KR20160083710A - 진공 흡착 실린더 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공 흡착 실린더에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더는, 타단은 외부로부터 제1 진공압이 공급되고, 일단은 제1 진공압에 의해 형성된 흡착력을 이용하여 대상물을 흡착하는 진공 흡착부와, 진공 흡착부의 일측에 연결되며, 외부로부터 공급되는 제2 진공압 및 제3 진공압에 의해 왕복 이동하며 진공 흡착부를 왕복 구동시키는 흡착 구동부 및 내부에 진공 흡착부 및 흡착 구동부의 왕복 이동을 안내하는 수용 공간이 형성되고, 흡착 구동부와 인접한 일측을 통해 수용 공간에 제2 진공압 및 제3 진공압이 공급되는 실린더 몸체를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

진공 흡착 실린더{Vacuum Absorbtion Cylinder}
본 발명은 진공 흡착 실린더에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공 흡착 실린더의 동작을 안정적으로 구현하고 외부 이물질 또느 파티클의 유입 및 유출을 방지할 수 있는 진공 흡착 실린더에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체를 제조하기 위해서는 기판에 반도체 칩과 같은 반도체 소자를 이송하여 조립하는 공정을 수행한다. 이와 같은 반도체 소자의 조립 공정은 반도체 소자가 공급되는 위치에서 반도체 소자를 픽업(Pick-up)하여 조립 위치로 이동한 후 다시 기판으로 하강시켜 원하는 위치에 위치시키는 과정을 포함한다. 이러한 반도체 소자는 반도체의 회로를 구성하는 개별적인 구성 부품으로 기술의 발전에 따라 점차로 소형화되고 직접화되어 외부의 작은 충격에도 손상이 발생됨에 따라, 반도체 소자의 손상을 최소화하면서 소형화된 반도체 소자를 이송할 것이 요구된다.
이와 같이, 반도체 소자를 픽업한 후 이송한 후 원하는 위치에 위치시키기 위해서는 공기의 흡착력을 이용하여 반도체 소자를 픽업하고 이송하는 진공 흡착 실린더가 자주 사용되고 있다.
그러나, 종래의 진공 흡착 실린더는 반도체 소자를 진공 흡착하는 진공 샤프트가 진공압에 의해 왕복 이동하므로 진공 흡착 실린더의 동작이 불안정하고 반도체 소자를 픽업하거나 원하는 위치에 위치시킬 때에 정확한 위치에 위치시키기 어렵다는 문제점이 있었다. 또한, 진공 샤프트가 반도체 소자를 진공 흡착하여 왕복 이동하는 경우에는 정전기 등에 의해 발생한 전류가 반도체 소자로 전달되어 반도체 소자의 불량을 초래하는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 진공 흡착 실린더는 외부에서 공급되는 진공압에 의해 왕복 이동하는 구동 샤프트와, 반도체 소자를 진공 흡착하는 진공 샤프트 등과 같은 구성요소들이 외부에 노출되어 있어 외부 이물질이 구성요소의 내부로 유입되거나 구동 샤프트 또는 진공 샤프트의 왕복 이동에 따라 발생하는 파티클 등이 외부로 유출되어 진공 흡착 실린더의 내부 또는 외부를 오염시킨다는 문제점이 있었다.
따라서, 진공 흡착 실린더의 동작을 안정적으로 구현하고 외부 이물질 또느 파티클의 유입 및 유출을 방지할 수 있는 진공 흡착 실린더가 요구된다.
본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 발명된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 실린더 몸체의 내부에 진공 흡착부를 왕복 구동시키는 흡착 구동부를 수용하도록 진공 흡착 실린더를 구성함으로써, 진공 흡착 실린더의 동작을 안정적으로 구현하고 외부 이물질 또느 파티클의 유입 및 유출을 방지할 수 있는 진공 흡착 실린더를 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더는, 타단은 외부로부터 제1 진공압이 공급되고, 일단은 상기 제1 진공압에 의해 형성된 흡착력을 이용하여 대상물을 흡착하는 진공 흡착부와, 상기 진공 흡착부의 일측에 연결되며, 외부로부터 공급되는 제2 진공압 및 제3 진공압에 의해 왕복 이동하며 상기 진공 흡착부를 왕복 구동시키는 흡착 구동부 및 내부에 상기 진공 흡착부 및 상기 흡착 구동부의 왕복 이동을 안내하는 수용 공간이 형성되고, 상기 흡착 구동부와 인접한 일측을 통해 상기 수용 공간에 상기 제2 진공압 및 상기 제3 진공압이 공급되는 실린더 몸체를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 진공 흡착부는, 일단에 상기 제1 진공압에 의해 상기 대상물을 흡착하는 픽커(Picker)가 연결되고, 내부에 상기 제1 진공압이 공급되는 관통홀이 형성된 진공 샤프트 및 상기 수용 공간에 고정되며, 상기 진공 샤프트가 삽입되어 상기 진공 샤프트의 왕복 이동을 안내하는 적어도 하나의 제1 가이드 부시를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 진공 흡착부는, 상기 진공 샤프트가 삽입되고, 상기 진공 샤프트가 왕복 이동할 때에 탄성력을 제공하는 제1 탄성 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 진공 흡착부는, 상기 진공 샤프트가 삽입되고, 상기 흡착 구동부 또는 상기 수용 공간에 지지된 상태로 상기 제1 탄성 부재의 양 단 중 적어도 하나에 결합되는 적어도 하나의 탄성 부재 지지체를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 진공 흡착부는, 상기 적어도 하나의 탄성 부재 지지체를 상기 수용 공간에 고정시키고, 상기 대상물로부터 상기 제1 탄성 부재를 통해 인가되는 전류를 상기 실린더 몸체에 연결된 외부 접지 측으로 인가하는 접지 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 흡착 구동부는, 상기 수용 공간에서 상기 진공 샤프트와 평행하게 배치되며, 상기 제2 진공압 및 상기 제3 진공압에 의해 상기 수용 공간을 따라 왕복 이동하는 구동 샤프트와, 상기 수용 공간에 고정되며, 상기 구동 샤프트가 삽입되어 상기 구동 샤프트의 왕복 이동을 안내하는 적어도 하나의 제2 가이드 부시 및 상기 구동 샤트프와 상기 진공 샤프트를 연결하며, 상기 구동 샤프트의 왕복 이동에 의해 상기 진공 샤프트를 왕복 이동시키는 고정 블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 흡착 구동부는, 상기 구동 샤프트와 상기 고정 블록의 사이에 설치되며, 상기 구동 샤프트가 왕복 이동할 때에 탄성력을 제공하는 제2 탄성 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 흡착 구동부는, 상기 구동 샤프트의 타단에 연결되며, 상기 구동 샤프트가 왕복 이동할 때에 상기 구동 샤프트의 이동을 제한하고 상기 구동 샤프트의 타단에 완충력을 제공하는 제1 댐퍼(Damper)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 흡착 구동부는, 상기 수용 공간에서 상기 구동 샤프트와 인접한 위치에 상기 구동 샤프트와 평행하게 설치되며, 상기 고정 블록을 관통하도록 삽입되어 상기 고정 블록이 왕복 이동할 때 상기 구동 샤프트를 중심으로 회전하지 않도록 상기 고정 블록의 왕복 이동을 안내하는 적어도 하나의 가이드 샤프트를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 흡착 구동부는, 상기 실린더 몸체의 일 측에 결합되며, 상기 구동 샤프트가 왕복 이동할 때에 상기 구동 샤프트의 이동을 제한하고 상기 구동 샤프트의 일단에 완충력을 제공하기 위한 제2 댐퍼(Damper)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 수용 공간은, 상기 적어도 하나의 제1 가이드 부시가 삽입 고정되며, 상기 진공 샤프트가 왕복 구동하는 제1 수용 공간과, 상기 적어도 하나의 제2 가이드 부시가 삽입 고정되며, 상기 제2 진공압과 상기 제3 진공압이 공급되어 상기 구동 샤프트가 왕복 구동하는 제2 수용 공간 및 상기 구동 샤프트가 왕복 이동할 때에 상기 고정 블록이 왕복 이동하는 제3 수용 공간을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 때, 제 11 항에 있어서, 상기 실린더 몸체는, 내부에 상기 제1 수용 공간과 상기 제2 수용 공간이 형성된 제1 실린더 몸체와, 내부에 상기 제3 수용 공간이 형성된 제2 실린더 몸체가 결합되어 형성되는 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에 따르면, 실린더 몸체의 내부에 진공 흡착부를 왕복 구동시키는 흡착 구동부를 수용하도록 진공 흡착 실린더를 구성함으로써, 진공 흡착 실린더의 동작을 안정적으로 구현하고 외부 이물질 또느 파티클의 유입 및 유출을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에 따르면, 흡착 구동부는 가이드 샤프트를 이용하여 고정 블록의 왕복 이동을 안내함으로써 구동 샤프트 또는 진공 샤프트의 위치가 틀어지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에 따르면, 흡착 구동부는 일단 또는 양단에 댐퍼를 구비함으로써, 진공 흡착부의 왕복 이동에 따른 충격을 완화하여 진공 흡착 실린더의 동작을 안정적으로 구현할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에 따르면, 진공 흡착부는 일단에 대상물로부터 인가된 전류를 외부 접지로 인가하는 접지 부재를 구비함으로써, 대상물의 불량을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에 따르면, 실린더 몸체는 진공 흡착부 및 흡착 구동부의 왕복 이동을 안내하기 위해 내부에 밀폐된 수용 공간을 형성함으로써, 외부 이물질의 유입을 방지하고 진공 흡착부 및 흡착 구동부의 왕복 이동에 따라 발생하는 파티클의 외부 유출을 방지할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더의 내부 구조를 나타내는 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에서 진공 흡착부의 구조를 나타내는 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에서 진공 흡착부의 구조를 나타내는 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에서 흡착 구동부의 구조를 나타내는 정면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에서 흡착 구동부의 구조를 나타내는 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에서 실린더 몸체의 구조를 나타내는 종단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에서 실린더 몸체에 제1 가이드 부시, 제2 가이드 부시, 제2 댐퍼 및 가이드 샤프트가 설치된 의 구조를 나타내는 종단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더의 진공 흡착부가 초기 상태에 있을 ?의 모습을 나타내는 정면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더의 진공 흡착부가 하부 방향으로 이동하여 대상물을 흡착할 때의 모습을 나타내는 정면도이다.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.
마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 각 도면에서 동일한 또는 대응하는 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하였다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 의하여 진공 흡착 실린더를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더의 구조를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더의 내부 구조를 나타내는 정면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더(1)는 크게 진공 흡착부(100), 흡착 구동부(200) 및 실린더 몸체(300)를 포함하여 구성될 수 있다.
진공 흡착부(100)는 타단에 외부로부터 제1 진공압(P1)이 공급되고, 일단에 제1 진공압(P1)에 의해 형성된 흡착력을 이용하여 대상물(도시되지 않음)을 흡착할 수 있다. 즉, 진공 흡착부(100)는 타단을 통해 외부의 진공 펌프(도시되지 않음)로부터 발생된 제1 진공압(P1)이 공급되고, 제1 진공압(P1)을 이용하여 반도체 소자 등과 같은 대상물을 흡착하여 픽업(Pick-Up)할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에서 진공 흡착부의 구조를 나타내는 정면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에서 진공 흡착부의 구조를 나타내는 분해 사시도이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 진공 흡착부(100)는 크게 진공 샤프트(110)와 제1 가이드 부시(120)를 포함하여 구성될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 진공 샤프트(110)는 길게 형성된 원통형 몸체(111)의 내부에 제1 진공압(P1)이 공급되는 관통홀(111a)이 형성될 수 있다. 즉, 진공 샤프트(110)는 중공축의 형상을 가질 수 있으며, 중공축의 타단을 통해 공급된 제1 진공압(P1)을 내부에 형성된 관통홀(111a)을 통해 중공축의 일단으로 공급할 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 진공 샤프트(110)는 일단에 제1 진공압(P1)에 의해 대상물을 흡착하는 픽커(Picker)(112)가 연결되고, 타단에 외부로부터 제1 진공압(P1)이 공급되는 제1 진공 피팅(113)이 삽입 고정될 수 있다.
또한, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 가이드 부시(120)는 실린더 몸체(300) 내부의 수용 공간(310)에 고정되며, 진공 샤프트(110)가 삽입되어 진공 샤프트(110)의 왕복 이동을 안내할 수 있다. 후술하겠지만, 제1 가이드 부시(120)는 수용 공간(310) 중 제1 수용 공간(311)에 고정될 수 있다. 또한, 비록 도시되지는 않았으나, 제1 가이드 부시(120)는 내부에 진공 샤프트(110)가 삽입되어 왕복 이동할 수 있도록 관통되고, 내부 또는 외주면에 로드 시일(Rod seal), 오링(O-ring)과 같은 시일 부재가 구비될 수 있다. 진공 샤프트(110)의 왕복 이동을 안내하기 위한 제1 가이드 부시(120)의 구조에 대해서는 잘 알려져 있으므로 여기서 자세한 설명은 생략하기로 한다.
이러한 제1 가이드 부시(120)는 적어도 하나가 구비될 수 있는데, 도 3 및 도 4에서는 진공 샤프트(110)의 일단과 타단에 각각 2 개의 제1 가이드 부시(121, 122)가 구비된 예를 도시하고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 제1 가이드 부시(120)의 개수와 설치 위치는 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다. 한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 2 개의 제1 가이드 부시(121, 122)를 각각 실린더 몸체(300)에 고정시키기 위해 스냅 링(Snap ring) 등의 고정 부재(123, 124)를 사용할 수도 있다.
한편, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 진공 흡착부(100)는 진공 샤프트(110)가 삽입되고, 진공 샤프트(110)가 왕복 이동할 때에 탄성력을 제공하는 제1 탄성 부재(130)를 더 포함할 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 탄성 부재(130)는 압축 스프링과 같은 탄성체로 구성될 수 있다. 이러한 제1 탄성 부재(130)는 양단이 각각 실린더 몸체(300) 내부에 형성된 수용 공간(310)과 진공 샤프트(110)에 지지되어, 진공 샤프트(110)가 왕복 이동하여 픽커(112)가 대상물에 닿을 때에 진공 샤프트(110)에 탄성력을 제공할 수 있다.
바람직하게는, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 진공 흡착부(100)는 진공 샤프트(110)가 삽입되고, 흡착 구동부(200) 또는 수용 공간(310)에 지지된 상태로 제1 탄성 부재(130)의 양 단 중 적어도 하나에 결합되는 적어도 하나의 탄성 부재 지지체(140)를 더 포함할 수 있다. 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 탄성 부재 지지체(140)는 진공 샤프트(110)의 일단에 위치하는 제1 탄성 부재 지지체(141)와, 진공 샤프트(110)의 타단에 위치하는 제2 탄성 부재 지지체(142)로 구성될 수 있다. 제1 탄성 부재 지지체(141)는 흡착 구동부(200)(보다 정확하게는, 후술할 제1 고정 블록(231))에 의해 지지된 상테로 제1 탄성 부재(130)의 일단을 지지할 수 있다. 또한, 제2 탄성 부재 지지체(142)는 수용 공간(310)에 고정된 제1 가이드 부시(122)에 지지되거나 후술할 접지 부재(150)에 지지된 상태로 제1 탄성 부재(130)의 타단을 지지할 수 있다.
도 2 내지 도 4에서는 탄성 부재 지지체(141, 142)가 제1 탄성 부재(130)의 양 단에 각각 하나씩 구비된 예를 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것으로서, 탄성 부재 지지체(140)의 개수 및 지지 형태 등은 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
한편, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 진공 흡착부(100)는, 적어도 하나의 탄성 부재 지지체(140)를 수용 공간(310)에 고정시키고, 대상물로부터 제1 탄성 부재(130)를 통해 인가되는 전류를 실린더 몸체(300)에 연결된 외부 접지 측으로 인가하는 접지 부재(150)를 더 포함할 수 있다. 이러한 접지 부재(150)는 진공 흡착부(100)가 대상물을 흡착하고 왕복 이동할 때에 대상물로부터 인가되는 전류를 외부 접지(도시되지 않음) 측으로 인가할 수 있다. 도 3 및 도 4의 예에서는, 접지 부재(150)는 진공 샤프트(110)의 타단에 위치하는 제2 탄성 부재 지지체(142)를 수용 공간(310)에 고정시키는 예를 도시하고 있다. 이 때, 대상물로부터 인가되는 전류는 진공 샤프트(110)의 일단에 위치하는 제1 탄성 부재 지지체(141)와 제1 탄성 부재(130)를 거쳐 진공 샤프트(110)의 타단에 위치하는 제2 탄성 부재 지지체(142)로 전달되고, 다시 제2 탄성 부재 지지체(142)에 전기적으로 연결된 접지 부재(150)를 통해 외부 접지 측으로 인가될 수 있다.
이와 같이, 진공 흡착부(100)는 일단에 대상물로부터 인가된 전류를 외부 접지로 인가하는 접지 부재(150)를 구비함으로써, 대상물의 불량을 방지할 수 있다. 도 11 및 도 12에서는 접지 부재(150)가 제2 탄성 부재 지지체(142)의 외주면에 형성된 홈에 삽입되는 샤프트의 형태로 구현되는 예를 도시하고 있으나, 접지 부재(150)의 형상 및 결합 위치는 이에 한정되지 않으며, 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 흡착 구동부(200)는 진공 흡착부(100)의 일측에 연결되며, 외부로부터 공급되는 제2 진공압(P2) 및 제3 진공압(P3)에 의해 왕복 이동하며 진공 흡착부(100)를 왕복 구동시킬 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 진공 흡착부(100)는 일단을 통해 외부의 진공 펌프(도시되지 않음)로부터 발생된 제2 진공압(P2)과 제3 진공압(P3)이 공급되고, 제2 진공압(P2)이 공급될 때에는 일 방향(예를 들어, 도 2의 상부 방향)으로 이동하고 제3 진공압(P3)이 공급될 때에는 일 방향의 반대 방향(예를 들어, 도 2의 하부 방향)으로 이동할 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 흡착 구동부(200)는 실린더 몸체(300)의 수용 공간(310)에서 진공 흡착부(100)와 동일한 평면 상에서 진공 흡착부(100)와 일정 간격만큼 이격되어 평행하게 배치될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에서 흡착 구동부의 구조를 나타내는 정면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에서 흡착 구동부의 구조를 나타내는 분해 사시도이다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 흡착 구동부(200)는 크게 구동 샤프트(210), 제2 가이드 부시(220) 및 고정 블록(230)을 포함하여 구성될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 구동 샤프트(210)는 수용 공간(310)에서 진공 샤프트(110)와 평행하게 배치되며, 제2 진공압(P2) 및 제3 진공압(P3)에 의해 수용 공간(310)을 따라 왕복 이동할 수 있다. 후술하겠지만, 제2 진공압(P2)은 실린더 몸체(300)의 제1 공급홀(도 7의 321)을 통해 공급되고, 제3 진공압(P3)은 실린더 몸체(300)의 제2 공급홀(도 7의 322)을 통해 공급되며, 제2 진공압(P2)과 제3 진공압(P3)이 교대로 공급될 때에 구동 샤프트(210)는 수용 공간(310)을 따라 왕복 이동할 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 구동 샤프트(210)는 길게 형성된 원통형 몸체(211)를 가지고, 구동 샤프트(210)의 타단은 수용 공간(310) 내에서 안정적으로 왕복 이동하기 위해 수용 공간(310)의 내주면에 맞닿아 구동 샤프트(210)의 왕복 이동을 안내하는 적어도 하나의 이동 가이드체(212)가 구비될 수 있으며, 이러한 이동 가이드체(212)의 외주면에는 로드 시일(Rod seal)과 같은 시일 부재가 구비될 수 있다. 도 6에서는 구동 샤프트(210)의 타단에 2 개의 이동 가이드체(212)가 설치된 예를 도시하고 있다. 또한, 구동 샤프트(210)의 일단은 체결 샤프트(213)를 통해 고정 블록(230)(보다 정확하게는, 후술할 제1 고정 블록(231)의 고정홀(231a))에 결합될 수 있다.
도 2 및 도 5를 참조하면, 제2 가이드 부시(220)는 수용 공간(310)에 고정되며, 구동 샤프트(210)가 삽입되어 구동 샤프트(210)의 왕복 이동을 안내할 수 있다. 후술하겠지만, 제2 가이드 부시(220)는 수용 공간(310) 중 제2 수용 공간(312)에 고정될 수 있다. 또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 제2 가이드 부시(220)는 원통형 몸체(221)의 외주면에 오링(O-ring)과 같은 시일 부재(222)가 구비되고, 원통형 몸체(221)의 내주면에 진공 샤프트(110)가 삽입되어 왕복 이동할 수 있도록 로드 시일(Rod seal)(223)이 구비되며, 원통형 몸체(221)의 일측에 원통형 몸체(2221)를 지지하기 위한 와셔 등의 지지 부재(224)가 구비될 수 있다. 이러한 제2 가이드 부시(220)는 적어도 하나가 구비될 수 있는데, 도 5 및 도 6에서는 구동 샤프트(210)의 중앙부에 1 개의 제2 가이드 부시(220)가 구비된 예를 도시하고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 제2 가이드 부시(220)의 개수와 설치 위치는 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
고정 블록(230)은 구동 샤트프와 진공 샤프트(110)를 연결하며, 구동 샤프트(210)의 왕복 이동에 의해 진공 샤프트(110)를 왕복 이동시킬 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 고정 블록(230)은 대략 'H' 자 형상의 제1 고정 블록(231)과, 제1 고정 블록(231)의 일측에 결합되는 제2 고정 블록(232)으로 구성될 수 있다. 제1 고정 블록(231)은 중앙부에 구동 샤프트(210)의 일단이 고정되는 고정홀(231a)이 형성되고, 일 측에 제2 고정 블록(232)이 삽입 결합되는 제1 고정홈(231b)이 형성되며, 타 측에 진공 샤프트(110)의 일단이 삽입 고정되는 제2 고정홈(231c)이 형성될 수 있다. 한편, 제1 고정 블록(231)과 제2 고정 블록(232)은 각각 후술할 가이드 샤프트(260)가 관통하여 삽입되도록 가이드 홀(231d, 232a)이 형성될 수 있다.
한편, 흡착 구동부(200)는, 구동 샤프트(210)와 고정 블록(230)의 사이에 설치되며, 구동 샤프트(210)가 왕복 이동할 때에 탄성력을 제공하는 제2 탄성 부재(240)를 더 포함할 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 제2 탄성 부재(240)는 압축 스프링과 같은 탄성체(241)와, 탄성체(241)를 구동 샤프트(210)의 일단에 지지하기 위해 스냅 링, 와셔 등과 같은 탄성 지지체(242)로 구성될 수 있다. 이러한 제2 탄성 부재(240)는 양단이 각각 제1 고정 블록(231)과 구동 샤프트(210)에 지지되어, 진공 샤프트(110)가 왕복 이동하여 픽커(112)가 대상물에 닿을 때에 구동 샤프트(210)에 탄성력을 제공할 수 있다.
한편, 흡착 구동부(200)는, 구동 샤프트(210)의 타단에 연결되며, 구동 샤프트(210)가 왕복 이동할 때에 구동 샤프트(210)의 이동을 제한하고 구동 샤프트(210)의 타단에 완충력을 제공하는 제1 댐퍼(Damper)(250)를 더 포함할 수 있다
도 2에 도시된 바와 같이, 제1 댐퍼(250)는 구동 샤프트(210)에 제2 진공압(P2)이 공급되어 일 방향(예를 들어, 상부 방향)으로 이동할 때에 구동 샤프트(210)의 타단이 실린더 몸체(300)의 내부에 닿을 때에 일종의 쿠션 역할을 수행할 수 있다. 이러한 제1 댐퍼(250)는 대략 원통형의 형상을 가지고 우레탄 등의 탄력성이 있는 재질로 이루어질 수 있다. 구동 샤프트(210)의 타단에 완충력을 제공하는 제1 댐퍼(250)의 구조는 이에 한정되지 않으며, 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
한편, 흡착 구동부(200)는, 수용 공간(310)에서 구동 샤프트(210)와 인접한 위치에 구동 샤프트(210)와 평행하게 설치되며, 고정 블록(230)을 관통하도록 삽입되어 고정 블록(230)이 왕복 이동할 때 구동 샤프트(210)를 중심으로 회전하지 않도록 고정 블록(230)의 왕복 이동을 안내하는 적어도 하나의 가이드 샤프트(260)를 더 포함할 수 있다.
도 2 내지 도 4에서는 구동 샤프트(210)를 중심으로 양 측에 2 개의 가이드 샤프트(260)를 구비하는 예를 도시하고 있다. 이 때, 2 개의 가이드 샤프트(260)는 양 단이 각각 실린더 몸체(300)에 고정된 상태로 제1 고정 블록(231)에 형성된 가이드 홀(231d)과, 제2 고정 블록(232)에 형성된 가이드 홀(232a)을 관통할 수 있다. 이와 같이, 흡착 구동부(200)는 가이드 샤프트(260)를 이용하여 고정 블록(230)의 왕복 이동을 안내함으로써 구동 샤프트(210) 또는 진공 샤프트(110)의 위치가 틀어지는 것을 방지할 수 있다.
한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 가이드 샤프트(260)는 대략 육각 렌치 볼트의 형상을 가지는데, 가이드 샤프트(260)는 제1 고정 블록(231)에 형성된 가이드 홀(231d) 또는 제2 고정 블록(232)에 형성된 가이드 홀(232a)에 삽입되어 제1 고정 블록(231) 및 제2 고정 블록(232)의 왕복 이동을 안내하는 원통 형상의 몸체부(261)와, 몸체부(261)의 일단에 형성된 나사부(262)로 구성될 수 있다. 후술하겠지만, 실린더 몸체(300)가 제1 실린더 몸체(320)와 제2 실린더 몸체(330)가 결합되어 형성되는 경우, 가이드 샤프트(260)는 제1 고정 블록(231) 및 제2 고정 블록(232)의 왕복 이동을 안내하는 것 이외에도, 제1 실린더 몸체(320)와 제2 실린더 몸체(330)를 결합시키기 위해 사용될 수 있다.
한편, 흡착 구동부(200)는, 실린더 몸체(300)의 일측에 결합되며, 구동 샤프트(210)가 왕복 이동할 때에 구동 샤프트(210)의 이동을 제한하고 구동 샤프트(210)의 일단에 완충력을 제공하기 위한 제2 댐퍼(Damper)(270)를 더 포함할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제2 댐퍼(270)는 구동 샤프트(210)에 제3 진공압(P3)이 공급되어 일 방향(예를 들어, 하부 방향)으로 이동할 때에 구동 샤프트(210)의 이동을 제한하는 역할은 물론, 구동 샤프트(210)의 일단이 실린더 몸체(300)의 내부에 닿을 때에 일종의 쿠션 역할을 수행할 수 있다. 이러한 제2 댐퍼(270)는 대략 원통형의 형상을 가지고 우레탄 등의 탄력성이 있는 재질로 이루어질 수 있다. 구동 샤프트(210)의 일단에 완충력을 제공하는 제2 댐퍼(270)의 구조는 이에 한정되지 않으며, 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다. 제2 댐퍼(270)의 구체적인 구조에 대해서는 도 8을 참조하여 자세히 설명하기로 한다.
다시 도 2를 참조하면, 실린더 몸체(300)는 대략 직육면체 형상의 몸통 내부에 진공 흡착부(100) 및 흡착 구동부(200)의 왕복 이동을 안내하는 밀폐된 수용 공간(310)이 형성될 수 있다. 이러한 실린더 몸체(300)는 흡착 구동부(200)와 인접한 일측을 통해 수용 공간(310)에 제2 진공압(P2) 및 제3 진공압(P3)이 공급될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에서 실린더 몸체의 구조를 나타내는 종단면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더에서 실린더 몸체에 제1 가이드 부시, 제2 가이드 부시, 제2 댐퍼 및 가이드 샤프트가 설치된 의 구조를 나타내는 종단면도이다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 실린더 몸체(300)의 내부에 형성된 수용 공간(310)은 크게 제1 수용 공간(311), 제2 수용 공간(312) 및 제3 수용 공간(313)으로 구성될 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 제1 수용 공간(311)은 내부에 진공 흡착부(100)가 수용되도록 원통 형상을 가지는 공간으로, 적어도 하나의 제1 가이드 부시(120)가 삽입 고정될 수 있다. 제1 수용 공간(311)은 진공 흡착부(100)가 수용되어 왕복 구동하기 위한 구간(311a)과, 제1 가이드 부시(120)가 삽입 고정되는 구간(311b)으로 나눌 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제1 수용 공간(311)은 적어도 하나의 제1 가이드 부시(120)에 삽입된 상태로 진공 샤프트(110)가 왕복 구동할 수 있다. 도 8 및 도 9에서는 진공 샤프트(110)의 양 단에 2 개의 제1 가이드 부시(120)가 삽입 고정된 예를 도시하고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 제1 가이드 부시(120)의 개수와 설치 위치는 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 제2 수용 공간(312)은 내부에 흡착 구동부(200)가 수용되도록 원통 형상을 가지는 공간으로, 적어도 하나의 제2 가이드 부시(220)가 삽입 고정될 수 있다. 제2 수용 공간(312)은 흡착 구동부(200)가 수용되어 왕복 구동하기 위한 구간(312a)과 제2 가이드 부시(220)가 삽입 고정되는 구간(312b)으로 나눌 수 있다. 후술하겠지만, 제2 수용 공간(312)은 일측에 후술할 제1 댐퍼(250)(Damper)가 수용되는 구간(312c)이 형성될 수 있다.
따라서, 도 2에 도시된 바와 같이, 제2 수용 공간(312)은 적어도 하나의 제2 가이드 부시(220)에 삽입된 상태로 구동 샤프트(210)가 왕복 구동할 수 있다. 이 때, 도 8에 도시된 바와 같이, 제2 수용 공간(312)은 실린더 몸체(300)의 일측에 형성된 제1 공급홀(321) 및 제2 공급홀(322)과 연통되어 각각 제2 진공압(P2) 및 제3 진공압(P3)을 공급 받아 구동 샤프트(210)가 왕복 구동할 수 있다. 제1 공급홀(321) 및 제2 공급홀(322)은 실린더 몸체(300)의 흡착 구동부(200)와 인접한 일측에 이격된 상태로 수용 공간(310)에 연통하도록 형성될 수 있다. 비록 도시되지는 않았으나, 실린더 몸체(300)의 제1 공급홀(321)에는 제2 진공압(P2)을 공급하기 위한 제2 진공 피팅(도시되지 않음)이 삽입 고정되고, 제2 공급홀(322)에는 제3 진공압(P3)을 공급하기 위한 제3 진공 피팅(도시되지 않음)이 삽입 고정될 수 있다.
또한, 제3 수용 공간(313)은 구동 샤프트(210)와 진공 샤프트(110)를 연결하는 고정 블록(230)이 위치하며, 구동 샤프트(210)가 왕복 이동할 때에 고정 블록(230)이 왕복 이동할 수 있다. 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 제3 수용 공간(313)은 실린더 몸체(300)의 내부에 형성된 직육면체 형상을 가지는 공간으로, 일측(도 7의 우측)은 가이드 샤프트(260)가 삽입되는 가이드홀(331)과 제2 댐퍼(270)가 삽입 결합되는 결합되는 결합 홀(332)이 연통되고, 타측(도 7의 좌측)은 제1 수용 공간(311)과 제2 수용 공간(312)이 연통될 수 있다. 도 8에 도시된 바와 같이, 결합 홀(332)은 제2 댐퍼(270)가 결합되는데, 제2 댐퍼(270)는 구동 실린더의 이동을 제한하고 완충력을 제공하는 스토퍼(Stopper)(271)와, 구동 샤프트(210)의 이동 거리를 조절하기 위해 스토퍼(271)의 위치를 조절하기 위한 스크류(272)로 구성될 수 있다. 따라서, 스크류(272)는 수나사의 형태로 형성되고, 결합 홀(332)은 암나사 형태의 홀로 형성될 수 있다.
한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 실린더 몸체(300)는, 내부에 제1 수용 공간(311)과 제2 수용 공간(312)이 형성된 제1 실린더 몸체(320)와, 내부에 제3 수용 공간(313)이 형성된 제2 실린더 몸체(330)가 결합되어 형성될 수 있다. 이 때, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 실린더 몸체(320)와 제2 실린더 몸체(330)는 가이드 샤프트(260)에 의해 결합될 수 있다. 도 7에서는 2 개의 가이드 샤프트(260)에 의해 결합된 예를 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것으로서, 가이드 샤프트(260)의 개수 및 결합 형태는 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다. 비록 도시되지는 않았으나, 제1 실린더 몸체(320)와 제2 실린더 몸체(330)를 결합할 때에 정확한 위치로 결합시키기 위해 제1 실린더 몸체(320)와 제2 실린더 몸체(330)에 다웰 핀(Dowel pin)을 이용할 수 있다.
도 7에서는 실린더 몸체(300)가 2 개로 분리되어 제1 실린더 몸체(320)와 제2 실린더 몸체(330)가 결합된 모습을 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것으로서, 결합되는 실린더 몸체(300)의 개수, 형상, 체결 방법 등은 이에 한정되지 않으며, 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
이하, 도 9 및 도 10을 참조하여, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더(1)의 동작을 설명하면 다음과 같다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더의 진공 흡착부가 초기 상태에 있을 ?의 모습을 나타내는 정면도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더의 진공 흡착부가 하부 방향으로 이동하여 대상물을 흡착할 때의 모습을 나타내는 정면도이다.
도 9에서는 진공 흡착 실린더(1)의 진공 흡착부(100)가 초기 위치에 있거나 진공 흡착부(100)가 상부 방향으로 이동했을 때의 있는 모습을 나타내고, 도 10에서는 진공 흡착 실린더(1)의 진공 흡착부(100)가 하부 방향으로 이동했을 때의 모습을 나타내도 있다.
먼저, 도 9에 도시된 바와 같이, 실린더 몸체(300)의 일측에 형성된 제1 공급홀(321)을 통해 제2 진공압(P2)이 공급되는 경우, 진공 흡착 실린더(1)의 흡착 구동부(200)가 상부 방향으로 이동하므로 진공 흡착부(100)가 초기 위치에 있거나 상부 방향으로 이동할 수 있다.
이 때, 진공 흡착 실린더(1)가 반도체 소자와 같은 대상물을 흡착하기 위해서는, 도 10에 도시된 바와 같이, 실린더 몸체(300)의 일측에 형성된 제2 공급홀(322)을 통해 제3 진공압(P3)을 공급하면, 흡착 구동부(200)가 하부 방향으로 이동하므로 진공 흡착부(100)가 하부 방향으로 이동할 수 있다. 이 때, 진공 흡착부(100)에 구비된 진공 샤프트(110)의 타단에 제1 진공압(P1)이 공급되면 픽커(112)가 대상물을 진공 흡착할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 실린더의 경우, 실린더 몸체의 내부에 진공 흡착부를 왕복 구동시키는 흡착 구동부를 수용하도록 진공 흡착 실린더를 구성함으로써, 진공 흡착 실린더의 동작을 안정적으로 구현하고 외부 이물질 또느 파티클의 유입 및 유출을 방지할 수 있다. 또한, 진공 흡착부는 일단에 대상물로부터 인가된 전류를 외부 접지로 인가하는 접지 부재를 구비함으로써, 대상물의 불량을 방지할 수 있다. 또한, 흡착 구동부는 가이드 샤프트를 이용하여 고정 블록의 왕복 이동을 안내함으로써 구동 샤프트 또는 진공 샤프트의 위치가 틀어지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 흡착 구동부는 일단 또는 양단에 댐퍼를 구비함으로써, 진공 흡착부의 왕복 이동에 따른 충격을 완화하여 진공 흡착 실린더의 동작을 안정적으로 구현할 수 있다. 또한, 실린더 몸체는 진공 흡착부 및 흡착 구동부의 왕복 이동을 안내하기 위해 내부에 밀폐된 수용 공간을 형성함으로써, 외부 이물질의 유입을 방지하고 진공 흡착부 및 흡착 구동부의 왕복 이동에 따라 발생하는 파티클의 외부 유출을 방지할 수 있다.
한편, 본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 진공 흡착 실린더
100: 진공 흡착부 110: 진공 샤프트
120: 제1 가이드 부시 130: 제1 탄성 부재
140: 탄성 부재 지지체 150: 접지 부재
200: 흡착 구동부 210: 구동 샤프트
220: 제2 가이드 부시 230: 고정 블록
240: 제2 탄성 부재 250: 제1 댐퍼
260: 가이드 샤프트 270: 제2 댐퍼
300: 실린더 몸체 310: 수용 공간
320: 제1 실린더 몸체 330: 제2 실린더 몸체

Claims (12)

  1. 타단은 외부로부터 제1 진공압이 공급되고, 일단은 상기 제1 진공압에 의해 형성된 흡착력을 이용하여 대상물을 흡착하는 진공 흡착부;
    상기 진공 흡착부의 일측에 연결되며, 외부로부터 공급되는 제2 진공압 및 제3 진공압에 의해 왕복 이동하며 상기 진공 흡착부를 왕복 구동시키는 흡착 구동부; 및
    내부에 상기 진공 흡착부 및 상기 흡착 구동부의 왕복 이동을 안내하는 수용 공간이 형성되고, 상기 흡착 구동부와 인접한 일측을 통해 상기 수용 공간에 상기 제2 진공압 및 상기 제3 진공압이 공급되는 실린더 몸체를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 실린더.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공 흡착부는,
    일단에 상기 제1 진공압에 의해 상기 대상물을 흡착하는 픽커(Picker)가 연결되고, 내부에 상기 제1 진공압이 공급되는 관통홀이 형성된 진공 샤프트; 및
    상기 수용 공간에 고정되며, 상기 진공 샤프트가 삽입되어 상기 진공 샤프트의 왕복 이동을 안내하는 적어도 하나의 제1 가이드 부시를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 실린더.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 진공 흡착부는,
    상기 진공 샤프트가 삽입되고, 상기 진공 샤프트가 왕복 이동할 때에 탄성력을 제공하는 제1 탄성 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 실린더.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 진공 흡착부는,
    상기 진공 샤프트가 삽입되고, 상기 흡착 구동부 또는 상기 수용 공간에 지지된 상태로 상기 제1 탄성 부재의 양 단 중 적어도 하나에 결합되는 적어도 하나의 탄성 부재 지지체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 실린더.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 진공 흡착부는,
    상기 적어도 하나의 탄성 부재 지지체를 상기 수용 공간에 고정시키고, 상기 대상물로부터 상기 제1 탄성 부재를 통해 인가되는 전류를 상기 실린더 몸체에 연결된 외부 접지 측으로 인가하는 접지 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 실린더.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 흡착 구동부는,
    상기 수용 공간에서 상기 진공 샤프트와 평행하게 배치되며, 상기 제2 진공압 및 상기 제3 진공압에 의해 상기 수용 공간을 따라 왕복 이동하는 구동 샤프트;
    상기 수용 공간에 고정되며, 상기 구동 샤프트가 삽입되어 상기 구동 샤프트의 왕복 이동을 안내하는 적어도 하나의 제2 가이드 부시; 및
    상기 구동 샤트프와 상기 진공 샤프트를 연결하며, 상기 구동 샤프트의 왕복 이동에 의해 상기 진공 샤프트를 왕복 이동시키는 고정 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 실린더.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 흡착 구동부는,
    상기 구동 샤프트와 상기 고정 블록의 사이에 설치되며, 상기 구동 샤프트가 왕복 이동할 때에 탄성력을 제공하는 제2 탄성 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 실린더.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 흡착 구동부는,
    상기 구동 샤프트의 타단에 연결되며, 상기 구동 샤프트가 왕복 이동할 때에 상기 구동 샤프트의 이동을 제한하고 상기 구동 샤프트의 타단에 완충력을 제공하는 제1 댐퍼(Damper)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 실린더.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 흡착 구동부는,
    상기 수용 공간에서 상기 구동 샤프트와 인접한 위치에 상기 구동 샤프트와 평행하게 설치되며, 상기 고정 블록을 관통하도록 삽입되어 상기 고정 블록이 왕복 이동할 때 상기 구동 샤프트를 중심으로 회전하지 않도록 상기 고정 블록의 왕복 이동을 안내하는 적어도 하나의 가이드 샤프트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 실린더.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 흡착 구동부는,
    상기 실린더 몸체의 일 측에 결합되며, 상기 구동 샤프트가 왕복 이동할 때에 상기 구동 샤프트의 이동을 제한하고 상기 구동 샤프트의 일단에 완충력을 제공하기 위한 제2 댐퍼(Damper)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 실린더.
  11. 제 6 항에 있어서,
    상기 수용 공간은,
    상기 적어도 하나의 제1 가이드 부시가 삽입 고정되며, 상기 진공 샤프트가 왕복 구동하는 제1 수용 공간;
    상기 적어도 하나의 제2 가이드 부시가 삽입 고정되며, 상기 제2 진공압과 상기 제3 진공압이 공급되어 상기 구동 샤프트가 왕복 구동하는 제2 수용 공간; 및
    상기 구동 샤프트가 왕복 이동할 때에 상기 고정 블록이 왕복 이동하는 제3 수용 공간을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 실린더.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 실린더 몸체는,
    내부에 상기 제1 수용 공간과 상기 제2 수용 공간이 형성된 제1 실린더 몸체와, 내부에 상기 제3 수용 공간이 형성된 제2 실린더 몸체가 결합되어 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 실린더.
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