TWM512020U - 用來運送平板構件之輸送載具 - Google Patents
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Description
本創作關於一種輸送載具,尤指一種用來運送平板構件之輸送載具。
近來,顯示器的玻璃基材朝向大型化及薄型化的方向發展,於生產製造時,習知的滾輪輸送系統利用滾輪作為支撐及輸送玻璃基材的媒介,會在輸送過程中因滾輪與玻璃基材接觸而造成玻璃基材表面的損傷(例如刮傷、撞傷等),進而影響產品良率。因此,如何設計不會對玻璃基材表面造成損傷且可保持輸送穩定性的輸送載具便成為業界所需努力的課題。
因此,本創作提供一種不會對玻璃基材表面造成損傷且可保持輸送穩定性的輸送載具,以解決上述問題。
為了達成上述目的,本創作揭露一種用來運送一平板構件之輸送載具,其包含有一基座、一第一進氣嘴結構、複數個氣孔結構、一第二進氣嘴結構以及複數個流道結構,該基座內形成有一第一中空腔室及一第二中空腔室,該平板構件放置於該基座上方,該第一進氣嘴結構設置於該基座上且連通於該第一中空腔室,該第一進氣嘴結構用以噴射一第一氣流進入該第一中空腔室,該複數個氣孔結構形成於該基座上且連通於該第一中空腔室,進入該第一中空腔室之該第一氣流經由該複數個氣孔結構噴出,以推昇該平板構件於該基座上方,該第二進氣嘴結構設置於該基座上且連通於該第二中空腔室,該第二進氣嘴結構用以噴射一第二氣流進入該第二中空腔室,該複數個流道結構形成於該基座上且連通於該第二中空腔室,該複數個流道結構分別導引進入該第二中空腔室之該第二氣流沿不垂直於該平板構件的方向噴出。
根據本創作之其中之一實施方式,本創作另揭露該基座具有一第一側板及相反於該第一側板之一第二側板,該平板構件放置於該第一側板上方,該第一進氣嘴結構與該第二進氣嘴結構分別設置於該第二側板上,且該複數個氣孔結構及該複數個流道結構分別設置於該第一側板上。
根據本創作之其中之一實施方式,本創作另揭露該複數個流道結構分別包含有一凹杯結構以及一導流結構,該凹杯結構設置於該第一側板且朝該第二側板凹陷,該凹杯結構具有一凹杯側壁及一凹杯底壁,該凹杯底壁上形成有一透氣孔,該凹杯側壁相對該第一側板傾斜,該導流結構設置於該凹杯結構內且具有一導流側壁,該導流側壁平行於該凹杯側壁且與該凹杯側壁間具有一間隙,進入該第二中空腔室之該第二氣流經由該間隙沿不垂直於該平板構件之方向噴出。
根據本創作之其中之一實施方式,本創作另揭露該間隙小於各氣孔結構的孔徑。
根據本創作之其中之一實施方式,本創作另揭露該複數個氣孔結構的一開口法線方向實質上垂直於該平板構件。
根據本創作之其中之一實施方式,本創作另揭露該輸送載具另包含有一第一氣流裝置以及一第二氣流裝置,該第一氣流裝置耦接於該第一進氣嘴結構,用以提供該第一氣流至該第一進氣嘴結構,該第二氣流裝置耦接於該第二進氣嘴結構,用以提供該第二氣流至該第二進氣嘴結構。
根據本創作之其中之一實施方式,本創作另揭露該第一氣流裝置為一低壓風機鼓風機或一低壓空氣清淨機,且該第二氣流裝置為一高壓風機鼓風機或一高壓空氣清淨機。
根據本創作之其中之一實施方式,本創作另揭露該第一中空腔室不連通於該第二中空腔室。
綜上所述,本創作的輸送載具利用複數個氣孔結構使進入第一中空腔室之該第一氣流經由該複數個氣孔結構噴出而對平板構件產生一抬升力,以使平板構件懸浮於平板構件上,如此平板構件便不會與基座接觸,以防止平板構件與基座接觸而造成平板構件表面的損傷(例如刮傷、撞傷等),進而提升平板構件的產品良率。此外,本創作的輸送載具另利用複數個流道結構分別導引進入第二中空腔室之第二氣流沿不垂直於平板構件的方向噴出而對平板構件的上下兩側造成一壓力差,亦即本創作的輸送載具分別利用複數個氣孔結構與複數個流道結構分別對平板構件產生抬升力與下壓力,進而使平板構件與基座間保持穩定的間距,以便平板構件進行後續製程(例如高速翻動或180度翻轉等)而仍能將平板構件穩定維持於基座上方。有關本創作之前述及其他技術內容、特點與功效,在以下配合參考圖式之實施例的詳細說明中,將可清楚的呈現。
以下實施例中所提到的方向用語,例如:上、下、左、右、前或後等,僅是參考附加圖式的方向。因此,使用的方向用語是用來說明並非用來限制本創作。請參閱第1圖以及第2圖,第1圖為本創作實施例一輸送載具3000的側視示意圖,第2圖為本創作實施例輸送載具3000的俯視示意圖。如第1圖以及第2圖所示,輸送載具3000用來運送一平板構件1,於此實施例中,平板構件1可為一顯示器(未繪示於圖中)的玻璃基材,但本創作不受此限。
請參閱第1圖至第4圖,第3圖為第2圖所示的輸送載具3000沿剖面線A-A的部分剖面示意圖,第4圖為第2圖所示的輸送載具3000沿剖面線B-B的部分剖面示意圖。如第1圖至第4圖所示,輸送載具3000包含有一基座2、一第一進氣嘴結構3、複數個氣孔結構4、複數個流道結構5、一第一氣流裝置6、一第二進氣嘴結構7以及一第二氣流裝置8,基座2內形成有一第一中空腔室20以及一第二中空腔室23,其中平板構件1放置於基座2上方。第一進氣嘴結構3設置於基座2上且連通於第一中空腔室20,第二進氣嘴結構7設置於基座2上且連通於第二中空腔室23。
此外,第一氣流裝置6耦接於第一進氣嘴結構3,用以提供一第一氣流F1至第一進氣嘴結構3,以使第一進氣嘴結構3可用以噴射第一氣流F1進入第一中空腔室20。第二氣流裝置8耦接於第二進氣嘴結構7,用以提供一第二氣流F2至第二進氣嘴結構7,以使第二進氣嘴結構7可用以噴射第二氣流F2進入第二中空腔室23。於此實施例中,第一氣流裝置6可為一低壓風機鼓風機或一低壓空氣清淨機,第二氣流裝置8可為一高壓風機鼓風機或一高壓空氣清淨機,但本創作不受此限。
進一步地,基座2具有一第一側板21(即基座2的上側板)及相反於第一側板21之一第二側板22(即基座2的下側板),其中平板構件1是放置於第一側板21上方,亦即第一進氣嘴結構3以及第二進氣嘴結構7位於基座2的同側且與平板構件1是分別設置於基座2的上下兩側,但本創作不受此限。此外,複數個氣孔結構4與複數個流道結構5分別設置於基座2的第一側板21上,複數個氣孔結構4連通於第一中空腔室20,複數個流道結構5連通於第二中空腔室23。
另外,複數個流道結構5分別包含有一凹杯結構50以及一導流結構51,凹杯結構50設置於基座2的第一側板21且朝第二側板22凹陷,凹杯結構50具有一凹杯側壁501及一凹杯底壁502,凹杯底壁502上形成有一透氣孔503,且凹杯側壁501相對第一側板21傾斜,導流結構51設置於凹杯結構50內且具有一導流側壁510,導流側壁510平行於凹杯側壁501且與凹杯側壁501間具有一間隙G。
如第1圖至第4圖所示,當欲利用輸送載具3000運送平板構件1時,第一氣流裝置6可提供第一氣流F1至第一進氣嘴結構3,以使第一進氣嘴結構3噴射第一氣流F1進入基座2的第一中空腔室20且使第一中空腔室20被第一氣流F1充滿。當第一進氣嘴結構3持續噴射第一氣流F1進入第一中空腔室20時,進入第一中空腔室20之第一氣流F1可經由複數個氣孔結構4噴出,此時第一氣流F1便可推昇平板構件1於基座2上方,使平板構件1懸浮於基座2的第一側板21上方,如此平板構件1便不會與基座2的第一側板21接觸,以防止平板構件1與基座2的第一側板21接觸而造成平板構件1表面的損傷(例如刮傷、撞傷等),進而提升平板構件1的產品良率。於此實施例中,氣孔結構4的一開口法線方向40可實質上垂直於平板構件1,以使第一氣流F1沿垂直於平板構件1的方向(即開口法線方向40)噴向平板構件1,進而有效提供平板構件1一抬升力。
此外,第二氣流裝置8可提供第二氣流F2至第二進氣嘴結構7,以使第二進氣嘴結構7噴射第二氣流F2進入基座2的第二中空腔室23且使第二中空腔室23被第二氣流F2充滿。當第二進氣嘴結構7持續噴射第二氣流F2進入第二中空腔室23時,進入第二中空腔室23之第二氣流F2可經由透氣孔503進入導流結構51的導流側壁510與凹杯結構50的凹杯側壁501間的間隙G,進而使複數個流道結構5利用導流結構51的導流側壁510與凹杯結構50的凹杯側壁501間的間隙G分別導引第二氣流F2沿不垂直於平板構件1的方向噴出,從而使平板構件1鄰近各流道結構5處與基座2的第一側板21間的空間內形成一負壓,亦即平板構件1鄰近各流道結構5處與基座2的第一側板21間的空間內的空氣會被第二氣流F2沿不垂直於平板構件1的方向帶出,使得平板構件1鄰近各流道結構5處與基座2的第一側板21間的空間內的壓力小於平板構件1相反於基座2之另一側的壓力,藉此第二氣流F2便會對平板構件1的上下兩側產生一壓力差而將平板構件1壓往基座2的第一側板21,如此第二氣流F2對平板構件1的上下兩側所造成的該壓力差便可與第一氣流F1對平板構件1所提供的該抬升力達成平衡,以使平板構件1與基座2的第一側板21保持穩定的間距。於此實施例中,導流結構51的導流側壁510與凹杯結構50的凹杯側壁501間的間隙G可小於各氣孔結構4的孔徑,但本創作不受此限。值得一提的是,基座2的第一中空腔室20不連通於第二中空腔室23,藉此由第一氣流裝置6(即該低壓風機鼓風機或該低壓空氣清淨機)所提供的第一氣流F1(即低壓氣流)便會維持於第一中空腔室20內,不會進入第二氣流裝置8 (即該高壓風機鼓風機或該高壓空氣清淨機)所提供的第二氣流F2 (即高壓氣流),亦即基座2的第一中空腔室20不連通於第二中空腔室23的結構設計可防止第一中空腔室20內的第一氣流F1不會與第二中空腔室23內的第二氣流F2混合,以便使輸送載具3000分別藉由第一氣流F1與第二氣流F2而能獨立提供該抬升力與該壓力差,進而能確實使平板構件1與基座2的第一側板21保持穩定的間距。
相較於先前技術,本創作的輸送載具利用複數個氣孔結構使進入第一中空腔室之該第一氣流經由該複數個氣孔結構噴出而對平板構件產生一抬升力,以使平板構件懸浮於平板構件上,如此平板構件便不會與基座接觸,以防止平板構件與基座接觸而造成平板構件表面的損傷(例如刮傷、撞傷等),進而提升平板構件的產品良率。此外,本創作的輸送載具另利用複數個流道結構分別導引進入第二中空腔室之第二氣流沿不垂直於平板構件的方向噴出而對平板構件的上下兩側造成一壓力差,亦即本創作的輸送載具分別利用複數個氣孔結構與複數個流道結構分別對平板構件產生抬升力與下壓力,進而使平板構件與基座間保持穩定的間距,以便平板構件進行後續製程(例如高速翻動或180度翻轉等)而仍能將平板構件穩定維持於基座上方。以上所述僅為本創作之較佳實施例,凡依本創作申請專利範圍所做之均等變化與修飾,皆應屬本創作之涵蓋範圍。
3000‧‧‧輸送載具
1‧‧‧平板構件
2‧‧‧基座
20‧‧‧第一中空腔室
21‧‧‧第一側板
22‧‧‧第二側板
23‧‧‧第二中空腔室
3‧‧‧第一進氣嘴結構
4‧‧‧氣孔結構
40‧‧‧開口法線方向
5‧‧‧流道結構
50‧‧‧凹杯結構
501‧‧‧凹杯側壁
502‧‧‧凹杯底壁
503‧‧‧透氣孔
51‧‧‧導流結構
510‧‧‧導流側壁
6‧‧‧第一氣流裝置
7‧‧‧第二進氣嘴結構
8‧‧‧第二氣流裝置
F1‧‧‧第一氣流
F2‧‧‧第二氣流
G‧‧‧間隙
A-A、B-B‧‧‧剖面線
1‧‧‧平板構件
2‧‧‧基座
20‧‧‧第一中空腔室
21‧‧‧第一側板
22‧‧‧第二側板
23‧‧‧第二中空腔室
3‧‧‧第一進氣嘴結構
4‧‧‧氣孔結構
40‧‧‧開口法線方向
5‧‧‧流道結構
50‧‧‧凹杯結構
501‧‧‧凹杯側壁
502‧‧‧凹杯底壁
503‧‧‧透氣孔
51‧‧‧導流結構
510‧‧‧導流側壁
6‧‧‧第一氣流裝置
7‧‧‧第二進氣嘴結構
8‧‧‧第二氣流裝置
F1‧‧‧第一氣流
F2‧‧‧第二氣流
G‧‧‧間隙
A-A、B-B‧‧‧剖面線
第1圖為本創作實施例輸送載具的側視示意圖。第2圖為本創作實施例輸送載具的俯視示意圖。第3圖為第2圖所示的輸送載具沿剖面線A-A的部分剖面示意圖。第4圖為第2圖所示的輸送載具沿剖面線B-B的部分剖面示意圖。
3000‧‧‧輸送載具
1‧‧‧平板構件
2‧‧‧基座
20‧‧‧第一中空腔室
21‧‧‧第一側板
22‧‧‧第二側板
23‧‧‧第二中空腔室
3‧‧‧第一進氣嘴結構
4‧‧‧氣孔結構
40‧‧‧開口法線方向
5‧‧‧流道結構
50‧‧‧凹杯結構
501‧‧‧凹杯側壁
502‧‧‧凹杯底壁
503‧‧‧透氣孔
51‧‧‧導流結構
510‧‧‧導流側壁
7‧‧‧第二進氣嘴結構
F1‧‧‧第一氣流
F2‧‧‧第二氣流
G‧‧‧間隙
Claims (8)
- 一種用來運送一平板構件之輸送載具,其包含有: 一基座,其內形成有一第一中空腔室及一第二中空腔室,該平板構件放置於該基座上方; 一第一進氣嘴結構,其設置於該基座上且連通於該第一中空腔室,該第一進氣嘴結構用以噴射一第一氣流進入該第一中空腔室; 複數個氣孔結構,其形成於該基座上且連通於該第一中空腔室,進入該第一中空腔室之該第一氣流經由該複數個氣孔結構噴出,以推昇該平板構件於該基座上方; 一第二進氣嘴結構,其設置於該基座上且連通於該第二中空腔室,該第二進氣嘴結構用以噴射一第二氣流進入該第二中空腔室;以及 複數個流道結構,其形成於該基座上且連通於該第二中空腔室,該複數個流道結構分別導引進入該第二中空腔室之該第二氣流沿不垂直於該平板構件的方向噴出。
- 如請求項1所述之輸送載具,其中該基座具有一第一側板及相反於該第一側板之一第二側板,該平板構件放置於該第一側板上方,該第一進氣嘴結構與該第二進氣嘴結構分別設置於該第二側板上,且該複數個氣孔結構及該複數個流道結構分別設置於該第一側板上。
- 如請求項2所述之輸送載具,其中該複數個流道結構分別包含有: 一凹杯結構,其設置於該第一側板且朝該第二側板凹陷,該凹杯結構具有一凹杯側壁及一凹杯底壁,該凹杯底壁上形成有一透氣孔,該凹杯側壁相對該第一側板傾斜;以及 一導流結構,其設置於該凹杯結構內且具有一導流側壁,該導流側壁平行於該凹杯側壁且與該凹杯側壁間具有一間隙,進入該第二中空腔室之該第二氣流經由該間隙沿不垂直於該平板構件之方向噴出。
- 如請求項3所述之輸送載具,其中該間隙小於各氣孔結構的孔徑。
- 如請求項1所述之輸送載具,其中該複數個氣孔結構的一開口法線方向實質上垂直於該平板構件。
- 如請求項1所述之輸送載具,其另包含有: 一第一氣流裝置,其耦接於該第一進氣嘴結構,用以提供該第一氣流至該第一進氣嘴結構;以及 一第二氣流裝置,其耦接於該第二進氣嘴結構,用以提供該第二氣流至該第二進氣嘴結構。
- 如請求項6所述之輸送載具,其中該第一氣流裝置為一低壓風機鼓風機或一低壓空氣清淨機,且該第二氣流裝置為一高壓風機鼓風機或一高壓空氣清淨機。
- 如請求項1所述之輸送載具,其中該第一中空腔室不連通於該第二中空腔室。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201562159368P | 2015-05-11 | 2015-05-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TWM512020U true TWM512020U (zh) | 2015-11-11 |
Family
ID=55052879
Family Applications (8)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW104122459A TWI543918B (zh) | 2015-05-11 | 2015-07-13 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
TW104211272U TWM511495U (zh) | 2015-05-11 | 2015-07-13 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
TW104127623A TWI545074B (zh) | 2015-05-11 | 2015-08-25 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
TW104213707U TWM512020U (zh) | 2015-05-11 | 2015-08-25 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
TW104216807U TWM514990U (zh) | 2015-05-11 | 2015-10-21 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
TW104134467A TWI562947B (en) | 2015-05-11 | 2015-10-21 | Transportation jig for transporting a plate member |
TW104134466A TWI592351B (zh) | 2015-05-11 | 2015-10-21 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
TW104216817U TWM520531U (zh) | 2015-05-11 | 2015-10-21 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
Family Applications Before (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW104122459A TWI543918B (zh) | 2015-05-11 | 2015-07-13 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
TW104211272U TWM511495U (zh) | 2015-05-11 | 2015-07-13 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
TW104127623A TWI545074B (zh) | 2015-05-11 | 2015-08-25 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
Family Applications After (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW104216807U TWM514990U (zh) | 2015-05-11 | 2015-10-21 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
TW104134467A TWI562947B (en) | 2015-05-11 | 2015-10-21 | Transportation jig for transporting a plate member |
TW104134466A TWI592351B (zh) | 2015-05-11 | 2015-10-21 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
TW104216817U TWM520531U (zh) | 2015-05-11 | 2015-10-21 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (3) | CN106144593B (zh) |
TW (8) | TWI543918B (zh) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI543918B (zh) * | 2015-05-11 | 2016-08-01 | 盟立自動化股份有限公司 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
CN106564013B (zh) * | 2016-10-26 | 2018-08-24 | 胡妹芳 | 一种光伏焊带表面蚀点的加工装置 |
CN107555174A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-01-09 | 浙江云峰莫干山家居用品有限公司 | 气浮平台 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6336775B1 (en) * | 1998-08-20 | 2002-01-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas floating apparatus, gas floating-transporting apparatus, and thermal treatment apparatus |
US6781684B1 (en) * | 2000-11-07 | 2004-08-24 | Donald L. Ekhoff | Workpiece levitation using alternating positive and negative pressure flows |
CN101124133A (zh) * | 2004-04-14 | 2008-02-13 | 科福罗科学解决方案有限公司 | 用于调整距离的非接触支撑平台 |
JP2006008350A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Motoyama:Kk | 物体浮上ユニットおよび物体浮上装置 |
JP2007230738A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Shinko Electric Co Ltd | エア浮上ユニット、およびエア浮上ユニットの製造方法 |
CN201084722Y (zh) * | 2007-05-30 | 2008-07-09 | 秦彪 | 一种热管式cpu散热器 |
JP2010073883A (ja) * | 2008-09-18 | 2010-04-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置ならびに基板位置決め方法および装置 |
KR101142959B1 (ko) * | 2009-06-29 | 2012-05-08 | 김영태 | 평판 정밀 플로팅 시스템 |
KR101293289B1 (ko) * | 2010-06-04 | 2013-08-09 | 김영태 | 비접촉식 이송장치 |
CN103662835B (zh) * | 2013-09-03 | 2015-07-29 | 浙江大学 | 气旋流悬浮装置 |
FI126983B (fi) * | 2013-10-03 | 2017-09-15 | Glaston Finland Oy | Laite lasilevyn kuljettamiseksi kuumennusuunin ilmakannatuspöydällä |
CN204872883U (zh) * | 2015-05-11 | 2015-12-16 | 盟立自动化股份有限公司 | 用来运送平板构件的输送载具 |
TWI543918B (zh) * | 2015-05-11 | 2016-08-01 | 盟立自動化股份有限公司 | 用來運送平板構件之輸送載具 |
-
2015
- 2015-07-13 TW TW104122459A patent/TWI543918B/zh active
- 2015-07-13 TW TW104211272U patent/TWM511495U/zh unknown
- 2015-07-31 CN CN201510464860.5A patent/CN106144593B/zh active Active
- 2015-08-20 CN CN201520629920.XU patent/CN204957799U/zh not_active Withdrawn - After Issue
- 2015-08-20 CN CN201510512894.7A patent/CN106144594B/zh active Active
- 2015-08-25 TW TW104127623A patent/TWI545074B/zh active
- 2015-08-25 TW TW104213707U patent/TWM512020U/zh unknown
- 2015-10-21 TW TW104216807U patent/TWM514990U/zh unknown
- 2015-10-21 TW TW104134467A patent/TWI562947B/zh active
- 2015-10-21 TW TW104134466A patent/TWI592351B/zh active
- 2015-10-21 TW TW104216817U patent/TWM520531U/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201639763A (zh) | 2016-11-16 |
TW201639762A (zh) | 2016-11-16 |
CN106144593A (zh) | 2016-11-23 |
TWM514990U (zh) | 2016-01-01 |
CN204957799U (zh) | 2016-01-13 |
TWM520531U (zh) | 2016-04-21 |
TWI592351B (zh) | 2017-07-21 |
TWM511495U (zh) | 2015-11-01 |
TWI545074B (zh) | 2016-08-11 |
CN106144593B (zh) | 2019-11-01 |
TWI562947B (en) | 2016-12-21 |
TW201639764A (zh) | 2016-11-16 |
TW201639765A (zh) | 2016-11-16 |
CN106144594B (zh) | 2018-12-04 |
CN106144594A (zh) | 2016-11-23 |
TWI543918B (zh) | 2016-08-01 |
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