JP2005047676A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 搬送物の下面部に向けて空気を送風して、搬送物2を非接触状態で支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段と備えた搬送手段1が、搬送方向に複数並べて設けられ、それら複数の搬送手段1の運転を制御する制御手段Hが設けられている搬送装置において、制御手段Hは、搬送物2が乗り移る乗移対象の搬送手段1cについては、搬送物2が乗り移る乗移タイミングよりも以前に、送風式支持手段にて搬送物2を非接触状態で支持することができる状態にするように送風式支持手段の作動状態を制御するように構成されている。
【選択図】 図11
Description
まず、水平姿勢またはほぼ水平姿勢で搬送物を搬送する従来の搬送装置について説明すると、送風式支持手段が、水平姿勢またはほぼ水平姿勢となっている搬送物に対して、その搬送物の下面部のうち、両側端部の間に位置する中間部に向けて空気を送風するように構成され、推進力付与手段が、水平姿勢またはほぼ水平姿勢となっている搬送物の両端部を接触支持して推進力を付与する駆動回転体を備えて構成されている。
このような送風式支持手段と推進力付与手段とを備えた搬送手段が搬送方向に隣接する状態で複数並べられ、制御手段が、搬送物が乗り移る乗移対象の搬送手段およびその乗移対象の搬送手段よりも搬送方向の上流側に隣接する搬送手段について、送風式支持手段と推進力付与手段とを作動させることにより、水平姿勢またはほぼ水平姿勢の搬送物を乗移対象の搬送手段に乗り移らせるようにしている(例えば、特許文献1参照。)。
このような送風式支持手段と推進力付与手段とを備えた搬送手段が搬送方向に隣接する状態で複数並べられ、制御手段が、搬送物が乗り移る乗移対象の搬送手段およびその乗移対象の搬送手段よりも搬送方向の上流側に隣接する搬送手段について、送風式支持手段と推進力付与手段とを作動させることにより、縦姿勢またはそれに近い姿勢の搬送物を乗移対象の搬送手段に乗り移らせるようにしている(例えば、特許文献2参照。)。
したがって、上記特許文献1および特許文献2の搬送装置において、例えば、制御手段が、乗移対象の搬送手段について、搬送物が乗り移る乗移タイミングに送風式支持手段の作動を開始することが考えられるが、この場合には、送風式支持手段の作動開始から搬送物が乗り移るまでの時間が短くて、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態に支持できないことになる。
前記制御手段は、前記搬送物が乗り移る乗移対象の搬送手段については、前記搬送物が乗り移る乗移タイミングよりも以前に、前記送風式支持手段にて前記搬送物を非接触状態で支持することができる状態にするように前記送風式支持手段の作動状態を制御するように構成されている点にある。
したがって、乗移対象の搬送手段について、送風式支持手段の作動開始から搬送物が乗り移るまでの時間を長くするができ、その間に、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態に支持することができる状態となる。
以上のことから、乗移対象の搬送手段において、実際に搬送物が乗り移るまでに、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態で支持することができることとなって、搬送手段間で搬送物を乗り移らせて搬送する際に、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態で支持することができる搬送装置を提供できるに至った。
逆に、乗移対象の搬送手段において、送風式支持手段の作動開始タイミングを、乗移タイミングに近づければ近づけるほど、送風式支持手段の作動開始から搬送物が乗り移るまでの時間が短くなり、搬送物を非接触状態で支持できない可能性が生じることになる。
そこで、乗移対象の搬送手段において、送風式支持手段の作動開始タイミングを、上流側乗移タイミングとすることにより、エネルギー消費量の増大を防止しながらも、送風式支持手段にて乗り移る搬送物を非接触状態で支持することができるタイミングに、送風式支持手段を作動開始させることができることになる。
前記制御手段は、運転対象の搬送手段については、前記送風式支持手段を小用作動状態にて作動させ、かつ、前記乗移対象の搬送手段については、前記乗移タイミングよりも以前に、前記送風式支持手段を小用作動状態から支持作動状態に変更するように構成されている点にある。
しかも、制御手段が、乗移対象の搬送手段については、乗移タイミングよりも以前に、送風式支持手段を小用作動状態から支持作動状態に変更することにより、送風式支持手段の作動開始から搬送物が乗り移るまでの時間を長くして、送風式支持手段にて乗り移る搬送物を非接触状態で支持することができることになる。
〔第1実施形態〕
この搬送装置は、図1〜図3および図10に示すように、液晶用のガラス基板などの板状体を搬送物として搬送するものであり、搬送手段としての搬送ユニット1の複数と、それら複数の搬送ユニット1の運転を制御する制御手段としての制御部Hと、その制御部Hに対して制御情報を指令する人為操作式の指令部Sなどを備えて構成されている。
そして、搬送ユニット1の夫々は、ガラス基板2を水平姿勢またはほぼ水平姿勢にて搬送するように構成されている。
例えば、上側の搬送ユニット1と下側の搬送ユニット1との搬送方向を逆方向とした場合には、上側の搬送ユニット1にて搬送されたガラス基板2を下側の搬送ユニット1にて戻すようにして、ガラス基板2に対して同じ工程を行ったり、不良なガラス基板2を元に戻すように構成されている。
また、搬送ユニット1は、図11に示すように、その搬送経路上にガラス基板2が存在するか否かを検出する在物センサTを備えて構成されている。
また、在物センサTは、その数や設置箇所などについては適宜変更が可能であり、搬送経路上にガラス基板2が存在するか否かを検出できるものであればよい。
ちなみに、図4は、搬送ユニット1の縦断側面図であり、図11は、複数の搬送ユニット1を平面図で示した搬送装置の概略構成図である。
そして、送風式支持手段3は、一つの除塵フィルタ5と一つの送風ファン6とを一体的に組付けたファンフィルタユニット7の複数から構成され、それら複数のファンフィルタユニット7の上部には、ガラス基板2の下面部に向けて送風される清浄空気の整風を行う多孔板状の整風板8が設けられている。
説明を加えると、ファンフィルタユニット7は、図5および図6に示すように、ガラス基板2の搬送方向に直交する横幅方向の中間箇所で間隔を隔てる状態で左右に一つずつ設けられ、さらに、ガラス基板2の搬送方向にも間隔を隔てる状態で、例えば、3つを並べて設けられており、合計6つ設けられている。
ちなみに、図5は、搬送ユニット1の上方を開放した状態での斜視図であり、図6は、搬送ユニット1の平面図である。
また、送風ファン6は、図2および図3に示すように、その設置箇所よりも下方側の空気を吸引してその空気を上方に位置する除塵フィルタ5に向けて送風するように構成されている。
ちなみに、整風板8のうち、通気路9の上方に位置する箇所には、孔部が形成され、通気路9が、その孔部を通して供給される清浄空気を下方側に案内して下方に排気するように構成されている。
そして、清浄空気の溜まりがないことにより、ガラス基板2が上方側に湾曲することなく、ガラス基板2を水平姿勢またはほぼ水平姿勢で搬送することができることになる。
ちなみに、図7は、搬送ユニット1の縦断側面図であり、左右一対設けられている推進力付与手段3のうちの一方側を示している。
そして、電動モータ16は、その出力ギア16aが伝導軸15に備えられた平歯車18aと噛み合うように設けられ、電動モータ16の作動により伝導軸15が回転駆動するように構成されている。
また、ガラス基板2の搬送方向において、複数の駆動ローラ14の配設箇所に対応する位置に出力軸19が設けられ、図8および図9に示すように、この出力軸19の一端部に駆動ローラ14が設けられている。
そして、駆動ローラ14は、出力軸19と一体回転するように設けられ、出力軸19の他端部には、伝導軸15に備えられた平歯車18と噛み合う入力ギア20が設けられている。
ちなみに、図8は、搬送ユニット1の横幅方向の端部における縦断正面図であり、図9は、搬送ユニット1の横幅方向の端部における縦断側面図である。
そして、電動モータ16の作動により駆動ローラ14を回転させて、その駆動ローラ14にて、ガラス基板2の横幅方向の両端部を接触状態で支持しながら、ガラス基板2に対して搬送方向での推進力を付与するように構成されている。
また、ガラス基板2は、駆動ローラ14における大径部14aにて横幅方向での位置ずれを規制しながら搬送方向に沿って搬送されるように構成されている。
そして、ユニット用枠体11の内部空間が、複数のファンフィルタユニット7からなる送風式支持手段3とガラス基板2とが収納される搬送空間Aとして構成され、ユニット用枠体11が、搬送空間Aを密閉状態またはほぼ密閉状態に覆うように構成されている。
また、ユニット用底面体11aには、送風ファン6の下方に位置する箇所に外部空気を搬送空間Aに導入する空気導入口13が形成されている。
また、送風ファン6の作動により、外部空気が空気導入口13から搬送空間A内に導入して、搬送空間A内を加圧し、搬送空間A内において循環する空気の一部をユニット用枠体11と収納フレーム枠体12との隙間などから外部に排出して、搬送空間A内で循環される空気の一部を外部空気と交換するように構成されている。
そして、収納用枠体12の内部空間が、電動モータ16や伝導軸15などの駆動機構を収納する収納空間Bとして構成され、収納用枠体12が、収納空間Bを密閉状態またはほぼ密閉状態に覆うように構成されている。
そして、ガラス基板2の搬送方向におけるサブファンフィルタユニット21の配設箇所において、収納用フレーム12aの下面部には、収納空間B内の空気を外部に排気する外部排出口22が形成され、収納用フレーム12aの側面部には、搬送空間Aと収納空間Bとを連通する空気排出口23が形成されている。
説明を加えると、上側の搬送ユニット1における枠体10は、揺動軸芯P周りに揺動自在に枢支され、上側の搬送ユニット1における枠体10を揺動軸芯P周りに上方側に揺動することにより、下側の搬送ユニット1における枠体10の上方を開放するように構成されている。
また、上側の搬送ユニット1についてメンテナンス作業を行う際には、ユニット用枠体11のユニット用カバー体11cを外すことにより、上側の搬送ユニット1における搬送空間Aを開放して、搬送空間Aのメンテナンス作業を行うように構成されている。
そして、制御部Hは、搬送ユニット1の運転状態においては、電動モータ26、ファンフィルタユニット7、および、サブファンフィルタユニット21を作動させることにより、ガラス基板2を非接触状態で支持して搬送するように構成されている。
すなわち、複数のファンフィルタユニット7からなる送風式支持手段3は、除塵フィルタ5を通してガラス基板2の下面部に向けて清浄空気を送風するように構成され、かつ、支持作動状態と小用作動状態とに変更自在に構成されている。
そして、制御手段Hは、乗移対象の搬送ユニット1については、その乗移対象の搬送ユニット1よりも搬送方向の上流側に隣接する搬送ユニット1にガラス基板2が乗り移る上流側乗移タイミングにおいて、送風式支持手段3にてガラス基板2を非接触状態で支持することができる状態に移行させるように、送風式支持手段3を小用作動状態から支持作動状態に変更するように構成されている。
また、上流側乗移タイミングについては、送風式支持手段3の作動状態を変更するために要する時間やガラス基板2の搬送速度などに基づいて、上流側乗移タイミングに送風式支持手段3を小用作動状態から支持作動状態に変更することによって、乗移タイミングには、乗移対象の搬送ユニット1において、乗り移るガラス基板2を非接触状態で支持できるようなタイミングになるように設定されている。
ちなみに、サブファンフィルタユニット21の動作については、電動モータ26が作動状態である搬送ユニット1において、サブファンフィルタユニット21を作動させたり、あるいは、すべての搬送ユニット1において、サブファンフィルタユニット21を作動させるなど、適宜変更が可能である。
そして、制御部Hは、乗移対象の搬送ユニット1については、乗移タイミングよりも以前の上流側乗移タイミングにて、ファンフィルタユニット7を小用作動状態から支持作動状態に切り換えるように作動状態を変更するとともに、搬送経路上にガラス基板2が存在する搬送ユニット1とその搬送ユニット1の一つ下流側に位置する搬送ユニット1については、電動モータ26を作動させる。
このような作動状態において、移載装置などによって、搬送方向の最も上流側に位置する乗移対象の搬送ユニットの搬送経路上にガラス基板2を移載させて、ガラス基板2を搬送装置に導入させる。
この前提動作状態では、上流側の搬送ユニット1aにおける在物センサTにてガラス基板2の存在を検出し、上流側の搬送ユニット1aおよび中間の搬送ユニット1bにおけるファンフィルタユニット7が送風ファン6を支持作動状態で作動させており、下流側の搬送ユニット1cにおけるファンフィルタユニット7が送風ファン6を小用作動状態で作動させている。
このようにして、上流側の搬送ユニット1aおよび中間の搬送ユニット1bにおける電動モータ26を作動開始させることにより、上流側乗移タイミングであると検出して、乗移対象である下流側の搬送ユニット1cにおけるファンフィルタユニット7を小用作動状態から支持作動状態に変更させる(ステップ3,4)。
その後、制御部Hは、中間の搬送ユニット1bにおける在物センサTにてガラス基板2が存在することを検出すると、上流側の搬送ユニット1aにおけるファンフィルタユニット7を支持作動状態から小用作動状態に変更する(ステップ5,6)。
この第2実施形態は、上記第1実施形態において搬送する搬送物の姿勢の別実施形態を示すものであり、以下、その点を中心に図面に基づいて説明を加える。
ちなみに、その他の構成については、上記第1実施形態と同様であるので、同符号を記すなどにより、その詳細な説明は省略する。
そして、縦姿勢用搬送ユニット24は、縦姿勢に近い姿勢で設けられている縦姿勢用送風式支持手段25と、縦姿勢に近い姿勢で設けられている縦姿勢用推進力付与手段26とを備えて構成されている。
ちなみに、この第2実施形態では、ガラス基板2が、縦姿勢に近い姿勢で搬送されるので、縦姿勢用搬送ユニット24が存在する側がガラス基板2の下面部となる。
ちなみに、この縦姿勢用送風式支持手段26は、上記第1実施形態における送風式支持手段3と同様に、除塵フィルタ5と送風ファン6とを一体的に組み付けたファンフィルタユニット7aにて構成され、このファンフィルタユニット7aは、上下に並ぶ2つの送風ファン6と一つの除塵フィルタ5とを一体的に組み付けている。
また、ファンフィルタユニット7aからの清浄空気を整風する整風板8も設けられている。
説明を加えると、縦姿勢用推進力付与手段26は、搬送下手側に位置して電動式モータ28によって回転する駆動輪29と、搬送上手側に位置する回転自在な従動輪30と、これら駆動輪29と従動輪30とに亘って巻回するタイミングベルト27とを備えて構成されている。
そして、タイミングベルト27は、その送り経路部分を内周面側から内支持輪31にて支持され、その戻り経路部分を外周面側から外支持輪32にて支持されている。
そして、制御部Hは、縦姿勢用搬送ユニット24の運転状態においては、電動式モータ28、および、ファンフィルタユニット7aを作動させることにより、ガラス基板2を非接触状態で支持して搬送するように構成されている。
また、縦姿勢用送風式支持手段26についても、上記第1実施形態と同様に、ファンフィルタユニット7aが、ガラス基板2の下面部に向けて送風する清浄空気の送風量を支持用送風量とする支持作動状態と、ガラス基板2の下面部に向けて送風する清浄空気の送風量を小用設定送風量とする小用作動状態とに変更自在に構成されている。
(1)上記第1および第2実施形態では、制御部Hが、乗移対象の搬送ユニット1および縦姿勢用搬送ユニット24については、乗移タイミングよりも以前の上流側乗移タイミングにおいて、ファンフィルタユニット7,7aを小用作動状態から支持作動状態に変更するようにしているが、乗移対象の搬送ユニット1および縦姿勢用搬送ユニット24について、ファンフィルタユニット7,7aを小用作動状態から支持作動状態に変更するタイミングは、乗移タイミングよりも以前であればよく、例えば、上流側乗移タイミングよりも以前のタイミングでもよい。
ちなみに、この場合には、送風式支持手段3および縦姿勢用送風式支持手段26を、支持作動状態のみで作動させて、小用作動状態と支持作動状態とに変更自在に構成しなくてもよい。
2 搬送物
3 送風式支持手段
4 推進力付与手段
5 除塵フィルタ
H 制御手段
Claims (3)
- 搬送物の下面部に向けて空気を送風して、搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段と備えた搬送手段が、搬送方向に複数並べて設けられ、
それら複数の搬送手段の運転を制御する制御手段が設けられている搬送装置であって、
前記制御手段は、前記搬送物が乗り移る乗移対象の搬送手段については、前記搬送物が乗り移る乗移タイミングよりも以前に、前記送風式支持手段にて前記搬送物を非接触状態で支持することができる状態にするように前記送風式支持手段の作動状態を制御するように構成されている搬送装置。 - 前記制御手段は、前記乗移対象の搬送手段については、その乗移対象の搬送手段よりも搬送方向の上流側に隣接する前記搬送手段に前記搬送物が乗り移る上流側乗移タイミングにおいて、前記送風式支持手段にて前記搬送物を非接触状態で支持することができる状態に移行させるように前記送風式支持手段の作動状態を制御するように構成されている請求項1に記載の搬送装置。
- 前記送風式支持手段は、除塵フィルタを通して前記搬送物の下面部に向けて清浄空気を送風するように構成され、かつ、前記搬送物の下面部に向けて送風する清浄空気の送風量を前記搬送物を非接触状態で支持する支持用送風量とする支持作動状態と、前記搬送物の下面部に向けて送風する清浄空気の送風量を前記支持用送風量よりも小さい小用設定送風量とする小用作動状態とに変更自在に構成され、
前記制御手段は、運転対象の搬送手段については、前記送風式支持手段を小用作動状態にて作動させ、かつ、前記乗移対象の搬送手段については、前記乗移タイミングよりも以前に、前記送風式支持手段を小用作動状態から支持作動状態に変更するように構成されている請求項1または2に記載の搬送装置。
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