JP5292121B2 - ピストンポンプ及びそれを備える塗布装置 - Google Patents
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Description
また、ボール当接部83dは、ピストン軸部83の最大ストロークよりも長く形成されている。これにより、膜状シール部82を変位させるために、ピストン軸部83が軸方向に移動した場合であっても、常にボール当接部83dにボール88eが当接する。したがって、ピストン軸部83の全ストロークに亘ってピストン軸部83の軸周りの回転が抑制されることにより、ピストン軸部83の回転による環状シール部82の破損を回避でき、環状シール部82の長寿命化を図ることができる。
6 口金部
8 ピストンポンプ
82 膜状シール部
83 ピストン軸部
83b 軸本体
83d ボール当接部
84 ボールネジ駆動部
85 液体収容部
87 圧力制御室
88 軸ガイド部
88c ボールブッシュ
Claims (4)
- ハウジング内に固定され、このハウジング内に液体収容部を形成する膜状シール部と、
前記液体収容部が形成される反対側で前記膜状シール部に連結されるピストン軸部と、
前記ピストン軸部が挿通されることによりピストン軸部をガイドする軸ガイド部と、
前記ピストン軸部を軸方向に駆動させるボールネジ駆動部と、
を備え、
前記ピストン軸部は軸方向に延びる軸本体を有しており、前記軸ガイド部は、前記軸本体が挿通した状態で、この軸本体の中心軸を中心に配列された複数のボールが前記軸本体の外周面に当接することにより、前記ピストン軸部をガイドするボールブッシュを有しており、
前記複数のボールでガイドされる位置における軸本体の外周面は、前記軸本体の中心軸からボールが当接する部分までの距離が、中心軸から他の外周面までの距離よりも小さく形成されていることにより、前記軸ガイド部は、前記ピストン軸部が軸周りに回転するのを抑制することを特徴とするピストンポンプ。 - 前記ピストン軸部の軸本体は、前記ボールブッシュの複数のボールが形成する内接円径が、前記ボールブッシュのボールと当接する部分以外の外周面の軸径よりも小さく形成されていることを特徴とする請求項1に記載のピストンポンプ。
- 前記液体収容部の反対側であって、膜状シール部と軸ガイド部との間には、大気圧よりも低圧に制御できる圧力制御室が形成されていて、前記ピストン軸部の軸本体は、ボールブッシュのボールと当接する部分と他の部分とは、滑らかに連続して形成されているとともに、前記軸ガイド部は前記ピストン軸部の軸本体の外周面に圧接するシール部材が設けられていることにより、軸本体と軸ガイド部とが封止され、前記圧力制御室が所定の圧力に維持されることを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載のピストンポンプ。
- 前記請求項1〜3のいずれかに記載のピストンポンプと、基板を載置するステージと、このステージに載置された基板に対して相対的に移動しつつ、前記ピストンポンプにより供給された塗布液を吐出する塗布ユニットと、を備えることを特徴とする塗布装置。
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