TWI458036B - 空氣浮起搬運裝置，及空氣搬運方法 - Google Patents

Description

空氣浮起搬運裝置，及空氣搬運方法

本發明是關於半導體基板、液晶基板等的平面基板的搬運裝置，尤其是關於藉由空氣使之浮起，不會給予破損或傷痕而能穩定地可進行搬運的空氣浮起搬運裝置，及空氣搬運方法。

本案發明是依據在2006年1月22日向日本國特許廳所申請的日本特願2006、315498號及在2007年8月10日向日本國特許廳申請的日本特願2007-210201號主張優先權，而在此援用其內容。

一般，將平面板一面空氣浮起一面予以搬運的裝置；是有各種提案。例如，有表示於第6圖的浮動機(參照非專利文獻1)。第8A圖是表示浮動機的觀側圖，而第8B圖是表示浮動機的斷面圖(帶鋼材進行方向的斷面圖)。

表示於第8A圖及第8B圖的浮動機101，是將朝向的一對開縫噴嘴102設於端部，而朝與帶鋼103的移動方向平行的方向噴出流體而浮起帶鋼103。由開縫噴嘴102所噴出的流體，是藉由在帶鋼103下面變更方向流出之際的運動量變化而發生靜壓，俾浮起帶鋼103。

然而，上述浮動機101是用以浮起帶鋼103等的連續形狀的搬運物者，欲作成搬運半導體基板、液晶基板等的個別的形狀的平面基板時，必須將上述浮動機101朝搬運 方向多數舖滿地配置，有浮動機101的個數變多的問題。

又，連續形狀的搬運物的搬運方向的上游側及下游側是經常地被支撐，令搬運物的端部不會橫越(跨越)浮動機101，惟在個別形狀的平面基板必須使得基板端部依次跨越浮動機101，而在浮動機101間令基板上下地彎曲、或震動，有基板端部與浮動機相撞的問題。

又，有習知技術的基板搬運裝置(參照專利文獻1)。該基板搬運裝置是以任意且最小限的污染搬入出高密度地多段被收納的玻璃基板的情形作為目的。第7圖是表示多段被收納的玻璃基板內的1枚玻璃基板110的收納狀態，表示玻璃基板110的兩側緣部內的一方的緣部者。如第7圖所示地，搬運滾子113是將玻璃基板110一面以其兩側緣部110a支撐一面予以搬運(朝垂直於紙面的方向搬運)。又，在搬運玻璃基板110之際，藉由空氣噴出管112，在被支撐於搬運滾子113的玻璃基板110與背面111之間噴射壓搾空氣。

然而，上述習知技術的基板搬運裝置，是藉由搬運滾子113將玻璃基板110一面以其兩側緣部110a支撐一面予以搬運之際，在背面板111與玻璃基板110之間吹進空氣，而未接觸有背面板111與玻璃基板110作為目的者，兩端部被支撐，以兩端部的滾子接受基板的大部份荷重，不適用完全地以非接觸搬運基板。

專利文獻1：日本特開2005-159145號公報

非專利文獻1：高原，平井，谷崎，神田，立原 「製鐵製程線用帶鋼浮上搬運裝置的實用化，三菱重上技術，Vol 29,No.1(1992-1.p36-41)」。

如上述地，藉由空氣使之浮起而不會破損或受傷就可進行搬運的搬運裝置有各種提案。然而，近年來，液晶基板等被大型化，而可穩定地搬運此的空氣浮起搬運裝置，有尚未充分的方面。

有一面將搬運面上的片狀被搬運物從上述搬運面藉由空氣予以浮起一面進行搬運的習知的空氣浮起搬運裝置中，配置於上述搬運面下的複數空氣浮起單元。對從該上述搬運方向的下流側端一直到該搬運方向的上游側噴出空氣，就可增加上述搬運方向下游側端的近旁的被搬運物的浮起量者(例如，參照專利文獻2)。

專利文獻2：日本特開2006-222209號公報。

上述習知的技術，是防止被搬運物的搬運方向前端部(下游側端部)過了空氣浮起單元的搬運方向下游側端之後，朝下方撓曲，而其前端的空氣浮起單元等上受到干擾。

然而，上述空氣浮起搬運裝置，是在搬運下排列複數空氣浮起單元所成者，因應於被搬運物的大小或重量等而容易且柔軟地可設定其規格，惟若也對應於搬運線的規模等，則空氣浮起單元間的規模等，則空氣浮起單元間的間隔會變寬之故，因而期望更增加空氣浮起單元的搬運方向 下游側的近旁的被搬運物的浮起量的構成。一方面，為了抑制空氣浮起搬運裝置的搬運負荷，期盼可減低裝置的空氣噴出量(空氣消耗量)的構成較佳。

本發明是為了解決此些問題而創作者，其目的是在因應於液晶基板等的平面基板的大小或重量，藉由選擇空氣浮起單元的個數及配置，柔軟地構成空氣浮起搬運裝置，可將平面基板以穩定的狀態下進行搬運，又，藉由使用簡單構成的空氣浮起單元，提供可減低空氣浮起搬運裝置的製造成本的空氣浮起搬運裝置及空氣搬運方法，作為目的。

本發明是解決上述課題而創作者，本發明的一種空氣浮起搬運裝置，係形成平面基板的搬運路的複數空氣浮起單元所構成，而從上述空氣浮起單元噴出空氣俾浮起上述平面基板予以搬運的空氣浮起搬運裝置，其特徵為：將上述空氣浮起單元朝上述平面基板的搬運方向線狀地排列的空氣浮起單元的列並列地配置複數，而且上述空氣浮起單元，是具備從與平面基板的搬運方向正交的兩側方向朝上述平面基板下面噴出空氣的機構。

藉由此種構成，將空氣浮起單元的列並列地排列複數，在各該空氣浮起單元中，從與平面基板的搬運方向正交的兩側方向朝平面基板的下面噴出空氣。

藉由此，因應於液晶基板等的平面基板的大小、重量，藉由選擇空氣浮起單元的個數及配置，以穩定的狀態可搬運平面基板。又，可使用簡單的構成的空氣浮起單元 之故，因而可減低空氣浮起搬運裝置的製造成本。又，藉由選擇空氣浮起單元的個數及配置，可柔軟地構成空氣浮起搬運裝置。

又，本發明的空氣浮起搬運裝置，上述空氣浮起單元，是排列成兩條軌狀所構成，為其特徵者。

藉由此種構成，將空氣浮起單元作成兩條軌狀地排列之故，藉由此，可穩定地浮起平面基板。

又，本發明的空氣浮起搬運裝置為上述空氣浮起單元，是具備從上述平面基板的搬運方向的下游側朝上述平面基板下面噴出空氣的機構，為其特徵者。

藉由此種構成，從平面基板的搬運方向的下游側朝平面基板下面噴出空氣，能抬高平面基板的前端部。

藉由此，即使在平面基板剛性少的前端部發生垂下部份的情形，可抬高該垂下部份之故，因而平面基板換乘空氣浮起單元之際，也可抑止前端部與空氣浮起單元干擾。

又，本發明的空氣浮起搬運裝置，為上述空氣浮起單元，是具備從上述平面基板的搬運方向的下游側及上游側朝下面噴出空氣的機構，為其特徵者。

藉由此種構成，從平面基板的搬運方向的下游側及上游側朝平面基板下面噴出空氣，抬高平面基板的前端部。

藉由此，在平面基板剛性較少時或空氣浮起單元間的距離長的情形，不僅平面基板的搬運方向的下游側，來自上游側也與空氣浮起單元間在平面基板噴出空氣，藉由將平面基板朝上方抬高，在搬運中的平面基板的前端發生垂 下的情形，結果朝上方抬高平面基板的前端垂下部份，而可避免令平面基板前端部與空氣浮起單元相撞的情形。

又，本發明的空氣浮起搬運裝置，為上述空氣浮起單元是具備：相對於上述平面基板的下面而形成上述平面基板的搬運路的背面板；及具有位於與上述背面板的搬運路方向平行的兩側面之側，而朝上述背面板的中央部上方噴出空氣的傾斜噴嘴的一對空氣供應管，為其特徵者。

藉由此種構成，在形成平面基板的搬運路的背面板兩側配置空氣供應管，從設於該空氣供應管的傾斜噴嘴朝背面板的中央部上方噴出空氣。

藉由此，可簡化空氣浮起單元的構成。

又，本發明的空氣浮起搬運裝置，為上述空氣浮起單元是又具備：具有位於與上述背面板的搬運路方向正交的下游側的側面之側，朝上述背面板的上方或中央部上方噴出空氣的噴嘴的空氣供應管，為其特徵者。

藉由此種構成，在背面板的下游側配置空氣供應管，從設於該空氣供應管的傾斜噴嘴朝背面板的上方或中央部上方噴出空氣。

所以，藉由使用空氣供應管的簡單的構成，平面基板換上空氣浮起單元之際，可抑止令前端部與空氣浮起單元干擾。

又，本發明的空氣搬運方法，係形成平面基板的搬運路的複數空氣浮起單元所構成，而從上述空氣浮起單元噴出空氣俾浮起上述平面基板予以搬運的空氣浮起搬運裝置 的空氣搬運方法，其特徵為：包含：將上述空氣浮起單元朝上述平面基板搬運方向線狀地排列的空氣浮起單元的列並列地配置複數的步驟；及藉由上述空氣浮起單元，從與平面基板的搬運方向正交的兩側方向朝上述平面基板下面噴出空氣的步驟。

藉由此種步驟，將空氣浮起單元的列並列地排列複數，在各該空氣浮起單元中，從與平面基板的搬運方向正交的兩側方向朝平面基板的下面噴出空氣。

藉由此，因應於液晶基板等的平面基板的大小、重量，藉由選擇空氣浮起單元的個數及配置，以穩定的狀態可搬運平面基板。又，可使用簡單的構成的空氣浮起單元之故，因而可減低空氣浮起搬運裝置的製造成本。又，藉由選擇空氣浮起單元的個數及配置，可柔軟地構成空氣浮起搬運裝置。

作為上述課題的解決手段，本發明是空氣浮起搬運裝置，係將搬運面上的片狀被搬運物從上述搬運面藉由空氣一面浮起一面予以搬運的空氣浮起搬運裝置，其特徵為：配置於上述搬運面下的空氣浮起單元，為在與上述被搬運物的搬運方向正交的單元寬度方向的兩側，具備朝該單元寬度方向的中央側噴出空氣的側部噴出部，而且在上述搬運方向的下游側端，具備朝該搬運方向的上游側噴出空氣的下游側噴出部，上述搬運方向下游側端近旁的上述側部噴出部，為朝上述單元寬度方向中央側且上述搬運方向下游側斜向地噴出空氣。

本發明是在申請專利範圍第1項所述的空氣浮起搬運裝置中，上述側部噴出部及下游側噴出部的至少一方，為朝上述被搬運物下面斜上方地噴出空氣，為其特徵者。

本發明是在申請專利範圍第1項或第2項所述的空氣浮起搬運裝置，上述側部噴出部及下游側噴出部的至少一方，具有：設於上述單元寬度方向兩側或搬運方向下游側端的噴出基部，及重疊般地安裝於該噴出基部的第1板，及重疊般地安裝於第1板的第2板所構成。在上述第1板，設有從對應於設在上述噴出基部的空氣噴出口的位置，朝上述側部噴出部或下游側噴出部的空氣噴出方向開放的缺口部，以上述噴出基部及第2板隔著上述缺口部，形成有上述側部噴出部或下游側噴出部的空氣噴出路徑。

本發明是，在申請專利範圍第3項所述的空氣浮起搬運裝置中，上述噴出基部一體地設於上述空氣浮起單元的單元本體，而在上述單元本體內設有空氣通路，從上述噴出基部的外面一直到上述空氣通路的貫通孔，作為上述噴出基部的空氣噴出口，為其特徵者。

本發明是，在申請專利範圍第4項所述的空氣浮起搬運裝置中，將上述噴出基部的上述空氣噴出口予以開口的外面，對於上述搬運面設置成傾斜。

本發明是空氣浮起搬運裝置，係將搬運面上的片狀被搬運物從上述搬運面藉由空氣一面浮起一面予以搬運的空氣浮起搬運裝置，其特徵為：配置於上述搬運面下的單一空氣浮起單元，為在與上述被搬運物的搬運方向正交的單 元寬度方向的兩側，具備朝該單元寬度方向的中央側噴出空氣的側部噴出部，而且在上述搬運方向的下游側端，具備朝該搬運方向的上游側噴出空氣的下游側噴出部，上述側部噴出部，具有：設於上述單元寬度方向兩側的噴出基部，及重疊般地安裝於該噴出基部的第1板，及重疊般地安裝於該第1板的第2板所構成，在上述第1板，設有從對應於設在上述噴出基部的空氣噴出口的位置，朝上述側部噴出部的空氣噴出方向開放的缺口部，該缺口部相對於上述空氣噴出口係擴寬。

本發明的空氣浮起單元，係被使用於將搬運面上的片狀被搬運物從上述搬運面藉由空氣一面浮起一面予以搬運的空氣浮起搬運裝置的空氣浮起單元，其特徵為：在與上述被搬運物的搬運方向正交的單元寬度方向的兩側，具備朝該單元寬度方向的中央側噴出空氣的側部噴出部，而且在上述搬運方向的下游側端，具備朝該搬運方向的上游側噴出空氣的下游側噴出部，上述側部噴出部及下游側噴出部的至少一方，具有：設於上述單元寬度方向兩側或搬運方向下游側端的噴出基部，及重疊般地安裝於該噴出基部的第1板，及重疊般地安裝於該第1板的第2板所構成，在上述第1板，設有從對應於設在上述噴出基部的空氣噴出口的位置，朝上述側部噴出部或下游側噴出部的空氣噴出方向開放的缺口部，以上述噴出基部及第2板隔著上述缺口部，形成有上述側部噴出部或下游側噴出部的空氣噴出路徑。

本發明的空氣浮起搬運方法，係將搬運面上的片狀被搬運物從上述搬運面藉由空氣一面浮起一面予以搬運的空氣浮起搬運方法，其特徵為：從與上述被搬運物的搬運方向正交的單元寬度方向的兩側朝該單元寬度方向的中央部噴出空氣，而且從上述搬運方向的下游側端朝該搬運方向的上游側噴出空氣，從上述搬運方向下游側端的近旁的上述單元寬度方向兩側，朝上述單元寬度方向中央部且上述搬運方向的下游側斜向地噴出空氣。

本發明的空氣浮起搬運裝置中，因應於液晶基板等的平面基板的大小、或重量，藉由選擇空氣浮起單元的個數及配置，柔軟地構成空氣浮起搬運裝置，而以穩定狀態下可搬運平面基板。又，可使用簡單的構成的空氣浮起單元之故，因而可減低空氣浮起搬運裝置的製造成本。

依照本發明，從空氣浮起單元的單元寬度方向兩側朝該單元寬度方向的中央側噴出空氣，而將該兩空氣在單元寬度方向中央側互相相撞，對於外氣產生提高壓力的空氣積存於被搬運物與搬運面之間。該空氣積存的壓力，是作用於被搬運物的較廣的面積之故，因而與空氣朝上方噴出而僅以其局部性壓力浮起被搬運物的情形相比較，則以較少的空氣噴出量(空氣消耗量)有效率地可浮起被搬運物。

又，在空氣浮起單元的搬運方向下游側端近旁，從單元寬度方向兩側朝該單元寬度方向中央側噴出空氣之同時，從搬運方向下游側端也朝該搬運方向上游側噴出空 氣，就可有效率地提高產生於當該部位的空氣積存壓力，而以較少空氣消耗量就可增加被搬運物的浮起量。所以，例如以在搬運方向較長的單一空氣浮起單元構成空氣浮起搬運裝置的情形也適用。

又，在空氣浮起單元的搬運方向下游側端近旁，從單元寬度方向兩側朝該單元寬度方向中央內側且搬運方向下游側斜向地噴出空氣，就可把該兩空氣與從上述搬運方向下游側端所噴出的空氣相撞而提高空氣壓力之同時，也抑制產生於當該部位的空氣積存中的空氣逸散至搬運方向上游側，可有效率地提高產生於當該部位的空氣積存壓力，而以較少空氣消耗量就可增加被搬運物的浮起量。

又，增加空氣浮起單元的搬運方向下游側端近旁的被搬運物的浮起量，就可令該被搬運物容易地跨越空氣浮起單元間的間隙部份，而可擴大空氣浮起單元間的間隙的設定寬度之同時，也可擴大空氣浮起單元間的高度方向的偏位的容許範圍，而可提高空氣浮起搬運裝置的設計自由度。

又，若側部噴出部及下游側噴出部，為朝被搬運物下面斜上方地噴出空氣者，則可將該空氣噴出壓力對於上方的成份直接地作用於被搬運物的浮起。

又，若側部噴出部及下游側噴出部，為在噴出基部安裝第1及第2板，而設於第1板的缺口部，隔著噴出基部及第2板，以形成側部噴出部及下游側噴出部的空氣噴出路徑，則更換第1板而僅變更該缺口部，就可容易且柔軟 地設定具有所期望的空氣噴射方向的側部噴出部及下游側噴出部。

又，若側部噴出部及下游側噴出部，為將該噴出基部一體地設於單元本體之同時，在單元本體內設置空氣通路，而將從噴出基部的外面一直到空氣通路為止的貫通孔，作為噴出基部的空氣噴出口者，則可簡化側部噴出部及下游側噴出部的構成，以及空氣浮起單元的構成。

又，若將噴出基部的空氣噴出口予以開口的外面，為對於上述搬運面傾斜地所設置者，則僅將平坦的第1及第2安裝板安裝於該外面，就可朝被搬運物的下面斜上方地噴出空氣。

以下，針對於用以實施本發明的最佳形態參照圖式加以說明。

(第1實施形態)

第1圖是表示依本發明的空氣浮起搬運裝置的第1實施形態的構成例的圖式。

第1A圖是表示成為本發明的空氣浮起搬運裝置的構成單位的空氣浮起單元1的例子的圖式。

如第1A圖所示地，空氣浮起單元1是在背面板13兩側配置一對空氣供應管11、12所構成。在空氣供應管11、12供應有壓縮空氣。

在空氣供應管11、12，設有傾斜噴嘴21，如箭號所示地，構成可朝背面板13的斜上方噴出空氣。

又，如第1B圖所示地，藉由從傾斜噴嘴21朝背面板13的斜上方噴出空氣，在成為搬運對象的平面基板10與背面板13之間形成有空氣積存，使得平面基板10從背面板13浮起。

第1C圖是表示本發明的空氣浮起搬運裝置的構成例的圖式，將空氣浮起單元1朝平面基板10的搬運方向A排列成兩條軌狀所構成。又，在表示於圖式的例子中，表示排列2列空氣浮起單元1的例子，惟因應於平面基板10的大小、重量，也可作成3列以上者。

藉由此種構成，並列地排列簡單的構成的空氣浮起單元1，藉此，因應於平面基板10的大小、重量，可柔軟地構成空氣浮起搬運裝置。又，各個的空氣浮起單元1是簡單的構成，而可減低空氣浮起搬運裝置的製作成本。

(第2實施形態)

第2圖及第3圖是表示本發明的空氣浮起搬運裝置的第2實施形態的構成例的圖式。

第2A圖是表示空氣浮起搬運裝置的第2實施形態的空氣浮起單元2的構成例的圖式。

表示於第2A圖的空氣浮起單元2是在圖示於第1A圖的空氣浮起單元1的背面板13的前面側(平面基板搬運方向的下游側)，追加空氣供應管31者。在該空氣供 應管31，設有傾斜噴嘴32，如第2B圖所示地，平面基板10的剛性較小，而在平面基板10的前端發生垂下部份10a時，則藉由從傾斜噴嘴32朝背面板13的斜上方噴出空氣，作成朝上方抬高平面基板10前端的垂下部份10a。

如第2C圖所示地，藉由此，使得平面基板10從空氣浮起單元2換乘於下一空氣浮起單元之際，使得平面基板10前端部的垂下部份10a，可抑制與空氣浮起單元2干擾。

第3圖是表示將空氣浮起單元2朝平面基板10的搬運方向A軌狀地排列而構成空氣浮起搬運裝置的構成的例子。又，在表示於圖式的例子，表示排列2列空氣浮起單元2的例子，惟因應於平面基板10的大小、重量，也可作成3列以上。

藉由此種構成，使用簡單的構成的複數空氣浮起單元2，藉此，因應於平面基板10的大小、重量，可柔軟地構成空氣浮起搬運裝置。

(第3實施形態)

第4圖及第5圖是表示本發明的空氣浮起搬運裝置的第3實施形態的構成例的圖式。

第4A圖是表示空氣浮起搬運裝置的第3實施形態的空氣浮起單元2的構成例的圖式。

表示於第4A圖的空氣浮起單元2是在圖示於第1A圖的空氣浮起單元1的背面板13的前面側及後面側(平 面基板搬運方向的下游側及上游側)，追加空氣供應管31及31-1者。在該空氣供應管31及31-1，設有傾斜噴嘴32及32-1，如第4B圖所示地，平面基板10的剛性較小，而在平面基板10的前端發生垂下部份10a時，則藉由從傾斜噴嘴32-1朝背面板13的斜上方噴出空氣，作成朝上方抬高平面基板10前端的垂下部份10a。但是，在空氣浮起單元間的距離較長時或基板的剛性小時，當基板到達至下一空氣浮起單元時，又有例如發生下垂，無法得到充分的浮起量而與空氣浮起單元接觸的情形。

這時候，藉由傾斜噴嘴32-1從基板的上游側噴出空氣至基板與空氣浮起單元間，俾朝上方抬高平面基板10，而避免平面基板10與空氣浮起單元之相撞。

如第4C圖所示地，藉由此，當平面基板10由空氣浮起單元2換乘到下一空氣浮起單元之際，可抑制平面基板10的前端部的下垂部份10a，與空氣浮起單元2干涉的情形。

第5圖是表示朝平面基板10的搬運方向A軌狀地排列空氣浮起單元2以構成的例子。又，在表示於圖式的例子，表示排列兩列空氣浮起單元2的例子，惟因應於平面基板10的大小、重量，也可作成3列以上的情形。

藉由此種構成，使用簡單構成的複數空氣浮起單元2，藉此，因應於平面基板10的大小、重量，可柔軟地構成空氣浮起搬運裝置。

以上，針對於本發明的實施形態加以說明，惟表示於 第1A圖的空氣浮起單元1，是可作成表示於第6圖的構成，表示於第6A圖的空氣浮起單元3，是在背面板13中形成空氣供應路41，及傾斜噴嘴42者。藉由此，可省略表示於第1A圖的空氣供應管11、12。又，第6B圖是表示第6A圖的A-A’方向的斷面圖者。

又，如第7圖所示地，表示於第2圖的空氣供應管31及傾斜噴嘴32的部份，也可形成於背面板13中。同樣地，雖未予圖示，惟表示於第4圖的空氣供應管31、31-1及傾斜噴嘴32、32-1的部份，也可形成於背面板13中。

表示於第7圖的空氣浮起單元4，是將表示於第6圖的空氣浮起單元作為基本構成，而在空氣供應路41，追加傾斜噴嘴43的構成者。

以上，針對於本發明的實施形態加以說明，惟本發明的空氣浮起搬運裝置，是並不僅被限定於上述圖示例者，而在不超越本發明的要旨的範圍內當然可得到各種變更。

表示於第10圖的空氣浮起搬運裝置51是從大約水平的搬運面52(參照第12圖、第13圖)藉由空氣浮起沿著此的平面狀基板等的平面基板53，在該狀態下藉由圖外的移送機構沿著上述搬運面52朝一方向移送者。在搬運面52的下方，具有所定間隔而格子狀地配置有複數空氣浮起單元55，而從該各空氣浮起單元55適當地噴出空氣，就可從上述搬運面52浮起平面基板53。又，以圖中箭號F表示上述平面基板53的搬運方向。

平面基板53是例如以平面觀看形成長方形狀，該平 面基板53以所定間隔依次被搬運。平面基板53的搬運方向前端部53a(下游側端部)，是成為依次通過空氣浮起單元55間的間隙上方。空氣浮起單元55是沿著搬運方向排列複數列(在第10圖為2列)，在跨越此些複數列的狀態下，使得平面基板53被浮起搬運在搬運面52上。

又，在第10圖為表示將空氣浮起單元55排列兩列的例子，惟因應於平面基板53的大小或重量等，或是搬運路線的規模等，將空氣浮起單元55排列成一列或三列或適當地變更其個數或配置也可以。亦即，適當地排列複數空氣浮起單元55來構成空氣浮起搬運裝置51，就可因應於平面基板53的大小或重量等容易且柔軟地設定其規定而作成平面基板53的穩定搬運。

合併參照第11圖，空氣浮起單元55是在上述搬運面52的平面觀看，形成朝搬運方向較長的長方形狀者，主要由：形成其外觀的大約水平的厚板狀的單元本體56，及設於與搬運方向正交的單元寬度方向兩側的側部噴出部57，及設於搬運方向的下游側之端的下游側噴出部58所形成。單元本體56的上面，是被配置在上述搬運面52相同面上。

側部噴出部57，是朝上述單元寬度方向的中央側噴出空氣，而下游側噴出部58是朝搬運方向的上游側噴出空氣。又，將來自各噴出部7、8的空氣噴出方向以圖中箭號H所表示，而將單元寬度方向的中心線以符號C表示。各噴出部57、58的空氣噴出方向，是朝通過其上方的平 面基板53下面般地指向斜上方(參照第12圖及第13圖)。

在此，側部噴出部57是空氣浮起單元55為設於搬運方向較長的長方形狀之故，因而在該搬運方向所定長度別地設置成複數(在該實施例為3個)。

以下，將位於空氣浮起單元55的搬運方向最下游側(位於搬運方向下游側端的近旁)的側部噴出部57以符號57’表示的情形。

又，位於上述搬運方向最下游側的側部噴出部57’，是朝單元寬度方向中央側且搬運方向下游側，在搬運面52的平面觀看斜向地噴出空氣。

合併參照第12圖、第13圖，在上述空氣浮起搬運裝置51中，從空氣浮起單元55的單元寬度方向兩側朝該單元寬度方向的中央側噴出空氣，在單元寬度方向中央側產生對於外氣提高壓力的空氣積存，就可從搬運面52浮起搬運面52上的平面基板53。

又，在空氣浮起單元55的搬運方向下游側端的近旁，又從搬運方向下游側端朝該搬運方向上游側噴出空氣，就可提高產生於該部位的空氣積存(圖中以符號59表示)的壓力而增加平面基板53的浮起量。

此時，各噴出部57、58朝平面基板53下面斜上方地噴出空氣，而藉由該空氣的噴出壓力朝上方的成份也可浮起平面基板53。

又，在空氣浮起單元55的搬運方向下游側端的近 旁，從單元寬度方向兩側朝單元寬度方向中央側且搬運方向下游側斜向地噴出空氣，就可有效率地提高該部位的空氣壓力而增加平面基板53的浮起量。

藉由此，當平面基板53的搬運方向前端部53a通過空氣浮起單元55間的間隙上之際，即使該搬運方向前端部53a(參照第3圖)朝下方撓曲的情形，也可防止該情形干涉到其先前的空氣浮起單元55等，而可防止平面基板53的浮起搬運中的破損或傷痕。

如第12圖及第13圖所示地，空氣浮起單元55的單元本體56是作成中空，其內部空間是作為來自圖外的空氣供應位置的壓縮空氣所供應的通路56a。

單元本體56的單元寬度方向兩側部的上面側，是傾斜設置成位於單元寬度方向外側稍下方，該部位構成上述側部噴出部57的噴出基部61。一方面，單元本體56的搬運方向下游側端部的上面側，是傾斜設置成位於搬運方向下游側稍下方，該部位構成上述下游側噴出部58的噴出基部66。又，將各噴出基部61、66的傾斜的外面(上面)以圖中符號61a、66a表示。

合併參照第14圖、第15圖、側部噴出部57是具有上述噴出基部61，及被安裝成重疊於該噴出基部61的搬運方向的第1板62，及被安裝成重疊於該第1板62的搬運方向的第2板63所成。一方面，下游側噴出部58是具有：上述噴出基部66，及被安裝成重疊於該噴出基部66的第1板67，及被安裝成重疊於該第1板67的第2板68 所成。

側部噴出部57的噴出基部61，設有朝搬運方向排列的複數空氣吐出口64。另一方面，在下游側噴出部58的噴出基部66，設有朝單元方向排列的複數空氣噴出口69。

各空氣噴出口64、69，是從各噴出基部61、66的外面61a、66a一直到單元本體56內的空氣通路56a為止的貫通孔，而可將被供應於該空氣通路56a內的壓縮空氣噴出至外部。

在側部噴出部57的搬運方向的第1板62，設有從與噴出基部61的各空氣噴出口64相對的位置朝側部噴出部57的空氣噴出方向開放的缺口部62a。亦即，在位於上述搬運方向最下游側的側部噴出部57’的搬運方向的第1板62(在圖中，以符號62’併記)，設有從與各空氣噴出口64的位置朝單元寬度方向中央側且搬運方向下游側，而以搬運面52的平面觀看，對於單元寬度方向及搬運方向傾斜開放的缺口部12a(在圖中，以符號62a’併記)，而除了當該側部噴出部57’之外，在其他側部噴出部57的搬運方向的第1板62，設有從與各空氣噴出口64相對的位置朝單元寬度方向中央側，而以搬運面52的平面觀看，沿著單元寬度方向開放的缺口部62a。

一方面，在下游側噴出部58的第1板67，設有從與噴出基部66的各空氣噴出口69相對的位置朝下游側噴出部58的空氣噴出方向開放的缺口部17a。亦即，在下游側 噴出部58的第1板67，設有從與各空氣噴出口69的位置朝搬運方向上游側，而以搬運面52的平面觀看，沿著搬運方向開放的缺口部17a。

各噴出部7、8的搬運方向的第2板63，搬運方向下游的第2板68，是作為没有缺口部的平坦板狀的蓋構件，在重疊對應於該搬運方向的第2板68的搬運方向的第1板62，搬運方向下游的第1板67而覆蓋各缺口部62a、67a的外側的狀態下，被固定於此些所對應的噴出基部61、66，使得搬運方向的第1板62搬運方向下游的第1板67的各缺口部62a、67a被夾住在噴出基部61、66與搬運方向的第2板63，搬運方向下游的第2板68，以構成各噴出部57、58的空氣噴出路徑。

如此地，對於固定性地設於單元本體56的噴出基部61、66，僅更換各板61、63、67、68(尤其是搬運方向的第1板62，搬運方向下游的第1板67)，就可容易且柔軟地設定各噴出部57、58的空氣噴出方向等。

此時，側部噴出部57的噴出基部61的外面61a位於單元寬度方向外側大約下方般地(亦即，位於單元寬度方向中央側大約上方般地)作成傾斜，而僅將平坦狀的板62、67安裝於該外面，就可形成位於單元寬度方向中央側大約上方般地作成傾斜的空氣噴出路徑。同樣地，下游側噴出部58的噴出基部66的外面66a位於搬運方向下游側大約下方般地(亦即，位於搬運方向上游側大約上方般地)作成傾斜，而僅將平坦狀的板63、68安裝於該外 面，就可形成位於搬運方向上游側大約上方般地作成傾斜的空氣噴出路徑。

如以上所說明地，上述第4實施例的空氣浮起搬運裝置51是將搬運面52上的片狀平面基板53藉由空氣從上述搬運面52一面浮起一面予以搬運者，而在配置於上述搬運面52下的空氣浮起單元55與上述平面基板53的搬運方向正交的單元寬度方向的兩側，具備朝該單元寬度方向的中央側噴出空氣的側部噴出部57，而且在上述搬運方向的下游側端，具備朝該搬運方向的上游側噴出空氣的下游側噴出部58，而上述搬運方向下游側端的近旁的上述側部噴出部57，朝上述單元寬度方向中央側且上述搬運方向下游側斜向地噴出空氣者。

在上述第4實施例中，從空氣浮起單元55的單元寬度方向兩側朝該單元寬度方向的中央側噴出空氣，則在單元寬度方向中央側互相地相撞該兩空氣，而在平面基板53與搬運面52之間產生對於外氣提昇壓力的空氣積存。該空氣積存的壓力，是作用於平面基板53的較廣面積之故，因而與朝上方噴出空氣而僅以其局部性的壓力浮起平面基板53的情形相比較，以較少的空氣噴出量(空氣消耗量)可有效率地浮起平面基板53。

又，在空氣浮起單元55的搬運方向下游側端的近旁，從單元寬度方向兩側朝該單元寬度方向中央側噴出空氣，而且也從搬運方向下游側端朝該搬運方向上游側噴出空氣，則有效率地提高產生於該部位的空氣積存的壓力， 而以較少空氣消耗量就可增加平面基板53的浮起量。

尤其是，在空氣浮起單元55的搬運方向下游側端的近旁，從單元寬度方向兩側朝該單元寬度方向中央側且搬運方向下游側斜向地噴出空氣，則相撞該兩空氣與從上述搬運方向下游側端噴出的空氣而提高空氣壓力，而且也抑制產生於該部位的空氣積存中的空氣朝搬運方向上游側的逸散，則有效率地提高產生於該部位的空氣積存的壓力，而以較少空氣消耗量就可增加平面基板53的浮起量。

又，增加空氣浮起單元55的搬運方向下游側端近旁的平面基板53的浮起量，就可令該平面基板53成為容易跨越空氣浮起單元55間的間隙部份，把空氣浮起單元55間的間隙的設定寬度加以擴寬，同時也擴寬空氣浮起單元55間的高度方向的偏位的容許範圍，而可提高空氣浮起搬運裝置51的設計自由度。

又，在上述第4實施例中，側部噴出部57及下游側噴出部58為朝平面基板53下面斜上方地噴出空氣，就可將該空氣的噴出壓力朝上方的成份直接地作用於平面基板53的浮起。

又，在上述第4實施例中，側部噴出部57及下游側噴出部58成為將板62、63、67、68安裝於噴出基部61，66，而設於62、67的缺口部62a、67a為被噴出基部61、66及板63、68所夾住，形成側部噴出部57及下游側噴出部58的空氣噴出路徑，更換搬運方向的第1板62，搬運方向下游的第1板67而僅變更其缺口部62a、67a，則可 容易且柔軟地設定具有所期望的空氣噴出方向的側部噴出部57及下游側噴出部58。

又，在上述第4實施例中，側部噴出部57及下游側噴出部58為將該噴出基部61、66一體地設置於單元本體56，而且在單元本體56內設置空氣通路56a，並將從噴出基部61、66的外面61a、66a一直到空氣通路56a為止的貫通孔，作為噴出基部61、66的空氣噴出口64、69，就可構成側部噴出部57及下游側噴出部58的構成，以及可簡化空氣浮起單元55的構成。

又，在上述第4實施例中，將開設噴出基部61、66的空氣噴出口64、69的外面61a、66a，對於上述搬運面52設置成傾斜，則僅將平坦的第1及第2板62、63、67、68安裝於該外面61a、66a，就可朝平面基板53的下面斜上方地噴出空氣。

(實施例5)

以下，針對於本發明的第5實施例參照第16圖加以說明。

該第5實施例的空氣浮起搬運裝置71，是對於上述第4實施例者，主要不同處在於空氣浮起單元75的搬運方向下游側端近旁的側部噴出部77，對於其他側部噴出部57增加空氣噴出量，而在與上述第4實施例同一部份附予同一符號，並省略其說明。

側部噴出部77是在單元寬度方向中央側且斜上方地 噴出空氣之點是與其他的側部噴出部57同樣，惟具有對於上述第1板62具擴寬的缺口部82a的第1板82，就對於側部噴出部57可增加空氣噴出量。

又，在第16圖中，側部噴出部77朝單元寬度方向中央側沿著單元寬度方向噴出空氣，惟如上述第4實施例，也可作成朝單元寬度方向中央側且搬運方向下游側斜向地噴出空氣。又，側部噴出部77的空氣噴出方向是與上述第4實施例同樣，朝平面基板53下面般地指向斜上方。

在該第5實施例中，也與上述第4實施例同樣，以較少空氣噴出量(空氣消耗量)就可有效率地浮起平面基板53，而可有效率地增加空氣浮起單元55的搬運方向下游側端近旁的平面基板53的浮起量，又可提高空氣浮起搬運裝置51的設計自由度。

又，本發明是並不被限定於上述各實施例者，例如第17圖所示地，在空氣浮起單元95上面側的單元寬度方向中央側設置凹部95a，作成容易確保平面基板53下的空氣積存的構成也可以。又，如第18圖所示地，在上述凹部95a內設置台形狀的凸部95b，作成將來自側部噴出部97的空氣朝斜上方地引導的構成也可以。在此，表示於第17圖及第18圖的側部噴出部97，是一體地(固定地)設於單元本體96者，惟將如此上述各實施例所示地，以固定地設於單元本體96的噴出基部，及安裝於該噴出基部的另一體的板部的構件所構成也可以。另一方面，上述各實施例的側部及下游側噴出部57、58的至少一方，作成與 單元本體56設置在另一體也可以。

又，上述實施例的構成是本發明的一例，而以朝搬運方向較長的單一空氣浮起單元來構成空氣浮起搬運裝置等，在不超越當該發明的要旨的範圍當然可做各種變更。

1~4‧‧‧空氣浮起單元

10‧‧‧平面基板

10a‧‧‧垂下部份

11‧‧‧空氣供應管

13‧‧‧背面板

21、32、42、43‧‧‧傾斜噴嘴

31‧‧‧空氣供應管

41‧‧‧空氣供應路

51、71‧‧‧空氣浮起搬運裝置

52‧‧‧搬運面

53‧‧‧平面基板

53a‧‧‧搬運方向前端部

55、75、95‧‧‧空氣浮起單元

56、96‧‧‧單元本體

56a‧‧‧空氣通路

57、77、97‧‧‧側部噴出部

58‧‧‧下游側噴出部

61、66‧‧‧噴出基部

61a、66a‧‧‧外面

62‧‧‧搬運方向的第1板

63‧‧‧搬運方向的第2板

64、69‧‧‧空氣噴出口

67‧‧‧搬運方向下游的第1板

68‧‧‧搬運方向下游的第2板

82‧‧‧第1板

95a‧‧‧凹部

95b‧‧‧凸部

A‧‧‧搬運方向

第1A圖是表示空氣浮起搬運裝置的第1實施形態的構成例的圖式。

第1B圖是表示空氣浮起搬運裝置的第1實施形態的構成例的圖式。

第1C圖是表示空氣浮起搬運裝置的第1實施形態的構成例的圖式。

第2A圖是表示空氣浮起搬運裝置的第2實施形態的空氣浮起單元的構成例的圖式。

第2B圖是表示空氣浮起搬運裝置的第2實施形態的空氣浮起單元的構成例的圖式。

第2C圖是表示空氣浮起搬運裝置的第2實施形態的空氣浮起單元的構成例的圖式。

第3圖是表示空氣浮起搬運裝置的第2實施形態的構成例的圖式。

第4A圖是表示空氣浮起搬運裝置的第3實施形態的空氣浮起單元的構成例的圖式。

第4B圖是表示空氣浮起搬運裝置的第3實施形態的空氣浮起單元的構成例的圖式。

第4C圖是表示空氣浮起搬運裝置的第3實施形態的空氣浮起單元的構成例的圖式。

第5圖是表示空氣浮起搬運裝置的第3實施形態的構成例的圖式。

第6圖是表示空氣浮起單元的其他構成例的圖式。

第7圖是表示空氣浮起單元的其他構成例的圖式。

第8A圖是表示習知技術的浮動機的構成的圖式。

第8B圖是表示習知技術的浮動機的構成的圖式。

第9圖是表示習知技術的基板搬運裝置的構成的圖式。

第10圖是表示本發明的第4實施例的空氣浮起搬運裝置的立體圖。

第11圖是表示構成上述空氣浮起搬運裝置的空氣浮起單元的俯視圖。

第12圖是表示第11圖的A-A斷面圖。

第13圖是表示第11圖的B-B斷面圖。

第14圖是表示上述空氣浮起單元的側部及下游側噴出部的分解立體圖。

第15圖是表示相當於上述空氣浮起單元的一部份的第11圖的俯視圖。

第16圖是表示相當於本發明的第5實施例的第15圖的俯視圖。

第17圖是表示相當於上述各實施例的變形例的第13圖的斷面圖。

第18圖是表示相當於上述各實施例的其他變形例的第13圖的斷面圖。

1‧‧‧空氣浮起單元

10‧‧‧平面基板

11‧‧‧空氣供應管

12‧‧‧空氣供應管

13‧‧‧背面板

21‧‧‧傾斜噴嘴

Claims (8)

1. 一種空氣浮起搬運裝置，係將搬運面上的片狀被搬運物從上述搬運面藉由空氣一面浮起一面予以搬運的空氣浮起搬運裝置，其特徵為：配置於上述搬運面下的空氣浮起單元，為在與上述被搬運物的搬運方向正交的單元寬度方向的兩側，具備朝該單元寬度方向的中央側噴出空氣的側部噴出部，而且在上述搬運方向的下游側端，具備朝該搬運方向的上游側噴出空氣的下游側噴出部，上述搬運方向下游側端近旁的上述側部噴出部，為朝上述單元寬度方向中央側且上述搬運方向下游側斜向地噴出空氣。
2. 如申請專利範圍第1項所述的空氣浮起搬運裝置，其中，上述側部噴出部及下游側噴出部的至少一方，為朝上述被搬運物下面斜上方地噴出空氣。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的空氣浮起搬運裝置，其中，上述側部噴出部及下游側噴出部的至少一方，具有：設於上述單元寬度方向兩側或搬運方向下游側端的噴出基部，及重疊般地安裝於該噴出基部的第1板，及重疊般地安裝於該第1板的第2板所構成，在上述第1板，設有從對應於設在上述噴出基部的空氣噴出口的位置，朝上述側部噴出部或下游側噴出部的空氣噴出方向開放的缺口部，以上述噴出基部及第2板隔著 上述缺口部，形成有上述側部噴出部或下游側噴出部的空氣噴出路徑。
4. 如申請專利範圍第3項所述的空氣浮起搬運裝置，其中，上述噴出基部一體地設於上述空氣浮起單元的單元本體，而在上述單元本體內設有空氣通路，從上述噴出基部的外面一直到上述空氣通路的貫通孔，作為上述噴出基部的空氣噴出口。
5. 如申請專利範圍第4項所述的空氣浮起搬運裝置，其中，將上述噴出基部的上述空氣噴出口予以開口的外面，對於上述搬運面設置成傾斜。
6. 一種空氣浮起搬運裝置，係將搬運面上的片狀被搬運物從上述搬運面藉由空氣一面浮起一面予以搬運的空氣浮起搬運裝置，其特徵為：配置於上述搬運面下的單一空氣浮起單元，為在與上述被搬運物的搬運方向正交的單元寬度方向的兩側，具備朝該單元寬度方向的中央側噴出空氣的側部噴出部，而且在上述搬運方向的下游側端，具備朝該搬運方向的上游側噴出空氣的下游側噴出部，上述側部噴出部，具有：設於上述單元寬度方向兩側的噴出基部，及重疊般地安裝於該噴出基部的第1板，及重疊般地安裝於該第1板的第2板所構成，在上述第1板，設有從對應於設在上述噴出基部的空氣噴出口的位置，朝上述側部噴出部的空氣噴出方向開放的缺口部，該缺口部相對於上述空氣噴出口係擴寬。
7. 一種空氣浮起單元，係被使用於將搬運面上的片狀被搬運物從上述搬運面藉由空氣一面浮起一面予以搬運的空氣浮起搬運裝置的空氣浮起單元，其特徵為：在與上述被搬運物的搬運方向正交的單元寬度方向的兩側，具備朝該單元寬度方向的中央側噴出空氣的側部噴出部，而且在上述搬運方向的下游側端，具備朝該搬運方向的上游側噴出空氣的下游側噴出部，上述側部噴出部及下游側噴出部的至少一方，具有：設於上述單元寬度方向兩側或搬運方向下游側端的噴出基部，及重疊般地安裝於該噴出基部的第1板，及重疊般地安裝於該第1板的第2板所構成，在上述第1板，設有從對應於設在上述噴出基部的空氣噴出口的位置，朝上述側部噴出部或下游側噴出部的空氣噴出方向開放的缺口部，以上述噴出基部及第2板隔著上述缺口部，形成有上述側部噴出部或下游側噴出部的空氣噴出路徑。
8. 一種空氣浮起搬運方法，係將搬運面上的片狀被搬運物從上述搬運面藉由空氣一面浮起一面予以搬運的空氣浮起搬運方法，其特徵為：從與上述被搬運物的搬運方向正交的單元寬度方向的兩側朝該單元寬度方向的中央部噴出空氣，而且從上述搬運方向的下游側端朝該搬運方向的上游側噴出空氣，從上述搬運方向下游側端的近旁的上述單元寬度方向兩側，朝上述單元寬度方向中央部且上述搬運方向下游側 斜向地噴出空氣。