KR20140040724A - 비접촉 반송 장치 - Google Patents
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Abstract
장치 비용을 낮게 억제하고, 부착 작업도 용이하며, 피반송물의 선단 부분이 서로 이웃하는 반송 레일에 충돌하지 않고 서로 이웃하는 반송 레일로 옮겨탈 수 있는 비접촉 반송 장치를 제공한다.
비접촉 반송 레일(2)과, 상기 비접촉 반송 레일(2)과 피반송물(G)의 반송 방향(X)으로 서로 이웃하여 배열된 비접촉 반송 레일(3)과, 이들 비접촉 반송 레일(2, 3)의 이음매(S)의 상방에, 상기 이음매(S)의 공간 부분을 끼우고 서로 대향하여 배치되고, 피반송물을 흡인하는 비접촉 흡인 장치(5)로 이루어지는 비접촉 반송 장치(1). 상기 비접촉 반송 장치(1)는 상기 비접촉 반송 레일(2, 3)의 상기 이음매(S)의 공간 부분을 끼우고 서로 대향함과 아울러, 상기 비접촉 반송 레일(2, 3)의 폭 방향으로 서로 대향하여 세워져 설치된 한 쌍의 지주(8)와, 상기 지주(8) 사이에 걸쳐 가로놓인 천정판(9)과, 상기 천정판(9)의 하면에 고착된 흡인 유지체(10)로 구성할 수 있다.
비접촉 반송 레일(2)과, 상기 비접촉 반송 레일(2)과 피반송물(G)의 반송 방향(X)으로 서로 이웃하여 배열된 비접촉 반송 레일(3)과, 이들 비접촉 반송 레일(2, 3)의 이음매(S)의 상방에, 상기 이음매(S)의 공간 부분을 끼우고 서로 대향하여 배치되고, 피반송물을 흡인하는 비접촉 흡인 장치(5)로 이루어지는 비접촉 반송 장치(1). 상기 비접촉 반송 장치(1)는 상기 비접촉 반송 레일(2, 3)의 상기 이음매(S)의 공간 부분을 끼우고 서로 대향함과 아울러, 상기 비접촉 반송 레일(2, 3)의 폭 방향으로 서로 대향하여 세워져 설치된 한 쌍의 지주(8)와, 상기 지주(8) 사이에 걸쳐 가로놓인 천정판(9)과, 상기 천정판(9)의 하면에 고착된 흡인 유지체(10)로 구성할 수 있다.
Description
본 발명은 대형의 액정 디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이(PDP) 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD)나 태양 전지 패널(솔라 패널) 등의 생산에 사용되는 비접촉 반송 장치에 관한 것이다.
FPD나 솔라 패널 등의 생산시에 1장의 패널을 대형화함으로써 생산 효율을 높이는 방법이 채용되어 있다. 예를 들면, LCD의 경우에는, 제10대 세대에서 2850×3050×0.7mm의 크기가 된다. 그 때문에, 종래와 같이, 복수개 배열된 롤러 위에 액정 유리를 싣고 굴림 반송하면, 롤러를 지지하는 샤프트의 휨이나 롤러 높이의 치수의 불균일에 의해, 액정 유리에 국부적으로 강한 힘이 작용하여, 당해 액정 유리에 얼룩, 찰상 등의 손상을 줄 우려가 있다.
이러한 FPD나 솔라 패널 등의 피반송물의 손상을 피할 수 있는 공기에 의한 부상 반송의 기술분야에 있어서는, 특허문헌 1, 특허문헌 2 및 특허문헌 3에 기재된 공기 부상의 반송 장치를 비롯하여, 각종 비접촉 반송 장치가 다양하게 제안되고, 본 출원인도 선회류에 의해 피반송물을 부상, 반송시키는 비접촉 반송 장치를 제안했다(특허문헌 4).
이 특허문헌 4에 기재된 비접촉 반송 장치에 의하면, 선회류 형성체의 표면측에 상방을 향하는 상승 선회류를 발생시킴으로써 피반송물을 부상시키고, 그것에 의해, 종래의 1/2정도의 공기유량으로 반송을 가능하게 한다는 이점을 가진다.
그런데, 상기 비접촉 반송 장치에 있어서는, 피반송물의 반송 거리를 연장시키는 경우에는, 반송 레일을 피반송물의 반송 방향을 따라 덧붙여서 거리를 연장시키게 되는데, 그 때, 반송 레일과 이 반송 레일과 서로 이웃하는 반송 레일과의 이음매의 공간 부분이 커지면, 도 16에 나타내는 바와 같이, 이 이음매의 공간 부분(S)에서는 피반송물(예를 들면, 유리)(G)에 공기막압이 작용하지 않기 때문에, 피반송물(G)의 자중에 의해 반송 레일(2, 3)로부터 오버행한 부위에 휨을 발생시키고, 피반송물(G)의 단부가 반송 레일(2, 3)의 단부에 충돌하여 파손될 우려가 있다. 이 휨을 회피하기 위해서 부상량을 크게 해도, 피반송물(G)의 단부의 휨도 비례하여 커지기 때문에, 피반송물(G)의 반송 레일(2, 3)로의 충돌을 회피할 수는 없다.
상기한 반송 레일 사이의 이음매의 공간 부분에 있어서의 피반송물의 오버행 부위의 반송 레일로의 충돌을 회피하는 기술로서, 상기 특허문헌 2는 반송면에 있어서의 반송 방향과 직교하는 폭 방향 중앙부 위치에 배치된 반송 방향으로 긴 상자형상체의 부상 챔버와, 반송면에 있어서의 폭 방향 양단 위치에서, 반송 방향에 배치된 폭 방향 한 쌍의 반송 롤러열로 구성되고, 부상 챔버는 반송면과 평행하며 상자형상체의 덮개에 상당하는 상면판을 가지고, 이 상면판에는 다수의 기체 분출 소구멍이 형성되고, 상자형상체의 부상 챔버에 있어서의 반송 방향 후측의 단면판의 상단 가장자리와 상면판의 반송 방향 후단 가장자리 사이에는 간극이 형성되고, 이 간극으로부터 동압기체를 유출함으로써 동압 부상 수단을 구성하는 반송 장치를 개시하고 있다.
상기 특허문헌 3은 반송하는 대형 유리 기판에 대응시킨 베이스체와, 이 베이스체의 바닥면에 설치된 급기부와, 베이스체의 상면에 설치된 다공부와, 급기부로부터 베이스체 내에 유입하고, 다공부로부터 유출되어 기판을 부상시키는 공기를 베이스체의 상면으로부터 바닥면으로 유출시키고, 또한, 베이스체 밖으로 배기시키는 배기부와, 이 배기부에 설치된 유량 조정기와, 베이스체의 상면의 에지부에 형성되고, 또한, 기판을 동압공기에 의해 부상시키는 에지 구멍부를 구비한 부상 유닛을 사용한 비접촉 반송 장치를 개시하고 있다.
특허문헌 5는 복수의 반송 레일을 피반송물의 반송 방향을 따라 배치하고, 이 복수의 반송 레일 상에서 이 피반송물을 부상시키면서 반송하는 비접촉 반송 장치로서, 반송 레일의 단부 이외의 반송면에 설치되고, 상승 선회류를 발생시켜 피반송물을 부상시키는 제1 유체 분출 수단과, 반송 레일의 단부의 반송면에 설치되고, 이 반송 레일 상을 반송되는 피반송물의 단부가, 이웃하는 반송 레일 사이의 이음매 또는 그 근방에 도달했을 때에, 피반송물의 단부에 유체를 내뿜고, 이 피반송물의 단부를 부상시키는 제2 유체 분출 수단을 구비한 비접촉 반송 장치를 개시하고 있다.
상기 특허문헌 2, 특허문헌 3 및 특허문헌 5에 기재된 반송 레일 사이의 이음매의 공간 부분에 있어서의 피반송물의 이 반송 레일로부터 오버행한 부위의 반송 레일로의 충돌을 회피하는 기술은, 피반송물이 반송 레일의 반송 방향의 선단부측에 반송되었을 때에, 피반송물의 선단부에 하방으로부터 공기를 분사하고, 당해 피반송물의 단부를 부상시키는 것이다.
특허문헌 3에 기재된 장치에 있어서는, 부상 유닛마다 유량 조정기를 설치할 필요가 있고, 또 특허문헌 5에 기재된 장치에 있어서는, 반송 레일마다 제2 분출 수단인 분출 슬롯을 설치할 필요가 있어, 장치 자체의 비용 증가를 초래하고, 또 설치 작업을 번잡화하는 등의 문제가 있다.
본 발명은 상기 모든 점을 감안하여 이루어진 것으로, 장치 비용을 낮게 억제하고, 부착 작업도 용이하며, 피반송물의 선단 부분이 서로 이웃하는 반송 레일에 충돌하지 않고 서로 이웃하는 반송 레일로 옮겨탈 수 있는 비접촉 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 비접촉 반송 장치로서, 비접촉 반송 레일과, 이 비접촉 반송 레일과 피반송물의 반송 방향으로 서로 이웃하여 배열된 비접촉 반송 레일과, 이들 비접촉 반송 레일의 이음매의 상방에, 이 이음매의 공간 부분을 끼우고 서로 대향하여 배치되고, 상기 피반송물을 흡인하는 비접촉 흡인 장치로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 비접촉 반송 장치에 의하면, 비접촉 반송 레일의 이음매의 상방에, 이 이음매의 공간 부분을 끼우고 서로 대향하여 배치된 비접촉 흡인 장치에 의해 이 흡인 장치와는 비접촉 상태로 이 흡인 장치측에 흡인 유지됨과 아울러, 피반송물은 당해 흡인 유지된 상태를 유지하여 이 이음매의 공간 부분을 통과하여 반송되므로, 피반송물의 반송 방향의 선단부가 반송 방향으로 서로 이웃하는 비접촉 반송 레일에 충돌하지 않아, 피반송물을 손상시키지도 않는다.
상기 흡인 유지체는 평면시(平面視) 사각형상의 기체와, 이 기체에 장착된 선회류 형성체로 이루어지고, 이 선회류 형성체를 장착한 측의 면을 하면으로 하여 이 천정체의 하면에 고착될 수 있다.
상기 기체는 상면에 개구하는 평면시 원형의 개구부를 가짐과 아울러 바닥면부를 구비한 원통 수용 오목부와, 이 원통 수용 오목부의 원통 내벽면부에 이 원통 내벽면부와 환형상 숄더부를 통하여 직경확대하는 띠형상 원통 벽면부와, 이 기판의 길이 방향을 따라 형성되고, 일부가 이 원통 수용 오목부의 바닥면부에 개구하는 공기 통로와, 일방의 단부가 이 기체의 이면에 개구하고, 타방의 단부가 이 공기 통로에 개구하는 공기 공급구를 구비할 수 있다.
상기 선회류 형성체는 일방의 단부에 평면시 대략 원형의 개구부를 가지고, 타방의 단부에 바닥면부를 가지는 원통형상 오목부를 구비한 원통형상 본체와, 이 원통형상 본체의 원통형상 오목부의 개구부의 외주 가장자리에 형성된 환형상 플랜지부와, 이 환형상 플랜지부의 외주면으로부터 하방으로 늘어뜨려지고, 선단에 걸음 돌기를 가지고 이 외주면의 직경 방향으로 서로 대향하여 형성된 복수개의 걸어맞춤 수하부와, 상기 원통형상 오목부의 원통 내벽면에 이 원통 내벽면의 접선 방향으로서 이 원통형상 오목부의 중심을 끼우고 대각선 상의 서로 대향하는 위치에 이 원통 내벽면으로부터 직경 방향 바깥쪽으로 함몰된 평면시 삼각형상의 오목부와, 이 각각의 오목부의 내측 벽면부에 형성되고, 원통형상 오목부의 원통 내벽면측을 향하여 각각 반대 방향으로 개구하는 공기 분출구와, 이 공기 분출구에 연통하고, 원통형상 본체의 외주면으로부터 돌출된 오목부의 외측 벽면부에 개구하는 공기 취입구를 구비하고, 이 선회류 형성체는, 상기 원통형상 본체의 환형상 플랜지부의 외주면을, 상기 기체의 상기 원통 수용 오목부의 원통 내벽면부에 압입하여 끼워맞추고, 상기 걸어맞춤 수하부의 걸음 돌기를, 각각 이 기체의 상기 원통 내벽면부의 환형상 숄더부에 걸어맞추어 이 기체의 원통 수용 오목부에 장착되도록 구성할 수 있다.
상기 기판과 이 기판에 장착된 선회류 형성체로 이루어지는 흡인 유지체를 구비한 흡인 부상 장치에 있어서, 기판의 공기 통로로부터 이 기판의 원통 수용 오목부를 통하여 이 원통 수용 오목부에 장착된 선회류 형성체에 압축 공기가 공급되면, 압축 공기는 이 선회류 형성체의 유체 공급구를 통하여 유체 분출 구멍으로부터 원통형상 오목부 내에 분출되고, 원통형상 오목부의 내부 공간에서 선회류가 되어 이 원통형상 오목부의 개구부로부터 유출된다. 그 유출시에, 선회류 형성체의 환형상 플랜지부의 단면에 서로 대향하는 위치에 피반송물이 배치되어 있으면, 공기는 환형상 플랜지부의 단면을 따라 고속류가 되어 유출되므로, 환형상 플랜지부의 단면과 피반송물과의 사이는 부압이 된다. 이 부압에 의해 피반송물은 환형상 플랜지부의 단면측에 흡인되는 한편, 원통형상 오목부의 개구부로부터 유출되어 환형상 플랜지부의 단면과 피반송물과의 사이에 선회류로서 개재하는 공기에 의해 반발력을 받고, 그 밸런스에 의해, 피반송물은 환형상 플랜지부의 단면에 서로 대향한 상태로, 비접촉으로 유지된다.
이와 같이, 피반송물은 반송 레일 사이의 이음매의 공간 부분을 끼우고 반송 방향으로 서로 대향하여 설치된 비접촉 흡인 장치에 의해, 이 흡인 장치와는 비접촉 상태로 이 흡인 장치측에 흡인 유지되므로, 피반송물의 반송 방향의 선단부가 반송 방향으로 서로 이웃하는 비접촉 반송 레일에 충돌하지 않아, 피반송물을 손상시키지도 않는다.
이상과 같이, 본 발명에 의하면, 장치 비용을 낮게 억제하고, 부착 작업도 용이하며, 피반송물의 선단 부분이 서로 이웃하는 반송 레일에 충돌하지 않고 서로 이웃하는 반송 레일로 옮겨탈 수 있는 비접촉 반송 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 비접촉 반송 장치의 전체를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1의 단면 정면도이다.
도 3은 도 1의 I-I선 단면도이다.
도 4는 기판의 평면도이다.
도 5는 도 4의 II-II선 단면도이다.
도 6은 도 5의 일부 확대 단면도이다.
도 7은 도 4의 III-III선 단면도이다.
도 8은 기판의 배면도이다.
도 9는 평면시(平面視) 우측 회전 방향(시계 회전 방향)의 선회류를 발생시키는 선회류 형성체를 나타내는 도면이며, (a)는 정면도, (b)는 평면도, (c)는 저면도, (d)는 (b)의 IV-IV선 단면도, (e)는 (c)의 A부의 확대 단면도, (f)는 (d)의 B부의 확대 단면도이다.
도 10은 평면시 좌측 회전 방향(반시계 회전 방향)의 선회류를 발생시키는 선회류 형성체를 나타내는 도면이며, (a)는 정면도, (b)는 평면도, (c)는 저면도, (d)는 (c)의 V-V선 단면도, (e)는 (c)의 D부의 확대 단면도, (f)는 (d)의 E부의 확대 단면도이다.
도 11은 기판에 선회류 형성체를 장착한 흡인 유지체를 나타내는 평면도이다.
도 12는 도 11의 VI-VI선 단면도이다.
도 13은 도 12의 일부 확대 단면도이다.
도 14는 도 11의 우측면도이다.
도 15는 흡인 유지체의 다른 형태를 나타내는 평면도이다.
도 16은 반송 레일 사이의 이음매의 공간 부분과 피반송물의 관계를 나타내는 설명도이다.
도 2는 도 1의 단면 정면도이다.
도 3은 도 1의 I-I선 단면도이다.
도 4는 기판의 평면도이다.
도 5는 도 4의 II-II선 단면도이다.
도 6은 도 5의 일부 확대 단면도이다.
도 7은 도 4의 III-III선 단면도이다.
도 8은 기판의 배면도이다.
도 9는 평면시(平面視) 우측 회전 방향(시계 회전 방향)의 선회류를 발생시키는 선회류 형성체를 나타내는 도면이며, (a)는 정면도, (b)는 평면도, (c)는 저면도, (d)는 (b)의 IV-IV선 단면도, (e)는 (c)의 A부의 확대 단면도, (f)는 (d)의 B부의 확대 단면도이다.
도 10은 평면시 좌측 회전 방향(반시계 회전 방향)의 선회류를 발생시키는 선회류 형성체를 나타내는 도면이며, (a)는 정면도, (b)는 평면도, (c)는 저면도, (d)는 (c)의 V-V선 단면도, (e)는 (c)의 D부의 확대 단면도, (f)는 (d)의 E부의 확대 단면도이다.
도 11은 기판에 선회류 형성체를 장착한 흡인 유지체를 나타내는 평면도이다.
도 12는 도 11의 VI-VI선 단면도이다.
도 13은 도 12의 일부 확대 단면도이다.
도 14는 도 11의 우측면도이다.
도 15는 흡인 유지체의 다른 형태를 나타내는 평면도이다.
도 16은 반송 레일 사이의 이음매의 공간 부분과 피반송물의 관계를 나타내는 설명도이다.
다음에 본 발명의 실시형태를, 도면에 나타내는 바람직한 예에 기초하여 더욱 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서는, 피반송물로서 액정 유리(이하 「유리」라고 함)를 반송하는 경우를 예로 들어 설명한다.
도 1 내지 도 3에 있어서, 비접촉 반송 장치(1)는 본 예에서는 폭 방향으로 3열에 걸쳐 소정의 간격을 가지고 배치된 비접촉 반송 레일(2)과, 이 비접촉 반송 레일(2)과 반송 방향(X)으로 서로 이웃하여 배치된 3열의 비접촉 반송 레일(3)과, 이 비접촉 반송 레일(2 및 3)의 반송 방향(X)의 이음매(4)의 공간 부분(S)의 상방에, 이 이음매(4)의 공간 부분(S)을 끼우고 반송 방향(X)으로 서로 대향하여 배치된 비접촉 흡인 장치(5 및 5)와, 비접촉 반송 레일(2 및 3)을 폭 방향으로 끼우고 반송 방향(X)을 따라 배치된 벽부(6 및 6)에 회전이 자유롭게 지승된 복수개의 구동 장치로서의 구동 롤러(7)로 구성되고, 유리(G)는 구동 롤러(7)에 의해 반송 방향(X)을 따라 반송된다.
비접촉 흡인 장치(5)는 비접촉 반송 레일(2 및 3)의 반송 방향(X)의 이음매(4)의 공간부(S)를 끼우고 서로 대향하고, 또한 구동 롤러(7)를 끼우고 각각 서로 대향하여 세워져 설치된 한 쌍의 지주(8 및 8)와, 이 지주(8) 사이에 걸쳐 가로놓인 천정판(9 및 9)과, 이 천정판(9 및 9)의 하면에 고착된 흡인 유지체(10 및 10)로 구성되어 있다.
흡인 유지체(10)는 평면시(平面視) 사각형상의 기체(11)와 이 기체(11)에 장착된 선회류 형성체(12 또는 13)로 형성되어 있다.
기체(11)는 도 4 내지 도 8에 나타내는 바와 같이, 이 기체(11)의 길이 방향(Y)을 따름과 아울러 이 기체(11)의 폭 방향으로 2열에 걸쳐 형성되고, 이 기체(11)의 상면(14)에 개구하는 평면시 원형의 개구부(15)를 가짐과 아울러 바닥면부(16)를 구비한 원통 수용 오목부(17)와, 이 원통 수용 오목부(17)의 원통 내벽면부(18)에 이 원통 내벽면부(18)와 환형상 숄더부(19)를 통하여 직경확대하는 띠형상 원통 벽면부(20)와, 이 기체(11)의 길이 방향(Y)을 따라 형성되고, 일부가 이 원통 수용 오목부(17)의 바닥면부(16)에 개구하는 공기 통로(21)를 구비하고, 이 공기 통로(21)의 일방의 단부는 막다른 곳으로 되어 있고, 타방의 단부는 각각 이 공기 통로(21)의 단부에 형성된 암나사부(22)에 나사결합 고정된 폐색 마개(23)(도 14 참조)에 의해 폐색되어 있다.
이 기체(11)의 이면(24)에는 일방의 단부가 이 이면(24)에 개구하고, 타방의 단부가 이 공기 통로(21)에 각각 개구하는 공기 공급구(25)가 형성되고, 이 공기 공급구(25)에는 공급 펌프(도시하지 않음)가 연결된다.
이 기체(11)는 이 기체(11)에 설치된 복수개의 나사 구멍(26)에 나사결합된 나사(도시하지 않음)에 의해, 천정판(9)의 하면에 고착되어 있다.
기체(11)의 원통 수용 오목부(17)에 배치되는 선회류 형성체는, 도 9(a) 내지 (f)에 나타내는 우측 회전 방향(시계 회전 방향)의 선회류를 발생시키는 선회류 형성체(12)와, 도 10(a) 내지 (f)에 나타내는 좌측 회전 방향(반시계 회전 방향)의 선회류를 발생시키는 선회류 형성체(13)가 각각 단독으로, 또는 양자를 조합하여 사용된다.
도 9(a) 내지 (f)에 나타내는 우측 회전 방향(시계 회전 방향)의 선회류를 발생시키는 선회류 형성체(12)는 일방의 단부에 평면시 대략 원형의 개구부(12a)를 가지고, 타방의 단부에 바닥면부(12b)를 가지는 원통형상 오목부(12c)를 구비한 원통형상 본체(12d)와, 이 원통형상 본체(12d)의 원통형상 오목부(12c)의 개구부(12a)의 외주 가장자리에 형성된 환형상 플랜지부(12e)와, 이 환형상 플랜지부(12e)의 외주면(12f)으로부터 하방으로 늘어뜨려지고, 선단에 걸음 돌기(12g)를 가지고 이 외주면(12f)의 직경 방향으로 서로 대향하여 형성된 복수개, 본 예에서는 4개의 걸어맞춤 수하부(12h)와, 원통형상 오목부(12c)의 원통 내벽면(12i)에 이 원통 내벽면(12i)의 접선 방향으로서 이 원통형상 오목부(12c)의 중심(O)을 끼우고 대각선 상의 서로 대향하는 위치에 이 원통 내벽면(12i)으로부터 직경 방향 바깥쪽으로 함몰된 평면시 삼각형상의 오목부(12j 및 12j)와, 각각의 오목부(12j 및 12j)의 내측 벽면부(12k 및 12k)에 형성되고, 원통형상 오목부(12c)의 원통 내벽면(12i)측을 향하여 각각 반대 방향으로 개구하는 공기 분출구(12l 및 12l)와, 이 공기 분출구(12l 및 12l)에 연통하고, 원통형상 본체(12d)의 외주면(12m)으로부터 돌출된 오목부(12j 및 12j)의 외측 벽면부(12n 및 12n)에 개구하는 공기 취입구(12o 및 12o)를 구비하고 있다.
상기 선회류 형성체(12)의 공기 취입구(12o 및 12o)로부터 공급된 공기는 각각 공기 분출구(12l 및 12l)를 통하여 원통형상 본체(12d)의 원통형상 오목부(12c)에 분출되고, 이 원통형상 오목부(12c)의 내부 공간에서 평면시 우측 회전 방향의 선회류(도 9(b) 중의 화살표 C방향)가 되어 이 원통형상 오목부(11d)의 개구부(11a)로부터 유출된다.
도 10(a) 내지 (f)에 나타내는 좌측 회전 방향의 상승 선회류를 발생시키는 선회류 형성체(13)는 상기 선회류 형성체(12)와 마찬가지로, 일방의 단부에 평면시 대략 원형의 개구부(13a)를 가지고, 타방의 단부위에 바닥면부(13b)를 가지는 원통형상 오목부(13c)를 구비한 원통형상 본체(13d)와, 이 원통형상 본체(13d)의 원통형상 오목부(13c)의 개구부(13a)의 외주 가장자리에 형성된 환형상 플랜지부(13e)와, 이 환형상 플랜지부(13e)의 외주면(13f)으로부터 하방으로 늘어뜨려지고, 선단에 걸음 돌기(13g)를 가지고 이 외주면(13f)의 직경 방향으로 서로 대향하여 형성된 복수개, 본 예에서는 4개의 걸어맞춤 수하부(13h)와, 원통형상 오목부(13c)의 원통 내벽면(13i)에 이 원통 내벽면(13i)의 접선 방향으로서 이 원통 오목부(13c)의 중심(O)을 끼우고 대각선 상의 서로 대향하는 위치에 이 원통 내벽면(13i)으로부터 직경 방향 바깥쪽으로 함몰된 평면시 삼각형상의 오목부(13j 및 13j)와, 각각의 오목부(13j 및 13j)의 내측 내벽면(13k 및 13k)에 형성되고, 원통 오목부(13c)의 원통 내벽면(13i)측을 향하여 각각 반대 방향으로 개구하는 공기 분출구(13l 및 13l)와, 이 공기 분출구(13l 및 13l)에 연통하고, 원통형상 본체(13d)의 외주면(13m)으로부터 돌출된 오목부(13j 및 13j)의 외측 벽면부(13n 및 13n)에 개구하는 공기 취입구(13o 및 13o)를 구비하고 있다.
상기 선회류 형성체(13)의 공기 취입구(13o 및 13o)로부터 공급된 공기는 각각 공기 분출구(13l 및 13l)를 통하여 원통형상 본체(13d)의 원통형상 오목부(13c)에 분출되고, 이 원통형상 오목부(13c)의 내부 공간에서 평면시 좌측 회전의 선회류(도 10(b) 중의 화살표 F방향)가 되어 이 원통형상 오목부(13d)의 개구부(13a)로부터 유출된다.
이들 선회류 형성체(12 및 13)는 예를 들면 폴리아세탈 수지, 폴리페닐렌설파이드 수지(PPS) 등의 열가소성 합성 수지로 형성되어 있다.
상기 선회류 형성체(12)는 원통형상 본체(12d)의 환형상 플랜지부(12e)의 외주면(12f)을, 상기 기판(11)의 원통 수용 오목부(17)의 원통 내벽면부(18)에 압입하여 끼워맞추고, 걸어맞춤 수하부(12h)의 걸음 돌기(12g)를 각각 이 기체(11)의 원통 내벽면부(18)의 환형상 숄더부(19)에 걸어맞춤으로써, 이 기체(11)의 원통 수용 오목부(17)에 장착된다.
선회류 형성체(13)도 상기 선회류 형성체(12)와 마찬가지의 방법으로, 기체(11)의 원통 수용 오목부(17)에 장착된다.
기체(11)의 원통 수용 오목부(17)에 선회류 형성체(12)를 장착하여 형성된 흡인 유지체(10)는 이 선회류 형성체(12)가 장착된 측의 면, 바꾸어 말하면 기체(11)의 상면(14)을 하방향으로 하여 천정판(9)(도 1 내지 도 3 참조)의 하면에 고착된다.
다음에, 상기 구성으로 이루어지는 비접촉 반송 장치(1)의 동작에 대해서, 도 1 및 도 2를 중심으로 참조하면서 설명한다.
비접촉 반송 레일(2) 상에 배치된 유리(G)는 이 반송 레일(2) 상을 부상하면서 구동 롤러(7)에 의해 반송 방향(X)으로 반송된다. 유리(G)가 이 반송 레일(2)과 이 반송 레일(2)과 반송 방향(X)으로 서로 이웃하는 반송 레일(3) 사이의 이음매(4)의 공간 부분(S)에 당도하기 바로 앞에, 비접촉 흡인 장치(5 및 5)에 있어서의 흡인 유지체(10)의 공기 공급구(25)에 압축 공기가 공급되고, 압축 공기는 공기 통로(21)로부터 이 공기 통로(21)에 연통하는 원통 수용 오목부(17)의 바닥면부(16)에 유동한다. 원통 수용 오목부(17)에 유동한 압축 공기는 이 원통 수용 오목부(17)에 장착된 선회류 형성체(12)의 공기 취입구(12o 및 12o)로부터 공기 분출구(12l 및 12l)를 통하여 원통형상 본체(12d)의 원통형상 오목부(12c)에 분출된다. 이 원통형상 오목부(12c)에 분출된 압축 공기는 원통형상 오목부(12c)의 내부 공간에서 평면시 우측 회전 방향의 선회류가 되어 이 원통형상 오목부(12c)의 개구부(12a)로부터 유출된다.
이 때, 선회류 형성체(12)의 환형상 플랜지부(12e)의 단면과 서로 대향하는 위치에 유리(G)가 반송되고 있으므로, 원통형상 오목부(12c)의 개구부(12a)로부터 유출된 공기는 환형상 플랜지부(12e)의 단면을 따라 고속류가 되어 유출되므로, 이 환형상 플랜지부(12e)의 단면과 유리(G) 사이는 부압이 된다. 이 부압에 의해 유리(G)는 환형상 플랜지부(12e)측에 흡인되는데, 원통형상 오목부(12c)의 개구부(12a)로부터 유출되어 환형상 플랜지부(12e)의 단면과 유리(G) 사이에 선회류로서 개재하는 공기에 의해 반발력을 받고, 이 반발력과 부압의 밸런스에 의해, 유리(G)는 환형상 플랜지부(12e)의 단면에 서로 대향한 상태로, 비접촉으로 유지된다.
이와 같이, 유리(G)는 비접촉 상태를 유지하면서 이 흡인 유지체(10)측에 흡인 유지되므로, 반송 레일(2 및 3) 사이의 이음매(4)의 공간 부분(S)에 유리(G)가 오버행하지 않고, 반송 레일(3)에 충돌하지 않고 서로 이웃하는 반송 레일(3)로 옮겨탈 수 있다.
또한, 이상의 설명에 있어서는, 기체(11)의 원통 수용 오목부(17)에 선회류 형성체(12)를 장착하여 형성한 흡인 유지체(10)를 사용한 태양을 설명했는데, 기체(11)의 원통 수용 오목부(17)에 선회류 형성체(13)를 장착하여 형성한 흡인 유지체(10)를 사용해도 되고, 또 선회류 형성체(12 및 13)를 반송 방향(X)으로 교대로 장착하여 형성한 흡인 유지체(10)를 사용해도 된다. 또, 흡인 유지체(10)로서 도15에 나타내는 바와 같이, 기체(11)에 선회류 형성체(12 또는 13)를 길이 방향으로 지그재그형상으로 장착한 흡인 유지체(10)를 사용해도 된다.
이상과 같이, 비접촉 반송 레일(2)을 따라 부상 반송된 유리(G)의 반송 방향의 선단부는, 이 비접촉 반송 레일(2)과 반송 방향으로 서로 이웃하는 비접촉 반송 레일(3)과의 이음매(4)의 공간 부분(S)에 반송되는 바로 앞에 있어서, 이 이음매(4)의 공간 부분(S)을 끼우고 반송 방향으로 서로 대향하여 설치된 비접촉 흡인 장치(5 및 5)에 있어서, 이 흡인 장치(5)를 형성하는 흡인 유지체(10)에 의해, 이 흡인 유지체(10)와는 비접촉 상태로 흡인 유지됨과 아울러, 당해 흡인 유지된 상태를 유지하여 이 이음매(4)의 공간 부분(S)을 통과하여 반송되므로, 유리(G)의 반송 방향의 선단부가 반송 방향으로 서로 이웃하는 비접촉 반송 레일(3)에 충돌하지 않고, 유리(G)를 손상시키지 않는 비접촉 반송 장치를 제공할 수 있다.
1…비접촉 반송 장치
2, 3…비접촉 반송 레일
4…이음매
5…비접촉 흡인 장치
6…벽부
7…구동 롤러
8…지주
9…천정판
10…흡인 유지체
11…기체
12, 13…선회류 형성체
14…상면
15…개구부
16…바닥면부
17…원통 수용 오목부
18…원통 내벽면부
19…환형상 숄더부
20…띠형상 원통 벽면부
21…공기 통로
22…암나사부
23…폐색 마개
24…이면
25…공기 공급구
26…나사 구멍
2, 3…비접촉 반송 레일
4…이음매
5…비접촉 흡인 장치
6…벽부
7…구동 롤러
8…지주
9…천정판
10…흡인 유지체
11…기체
12, 13…선회류 형성체
14…상면
15…개구부
16…바닥면부
17…원통 수용 오목부
18…원통 내벽면부
19…환형상 숄더부
20…띠형상 원통 벽면부
21…공기 통로
22…암나사부
23…폐색 마개
24…이면
25…공기 공급구
26…나사 구멍
Claims (5)
- 비접촉 반송 레일과, 이 비접촉 반송 레일과 피반송물의 반송 방향으로 서로 이웃하여 배열된 비접촉 반송 레일과, 이들 비접촉 반송 레일의 이음매의 상방에, 이 이음매의 공간 부분을 끼우고 서로 대향하여 배치되고, 상기 피반송물을 흡인하는 비접촉 흡인 장치로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 비접촉 흡인 장치는, 상기 비접촉 반송 레일의 이음매의 공간 부분을 끼우고 서로 대향함과 아울러, 비접촉 반송 레일의 폭 방향으로 서로 대향하여 세워져 설치된 한 쌍의 지주와, 이 지주 사이에 걸쳐 가로놓인 천정판과, 이 천정판의 하면에 고착된 흡인 유지체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 흡인 유지체는 평면시 사각형상의 기체와, 이 기체에 장착된 선회류 형성체로 이루어지고, 이 선회류 형성체를 장착한 측의 면을 하면으로 하여 이 천정체의 하면에 고착되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
- 제 3 항에 있어서, 상기 기체는 상면에 개구하는 평면시 원형의 개구부를 가짐과 아울러 바닥면부를 구비한 원통 수용 오목부와, 이 원통 수용 오목부의 원통 내벽면부에 이 원통 내벽면부와 환형상 숄더부를 통하여 직경확대하는 띠형상 원통 벽면부와, 이 기판의 길이 방향을 따라 형성되고, 일부가 이 원통 수용 오목부의 바닥면부에 개구하는 공기 통로와, 일방의 단부가 이 기체의 이면에 개구하고, 타방의 단부가 이 공기 통로에 개구하는 공기 공급구를 구비하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
- 제 4 항에 있어서, 상기 선회류 형성체는, 일방의 단부에 평면시 대략 원형의 개구부를 가지고, 타방의 단부에 바닥면부를 가지는 원통형상 오목부를 구비한 원통형상 본체와, 이 원통형상 본체의 원통형상 오목부의 개구부의 외주 가장자리에 형성된 환형상 플랜지부와, 이 환형상 플랜지부의 외주면으로부터 하방으로 늘어뜨려지고, 선단에 걸음 돌기를 가지고 이 외주면의 직경 방향으로 서로 대향하여 형성된 복수개의 걸어맞춤 수하부와, 상기 원통형상 오목부의 원통 내벽면에 이 원통 내벽면의 접선 방향으로서 이 원통형상 오목부의 중심을 끼우고 대각선 상의 서로 대향하는 위치에 이 원통 내벽면으로부터 직경 방향 바깥쪽으로 함몰된 평면시 삼각형상의 오목부와, 이 각각의 오목부의 내측 벽면부에 형성되고, 원통형상 오목부의 원통 내벽면측을 향하여 각각 반대 방향으로 개구하는 공기 분출구와, 이 공기 분출구에 연통하고, 원통형상 본체의 외주면으로부터 돌출된 오목부의 외측 벽면부에 개구하는 공기 취입구를 구비하고, 이 선회류 형성체는, 상기 원통형상 본체의 환형상 플랜지부의 외주면을, 상기 기체의 상기 원통 수용 오목부의 원통 내벽면부에 압입하여 끼워맞추고, 상기 걸어맞춤 수하부의 걸음 돌기를, 각각 이 기체의 상기 원통 내벽면부의 환형상 숄더부에 걸어맞추어 이 기체의 원통 수용 오목부에 장착되는 것을 특징으로 하는 피접촉 반송 장치.
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