 롤러로 받고 있어 기판을 완전하게 비접촉으로 반송하기에는 적합하지 않다.
특허문헌 1 : 특개2005-159141호 공보
비특허문헌 1 : 타카하라(高原), 히라이(平井), 타니자키(谷崎), 타치하라(立原), 「제철 프로세스 라인용 띠강판(帶鋼) 부상 반송장치의 실용화」, 미쓰비시중공기보(三菱重工技報), Vol.29, No.1(1992-1), p36-41
상술한 바와 같이, 에어에 의해 부상시킴으로써 파손이나 상처를 주지 않고 반송할 수 있는 반송장치가 여러가지 제안되고 있다. 그러나, 최근 액정 기판 등이 대형화되고 있어, 이것을 안정하게 반송할 수 있는 에어 부상 반송장치로서는 충분하다고 말하기 어려운 면이 있었다.
반송면 상의 시트 모양 피반송물을 상기 반송면으로부터 에어에 의해 부상시키면서 반송하는 종래의 에어 부상 반송장치에서, 상기 반송면 아래에 배치되는 복수의 에어 부상 유닛이 상기 반송 방향의 하류측단으로부터 상기 반송 방향의 상류측으로 에어를 분출함으로써, 상기 반송 방향 하류측단의 근방에서의 피반송물의 부상량(浮上量)을 증가시킨 것이 있다(예를 들면, 특허문헌 2 참조).
특허문헌 2 : 특개2006-222209호 공보
상기 종래 기술은 피반송물의 반송 방향 선단부(하류측 단부)가 에어 부상 유닛의 반송 방향 하류측단을 지난 후에 아래쪽으로 휘어 그 앞의 에어 부상 유닛 등에 간섭(干涉)하는 것을 방지한 것이다.
그런데, 상기 에어 부상 반송장치는 반송면 아래에 복수의 에어 부상 유닛을 배열하여 이루어진 것이고, 피반송물의 크기나 중량 등에 따라 그 사양(仕樣)을 용이하고 유연하게 설정가능하게 하고 있으나, 또한 반송 라인의 규모 등에도 대응하려고 하면 에어 부상 유닛 간의 간격이 넓어질 수 있으므로, 에어 부상 유닛의 반송 방향 하류측단의 근방에서의 피반송물의 부상량(浮上量)을 보다 증가시킬 수 있는 구성이 요망되고 있다. 한편으로, 에어 부상 반송장치의 운전 부하(負荷)를 억제하기 위하여, 장치 전체의 에어 분출량(에어 소비량)을 저감할 수 있는 구성인 것이 바람직하다.
도 1A는 에어 부상 반송장치의 제1 실시 형태의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 1B는 에어 부상 반송장치의 제1 실시 형태의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 1C는 에어 부상 반송장치의 제1 실시 형태의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 2A는 에어 부상 반송장치의 제2 실시 형태에 있어서의 에어 부상 유닛의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 2B는 에어 부상 반송장치의 제2 실시 형태에 있어서의 에어 부상 유닛의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 2C는 에어 부상 반송장치의 제2 실시 형태에 있어서의 에어 부상 유닛의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 3은 에어 부상 반송장치의 제2 실시 형태의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 4A는 에어 부상 반송장치의 제3 실시 형태에 있어서의 에어 부상 유닛의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 4B는 에어 부상 반송장치의 제3 실시 형태에 있어서의 에어 부상 유닛의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 4C는 에어 부상 반송장치의 제3 실시 형태에 있어서의 에어 부상 유닛의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 5는 에어 부상 반송장치의 제3 실시 형태의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 6A는 에어 부상 유닛의 다른 구성예를 나타내는 도면이다.
도 6B는 에어 부상 유닛의 다른 구성예를 나타내는 도면이다.
도 7은 에어 부상 유닛의 다른 구성예를 나타내는 도면이다.
도 8A는 종래 기술의 플로터(floater)의 구성을 나타내는 도면이다.
도 8B는 종래 기술의 플로터의 구성을 나타내는 도면이다.
도 9는 종래 기술의 기판 반송장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 10은 이 발명의 제4 실시 형태에 있어서의 에어 부상 반송장치의 사시도이다.
도 11은 상기 에어 부상 반송장치를 구성하는 에어 부상 유닛의 평면도이다.
도 12는 도 11의 A-A 단면도이다.
도 13은 도 11의 B-B 단면도이다.
도 14는 상기 에어 부상 유닛의 측부(側部) 및 하류측 분출부의 분해 사시도이다.
도 15는 상기 에어 부상 유닛의 일부를 분해한 도 11에 상당하는 평면도이다.
도 16은 이 발명의 제5 실시 형태에 있어서 도 15에 상당하는 평면도이다.
도 17은 상기 각 실시 형태의 변형예를 나타내는 도 13에 상당하는 단면도이다.
도 18은 상기 각 실시 형태의 변형예를 나타내는 도 13에 상당하는 단면도이다..
부호의 설명
1 : 에어 부상 유닛
2 : 에어 부상 유닛
3 : 에어 부상 유닛
4 : 에어 부상 유닛
10 : 평면 기판
10a : 늘어진 부분
11 : 에어 공급관
13 : 배면판(背面板)
21 : 경사 노즐
31 : 에어 공급관
32 : 경사 노즐
41 : 에어 공급로
42 : 경사 노즐
43 : 경사 노즐
51 : 에어 부상 반송장치
52 : 반송면
53 : 평면 기판
53a : 반송 방향 선단부
55 : 에어 부상 유닛
56 : 유닛 통로
57 : 측부(側部) 분출부
58 : 하류측 분출부
61 : 분출 기부(基部)
61a : 바깥면
62 : 반송 방향의 제1 플레이트
63 : 반송 방향의 제2 플레이트
64 : 에어 분출구
66 : 분출 기부(基部)
66a : 바깥면
67 : 반송 방향 하류의 제1 플레이트
68 : 반송 방향 하류의 제2 플레이트
69 : 에어 분출구
71 : 에어 부상 반송장치
75 : 에어 부상 유닛
77 : 측부 분출부
82 : 제1 플레이트
95 : 에어 부상 유닛
95a : 요부(凹部)
95b : 철부(凸部)
96 : 유닛 본체
97 : 측부 분출부
A : 반송 방향
본 발명은 이러한 문제들을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 그 목적은 액정 기판 등의 평면 기판의 크기나 중량에 따라 에어 부상 유닛의 개수 및 배치를 선택함으로써, 에어 부상 반송장치를 유연하게 구성하여 평면 기판을 안정한 상태로 반송할 수 있고, 또한 간략한 구성의 에어 부상 유닛을 사용함으로써 에어 부상 반송장치의 제조 비용을 저감할 수 있는 에어 부상 반송장치 및 에어 반송방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 본 발명의 에어 부상 반송장치는 평면 기판의 반송로를 형성하는 복수의 에어 부상 유닛으로 구성되어, 상기 에어 부상 유닛으로부터 에어를 분출하여 상기 평면 기판을 부상시켜 반송하는 에어 부상 반송장치이고, 상기 에어 부상 유닛을 상기 평면 기판의 반송 방향으로 향하여 라인 형태로 배열한 에어 부상 유닛의 열(列)을 복수 병렬로 배치함과 동시에, 상기 에어 부상 유닛은 평면 기판의 반송 방향과 직교하는 양측 방향에서 상기 평면 기판의 아랫면으로 향하여 에어를 분출시키는 기구를 갖추는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의해 에어 부상 유닛의 열(列)을 복수 병렬로 배열하고, 각각의 에어 부상 유닛에서는 평면 기판의 반송 방향과 직교하는 양측 방향에서 평면 기판의 아랫면으로 향하여 에어를 분출한다.
이것에 의해, 액정 기판 등의 평면 기판의 크기나 중량에 따라 에어 부상 유닛의 개수 및 배치를 선택함으로써 평면 기판을 안정한 상태로 반송할 수 있다. 또한, 간략한 구성의 에어 부상 유닛을 사용할 수 있으므로, 에어 부상 반송장치의 제조 비용을 저감할 수 있다. 게다가, 에어 부상 유닛의 개수 및 배치를 선택함으로써 에어 부상 반송장치를 유연하게 구성할 수 있다.
또한, 본 발명의 에어 부상 반송장치는 상기 에어 부상 유닛을 2개의 레일 상에 배열하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의해, 에어 부상 유닛을 2개의 레일 상에 배열하도록 하였으므로, 이것에 의해 평면 기판을 안정하게 부상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 에어 부상 반송장치에서, 상기 에어 부상 유닛은 상기 평면 기판의 반송방향의 하류측에서 상기 평면 기판의 아랫면으로 향하여 에어를 분출시키는 기구를 갖추는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의해, 평면 기판의 반송 방향의 하류측에서 평면 기판의 아랫면으로 향하여 에어를 분출시켜 평면 기판의 선단부를 들어올리도록 한다.
이것에 의해, 평면 기판에 강성(剛性)이 적고 선단부에 늘어진 부분이 생기는 경우에도 이 늘어진 부분을 들어올릴 수 있으므로, 평면 기판이 에어 부상 유닛을 옮겨갈 때 선단부가 에어 부상 유닛과 간섭하는 것을 억제할 수 있다.
또한, 본 발명의 에어 부상 반송장치에서, 상기 에어 부상 유닛은 상기 평면 기판의 반송 방향의 하류측 및 상류측에서 아랫면으로 향하여 에어를 분출시키는 기구를 갖추는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의해, 평면 기판의 반송 방향의 하류측 및 상류측에서 평면 기판의 아랫면으로 향하여 에어를 분출시켜 평면기판의 선단부(先端部)를 들어올리도록 한다.
이것에 의해, 평면 기판에 강성(剛性)이 적은 경우나 에어 부상 유닛 사이의 거리가 긴 경우라도, 평면 기판의 반송 방향의 하류측 뿐만 아니라 상류측에서도 기원(祈願)과 에어 부상 유닛 사이에 평면 기판으로 에어를 분출시켜 평면 기판을 윗방향으로 들어올림으로써, 반송 중에 평면 기판의 선단부에 늘어짐이 발생한 경우 결과적으로 평면 기판의 선단의 늘어진 부분을 윗방향으로 들어올려 평면 기판의 선단부가 에어 부상 유닛과 충돌하는 것을 회피할 수 있다.
또한, 본 발명의 에어 부상 반송장치에서, 상기 에어 부상 유닛은 상기 평면 기판의 아랫면과 마주보고 상기 평면 기판의 반송로를 형성하는 배면판(背面板)과 상기 배면판의 반송로 방향과 평행한 양측면의 옆에 위치하고, 상기 배면판의 중앙부 윗방향으로 향하여 에어를 분출하는 경사 노즐을 가지는 한쌍의 에어 공급관을 갖추는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 구성에 의해, 평면 기판의 반송로를 형성하는 배면판(背面板)의 양측에 에어 공급관을 배치하고, 이 에어 공급관에 설치된 경사 노즐로부터 배면판 의 중앙부 윗방향으로 향하여 에어를 분출한다.
이것에 의하여 에어 부상 유닛의 구성을 간략화할 수 있다.
또한, 본 발명의 에어 부상 반송장치에서, 상기 에어 부상 유닛은 상기 배면판(背面板)의 반송로 방향과 직교하는 하류측 측면의 옆에 위치하고, 상기 배면판의 윗방향 또는 중앙부 윗방향으로 향하여 에어를 분출하는 노즐을 가지는 에어 공급관을 더 갖추는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 구성에 의해, 배면판(背面板)의 하류측에 에어 공급관을 배치하고, 이 에어 공급관에 설치된 경사 노즐로부터 배면판의 윗방향 또는 중앙부 윗방향으로 향하여 에어를 분출한다.
이 때문에, 에어 공급관을 이용한 간략한 구성에 의해 평면 기판이 에어 부상 유닛을 옮겨갈 때, 선단부가 에어 부상 유닛과 간섭하는 것을 억제할 수 있다.
또한, 본 발명의 에어 반송장치는 평면 기판의 반송로를 형성하는 복수의 에어 부상 유닛으로 구성되고, 상기 에어 부상 유닛에서 에어를 분출하여 상기 평면 기판을 부상시켜서 반송하는 에어 부상 반송장치에 따른 에어 반송방법에서, 상기 에어 부상 유닛을 상기 평면 기판의 반송 방향으로 향하여 라인 형태로 배열한 에어 부상 유닛의 열(列)을 복수 병렬로 배치하는 순서와, 상기 에어 부상 유닛에 의해 평면 기판의 반송 방향과 직교하는 양측 방향에서 상기 평면 기판의 아랫면으로 향하여 에어를 분출시키는 순서를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 순서에 의해, 에어 부상 유닛의 열(列)을 복수 병렬로 배열하고, 각각의 에어 부상 유닛에서는 평면 기판의 반송 방향과 직교하는 양측 방향에서 평면 기판의 아랫면으로 향하여 에어를 분출한다.
이것에 의해, 액정 기판 등의 평면 기판의 크기나 중량에 따라 에어 부상 유닛의 개수 및 배치를 선택함으로써, 평면 기판을 안정한 상태로 반송할 수 있다. 또한, 간략한 구성의 에어 부상 유닛을 사용할 수 있으므로, 에어 부상 반송장치의 제조 비용을 저감할 수 있다. 게다가, 에어 부상 유닛의 개수 및 배치를 선택함으로써 에어 부상 반송장치를 유연하게 구성할 수 있다.
상기 과제의 해결 수단으로서, 본 발명은 반송면 상의 시트 모양 피반송물을 상기 반송면으로부터 에어에 의해 부상시키면서 반송하는 에어 부상 반송장치에서, 상기 반송면 아래에 배치되는 에어 부상 유닛이 상기 피반송물의 반송 방향과 직교하는 유닛 가로방향의 양측에 상기 유닛 가로방향의 중앙측으로 에어를 분출하는 측부(側部) 분출부를 갖춤과 동시에, 상기 반송 방향의 하류측단에 상기 반송 방향의 상류측으로 에어를 분출하는 하류측 분출부를 갖추고, 상기 반송 방향 하류측단 근방에서의 상기 측부 분출부가 상기 유닛 가로방향 중앙측과 상기 반송 방향 하류측으로 비스듬하게 에어를 분출하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 반송면 상의 시트 모양 피반송물을 상기 반송면으로부터 에어에 의해 부상시키면서 반송하는 에어 부상 반송장치에서, 상기 반송면 아래에 배치되는 단일 에어 부상 유닛이 상기 피반송물의 반송 방향과 직교하는 유닛 가로방향의 양측에 상기 유닛 가로방향의 중앙측으로 에어를 분출하는 측부(側部) 분출부를 갖춤과 동시에, 상기 반송 방향의 하류측단에 상기 반송 방향의 상류측으로 에어를 분출하는 하류측 분출부를 갖추는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 청구항 1 또는 2에 기재된 에어 부상 반송장치에서, 상기 측부(側部) 분출부 및 하류측 분출부의 적어도 한쪽이 상기 피반송물의 아랫면으로 향하여 비스듬히 윗방향으로 에어를 분출하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항의 에어 부상 반송장치에서, 상기 측부(側部) 분출부 및 하류측 분출부의 적어도 한쪽이 상기 유닛 가로방향 양측 또는 반송 방향 하류측단에 설치된 분출 기부(基部), 상기 분출 기부에 겹쳐지도록 설치되는 제1 플레이트 및 상기 제1 플레이트에 겹쳐지도록 설치되는 제2 플레이트로 이루어지고, 상기 제1 플레이트는 상기 분출 기부에 설치된 에어 분출구에 대응하는 위치로부터 상기 측부 분출부 또는 하류측 분출부에서의 에어 분출 방향으로 향하여 개방하는 노치(notch)가 설치되어, 상기 노치를 상기 분출 기부 및 제2 플레이트에 끼워넣음으로써 상기 측부 분출부 또는 하류측 분출부에 에어 분출 경로가 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 청구항 4에 기재된 에어 부상 반송장치에서, 상기 분출 기부(基部)가 상기 에어 부상 유닛의 유닛 본체에 일체(一體)로 설치되어 상기 유닛 본체 내에는 에어 통로가 설치되고, 상기 분출 기부의 바깥면으로부터 상기 에어 통로에 이르는 관통공(貫通孔)이 상기 분출 기부의 에어 분출구가 되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 청구항 5에 기재된 에어 부상 반송장치에서, 상기 분출 기부(基部)에서의 상기 에어 분출구를 여는 바깥면이 상기 반송면에 대하여 경사지게 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 반송면 상의 시트 모양 피반송물을 상기 반송면으로부터 에어에 의해 부상시키면서 반송하는 에어 반송장치에 사용되는 에어 부상 유닛에서, 상기 피반송물의 반송 방향과 직교하는 유닛 가로방향의 양측에 상기 유닛 가로방향의 중앙측으로 에어를 분출하는 측부(側部) 분출부를 갖춤과 동시에, 상기 반송 방향의 하류측단에 상기 반송 방향의 상류측으로 에어를 분출하는 하류측 분출부를 갖추고, 상기 측부 분출부 및 하류측 분출부의 적어도 한쪽이 상기 유닛 가로 방향의 양측 또는 반송 방향 하류측단에 설치된 분출 기부(基部)와 상기 분출 기부에 겹쳐지도록 설치되는 제1 플레이트와 상기 제1 플레이트에 겹쳐지도록 설치되는 제2 플레이트로 이루어지며, 상기 제1 플레이트에는 상기 분출 기부에 설치된 에어 분출구에 대응하는 위치로부터 상기 측부 분출부 또는 하류측 분출부에서의 에어 분출 방향으로 향하여 개방하는 노치(notch)가 설치되어, 상기 노치를 상기 분출 기부 및 제2 플레이트에 끼워넣음으로써 상기 측부 분출부 또는 하류측 분출부에 에어 분출 경로가 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 반송면 상의 시트 모양 피반송물을 상기 반송면으로부터 에어에 의해 부상시키면서 반송하는 에어 부상 반송방법에서, 상기 피반송물의 반송 방향과 직교하는 유닛 가로방향의 양측에서 상기 유닛 가로방향의 중앙측으로 에어를 분출함과 동시에, 상기 반송 방향의 하류측단에서 상기 반송 방향의 상류측으로 에어를 분출하고, 상기 반송방향 하류측단 근방에서의 상기 유닛 가로방향 양측에서는 상기 유닛 가로방향 중앙측과 상기 반송 방향 하류측으로 비스듬하게 에어를 분출하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 에어 부상 반송장치에서는 액정 기판 등의 평면 기판의 크기나 중량에 따라 에어 부상 유닛의 개수 및 배치를 선택함으로써, 에어 부상 반송장치를 유연하게 구성하여 평면 기판을 안정한 상태로 반송할 수 있다. 또한, 간략한 구성의 에어 부상 유닛을 사용할 수 있으므로, 에어 부상 반송장치의 제조 비용을 저감할 수 있다.
본 발명에 의하면, 에어 부상 유닛의 유닛 가로방향 양측에서 상기 유닛 가로방향의 중앙측으로 에어를 분출함으로써, 상기 양 에어를 유닛 가로방향 중앙측에서 서로 충돌시켜 피반송물과 반송면 사이에 바깥공기에 대해서 압력을 높인 에어류를 일으키게 한다. 이 에어류의 압력은 피반송물에 있어서의 비교적 넓은 면적에 작용하므로, 에어를 윗방향으로 분출하여 그 국소적인 압력만으로 피반송물을 부상시키는 경우와 비교하여, 적은 에어 분출량(에어 소비량)으로 피반송물을 효율 좋게 부상시킬 수 있다.
또한, 에어 부상 유닛의 반송 방향 하류측단의 근방에서는, 유닛 가로 방향 양측에서 상기 유닛 가로 방향 중앙측으로 에어를 분출함과 동시에 반송 방향 하류측단에서도 상기 반송 방향 상류측으로 에어를 분출함으로써, 해당 부위에 생기는 에어류의 압력을 효율 좋게 높여 적은 에어 소비량으로 피반송물의 부상량(浮上量)을 증가시킬 수 있다. 이 때문에, 예를 들면 반송 방향으로 긴 단일 에어 부상 유닛으로 에어 부상 반송장치를 구성하는 경우에도 매우 적합하다.
특히, 에어 부상 유닛의 반송 방향 하류측단의 근방에서는, 유닛 가로방향 양측에서 유닛 가로방향 중앙측과 반송 방향 하류측으로 비스듬하게 에어를 분출함으로써 상기 양 에어와 상기 반송 방향 하류측단에서 분출하는 에어를 충돌시켜 에어 압력을 높임과 동시에, 해당 부위에 생기는 에어류 안의 에어의 반송 방향 상류측으로의 빠져나감도 억제하고, 해당 부위에서의 에어 압력을 효율 좋게 높여 적은 에어 소비량으로 피반송물의 부상량(浮上量)을 증가시킬 수 있다.
그리고, 에어 부상 유닛의 반송 방향 하류측단의 근방에서의 피반송물의 부상량(浮上量)을 증가시킴으로써, 상기 반송물이 에어 부상 유닛 사이의 간극(間隙) 부분을 옮겨가기 쉬워지고 에어 부상 유닛 사이의 간극의 설정폭이 넓어짐과 동시에, 에어 부상 유닛 사이의 높이 방향의 위치 어긋남의 허용 범위도 넓어져 에어 부상 반송장치의 설계 자유도를 높일 수 있다.
또한, 측부(側部) 분출부 및 하류측 분출부가 피반송물의 아랫면으로 향하여 비스듬히 윗방향으로 에어를 분출하는 것이라면, 상기 에어 분출 압력의 윗방향으로의 성분을 피반송물의 부상에 직접적으로 작용시킬 수 있다.
또한, 측부(側部) 분출부 및 하류측 분출부가 분출 기부(基部)에 제1 및 제2 플레이트를 설치하여 이루어지고, 제1 플레이트에 설치된 노치(notch)가 분출 기부 및 제2 플레이트에 끼워넣어짐으로써 측부 분출부 및 하류측 분출부에 에어 분출 경로를 형성하는 것이라면, 제1 플레이트를 교환하여 그 노치를 변경하는 것만으로 원하는 에어 분출 방향을 가지는 측부 분출부 및 하류측 분출부를 용이하고 유연하게 설정할 수 있다.
또한, 측부 분출부 및 하류측 분출부가 그 분출 기부(基部)를 유닛 본체에 일체(一體)로 설치함과 동시에, 유닛 본체 내에는 에어 통로를 설치하고, 분출 기부의 바깥면으로부터 에어 통로에 이르는 관통공(貫通孔)을 분출 기부의 에어 분출구로 하는 것이라면, 측부(側部) 분출부 및 하류측 분출부의 구성 나아가서는 에어 부상 유닛의 구성을 간소화할 수 있다.
또한, 분출 기부(基部)에서의 에어 분출구를 여는 바깥면이 상기 반송면에 대하여 경사지게 설치되는 것이라면, 상기 바깥면에 평탄한 제1 및 제2 플레이트를 설치하는 것만으로 피반송물의 아랫면으로 향하여 비스듬히 윗방향으로 에어를 분출할 수 있다.
다음으로 본 발명을 실시하기 위한 최적의 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
[제1 실시 형태]
도 1은 본 발명에 따른 에어 부상 반송장치의 제1 실시 형태의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 1A는 본 발명의 에어 부상 반송장치의 구성 단위가 되는 에어 부상 유닛(1)의 예를 나타내는 도면이다.
도 1A에 나타낸 바와 같이, 에어 부상 유닛(1)은 배면판(背面板)(13)의 양측에 한쌍의 에어 공급관(11, 12)을 배치하여 구성된다. 에어 공급관(11, 12)에는 압착공기가 공급된다. 에어 공급관(11, 12)에는 경사 노즐(21)이 설치되어 있고, 화살표로 표시한 것과 같이 배면판(13)의 비스듬히 윗방향으로 향하여 에어를 분출하도록 구성되어 있다.
그리고, 도 1B에 나타낸 바와 같이, 경사 노즐(21)에서 배면판(背面板)(13)의 비스듬히 윗방향으로 향하여 에어를 분출함으로써, 반송 대상이 되는 평면 기판(10)과 배면판(13)과의 사이에 에어류가 형성되어 평면 기판(10)이 배면판(13)으로부터 부상한다.
도 1C는 본 발명의 에어 부상 반송장치의 구성예를 나타내는 도면이고, 에어 부상 유닛(1)을 평면 기판(10)의 반송 방향 A로 향하여 2개의 레일 상에 배열하여 구성한다. 또한, 도면에 나타내는 예에서는 에어 부상 유닛(1)을 2열로 늘어놓은 예를 나타내고 있으나, 평면 기판(10)의 크기, 중량에 따라 3열 이상으로 할 수도 있다.
이와 같은 구성에 의해, 간이한 구성의 에어 부상 유닛(1)을 병렬로 배열함으로써, 평면 기판(10)의 크기, 중량에 따라 에어 부상 반송장치를 유연하게 구성할 수 있다. 또한, 각각의 에어 부상 유닛(1)은 간략한 구성이며, 에어 부상 반송장치의 제작 비용을 저감할 수 있다.
[제2 실시 형태]
도 2 및 도 3은 본 발명의 에어 부상 반송장치의 제2 실시 형태의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 2A는 에어 부상 반송장치의 제2 실시 형태에 있어서의 에어 부상 유닛(2)의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 2A에 나타내는 에어 부상 유닛(2)은 도 1A에 나타내는 에어 부상 유닛(1)의 배면판(背面板)(13)의 전면측(前面側)(평면 기판 반송방향의 하류측)에 에어 공급관(31)을 추가한 것이다. 이 에어 공급관(31)에는 경사 노즐(32)이 설치되어 있고, 도 2B에 나타낸 바와 같이, 평면 기판(10)의 강성(剛性)이 적고 평면 기판(10)의 선단에 늘어진 부분(10a)이 생기는 경우에, 경사 노즐(32)로부터 배면판(13)의 비스듬히 윗방향으로 향하여 에어를 분출시킴으로써 평면 기판(10)의 선단의 늘어진 부분(10a)을 윗방향으로 들어올리도록 한다.
이것에 의해, 도 2에 나타낸 바와 같이, 평면 기판(10)이 에어 부상 유닛(2)에서 다음의 에어 부상 유닛으로 옮겨갈 때, 평면 기판(10)의 선단부의 늘어진 부분(10a)이 에어 부상 유닛(2)과 간섭하는 것을 억제한다.
도 3은 에어 부상 유닛(2)을 평면 기판(10)의 반송 방향 A로 향하여 레일 상에 배열하여 에어 부상 반송장치를 구성한 예를 나타내고 있다. 또한, 도면에 나타낸 예에서는 에어 부상 유닛(2)을 2열로 늘어놓은 예를 나타내고 있으나, 평면기판(10)의 크키, 중량에 따라 3열 이상으로 할 수도 있다.
이와 같은 구조에 의해, 간이한 구성의 에어 부상 유닛(2)을 복수 사용함으로써 평면기판(10)의 크기, 중량에 따라 에어 부상 반송장치를 유연하게 구성할 수 있다.
[제3 실시 형태]
도 4 및 도 5는 본 발명의 에어 부상 반송장치의 제3 실시 형태의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 4A는 에어 부상 반송장치의 제3 실시 형태에 따른 에어 부상 유닛(2)의 구성예를 나타낸 도면이다.
도 4A에 나타낸 에어 부상 유닛(2)은 도 1A에 나타낸 에어 부상 유닛(1)의 배면판(背面板)(13)의 전면측(前面側) 및 후면측(後面側)(평면기판 반송 방향의 하류측 및 상류측)에 에어 공급관(31 및 31-1)을 추가한 것이다. 이 에어 공급관(31 및 31-1)에는 경사 노즐(32 및 32-1)이 설치되어 있고, 도 4B에 나타낸 바와 같이 평면 기판(10)의 강성(剛性)이 작고 평면 기판(10)의 선단의 늘어진 부분(10a)이 생기는 경우에, 경사 노즐(32-1)로부터의 배면판(13)의 비스듬히 윗방향으로 향하여 에어를 분출시킴으로써, 평면 기판(10)의 선단의 늘어진 부분(10a) 윗방향으로 들어올리고자 한다. 그러나, 에어 부상 유닛 사이의 거리가 긴 경우나 기판의 강성이 작은 경우에는, 다음의 에어 부상 유닛에 기판이 도달할 때에는 더욱, 예를 들어, 늘어짐이 발생하고, 충분한 부상량(浮上量)을 얻지 못하여 에어 부상 유닛에 접촉하는 경우가 있다.
이 때, 기판의 상류측에서 기판과 에어 부상 유닛 사이에 경사 노즐(32-1)로부터 에어를 분출시킴으로써, 평면 기판(10)을 윗방향으로 들어올려 평면 기판(10)과 에어 부상 유닛의 충돌을 회피한다.
이것에 의해, 도 4에 나타낸 바와 같이, 평면 기판(10)이 에어 부상 유닛(2)에서 다음의 에어 부상 유닛으로 옮겨갈 때, 평면 기판(10)의 선단부의 늘어진 부분(10a)이 에어 부상 유닛(2)과 간섭하는 것을 억제한다.
도 5는 에어 부상 유닛(2)을 평면 기판(10)의 반송 방향 A로 향하여 레일 상에 배열하여 에어 부상 반송장치를 구성한 예를 도시하고 있다. 또한, 도면에 나타낸 예에서는 에어 부상 유닛(2)을 2열로 배열한 예를 나타내고 있으나, 평면 기판(10)의 크기, 중량에 따라 3열 이상으로 할 수도 있다.
이와 같은 구성에 의해, 간이한 구성의 에어 부상 유닛(2)을 복수 사용함으로써, 평면 기판(10)의 크기, 중량에 따라 에어 부상 반송장치를 유연하게 구성할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명하였으나, 도 1A에 나타낸 에어 부상 유닛(1)은 도 6A 및 6B에 나타낸 구성으로 할 수 있다. 도 6A에 나타낸 에어 부상 유닛(3)은 배면판(背面板)(13) 가운데에 에어 공급로(41)와 경사 노즐(42)을 형성한 것이다. 이것에 의해 도 1A에 나타낸 에어 공급관(11, 12)을 생략할 수 있다. 도 6B는 도 6A의 A-A' 방향의 단면도를 나타낸 것이다.
또한, 도 7에 나타낸 바와 같이, 도 2에 나타낸 에어 공급관(31) 및 경사 노즐(32)의 부분도 배면판(背面板)(13) 가운데에 형성할 수 있다. 이와 같이, 도시하지는 않았으나, 도 4에 나타낸 에어 공급관(31, 31-1) 및 경사 노즐(32, 32-1)의 부분도 배면판(13) 가운데에 형성할 수 있다.
도 7에 나타낸 에어 부상 유닛(4)은 도 6A 및 도 6B에 나타낸 에어 부상 유닛(3)을 기본 구성으로 하여, 에어 공급로(41)에 경사 노즐(43)을 추가한 구성이다.
이상, 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 에어 부상 반송장치는 상술한 도시예에만 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 각종 변경을 더할 수 있는 것은 물론이다.
[제4 실시 형태]
도 10에 나타낸 에어 부상 반송장치(51)는 거의 수평인 반송면(52)(도 12, 13 참조)으로부터 이것에 따른 평면상의 기판 등의 평면 기판(53)을 에어에 의해 부상시켜, 이 상태로 도면 이외의 반송 구조에 의해 상기 반송면(52)에 따르는 한쪽 방향으로 이송하는 것이다. 반송면(52)의 아랫방향에는 복수의 에어 부상 유닛(55)이 소정의 간격을 가지고 격자 모양으로 배치되어, 상기 각 에어 부상 유닛(55)으로부터 적당한 에어를 분출함으로써 상기 반송면(52)으로부터 평면 기판(53)이 부상된다. 또한, 상기 평면 기판(53)의 반송 방향을 도면 중에 화살표 F로 나타낸다.
평면 기판(53)은 예를 들면, 평면시(平面視)에서 장방형상(長方形狀)을 이루고, 상기 평면 기판(53)이 소정의 간격으로 순차 반송된다. 평면 기판(53)의 반송 방향 선단부(53a)(하류측 단부)는 에어 부상 유닛(55) 사이의 간극(間隙)의 윗방향을 순차적으로 통과하게 된다. 에어 부상 유닛(55)은 반송 방향에 따라 복수열(도 10에는 2열)로 늘어놓고, 이 복수 열들에 걸친 상태로 평면 기판(53)이 반송면(52) 위를 부상 반송된다.
또한, 도 10에서는 에어 부상 유닛(55)을 2열로 배열한 예를 나타내고 있으나, 평면 기판(53)의 크기나 중량 등 또는 반송 라인의 규모 등에 따라서 에어 부상 유닛(55)을 1열 또는 3열 이상으로 배열하거나, 그 개수나 배치를 적당히 변경하여도 좋다. 즉, 복수의 에어 부상 유닛(55)을 적당히 배열하여 에어 부상 반송장치(51)를 구성함으로써, 그 사양(仕樣)을 평면 기판(53)의 크기나 중량 등에 따라 용이하고 유연하게 설정하여 평면 기판(53)의 안정한 반송을 가능하게 한다.
도 11을 함께 참조하여, 에어 부상 유닛(55)은 상기 반송면(52)의 평면시(平面視)에서 반송 방향으로 긴 장방형상(長方形狀)을 이루는 것으로, 그 외관을 형성하는 거의 수평인 얇은 판 모양의 유닛 본체(56), 반송 방향과 직교하는 유닛 가로방향의 양측에 설치되는 측부 분출부(57) 및 반송 방향의 하류측단에 설치되는 하류측 분출부(58)가 주가 된다. 유닛 본체(56)의 윗면은 상기 반송면(52)과 동일면 상에 배치된다.
측부 분출부(57)는 상기 유닛 가로방향의 중앙측으로 에어를 분출하고, 하류측 분출부(58)는 반송 방향의 상류측으로 에어를 분출한다. 또한, 각 분출부(57, 58)로부터의 에어 분출 방향을 도면에 화살표 H로 나타내고, 유닛 가로방향의 중심선을 부호 C로 나타낸다. 각 분출부(57, 58)의 에어 분출 방향은 그 윗방향을 통과하는 평면 기판(53)의 아랫면으로 향하도록 비스듬히 윗방향을 지향하고 있다(도 12, 13 참조).
여기에서, 측부(側部) 분출부(57)는 에어 부상 유닛(55)이 반송 방향으로 긴 장방형상(長方形狀)으로 설치되어 있으므로, 상기 반송 방향에서 소정의 길이마다 복수(이 실시 형태에서는 3개)로 나뉘어서 설치된다.
이하, 에어 부상 유닛(55)에서 가장 반송 방향의 하류측에 위치하는(반송 방향 하류측단의 근방에 위치하는) 측부 분출부(57)를 부호 57'로 나타낼 수 있다.
그리고, 상기 가장 반송 방향의 하류측에 위치하는 측부 분출부(57')는 유닛 가로방향 중앙측과 반송 방향 하류측으로 향하여 반송면(52)의 평면시(平面視)에서 비스듬하게 에어를 분출한다.
도 12, 13을 함께 참조하여, 상기한 에어 부상 반송장치(51)에서 에어 부상 유닛(55)의 유닛 가로방향 양측에서 상기 유닛 가로방향의 중앙측으로 에어를 분출하고, 유닛 가로방향 중앙측에서 바깥공기에 대해 압력을 높인 에어류를 생기게 함으로써, 해당 부위에 생기는 에어류(도면 중 부호 59로 표시)의 압력을 높여 평면 기판(53)의 부상량(浮上量)을 증가시킨다.
이 때, 각 분출부(57, 58)가 평면 기판(53)의 아랫면으로 향하여 비스듬히 윗방향으로 에어를 분출함으로써, 상기 에어의 분출 압력의 윗방향으로의 성분에 의해서도 평면 기판(53)을 부상시킨다.
그리고, 에어 부상 유닛(55)의 반송 방향 하류측단의 근방에서는 유닛 가로방향 양측에서 유닛 가로방향 중앙측과 반송 방향 하류측으로 비스듬하게 에어를 분출함으로써, 해당 부위에서의 에어 압력을 효율적으로 높여서 평면 기판(53)의 부상량(浮上量)을 증가시킨다.
이것에 의해, 평면 기판(53)의 반송 방향 선단부(53a)가 에어 부상 유닛(55) 사이의 간극(間隙) 위를 통과할 때, 상기 반송 방향 선단부(53a)(도 3 참조)가 아랫 방향으로 휜 경우에도, 이것이 그 앞의 에어 부상 유닛(55) 등에 간섭하는 것을 방지할 수 있고, 평면 기판(53)의 부상 반송 중의 파손이나 상처를 방지할 수 있다.
도 12, 13에 나타낸 바와 같이, 에어 부상 유닛(55)의 유닛 본체(56)는 속이 텅 비어있다고 여기고, 그 내부 공간은 도면 이외의 에어 공급장치로부터의 압착에어가 공급되는 에어 통로(56a)로 여겨진다.
유닛 본체(56)의 유닛 가로방향 양측부의 상면측(上面側)은 유닛 가로방향 외측 만큼 아랫방향에 위치하도록 경사지게 설치되어, 해당 부위가 상기 측부 분출부(57)에서의 분출 기부(基部)(61)를 구성한다. 한편, 유닛 본체(56)의 반송 방향 하류측단부의 상면측은 반송 방향 하류측 만큼 아랫쪽에 위치하도록 경사지게 설치되고, 해당 부위가 상기 하류측 분출부(58)에서의 분출 기부(66)를 구성한다. 또한, 각 분출 기부(61, 66)에서 경사진 바깥면(윗면)을 도면 중에 부호 61a, 66a로 표시한다.
도 5, 6을 함께 참조하여, 측부 분출부(57)는 상기 분출 기부(基部)(61)와 상기 분출 기부(61)에 겹쳐지도록 설치되는 반송 방향의 제1 플레이트(62)와 상기 제1 플레이트(62)에 겹쳐지도록 설치되는 반송 방향의 제2 플레이트(63)로 이루어진다. 한편, 하류측 분출부(58)는 상기 분출 기부(66)와 상기 분출 기부(66)에 겹쳐지도록 설치되는 제1 플레이트(67)와 상기 제1 플레이트(67)에 겹쳐지도록 설치되는 제2 플레이트(68)로 이루어진다.
측부 분출부(57)의 분출 기부(基部)(61)에는 반송 방향에 나란히 복수의 에어 분출구(64)가 설치되어 있다. 한편, 하류측 분출부(58)의 분출 기부(基部)(66)에는 유닛 가로방향으로 나란히 복수의 에어 분출구(69)가 설치되어 있다.
각 에어 분출구(64, 69)는 각 분출 기부(基部)(61, 66)의 바깥면(61a, 66a)으로부터 유닛 본체(56) 내의 에어 통로(56a)에 이르는 관통공(貫通孔)이고, 상기 에어 통로(56a) 내에 공급된 압착 에어를 외부로 분출 가능하게 한다.
측부 분출부(57)의 반송 방향의 제1 플레이트(62)에는 분출 기부(基部)(61)의 각 에어 분출구(64)와 마주보는 위치로부터 측부 분출부(57)에서의 에어 분출 방향으로 향하여 개방하는 노치(notch)(62a)가 설치된다. 즉, 상기 가장 반송 방향의 하류측에 위치하는 측부 분출부(57')의 반송 방향의 제1 플레이트(62)(도면 중에 부호 62'를 병기한다)에는, 각 에어 분출구(64)와 마주보는 위치로부터 유닛 가로방향 중앙측과 반송 방향 하류측으로 향하여 반송면(52)의 평면시(平面視)에서 유닛 가로방향 및 반송 방향에 대하여 경사지게 개방하는 노치(12a)(도면 중에 분호 62a'를 병기한다)가 설치되고, 상기 측부 분출부(57')를 제외한 다른 측부 분출부(57)의 반송 방향의 제1 플레이트(62)에는 각 에어 분출구(64)와 마주보는 위치로부터 유닛 가로방향 중앙측으로 향하여 반송면(52)의 평면시에서 유닛 가로방향을 따라서 개방하는 노치(62a)가 설치된다.
한편, 하류측 분출부(58)의 제1 플레이트(67)에는 분출 기부(基部)(66)의 각 에어 분출구(69)와 마주보는 위치로부터 하류측 분출부(58)에서의 에어 분출 방향으로 향하여 개방하는 노치(notch)(17a)가 설치된다. 즉, 하류측 분출부(58)의 제1 플레이트(67)에는 각 에어 분출구(69)와 마주보는 위치로부터 반송 방향 상류측d으로 향하여 반송면(52)의 평면시(平面視)에서 반송 방향을 따라 개방하는 노치(17a)가 설치된다.
각 분출부(7, 8)의 반송 방향의 제2 플레이트(63), 반송 방향 하류의 제2 플레이트(68)는 노치(notch)를 가지지 않는 평탄한 판상의 커버 부재로 여겨지고, 상기 반송 방향의 제2 플레이트(63)에는 반송 방향 하류의 제2 플레이트(68)에 대응하는 반송 방향의 제1 플레이트(62), 반송 방향 하류의 제1 플레이트(67)에 거듭하여 각 노치(62a, 67a)의 외측을 가린 상태로 이것들이 대응하는 분출 기부(基部)(61, 66)에 고정됨으로써, 반송 방향의 제1 플레이트(62), 반송 방향 하류의 제 플레이트(67)의 각 노치(62a, 67a)가 분출 기부(61, 66)와 반송 방향의 제2 플레이트(63), 반송 방향 하류의 제2 플레이트(68)에 끼워넣어져 각 분출부(57, 58)에서의 에어 분출 경로가 구성된다.
이와 같이, 유닛 본체(56)에 고정적으로 설치된 분출 기부(基部)(61, 66)에 대하여 각 플레이트(61, 63, 67, 68)(특히, 반송 방향의 제1 플레이트(62), 반송 방향 하류의 플레이트(67))를 교환하는 것만으로, 각 분출부(57, 58)의 에어 분출 방향 등을 용이하고 유연하게 설정할 수 있다.
이 때, 측부 분출부(57)의 분출 기부(基部)(61)의 바깥면(61a)이 유닛 가로방향 외측만큼 아래쪽에 위치하도록(즉, 유닛 가로방향 중앙측 만큼 윗쪽으로 위치하도록) 경사지게 함으로써, 이 바깥면에 평탄한 판상의 플레이트(62, 67)를 장착하는 것만으로 유닛 가로방향 중앙측 만큼 윗방향으로 위치하도록 경사진 에어 분출 경로를 형성할 수 있다. 이와 같이, 하류측 분출부(58)의 분출 기부(66)의 바깥면(66a)이 반송 방향 하류측 만큼 아래쪽으로 위치하도록(즉, 반송 방향 상류측 만큼 윗방향으로 위치하도록) 경사지게 함으로써, 이 바깥면에 평탄한 판상의 플레이트(63, 68)를 장착하는 것만으로 반송 방향 상류측 만큼 윗방향으로 위치하도록 경사진 에어 분출 경로를 구성할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 상기 제4 실시 형태에 따른 에어 부상 반송장치(51)는 반송면(52) 상의 시트 형태의 평면 기판(53)을 상기 반송면(52)으로부터 에어에 의해 부상시키면서 반송하는 것이고, 상기 반송면(52) 아래에 배치되는 에어 부상 유닛(55)이 상기 평면 기판(53)의 반송 방향과 직교하는 유닛 가로방향의 양측에 상기 유닛 가로방향의 중앙측으로 에어를 분출하는 측부 분출부(57)를 갖춤과 동시에, 상기 반송 방향의 하류측단에 상기 반송 방향의 상류측으로 에어를 분출하는 하류측 분출부(58)를 갖추고, 상기 반송 방향 하류측단의 근방에서 상기 측부 분출부(57)가 상기 유닛 가로방향 중앙측과 상기 반송방향 하류측으로 비스듬하게 에어를 분출하는 것이다.
상기 제4 실시 형태에서는, 에어 부상 유닛(55)의 유닛 가로방향 양측에서 상기 유닛 가로방향의 중앙측으로 에어를 분출함으로써 상기 양 에어를 유닛 가로방향 중앙측에서 서로 충돌시켜, 평면 기판(53)과 반송면(52) 사이에 외기(外氣)에 대하여 압력을 높여 에어류를 생성시킨다. 이 에어류의 압력은 평면 기판(53)에서의 비교적 넓은 면적에 작용하므로 에어를 윗방향으로 분출하여 그 국소적인 압력만으로 평면 기판(53)을 부상시키는 경우와 비교하여, 적은 에어 분출량(에어 소비량)으로 평면 기판(53)을 효율적으로 부상시킬 수 있다.
또한, 에어 부상 유닛(55)의 반송 방향 하류측단의 근방에서는 유닛 가로방향 양측에서 상기 유닛 가로방향 중앙측으로 에어를 분출함과 동시에, 반송 방향 하류측단으로부터도 상기 반송 방향 상류측으로 에어를 분출함으로써 해당 부위에 생기는 에어류의 압력을 효율적으로 높여 적은 에어 소비량으로 평면 기판(53)의 부상량(浮上量)을 증가시킬 수 있다.
특히, 에어 부상 유닛(55)의 반송 방향 하류측단의 근방에서는 유닛 가로방향 양측에서 유닛 가로방향 중앙측과 반송 방향 하류측으로 비스듬하게 에어를 분출함으로써, 상기 양 에어와 상기 반송 방향 하류측단으로부터 분출하는 에어를 충돌시켜서 에어 압력을 높임과 동시에, 해당 부위에서의 에어 압력을 효율 좋게 높여 적은 에어 소비량으로 평면 기판(53)의 부상량을 증가시킬 수 있다.
그리고, 에어 부상 유닛(55)의 반송 방향 하류측단의 근방에서 평면 기판(53)의 부상량을 증가시킴으로써 상기 평면 기판(53)이 에어 부상 유닛(55)의 간극(間隙) 부분을 넘어가기 쉽도록 에어 부상 유닛(55)의 간극의 설정폭을 넓힘과 동시에, 에어 부상 유닛(55) 간의 높이 방향의 위치 어긋남의 허용 범위도 넓어지고, 에어 부상 반송장치(51)의 설계 자유도를 높일 수 있다.
또한, 상기 제4 실시 형태에서는 측부 분출부(57) 및 하류측 분출부(58)가 평면 기판(53)의 아랫면으로 향하여 경사져 윗방향으로 에어를 분출함으로써, 상기 에어의 분출 압력의 윗방향으로의 성분을 평면 기판(53)의 부상에 직접적으로 작용시킬 수 있다.
또한, 상기 제4 실시 형태에서는 측부 분출부(57) 및 하류 분출부(58)가 분출 기부(基部)(61, 66)에 플레이트(62, 63, 67, 68)를 설치하여 이루어지고, 플레이트(62, 67)에 설치된 노치(notch)(62a, 67a)가 분출 기부(61, 66) 및 플레이트(63, 68)에 끼워 넣어져서 측부 분출부(57) 및 하류측 분출부(58)에서의 에어 분출 경로를 형성함으로써, 반송 방향의 제1 플레이트(62), 반송 방향 하류의 제1 플레이트(67)를 교환하여 그 노치(62a, 67a)를 변경하는 것만으로 원하는 에어 분출 방향을 가지는 측부 분출부(57) 및 하류측 분출부(58)를 용이하고 유연하게 설정할 수 있다.
또한, 상기 제4 실시 형태에서는 측부 분출부(57) 및 하류측 분출부(58)가 그 분출 기부(基部)(61, 66)를 유닛 본체(56)에 일체(一體)로 설치함과 동시에 유닛 본체(56) 내에는 에어 통로(56a)를 설치하고, 분출 기부(61, 66)의 바깥면(61a, 66a)으로부터 에어 통로(56a)에 이르는 관통공(貫通孔)을 분출 기부(61, 66)의 에어 분출구(64, 69)로 함으로써, 측부 분출부(57) 및 하류측 분출부(58)의 구성 나아가서는 에어 부상 유닛(55)의 구성을 간소화할 수 있다.
또한, 상기 제4 실시 형태에서는 분출 기부(基部)(61, 66)에서의 에어 분출구(64, 69)를 여는 바깥면(61a, 66a)이 상기 반송면(52)에 대하여 경사지게 설치됨으로써, 상기 바깥면(61a, 66a)에 평탄한 제1 및 제2 플레이트(62, 63, 67, 68)를 설치하는 것만으로 평면 기판(53)의 아랫면으로 향하여 비스듬히 윗방향으로 에어를 분출할 수 있다.
[ 제5 실시 형태 ]
다음으로, 본 발명의 제5 실시 형태에 대하여 도 15를 참조하여 설명한다.
이 제5 실시 형태의 에어 부상 반송장치(71)는 상기 제4 실시 형태의 것에 대하여 에어 부상 유닛(75)의 반송 방향 하류측단의 근방에서 측부 분출부(77)가 다른 측부 분출부(57)에 대하여 에어 분출량을 증가시킨 것을 주로 다른 것으로, 상기 제4 실시 형태와 동일한 부분에 동일한 부호를 붙여서 그 설명을 생략한다.
측부 분출부(77)는 유닛 가로방향의 중앙측과 비스듬히 윗방향으로 에어를 분출하는 점은 다른 측부 분출부(57)와 동일하나, 상기 제1 플레이트(62)에 대하여 폭을 넓힌 노치(notch)(82a)를 가지는 제1 플레이트(82)를 가짐으로써, 다른 측부 분출부(57)에 대하여 에어 분출량을 증가시키고 있다.
또한, 도 15에서는 측부 분출부(77)가 유닛 가로방향 중앙측으로 유닛 가로방향에 따라서 에어를 분출하나, 상기 제4 실시 형태처럼 유닛 가로방향 중앙측과 반송 방향 하류측으로 향하여 비스듬하게 에어를 분출하도록 하여도 좋다. 또한, 측부 분출부(77)의 에어 분출 방향은 상기 제4 실시 형태와 동일한, 평면 기판(53)의 아랫면을 향하도록 비스듬히 윗방향을 지향하고 있다.
이 제5 실시 형태에서도, 상기 제4 실시 형태와 동일하게 적은 에어 분출량(에어 소비량)으로 평면 기판(53)을 효율 좋게 부상시킬 수 있고, 에어 부상 유닛(55)의 반송 방향 하류측단의 근방에서 평면 기판(53)의 부상량(浮上量)을 효율 좋게 증가시킬 수 있고, 에어 부상 반송장치(51)의 설계 자유도를 높일 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 각 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 도 17에 나타낸 것과 같이, 에어 부상 유닛(95)의 상면측(上面側)의 유닛 가로방향 중앙측으로 요부(凹部)(95a)를 설치하고, 평면 기판(53) 아래의 에어류를 확보하기 쉽게 한 구성으로 하여도 좋다. 또한, 도 18에 나타낸 것과 같이, 상기 요부(凹部)(95a) 내에 사다리꼴 모양의 철부(凸部)(95b)를 설치하고, 측부 분출부(97)로부터의 에어를 비스듬히 윗방향으로 안내하는 구성을 하여도 좋다. 여기에서, 도 17, 18에 나타내는 측부 분출부(97)는 유닛 본체(96)에 일체적(고정적)으로 설치된 것이나, 이것을 상기의 각 실시 형태처럼 유닛 본체(95)에 고정적으로 설치한 분출 기부(基部)와 상기 분출 기부에 장착되는 별체(別體)의 플레이트 부재로 구성하도록 하여도 좋다. 한편, 상기의 각 실시 형태의 측부 및 하류측 분출부(57, 58)의 적어도 하나가 유닛 본체(56)와 별체에 설치된 구성이어도 좋다.
그리고, 상기 실시 형태에 따른 구성은 본 발명의 일례이고, 에어 부상 반송장치를 반송 방향으로 긴 단일 에어 부상 유닛으로 구성하는 등, 해당 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 각종 변경이 가능하다는 것은 말할 필요도 없다.

Claims (15)

  1. 평면 기판의 반송로를 형성하는 복수의 에어 부상 유닛으로부터 구성되어, 상기 에어 부상 유닛으로부터 에어를 분출하고 상기 평면 기판을 부상시켜서 반송하는 에어 반송장치이고,
    상기 에어 부상 유닛을 상기 평면 기판의 반송 방향으로 향하여 라인 형태로 배열한 에어 부상 유닛의 열(列)을 복수 병렬로 배치함과 동시에,
    상기 에어 부상 유닛은 평면 기판의 반송 방향과 직교하는 양측 방향에서 상기 평면 기판의 아랫면으로 향하여 에어를 분출시키는 기구를 갖추는 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 에어 부상 유닛을 2개의 레일 상에 배열하여 구성하는 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 에어 부상 유닛은 상기 평면 기판의 반송 방향의 하류측에서 상기 평면 기판의 아랫면으로 향하여 에어를 분출시키는 기구를 갖추는 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 에어 부상 유닛은 상기 평면 기판의 반송 방향의 하류측 및 상류측에서 아랫면으로 향하여 에어를 분출시키는 기구를 갖추는 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 에어 부상 유닛은 상기 평면 기판의 아랫면과 마주보고 상기 평면 기판의 반송로를 형성하는 배면판(背面板)과 상기 배면판의 반송로 방향과 평행한 양측면의 옆에 위치하고, 상기 배면판의 중앙부 윗방향으로 향하여 에어를 분출하는 경사 노즐을 가지는 한쌍의 에어 공급관을 갖추는 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 에어 부상 유닛은 상기 배면판(背面板)의 반송로 방향과 직교하는 하류측의 측면 옆에 위치하고, 상기 배면판의 윗방향 또는 중앙부 윗방향으로 향하여 에어를 분출하는 노즐을 가지는 에어 공급관을 더 갖추는 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치.
  7. 평면 기판의 반송로를 형성하는 복수의 에어 부상 유닛으로부터 구성되고, 상기 에어 부상 유닛으로부터 에어를 분출하여 상기 평면 기판을 부상시켜서 반송하는 에어 부상 반송장치에 있어서의 에어 반송방법이고,
    상기 에어 부상 유닛을 상기 평면 기판의 반송 방향으로 향하여 라인 형태로 배열한 에어 부상 유닛의 열(列)을 복수 병렬로 배치하는 순서와,
    상기 에어 부상 유닛에 의해 평면 기판의 반송 방향과 직교하는 양측 방향에서 상기 평면 기판의 아랫면으로 향하여 에어를 분출시키는 순서를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어 반송 방법.
  8. 반송면 상의 시트 모양 피반송물을 상기 반송면으로부터 에어에 의해 부상시키면서 반송하는 에어 부상 반송장치에서,
    상기 반송면 아래에 배치되는 에어 부상 유닛이 상기 피반송물의 반송 방향과 직교하는 유닛 가로방향의 양측에 상기 유닛 가로방향의 중앙측으로 에어를 분출하는 측부 분출부를 갖춤과 동시에, 상기 반송 방향의 하류측단에 상기 반송 방향의 상류측으로 에어를 분출하는 하류측 분출부를 갖추고,
    상기 반송 방향 하류측단의 근방에서 상기 측부 분출부가 상기 유닛 가로방향 중앙측과 상기 반송 방향 하류측으로 비스듬하게 에어를 분출하는 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치.
  9. 반송면 상의 시트 모양 피반송물을 상기 반송면으로부터 에어에 의해 부상시키면서 반송하는 에어 부상 반송장치에서,
    상기 반송면 아래에 배치되는 단일 에어 부상 유닛이 상기 피반송물의 반송 방향과 직교하는 유닛 가로방향의 양측에 상기 유닛 가로방향의 중앙측으로 에어를 분출하는 측부 분출부를 갖춤과 동시에, 상기 반송 방향의 하류측단에 상기 반송 방향의 상류측으로 에어를 분출하는 하류측 분출부를 갖추는 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 측부 분출부 및 하류측 분출부의 적어도 한쪽이 상기 피반송물의 아랫면으로 향하여 비스듬히 윗방향으로 에어를 분출하는 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치.
  11. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 측부 분출부 및 하류측 분출부의 적어도 한쪽이 상기 유닛 가로방향 양측 또는 반송 방향 하류측단에 설치된 분출 기부(基部)와 상기 분출 기부에 겹쳐지도록 설치되는 제1 플레이트와 상기 제1 플레이트에 겹쳐지도록 설치되는 제2 플레이트로 이루어지고,
    상기 제1 플레이트에는 상기 분출 기부에 설치된 에어 분출구에 대응하는 위치로부터 상기 측부 분출부 또는 하류측 분출부에서의 에어 분출 방향으로 향하여 개방하는 노치(notch)가 설치되어, 상기 노치를 상기 분출 기부 및 제2 플레이트에 끼워넣음으로써 상기 측부 분출부 또는 하류측 분출부에서의 에어 분출 경로가 형성되는 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 분출 기부(基部)가 상기 에어 부상 유닛의 유닛 본체에 전면적으로 설치되고, 상기 유닛 본체 내에는 에어 통로가 설치되어 상기 분출 기부의 바깥면으로부터 상기 에어 통로에 이르는 관통공(貫通孔)이 상기 분출 기부의 에어 분출구로 여겨지는 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 분출 기부(基部)에 있어서의 상기 에어 분출구를 여는 바깥면이 상기 반송면에 대하여 비스듬하게 설치되는 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치.
  14. 반송면 상의 시트 모양 피반송물을 상기 반송면으로부터 에어에 의해 부상시키면서 반송하는 에어 부상 반송장치에 사용되는 에어 부상 유닛에서,
    상기 피반송물의 반송 방향과 직교하는 유닛 가로방향의 양측에 상기 유닛 가로방향의 중앙측으로 에어를 분출하는 측부 분출부를 갖춤과 동시에, 상기 반송 방향의 하류측단에 상기 반송 방향의 상류측으로 에어를 분출하는 하류측 분출구를 갖추고,
    상기 측부 분출부 및 하류측 분출부의 적어도 한쪽이 상기 유닛 가로방향의 양측 또는 반송 방향 하류측단에 설치된 분출 기부(基部)와 상기 분출 기부에 겹쳐지도록 설치되는 제1 플레이트와 상기 제1 플레이트와 겹쳐지도록 설치되는 제2 플레이트로 이루어지고,
    상기 제1 플레이트에는 상기 분출 기부에 설치된 에어 분출구에 대응하는 위치로부터 상기 측부 분출부 또는 하류측 분출부에 있어서의 에어 분출 방향으로 향하여 개방하는 노치(notch)가 설치되어, 상기 노치를 분출 기부 및 제2 플레이트에 끼워넣음으로써 상기 측부 분출부 또는 하류측 분출부에 있어서의 에어 분출 경로가 형성되는 것을 특징으로 하는 에어 부상 유닛.
  15. 반송면 상의 시트 모양 피반송물을 상기 반송면으로부터 에어에 의해 부상시키면서 반송하는 에어 부상 반송 방법에서,
    상기 피반송물의 반송 방향과 직교하는 유닛 가로방향의 양측에서 상기 유닛 가로방향의 중앙측으로 에어를 분출함과 동시에, 상기 반송 방향의 하류측단에서 상기 반송 방향의 상류측으로 에어를 분출하고,
    상기 반송 방향 하류측단의 근방에서의 상기 유닛 가로방향 양측에서는 상기 유닛 가로방향 중앙측과 상기 반송 방향 하류측으로 비스듬하게 에어를 분출하는 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송방법.
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