TWI622542B - 拾取器 - Google Patents

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TWI622542B
TWI622542B TW105107622A TW105107622A TWI622542B TW I622542 B TWI622542 B TW I622542B TW 105107622 A TW105107622 A TW 105107622A TW 105107622 A TW105107622 A TW 105107622A TW I622542 B TWI622542 B TW I622542B
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Abstract

本發明涉及一種拾取器,安裝到移送元件的取放裝置上,用於吸附元件。
本發明揭露一種拾取器,其特徵在於,包括:桿(200),內部形成受真空壓作用的吸入流路(210),一端與吸附元件(10)的吸附部(220)結合;上下驅動部(100),使所述桿(200)向上下方向移動;大氣壓形成部(400),所述吸入流路(210)中真空壓解除時,使所述吸附部(220)形成大氣壓。

Description

拾取器
本發明涉及一種拾取器,安裝到移送元件的取放裝置上,用於吸附元件。
一般來說,拾取器是設置於拾取元件後移送而安放到固定安放位置上的取放裝置而吸附元件的器具,包括內部形成受真空壓作用的吸入流路、一端結合用於吸附元件的吸附部的桿及用於向上下方向移動桿的上下驅動部。
所述上下驅動部是通過氣壓運轉的構造,由提供氣壓產生作用的空間的氣缸及在氣缸的內部根據氣壓而滑動的活塞構造。而且,如所述的上下驅動部的活塞及桿通過連結等來連接,據此,桿通過活塞在氣缸的內部滑動而向上下方向移動。
另外,以往的拾取器在拾取位置拾取元件時,在吸附部上形成真空壓(即負壓)來拾取元件,通過解除吸附部真空壓,在裝載位置裝載元件。
尤其,一般來說,以往的拾取器為了在裝載位置上迅速裝載元件,在吸附部形成正壓。
但是,如LED元件等,隨著元件的大小的細微化,以往的拾取器在吸附元件的吸附部形成正壓的情況下,會導致元件飛散或妨礙以正確的狀態裝載到裝載位置。
並且,正壓傳遞到拾取器的吸附頭為止,需要一定時間,因無法滿足要求迅速的元件處理的趨勢,提高裝置的處理速度上存在侷限性。
具體地,拾取器的吸附頭上形成正壓或負壓是根據氣壓傳達線來形成,通過氣壓傳達線的正壓或負壓形成時間係根據氣壓傳達線的長度而決定,因此為了縮短正壓或負壓形成時間而最小化氣壓傳達線的長度 上存在侷限性,結果,裝置處理速度的局限導致了問題。
另外,隨著移送物件(即元件)的大小的細微化,用於移送元件的拾取器的大小變小,提出拆卸便利、維護便利、耐久性增大等多種問題。
並且,為了增大元件生產性,相比以往,為了達到快速處理元件的要求以作為拾取器的性能,要求移送元件的拾取器及能夠快速從拾取位置移動到裝載位置、更加迅速拾取元件及裝載元件。
本發明的目的在於,為了解決所述以往技術的問題,提供一種能夠更加迅速執行元件拾取及裝載的拾取器。
本發明的另一目的在於,提供一種拾取器,其具備能夠輕量化元件的結構,能夠迅速移動到拾取位置及裝載位置。
本發明的另一目的在於,提供一種拾取器,為了解除元件的拾取,增加具備能夠在吸附部迅速執行大氣壓的大氣壓形成部,從而迅速並穩定地執行拾取元件的放置。
本發明為了達到如所述本發明的目的而提出,本發明揭露一種拾取器,其特徵在於,包括:桿200,內部形成受真空壓作用的吸入流路210,一端與吸附元件10的吸附部220結合;上下驅動部100,使所述桿200向上下方向移動,所述上下驅動部100,包括:第一主體部110,可裝卸地結合到支撐結構物,所述桿200以上下方向可移動地與此結合;第二主體部120,與所述桿200固定結合而根據對所述第一主體部110的電子驅動向上下方向移動,使所述桿200相對於所述第一主體部110向上側方向及下側方向中的至少其中一個方向移動;電子驅動部,設置於所述第一主體部110及所述第二主體部120中的至少其中一個而驅動所述第一主體部110向所述第二主體部120的上側方向及下側方向中的至少其中一個方向移動。
所述第一主體部110具有向上下方向貫通而結合的長方體形狀,使得所述桿200能夠向上下方向移動,所述第二主體部120可對應第一主體部100的形狀而具有薄型長方體形狀。
所述第二主體部120上形成桿200上下貫通、從上側看時形成「U」字型槽的固定結合部121,與所述桿200固定結合。
所述上下驅動部可包括:一個以上的引導部件130,與所述桿200的長度方向平行地固定到所述第二主體部120,上下方向可移動地結合到所述第一主體部110。
所述電子驅動部可包括:直線馬達、壓電元件、螺線管及VCM中的其中一個。
所述電子驅動部包括:電磁石部510,設置於所述第一主體部110,根據電施加而產生磁力;磁力反應部件520,設置於所述第二主體部120,當電磁石部510發生磁力時,作用於磁力而使所述第一主體部110與所述第二主體部120之間的引力產生作用。
所述電子驅動部可包括:第一電子驅動部,用於驅動相對於所述第一主體部110的所述第二主體部120的上側方向的移動;第二電子驅動部,用於驅動相對於所述第一主體部110的所述第二主體部120的下側方向的移動。
所述電子驅動部向相對於所述第一主體部110的所述第二主體部120的上側方向及下側方向中的其中某一個的方向驅動所述桿200移動,所述上下驅動部可包括:一個以上的彈性部件150,用於對所述第一主體部110的所述第二主體部120的相反方向移動。
本發明揭露一種拾取器,其特徵在於,包括:桿200,內部形成受真空壓作用的吸入流路210,一端與吸附元件10的吸附部220結合;上下驅動部100,使所述桿200向上下方向移動;大氣壓形成部400,所述吸入流路210中真空壓解除時,使所述吸附部220形成大氣壓。
所述大氣壓形成部400可包括:第一流路形成部件410及第二流路形成部件420,結合到所述桿200的下端而形成與所述吸入流路210連接的連接流路;活塞部件430,沿著所述連接流路通過吸入流路210,真空壓傳遞時移動到上側而將真空壓傳遞到吸附部220;彈性部件440,所述吸入流路210中真空壓解除時,使所述活塞部件430向下側移動,根據活塞部件430而將大氣壓傳遞到吸附部220。
所述第二流路形成部件420可形成所述活塞部件430能夠移 動的活塞空間429、形成向所述第二流路形成部件420的側面貫通而連接外部與活塞空間429的一個以上的側面貫通孔421、形成從所述側面貫通孔421的上側沿著所述第二流路形成部件420的內周面向上側延長而與吸入流路210連通的連通槽422。
所述活塞部件430在所述活塞部件430的側面形成第一埠431,該第一埠431形成在與所述第二流路形成部件420形成的上下貫通孔423對應的位置,連接至形成在底面的第二埠432的氣壓傳遞流路433,在所述第一埠431位於下側的狀態下,與所述側面貫通孔421連通而外部的大氣壓經過所述氣壓傳遞流路433、所述第二埠432及所述上下貫通孔423傳遞到所述吸附部220,從所述活塞部件430的上側傳遞真空壓時,根據真空壓而活塞部件430向上側移動,所述第一埠431沿著所述活塞空間429向上側移動,而與所述連通槽422連通,所述活塞空間429的側面堵住所述側面貫通孔421,較佳大氣壓不傳遞到所述吸附部220。
所述大氣壓形成部400可包括:主體部510,結合到所述桿200,與所述吸入流路210連接的真空壓連接流路513向上下貫通來形成,從外部連接所述真空壓連接流路513形成有大氣壓連接流路;閥部件531,設置於所述主體部510,相互連通或隔絕所述真空壓連接流路513及所述大氣壓連接流路。
所述閥部件531,若所述吸入流路210形成真空壓,根據所述吸入流路210的真空壓,隔絕對所述真空壓連接流路513的所述大氣壓連接流路的連通,若所述吸入流路210中的真空壓解除,根據彈性部件的彈性力或自重,解除對所述真空壓連接流路513的所述大氣壓連接流路的連通隔絕。
所述大氣壓形成部400,與所述大氣壓連接流路至少一部分交叉而插入設置於在所述主體部510形成的插入槽519,可包括內部可移動地設置於所述閥部件531的外殼521。
所述外殼521可形成與所述真空壓連接流路513連通而根據所述閥部件531開閉的開口540。
所述外殼521可設有所述閥部件531,所述吸入流路210的真空壓解除後,所述閥部件531根據自重而能夠落下。
所述外殼521可設有彈性部件532,所述吸入流路210的真空壓解除後,向所述閥部件531施加彈性力而使所述閥部件531開放所述開口540。
所述大氣壓形成部可包括:大氣壓連接管,與所述吸入流路210連接;空氣箱,開放時,在對應包括所述吸入流路、所述吸附部及所述大氣壓連接管的體積的空間內,保存用於形成大氣壓的壓縮空氣;開閉閥,設置於所述空氣箱與所述大氣壓連接管之間而開閉所述空氣箱。
所述桿及所述吸附部中的其中一個,一個以上的側面貫通孔從外周面向內側貫通形成,所述大氣壓形成部可包括:開閉部件,沿著所述桿及所述吸附部中的其中一個外周面移動而開閉所述側面貫通孔;開閉部件移動部,使所述開閉部件沿著所述桿及所述吸附部中的其中一個外周面移動。
本發明揭露一種拾取器,其特徵在於,包括:桿200,內部形成受真空壓作用的吸入流路210,一端與吸附元件10的吸附部220結合;上下驅動部100,使所述桿200向上下方向移動;大氣壓形成部400,所述吸入流路210中真空壓解除時,使所述吸附部220形成大氣壓。
所述大氣壓連接流路包括:一端連接到所述真空壓連接流路513,根據所述閥部件531的移動而開閉,另一端與所述主體部510的外部連通的接流路形成部561;所述連接流路形成部561,可具有大於所述閥部件531的外徑D0的內徑D1的氣缸結構,實現具有球形狀的所述閥部件531的移動及通氣。
所述連接流路形成部561的一端,為了根據所述閥部件531的移動而易於開閉,與所述真空壓連接流路513連接的連接部分564,可形成為具有小於所述閥部件531的外徑D0的內徑。
所述連接流路形成部561的另一端,較佳為:具備分離防止工具,能夠與所述主體部510的外部連通,防止所述閥部件531向所述主體部510的外部脫離。
所述分離防止工具,可具有:擴張流路562,具有大於所述連接流路形成部561的內徑D1的內徑D2,連接所述連接流路形成部561的另一端與所述主體部510的外面之間;插入部件534,插入到所述擴張流路 562,實現從所述主體部510向所述連接流路形成部561的空氣流入。
所述連接流路形成部561向所述主體部510的長度方向形成,所述主體部510可形成連接所述連接流路形成部561與所述真空壓連接流路513的輔助流路566。
所述大氣壓形成部400還包括:彈性部件532,若真空壓連接流路513的真空壓解除,從連接流路形成部561的一端側向遠離所述閥部件531地向所述閥部件531施加彈性力,解除對真空壓連接流路513的連接流路形成部561的隔絕;所述主體部510還形成:彈性部件插入槽563,從所述連接流路形成部561的一端向內側延長。
為了將所述主體部510外部的大氣壓更加迅速地傳遞到所述真空壓連接流路513,與所述連接流路形成部561連接的連接部分564,可形成能夠與所述主體部510的外部連通的連通流路568。
所述分離防止工具可包括:結合環591,結合到所述主體部510而覆蓋所述連接流路形成部561。
所述主體部510,為了所述結合環591的順暢結合,能夠形成用於插入所述結合環591的凹槽519。
與所述真空壓連接流路513連接的連接部分564,為了根據所述閥部件531的順暢開閉,縱截面形狀可具有錐形形狀,內徑沿所述真空壓連接流路513而減少。
根據本發明的拾取器,根據螺線管等電而驅動拾取元件的桿的上下驅動,相比於利用氣壓氣缸的以往的拾取器,反應速度快且能夠實現輕量化。
尤其,拾取器的反應速度的提高及輕量化,相比於元件的拾取或裝載時能夠迅速執行,根據拾取器的輕量化,提高拾取器的移動速度而提高整個元件處理速度。
進而,隨著拾取器的輕量化,具備多個拾取器的移送工具的移動時慣性減少,減少裝置啟動時的振動,能夠更穩定地處理元件。並且,根據本發明的拾取器,為了解除元件的拾取,還具備能夠在吸附部迅速執行大氣壓的大氣壓形成部,能夠迅速並穩定地執行拾取元件的放置。
10‧‧‧吸附元件
100‧‧‧上下驅動部
110‧‧‧第一主體部
111‧‧‧第一貫通孔
112‧‧‧第二貫通孔
120‧‧‧第二主體部
121‧‧‧固定結合部
130‧‧‧引導部件
150‧‧‧彈性部件
200‧‧‧桿
210‧‧‧吸入流路
220‧‧‧吸附部
400‧‧‧大氣壓形成部
410‧‧‧第一流路形成部件
411‧‧‧上下貫通孔
412‧‧‧樞鈕部
420‧‧‧第二流路形成部件
421‧‧‧側面貫通孔
422‧‧‧連通槽
423‧‧‧上下貫通孔
424‧‧‧延長部
429‧‧‧活塞空間
430‧‧‧活塞部件
431‧‧‧第一埠
432‧‧‧第二埠
433‧‧‧氣壓傳遞流路
434‧‧‧環形凹槽部
439‧‧‧凹槽
440‧‧‧彈性部件
510‧‧‧電磁石部/主體部
511‧‧‧螺栓
512、513、514、515‧‧‧襯套
516‧‧‧接地部件
519‧‧‧插入槽/凹槽
520‧‧‧磁力反應部件
521‧‧‧外殼
521a、521b‧‧‧貫通孔
522‧‧‧第一密封部件
523‧‧‧第二密封部件
523a‧‧‧貫通孔
524‧‧‧輔助氣缸部件
528‧‧‧第二密封部件
529‧‧‧第一密封部件
531‧‧‧閥部件
532‧‧‧彈性部件
534‧‧‧插入部件
535‧‧‧密封部件
536‧‧‧密封部件
540‧‧‧開口
550‧‧‧大氣壓連接流路
551‧‧‧第一直線流路
552‧‧‧第二直線流路
561‧‧‧流路形成部
562‧‧‧擴張流路
563‧‧‧插入槽
564‧‧‧連接部分
566‧‧‧輔助流路
568‧‧‧連通流路
591‧‧‧結合環
90‧‧‧輔助部件
910‧‧‧空氣箱
920‧‧‧大氣壓連接管
924‧‧‧開閉部件
930‧‧‧開閉閥
941‧‧‧貫通孔
942‧‧‧開閉部件
943‧‧‧移動部
944‧‧‧露出孔
D0‧‧‧外徑
D1、D2、D3‧‧‧內徑
第1圖是呈現根據本發明的拾取器的立體圖;第2圖是呈現第1圖的拾取器的縱截面圖,呈現拾取元件的狀態的縱截面圖;第3圖是呈現第1圖的拾取器中根據上下驅動部而桿向上側移動,拾取元件之前或放置狀態的縱截面圖;第4圖是呈現第2圖中根據大氣壓形成部而在拾取部形成大氣壓的狀態的截面圖;第5圖是詳細呈現第4圖的大氣壓形成部的部分截面圖;第6圖是呈現第2圖及第3圖中為了元件拾取而在拾取部形成真空壓的狀態的部分截面圖;第7圖至第9圖是呈現第5圖的大氣壓形成部的形成位置的實施例的側面;第10a圖是結合到第1圖的拾取器的大氣壓形成部的另一實施例,呈現吸附部上形成真空壓而吸附元件的樣子的部分截面圖;第10b圖是呈現第10a圖的構造中根據大氣壓形成部而吸附部上形成大氣壓的狀態的部分截面圖;第11a圖是結合到第1圖的拾取器的大氣壓形成部的另一實施例,呈現吸附部上形成真空壓而吸附元件的樣子的部分截面圖;第11b圖是呈現第11a圖的構造中根據大氣壓形成部而吸附部上形成大氣壓的狀態的部分截面圖;第12a圖是結合到第1圖的拾取器的大氣壓形成部的另一實施例,呈現吸附部上形成真空壓而吸附元件的樣子的部分截面圖;第12b圖是呈現第12a圖的構造中根據大氣壓形成部而吸附部形成大氣壓的狀態的部分截面圖;第13a圖是結合到第1圖的拾取器的大氣壓形成部的另一實施例,呈現吸附部上形成真空壓而吸附元件的樣子的部分截面圖;第13b圖是呈現第13a圖的構造中根據大氣壓形成部而吸附部形成大氣壓的狀態的部分截面圖;第14a圖是結合到第1圖的拾取器的大氣壓形成部的另一實施例,呈現 吸附部上形成真空壓而吸附元件的樣子的部分截面圖;第14b圖是呈現第14a圖的構造中根據大氣壓形成部而吸附部形成大氣壓的狀態的部分截面圖;第14c圖是呈現結合到第14a圖的大氣壓形成部的分離防止工具的立體圖;第15圖是呈現結合到拾取器的大氣壓形成部的另一實施例的氣壓控制回路圖;以及第16a圖及第16b圖是呈現結合到拾取器的大氣壓形成部的另一實施例的概念圖。
以下,參照附圖而說明根據本發明的拾取器。
根據本發明的拾取器,如第1圖及第2圖所示,包括:桿200,內部形成受真空壓作用的吸入流路210,一端與吸附元件10的吸附部220結合;上下驅動部100,使所述桿200向上下方向移動。
所述桿200為內部形成受真空壓作用的吸入流路210,一端與吸附元件10的吸附部220結合的構造,可具有多種構造。
作為一例,所述桿200為中空型氣缸,與用於傳遞吸附元件10的真空壓的氣壓傳遞管(未圖示)連接,橫截面的形狀可以是圓形、多角形等多種形狀。
另外,結合到所述桿200的下端的吸附部220,是根據由吸入流路210傳遞的真空壓拾取元件10的部件,而根據元件的種類、大小、結構,可具有一個以上的部件及結構。
所述上下驅動部100是用於使桿200向上下方向移動的構造,可具有多種構造。
尤其,根據本發明的拾取器的上下驅動部100,利用了諸如螺線管、VCM(音圈馬達;voice coil motor)等,只要是利用電的構造,任何構造皆可。
作為一例,所述上下驅動部100包括:第一主體部110,可裝卸地結合到支撐結構物,所述桿200以上下方向可移動地與此結合;第二主體部120,與所述桿200固定結合而根據對所述第一主體部110的電子驅動而向上下方向移動,使所述桿200相對於所述第一主體部110向上側方向及下側方向中的至少其中一個方向移動;電子驅動部,設置於所述第一主體部 110及所述第二主體部120中的至少其中一個而驅動所述第一主體部110向所述第二主體部120的上側方向及下側方向中的至少其中一個方向移動。
所述第一主體部110是可裝卸地結合到支撐結構物,並使桿200向上下方向可移動地結合的構造,可具有多種構造。
作為一例,所述第一主體部110是可具有薄型的長方體形狀,可裝卸地結合到支撐結構物,並使桿200向上下方向可移動地結合。
這時,長方體形狀的第一主體部110較佳為,從幅度小的側面可裝卸地結合到支撐結構物。
這樣,若所述第一主體部110從幅度小的側面可裝卸地結合到支撐結構物,能夠使與鄰接拾取器之間的間隔最小化。
並且,所述長方體形狀的第一主體部110,較佳為,向上下方向貫通而結合,使得桿200向上下方向移動。
為此,所述第一主體部110上形成以上下方向貫通形成的第一貫通孔111而使桿200插入。
而且,所述第一貫通孔111,為了桿200的順暢的上下方向移動,在上端及下端設置襯套512、513。
而且,所述第一貫通孔111上,可設置接地部件516,使根據桿200的上下移動的摩擦而產生的靜電向外部接地。
而且,所述第一主體部110,為了後述的引導部件130的上下移動,可還形成第二貫通孔112。
所述第二貫通孔112與第一貫通孔111類似地形成,為了引導部件130的順暢的移動,在上端及下端設置襯套514、515。
所述第二主體部120與桿200固定結合,相對於第一主體部110根據電子驅動向上下方向移動,使桿200相對於第一主體部110向上側方向及下側方向中的至少其中一個的方向移動的構造,可具有多種構造。
作為一例,所述第二主體部120可對應第一主體部100的形狀而具有薄型的長方體形狀。
而且,所述第二主體部120形成或設置與桿200固定結合的結構。
作為一例,所述第二主體部120上形成桿200上下貫通而側面 開放的,即從上側看時形成「U」字型槽的固定結合部121,桿200貫通而設置後,根據螺栓511勒緊而與桿200固定結合。
如上所述,所述桿200根據向上下方向可移動地結合的第一主體部110、與桿200固定結合的第二主體部120、及根據後述的上下驅動部的上下驅動來驅動桿200的上下方向。
另外,根據所述桿200、第一主體部110及第二主體部120的組合的上下移動,若根據桿200與第一主體部110的單獨結合結構,會發生向側方向晃動的問題。
因此,所述上下驅動部可包括:一個以上的引導部件130,與所述桿200的長度方向平行地固定到所述第二主體部120,上下方向可移動地結合到所述第一主體部110。
所述引導部件130是與桿200的長度方向平行地固定結合到第二主體部120,並上下方向可移動地結合到第一主體部110的構造,可具有多種構造。
在此,通過所述桿200與第一主體部110的結合、引導部件130與第一主體部110的結合,桿200的上下移動時,能夠防止側方向的晃動及旋轉。
另外,設置兩個以上所述引導部件130時,桿200與第一主體部110的結合不是必要的。
而且,所述引導部件130與第二主體部120的結合,可與如前所述的桿200的結合結構相同或類似。
並且,引導部件130與第一主體部110的結合,可與如前所述的桿200的結合結構相同或類似。
另外,本發明的實施例中雖然說明了第二主體部120位於第一主體部110的下側,但也可位於第一主體部110的上側。
所述電子驅動部是設置於第一主體部110及第二主體部120中至少其中一個而驅動對第一主體部110的第二主體部120向上側方向及下側方向中至少其中一個的方向的移動的構造,可具有多種構造。
尤其,所述電子驅動部根據其啟動原理,可具有直線馬達、壓電元件、螺線管、VCM等多種構造。
作為一例,所述電子驅動部,如第1圖至第4圖所示,包括:電磁石部510,設置於所述第一主體部110,根據電施加而產生磁力;磁力反應部件520,設置於所述第二主體部120,當電磁石部510發生磁力時,作用於磁力而使所述第一主體部110與所述第二主體部120之間的引力產生作用。
另外,所述電子驅動部與如VCM能同時構成向上側方向及下側方向的移動情形不同,如螺線管僅驅動上側方向及下側方向中其中一個方向的移動時,需要增加用於驅動相反方向的移動的構造。
因此,所述電子驅動部可包括:用於驅動上側方向的移動的第一電子驅動部、及用於驅動下側方向的移動的第二電子驅動部。
並且,所述電子驅動部僅向上側方向及下側方向中的其中一個方向驅動桿200的移動,上下驅動部可還包括如彈簧等一個以上的彈性部件150。
所述彈性部件150,考慮到電子驅動部作用為第一主體部110與第二主體部120之間的引力,可設置於第一主體部110與第二主體部120之間而作用為斥力。
當然,所述彈性部件150,若電子驅動部在第一主體部110與第二主體部120之間被作用為斥力的情形下,可設置於第一主體部110與第二主體部120之間而作用為引力。
另外,所述彈性部件150可包括:第一線圈彈簧,在第一主體部110於第二主體部120之間插入桿200;第二線圈彈簧,插入引導部件130。
具有所述構造的拾取器,如第2圖及第4圖所示,電子驅動部未驅動時,第一主體部110及第二主體部120之間產生間隔而維持桿200向下側移動的狀態。
而且,所述拾取器如第3圖所示,電子驅動部驅動時,第一主體部110及第二主體部120之間變窄,桿200向上側移動。
另外,本發明的技術第一要旨是,上下驅動部的上下驅動過程中,根據電子驅動部,設置於第一主體部110及第二主體部120中的至少其中一個而根據電子驅動,對所述第一主體部110的電子驅動而驅動上下方 向移動。
因此,利用電的上下驅動部只要是能夠實現上下驅動的構造,任何構造皆可,如利用壓電元件、利用包括電子馬達的球頭螺栓、利用線型馬達直線馬達、利用螺線管、利用VCM等。
另外,以往的拾取器,在拾取位置拾取元件時,在吸附部形成真空壓即負壓而拾取元件,通過解除吸附部的真空壓,在裝載位置裝載元件。
尤其,以往的拾取器為了在裝載位置迅速裝載元件而在吸附部形成正壓。
但是,如LED元件等元件大小的細微化,以往的拾取器中,若吸附元件的吸附部上形成正壓,會導致元件飛散或妨礙以正確的狀態裝載到裝載位置。
因此,根據本發明的拾取器,可還包括:大氣壓形成部400,結合到桿200而在解除元件拾取時,在吸附部220迅速形成大氣壓。
在此,所述大氣壓形成部400,如第7圖至第9圖所示,是結合到桿200的構造,可位於上端、下端、中間部分中的其中一個。
尤其,為了提高元件裝載時的反應速度,在離所述吸附部220最近的地方傳遞大氣壓,較佳設置於桿200的下端。
同時,所述大氣壓形成部400也當然可與吸附部220形成一體。
另外,所述大氣壓形成部400,是解除元件拾取時在吸附部220迅速形成大氣壓的構造,可具有多種構造。
作為一實施例(第一實施例),所述大氣壓形成部400,如第1圖至第6圖所示,可包括:第一流路形成部件410及第二流路形成部件420,結合到所述桿200的下端而形成與所述吸入流路210連接的連接流路;活塞部件430,沿著所述連接流路通過吸入流路210真空壓傳遞時移動到上側而將真空壓傳遞到吸附部220;彈性部件440,所述吸入流路210中真空壓解除時,使所述活塞部件430向下側移動,根據活塞部件430而將大氣壓傳遞到吸附部220。
所述第一流路形成部件410及第二流路形成部件420是真空 流路,例如結合到桿200的下端而形成與吸入流路210連接的連接流路的構造,可具有多種構造。
作為一例,所述第二流路形成部件420可形成後述的活塞部件430能夠移動的活塞空間429、形成向側面貫通而連接外部與活塞空間429的一個以上的側面貫通孔421、形成從側面貫通孔421的上側沿著內周面向上側延長的連通槽422。
所述活塞空間429,為使活塞部件430移動而在第二流路形成部件420,可形成為具有對應活塞部件430的外形的形狀的氣缸空間。
所述一個以上的側面貫通孔421,是向第二流路形成部件420的側面貫通而連接外部與活塞空間429的構造,連接到後述的第一埠431及氣壓傳遞流路433時,第二流路形成部件420的外部的大氣壓傳遞到吸入部220。
所述連通槽422,從側面貫通孔421的上側沿著第二流路形成部件420的內周面向上側延長而形成,為了接受吸入流路210傳遞真空壓,與吸入流路210連通而連接到後述的第一埠431及氣壓傳遞流路433時,形成於吸入流路210的真空壓傳遞到吸入部220。
在此,所述連通槽422根據形成於活塞部件430上面的凹槽439等多種結構而與吸入流路210連通。
另外,所述第二流路形成部件420,可形成向下側貫通而向吸附部220傳遞真空壓或大氣壓的上下貫通孔423。
尤其,形成所述上下貫通孔423的部分,為了與吸附部220的順暢結合,以外徑減少的形狀向下側延長的延長部424,較佳形成在第二流路形成部件420的下端。
所述第一流路形成部件410形成與第二流路形成部件420結合而活塞部件430能夠移動的活塞空間429,同時上側形成用於接收真空壓的上下貫通孔411。
而且,所述第一流路形成部件410,為了後述的彈性部件440的穩定的設置,可形成向下側突出的樞鈕部412。
所述活塞部件430,是沿著連接流路而通過吸入流路210傳遞真空壓時,向上側移動而將真空壓傳遞到吸附部220的構造,可具有多種構 造。
尤其,活塞部件430具有沿著活塞空間429能夠移動的圓筒型形狀,形成氣壓傳遞流路433,連接形成於側面的第一埠431與上下貫通孔423的對應位置形成於底面的第二埠432。
所述第一埠431,如第5圖所示,形成於活塞部件430的側面而位於下側的狀態下,與如前所述的側面貫通孔421連通而外部的大氣壓經過氣壓傳遞流路433、第二埠432及上下貫通孔423傳遞到吸附部220。
這時,為了所述第一埠431及側面貫通孔421的順暢連通,活塞部件430的外周面,較佳形成環形凹槽部434,從包括第一埠431的部分凹陷形成。
另外,如第6圖所示,在所述活塞部件430的上側傳遞真空壓時,活塞部件430隔絕活塞空間429的狀態下,根據真空壓,即使存在彈性部件440的彈性力,也向上側移動。
這時,所述第一埠431沿著活塞空間429向上側移動而與如前說明的連通槽422連通。
在此,所述活塞部件430向上側移動的時候,活塞空間429的側面堵住側面貫通孔421而大氣壓無法傳遞到吸附部220。
與此相反,所述第一埠431維持與連通槽422連通的狀態,活塞部件430的上側形成的真空壓經過氣壓傳遞流路433、第二埠432及上下貫通孔423而傳遞到吸附部220。
另外,較佳地,所述活塞部件430考慮到加工性、摩擦力及氣密性而使用工程用塑膠。
所述彈性部件440是當吸入流路210中解除真空壓時,使活塞部件430向下側移動,根據活塞部件430將大氣壓傳遞到吸附部220的構造,可具有多種構造。
作為一例,所述彈性部件440可由線圈彈簧等構成。
所述大氣壓形成部400,作為另一實施例(第二實施例及第三實施例),如第10a圖至第11b圖所示,可包括:主體部510,結合到所述桿200,與所述吸入流路210連接的真空壓連接流路513向上下貫通來形成,從外部連接至所述真空壓連接流路513而形成大氣壓連接流路;閥部件 531,設置於所述主體部510,相互連通或隔絕所述真空壓連接流路513及所述大氣壓連接流路。
所述主體部510,係結合到桿200並與吸入流路210連接的真空壓連接流路513以上下貫通形成,從外部連接真空壓連接流路513而形成大氣壓連接流路的構造,可具有多種構造。
作為一例,所述主體部510,上端與桿200的吸入流路210連通地可拆卸結合到桿200,下端,即吸附頭可拆卸結合到吸入部220。
所述閥部件531係設置於主體部510而相互連通後隔絕真空壓連接流路513及大氣壓連接流路的構造,可具有多種構造。
尤其,所述閥部件531,根據第10a圖及第10b圖所示的第二實施例及第11a圖及第11b圖所示的第三實施例等主體部510的設置形態,可具有多種構造。
具體地,所述閥部件531,如第10a圖及第10b圖所示,如果在吸入流路210形成真空壓,則吸入流路210中根據真空壓而隔絕對真空壓連接流路513的大氣壓連接流路的連通,如果吸入流路210的真空壓解除後,根據彈性部件的彈性力解除對真空壓連接流路513的大氣壓連接流路的連通隔絕。
這時,所述大氣壓形成部400,與所述大氣壓連接流路至少一部分交叉而插入設置於在所述主體部510形成的插入槽519,包括內部可移動地設置閥部件531的外殼521。
而且,所述外殼521與真空壓連接流路513連通,形成根據閥部件531而開閉的開口540,吸入流路210中解除真空壓後,可設置為了閥部件531能夠開放開口540而向閥部件531施加彈性力的彈性部件532。
並且,所述外殼521,為了內部設置閥部件531,形成大氣壓連接流路,較佳地,上端及下端由一個以上的密封部件522密封。
具體地,所述外殼521,一端可設置第一密封部件522,另一端可設置形成與外部連通的一個以上的貫通孔523a的第二密封部件523。
這時,所述閥部件531設置於第二密封部件523處,閥部件531與第一密封部件522之間,可設置彈性部件532。
而且,為了所述彈性部件532的設置及開口540的形成,內周 面可還設置輔助氣缸部件524。
並且,所述外殼521,可沿著閥部件531的外周面設置一個以上的凹槽525,使得閥部件531能夠線性移動,實現向外周面處的空氣的連通。
並且,所述外殼521,形成從側面沿著真空壓連接流路513形成的貫通孔521a、521b,上下連接形成於主體部510的真空壓連接流路513。
另外,根據所述閥部件531開閉的開口540可多樣化地形成,如根據輔助氣缸部件524形成。
所述閥部件531設置於主體部510,是使真空壓連接流路513及大氣壓連接流路相互連通或隔絕的構造,可具有多種構造。
作為一例,所述閥部件531只要是球形形狀等前述的能夠開閉開口540的結構,任何結構皆可。
另外,所述閥部件531,作為另一實施例,如第11a圖及第11b圖所示,若吸入流路210中形成真空壓,則吸入流路210中,根據真空壓而隔絕對真空壓連接流路513的大氣壓連接流路550的連通,吸入流路210中真空壓解除後,根據自重可以解除對真空壓連接流路513的大氣壓連接流路550的連通隔絕。
所述大氣壓連接流路550,其特徵在於,根據閥部件531開閉,在主體部510的側面連接真空壓連接流路513而形成。
在此,所述大氣壓連接流路550可根據一個以上的直線流路551、552來形成。
作為一例,所述直線流路551、552形成為:第一直線流路551,從主體部510的側面方向連接真空壓連接流路513;第二直線流路552,向主體部510的上下方向,連接第一直線流路551及主體部510的外部。
在此,所述第一直線流路551從主體部510的側面方向根據機械加工而穿孔,穿孔後,從主體部510的側面部分根據密封部件536密封。
所述密封部件536,是插入到第一直線流路551而密封第一直線流路551的末端部分的構造,可具有多種構造,如球形部件等壓入第一直線流路551而固定等。
而且,所述大氣壓形成部400,與所述大氣壓連接流路至少一部分交叉而插入設置於在所述主體部510形成的插入槽519,可包括內部可移動地設置閥部件531的外殼521。
而且,所述外殼521與真空壓連接流路513連通,形成根據閥部件531開閉的開口540,可設置閥部件531,使吸入流路210的真空壓解除後,閥部件531根據自重而下落。
而且,所述外殼521,較佳地,為了使閥部件531設置於內部,形成大氣壓連接流路550,上端及下端由一個以上的密封部件529密封。
具體地,所述外殼521,一端設置第一密封部件529,另一端設置第二密封部件528,形成根據與外部連通的閥部件531開閉的開口540。
所述閥部件531設置於主體部510,是使真空壓連接流路513及大氣壓連接流路相互連通或隔絕的構造,可具有多種構造。
作為一例,所述閥部件531只要是球形形狀等前述的能夠開閉開口540的結構,任何結構皆可。
這時,所述閥部件531,較佳地,設置於第二密封部件528的下側,其大小小於外殼521的內周面。
另外,根據第11a圖至第15b圖所示的實施例的大氣壓形成部的構造,若適用到拾取非常小的元件10的拾取器時,其加工、組裝等的器具性構造上存在侷限性。
因此,所述大氣壓形成部400,作為另一實施例(第四實施例及第五實施例),如第12a圖至第15b圖所示,可包括:主體部510,結合到所述桿200,與所述吸入流路210連接的真空壓連接流路513向上下貫通形成,從外部連接至所述真空壓連接流路513而形成大氣壓連接流路;閥部件531,設置於所述主體部510,相互連通或隔絕所述真空壓連接流路513及所述大氣壓連接流路。形成於主體的大氣壓連接流路及閥部件531的設置結構,可最大限度地簡化。
所述閥部件531,只要是後述的能夠開閉真空壓連接流路513的部件,任何部件皆可,考慮到加工性及組裝性,較佳具備球形狀。
所述大氣壓連接流路,一端與真空壓連接流路513連接,根據閥部件531的移動而開閉,另一端可包括與主體部510的外部連通的連接 流路形成部561。
所述連接流路形成部561具有使閥部件531能夠移動的結構,為了使具有球形狀的閥部件531的移動及通氣,較佳具備內徑D1大於閥部件531外徑D0的氣缸結構。
這時,所述連接流路形成部561的長度,考慮到根據主體部510的整體大小的加工性、閥部件531的外徑D0及線性移動而適當地選擇。
而且,所述連接流路形成部561的一端,形成為:為根據閥部件531的移動而易於開閉,與真空壓連接流路513連接的連接部分564的內徑小於閥部件531的外徑D0。
尤其,與所述真空壓連接流路513連接的連接部分564,為了根據閥部件531的順暢的開閉,較佳為,具備縱截面形狀越向真空壓連接流路513內徑越小的錐形形狀。
另外,所述連接流路形成部561的另一端,具備分離防止工具,能夠與所述主體部510的外部連通,防止所述閥部件531向所述主體部510的外部脫離。
所述分離防止工具,只要是能夠防止閥部件531從連接流路形成部561脫離到主體部510的外部的結構,任何結構皆可。
作為一例,所述分離防止工具,可通過將閥部件531插入連接流路形成部561之後,通過機械加工等而使連接流路形成部561的另一端變形(減少連接流路形成部561的另一端的內徑)而形成。
作為另一例,所述分離防止工具,將閥部件531插入連接流路形成部561之後,分離防止部件被插入連接流路形成部561的另一端而固定結合。
作為另一例,所述分離防止工具,如第12a圖至第13b圖所示,可具有:擴張流路562,具有大於所述連接流路形成部561的內徑D1的內徑D2,連接所述連接流路形成部561的另一端與所述主體部510的外面之間;插入部件534,插入到所述擴張流路562,實現從所述主體部510向所述連接流路形成部561的空氣流入。
所述擴張流路562是具有大於連接流路形成部561的內徑D1的內徑D2,將連接流路形成部561的另一端與主體部510的外面之間連接而 形成的流路,可具有與連接流路形成部561類似的結構。
所述插入部件534,是插入到擴張流路562而實現空氣從主體部510流入連接流路形成部561的構造,可具有多種構造。
作為一例,所述插入部件534,可由球形狀的部件構成,外徑D1大於連接流路形成部561的內徑D1且小於擴張流路562的內徑D2。
這時,所述插入部件534,插入部件534被插入後,通過對擴張流路562的機械性加工第12a圖至第13b圖中附圖編號535等而被防止向主體部510的外部脫離。
而且,所述插入部件534被插入後,根據對擴張流路562的機械性加工而固定到擴張流路562時,會導致有隔絕擴張流路562的問題。
因此,通過在擴張流路562的內周面上形成長度方向槽,在插入部件534的表面形成凹凸等多種方法,實現通過擴張流路562的主體部510外部到連接流路形成部561的大氣壓傳遞。
並且,即使隔絕所述擴張流路562,根據後述的連通流路568形成大氣壓,能夠傳遞到連接流路形成部561。
另外,插入到所述連接流路形成部561的閥部件531,真空壓連接流路513中形成真空壓時,以閥部件531為基準,根據兩側的壓力差,移動到連接流路形成部561的一端側,對真空壓連接流路513,隔絕連接流路形成部561。
而且,所述閥部件531,若真空壓連接流路513中解除真空壓,會遠離連接流路形成部561的一端處,解除對真空壓連接流路513的連接流路形成部561的隔絕。
這時,所述真空壓連接流路513中真空壓解除時,閥部件531有必要遠離連接流路形成部561的一端處。
但是,所述連接流路形成部561如第13a圖及第13b圖,向主體部510的長度方向,即上下方向形成時,因根據閥部件531的自重而落下,真空壓連接流路513中真空壓解除後,閥部件531遠離連接流路形成部561的一端處,能夠解除對真空壓連接流路513的連接流路形成部561的隔絕。
在此,所述連接流路形成部561如第13a圖及第13b圖,向主體部510的長度方向形成時,主體部510可形成將連接流路形成部561與真空 壓連接流路513連接的輔助流路566。
所述輔助流路566是將連接流路形成部561與真空壓連接流路513連接的流路,可通過機械性加工等,而使從主體部510的側面與真空壓連接流路513連接而被穿孔後,從主體部510的側面部分根據密封部件535來密封。
所述密封部件535,是從主體部510的側面部分,為密封輔助流路566的末端的構造,可由壓入輔助流路566的末端的球形部件等多種部件構造。
另外,所述輔助流路566的末端,當然可根據密封部件535之外的焊接等其他密封工具密封。
另外,所述連接流路形成部561如第12a圖及第12b圖,向與主體部510的長度方向垂直的方向,即水平方向形成時,可維持對真空壓連接流路513的連接流路形成部561的隔絕狀態。
因此,所述大氣壓形成部400,若真空壓連接流路513中真空壓解除,為了使閥部件531遠離連接流路形成部561的一端處,可還包括向閥部件531施加彈性力而解除對真空壓連接流路513的連接流路形成部561的隔絕的彈性部件532。
所述彈性部件532是真空壓連接流路513的真空壓解除時,為了使閥部件531遠離連接流路形成部561的一端,而向閥部件531施加彈性力的構造,可具有多種構造。
這時,為了所述彈性部件532的設置,主體部510還形成從連接流路形成部561的一端向內側延長的彈性部件插入槽563。
所述彈性部件插入槽563,作為為了彈性部件532的設置而形成於主體部510的凹槽,考慮到氣缸結構的連接流路形成部561的形狀、閥部件531的形狀及大小,可形成內徑D3小於閥部件531的內徑D0的氣缸結構。
在此,所述彈性部件插入槽563根據密封等機械性加工形成,如第12a圖及第12b圖,一次形成,也可向連接部分564及連接流路形成部561、擴張流路562的順序形成。
另外,所述真空壓連接流路513的真空壓解除後,閥部件531 遠離連接流路形成部561的一端處,解除對真空壓連接流路513的連接流路形成部561的隔絕,主體部510外部的大氣壓傳遞到真空壓連接流路513,大氣壓迅速傳遞到吸附元件10的吸入部220。
這時,為了向所述真空壓連接流路513更迅速地傳遞主體部510外部的大氣壓,形成連接流路形成部561,尤其與真空壓連接流路513連接的連接部分564形成與主體部510的外部連通的連通流路568。
所述連通流路568也可用於防止根據插入部件534的擴張流路562的隔絕可能性。
所述連通流路568是為了向所述真空壓連接流路513更迅速地傳遞主體部510外部的大氣壓的構造,從主體部510的外部到連接流路形成部561,尤其可以是貫通到與真空壓連接流路513連接的連接部分564為止而形成的貫通孔。
具體地,所述連通流路568可形成為從主體部510的長度方向或側面外周連線導向部分564貫通形成的貫通孔。
並且,所述連通流路568,雖然未圖示,可具有多種構造,如形成為向連接流路形成部561的內周面的長度方向形成的凹槽等。
另外,所述連接流路形成部561的另一端,具備分離防止工具,能夠與主體部510的外部連通,且防止閥部件531向主體部510的外部脫離。
所述分離防止工具,只要是能夠防止閥部件531從連接流路形成部561向主體部510的外部脫離的結構,任何結構皆可。
作為一例,所述分離防止工具,將閥部件531插入連接流路形成部561之後,通過機械加工等而變形連接流路形成部561的另一端減少連接流路形成部561的另一端的內徑而形成。
另外,作為所述分離防止工具的另一實施例,如第12a圖至第13b圖所示的實施例不同,第14a圖至第14c圖所示,可包括:結合環591,結合到主體部510而覆蓋連接流路形成部561。
所述結合環591是結合到主體部510而覆蓋C開口環等連接流路形成部561的構造,可具有多種構造。
在此,所述主體部510為結合環591的順暢的結合而可形成插 入結合環591的凹槽519。
所述凹槽519是為結合環591的順暢的結合而插入結合環591的構造,可具有多種構造。
尤其,所述凹槽519及結合環591,為了使通過連接流路形成部561的外部空氣的順暢地流動,較佳地,預先設定誤差而相互結合。
即,雖然附圖中圖示了各部件緊貼設置的狀態,但也因製造誤差、表面粗糙度等,通過主體部510與結合環591之間的細微縫隙,用於形成大氣壓的充分空氣流動是可存在的。並且,第14a圖及第14b圖之外的其他實施例中,附圖是理想化的,實際上因材質的選擇、結合誤差等,部件之間可通過細微的縫隙,因此用於形成大氣壓的空氣能夠充分地流動是當然的。
而且,可適當選擇所述凹槽519及結合環591,結合環591與閥部件531之間的距離為,閥部件531與真空壓連接流路513連接的連接部分564能夠順暢開閉的距離。
另外,與所述真空壓連接流路513連接的連接部分564,如前所述,為了根據閥部件531的順暢的開閉,縱截面形狀較佳具備越向真空壓連接流路513,內徑越小的錐形形狀。
根據所述構造,所述真空壓連接流路513中形成真空壓時,球形的閥部件531因真空壓而移動到與真空壓連接流路513連接的連接部分564處,而隔絕連接部分564。
與此相反,如果所述真空壓連接流路513中的真空壓被破壞後,球形的閥部件531根據連接部分564的錐形形狀而從連接部分564隔離,因真空壓連接流路513的內徑及閥部件531的外徑之間的細微差異,外部空氣連接到真空壓連接流路513,在吸附部220中迅速形成大氣壓。
另外,如第10a圖至第14c圖所示的實施例中,大氣壓形成部400的形成可具有多種實施例,形成於桿200等與其他部件一體地形成或形成為另外的部件等。
另外,所述大氣壓形成部,作為另一實施例(第七實施例),如第15圖所示,可包括:大氣壓連接管920,與吸入流路210連接;空氣箱910,開放時,在對應包括吸入流路210、吸附部220及大氣壓連接管920的 體積的空間內,保存用於形成大氣壓的壓縮空氣;開閉閥930,設置於空氣箱910與大氣壓連接管920之間而開閉空氣箱910。
所述大氣壓連接管920是與吸入流路210連接的構造,可使用與真空壓連接管相同或類似的部件。
而且,所述大氣壓連接管920,連接地點可另外結合到桿10或從真空壓連接管的一定部分分岔而連接。
在此,分岔點上可設置轉換閥(switching valve),用於轉換成真空壓或大氣壓。
較佳地,所述大氣壓連接管920,為了最小化對吸入流路210的空氣供應時間,連接到最靠近吸附部220的地方。
所述空氣箱910是開放時,在對應包括吸入流路210、吸附部220及大氣壓連接管920的體積的空間內保存用於形成大氣壓的壓縮空氣的構造,可具有多種構造。
在此,所述空氣箱910為了最小化對吸入流路210的空氣供應時間,較佳連接到最靠近吸附部220的地方。
所述開閉閥930,是設置於空氣箱910與大氣壓連接管920之間而開閉空氣箱910的構造,可具有多種構造。
尤其,所述開閉閥930可作為用於轉換成真空壓或大氣壓的轉換閥(switching valve)而設置於真空壓及大氣壓的分岔點。
另外,所述大氣壓形成部,作為另一實施例(第九實施例)而如第16a圖及第16b圖所示,包括:開閉部件942,當一個以上的側面貫通孔941從外周面向內側貫通形成時,桿200及吸附部220中的其中一個沿著桿200及吸附部220中其中一個的外周面移動,從而開閉側面貫通孔941;開閉部件移動部943,使開閉部件942沿著桿200及吸附部220中其中一個的外周面移動。
所述開閉部件942是沿著桿200及吸附部220中的其中一個的外周面移動而開閉側面貫通孔941的構造,可具有多種構造。
作為一例,所述開閉部件942,如第16a圖及第16b圖所示,可具有圍住桿200及吸附部220中其中一個的外周面的中空氣缸結構,可形成對應側面貫通孔941時,向外部開放的露出孔944。
在此,所述開閉部件942,可根據上下移動而覆蓋或開放側面貫通孔941,向外部露出而轉換成大氣壓。
所述開閉部件移動部943是使得開閉部件942沿著桿200及吸附部220中其中一個的外周面移動的構造,可具有多種構造。
作為一例,作為開閉部件移動部943,可使用VCM或螺線管。
另外,如第16a圖及第16b圖所示的實施例中,大氣壓控制部400可通過與桿200一體形成或結合到桿200之另外的輔助部件90來設置。
這時,所述輔助部件90,可上下貫通形成延長吸入流路721,其延長吸入流路220而與側面貫通孔941連通。
以上例示性地說明了本發明的較佳實施例,但本發明的範圍並不限定於以上特定的實施例,而是能夠根據申請專利範圍而適當地變更。

Claims (26)

  1. 一種拾取器,包括:桿(200),在內部受真空壓作用的吸入流路(210),一端與吸附元件(10)的吸附部(220)結合;上下驅動部(100),使所述桿(200)向上下方向移動,所述上下驅動部(100),包括:第一主體部(110),可裝卸地結合到支撐結構物,所述桿(200)以上下方向可移動地與此結合;第二主體部(120),與所述桿(200)固定結合且根據對所述第一主體部(110)的電驅動而向上下方向移動,使所述桿(200)相對於所述第一主體部(110)向上側方向及下側方向中的至少其中一個方向移動;電子驅動部,設置於所述第一主體部(110)及所述第二主體部(120)中的至少其中一個而驅動所述第一主體部(110)向所述第二主體部(120)的上側方向及下側方向中的至少其中一個方向移動;一個以上的引導部件(130),與所述桿(200)的長度方向平行地固定到所述第二主體部(120),上下方向可移動地結合到所述第一主體部(110);以及一個以上的彈性部件(150),用於對所述第一主體部(110)的所述第二主體部(120)的相反方向的移動;其中,所述電子驅動部,向相對於所述第一主體部(110)的所述第二主體部(120)的上側方向及下側方向中的其中一個的方向驅動所述桿(200)的移動。
  2. 根據申請專利範圍第1項所述的拾取器,其中,所述第一主體部(110)具有向上下方向貫通而結合的長方體形狀,使得所述桿(200)能夠向上下方向移動;所述第二主體部(120)對應第一主體部(100)的形狀而具有薄型長方體形狀。
  3. 根據申請專利範圍第2項所述的拾取器,其中,所述第二主體部(120),形成從上側看時形成「U」字型槽的固定結合部(121),使桿(200)上下貫通而側面開放,且與所述桿(200)固定結合。
  4. 根據申請專利範圍第3項所述的拾取器,其中,所述電子驅動部,包括:電磁石部(510),設置於所述第一主體部(110),根據電施加而產生磁力;磁力反應部件(520),設置於所述第二主體部(120),當電磁石部(510)發生磁力時,作用於磁力而使所述第一主體部(110)與所述第二主體部(120)之間的引力產生作用。
  5. 一種拾取器,包括:桿(200),內部形成受真空壓作用的吸入流路(210),一端與吸附元件(10)的吸附部(220)結合;上下驅動部(100),使所述桿(200)向上下方向移動;大氣壓形成部(400),所述吸入流路(210)中真空壓解除時,使所述吸附部(220)形成大氣壓。
  6. 根據申請專利範圍第5項所述的拾取器,其中,所述大氣壓形成部(400)包括:第一流路形成部件(410)及第二流路形成部件(420),結合到所述桿(200)的下端而形成與所述吸入流路(210)連接的連接流路;活塞部件(430),沿著所述連接流路通過吸入流路(210)真空壓傳遞時移動到上側而將真空壓傳遞到吸附部(220);彈性部件(440),所述吸入流路(210)中真空壓解除時,使所述活塞部件(430)向下側移動,根據活塞部件(430)而將大氣壓傳遞到吸附部(220)。
  7. 根據申請專利範圍第6項所述的拾取器,其中,所述第二流路形成部件(420):形成所述活塞部件(430)能夠移動的活塞空間(429),形成向所述第二流路形成部件(420)的側面貫通而連接外部與活塞空間(429)的一個以上的側面貫通孔(421),形成從所述側面貫通孔(421)的上側沿著所述第二流路形成部件(420)的內周面向上側延長而與吸入流路(210)連通的連通槽(422)。
  8. 根據申請專利範圍第7項所述的拾取器,其中,所述活塞部件(430)的側面形成第一埠(431),該第一埠(431)形成在與形成於所述第二流路形成部件(420)的上下貫通孔(423)對應的位置,連接底面形成的第二埠(432)形成有氣壓傳遞流路(433);在所述第一埠(431)位於下側的狀態下,與所述側面貫通孔(421)連通而外部的大氣壓經過所述氣壓傳遞流路(433)、所述第二埠(432)及所述上下貫通孔(423)傳遞到所述吸附部(220);從所述活塞部件(430)的上側傳遞真空壓時,根據真空壓而活塞部件(430)向上側移動,所述第一埠(431)沿著所述活塞空間(429)向上側移動,與所述連通槽(422)連通,所述活塞空間(429)的側面堵住所述側面貫通孔(421),大氣壓不傳遞到所述吸附部(220)。
  9. 根據申請專利範圍第5項所述的拾取器,其中,所述大氣壓形成部(400),包括:主體部(510),結合到所述桿(200),與所述吸入流路(210)連接的真空壓連接流路(513)向上下貫通來形成,從外部連接至所述真空壓連接流路(513)的大氣壓連接流路;閥部件(531),設置於所述主體部(510),使所述真空壓連接流路(513)及所述大氣壓連接流路相互連通或隔絕。
  10. 根據申請專利範圍第9項所述的拾取器,其中,所述閥部件(531),若所述吸入流路(210)形成真空壓,對所述吸入流路(210),根據真空壓而隔絕對所述真空壓連接流路(513)的所述大氣壓連接流路的連通,若所述吸入流路(210)中的真空壓解除,根據彈性部件的彈性力或自重,解除對所述真空壓連接流路(513)的所述大氣壓連接流路的連通隔絕。
  11. 根據申請專利範圍第10項所述的拾取器,其中,所述大氣壓形成部(400),與所述大氣壓連接流路至少一部分交叉而插入設置於在所述主體部(510)形成的插入槽(519),可包括內部可移動地設置於所述閥部件(531)的外殼(521)。
  12. 根據申請專利範圍第11項所述的拾取器,其中,所述外殼(521),形成與所述真空壓連接流路(513)連通而根據所述閥部件(531)開閉的開口(540)。
  13. 根據申請專利範圍第12項所述的拾取器,其中,所述外殼(521),設有所述閥部件(531),如果所述吸入流路(210)的真空壓解除後,使所述閥部件(531)根據自重而能夠落下。
  14. 根據申請專利範圍第12項所述的拾取器,其中,所述外殼(521)設有彈性部件(532),如果所述吸入流路(210)的真空壓解除後,向所述閥部件(531)施加彈性力而使所述閥部件(531)開放所述開口(540)。
  15. 根據申請專利範圍第5項所述的拾取器,其中,所述大氣壓形成部,包括:大氣壓連接管,與所述吸入流路(220)連接;空氣箱,開放時,在對應包括所述吸入流路、所述吸附部及所述大氣壓連接管的體積的空間內,保存用於形成大氣壓的壓縮空氣;開閉閥,設置於所述空氣箱與所述大氣壓連接管之間而開閉所述空氣箱。
  16. 根據申請專利範圍第5項所述的拾取器,其中,所述桿及所述吸附部中的其中任意一個,一個以上的側面貫通孔從外周面向內側貫通形成;所述大氣壓形成部,包括:開閉部件,沿著所述桿及所述吸附部中的其中一個外周面移動而開閉所述側面貫通孔;開閉部件移動部,使所述開閉部件沿著所述桿及所述吸附部中的其中一個外周面移動。
  17. 根據申請專利範圍第9項所述的拾取器,其中,所述大氣壓連接流路,包括:連接流路形成部(561),其一端連接到所述真空壓連接流路(513),根據所述閥部件(531)的移動而開閉,另一端與所述主體部(510)的外部連通;所述連接流路形成部(561),可具有大於所述閥部件(531)的外徑(D0)的內徑(D1)的氣缸結構,實現具有球形狀的所述閥部件(531)的移動及通氣。
  18. 根據申請專利範圍第17項所述的拾取器,其中,所述連接流路形成部(561)的一端,為了根據所述閥部件(531)的移動而易於開閉,與所述真空壓連接流路(513)連接的連接部分(564)可形成為具有小於所述閥部件(531)的外徑(D0)的內徑。
  19. 根據申請專利範圍第18項所述的拾取器,其中,所述連接流路形成部(561)的另一端具備分離防止工具,能夠與所述主體部(510)的外部連通,防止所述閥部件(531)向所述主體部(510)的外部脫離。
  20. 根據申請專利範圍第19項所述的拾取器,其中,所述分離防止工具,具有:擴張流路(562),具有大於所述連接流路形成部(561)的內徑(D1)的內徑(D2),連接所述連接流路形成部(561)的另一端與所述主體部(510)的外面之間;插入部件(534),插入到所述擴張流路(562),實現從所述主體部(510)向所述連接流路形成部(561)的空氣流入。
  21. 根據申請專利範圍第18項或第19項所述的拾取器,其中,所述連接流路形成部(561)向所述主體部(510)的長度方向形成,所述主體部(510)可形成連接所述連接流路形成部(561)與所述真空壓連接流路(513)的輔助流路(566)。
  22. 根據申請專利範圍第18項或第19項所述的拾取器,其中,所述大氣壓形成部(400),還包括:彈性部件(532),若真空壓連接流路(513)的真空壓解除,從連接流路形成部(561)的一端側向遠離所述閥部件(531)地向所述閥部件(531)施加彈性力,解除對真空壓連接流路(513)的連接流路形成部(561)的隔絕;所述主體部(510),還形成;彈性部件插入槽(563),從所述連接流路形成部(561)的一端向內側延長。
  23. 根據申請專利範圍第18項或第19項所述的拾取器,其中,為了將所述主體部(510)外部的大氣壓更加迅速地傳遞到所述真空壓連接流路(513),與所述連接流路形成部(561)連接的連接部分(564)形成能夠與所述主體部(510)的外部連通的連通流路(568)。
  24. 根據申請專利範圍第19項所述的拾取器,其中,所述分離防止工具,包括:結合環(591),結合到所述主體部(510)而覆蓋所述連接流路形成部(561)。
  25. 根據申請專利範圍第24項所述的拾取器,其中,所述主體部(510),為了所述結合環(591)的順暢結合,能夠形成用於插入所述結合環(591)的凹槽(519)。
  26. 根據申請專利範圍第24項所述的拾取器,其中,與所述真空壓連接流路(513)連接的連接部分(564),為了根據所述閥部件(531)的順暢的開閉,縱截面形狀可具有錐形形狀,內徑沿所述真空壓連接流路(513)而減少。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6923394B2 (ja) * 2017-08-30 2021-08-18 Towa株式会社 吸着ハンド、搬送機構、樹脂成形装置、搬送方法および樹脂成形品の製造方法
KR102027232B1 (ko) * 2018-06-19 2019-10-01 (주)금성다이아몬드 글래스 패널 이동용 진공흡착 장치
CN109580314B (zh) * 2018-10-26 2021-04-02 桂林优利特医疗电子有限公司 一种免疫组化染色机的盖玻片拾取装置及其使用方法
CN113330545A (zh) * 2019-02-26 2021-08-31 杰纳森株式会社 工作台模块以及转换套件自动更换装置
KR102340643B1 (ko) * 2019-10-18 2021-12-17 한국에스엠씨 주식회사 진공체크버퍼 및 이를 이용한 제어시스템
KR102624036B1 (ko) * 2022-11-29 2024-01-12 서울대학교산학협력단 길이 방향 전개형 진공 흡입 컵
TWI831550B (zh) * 2022-12-30 2024-02-01 和碩聯合科技股份有限公司 取料裝置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030084287A (ko) * 2002-04-26 2003-11-01 (주)제이티 픽커 구동용 공압실린더
KR100684608B1 (ko) * 2005-10-17 2007-02-20 장인식 자력 및 진공을 이용한 흡착장치
TWI371818B (en) * 2006-12-27 2012-09-01 Mirae Corp Picker for use in a handler and method for enabling the picker to place packaged chips
KR101303749B1 (ko) * 2013-05-29 2013-10-08 (주)브이텍 퀵 릴리즈 밸브 및 그것을 갖는 진공펌프 장치
KR20130111661A (ko) * 2012-04-02 2013-10-11 임석규 반도체 소자용 진공 흡착 실린더
TWI413612B (zh) * 2009-11-12 2013-11-01 Tech Wing Co Ltd 拾放裝置
KR101339394B1 (ko) * 2012-07-13 2014-01-10 (주) 티피씨 메카트로닉스 픽커 및 픽커 모듈

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004058202A (ja) * 2002-07-29 2004-02-26 Toyota Motor Corp 吸着装置
JP2008168382A (ja) * 2007-01-11 2008-07-24 Juki Corp 部品吸着ノズル
CN203973552U (zh) * 2014-07-01 2014-12-03 常州市耀华电机设备有限公司 机械手吸盘

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030084287A (ko) * 2002-04-26 2003-11-01 (주)제이티 픽커 구동용 공압실린더
KR100684608B1 (ko) * 2005-10-17 2007-02-20 장인식 자력 및 진공을 이용한 흡착장치
TWI371818B (en) * 2006-12-27 2012-09-01 Mirae Corp Picker for use in a handler and method for enabling the picker to place packaged chips
TWI413612B (zh) * 2009-11-12 2013-11-01 Tech Wing Co Ltd 拾放裝置
KR20130111661A (ko) * 2012-04-02 2013-10-11 임석규 반도체 소자용 진공 흡착 실린더
KR101339394B1 (ko) * 2012-07-13 2014-01-10 (주) 티피씨 메카트로닉스 픽커 및 픽커 모듈
KR101303749B1 (ko) * 2013-05-29 2013-10-08 (주)브이텍 퀵 릴리즈 밸브 및 그것을 갖는 진공펌프 장치

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