CN107405774B - 拾取器 - Google Patents

拾取器 Download PDF

Info

Publication number
CN107405774B
CN107405774B CN201680014563.3A CN201680014563A CN107405774B CN 107405774 B CN107405774 B CN 107405774B CN 201680014563 A CN201680014563 A CN 201680014563A CN 107405774 B CN107405774 B CN 107405774B
Authority
CN
China
Prior art keywords
passage
vacuum pressure
atmospheric pressure
suction
pickup
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201680014563.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107405774A (zh
Inventor
柳弘俊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Slaughter Co ltd
Original Assignee
Slaughter Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Slaughter Co ltd filed Critical Slaughter Co ltd
Priority claimed from PCT/KR2016/002444 external-priority patent/WO2016144131A1/ko
Publication of CN107405774A publication Critical patent/CN107405774A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107405774B publication Critical patent/CN107405774B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

本发明涉及安装在运送元件的取放装置来吸附元件的拾取器。本发明公开了一种拾取器,包括:杆(200),内部形成真空压起作用的吸入通道(210),并且一端结合吸附元件(10)的吸附部(220);上下驱动部(100),用于以上下方向移动所述杆(200);大气压形成部(400),在所述吸入通道(210)解除真空压时,在所述吸附部(220)形成大气压。

Description

拾取器
技术领域
本发明涉及安装在运送元件的取放装置来吸附元件的拾取器。
背景技术
一般地说,拾取器作为设置在取放装置来吸附元件的工具,具有:内部形成起真空压作用的吸入通道,并在一端结合吸附元件的吸附部的杆;用于以上下方向移动杆的上下驱动部;其中,取放装置是在拾取元件之后运送并安装到固定的安装位置。
所述上下驱动部作为用空气压运行的结构,由提供使空气压起作用的空间的气缸以及通过空气压在气缸内部滑动的活塞构成。然后,通过连接件连接所述上下驱动部的活塞与杆,据此通过活塞在气缸内部滑动,杆以上下方向移动。
另一方面,现有的拾取器在拾取位置拾取元件时,在吸附部形成真空压(即,负压)来拾取元件,并且在吸附部消除真空压,进而在装载位置装载元件。
尤其是,对于现有的拾取器,为了在装载位置迅速装载元件,一般是在吸附部形成正压。
但是,诸如LED元件,随着元件的尺寸的超小化,在现有的拾取器中在吸附元件的吸附部形成正压的情况下,存在元件飞散或者妨碍以良好的状态在装载位置装载元件的问题。
另外,正压输送至拾取器的吸附头需要预定的时间,因此无法应对迅速处理元件的趋势,因此存在在提高装置的处理速度上存在局限性的问题。
具体地说,在吸附头通过气动输送线形成正压或者负压,但是正压或者负压形成时间取决于气动输送线的长度,因此为了缩短正压或者负压形成时间,需将气动输送线最小化,但是在将气动输送线最小化上存在局限性,最终导致限制装置处理速度的问题。
另一方面,作为运送对象的元件大小变得超小化的同时用于运送元件的拾取器的尺寸也在变小,正在提出拆卸的便利性、维护便利性、加强耐久性等各种问题。
并且,为了加大元件产量,作为拾取器性能正在要求用于运送元件的拾取器快速从拾取位置移动到装载位置、更加迅速拾取元件以及装载元件,以顺应比现有的拾取器更快的元件处理速度。
发明内容
(要解决的问题)
为了解决上述现有技术的问题,本发明的目的在于提供能够更加迅速执行元件的拾取以及装载的拾取器。
本发明的另一目的在于提供如下的拾取器:具有可将元件轻量化的结构,进而迅速移动到拾取位置以及装载位置。
本发明的其他一目的在于提供如下的拾取器:为了解除对元件的拾取而追加设置大气压形成,进而能够稳定且迅速地放置已拾取的元件,其中大气压形成部能够在吸附部中迅速形成大气压。
(解决问题的手段)
本发明使为了达成如上所述的本发明的目的而提出的,本发明公开一种拾取器,包括:杆200,内部形成起真空压作用的吸入通道210,并且在一端结合吸附元件10的吸附部220;以及上下驱动部100,用于以上下方向移动所述杆200;其中,所述上下驱动部100包括:第一主体部 110,可拆卸地结合于支撑结构物,并且以上下方向可移动地结合所述杆2 00;第二主体部120,与所述杆200固定结合,通过对所述第一主体部11 0的电动驱动以上下方向移动,进而使所述杆200对所述第一主体部110 至少以上侧方向以及下侧方向中的一个方向移动;以及电动驱动部,至少设置在所述第一主体部110以及第二主体部120中的一个,并且驱动所述第二主体部120对所述第一主体部110至少以上侧方向以及下侧方向中的一个方向的移动。
所述第一主体部110具有直角六面体形状,以上下方向贯通结合所述杆200,以使所述杆200能够以上下方向移动;所述第二主体120 可具有薄形直角六面体形状,以对应于第一主体部100的形状。
所述第二主体部120形成有固定结合部121,进而能够以上下固定结合所述杆200,其中在俯视所述固定结合部121时,形成“U”形狭槽。
所述上下驱动部可包括一个以上的引导部件130,所述引导部件130与所述杆200的长度方向平行地固定结合于所述第二主体部120,并且以上下方向可移动地结合于所述第一主体部110。
所述电动驱动部可包括直线电机、压电元件、电磁以及VCM 中的一个。
所述电动驱动部可包括:电磁部510,设置在所述的第一主体部110,通过施加电力来产生磁力;磁力反应部件520,设置在所述第二主体部120,在电磁部510产生磁力时,为使所述第一主体部110以及第二主体部120之间的引力起作用而作用于磁力。
所述电动驱动部可包括:第一电动驱动部,用于驱动所述第二主体部120对所述第一主体部110以上侧方向的移动;第二电动驱动部,用于驱动所述第二主体部120对所述第一主体部110以下侧方向的移动。
所述电动驱动部用于驱动所述杆200只以所述第二主体部120 对所述第一主体部110以上侧方向以及下侧方向中的一个方向的移动;所述上下驱动部可包括一个以上的弹性部件150,所述弹性部件150用于移动所述第二主体部120对所述第一主体部110的反方向移动。
本发明还公开一种拾取器,包括:杆200,内部形成真空压起作用的吸入通道210,并且一端结合吸附元件10的吸附部220;上下驱动部100,用于以上下方向移动所述杆200;大气压形成部400,在所述吸入通道210解除真空压时,在所述吸附部220形成大气压。
所述大气压形成部400可包括:第一通道形成部件410以及第二通道形成部件420,结合于所述杆200的下端,并且形成与所述吸入通道210连接的连接通道;活塞部件430,沿着所述连接通道通过吸入通道 210输送真空压时向上侧移动,将真空压输送于吸附部220;弹性部件44 0,在所述吸入通道210解除真空压的情况下,使所述活塞部件430向下测移动,通过活塞部件430将大气压输送于吸附部220。
所述第二通道形成部件420形成所述活塞部件430可移动的活塞空间429;形成一个以上的侧面贯通孔421,所述侧面贯通孔421向所述第二通道形成部件420侧面贯通来连接外部与活塞空间429;可形成连通槽422,所述连通槽422从所述侧面贯通孔421的上侧沿着所述第二通道形成部件420的内周面向向上侧延伸,并且与吸入通道210连通。
优选为,在所述活塞部件430的侧面形成第一接口431;在所述活塞部件430形成有气动输送通道433,在与形成在所述第二通道形成部件420的上下贯通孔423对应的位置,所述气动输送通道433连接于形成在底面的第二接口432;在所述第一接口431位于下侧的状态下,所述活塞部件430与所述侧面贯通孔421连通,使外部的大气压经过气动输送通道433、所述第二接口432以及所述上下贯通孔423输送到所述吸附部 220;若从所述活塞部件430上侧输送真空压,则通过真空压活塞部件43 0向上侧移动,进而所述第一接口431沿着所述活塞空间429向上侧移动,进而与所述连通槽422连通,由此所述活塞空间429的侧面堵住所述侧面贯通孔421不使大气压输送到所述吸附部220。
所述大气压形成部400可包括:主体部510,结合于所述杆20 0,并且被与所述吸入通道210连接的真空压连接通道513上下贯通形成,并且形成大气压连接通道,进而从外部连接所述真空压连接通道513;阀部件531,设置在所述主体部510,并且相互连通或者隔绝所述真空压连接通道513以及所述大气压连接通道。
若在所述吸入通道210形成真空压,则在所述吸入通道210所述阀部件531通过真空压隔绝对所述真空压连接通道513连通大气压连接通道,若在所述吸入通道210解除真空压,则所述阀部件531通过弹性部件的弹力或者自重可解除对所述真空压连接通道513隔绝连通所述大气压连接通道。
所述大气压形成部400可包括外壳521,插入设置在形成在所述主体部510的插入槽,以使至少一部分与所述大气压连接通道交叉,并且在内部可移动地设置所述阀部件531
所述外壳521可形成开口540,所述开口540与所述真空压连接通道513连通,并且通过所述阀部件531进行开关。
所述外壳521可设置所述阀部件531,若在所述吸入通道210 解除真空压,则通过自重使所述阀部件531自动落下。
所述外壳521可设置弹性部件532,若在所述吸入通道210解除真空压,则对所述阀部件531施加弹力,以使所述阀部件531开放所述开口540。
所述大气压形成部可包括:大气压连接管,与所述吸入通道2 20连接;储气罐,储存压缩空气,进而在开放时对应于包括所述吸入通道、所述吸附部以及所述大气压连接管的体积的空间内形成大气压;开关阀,设置在所述储气罐与所述大气压连接管之间来开关所述储气罐。
所述杆以及所述吸附部中的一个形成从外周面向内侧贯通形成的一个以上的侧面贯通孔;所述大气压形成部可包括:开关部件,沿着所述杆以及所述吸附部中的一个的外周面移动来开关所述侧面贯通孔;开关部件移动部,使所述开关部件沿着所述杆以及所述吸附部中的一个的外周面移动。
所述大气压连接通道包括连接通道形成部561,所述连接通道形成部561一端与所述真空压连接通道513连接且通过所述阀部件531的移动而进行开关,而另一端则与所述主体部510的外部连通;所述连接通道形成部561具有比所述阀部件531的外径大的内径的气缸结构,以使具有球形状的所述阀部件531移动以及通气。
与所述真空压连接通道513连接的连接部分564可具有比所述阀部件531的外径小的内径,进而通过所述阀部件531的移动容易开关所述连接通道形成部561的一端。
所述连接通道形成部561的另一端能够与所述主体部510的外部连通的同时具有防分离工具,以防止向所述主体部510的外部脱离所述阀部件531。
所述防分离工具可包括:扩张通道562,具有比所述连接通道形成部561的内径大的内径,并且连接所述连接通道形成部561的另一端与所述主体部510的外面之间;插入部件534,插入于所述扩张通道562,并且可使空气从所述主体部510流入所述连接通道形成部561。
以所述主体部510的长度方向形成所述连接通道形成部561,所述主体部510可形成辅助通道566,所述辅助通道566连接所述连接通道形成部561与所述真空压连接通道513。
所述大气压形成部400还可包括弹性部件532,若在真空压连接通道513解除真空压,则为使所述阀部件531远离连接通道形成部561 的一端侧,将弹力施加于所述阀部件531,进而解除真空压连接通道513 隔绝连接通道形成部561;所述主体部510还可形成从所述连接通道形成部561的一端向内侧延伸的弹性部件插入槽563。
为使所述主体部510外部的大气压更加迅速地输送于所述真空压连接通道513,在与所述连接通道形成部561连接的连接部分564形成与所述主体部510的外部连通的连通通道568。
所述防分离工具可包括结合环591,所述结合环591结合于所述主体部510,以覆盖所述连接通道形成部561。
所述主体部510可形成插入所述结合环591的凹槽,以顺利结合所述结合环591。
与所述真空压连接通道513连接的连接部分564纵剖面形状可具有内径向所述真空压连接通道513逐渐缩小的锥形形状,进而通过所述阀部件531顺利开关所述连接部分564。
(发明的效果)
根据本发明的拾取器具有如下的优点:通过电磁等的电力上下驱动拾取元件的杆,进而相比于利用气压缸的现有的拾取器,反应速度更快并且更轻。
尤其是,具有如下的优点:提高拾取器的反应速度并且将拾取器轻量化,进而能够更加迅速地执行对元件的拾取或者装载,并且通过将拾取器轻量化,提高拾取器的移动速度,进而能够提高元件的整体处理速度。
再则,具有如下的优点:将拾取器轻量化的同时在具有多个拾取器的运送工具移动时减少惯性,进而在启动装置时降低振动,进而能够更加稳定地处理元件。
另外,根据本发明的拾取器具有如下的优点:为解除对元件的拾取,还配置能够在吸附部迅速形成大气压的大气压形成部,进而能够迅速并且稳定地放置已拾取的元件。
附图说明
图1是示出根据本发明的拾取器的立体图。
图2作为示出图1的拾取器的纵剖面图,是示出拾取元件的状态的纵剖面图。
图3是示出在图1的拾取器中通过上下驱动部杆向上侧移动,拾取元件之前或者放置元件的状态的纵剖面图。
图4是示出在图2中通过大气压形成部在拾取部形成大气压的状态的剖面图。
图5是详细示出图4中大气压形成部的部分剖面图。
图6是示出在为了在图2以及图3中拾取元件而在拾取部形成真空压的状态的部分剖面图。
图7至图9是示出图5的大气压形成部的形成位置的实施例的侧面图。
图10a作为结合于图1的拾取器的大气压形成部的另一实施例,是示出在吸附部形成真空压来吸附元件的部分剖面图。
图10b是示出在图10a的结构中通过大气压形成部在吸附部形成大气压的状态的部分剖面图。
图11a作为结合于图1的拾取器的大气压形成部的其他一实施例,是示出在吸附部形成真空压来吸附元件的部分剖面图。
图11b是示出在图11a的结构中通过大气压形成部在吸附部形成大气压的状态的部分剖面图。
图12a作为结合于图1的拾取器的大气压形成部的其他一实施例,是示出在吸附部形成真空压来吸附元件的部分剖面图。
图12b是在示出在图12a的结构中通过大气压形成部在吸附形成大气压的状态的部分剖面图。
图13a作为结合于图1的拾取器的大气压形成部的其他一实施例,是示出在吸附部形成真空压来吸附元件的部分剖面图。
图13b是示出在图13a的结构中通过大气压形成部在吸附部形成大气压的状态的部分剖面图。
图14a作为结合于图1的拾取器的大气压形成部的其他一实施例,是示出在吸附部形成真空压来吸附元件的部分剖面图。
图14b是示出在图14a的结构中通过大气压形成部在吸附部形成大气压的状态的部分剖面图。
图14c是示出包括图14a的大气压形成部的结构的一部分的部分立体图。
图15是示出结合于拾取器的大气压形成部的其他一实施例的气动控制电路图。
图16a以及图16b是示出结合于拾取器的大气压形成部的其他一实施例的概念图。
具体实施方法
以下,参照图面如下说明根据本发明的拾取器。
如图1以及图2所示,根据本发明的拾取器包括:杆200,内部形成起真空压作用的吸入通道210,并且在一端结合吸附元件10的吸附部220;上下驱动部100,用于以上下方向移动杆200。
所述杆200作为内部形成真空压起作用的吸入通道210,并且在一端结合吸附元件10的吸附部220的结构,可具有各种结构。
例如,所述杆200是中空型气缸,以连接输送用于吸附元件1 0的真空压的真空压输送管(未示出),所述杆200可具横截面形状为圆形、多角形的各种形状。
另一方面,结合于所述杆200下端的吸附部220作为通过由吸入通道210输送的真空压拾取元件10的部件,根据元件的种类、大小、结构可具有一个以上的部件以及结构。
所述上下驱动部100作为用于以上下方向移动杆200的结构,可具有各种结构。
尤其是,根据本发明的拾取器的上下驱动部100利用诸如电磁、 VCM(氯乙烯)的电力,并且只要是利用电的结构可以是任何一种的结构。
例如,所述上下驱动部100可包括:第一主体部110,可拆卸地结合于支撑结构物,并且以上下方向可移动地结合杆200;第二主体部 120,与杆200固定结合,通过电力驱动对于所述第一主体部110以上下方向移动,进而使杆200对所述第一主体部110至少以上侧方向以及下侧方向中的一个方向移动;电动驱动部,至少设置在所述第一主体部110与第二主体部120中的一个,驱动所述第二主体120对第一主体部110以上侧方向以及下侧方向中的至少一个方向的移动。
所述第一主体部110作为可拆卸地结合于支撑结构物并且以上下方向可移动地结合杆200结构,可具有各种结构。
例如,所述第一主体部110可具有薄形直角六面体形状,进而可拆卸地结合于支撑结构物,并且以上下方向可移动地结合杆200。
此时,优选为,直六面体形状的第一主体部110宽度窄的侧面可拆卸地结合支撑结构物。
如此,若在所述第一主体部110在宽度窄的侧面可拆卸地结合支撑结构物,则能够将与邻接的拾取器的间隔最小化。
另外,优选为,所述直六面体形状的第一主体部110被杆200 以上下方向贯通而结合,以使杆200能够以上下方向移动。
为此,所述第一主体部110可形成以上下方向贯通形成的第一贯通孔111来插入杆200。
然后,所述第一贯通孔111上端以及下端可设置衬套512、51 3,以使杆200能够以上下方向顺畅地移动。
另外,在所述第一贯通孔111可设置接地部件516,以用于向外部接地因杆200上下移动引起摩擦而产生的静电。
所述第一主体部110还可形成第二贯通孔112,以使后述的引导部件130上下移动。
所述第二贯通孔112与第一贯通孔111类似,在所述第二贯通孔112上端以及下端设置衬套514、515,以使引导部件130顺畅地移动。
所述第二主体部120与杆200固定结合,并且通过电动驱动对于第一主体部110以上下方向移动,进而使杆200对于所述第一主体部1 10至少以上侧方向以及下侧方向中的一个方向移动,并且所述第二主体部 120可具有各种结构。
例如,所述第二主体部120具有薄形直角六面体形状,以对应于第一主体部110的形状。
另外,所述第二主体部120形成或者设置用于与杆200固定结合的结构。
例如,所述第二主体部120形成有固定结合部121,该固定结合部121被杆200上下贯通的同时形成侧面开放的形状(即,俯视时形成“U”形狭槽),在贯通设置杆200之后用螺栓511拧紧,进而可固定结合杆200。
如上所述,通过第一主体部110、第二主体部120以及后述的上下驱动部的上下驱动,驱动杆200以上下方向驱动,其中第一主体部1 10以上下方向可移动地结合所述杆200、第二主体部120固定结合杆200。
另一方面,在通过所述杆200以及第一主体部110、第二主体部120的组合上下移动时,在杆200与第一主体部110的单独结合结构的情况下,存在可出现侧方向的晃动问题。
据此,所述上下驱动部可包括一个以上的引导部件130,该引导部件130与杆200的长度方向平行且固定以及结合于第二主体部120,并且以上下方向可移动地结合于第一主体部110。
所述引导部件130作为与杆200的长度方向平行且固定以及结合于第二主体部120,并且以上下方向可移动地结合于第一主体部110,可具有各种结构。
在此,为了所述杆200与第一主体部110结合、引导部件130 与第一主体部110结合,可防止在杆200上下移动是方向侧向晃动以及旋转。
另一方面,若设置2个以上的所述引导部件130,则不一定要必须结合杆200与第一主体部110。
另外,对于所述引导部件130与第二主体部120的结合,可与上述的杆200的结合结构相同或者类似。
另外,对于引导部件130与第一主体部110的结合,可与上述的杆200的结合结构相同或者类似。
另一方面,在本发明的实施例中说明了第二主体部120位于第一主体部110下侧,但是也可位于第一主体部110的上侧。
所述电动驱动部作为至少设置在所述第一主体部110以及第二主体部120中的一个,并且驱动第二主体部120对第一主体部110至少以上侧方向以及下侧方向中的一个方向移动的结构,可具有各种结构。
尤其是,所述电动驱动部根据运作原理可具有各种结构,具体有线性电动机,压电元件,电磁、VMC等。
例如,如图1至图4所示,所述电动驱动部可包括:电磁部 510,设置在第一主体部110,通过施加电力生成磁力;磁力反应部件520,诸如铁部件或者永久磁铁,设置在第二主体部120并且作用于磁力,进而在电磁部510生成磁力时,使第一主体部110以及第二主体部120之间的引力起到作用。
另一方面,所述电动驱动部与可将上侧方向以及下侧方向的移动全部实现的情况(诸如VCM)不同,在只能驱动以上侧方向以及下侧方向中的任意一个方向的移动的情况(诸如电磁)下,还需用于驱动反方向移动的结构。
据此,所述电动驱动部可包括:用于驱动上侧方向的移动的第一电动驱动部;与用于驱动下侧方向的移动的第二电动驱动部。
另外,所述电动驱动部只以上侧方向以及下侧方向中的任意一个方向驱动杆200的移动,上下驱动部还可包括诸如弹簧的一个以上的弹性部件150,来实现反向的移动。
考虑到电动驱动部起到第一主体部110以及第二主体部120 之间的引力的作用,所述弹性部件150可设置在第一主体部110以及第二主体部120之间可起到排斥力的作用。
当然,若电动驱动部起到第一主体部110以及第二主体部12 0之间的排斥力的作用,则所述弹性部件150设置在第一主体部110以及第二主体部120之间可起到引力的作用。
另一方面,所述弹性部件150可包括:在第一主体部110以及第二主体部120之间插入杆200的第一弹簧;插入引导部件130的第二弹簧。
如图2以及图4所示,具有如上所述的结构的拾取器,在电动驱动部未驱动的情况下,间隔距离地设置第一主体部110以及第二主体部120,保持杆200向下侧移动的状态。
另外,如图3所示,所述拾取器在电动驱动部驱动的情况下,则拉近第一主体部110以及第二主体部120之间,进而杆200向上侧移动。
另一方面,本发明的技术第一要点在于,在上下驱动部的上下驱动中,通过电动驱动部至少设置在第一主体部110以及第二主体部1 20中的一个,进而通过对所述第一主体部110的电动驱动来驱动上下方向的移动。
据此,利用电力的上下驱动部只要是可利用电力实现上下驱动的结构,可以是任何一种结构,具体有利用压电元件、利用包括电机的滚珠丝杠、利用直线电机、利用电磁或者利用VCM等。
另一方面,现有的拾取器在拾取位置拾取元件时,由吸附部形成真空压(即,负压)来拾取元件,并且通过在吸附部解除真空压在装载位置装载元件。
尤其是,现有的拾取器一般在吸附部形成正压,以在装载位置迅速装载元件。
但是,诸如LED元件,随着元件尺寸超小化,在现有的拾取器中,若在吸附元件的吸附部形成正压,则可存在元件飞散或者妨碍在装载位置正确地装载的问题。
据此,根据本发明的拾取器还可包括大气压形成部400,在结合于杆200解除对元件的拾取时,在吸附部220迅速地形成大气压。
在此,如图7至图9所示,所述大气压形成部400作为结合于杆200的结构,可位于上端、下端、中间部分中的一处。
尤其是,为了在装载元件时提高反应速度,优选为大气压输送于最接近所述吸附部220的位置,进而优选为所述大气压形成部400设置在杆200下端。
同时,所述大气压形成部400当然也可与吸附部220形成一体。
另一方面,所述大气压形成部400作为在解除对元件的拾取时在吸附部220迅速形成大气压的结构,可具有各种结构。
如图1至图6所示,作为一实施例(第一实施例),所述大气压形成部400可包括:第一通道形成部件410以及第二通道形成部件4 20,形成真空通道,例如形成结合于杆200下端且与吸入通道210连接的连接通道;活塞部件430,沿着连接通道通过吸入通道210输送真空压时向上侧移动,将真空压输送于吸附部220;弹性部件440,若在吸入通道2 10解除真空压,则使活塞部件430向下侧移动,通过活塞部件430将大气压输送于吸附部220。
所述第一通道形成部件410以及第二通道形成部件420作为形成真空通道(例如,连接通道,该连接通道结合于杆200下端与吸入通道210连接)的结构,可具有各种结构。
例如,所述第二通道形成部件420形成使后述的活塞部件43 0可移动地活塞空间429,并且形成向侧面贯通连接外部与活塞空间429 的一个以上侧侧面贯通孔421,并且可形成从侧面贯通孔421的上侧沿着内周面向上侧延伸的连通槽422。
所述活塞空间429形成在第二通道形成部件420,以使活塞部件430能够移动,并且可由具有对应于活塞部件430外形的形状的气缸空间形成所述活塞空间429。
所述一个以上的侧面贯通孔421作为向第二通道形成部件42 0的侧面贯通来连接外部与活塞空间429的结构,在连接到后述的第一接口431以及气动输送通道433时,以使第二通道形成部件420的外部大气压输送于吸入部220。
所述连通槽422从侧面贯通孔421的上侧沿着第二通道形成部件420的内周面向上侧延伸形成,并且为了从吸入通道210接收真空压而与吸入通道210连通,进而在与后述的第一接口431以及气动输送通道 433连接时,可使形成在吸入通道210的真空压输送于吸入部220。
在此,所述连通槽422可通过形成在活塞部件430上面的凹槽439等各种结构与吸入通道210连通。
另一方面,所述第二通道形成部件420形成上下贯通孔423,该上下贯通孔423向下侧贯通以用于将真空压或者大气压输送于吸附部2 20。
尤其是,对于形成所述上下贯通孔423的部分,为了与吸附部220顺利结合,优选为以外径缩小的形状向下侧延伸的延长部424形成在第二通道形成420的下端。
所述第一通道形成部件410与第二通道形成部件420结合,形成可使活塞部件430移动的活塞空间429,同时形成用于向上侧接收真空压的上下贯通孔411。
然后,所述第一通道形成部件410可形成向下侧凸出的肋条部412,以稳定地设置后述的弹性部件440。
所述活塞部件430作为沿着连接通道通过吸入通道210输送真空压时向上侧移动将真空压输送于吸附部220的结构,可具有各种结构。
尤其是,活塞部件430具有圆筒形形状,进而可沿着活塞空间429移动,并且形成气动输送通道433,该气动输送通道433连接形成在侧面的第一接口431与在与上下贯通孔423对应的位置中形成在底面的第二接口432。
如图5所示,所述第一接口431形成在活塞部件430侧面而位于下侧的状态下与上述的侧面贯通空421连通,进而外部的大气压经过气动输送通道433、第二接口432以及上下贯通孔423输送到吸附部220。
此时,为了顺利连通所述第一接口431以及侧面贯通孔421,优选为活塞部件430的外周面形成环形凹槽部434,该凹槽部434凹陷形成在包括第一接口431的部分。
另一方面,如图6所示,在从所述活塞部件430的上侧输送真空压时,处于活塞部件430阻挡活塞空间429的状态,因此即使有弹性部件440的弹力也会因真空压向上侧移动。
此时,所述第一接口431沿着活塞空间429向上侧移动与上述的连通槽422连通。
在此,在所述活塞部件430向上侧移动时,活塞空间429的侧面堵住侧面贯通孔421,不使大气压输送到吸附部220。
相反地,所述第一接口431处于与连通槽422连通的状态,因此在活塞部件430的上侧形成的真空压经过气动输送通道433、第二接口432以及上下贯通孔423输送到吸附部220。
另一方面,考虑到加工性、摩擦力以及气密性,所述活塞部件430优选为使用工程塑料。
所述弹性部件440作为在吸入通道210解除真空压时活塞部件430向下侧移动,通过活塞部件430将大气压输送于吸附部220的结构,可具有各种结构。
例如,所述弹性部件440可由线圈弹簧等构成。
如图10a至图11b所示,作为另一实施例(第二实施例以及第三实施例),所述大气压形成部400可包括:主体部510,结合于杆20 0,被与吸入通道210连接的真空压连接通道513上下贯通,形成大气压连接通道,进而从外部连接真空压连接通道513;阀部件531,设置在主体部510,并且隔绝或者相互连通真空压连接通道513以及大气压连接通道。
所述主体部510结合于杆200,并且被与吸入通道210连接的真空压连接通道513上下贯通形成,并且形成大气压连接通道,进而从外部连接真空压连接通道513,并且所述主体部510可具有各种结构。
例如,所述主体部510可拆卸地结合于杆200,进而可在所述主体部510上端与杆200的吸入通道210连通,而在下端可拆卸地结合吸入部220(即,吸附头)。
所述阀部件531作为设置在主体部510并且隔绝或者相互连通真空压连接通道513以及大气压连接通道的结构,可具有各种结构。
尤其是,对于阀部件531,根据主体部510的设置形态可具有各种结构,具体有如图10a以及图10b所示的第二实施例以及图11a以及图11b所示的第三实施例等。
具体地说,如图10a以及图10b所示,若在吸入通道210形成真空压,则所述阀部件531通过真空压在吸入通道210隔绝对真空压连接通道513连通大气压连接通道,若在吸入通道210解除真空压,则所述阀部件531通过弹性部件的弹力可解除对真空压连接通道513隔绝连通大气压连接通道。
此时,所述大气压形成部400可包括外壳521,所述外壳521 插入设置在形成在主体部510的插入槽,以使至少一部分与大气压连接通道交叉,并且在内部可移动地设置阀部件531。
另外,所述外壳521形成开口540,该开口540与真空压连接通道513连通并且通过阀部件531进行开关,并且所述外壳521可设置弹性部件532,若在吸入通道210解除真空压,则为使阀部件531开放开口 540而将弹力施加于阀部件531。
另外,优选为所述外壳521内部设置阀部件531,并且为了形成大气压连接通道,上端以及下端被一个以上的密封部件522密封。
具体地说,所述外壳521一端设置第一密封部件522,而在另一端可设置第二密封部件523,该第二密封部件523形成可与外部连通的一个以上的贯通孔523a。
此时,所述阀部件531设置在第二密封部件523侧,而在阀部件531以及第一密封部件522之间可设置弹性部件532。
另外,为了设置所述弹性部件532以及形成开口540,还可在所述外壳521内周面形成辅助气缸部件524。
另外,在所述外壳521沿着阀部件531外周面形成一个以上侧凹槽525,以使所述阀部件531能够线性移动的同时向外周面侧通气。
另外,所述外壳521形成有贯通孔521a、521b,该贯通孔52 1a、521b从侧面沿着真空压连接通道513形成,进而可上下连接形成在主体部510的真空压连接通道513。
另一方面,被所述阀部件531开关的开口540可通过各种方式形成,具体可通过辅助气缸部件524形成等。
所述阀部件531作为设置在主体部510隔绝或者相互连通真空压连接通道513以及大气压连接通道的结构,可具有各种结构。
例如,对于所述阀部件531,只要是能够开关开口540的结构,可以是任何一种结构,具体为球形形状等。
另一方面,如图11a以及图11b所示,作为所述阀部件531 的另一实施例,若在吸入通道210形成真空压,则所述阀部件531在吸入通道210通过真空压隔绝对真空压连接通道513连通大气压连接通道550,若在吸入通道210解除真空压,则所述阀部件531通过自重可解除对真空压连接通道513隔绝连通大气压连接通道550。
所述大气压连接通道550的特征在于,从主体部510的侧面连接真空压连接通道513,并且通过阀部件531进行开关。
在此,可通过一个以上的直线通道551、552形成所述大气压连接通道550。
例如,所述直线通道551、552可由第一直线通道551与第二直线通道552构成,其中第一直线通道551从主体部510的侧面方向连接真空压连接通道513,而第二直线通道552是以主体部510的上下方向连接到第一直线通道551与主体部510的外部。
在此,所述第一直线通道551是在主体部510的侧面方向通过机械加工穿孔而成,穿孔之后在主体部510的侧面部分可被密封部件5 36密封。
所述密封部件536作为插入于第一直线通道551来密封第一直线通道551的末端部分的结构,可具有各种结构,具体有球形部件等被压入第一直线通道551进行固定等的结构。
另外,所述大气压形成部400可包括外壳521,插入设置在形成在主体部510的插入槽,以使至少一部分与大气压连接通道550交叉,并且在内部可移动地设置阀部件531。
另外,所述外壳521形成开口540,该开口540与真空压连接通道513连通并且通过阀部件531开关该开口540,并且在所述外壳521 可设置阀部件531,若在吸入通道210解除真空压,则阀部件531可通过自重落下。
另外,所述外壳521优选为内部设置阀部件531,并且为了能够形成大气压连接通道550,由一个以上的密封部件529密封所述外壳52 1上端以及下端。
具体地说,所述外壳521一端设置第一密封部件529,而在另一端设置第二密封部件528,该第二密封部件528形成有开口540,该开口540被可与外部连通的阀部件531开关。
所述阀部件531作为设置在主体部510并且隔绝或者相互连通真空压连接通道513以及大气压连接通道的结构,可具有各种结构。
例如,对于所述阀部件531,只要是可开关上述开口540的结构,可以是任何一种结构,具体有球形形状等。
此时,所述阀部件531优选为设置在第二密封部件528的下侧,并且优选为大小小于外壳521内周面。
另一方面,如图11a至15所示的实施例的大气压形成部的结构,在适用于拾取大小非常小的元件10的拾取器时,在加工、组装等机械性结构方面存在局限性。
据此,如图12a至图15所示,作为所述大气压形成部400 的其他一实施例(第四实施例以及第五实施例)包括:主体部510,结合于杆200,被与吸入通道210连接的真空压连接通道513上下贯通,并且形成大气压连接通道,进而从外部连接真空压连接通道513;阀部件531,设置在主体部510,并且隔绝或者相互连通真空压连接通道513以及大气压连接通道;其中,可将形成在主体部的大气压连接通道以及阀部件531 的设置结构最大限度的简单化。
对于所述阀部件531,只要是能够开关后述的真空压连接通道 513的部件,可以是任何一种部件,考虑加工性、组装性优选为形成求形状。
所述大气压连接通道可包括连接通道形成部561,该连接通道形成部561一端与真空压连接通道513连接,通过阀部件531的移动进行开关,而另一端则与主体部510的外部连通。
所述连接通道形成部561作为能够使阀部件531移动的结构,优选为具有比阀部件531外径D0大的内径D1的气缸结构,以使球形状的阀部件531能够移动以及通气。
此时,考虑到根据主体部510整体大小的加工性、阀部件53 1的外径D0以及线性移动,适当地选择所述连接通道形成部561的长度。
另外,为了通过阀部件531的移动而容易开关所述连接通道形成部561的一端,与真空压连接通道513连接的连接部分564具有比阀部件531外径D0小的内径。
尤其是,对于与所述真空压连接通道513连接的连接部分56 4,优选为纵剖面形状形成向真空压连接通道513内径逐渐变小的锥形形状,进而通过阀部件531顺利进行开关所述连接部分564。
另一方面,所述连接通道形成部561的另一端能够与主体部5 10的外部连通的同时具有防止阀部件531向主体部510的外部脱离的防分离工具。
对于所述防分离工具,只要是防止阀部件531从连接通道形成部561向主体部510的外部脱离的结构,可以是任何一种结构。
例如,所述防分离工具结构如下:将阀部件531插入于连接通道形成部561,之后通过机械加工变形连接通道形成部561的另一端(缩小连接通道形成部561的另一端的内径)。
举另一示例,所述防分离工具则具有如下的结构:将阀部件5 31插入于连接通道形成部561,之后防分离部件嵌入连接通道形成部561 的另一端进行固定结合。
如图12a至图13b所示,举其他一示例,所述防分离工具可由扩张通道562与插入部件534构成,其中该扩张通道562具有比连接通道形成部561的内径D1大的内径D2,并且连接连接通道形成部561的另一端与主体部510的外面之间;所述插入部件534插入于扩张通道562,并且使空气可从主体部510流到连接通道形成部561。
所述扩张通道562作为具有比连接通道形成部561的内径D1 大的内径D2,并且连接连接通道形成部561的另一端与主体部510的外面之间的通道,可具有与连接通道形成部561类似的结构。
所述插入部件534作为插入到扩张通道562并且使空气可从主体部510流到连接通道形成部561,可具有各种结构。
例如,所述插入部件534可有球形状的部件构成,具有比连接通道形成部561的内径D1大且比扩张通道562的内径D2小的外径D1。
此时,在插入插入部件534之后通过对扩张通道562的机械性加工(图12a至图13b中图面符号535)等,防止向主体部510的外部脱离所述插入部件534。
另外,在插入所述插入部件534之后通过对扩张通道561的机械性加工固定于扩张通道562时,存在可隔绝扩张通道562的问题。
据此,通过在所述扩张通道562内周面形成长度方向的槽,或者在插入部件534的表面形成粗糙面等各种方法,可使大气压通过扩张通道562从主体部510外部输送到连接通道形成部561。
另外,即使有所述扩张通道562的隔绝,通过形成后述的连通通道568也能够使大气压输送到连接通道形成部561。
另一方面,对于插入于所述连接通道形成部561的阀部件53 1,在真空压连接通道513形成真空压的情况下,以阀部件531为基准因两侧的压力差向连接通道形成部561的一端侧移动,进而真空压连接通道 513隔绝连接通道形成部561。
另外,若在真空压连接通道513解除真空压,则从连接通道形成部561的一端侧远离所述阀部件531,进而解除对真空压连接通道51 3隔绝连接通道形成部561。
此时,若在所述真空压连接通道513解除真空压,则有必要从连接通道形成部561的一端侧远离阀部件531。
但是,如图13a以及图13b所示,以主体部510的长度方向 (即,上下方向)形成所述连接通道形成部561的情况下,阀部件531通过自重落下,因此若在真空压连接通道513解除真空压,则从连接通道形成部561的一端侧远离阀部件531,进而可解除对真空压连接通道513隔绝连接通道形成部561。
在此,如图13a以及图13b所示,以主体部510的长度方向形成所述连接通道形成部561的情况下,主体部510可形成连接连接通道形成部561与真空压连接通道513的辅助通道566。
所述辅助通到566作为连接连接通道形成部561与真空压连接通道513的通道,通过机械性加工等进行穿孔,从主体部510的侧面与真空压连接通道513连接,之后在主体部510的侧面部分可被密封部件5 35密封。
所述密封部件535用于在主体部510的侧面部分密封辅助通道566末端的结构,可由压入于辅助通道566末端的球形部件等各种部件构成。
另一方面,对于所述辅助通道566的末端,除了密封部件53 5以外,当然也可通过焊接等其他密封工具密封。
另一方面,如图12a以及图12b所示,在以与主体部510的长度方向垂直的方向(即,水平方向)形成所述连接通道形成部561的情况下,可保持连接通道形成部561对真空压连接通道513隔绝的状态。
据此,所述大气压形成部400还可包括弹性部件532,若在真空压连接通道513解除真空压,则为使阀部件531从连接通道形成部561 一端侧远离而将弹力施加于阀部件531,进而解除连接通道形成部561隔绝真空压连接通道513。
所述弹性部件532作为若在真空压连接通道513解除真空压,则为使阀部件531从连接通道形成部561一端侧远离而将弹力施加于阀部件531的结构,可具有各种结构。
此时,为了设置所述弹性部件532,主体部510还形成有从连接通道形成部561的一端向内侧延伸的弹性部件插入槽563。
所述弹性部件插入槽563作为为了设置弹性部件532而形成在主体部510的凹槽,考虑气缸结构的连接通道形成部561的形状、阀部件531的形状以及大小,可由具有比阀部件531的内径D0小的内径D3 的气缸结构构成。
在此,通过研磨等机械性加工形成所述弹性部件插入槽563,如图12a以及图12b所示首次形成,从而可依次连接部分564以及连接通道形成部561、扩张通道562。
另一方面,若在所述真空压连接通道513解除真空压,则从连接通道形成部561的一端侧远离阀部件531,解除连接通道形成部561 对真空压连接通道513的隔绝,进而主体部510外部的大气压输送于真空压连接通道513,大气压可迅速输送于吸附元件10的吸入部220。
此时,优选为为使主体部510外部的大气压更加迅速地输送于所述真空压连接通道513,在与连接通道形成部561(尤其是,真空压连接通道513)连接的连接部分564形成可与主体部510外部连通的连通通道568。
所述连通通道568也可使用于通过插入部件534隔绝扩张通道562的可能性。
所述连通通道568作为使主体部510外部的大气压更加迅速地输送于真空压连接通道513的结构,可由从主体部510的外部贯通到与连接通道形成部561(尤其是,真空压连接通道513)连接的连接部分56 4形成的贯通孔。
具体地说,所述连通通道568可由从主体部510的长度方向或者侧面外周面贯通至连接部分564形成的贯通孔形成。
另外,虽未示出,所述连通通道568也可由沿着连接通道形成部561的内周面的长度方向形成的凹槽形成等,可具有各种结构。
另一方面,所述连接通道形成部561的另一端能够与主体部5 10的外部连通的同时具有防止阀部件531向主体部510外部脱离的防分离工具。
对于所述防分离工具,只要是防止阀部件531从连接通道形成部561向主体部510外部脱离的结构,可以是任何一种结构。
例如,所述防分离工具可具有如下的结构:将阀部件531插入于连接通道形成部561之后通过机械加工等变形连接通道形成部561的另一端(缩小连通道形成部561的另一端的内径)。
另一方面,如图14a以及14b所示,作为所述访分离工具的其他一示例,与如图12a至图13b所示的不同可包括结合环591,该结合环591结合于主体部510以覆盖连接通道形成部561。
所述结合环591作为C形夹环等,结合于主体部510以覆盖连接通道形成部561的结构,可具有各种结构。
在此,所述主体部510可形成插入结合环591的凹槽,以顺利结合结合环591。
所述凹槽作为插入结合环591以顺利结合结合环591的结构,可具有各种结构。
尤其是,所述凹槽以及结合环591优选为持已设定的误差而相互结合,以通过连接通道形成部561使外部空气顺利流动。
即,在图面中示出了紧密设置各个部件的状态,但是由于制造上的误差、表面粗糙度等,向主体部510以及结合环591之间细微的缝隙来充分流动用于形成大气压的空气。同时除了图14a以及图14b以外的其他实施例的图面是理想地示出的,实际上因为材质的选择、结合误差等,部件之间形成细微的缝隙来充分流动用于形成大气压的空气。
另外,为使结合环591以及阀部件531之间的距离具有阀部件531能够顺利开关与真空压连接通道513连接的连接部分564的左右的距离,可适当地选择所述凹槽以及结合环591。
另外,所述结合环591可弹性变形,进而通过自身变形等可结合于凹槽。
另一方面,与上述相同,对于所述真空压连接通道513连接的连接部分564,优选为具有纵剖面形状形成内径向真空压连接通道513 逐渐缩小的锥形形状,以使通过阀部件531顺利开关所述连接部分564。
通过上述结构,所述真空压连接通道513中形成真空压时,因为真空压球形的阀部件531向与真空压连接通道513连接的连接部分5 64侧移动来隔绝连接部分564。
相反,若在所述真空压连接通道513解除真空压,则球形的阀部件531通过连接部分564的锥形形状从连接部分564隔离,并且因为真空压连接通道513的内径以及阀部件531的外径之间的细微差异,外部空气连接到真空压连接通道513,进而可在吸附部220可迅速地形成大气压。
另一方面,如图10a至图14b所示的实施例中,对于大气压形成部400,与形成在杆200的等,与其他部件形成一体或者形成独立的部件,当然可实现各种实施例。
另一方面,如图15所示,作为其他一实施例(第七实施例),大气压形成部可包括:连接管920,与吸入通道210连接;储气罐910,储存压缩空气,进而在开放时在对应于包括吸入通道210、吸附部220以及大气压连接管920的体积的空间内形成大气压;开关阀930,设置在储气罐910与大气压连接管920之间来开关储气罐910。
所述大气压连接管920作为与吸入通道210连接的结构,可使用与真空压连接管相同或者类似的部件。
另外,所述大气压连接管920连接点单独结合于杆10,或者可在真空压连接管的预定部分分支。
在此,在分支点可设置转换阀(switching valve),以用于转换成真空压或者大气压。
所述大气压连接管920优选为连接于与吸附部220最接近的位置,以用于最大限度地缩短对吸入通道210供应空气的时间。
所述储气罐910作为储存压缩空气,进而在开放时在对应于包括吸入通道210、吸附部220以及大气压连接管920的体积的空间内形成大气压的结构,可具有各种结构。
在此,所述储气罐910优选为连接于与吸附部220最近的位置,以用于最大限度地缩短对吸入通道210供应气体的时间。
所述开关阀930作为设置在储气罐910与大气压连接管920 之间来开关储气罐910的结构,可具有各种结构。
尤其是,所述开关阀930作为用于转换真空压或者大气压的转换阀(switchingvalve),可设置在真空压以及大气压的分支点。
另一方面,如图16a以及图16b所示,作为其他一实施例(第九实施例)所述大气压形成部可包括:开关部件942,对于杆200以及吸附部220中的一个从外周面向内侧贯通形成一个以上的侧面贯通孔941时,沿着杆200以及吸附部220中的一个的外周面移动来开关侧面贯通孔941;开关部件移动部943,使开关部件942沿着杆200以及吸附部220中的一个的外周面移动。
所述开关部件942作为沿着杆200以及吸附部220中的一个的外周移动来开关侧面贯通孔941的结构,可具有各种结构。
例如,如图16a以及图16b所示,所述开关部件942具有围绕杆200以及吸附部220中的一个的外周面的中空气缸结构,在对应于侧面贯通孔941时可形成向外部开放的露出孔944。
在此,当然通过上下移动覆盖或者开放侧面贯通孔941,进而所述开关部件942被暴露在外部可转换为大气压。
所述开关部件移动部943作为使开关部件942沿着杆200以及吸附部220中的一个的外周面移动的结构,可具有各种结构。
例如,所述开关部件移动部943可使用VCM或者电磁。
另一方面,在图16a以及图16b示出的实施例中,大气压控制部400与杆200形成一体或者可通过与杆200结合的另外的辅助部件9 0设置该大气压控制部400。
此时,所述辅助部件90延伸吸入通道220并且与可被与侧面贯通孔941连通的延伸吸入通道721上下贯通。
以上,示例性地说明了本发明的优选实施例,但是本发明范围并不被上述的特定实施例限定,而是可在权利要求范围内可进行适当的改变。

Claims (25)

1.一种拾取器,其特征在于,包括:
杆(200),内部形成有真空压作用的吸入通道(210),并且在一端结合有吸附元件(10)的吸附部(220);以及上下驱动部(100),用于以上下方向移动所述杆(200);
其中,所述上下驱动部(100)包括:
第一主体部(110),可拆卸地结合于支撑结构物,并且以上下方向可移动地结合所述杆(200);
第二主体部(120),与所述杆(200)固定结合,通过对所述第一主体部(110)的电动驱动以上下方向移动,进而使所述杆(200)对所述第一主体部(110)至少以上侧方向以及下侧方向中的一个方向移动;以及
电动驱动部,至少设置在所述第一主体部(110)以及第二主体部(120)中的一个,并且驱动所述第二主体部(120)对所述第一主体部(110)至少以上侧方向以及下侧方向中的一个方向的移动,
所述上下驱动部包括一个以上的引导部件(130),所述引导部件(130)与所述杆(200)的长度方向平行地固定结合于所述第二主体部(120),并且以上下方向可移动地结合于所述第一主体部(110),
所述电动驱动部用于驱动所述杆(200)只以所述第二主体部(120)对所述第一主体部(110)以上侧方向以及下侧方向中的一个方向的移动,
所述上下驱动部(100)包括一个以上的弹性部件(150),所述弹性部件(150)为了移动所述第二主体部(120)对所述第一主体部(110)的反方向移动在所述第一主体部(110)以及所述第二主体部(120)之间插入所述杆(200)。
2.根据权利要求1所述的拾取器,其特征在于,
所述第一主体部(110)具有直角六面体形状,以上下方向贯通结合所述杆(200),以使所述杆(200)能够以上下方向移动,
所述第二主体部(120)具有薄形直角六面体形状,以对应于第一主体部(110)的形状。
3.根据权利要求2所述的拾取器,其特征在于,
所述第二主体部(120)形成有固定结合部(121),进而以上下固定结合所述杆(200),其中在俯视所述固定结合部(121)时,形成“U”形狭槽。
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的拾取器,其特征在于,
所述电动驱动部包括:电磁部(510),设置在所述第一主体部(110),通过施加电力来产生磁力;以及
磁力反应部件(520),设置在所述第二主体部(120),在电磁部(510)产生磁力时,为使所述第一主体部(110)以及第二主体部(120)之间的引力起作用而作用于磁力。
5.一种拾取器,其特征在于,包括:
杆(200),内部形成有真空压起作用的吸入通道(210),并且一端结合有吸附元件(10)的吸附部(220);
上下驱动部(100),用于以上下方向移动所述杆(200);
大气压形成部(400),在所述吸入通道(210)解除真空压时,在所述吸附部(220)形成大气压,
所述大气压形成部(400)包括:
第一通道形成部件(410)以及第二通道形成部件(420),结合于所述杆(200)的下端,并且形成与所述吸入通道(210)连接的连接通道;
活塞部件(430),沿着所述连接通道通过所述吸入通道(210)输送真空压时向上侧移动,将真空压输送于吸附部(220);以及
弹性部件(440),在所述吸入通道(210)解除真空压的情况下,使所述活塞部件(430)通过弹力向下侧移动,通过活塞部件(430)将大气压输送于吸附部(220)。
6.根据权利要求5所述的拾取器,其特征在于,
所述第二通道形成部件(420):
形成有可移动所述活塞部件(430)的活塞空间(429);
形成有一个以上的侧面贯通孔(421),所述侧面贯通孔(421)向所述第二通道形成部件(420)侧面贯通来连接外部与活塞空间(429);以及
形成有连通槽(422),所述连通槽(422)从所述侧面贯通孔(421) 的上侧沿着所述第二通道形成部件(420)的内周面向向上侧延伸,并且与吸入通道(210)连通。
7.根据权利要求6所述的拾取器,其特征在于,
在所述活塞部件(430)的侧面形成有第一接口(431);在所述活塞部件(430)形成有气动输送通道(433),在与形成在所述第二通道形成部件(420)的上下贯通孔(423)对应的位置,所述气动输送通道(433)连接于形成在底面的第二接口(432);
在所述第一接口(431)位于下侧的状态下,所述活塞部件(430)与所述侧面贯通孔(421)连通,使外部的大气压经过气动输送通道(433)、所述第二接口(432)以及所述上下贯通孔(423)输送到所述吸附部(220);若从所述活塞部件(430)上侧输送真空压,则通过真空压活塞部件(430)向上侧移动,进而所述第一接口(431)沿着所述活塞空间(429)向上侧移动,进而与所述连通槽(422)连通,由此所述活塞空间(429)的侧面堵住所述侧面贯通孔(421)不使大气压输送到所述吸附部(220)。
8.根据权利要求5所述的拾取器,其特征在于,
所述大气压形成部包括:大气压连接管,与所述吸入通道(210)连接;储气罐,储存压缩空气,进而在开放时对应于包括所述吸入通道、所述吸附部以及所述大气压连接管的体积的空间内形成大气压;以及开关阀,设置在所述储气罐与所述大气压连接管之间来开关所述储气罐。
9.根据权利要求5所述的拾取器,其特征在于,
所述杆以及所述吸附部中的一个形成有从外周面向内侧贯通形成的一个以上的侧面贯通孔;
所述大气压形成部包括:开关部件,沿着所述杆以及所述吸附部中的一个的外周面移动来开关所述侧面贯通孔;以及开关部件移动部,使所述开关部件沿着所述杆以及所述吸附部中的一个的外周面移动。
10.一种拾取器,其特征在于,包括:
杆(200),内部形成有真空压起作用的吸入通道(210),并且一端结合有吸附元件(10)的吸附部(220);
上下驱动部(100),用于以上下方向移动所述杆(200);
大气压形成部(400),在所述吸入通道(210)解除真空压时,在所述吸附部(220)形成大气压,
所述大气压形成部(400)包括:
主体部(510),结合于所述杆(200),并且被与所述吸入通道(210)连接的真空压连接通道(513)上下贯通形成,并且形成有大气压连接通道,进而从外部连接所述真空压连接通道(513);
阀部件(531),设置在所述主体部(510),并且相互连通或者隔绝所述真空压连接通道(513)以及所述大气压连接通道。
11.根据权利要求10所述的拾取器,其特征在于,
所述阀部件(531)为,
若在所述吸入通道(210)形成有真空压,则在所述吸入通道(210)所述阀部件(531)通过真空压隔绝对所述真空压连接通道(513)连通大气压连接通道;若在所述吸入通道(210)解除真空压,则所述阀部件(531)通过弹性部件的弹力或者自重可解除对所述真空压连接通道(513)隔绝连通所述大气压连接通道。
12.根据权利要求11所述的拾取器,其特征在于,
所述大气压形成部(400)包括:
外壳(521),插入设置在形成在所述主体部(510)的插入槽,以使至少一部分与所述大气压连接通道交叉,并且在内部可移动地设置所述阀部件(531)。
13.根据权利要求12所述的拾取器,其特征在于,
所述外壳(521)形成有开口(540),所述开口(540)与所述真空压连接通道(513)连通,并且通过所述阀部件(531)进行开关。
14.根据权利要求13所述的拾取器,其特征在于,
所述外壳(521)设置有所述阀部件(531),若在所述吸入通道(210)解除真空压,则通过自重使所述阀部件(531)自动落下。
15.根据权利要求13所述的拾取器,其特征在于,
所述外壳(521)设置有弹性部件(532),若在所述吸入通道(210)解除真空压,则对所述阀部件(531)施加弹力,以使所述阀部件(531)开放所述开口(540)。
16.根据权利要求10所述的拾取器,其特征在于,
所述大气压连接通道包括连接通道形成部(561),所述连接通道形成部(561)一端与所述真空压连接通道(513)连接且通过所述阀部件(531)的移动而进行开关,而另一端则与所述主体部(510)的外部连通;所述连接通道形成部(561)具有比所述阀部件(531)的外径大的内径的气缸结构,以使具有球形状的所述阀部件(531)移动以及通气。
17.根据权利要求16所述的拾取器,其特征在于,
与所述真空压连接通道(513)连接的连接部分(564)具有比所述阀部件(531)的外径小的内径,进而通过所述阀部件(531)的移动容易开关所述连接通道形成部(561)的一端。
18.根据权利要求17所述的拾取器,其特征在于,
所述连接通道形成部(561)的另一端能够与所述主体部(510)的外部连通的同时具有防分离工具,以防止向所述主体部(510)的外部脱离所述阀部件(531)。
19.根据权利要求18所述的拾取器,其特征在于,
所述防分离工具包括:扩张通道(562),具有比所述连接通道形成部(561)的内径大的内径,并且连接所述连接通道形成部(561)的另一端与所述主体部(510)的外面之间;以及插入部件(534),插入于所述扩张通道(562),并且可使空气从所述主体部(510)流入所述连接通道形成部(561)。
20.根据权利要求17至18中的任意一项所述的拾取器,其特征在于,
所述连接通道形成部(561)沿着所述主体部(510)的长度方向而形成,所述主体部(510)形成有辅助通道(566),所述辅助通道(566)连接所述连接通道形成部(561)与所述真空压连接通道(513)。
21.根据权利要求17至18中的任意一项所述的拾取器,其特征在于,
所述大气压形成部(400)还包括弹性部件(532),若在真空压连接通道(513)解除真空压,则为使所述阀部件(531)远离连接通道形成部(561)的一端侧,将弹力施加于所述阀部件(531),进而解除真空压连接通道(513)隔绝连接通道形成部(561);
所述主体部(510)还形成有从所述连接通道形成部(561)的一端向内侧延伸的弹性部件插入槽(563)。
22.根据权利要求17至18中的任意一项所述的拾取器,其特征在于,
为使所述主体部(510)外部的大气压更加迅速地输送于所述真空压连接通道(513),在与所述连接通道形成部(561)连接的连接部分(564)形成有与所述主体部(510)的外部连通的连通通道(568)。
23.根据权利要求18所述的拾取器,其特征在于,
所述防分离工具包括结合环(591),所述结合环(591)结合于所述主体部(510),以覆盖所述连接通道形成部(561)。
24.根据权利要求23所述的拾取器,其特征在于,
所述主体部(510)形成有插入所述结合环(591)的凹槽,以顺利结合所述结合环(591)。
25.根据权利要求23所述的拾取器,其特征在于,
与所述真空压连接通道(513)连接的连接部分(564)纵剖面形状具有内径向所述真空压连接通道(513)逐渐缩小的锥形形状,进而通过所述阀部件(531)顺利开关所述连接部分(564)。
CN201680014563.3A 2015-03-11 2016-03-11 拾取器 Expired - Fee Related CN107405774B (zh)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2015-0033628 2015-03-11
KR20150033628 2015-03-11
KR10-2016-0010928 2016-01-28
KR1020160010928A KR20160110083A (ko) 2015-03-11 2016-01-28 픽커
PCT/KR2016/002444 WO2016144131A1 (ko) 2015-03-11 2016-03-11 픽커

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107405774A CN107405774A (zh) 2017-11-28
CN107405774B true CN107405774B (zh) 2020-10-09

Family

ID=57079984

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201680014563.3A Expired - Fee Related CN107405774B (zh) 2015-03-11 2016-03-11 拾取器

Country Status (4)

Country Link
KR (2) KR20160110083A (zh)
CN (1) CN107405774B (zh)
SG (1) SG11201707360PA (zh)
TW (1) TWI622542B (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6923394B2 (ja) * 2017-08-30 2021-08-18 Towa株式会社 吸着ハンド、搬送機構、樹脂成形装置、搬送方法および樹脂成形品の製造方法
KR102027232B1 (ko) * 2018-06-19 2019-10-01 (주)금성다이아몬드 글래스 패널 이동용 진공흡착 장치
CN109580314B (zh) * 2018-10-26 2021-04-02 桂林优利特医疗电子有限公司 一种免疫组化染色机的盖玻片拾取装置及其使用方法
SG11202107576RA (en) * 2019-02-26 2021-08-30 Genesem Inc Table module and apparatus for automatically exchanging conversion kit
KR102340643B1 (ko) * 2019-10-18 2021-12-17 한국에스엠씨 주식회사 진공체크버퍼 및 이를 이용한 제어시스템
KR102624036B1 (ko) * 2022-11-29 2024-01-12 서울대학교산학협력단 길이 방향 전개형 진공 흡입 컵
TWI831550B (zh) * 2022-12-30 2024-02-01 和碩聯合科技股份有限公司 取料裝置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030084287A (ko) * 2002-04-26 2003-11-01 (주)제이티 픽커 구동용 공압실린더
JP2004058202A (ja) * 2002-07-29 2004-02-26 Toyota Motor Corp 吸着装置
JP2008168382A (ja) * 2007-01-11 2008-07-24 Juki Corp 部品吸着ノズル
KR101339394B1 (ko) * 2012-07-13 2014-01-10 (주) 티피씨 메카트로닉스 픽커 및 픽커 모듈
CN203973552U (zh) * 2014-07-01 2014-12-03 常州市耀华电机设备有限公司 机械手吸盘

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100684608B1 (ko) * 2005-10-17 2007-02-20 장인식 자력 및 진공을 이용한 흡착장치
KR20080060415A (ko) * 2006-12-27 2008-07-02 미래산업 주식회사 핸들러의 전자부품 픽커
KR101361494B1 (ko) * 2009-11-12 2014-02-14 (주)테크윙 픽앤플레이스장치
KR101320369B1 (ko) * 2012-04-02 2013-10-23 임석규 반도체 소자용 진공 흡착 실린더
KR101303749B1 (ko) * 2013-05-29 2013-10-08 (주)브이텍 퀵 릴리즈 밸브 및 그것을 갖는 진공펌프 장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030084287A (ko) * 2002-04-26 2003-11-01 (주)제이티 픽커 구동용 공압실린더
JP2004058202A (ja) * 2002-07-29 2004-02-26 Toyota Motor Corp 吸着装置
JP2008168382A (ja) * 2007-01-11 2008-07-24 Juki Corp 部品吸着ノズル
KR101339394B1 (ko) * 2012-07-13 2014-01-10 (주) 티피씨 메카트로닉스 픽커 및 픽커 모듈
CN203973552U (zh) * 2014-07-01 2014-12-03 常州市耀华电机设备有限公司 机械手吸盘

Also Published As

Publication number Publication date
KR20160110083A (ko) 2016-09-21
KR20160110244A (ko) 2016-09-21
SG11201707360PA (en) 2017-10-30
TWI622542B (zh) 2018-05-01
CN107405774A (zh) 2017-11-28
TW201641399A (zh) 2016-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107405774B (zh) 拾取器
KR101674372B1 (ko) 튜브 조립 장치
EP1186814A2 (en) Manifold valve with position detector
KR20020019393A (ko) 위치검출기능을 갖춘 매니폴드밸브
US9625049B2 (en) Valve assembly
CN101615835A (zh) 音圈马达组装装置
JP2016507389A (ja) 面状吸引グリッパ
KR102265894B1 (ko) 진공 블럭을 구비한 픽업 장치
KR20160083710A (ko) 진공 흡착 실린더
EP3770473A1 (en) Anti-ice valve
CN103946135A (zh) 零件供给器及零件的供给方法
CN110589467A (zh) 一种电磁式真空吸附装置
JP2000185890A (ja) 吸着装置
JP2017127929A (ja) 吸着器
KR101507316B1 (ko) 자력 흡착장치
WO2019202777A1 (ja) 磁性体、及び非磁性体を吸着搬送するための装置
CN107143683B (zh) 电磁阀
TW201800319A (zh) 拾取器
KR101674599B1 (ko) 진공 흡착 실린더
CN220765818U (zh) 真空吸盘
WO2017115676A1 (ja) パーツ充填装置及びパーツ充填方法
CN117651825A (zh) 压缩空气供给装置
JP2014240318A (ja) 振動式部品供給装置
KR102270623B1 (ko) 픽업 장치용 진공 흡착 패드
KR200460135Y1 (ko) 매니폴드형 전자밸브의 회로기판 스토퍼장치

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20201009

Termination date: 20210311