KR20160110244A

KR20160110244A - 픽커

Info

Publication number: KR20160110244A
Application number: KR1020160029464A
Authority: KR
Inventors: 유홍준
Original assignee: (주)제이티
Priority date: 2015-03-11
Filing date: 2016-03-11
Publication date: 2016-09-21
Also published as: SG11201707360PA; TW201641399A; CN107405774B; CN107405774A; KR20160110083A; TWI622542B

Abstract

본 발명은 소자를 이송하는 픽앤플레이스장치에 장착되어 소자를 흡착하는 픽커에 관한 것이다.
본 발명은, 내부에 진공압이 작용되는 흡입통로(210)가 형성되고 일단에 소자(10)가 흡착되는 흡착부(220)가 결합되는 로드(200)와; 상기 로드(200)를 상하방향으로 이동시키기 위한 상하구동부(100)와; 상기 흡입통로(210)에 진공압이 해제될 때 상기 흡착부(220)에 대기압으로 형성하기 위한 대기압형성부(400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커를 개시한다.

Description

픽커 {PICKER}

본 발명은 소자를 이송하는 픽앤플레이스장치에 장착되어 소자를 흡착하는 픽커에 관한 것이다.

일반적으로, 픽커는, 소자를 픽업한 후 이송하여 소정의 안착위치에 안착시키는 픽앤플레이스장치에 설치되어 소자를 흡착하는 기구로서, 내부에 진공압이 작용되는 흡입통로가 형성되고 일단에 소자가 흡착되는 흡착부가 결합되는 로드와, 로드를 상하방향으로 이동시키기 위한 상하구동부가 구비된다.

상기 상하구동부는, 공압으로 작동하는 구성으로서, 공압이 작용되는 공간을 제공하는 실린더와, 공압에 의하여 실린더의 내부에서 슬라이드 이동되는 피스톤으로 구성된다. 그리고, 이와 같은 상하구동부의 피스톤과 로드가 링크 등을 통하여 연결되며, 이에 따라, 실린더의 내부에서 피스톤이 슬라이드 이동되는 것에 의하여 로드가 상하방향으로 이동된다.

한편 종래의 픽커는, 픽업 위치에서 소자 픽업시 흡착부에 진공압, 즉 부압을 형성하여 소자를 픽업하며, 흡착부에 진공압을 해제함으로써 적재 위치에서 소자를 적재한다.

특히 종래의 픽커는, 적재 위치에서 소자의 신속한 적재를 위하여 흡착부에 정압을 형성함이 일반적이다.

그런데, 엘이디소자와 같이 소자의 크기가 미세화되면서 종래의 픽커에 있어서 소자를 흡착하는 흡착부에 정압을 형성하는 경우 소자가 비산되거나, 적재 위치에 올바른 상태로 적재되는 것이 방해되는 문제점이 있다.

또한, 픽커의 흡착헤드까지 정압이 전달되는데 일정 시간이 소요되는데 신속한 소자처리가 요구되는 추세에 대응하지 못하여 장치의 처리속도를 향상시키는데 제한을 주는 문제점이 있다.

구체적으로 픽커의 흡착헤드에 정압 또는 부압은, 공압전달선에 의하여 형성되는데 공압전달선을 통한 정압 또는 부압형성시간은 공압전달선의 길이에 의하여 결정되는바 정압 또는 부압형성시간을 단축시키기 위하여 공압전달선의 길이를 최소화하는데 한계가 있으며, 결국 장치의 처리속도의 제한으로서 작용하는 문제점이 있다.

한편 이송 대상인 소자의 크기가 미세화되면서, 소자 이송을 위한 픽커의 크기가 작아지면서 착탈의 편의, 유지보수의 편의, 내구성의 증대 등 다양한 이슈가 제기되고 있다.

또한 소자 생산성 증대를 위하여, 종래에 비하여 보다 빠른 소자처리의 요구에 부응하여, 픽커의 성능으로서 소자의 이송을 위한 픽커 또한 픽업위치에서 적재위치로의 빠른 이동, 보다 신속한 소자픽업 및 소자적재를 요구하고 있다.

본 발명의 목적은, 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여, 소자의 픽업 및 적재를 보다 신속하게 수행할 수 있는 픽커를 제공하는 데에 있다.

본 발명의 다른 목적은, 소자를 경량화할 수 있는 구조를 가져 픽업위치 및 적재위치로의 신속한 이동이 가능한 픽커를 제공하는 데에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 소자의 픽업 해제를 위하여 흡착부에서 대기압을 신속하게 수행할 수 있는 대기압형성부를 추가로 구비하여 픽업된 소자의 플레이스를 신속하고 안정적으로 수행할 수 있는 픽커를 제공하는 데에 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 내부에 진공압이 작용되는 흡입통로(210)가 형성되고 일단에 소자(10)가 흡착되는 흡착부(220)가 결합되는 로드(200)와, 상기 로드(200)를 상하방향으로 이동시키기 위한 상하구동부(100)를 포함하며, 상기 상하구동부(100)는, 지지구조물에 착탈가능하게 결합되며 상기 로드(200)가 상하방향으로 이동가능하게 결합되는 제1몸체부(110)와, 상기 로드(200)와 고정결합되어 상기 제1몸체부(110)에 대한 전기구동에 의하여 상하방향으로 이동됨으로써 상기 로드(200)를 상기 제1몸체부(110)에 대하여 상측방향 및 하측방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 이동시키는 제2몸체부(120)와, 상기 제1몸체부(110) 및 상기 제2몸체부(120) 중 적어도 어느 하나에 설치되어 상기 제1몸체부(110)에 대한 상기 제2몸체부(120)의 상측방향 및 하측방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로의 이동을 구동하는 전기구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커를 개시한다.

상기 제1몸체부(110)는, 상기 로드(200)가 상하방향으로 이동이 가능하도록 상하방향으로 관통하여 결합되는 직육면체 형상을 가지며, 상기 제2몸체부(120)는, 제1몸체부(100)의 형상에 대응되어 박형의 직육면체 형상을 가질 수 있다.

상기 제2몸체부(120)는, 상기 상하로 로드(200)가 관통되도록 상측에서 보았을 때 'U'자 형 슬롯이 형성된 고정결합부(121)가 형성되어 상기 로드(200)가 고정결합될 수 있다.

상기 상하구동부는, 상기 로드(200)의 길이방향과 평행하게 상기 제2몸체부(120)에 고정결합되며 상기 제1몸체부(110)에 상하방향이 이동가능하게 결합되는 하나 이상의 가이드부재(130)를 포함할 수 있다.

상기 전기구동부는, 리니어모터, 피에조소자, 솔레노이드 및 VCM 중 어느 하나를 포함할 수 있다.

상기 전기구동부는, 상기 제1몸체부(110)에 설치되어 전기인가에 의하여 자기력을 발생시키는 전자석부(510)와, 상기 제2몸체부(120)에 설치되어 전자석부(510)에서 자기력이 발생될 때 상기 제1몸체부(110) 및 상기 제2몸체부(120) 사이의 인력이 작용하도록 자기력에 작용하는 자기력반응부재(520)을 포함할 수 있다.

상기 전기구동부는, 상기 제1몸체부(110)에 대한 상기 제2몸체부(120)의 상측방향의 이동을 구동하기 위한 제1전기구동부와, 상기 제1몸체부(110)에 대한 상기 제2몸체부(120)의 하측방향의 이동을 구동하기 위한 제2전기구동부를 포함할 수 있다.

상기 전기구동부는, 상기 제1몸체부(110)에 대한 상기 제2몸체부(120)의 상측방향 및 하측방향 중 어느 하나의 방향으로만 상기 로드(200)의 이동을 구동하고, 상기 상하구동부는 상기 제1몸체부(110)에 대한 상기 제2몸체부(120)의 반대방향으로의 이동을 위한 하나 이상의 탄성부재(150)를 포함할 수 있다.

본 발명은 또한 내부에 진공압이 작용되는 흡입통로(210)가 형성되고 일단에 소자(10)가 흡착되는 흡착부(220)가 결합되는 로드(200)와; 상기 로드(200)를 상하방향으로 이동시키기 위한 상하구동부(100)와; 상기 흡입통로(210)에 진공압이 해제될 때 상기 흡착부(220)에 대기압으로 형성하기 위한 대기압형성부(400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커를 개시한다,

상기 대기압형성부(400)는, 상기 로드(200)의 하단에 결합되어 상기 흡입유로(210)와 연결되는 연결유로를 형성하는 제1유로형성부재(410) 및 제2유로형성부재(420)와; 상기 연결유로를 따라서 흡입유로(210)를 통하여 진공압 전달시 상측으로 이동되어 진공압을 흡착부(220)에 전달하는 피스톤부재(430)와; 상기 흡입유로(210)에 진공압이 해제된 경우 상기 피스톤부재(430)를 하측으로 이동시켜 피스톤부재(430)에 의하여 대기압을 흡착부(220)에 전달하는 탄성부재(440)를 포함할 수 있다.

상기 제2유로형성부재(420)는, 상기 피스톤부재(430)의 이동이 가능한 피스톤공간(429)이 형성되고, 상기 제2유로형성부재(420)의 측면으로 관통되어 외부와 피스톤공간(429)을 연결하는 하나 이상의 측면관통공(421)이 형성되고, 상기 측면관통공(421)의 상측에서 상기 제2유로형성부재(420)의 내주면을 따라서 상측으로 연장되며 흡입통로(210)와 연통되는 연통홈(422)이 형성될 수 있다.

상기 피스톤부재(430)는, 상기 피스톤부재(430)의 측면에 제1포트(431)가 형성되고, 상기 제2유로형성부재(420)에 형성된 상하관통공(423)과 대응되는 위치에서 저면에 형성된 제2포트(432)를 연결하는 공압전달유로(433)이 형성되며, 상기 제1포트(431)가 하측에 위치된 상태에서 상기 측면관통공(421)과 연통되어 외부의 대기압이 공압전달유로(433), 상기 제2포트(432) 및 상기 상하관통공(423)을 거쳐 상기 흡착부(220)로 전달되며, 상기 피스톤부재(430)의 상측에서 진공압이 전달된 경우 진공압에 의하여 피스톤부재(430)가 상측으로 이동되어 상기 제1포트(431)가 상기 피스톤공간(429)을 따라서 상측으로 이동됨으로써 상기 연통홈(422)과 연통되어 상기 피스톤공간(429)의 측면이 상기 측면관통공(421)을 막아 대기압이 상기 흡착부(220)로 전달되지 않는 것이 바람직하다.

상기 대기압형성부(400)는, 상기 로드(200)에 결합되고, 상기 흡입유로(210)와 연결되는 진공압연결유로(513)가 상하로 관통형성되며, 외부로부터 상기 진공압연결유로(513)를 연결하도록 대기압연결유로가 형성된 본체부(510)와; 상기 본체부(510)에 설치되며 상기 진공압연결유로(513) 및 상기 대기압연결유로를 서로 연통시키거나 차단하는 밸브부재(531)를 포함할 수 있다.

상기 밸브부재(531)는, 상기 흡입유로(210)에 진공압이 형성되면 상기 흡입유로(210)에 진공압에 의하여 상기 진공압연결유로(513)에 대한 상기 대기압연결유로의 연통을 차단하고, 상기 흡입유로(210)에 진공압이 해제되면 탄성부재의 탄성력 또는 자중에 의하여 상기 진공압연결유로(513)에 대한 상기 대기압연결유로의 연통차단을 해제할 수 있다.

상기 대기압형성부(400)는, 상기 대기압연결유로와 적어도 일부분이 교차하도록 상기 본체부(510)에 형성된 삽입홈(519)에 삽입설치되며, 상기 밸브부재(531)가 내부에서 이동가능하게 설치되는 하우징(521)을 포함할 수 있다.

상기 하우징(521)은, 상기 진공압연결유로(513)와 연통되며 상기 밸브부재(531)에 의하여 개폐되는 개구(540)가 형성될 수 있다.

상기 하우징(521)은, 상기 흡입유로(210)에 진공압이 해제되면 자중에 의하여 상기 밸브부재(531)가 낙하가능하도록 상기 밸브부재(531)가 설치될 수 있다.

상기 하우징(521)은, 상기 흡입유로(210)에 진공압이 해제되면 상기 밸브부재(531)가 상기 개구(540)를 개방하도록 상기 밸브부재(531)에 탄성력을 가하는 탄성부재(532)가 설치될 수 있다.

상기 대기압형성부는, 상기 흡입통로(220)와 연결되는 대기압 연결관과; 개방시에 상기 흡입통로, 상기 흡착부 및 상기 대기압 연결관을 포함하는 체적에 대응되는 공간 내에서 대기압으로 형성하기 위한 압축공기가 저장되는 공기탱크와; 상기 공기탱크와 상기 대기압 연결관 사이에 설치되어 상기 공기탱크를 개폐하는 개폐밸브를 포함할 수 있다.

상기 로드 및 상기 흡착부 중 어느 하나는, 하나 이상의 측면관통공이 외주면에서 내측으로 관통형성되며, 상기 대기압형성부는, 상기 로드 및 상기 흡착부 중 어느 하나의 외주면을 따라서 이동되어 상기 측면관통공을 개폐하는 개폐부재와; 상기 개폐부재를 상기 로드 및 상기 흡착부 중 어느 하나의 외주면을 따라서 이동시키는 개폐부재이동부를 포함할 수 있다.

상기 대기압연결유로는, 일단이 상기 진공압연결유로(513)와 연결되고 상기 밸브부재(531)의 이동에 의하여 개폐되며 타단이 상기 본체부(510)의 외부와 연통되는 연결유로형성부(561)를 포함하며, 상기 연결유로형성부(561)는, 구형상을 가지는 상기 밸브부재(531)의 이동 및 공기가 통할 수 있도록 상기 밸브부재(531)의 외경(D0)보다 큰 내경(D1)을 가지는 실린더 구조를 가질 수 있다.

상기 연결유로형성부(561)의 일단은, 상기 밸브부재(531)의 이동에 의하여 개폐가 용이하도록 상기 진공압연결유로(513)와 연결되는 연결부분(564)이 상기 밸브부재(531)의 외경(D0)보다 작은 내경을 가지도록 형성될 수 있다.

상기 연결유로형성부(561)의 타단은, 상기 본체부(510)의 외부와 연통이 가능하면서 상기 밸브부재(531)가 상기 본체부(510)의 외부로 빠져나가는 것을 방지하는 분리방지수단이 구비되는 것이 바람직하다.

상기 분리방지수단은, 상기 연결유로형성부(561)의 내경(D1)보다 큰 내경(D2)를 가지며 상기 연결유로형성부(561)의 타단과 상기 본체부(510)의 외면 사이를 연결하도록 형성되는 확장유로(562)와, 상기 확장유로(562)에 삽입되며 상기 본체부(510)로부터 상기 연결유로형성부(561)로의 공기유입이 가능하도록 하는 삽입부재(534)로 이루어질 수 있다.

상기 연결유로형성부(561)는, 상기 본체부(510)의 길이방향으로 형성되며, 상기 본체부(510)는, 상기 연결유로형성부(561)와 상기 진공압연결유로(513)를 연결하는 보조유로(566)가 형성될 수 있다.

상기 대기압형성부(400)는, 진공압연결유로(513)에 진공압이 해제되면 연결유로형성부(561)의 일단 쪽에서 상기 밸브부재(531)가 멀어지도록 상기 밸브부재(531)에 탄성력을 가하여 진공압연결유로(513)에 대한 연결유로형성부(561)의 차단을 해제하는 탄성부재(532)를 추가로 포함하며, 상기 본체부(510)는, 상기 연결유로형성부(561)의 일단으로부터 내측으로 연장되는 탄성부재삽입홈(563)이 추가로 형성될 수 있다.

상기 진공압연결유로(513)에 상기 본체부(510) 외부의 대기압이 보다 신속하게 전달될 수 있도록 상기 연결유로형성부(561)와 연결되는 연결부분(564)에 상기 본체부(510)의 외부와 연통될 수 있는 연통유로(568)가 형성될 수 있다.

상기 분리방지수단은, 상기 연결유로형성부(561)를 복개하도록 상기 본체부(510)에 결합되는 결합링(591)를 포함할 수 있다.

상기 본체부(510)는, 상기 결합링(591)의 원활한 결합을 위하여 상기 결합링(591)이 삽입되는 요홈(519)가 형성될 수 있다.

상기 진공압연결유로(513)와 연결되는 연결부분(564)은, 상기 밸브부재(531)에 의한 원활한 개폐를 위하여 종단면 형상이 상기 진공압연결유로(513)로 가면서 내경이 감소하는 테이퍼 형상을 가질 수 있다.

본 발명에 따른 픽커는, 소자를 픽업하는 로드의 상하구동을 솔레노이드 등 전기에 의하여 구동됨으로써, 공압실린더를 이용한 종래의 픽커에 비하여 반응속도가 빠르고 경량화할 수 있는 이점이 있다.

특히, 픽커의 반응속도가 향상되고 경량화됨으로써, 소자의 픽업 또는 적재시 보다 신속한 수행이 가능하며, 픽커의 경량화에 의하여 픽커의 이동속도를 향상시켜 전체 소자처리속도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

더 나아가, 픽커가 경량화되면서 복수의 픽커들을 구비한 이송툴의 이동시 관성의 감소로서 장치의 가동시 진동이 저감하여 보다 안정적인 소자처리가 가능한 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 픽커는, 소자의 픽업 해제를 위하여 흡착부에서 대기압을 신속하게 수행할 수 있는 대기압형성부를 추가로 구비하여 픽업된 소자의 플레이스를 신속하고 안정적으로 수행할 수 있는 이점이 있다.

도 1은, 본 발명에 따른 픽커를 보여주는 사시도이다.
도 2는, 도 1의 픽커를 보여주는 종단면도로서, 소자가 픽업된 상태를 보여주는 종단면도이다.
도 3은, 도 1의 픽커에서 상하구동부에 의하여 로드가 상측으로 이동되고 소자를 픽업하기 전 또는 플레이스하는 상태를 보여주는 종단면도이다.
도 4는, 도 2에서 대기압형성부에 의하여 픽업부에 대기압이 형성된 상태를 보여주는 단면도이다.
도 5는, 도 4에서 대기압형성부를 자세히 보여주는 일부단면도이다.
도 6은, 도 2 및 도 3에서 소자픽업을 위하여 픽업부에 진공압이 형성된 상태를 보여주는 일부단면도이다.
도 7 내지 도 9는, 도 5의 대기압형성부의 형성위치의 실시예들을 보여주는 측면도들이다.
도 10a는, 도 1의 픽커에 결합되는 대기압형성부의 다른 실시예로서, 흡착부에 진공압이 형성되어 소자를 흡착하는 모습을 보여주는 일부 단면도이다.
도 10b는, 도 10a의 구성에서 대기압형성부에 의하여 흡착부에 대기압을 형성된 상태를 보여주는 일부 단면도이다.
도 11a는, 도 1의 픽커에 결합되는 대기압형성부의 또 다른 실시예로서, 흡착부에 진공압이 형성되어 소자를 흡착하는 모습을 보여주는 일부 단면도이다.
도 11b는, 도 11a의 구성에서 대기압형성부에 의하여 흡착부에 대기압을 형성된 상태를 보여주는 일부 단면도이다.
도 12a는, 도 1의 픽커에 결합되는 대기압형성부의 또 다른 실시예로서, 흡착부에 진공압이 형성되어 소자를 흡착하는 모습을 보여주는 일부 단면도이다.
도 12b는, 도 12a의 구성에서 대기압형성부에 의하여 흡착부에 대기압을 형성된 상태를 보여주는 일부 단면도이다.
도 13a는, 도 1의 픽커에 결합되는 대기압형성부의 또 다른 실시예로서, 흡착부에 진공압이 형성되어 소자를 흡착하는 모습을 보여주는 일부 단면도이다.
도 13b는, 도 13a의 구성에서 대기압형성부에 의하여 흡착부에 대기압을 형성된 상태를 보여주는 일부 단면도이다.
도 14a는, 도 1의 픽커에 결합되는 대기압형성부의 또 다른 실시예로서, 흡착부에 진공압이 형성되어 소자를 흡착하는 모습을 보여주는 일부 단면도이다.
도 14b는, 도 14a의 구성에서 대기압형성부에 의하여 흡착부에 대기압을 형성된 상태를 보여주는 일부 단면도이다.
도 14c는, 도 14a의 대기압형성부를 포함한 구성 일부를 보여주는 일부사시도이다.
도 15는, 픽커에 결합되는 대기압형성부의 또 다른 실시예를 보여주는 공압제어회로도이다.
도 16a 및 도 16b는, 픽커에 결합되는 대기압형성부의 또 다른 실시예를 보여주는 개념도들이다.

이하 본 발명에 따른 픽커에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 픽커는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 내부에 진공압이 작용되는 흡입통로(210)가 형성되고 일단에 소자(10)가 흡착되는 흡착부(220)가 결합되는 로드(200)와, 로드(200)를 상하방향으로 이동시키기 위한 상하구동부(100)를 포함한다.

상기 로드(200)는, 내부에 진공압이 작용되는 흡입통로(210)가 형성되고 일단에 소자(10)가 흡착되는 흡착부(220)가 결합되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

일예로서, 상기 로드(200)는, 소자(10) 흡착을 위한 진공압을 전달하는 공압전달관(미도시)이 연결되도록 중공형 실린더로서, 횡단면의 형상이 원형, 다각형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.

한편 상기 로드(200)의 하단에 결합되는 흡착부(220)는, 흡입통로(210)에 의하여 전달되는 진공압에 의하여 소자(10)를 픽업하는 부재로서, 소자의 종류, 크기, 구조에 따라서 하나 이상의 부재 및 구조를 가질 수 있다.

상기 상하구동부(100)는, 로드(200)를 상하방향으로 이동시키기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

특히 본 발명에 따른 픽커의 상하구동부(100)는, 솔레노이드, VCM(보이스코일모터; voice coil motor)과 같은 전기를 이용하며, 전기를 이용한 구성이면 어떠한 구성이 가능하다.

일예로서, 상기 상하구동부(100)는, 지지구조물에 착탈가능하게 결합되며 로드(200)가 상하방향으로 이동가능하게 결합되는 제1몸체부(110)와, 로드(200)와 고정결합되어 상기 제1몸체부(110)에 대하여 전기구동에 의하여 상하방향으로 이동됨으로써 로드(200)를 상기 제1몸체부(110)에 대하여 상측방향 및 하측방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 이동시키는 제2몸체부(120)와, 제1몸체부(110) 및 제2몸체부(120) 중 적어도 어느 하나에 설치되어 제1몸체부(110)에 대한 제2몸체부(120)의 상측방향 및 하측방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로의 이동을 구동하는 전기구동부를 포함할 수 있다.

상기 제1몸체부(110)는, 지지구조물에 착탈가능하게 결합되며 로드(200)가 상하방향으로 이동가능하게 결합되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 제1몸체부(110)는, 지지구조물에 착탈가능하게 결합되며 로드(200)가 상하방향으로 이동가능하게 결합될 수 있도록 박형의 직육면체 형상을 가질 수 있다.

이때 직육면체 형상의 제1몸체부(110)는, 폭이 작은 측면에서 지지구조물에 착탈가능하게 결합되는 것이 바람직하다.

이렇게 상기 제1몸체부(110)가 폭이 작은 측면에서 지지구조물에 착탈가능하게 결합되면 인접한 픽커와의 간격을 최소화가 가능하다.

또한 상기 직육면체 형상의 제1몸체부(110)는, 로드(200)가 상하방향으로 이동이 가능하도록 상하방향으로 관통하여 결합되는 것이 바람직하다.

이를 위하여 상기 제1몸체부(110)는, 로드(200)가 삽입되도록 상하방향으로 관통형성된 제1관통공(111)이 형성된다.

그리고 상기 제1관통공(111)은, 로드(200)의 원활한 상하방향 이동이 가능하도록 상단 및 하단에서 부시(512, 513)가 설치된다.

그리고, 상기 제1관통공(111)에는, 로드(200)의 상하이동에 의한 마찰로 인하여 발생되는 정전기를 외부로 접지시키기 위한 접지부재(516)가 설치될 수 있다.

그리고 상기 제1몸체부(110)는, 후술하는 가이드부재(130)의 상하이동을 위하여 제2관통공(112)가 추가로 형성될 수 있다.

상기 제2관통공(112)은, 제1관통공(111)과 유사하게 형성되며, 가이드부재(130)의 원활한 이동을 위하여 상단 및 하단에서 부시(514, 515)가 설치된다.

상기 제2몸체부(120)는, 로드(200)와 고정결합되어 제1몸체부(110)에 대하여 전기구동에 의하여 상하방향으로 이동됨으로써 로드(200)를 제1몸체부(110)에 대하여 상측방향 및 하측방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 이동시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 제2몸체부(120)는, 제1몸체부(100)의 형상에 대응되어 박형의 직육면체 형상을 가질 수 있다.

그리고 상기 제2몸체부(120)는, 로드(200)와 고정결합하기 위한 구조가 형성 또는 설치된다.

예로서, 상기 제2몸체부(120)는, 상하로 로드(200)가 관통되면서 측면이 개방된, 즉 상측에서 보았을 때 'U'자 형 슬롯이 형성된 고정결합부(121)가 형성되고, 로드(200)가 관통되어 설치된 후 볼트(511)에 의하여 조여짐으로써, 로드(200)가 고정결합된다.

상기와 같이 상기 로드(200)가 상하방향으로 이동가능하게 결합된 제1몸체부(110), 로드(200)가 고정결합된 제2몸체부(120) 및 후술하는 상하구동부의 상하구동에 의하여, 로드(200)의 상하방향이 구동된다.

한편 상기 로드(200), 제1몸체부(110) 및 제2몸체부(120)의 조합에 의한 상하이동에 있어서, 로드(200)와 제1몸체부(110)와의 단독 결합구조에 의한 경우 측방향의 흔들림이 발생될 수 있는 문제점이 있다.

이에, 상기 상하구동부는, 로드(200)의 길이방향과 평행하게 제2몸체부(120)에 고정결합되며 제1몸체부(110)에 상하방향이 이동가능하게 결합되는 하나 이상의 가이드부재(130)를 포함할 수 있다.

상기 가이드부재(130)는, 로드(200)의 길이방향과 평행하게 제2몸체부(120)에 고정결합되며 제1몸체부(110)에 상하방향이 이동가능하게 결합되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

여기서 상기 로드(200)와 제1몸체부(110)와의 결합, 가이드부재(130)와 제1몸체부(110)와의 결합에 위하여, 로드(200)의 상하이동시 측방향의 흔들림 및 회전을 방지할 수 있다.

한편 상기 가이드부재(130)가 2개 이상 설치되는 경우 로드(200)와 제1몸체부(110)가 반드시 결합될 필요는 없다.

그리고 상기 가이드부재(130)와 제2몸체부(120)와의 결합은, 앞서 설명한 로드(200)의 결합구조와 동일하거나 유사할 수 있다.

또한 가이드부재(130)와 제1몸체부(110)와의 결합은, 앞서 설명한 로드(200)의 결합구조와 동일하거나 유사할 수 있다.

한편 본 발명의 실시예에서는 제2몸체부(120)가 제1몸체부(110)의 하측에 위치되는 것으로 설명하였으나, 제1몸체부(110)의 상측에 위치될 수 있다.

상기 전기구동부는, 제1몸체부(110) 및 제2몸체부(120) 중 적어도 어느 하나에 설치되어 제1몸체부(110)에 대한 제2몸체부(120)의 상측방향 및 하측방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로의 이동을 구동하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 전기구동부는, 그 작동원리에 따라서 리니어모터, 피에조소자, 솔레노이드, VCM 등 다양한 구성이 가능하다.

일예로서, 상기 전기구동부는, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 제1몸체부(110)에 설치되어 전기인가에 의하여 자기력을 발생시키는 전자석부(510)와, 제2몸체부(120)에 설치되어 전자석부(510)에서 자기력이 발생될 때 제1몸체부(110) 및 제2몸체부(120) 사이의 인력이 작용하도록 자기력에 작용하는 철부재 또는 영구자석과 같은 자기력반응부재(520)을 포함할 수 있다.

한편 상기 전기구동부는, VCM과 같이 상측방향 및 하측방향으로의 이동을 모두 구성할 수 있는 경우와는 달리, 솔레노이드와 같이 상측방향 및 하측방향 중 어느 하나의 방향으로의 이동만을 구동하는 경우 반대방향의 이동을 구동하기 위한 구성이 추가로 필요하다.

이에, 상기 전기구동부는, 상측방향의 이동을 구동하기 위한 제1전기구동부와, 하측방향의 이동을 구동하기 위한 제2전기구동부를 포함할 수 있다.

또한 상기 전기구동부는, 상측방향 및 하측방향 중 어느 하나의 방향으로만 로드(200)의 이동을 구동하고, 상하구동부는 반대방향으로의 이동을 스프링과 같은 하나 이상의 탄성부재(150)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 탄성부재(150)는, 전기구동부가 제1몸체부(110) 및 제2몸체부(120) 사이의 인력으로서 작용하는 것을 고려하여, 제1몸체부(110) 및 제2몸체부(120) 사이에 설치되어 척력으로서 작용할 수 있다.

물론 상기 탄성부재(150)는, 전기구동부가 제1몸체부(110) 및 제2몸체부(120) 사이의 척력으로서 작용하는 경우, 제1몸체부(110) 및 제2몸체부(120) 사이에 설치되어 인력으로서 작용할 수 있다.

한편 상기 탄성부재(150)는, 제1몸체부(110) 및 제2몸체부(120) 사이에서 로드(200)가 끼워지는 제1코일스프링, 가이드부재(130)이 끼워지는 제2코일스프링을 포함할 수 있다.

상기와 같은 구성을 가지는 픽커는, 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 전기구동부가 구동되지 않은 경우 제1몸체부(110) 및 제2몸체부(120)가 거리를 두고 위치되어 로드(200)가 하측으로 이동된 상태를 유지하게 된다.

그리고 상기 픽커는, 도 3에 도시된 바와 같이, 전기구동부가 구동되는 경우 제1몸체부(110) 및 제2몸체부(120) 사이가 좁혀져 로드(200)가 상측으로 이동된다.

한편, 본 발명의 기술적 제1요지는, 상하구동부의 상하구동에 있어서, 전기구동부에 의하여 제1몸체부(110) 및 제2몸체부(120) 중 적어도 어느 하나에 설치하여 전기구동에 의하여 상기 제1몸체부(110)에 대한 전기구동에 의하여 상하방향이동을 구동하는 데 있다.

이에, 전기를 이용한 상하구동부는, 피에조 소자를 이용하거나, 전기모터를 포함하는 볼스크류를 이용하거나, 선형모터(리니어모터)를 이용하거나, 솔레노이드를 이용하거나, VCM을 이용하는 등 전기를 이용하여 상하구동을 구현할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

이에, 본 발명에 따른 픽커는, 로드(200)에 결합되어 소자픽업의 해제시 흡착부(220)에 신속하게 대기압을 형성하는 대기압형성부(400)를 추가로 포함할 수 있다.

여기서 상기 대기압형성부(400)는, 도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 로드(200)에 결합되는 구성으로서 상단, 하단, 중간부분 중 어느 하나에 위치될 수 있다.

특히 소자 적재시 반응속도를 높이기 위하여 상기 흡착부(220)에서 가장 가까운 곳에 대기압이 전달되는 것이 바람직한바, 로드(200)의 하단에 설치됨이 바람직하다.

아울러, 상기 대기압형성부(400)는, 흡착부(220)와 일체로 구성될 수도 있음은 물론이다.

한편 상기 대기압형성부(400)는, 소자픽업의 해제시 흡착부(220)에 신속하게 대기압을 형성하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

일 실시예(제1실시예)로서, 상기 대기압형성부(400)는, 도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 진공유로, 예를 들면 로드(200)의 하단에 결합되어 흡입유로(210)와 연결되는 연결유로를 형성하는 제1유로형성부재(410) 및 제2유로형성부재(420)와; 연결유로를 따라서 흡입유로(210)를 통하여 진공압 전달시 상측으로 이동되어 진공압을 흡착부(220)에 전달하는 피스톤부재(430)와; 흡입유로(210)에 진공압이 해제된 경우 피스톤부재(430)를 하측으로 이동시켜 피스톤부재(430)에 의하여 대기압을 흡착부(220)에 전달하는 탄성부재(440)를 포함할 수 있다.

상기 제1유로형성부재(410) 및 제2유로형성부재(420)는, 진공유로, 예를 들면 로드(200)의 하단에 결합되어 흡입유로(210)와 연결되는 연결유로를 형성하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 제2유로형성부재(420)는, 후술하는 피스톤부재(430)의 이동이 가능한 피스톤공간(429)이 형성되며, 측면으로 관통되어 외부와 피스톤공간(429)을 연결하는 하나 이상의 측면관통공(421)이 형성되며, 측면관통공(421)의 상측에서 내주면을 따라서 상측으로 연장된 연통홈(422)이 형성될 수 있다.

상기 피스톤공간(429)은, 피스톤부재(430)의 이동이 가능하도록 제2유로형성부재(420)에 형성되며, 피스톤부재(430)의 외형에 대응되는 형상을 가지는 실린더 공간으로 형성될 수 있다.

상기 하나 이상의 측면관통공(421)은, 제2유로형성부재(420)의 측면으로 관통되어 외부와 피스톤공간(429)을 연결하는 형성되는 구성으로서, 후술하는 제1포트(431) 및 공압전달유로(433)로 연결될 때 제2유로형성부재(420)의 외부의 대기압이 흡입부(220)에 전달되도록 한다.

상기 연통홈(422)은, 측면관통공(421)의 상측에서 제2유로형성부재(420)의 내주면을 따라서 상측으로 연장되어 형성되고 흡입통로(210)로부터 진공압을 전달받을 수 있도록 흡입통로(210)와 연통되어 후술하는 제1포트(431) 및 공압전달유로(433)와 연결될 때 흡입통로(210)에 형성되는 진공압이 흡입부(220)에 전달되도록 한다.

여기서 상기 연통홈422)은, 피스톤부재(430)의 상면에 형성된 요홈(439) 등 다양한 구조에 의하여 흡입통로(210)와 연통될 수 있다.

한편 상기 제2유로형성부재(420)는, 하측으로 관통되어 흡착부(220)에 진공압 또는 대기압을 전달하기 위한 상하관통공(423)이 형성된다.

특히 상기 상하관통공(423)이 형성된 부분은, 흡착부(220)와의 원활한 결합을 위하여 외경이 감소된 형상으로 하측으로 연장된 연장부(424)가 제2유로형성부재(420)의 하단에 형성됨이 바람직하다.

상기 제1유로형성부재(410)는, 제2유로형성부재(420)와 결합되어 피스톤부재(430)의 이동이 가능한 피스톤공간(429)이 형성됨과 아울러, 상측으로 진공압을 전달받기 위한 상하관통공(411)이 형성된다.

그리고 상기 제1유로형성부재(410)는, 후술하는 탄성부재(440)의 안정적인 설치를 위하여 하측으로 돌출된 허브부(412)가 형성될 수 있다.

상기 피스톤부재(430)는, 연결유로를 따라서 흡입유로(210)를 통하여 진공압 전달시 상측으로 이동되어 진공압을 흡착부(220)에 전달하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

특히 피스톤부재(430)는, 피스톤공간(429)을 따라서 이동이 가능하도록 원통형 형상을 가지며, 측면에 형성된 제1포트(431)와, 상하관통공(423)과 대응되는 위치에서 저면에 형성된 제2포트(432)를 연결하는 공압전달유로(433)이 형성된다.

상기 제1포트(431)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 피스톤부재(430)의 측면에 형성되어 하측에 위치된 상태에서 앞서 설명한 측면관통공(421)과 연통되어 외부의 대기압이 공압전달유로(433), 제2포트(432) 및 상하관통공(423)을 거쳐 흡착부(220)로 전달된다.

이때 상기 제1포트(431) 및 측면관통공(421)의 원활한 연통을 위하여, 피스톤부재(430)의 외주면은, 제1포트(431)를 포함한 부분에서 오목하게 형성된 환형의 요홈부(434)가 형성됨이 바람직하다.

한편 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 피스톤부재(430)의 상측에서 진공압이 전달된 경우 피스톤부재(430)가 피스톤공간(429)을 차단한 상태에 있어 진공압에 의하여 탄성부재(440)의 탄성력에도 불구하고 상측으로 이동된다.

이때, 상기 제1포트(431)는, 피스톤공간(429)을 따라서 상측으로 이동되어 앞서 설명한 연통홈(422)과 연통된다.

여기서 상기 피스톤부재(430)가 상측으로 이동되었을 때 피스톤공간(429)의 측면은 측면관통공(421)을 막아 대기압이 흡착부(220)로 전달되지 않는다.

이에 반하여 상기 제1포트(431)는, 연통홈(422)과 연통된 상태로 있게 되어 피스톤부재(430)의 상측에서 형성된 진공압이 공압전달유로(433), 제2포트(432) 및 상하관통공(423)을 거쳐 흡착부(220)로 전달된다.

한편 상기 피스톤부재(430)는, 가공성, 마찰력 및 기밀성을 고려하여 엔지니어링 플라스틱이 사용됨이 바람직하다.

상기 탄성부재(440)는, 흡입유로(210)에 진공압이 해제된 경우 피스톤부재(430)를 하측으로 이동시켜 피스톤부재(430)에 의하여 대기압을 흡착부(220)에 전달하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 탄성부재(440)는, 코일스프링 등으로 구성될 수 있다.

상기 대기압형성부(400)는, 다른 실시예(제2실시예 및 제3실시예)로서, 도 10a 내지 도 11b에 도시된 바와 같이, 로드(200)에 결합되고, 흡입유로(210)와 연결되는 진공압연결유로(513)가 상하로 관통형성되며, 외부로부터 진공압연결유로(513)를 연결하도록 대기압연결유로가 형성된 본체부(510)와; 본체부(510)에 설치되며 진공압연결유로(513) 및 대기압연결유로를 서로 연통시키거나 차단하는 밸브부재(531)를 포함할 수 있다.

상기 본체부(510)는, 로드(200)에 결합되고, 흡입유로(210)와 연결되는 진공압연결유로(513)가 상하로 관통형성되며, 외부로부터 진공압연결유로(513)를 연결하도록 대기압연결유로가 형성되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 본체부(510)는, 상단에 로드(200)의 흡입유로(210)와 연통가능하게 로드(200)에 탈착가능하게 결합되며 하단에 흡입부(220), 즉 흡착헤드가 탈착가능하게 결합될 수 있다.

상기 밸브부재(531)는, 본체부(510)에 설치되며 진공압연결유로(513) 및 대기압연결유로를 서로 연통시키거나 차단하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 밸브부재(531)는, 도 10a 및 도 10b에 도시된 제2실시예 및 도 11a 및 도 11b에 도시된 제3실시예 등 본체부(510)에 의 설치형태에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

구체적으로, 상기 밸브부재(531)는, 도 10a 및 도 10b에 도시된 바와 같이, 흡입유로(210)에 진공압이 형성되면 흡입유로(210)에 진공압에 의하여 진공압연결유로(513)에 대한 대기압연결유로의 연통을 차단하고, 흡입유로(210)에 진공압이 해제되면 탄성부재의 탄성력에 의하여 진공압연결유로(513)에 대한 대기압연결유로의 연통차단을 해제할 수 있다.

이때 상기 대기압형성부(400)는, 대기압연결유로와 적어도 일부분이 교차하도록 본체부(510)에 형성된 삽입홈(519)에 삽입설치되며, 밸브부재(531)가 내부에서 이동가능하게 설치되는 하우징(521)을 포함할 수 있다.

그리고 상기 하우징(521)은, 진공압연결유로(513)와 연통되며 밸브부재(531)에 의하여 개폐되는 개구(540)가 형성되며, 흡입유로(210)에 진공압이 해제되면 밸브부재(531)가 개구(540)를 개방하도록 밸브부재(531)에 탄성력을 가하는 탄성부재(532)가 설치될 수 있다.

또한 상기 하우징(521)은, 밸브부재(531)가 내부에 설치되고 대기압연결유로가 형성될 수 있도록, 상단 및 하단은 하나 이상의 밀폐부재(522)로 밀폐되는 것이 바람직하다.

구체적으로, 상기 하우징(521)은, 일단에 제1밀폐부재(522)가 설치되고, 타단에 외부와 연통될 수 있는 하나 이상의 관통공(523a)들이 형성된 제2밀폐부재(523)가 설치될 수 있다.

이때 상기 밸브부재(531)는, 제2밀폐부재(523) 쪽에 설치되며 밸브부재(531) 및 제1밀폐부재(522) 사이에는 탄성부재(532)가 설치될 수 있다.

그리고 상기 탄성부재(532)의 설치 및 개구(540)의 형성을 위하여 내주면에 보조실린더부재(524)가 추가로 설치될 수 있다.

또한 상기 하우징(521)은, 밸브부재(531)의 선형이동이 가능하면서 외주면 쪽으로 공기의 연통이 가능하도록 밸브부재(531)의 외주면을 따라서 하나 이상의 요홈(525)이 형성될 수 있다.

또한 상기 하우징(521)은, 본체부(510)에 형성된 진공압연결유로(513)를 상하로 연결될 수 있도록 측면에서 진공압연결유로(513)를 따라서 형성되는 관통공(521a, 521b)이 형성된다.

한편 상기 밸브부재(531)에 의하여 개폐되는 개구(540)는, 보조실린더부재(524)에 의하여 형성되는 등 다양하게 형성될 수 있다.

예로서, 상기 밸브부재(531)는, 구형형상 등 앞서 설명한 개구(540)를 개폐할 수 있는 구조이면 어떠한 구조도 가능하다.

한편 상기 밸브부재(531)는, 다른 실시예로서 도 11a 및 도 11b에 도시된 바와 같이, 흡입유로(210)에 진공압이 형성되면 흡입유로(210)에 진공압에 의하여 진공압연결유로(513)에 대한 대기압연결유로(550)의 연통을 차단하고, 흡입유로(210)에 진공압이 해제되면 자중에 의하여 진공압연결유로(513)에 대한 대기압연결유로(550)의 연통차단을 해제할 수 있다.

상기 대기압연결유로(550)는, 본체부(510)의 측면에서 진공압연결유로(513)를 연결하도록 형성되며, 밸브부재(531)에 의하여 개폐됨을 특징으로 한다.

여기서 상기 대기압연결유로(550)는, 하나 이상의 직선유로(551, 552)에 의하여 형성될 수 있다.

예로서, 상기 직선유로(551, 552)는, 본체부(510)의 측면방향에서 진공압연결유로(513)를 연결하는 제1직선유로(551)와, 본체부(510)의 상하방향으로 제1직선유로(551)와 본체부(510)의 외부로 연결하는 제2직선유로(552)로 이루어질 수 있다.

여기서 상기 제1직선유로(551)는, 본체부(510)의 측면방향에서 기계가공에 의하여 천공되며, 천공 후 본체부(510)의 측면부분에서 밀봉부재(536)에 의하여 밀봉될 수 있다.

상기 밀봉부재(536)는, 제1직선유로(551)에 삽입되어 제1직선유로(551)의 끝단부분을 밀봉하는 구성으로서, 구형부재 등이 제1직선유로(551)에 압입되어 고정되는 등 다양한 구성이 가능하다.

그리고 상기 대기압형성부(400)는, 대기압연결유로(550)와 적어도 일부분이 교차하도록 본체부(510)에 형성된 삽입홈(519)에 삽입설치되며, 밸브부재(531)가 내부에서 이동가능하게 설치되는 하우징(521)을 포함할 수 있다.

그리고, 상기 하우징(521)은, 진공압연결유로(513)와 연통되며 밸브부재(531)에 의하여 개폐되는 개구(540)가 형성되며, 흡입유로(210)에 진공압이 해제되면 자중에 의하여 밸브부재(531)가 낙하가능하도록 밸브부재(531)가 설치될 수 있다.

그리고 상기 하우징(521)은, 밸브부재(531)가 내부에 설치되고 대기압연결유로(550)가 형성될 수 있도록, 상단 및 하단은 하나 이상의 밀폐부재(529)로 밀폐되는 것이 바람직하다.

구체적으로, 상기 하우징(521)은, 일단에 제1밀폐부재(529)가 설치되고, 타단에 외부와 연통될 수 있는 밸브부재(531)에 의하여 개폐되는 개구(540)이 형성된 제2밀폐부재(528)가 설치될 수 있다.

이때 상기 밸브부재(531)는, 제2밀폐부재(528)의 하측에 설치되며, 하우징(521)의 내주면에 비하여 그 크기 작게 형성됨이 바람직하다.

한편 도 11a 내지 도 15b에 도시된 실시예에 따른 대기압형성부의 구성은, 매우 작은 크기의 소자(10)를 픽업하는 픽커에 적용시에 가공, 조립 등의 기구적 구성에 제한이 있다.

이에, 상기 대기압형성부(400)는, 또 다른 실시예(제4실시예 및 제5실시예)로서, 도 12a 내지 도 15b에 도시된 바와 같이, 로드(200)에 결합되고, 흡입유로(210)와 연결되는 진공압연결유로(513)가 상하로 관통형성되며, 외부로부터 진공압연결유로(513)를 연결하도록 대기압연결유로가 형성된 본체부(510)와; 본체부(510)에 설치되며 진공압연결유로(513) 및 대기압연결유로를 서로 연통시키거나 차단하는 밸브부재(531)를 포함하고, 본체에 형성되는 대기압연결유로 및 밸브부재(531)의 설치구조를 최대한 간단화하여 구성될 수 있다.

상기 밸브부재(531)는, 후술하는 진공압연결유로(513)를 개폐할 수 있는 부재이면 어떠한 부재도 가능하며, 가공성, 조립성을 고려하여 구형상을 가지는 것이 바람직하다.

상기 대기압연결유로는, 일단이 진공압연결유로(513)와 연결되고 밸브부재(531)의 이동에 의하여 개폐되며 타단이 본체부(510)의 외부와 연통되는 연결유로형성부(561)를 포함할 수 있다.

상기 연결유로형성부(561)는, 밸브부재(531)의 이동을 가능케 하는 구조로서 구형상을 가지는 밸브부재(531)의 이동 및 공기가 통할 수 있도록 밸브부재(531)의 외경(D0)보다 큰 내경(D1)을 가지는 실린더 구조를 가짐이 바람직하다.

이때 상기 연결유로형성부(561)의 길이는, 본체부(510)의 전체 크기에 따른 가공성, 밸브부재(531)의 외경(D0) 및 선현이동을 고려하여 적절하게 선택된다.

그리고 상기 연결유로형성부(561)의 일단은, 밸브부재(531)의 이동에 의하여 개폐가 용이하도록 진공압연결유로(513)와 연결되는 연결부분(564)이 밸브부재(531)의 외경(D0)보다 작은 내경을 가지도록 형성된다.

특히 상기 진공압연결유로(513)와 연결되는 연결부분(564)은, 밸브부재(531)에 의한 원활한 개폐를 위하여 종단면 형상이 진공압연결유로(513)로 가면서 내경이 감소하는 테이퍼 형상을 가짐이 바람직하다.

한편 상기 연결유로형성부(561)의 타단은, 본체부(510)의 외부와 연통이 가능하면서 밸브부재(531)가 본체부(510)의 외부로 빠져나가는 것을 방지하는 분리방지수단이 구비된다.

상기 분리방지수단은, 밸브부재(531)가 연결유로형성부(561)로부터 본체부(510)의 외부로 빠져나가는 것을 방지하는 구조이면 어떠한 구조도 가능하다.

예로서, 상기 분리방지수단은, 밸브부재(531)를 연결유로형성부(561)에 삽입한 후 연결유로형성부(561)의 타단을 기계가공 등을 통하여 변형(연결유로형성부(561)의 타단의 내경을 감소시킴)하여 이루어질 수 있다.

다른 예로서, 상기 분리방지수단은, 밸브부재(531)를 연결유로형성부(561)에 삽입한 후 분리방지부재가 연결유로형성부(561)의 타단에 끼워져 고정결합되어 이루어질 수 있다.

또 다른 예로서, 상기 분리방지수단은, 도 12a 내지 도 13b에 도시된 바와 같이, 연결유로형성부(561)의 내경(D1)보다 큰 내경(D2)를 가지며 연결유로형성부(561)의 타단과 본체부(510)의 외면 사이를 연결하도록 형성되는 확장유로(562)와, 확장유로(562)에 삽입되며 본체부(510)로부터 연결유로형성부(561)로의 공기유입이 가능하도록 하는 삽입부재(534)로 이루어질 수 있다.

상기 확장유로(562)는, 연결유로형성부(561)의 내경(D1)보다 큰 내경(D2)를 가지며 연결유로형성부(561)의 타단과 본체부(510)의 외면 사이를 연결하도록 형성되는 유로로서 연결유로형성부(561)와 유사한 구조를 가질 수 있다.

상기 삽입부재(534)는, 확장유로(562)에 삽입되며 본체부(510)로부터 연결유로형성부(561)로의 공기유입이 가능하도록 하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 삽입부재(534)는, 연결유로형성부(561)의 내경(D1)보다 크고 확장유로(562)의 내경(D2)보다 작은 외경(D1)을 가지는 구형상의 부재로 구성될 수 있다.

이때 상기 삽입부재(534)는, 삽입부재(534)가 삽입된 후 확장유로(562)에 대한 기계적 가공(도 12a 내지 도 13b에서 도면부호 535) 등을 통하여 본체부(510)의 외부로 빠져나가는 것이 방지된다.

그리고 상기 삽입부재(534)가 삽입부재(534)가 삽입된 후 확장유로(562)에 대한 기계적 가공에 의하여 확장유로(562)에 고정될 때, 확장유로(562)가 차단될 수 있는 문제가 있다.

이에, 상기 확장유로(562)의 내주면에 길이방향 홈을 형성하거나, 삽입부재(534)의 표면에 거칠기를 형성하는 등 다양한 방법에 의하여 확장유로(562)를 통한 본체부(510) 외부로부터 연결유로형성부(561)로의 대기압 전달이 가능하도록 할 수 있다.

또한 상기 확장유로(562)의 차단에도 불구하고 후술하는 연통유로(568)의 형성에 의하여 연결유로형성부(561)로의 대기압 전달이 가능하도록 할 수 있다.

한편 상기 연결유로형성부(561)에 삽입된 밸브부재(531)는, 진공압연결유로(513)에 진공압이 형성되는 경우 밸브부재(531)를 기준으로 양측의 압력차에 의하여 연결유로형성부(561)의 일단 쪽으로 이동되어 진공압연결유로(513)에 대하여 연결유로형성부(561)를 차단하게 된다.

그리고 상기 밸브부재(531)는, 진공압연결유로(513)에 진공압이 해제되면 연결유로형성부(561)의 일단 쪽에서 멀어짐으로써 진공압연결유로(513)에 대한 연결유로형성부(561)의 차단을 해제하게 된다.

이때 상기 진공압연결유로(513)에 진공압이 해제되면 밸브부재(531)가 연결유로형성부(561)의 일단 쪽에서 멀어질 필요가 있다.

그런데 상기 연결유로형성부(561)가 도 13a 및 도 13b와 같이, 본체부(510)의 길이방향, 즉 상하방향으로 형성된 경우에는 밸브부재(531)의 자중에 의하여 낙하되므로 진공압연결유로(513)에 진공압이 해제되면 밸브부재(531)가 연결유로형성부(561)의 일단 쪽에서 멀어짐으로써 진공압연결유로(513)에 대한 연결유로형성부(561)의 차단을 해제할 수 있다.

여기서 상기 연결유로형성부(561)가 도 13a 및 도 13b와 같이, 본체부(510)의 길이방향으로 형성된 경우, 본체부(510)는, 연결유로형성부(561)와 진공압연결유로(513)를 연결하는 보조유로(566)가 형성될 수 있다.

상기 보조유로(566)는, 연결유로형성부(561)와 진공압연결유로(513)를 연결하는 유로로서, 기계적 가공 등을 통하여 본체부(510)의 측면으로부터 진공압연결유로(513)와 연결되도록 천공된 후 본체부(510)의 측면 부분에서 밀봉부재(535)에 의하여 밀봉될 수 있다.

싱기 밀봉부재(535)는, 본체부(510)의 측면 부분에서 보조유로(566)의 끝단을 밀봉하기 위한 구성으로서, 보조유로(566)의 끝단에 압입되는 구형부재 등 다양한 부재로 구성될 수 있다.

한편 상기 보조유로(566)의 끝단은, 밀봉부재(535) 이외에 용접 등 다른 밀봉수단에 의하여 밀봉될 수도 있음은 물론이다.

한편, 상기 연결유로형성부(561)가 도 12a 및 도 12b와 같이, 본체부(510)의 길이방향과 수직인 방향, 즉 수평방향으로 형성된 경우에는 진공압연결유로(513)에 대한 연결유로형성부(561)의 차단상태가 유지될 수 있다.

이에, 상기 대기압형성부(400)는, 진공압연결유로(513)에 진공압이 해제되면 연결유로형성부(561)의 일단 쪽에서 밸브부재(531)가 멀어지도록 밸브부재(531)에 탄성력을 가하여 진공압연결유로(513)에 대한 연결유로형성부(561)의 차단을 해제하는 탄성부재(532)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 탄성부재(532)는, 진공압연결유로(513)에 진공압이 해제되면 연결유로형성부(561)의 일단 쪽에서 밸브부재(531)가 멀어지도록 밸브부재(531)에 탄성력을 가하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

이때 상기 탄성부재(532)의 설치를 위하여, 본체부(510)는, 연결유로형성부(561)의 일단으로부터 내측으로 연장되는 탄성부재삽입홈(563)이 추가로 형성된다.

상기 탄성부재삽입홈(563)는, 탄성부재(532)의 설치를 위하여, 본체부(510)에 형성되는 요홈으로서, 실린더 구조의 연결유로형성부(561)의 형상, 밸브부재(531)의 형상 및 크기를 고려하여 밸브부재(531)의 내경(D0)보다 작은 내경(D3)을 가지는 실린더 구조를 이룰 수 있다.

여기서 상기 탄성부재삽입홈(563)은, 밀링 등의 기계적 가공에 의하여 형성되며, 도 12a 및 도 12b와 같이, 1차로 형성되고, 연결부분(564) 및 연결유로형성부(561), 확장유로(562) 순으로 형성될 수 있다.

한편 상기 진공압연결유로(513)에 진공압이 해제되면 연결유로형성부(561)의 일단 쪽에서 밸브부재(531)가 멀어지게 되며, 진공압연결유로(513)에 대한 연결유로형성부(561)의 차단을 해제함으로써 진공압연결유로(513)에 본체부(510) 외부의 대기압이 전달되고, 소자(10)를 흡착하는 흡입부(220)에 대기압이 신속하게 전달될 수 있다.

이때, 상기 진공압연결유로(513)에 본체부(510) 외부의 대기압이 보다 신속하게 전달될 수 있도록 연결유로형성부(561), 특히 진공압연결유로(513)와 연결되는 연결부분(564)에 본체부(510)의 외부와 연통될 수 있는 연통유로(568)가 형성됨이 바람직하다.

상기 연통유로(568)는, 삽입부재(534)에 의한 확장유로(562)의 차단가능성을 방지하기 위하여도 사용될 수 있다.

상기 연통유로(568)는, 진공압연결유로(513)에 본체부(510) 외부의 대기압이 보다 신속하게 전달될 수 있도록 하는 구성으로서, 본체부(510)의 외부로부터 연결유로형성부(561), 특히 진공압연결유로(513)와 연결되는 연결부분(564)까지 관통되어 형성되는 관통공으로 형성될 수 있다.

구체적으로, 상기 연통유로(568)는, 본체부(510)의 길이방향 또는 측면 외주면으로부터 연결부분(564)까지 관통되어 형성되는 관통공으로 형성될 수 있다.

또한 상기 연통유로(568)는, 도시되지 않았지만, 연결유로형성부(561)의 내주면의 길이방향으로 형성된 요홈으로도 형성되는 등 다양한 구성이 가능하다.

한편 상기 분리방지수단의 또 다른 예로서, 도 12a 내지 도 13b에 도시된 실시예와 달리, 도 14a 및 도 14b에 도시된 바와 같이, 연결유로형성부(561)를 복개하도록 본체부(510)에 결합되는 결합링(591)를 포함할 수 있다.

상기 결합링(591)은, C클립링 등 연결유로형성부(561)를 복개하도록 본체부(510)에 결합되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

여기서 상기 본체부(510)는, 결합링(591)의 원활한 결합을 위하여 결합링(591)이 삽입되는 요홈(519)가 형성될 수 있다.

상기 요홈(519)은, 결합링(591)의 원활한 결합을 위하여 결합링(591)이 삽입되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 요홈(519) 및 결합링(591)은, 연결유로형성부(561)를 통한 외부 공기의 원활한 유동을 위하여 미리 설정된 오차를 두어 상호 결합됨이 바람직하다.

즉, 도면들에서 각 부재들이 밀접하게 설치된 상태로 도시되어 있지만, 제조상의 오차, 표면거칠기 등으로 인하여 본체부(510) 및 결합링(591) 사이의 미세한 틈으로 대기압 형성을 위한 충분한 공기유동이 가능하다. 아울러, 도 14a 및 도 14b 이외에도 다른 실시예에서, 도면들은 이상적으로 표현한 것으로 실제로는 재질의 선택, 결합오차 등으로 부재들 사이에서 미세한 틈으로 대기압 형성을 위한 충분한 공기유동이 가능할 수 있음은 물론이다.

그리고 상기 요홈(519) 및 결합링(591)은, 결합링(591) 및 밸브부재(531) 사이의 거리가 밸브부재(531)가 진공압연결유로(513)와 연결되는 연결부분(564)의 원활한 개폐가 가능한 정도의 거리를 가지도록 적절하게 선택될 수 있다.

또한 상기 결합링(591)은, 탄성변형이 가능하도록 구성되어 자체 변형 등에 의하여 요홈(519)에 결합될 수 있다.

한편 상기 진공압연결유로(513)와 연결되는 연결부분(564)은, 앞서 설명한 바와 같이, 밸브부재(531)에 의한 원활한 개폐를 위하여 종단면 형상이 진공압연결유로(513)로 가면서 내경이 감소하는 테이퍼 형상을 가짐이 바람직하다.

상기와 같은 구성에 의하여, 상기 진공압연결유로(513)에서 진공압 형성시 진공압으로 인하여 구형의 밸브부재(531)는, 진공압연결유로(513)와 연결되는 연결부분(564) 쪽으로 이동하여 연결부분(564)을 차단하게 된다.

반대로, 상기 진공압연결유로(513)에서 진공압이 깨지게 되면 구형의 밸브부재(531)는, 연결부분(564)의 테이퍼 형상에 의하여 연결부분(564)으로부터 이격되게 되며 진공압연결유로(513)의 내경 및 밸브부재(531)의 외경 사이의 미세한 차이로 외부공기가 진공압연결유로(513)로 연결되어 흡착부(220)에서 대기압이 신속하게 형성될 수 있다.

한편 도 10a 내지 도 14b에 도시된 실시예에서, 대기압형성부(400)는, 로드(200)에 형성되는 등 타부재와 일체로 형성되거나 별도부재로 형성되는 등 다양한 실시예가 가능함은 물론이다.

한편 상기 대기압형성부는, 또 다른 실시예(제7실시예)로서, 도 15에 도시된 바와 같이, 흡입통로(210)와 연결되는 대기압 연결관(920)과, 개방시에 흡입통로(210), 흡착부(220) 및 대기압 연결관(920)을 포함하는 체적에 대응되는 공간 내에서 대기압으로 형성하기 위한 압축공기가 저장되는 공기탱크(910)와; 공기탱크(910)와 대기압 연결관(920) 사이에 설치되어 공기탱크(910)를 개폐하는 개폐밸브(930)를 포함할 수 있다.

상기 대기압 연결관(920)은, 흡입통로(210)와 연결되는 구성으로서 진공압연결관과 동일하거나 유사한 부재가 사용될 수 있다.

그리고 상기 대기압 연결관(920)은, 연결지점은 로드(10)에 별도로 결합되거나 진공압연결관의 일정부분에서 분기되어 연결될 수 있다.

여기서 분기점에는, 진공압 또는 대기압으로의 전환을 위한 전환밸브(switching valve)가 설치될 수 있다.

상기 대기압 연결관(920)은, 흡입통로(210)에 대한 공기공급시간을 최소화하기 위하여 흡착부(220)와 최대한 가까운 곳에 연결됨이 바람직하다.

상기 공기탱크(910)는, 개방시에 흡입통로(210), 흡착부(220) 및 대기압 연결관(920)을 포함하는 체적에 대응되는 공간 내에서 대기압으로 형성하기 위한 압축공기가 저장되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

여기서 상기 공기탱크(910)는, 흡입통로(210)에 대한 공기공급시간을 최소화하기 위하여 흡착부(220)와 최대한 가까운 곳에 연결됨이 바람직하다.

상기 개폐밸브(930)는, 공기탱크(910)와 대기압 연결관(920) 사이에 설치되어 공기탱크(910)를 개폐하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 개폐밸브(930)는, 진공압 또는 대기압으로의 전환을 위한 전환밸브(switching valve)로 진공압 및 대기압의 분기점에 설치될 수 있다.

한편 상기 대기압형성부는, 또 다른 실시예(제9실시예)로서 도 16a 및 도 16b에 도시된 바와 같이, 로드(200) 및 흡착부(220) 중 어느 하나가, 하나 이상의 측면관통공(941)이 외주면에서 내측으로 관통형성될 때, 로드(200) 및 흡착부(220) 중 어느 하나의 외주면을 따라서 이동되어 측면관통공(941)을 개폐하는 개폐부재(942)와; 개폐부재(942)를 로드(200) 및 흡착부(220) 중 어느 하나의 외주면을 따라서 이동시키는 개폐부재이동부(943)를 포함할 수 있다.

상기 개폐부재(942)는, 로드(200) 및 흡착부(220) 중 어느 하나의 외주면을 따라서 이동되어 측면관통공(941)을 개폐하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 개폐부재(942)는, 도 16a 및 도 16b에 도시된 바와 같이, 로드(200) 및 흡착부(220) 중 어느 하나의 외주면을 감싸는 중공 실린더 구조를 가질 수 있으며, 측면관통공(941)에 대응되었을 때 외부와 개방되는 노출공(944)이 형성될 수 있다.

여기서 물론 상기 개폐부재(942)는, 상하이동에 의하여 측면관통공(941)를 복개하거나 개방함으로써 외부에 노출시켜 대기압으로 전환시킬 수 있다.

상기 개폐부재이동부(943)는, 개폐부재(942)를 로드(200) 및 흡착부(220) 중 어느 하나의 외주면을 따라서 이동시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 개폐부재이동부(943)는, VCM 또는 솔레노이드가 사용될 수 있다.

한편 도 16a 및 도 16b에 도시된 실시예에서, 대기압제어부(400)는 로드(200)와 일체로 또는 로드(200)와 결합되는 별도의 보조부재(90)에 의하여 설치될 수 있다.

이때 상기 보조부재(90)는, 흡입통로(220)를 연장하며 측면관통공(941)와 연통되는 연장흡입통로(721)가 상하로 관통되어 형성될 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예들에만 한정되는 것이 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.

100 : 상하구동부 200 : 로드
110 : 제1몸체부 120 : 제2몸체부

Claims

내부에 진공압이 작용되는 흡입통로(210)가 형성되고 일단에 소자(10)가 흡착되는 흡착부(220)가 결합되는 로드(200)와;
상기 로드(200)를 상하방향으로 이동시키기 위한 상하구동부(100)와;
상기 흡입통로(210)에 진공압이 해제될 때 상기 흡착부(220)에 대기압으로 형성하기 위한 대기압형성부(400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커.
청구항 1에 있어서,
상기 대기압연결유로는, 일단이 상기 진공압연결유로(513)와 연결되고 상기 밸브부재(531)의 이동에 의하여 개폐되며 타단이 상기 본체부(510)의 외부와 연통되는 연결유로형성부(561)를 포함하며,
상기 연결유로형성부(561)는, 구형상을 가지는 상기 밸브부재(531)의 이동 및 공기가 통할 수 있도록 상기 밸브부재(531)의 외경(D0)보다 큰 내경(D1)을 가지는 실린더 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 픽커.
청구항 2에 있어서,
상기 연결유로형성부(561)의 일단은, 상기 밸브부재(531)의 이동에 의하여 개폐가 용이하도록 상기 진공압연결유로(513)와 연결되는 연결부분(564)이 상기 밸브부재(531)의 외경(D0)보다 작은 내경을 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 픽커.
청구항 3에 있어서,
상기 연결유로형성부(561)의 타단은, 상기 본체부(510)의 외부와 연통이 가능하면서 상기 밸브부재(531)가 상기 본체부(510)의 외부로 빠져나가는 것을 방지하는 분리방지수단이 구비된 것을 특징으로 하는 픽커.
청구항 4에 있어서,
상기 분리방지수단은, 상기 연결유로형성부(561)의 내경(D1)보다 큰 내경(D2)를 가지며 상기 연결유로형성부(561)의 타단과 상기 본체부(510)의 외면 사이를 연결하도록 형성되는 확장유로(562)와, 상기 확장유로(562)에 삽입되며 상기 본체부(510)로부터 상기 연결유로형성부(561)로의 공기유입이 가능하도록 하는 삽입부재(534)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 픽커.
청구항 3 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 연결유로형성부(561)는, 상기 본체부(510)의 길이방향으로 형성되며,
상기 본체부(510)는, 상기 연결유로형성부(561)와 상기 진공압연결유로(513)를 연결하는 보조유로(566)가 형성된 것을 특징으로 하는 픽커.
청구항 3 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 대기압형성부(400)는, 진공압연결유로(513)에 진공압이 해제되면 연결유로형성부(561)의 일단 쪽에서 상기 밸브부재(531)가 멀어지도록 상기 밸브부재(531)에 탄성력을 가하여 진공압연결유로(513)에 대한 연결유로형성부(561)의 차단을 해제하는 탄성부재(532)를 추가로 포함하며,
상기 본체부(510)는, 상기 연결유로형성부(561)의 일단으로부터 내측으로 연장되는 탄성부재삽입홈(563)이 추가로 형성된 것을 특징으로 하는 픽커.
청구항 3 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 진공압연결유로(513)에 상기 본체부(510) 외부의 대기압이 보다 신속하게 전달될 수 있도록 상기 연결유로형성부(561)와 연결되는 연결부분(564)에 상기 본체부(510)의 외부와 연통될 수 있는 연통유로(568)가 형성된 것을 특징으로 하는 픽커.
청구항 2에 있어서,
상기 분리방지수단은, 상기 연결유로형성부(561)를 복개하도록 상기 본체부(510)에 결합되는 결합링(591)를 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커.
청구항 9에 있어서,
상기 본체부(510)는, 상기 결합링(591)의 원활한 결합을 위하여 상기 결합링(591)이 삽입되는 요홈(519)가 형성된 것을 특징으로 하는 픽커.
청구항 9에 있어서,
상기 진공압연결유로(513)와 연결되는 연결부분(564)은, 상기 밸브부재(531)에 의한 원활한 개폐를 위하여 종단면 형상이 상기 진공압연결유로(513)로 가면서 내경이 감소하는 테이퍼 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 픽커.