CN106144594B - 用来运送平板构件的输送载具 - Google Patents
用来运送平板构件的输送载具 Download PDFInfo
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Abstract
一种用来运送平板构件的输送载具,包含有一基座、一第一进气嘴结构、多个气孔结构、一第二进气嘴结构以及多个流道结构,所述基座内形成有一第一中空腔室及一第二中空腔室,所述第一中空腔室连通于所述第一进气嘴结构与所述多个气孔结构,所述第一进气嘴结构用以喷射一第一气流进入所述第一中空腔室并使所述第一气流通过所述多个气孔结构喷出,所述第二中空腔室连通于所述第二进气嘴结构与所述多个流道结构,所述第二进气嘴结构用以喷射一第二气流进入所述第二中空腔室并使所述第二气流通过所述多个流道结构喷出。
Description
技术领域
本发明涉及一种输送载具,特别是有关一种用来运送平板构件的输送载具。
背景技术
近来,显示器的玻璃基材朝向大型化及薄型化的方向发展,在生产制造时,现有的滚轮输送系统利用滚轮作为支撑及输送玻璃基材的媒介,会在输送过程中因滚轮与玻璃基材接触而造成玻璃基材表面的损伤(例如刮伤、撞伤等),进而影响产品良率。因此,如何设计不会对玻璃基材表面造成损伤且可保持输送稳定性的输送载具便成为业界所需努力的课题。
发明内容
因此,本发明提供一种不会对玻璃基材表面造成损伤且可保持输送稳定性的输送载具,以解决上述问题。
为了达成上述目的,本发明公开一种用来运送一平板构件的输送载具,包含有一基座、一第一进气嘴结构、多个气孔结构、一第二进气嘴结构以及多个流道结构,所述基座内形成有一第一中空腔室及一第二中空腔室,所述平板构件放置于所述基座上方,所述第一进气嘴结构设置于所述基座上且连通于所述第一中空腔室,所述第一进气嘴结构用以喷射一第一气流进入所述第一中空腔室,所述多个气孔结构形成于所述基座上且连通于所述第一中空腔室,进入所述第一中空腔室的所述第一气流通过所述多个气孔结构喷出,以推升所述平板构件于所述基座上方,所述第二进气嘴结构设置于所述基座上且连通于所述第二中空腔室,所述第二进气嘴结构用以喷射一第二气流进入所述第二中空腔室,所述多个流道结构形成于所述基座上且连通于所述第二中空腔室,所述多个流道结构分别导引进入所述第二中空腔室的所述第二气流沿不垂直于所述平板构件的方向喷出。
根据本发明其中之一实施方式,本发明进一步公开所述基座具有一第一侧板及一第二侧板,所述平板构件放置于所述第一侧板上方,所述第一进气嘴结构与所述第二进气嘴结构分别设置于所述第二侧板上,且所述多个气孔结构及所述多个流道结构分别设置于所述第一侧板上。
根据本发明其中之一实施方式,本发明进一步公开所述多个流道结构分别包含有一凹杯结构以及一导流结构,所述凹杯结构设置于所述第一侧板且朝所述第二侧板凹陷,所述凹杯结构具有一凹杯侧壁及一凹杯底壁,所述凹杯底壁上形成有一透气孔,所述凹杯侧壁相对所述第一侧板倾斜,所述导流结构设置于所述凹杯结构内且具有一导流侧壁,所述导流侧壁平行于所述凹杯侧壁且与所述凹杯侧壁间具有一间隙,进入所述第二中空腔室的所述第二气流通过所述间隙沿不垂直于所述平板构件的方向喷出。
根据本发明其中之一实施方式,本发明进一步公开所述间隙小于各气孔结构的孔径。
根据本发明其中之一实施方式,本发明进一步公开所述多个气孔结构的一开口法线方向实质上垂直于所述平板构件。
根据本发明其中之一实施方式,本发明进一步公开所述输送载具进一步包含有一第一气流装置以及一第二气流装置,所述第一气流装置耦接于所述第一进气嘴结构,用以提供所述第一气流至所述第一进气嘴结构,所述第二气流装置耦接于所述第二进气嘴结构,用以提供所述第二气流至所述第二进气嘴结构。
根据本发明其中之一实施方式,本发明进一步公开所述第一气流装置为一低压风机鼓风机或一低压空气清净机,且所述第二气流装置为一高压风机鼓风机或一高压空气清净机。
根据本发明其中之一实施方式,本发明进一步公开所述第一中空腔室不连通于所述第二中空腔室。
综上所述,本发明的输送载具利用多个气孔结构使进入第一中空腔室的所述第一气流通过所述多个气孔结构喷出而对平板构件产生一抬升力,以使平板构件悬浮于平板构件上,这样平板构件便不会与基座接触,以防止平板构件与基座接触而造成平板构件表面的损伤(例如刮伤、撞伤等),进而提升平板构件的产品良率。此外,本发明的输送载具进一步利用多个流道结构分别导引进入第二中空腔室的第二气流沿不垂直于平板构件的方向喷出而对平板构件的上下两侧造成一压力差,即本发明的输送载具分别利用多个气孔结构与多个流道结构分别对平板构件产生抬升力与下压力,进而使平板构件与基座间保持稳定的间距,以便平板构件进行后续制程(例如高速翻动或180度翻转等)而仍能将平板构件稳定维持于基座上方。有关本发明的前述及其他技术内容、特点与功效,在以下配合参考附图的实施例的详细说明中,将可清楚的呈现。
附图说明
图1为本发明实施例输送载具的侧视示意图。
图2为本发明实施例输送载具的俯视示意图。
图3为图2所示的输送载具沿剖面线A-A的部分剖面示意图。
图4为图2所示的输送载具沿剖面线B-B的部分剖面示意图。
其中,附图标记说明如下:
3000 输送载具
1 平板构件
2 基座
20 第一中空腔室
21 第一侧板
22 第二侧板
23 第二中空腔室
3 第一进气嘴结构
4 气孔结构
40 开口法线方向
5 流道结构
50 凹杯结构
501 凹杯侧壁
502 凹杯底壁
503 透气孔
51 导流结构
510 导流侧壁
6 第一气流装置
7 第二进气嘴结构
8 第二气流装置
F1 第一气流
F2 第二气流
G 间隙
A-A、B-B 剖面线
具体实施方式
以下实施例中所提到的方向用语,例如:上、下、左、右、前或后等,仅是参考附加附图的方向。因此,使用的方向用语是用来说明并非用来限制本发明。请参阅图1以及图2,图1为本发明实施例一输送载具3000的侧视示意图,图2为本发明实施例输送载具3000的俯视示意图。如图1以及图2所示,输送载具3000用来运送一平板构件1,在此实施例中,平板构件1可为一显示器(未绘示于图中)的玻璃基材,但本发明不受此限。
请参阅图1至图4,图3为图2所示的输送载具3000沿剖面线A-A的部分剖面示意图,图4为图2所示的输送载具3000沿剖面线B-B的部分剖面示意图。如图1至图4所示,输送载具3000包含有一基座2、一第一进气嘴结构3、多个气孔结构4、多个流道结构5、一第一气流装置6、一第二进气嘴结构7以及一第二气流装置8,基座2内形成有一第一中空腔室20以及一第二中空腔室23,其中平板构件1放置于基座2上方。第一进气嘴结构3设置于基座2上且连通于第一中空腔室20,第二进气嘴结构7设置于基座2上且连通于第二中空腔室23。
此外,第一气流装置6耦接于第一进气嘴结构3,用以提供一第一气流F1至第一进气嘴结构3,以使第一进气嘴结构3可用以喷射第一气流F1进入第一中空腔室20。第二气流装置8耦接于第二进气嘴结构7,用以提供一第二气流F2至第二进气嘴结构7,以使第二进气嘴结构7可用以喷射第二气流F2进入第二中空腔室23。在此实施例中,第一气流装置6可为一低压风机鼓风机或一低压空气清净机,第二气流装置8可为一高压风机鼓风机或一高压空气清净机,但本发明不受此限。
进一步地,基座2具有一第一侧板21(即基座2的上侧板)及一第二侧板22(即基座2的下侧板),其中平板构件1是放置于第一侧板21上方,即第一进气嘴结构3以及第二进气嘴结构7位于基座2的同侧且与平板构件1是分别设置于基座2的上下两侧,但本发明不受此限。此外,多个气孔结构4与多个流道结构5分别设置于基座2的第一侧板21上,多个气孔结构4连通于第一中空腔室20,多个流道结构5连通于第二中空腔室23。
另外,多个流道结构5分别包含有一凹杯结构50以及一导流结构51,凹杯结构50设置于基座2的第一侧板21且朝第二侧板22凹陷,凹杯结构50具有一凹杯侧壁501及一凹杯底壁502,凹杯底壁502上形成有一透气孔503,且凹杯侧壁501相对第一侧板21倾斜,导流结构51设置于凹杯结构50内且具有一导流侧壁510,导流侧壁510平行于凹杯侧壁501且与凹杯侧壁501间具有一间隙G。
如图1至图4所示,当欲利用输送载具3000运送平板构件1时,第一气流装置6可提供第一气流F1至第一进气嘴结构3,以使第一进气嘴结构3喷射第一气流F1进入基座2的第一中空腔室20且使第一中空腔室20被第一气流F1充满。当第一进气嘴结构3持续喷射第一气流F1进入第一中空腔室20时,进入第一中空腔室20的第一气流F1可通过多个气孔结构4喷出,此时第一气流F1便可推升平板构件1于基座2上方,使平板构件1悬浮于基座2的第一侧板21上方,这样平板构件1便不会与基座2的第一侧板21接触,以防止平板构件1与基座2的第一侧板21接触而造成平板构件1表面的损伤(例如刮伤、撞伤等),进而提升平板构件1的产品良率。在此实施例中,气孔结构4的一开口法线方向40可实质上垂直于平板构件1,以使第一气流F1沿垂直于平板构件1的方向(即开口法线方向40)喷向平板构件1,进而有效提供平板构件1一抬升力。
此外,第二气流装置8可提供第二气流F2至第二进气嘴结构7,以使第二进气嘴结构7喷射第二气流F2进入基座2的第二中空腔室23且使第二中空腔室23被第二气流F2充满。当第二进气嘴结构7持续喷射第二气流F2进入第二中空腔室23时,进入第二中空腔室23的第二气流F2可通过透气孔503进入导流结构51的导流侧壁510与凹杯结构50的凹杯侧壁501间的间隙G,进而使多个流道结构5利用导流结构51的导流侧壁510与凹杯结构50的凹杯侧壁501间的间隙G分别导引第二气流F2沿不垂直于平板构件1的方向喷出,从而使平板构件1邻近各流道结构5处与基座2的第一侧板21间的空间内形成一负压,即平板构件1邻近各流道结构5处与基座2的第一侧板21间的空间内的空气会被第二气流F2沿不垂直于平板构件1的方向带出,使得平板构件1邻近各流道结构5处与基座2的第一侧板21间的空间内的压力小于平板构件1相反于基座2的另一侧的压力,借此第二气流F2便会对平板构件1的上下两侧产生一压力差而将平板构件1压往基座2的第一侧板21,这样第二气流F2对平板构件1的上下两侧所造成的所述压力差便可与第一气流F1对平板构件1所提供的所述抬升力达成平衡,以使平板构件1与基座2的第一侧板21保持稳定的间距。在此实施例中,导流结构51的导流侧壁510与凹杯结构50的凹杯侧壁501间的间隙G可小于各气孔结构4的孔径,但本发明不受此限。值得一提的是,基座2的第一中空腔室20不连通于第二中空腔室23,借此由第一气流装置6(即所述低压风机鼓风机或所述低压空气清净机)所提供的第一气流F1(即低压气流)便会维持于第一中空腔室20内,不会进入第二气流装置8(即所述高压风机鼓风机或所述高压空气清净机)所提供的第二气流F2(即高压气流),即基座2的第一中空腔室20不连通于第二中空腔室23的结构设计可防止第一中空腔室20内的第一气流F1不会与第二中空腔室23内的第二气流F2混合,以便使输送载具3000分别借由第一气流F1与第二气流F2而能独立提供所述抬升力与所述压力差,进而能确实使平板构件1与基座2的第一侧板21保持稳定的间距。
相较于现有技术,本发明的输送载具利用多个气孔结构使进入第一中空腔室的所述第一气流通过所述多个气孔结构喷出而对平板构件产生一抬升力,以使平板构件悬浮于平板构件上,这样平板构件便不会与基座接触,以防止平板构件与基座接触而造成平板构件表面的损伤(例如刮伤、撞伤等),进而提升平板构件的产品良率。此外,本发明的输送载具进一步利用多个流道结构分别导引进入第二中空腔室的第二气流沿不垂直于平板构件的方向喷出而对平板构件的上下两侧造成一压力差,即本发明的输送载具分别利用多个气孔结构与多个流道结构分别对平板构件产生抬升力与下压力,进而使平板构件与基座间保持稳定的间距,以便平板构件进行后续制程(例如高速翻动或180度翻转等)而仍能将平板构件稳定维持于基座上方。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种用来运送一平板构件的输送载具,其特征在于,包含有:
一基座,其内形成有一第一中空腔室及一第二中空腔室,所述平板构件放置于所述基座上方;
一第一进气嘴结构,设置于所述基座上且连通于所述第一中空腔室,所述第一进气嘴结构用以喷射一第一气流进入所述第一中空腔室;
多个气孔结构,形成于所述基座上且连通于所述第一中空腔室,进入所述第一中空腔室的所述第一气流通过所述多个气孔结构喷出,以推升所述平板构件于所述基座上方;
一第二进气嘴结构,设置于所述基座上且连通于所述第二中空腔室,所述第二进气嘴结构用以喷射一第二气流进入所述第二中空腔室;
多个流道结构,形成于所述基座上且连通于所述第二中空腔室,所述多个流道结构分别导引进入所述第二中空腔室的所述第二气流沿不垂直于所述平板构件的方向喷出;
一第一气流装置,耦接于所述第一进气嘴结构,用以提供所述第一气流至所述第一进气嘴结构;以及
一第二气流装置,耦接于所述第二进气嘴结构,用以提供所述第二气流至所述第二进气嘴结构。
2.如权利要求1所述的输送载具,其特征在于,所述基座具有一第一侧板及一第二侧板,所述平板构件放置于所述第一侧板上方,所述第一进气嘴结构与所述第二进气嘴结构分别设置于所述第二侧板上,且所述多个气孔结构及所述多个流道结构分别设置于所述第一侧板上。
3.如权利要求2所述的输送载具,其特征在于,所述多个流道结构分别包含有:
一凹杯结构,设置于所述第一侧板且朝所述第二侧板凹陷,所述凹杯结构具有一凹杯侧壁及一凹杯底壁,所述凹杯底壁上形成有一透气孔,所述凹杯侧壁相对所述第一侧板倾斜;以及
一导流结构,设置于所述凹杯结构内且具有一导流侧壁,所述导流侧壁平行于所述凹杯侧壁且与所述凹杯侧壁间具有一间隙,进入所述第二中空腔室的所述第二气流通过所述间隙沿不垂直于所述平板构件的方向喷出。
4.如权利要求3所述的输送载具,其特征在于,所述间隙小于各气孔结构的孔径。
5.如权利要求1所述的输送载具,其特征在于,所述多个气孔结构的一开口法线方向垂直于所述平板构件。
6.如权利要求1所述的输送载具,其特征在于,所述第一气流装置为一低压风机鼓风机或一低压空气清净机,且所述第二气流装置为一高压风机鼓风机或一高压空气清净机。
7.如权利要求1所述的输送载具,其特征在于,所述第一中空腔室不连通于所述第二中空腔室。
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Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI543918B (zh) * | 2015-05-11 | 2016-08-01 | 盟立自動化股份有限公司 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
CN106564013B (zh) * | 2016-10-26 | 2018-08-24 | 胡妹芳 | 一种光伏焊带表面蚀点的加工装置 |
CN107555174A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-01-09 | 浙江云峰莫干山家居用品有限公司 | 气浮平台 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1251419A (zh) * | 1998-08-20 | 2000-04-26 | 松下电器产业株式会社 | 气体漂浮装置、气体漂浮运送装置及热处理装置 |
US6781684B1 (en) * | 2000-11-07 | 2004-08-24 | Donald L. Ekhoff | Workpiece levitation using alternating positive and negative pressure flows |
CN101124133A (zh) * | 2004-04-14 | 2008-02-13 | 科福罗科学解决方案有限公司 | 用于调整距离的非接触支撑平台 |
CN103662835A (zh) * | 2013-09-03 | 2014-03-26 | 浙江大学 | 气旋流悬浮装置 |
CN204957799U (zh) * | 2015-05-11 | 2016-01-13 | 盟立自动化股份有限公司 | 用来运送平板构件的输送载具 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006008350A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Motoyama:Kk | 物体浮上ユニットおよび物体浮上装置 |
JP2007230738A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Shinko Electric Co Ltd | エア浮上ユニット、およびエア浮上ユニットの製造方法 |
CN201084722Y (zh) * | 2007-05-30 | 2008-07-09 | 秦彪 | 一种热管式cpu散热器 |
JP2010073883A (ja) * | 2008-09-18 | 2010-04-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置ならびに基板位置決め方法および装置 |
KR101142959B1 (ko) * | 2009-06-29 | 2012-05-08 | 김영태 | 평판 정밀 플로팅 시스템 |
KR101293289B1 (ko) * | 2010-06-04 | 2013-08-09 | 김영태 | 비접촉식 이송장치 |
FI126983B (fi) * | 2013-10-03 | 2017-09-15 | Glaston Finland Oy | Laite lasilevyn kuljettamiseksi kuumennusuunin ilmakannatuspöydällä |
CN204872883U (zh) * | 2015-05-11 | 2015-12-16 | 盟立自动化股份有限公司 | 用来运送平板构件的输送载具 |
-
2015
- 2015-07-13 TW TW104122459A patent/TWI543918B/zh active
- 2015-07-13 TW TW104211272U patent/TWM511495U/zh unknown
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- 2015-08-25 TW TW104127623A patent/TWI545074B/zh active
- 2015-08-25 TW TW104213707U patent/TWM512020U/zh unknown
- 2015-10-21 TW TW104134467A patent/TWI562947B/zh active
- 2015-10-21 TW TW104216807U patent/TWM514990U/zh unknown
- 2015-10-21 TW TW104216817U patent/TWM520531U/zh unknown
- 2015-10-21 TW TW104134466A patent/TWI592351B/zh active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1251419A (zh) * | 1998-08-20 | 2000-04-26 | 松下电器产业株式会社 | 气体漂浮装置、气体漂浮运送装置及热处理装置 |
US6781684B1 (en) * | 2000-11-07 | 2004-08-24 | Donald L. Ekhoff | Workpiece levitation using alternating positive and negative pressure flows |
CN101124133A (zh) * | 2004-04-14 | 2008-02-13 | 科福罗科学解决方案有限公司 | 用于调整距离的非接触支撑平台 |
CN103662835A (zh) * | 2013-09-03 | 2014-03-26 | 浙江大学 | 气旋流悬浮装置 |
CN204957799U (zh) * | 2015-05-11 | 2016-01-13 | 盟立自动化股份有限公司 | 用来运送平板构件的输送载具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI562947B (en) | 2016-12-21 |
TW201639765A (zh) | 2016-11-16 |
CN106144594A (zh) | 2016-11-23 |
TWI592351B (zh) | 2017-07-21 |
TWM511495U (zh) | 2015-11-01 |
CN204957799U (zh) | 2016-01-13 |
TWI545074B (zh) | 2016-08-11 |
CN106144593B (zh) | 2019-11-01 |
TW201639764A (zh) | 2016-11-16 |
TW201639763A (zh) | 2016-11-16 |
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