KR20020019393A - 위치검출기능을 갖춘 매니폴드밸브 - Google Patents

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KR20020019393A
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Abstract

자기센서의 설치가 간단하고 배선도 용이함과 아울러, 보수관리시의 취급도 용이한 위치검출기능을 구비한 매니폴드밸브를 제공한다.
전자밸브(1)는, 이 전자밸브(1)가 탑재된 매니폴드 베이스(2)로 이루어지고, 상기 전자밸브(1)가, 피스톤(12a)에 설치된 위치검출용 자석(20)과, 이 자석(20)과 대응하는 위치에 설치된 센서 설치용 오목부(22)를 보유하고, 상기 매니폴드 베이스(2)가, 상기 오목부(22)와 대응하는 위치에 돌출상태로 설치된 자기센서(21)를 보유하고, 상기 매니폴드 베이스(2) 상으로 전자밸브(1)를 탑재함으로써 자기센서 (21)가 상기 오목부(22) 내에 자동적으로 설치되도록 한다.

Description

위치검출기능을 갖춘 매니폴드밸브{MANIFOLD VALVE HAVING POSITION DETECTING FUNCTION}
본 발명은, 매니폴드 베이스 상에 탑재한 전자밸브의 동작위치를 자석과 자기센서로 검출할 수 있는, 위치검출기능을 갖춘 매니폴드밸브에 관한 것이다.
자석과 자기센서를 사용하여 스풀의 동작위치를 검출할 수 있도록 한 전자밸브, 예컨대 일본 실개평2-66784호 공보에 개시되어 있는 바와 같이 모두 공지이다. 이 전자밸브는, 스풀의 외주에 자석을 설치함과 아울러, 케이싱에 자기를 감지하는 자기센서를 설치한 것이므로, 스풀이 한쪽의 절환위치로 이동하였을 때 상기 자기센서가 자석을 감지하여 온으로 되고, 스풀이 다른쪽의 절환위치로 이동하였을 때 자기센서가 자석으로부터 떨어져서 오프로 되도록 한 것이다. 또한 상기 자기센서는, 전자밸브의 케이싱으로부터 외부로 도출한 리드선에 의해서 컨트롤러에 접속되어 있다.
한편, 이러한 종류의 전자밸브에는, 이것을 매니폴드 베이스 상에 탑재함으로써 매니폴드밸브로서 사용되는 것이 있다. 이 매니폴브 밸브는 통상, 매니폴드 베이스 상에 1개 또는 복수개의 전자밸브가 탑재되어 있어서, 이들 각 전자밸브에 상기 매니폴드 베이스를 통해서 압력유체와 전력이 일괄되서 공급되도록 구성되어있다.
이와 같은 매니폴드밸브에 있어서도, 상기 공지예와 마찬가지로, 각 전자밸브의 동작위치를 자석과 자기센서를 사용하여 검출할 수 있다. 그러나 이 경우에, 공지예와 같이 자기센서를 전자밸브의 케이싱에 설치한 것에서는, 도선을 케이싱의 밖을 둘러쳐서 매니폴드 베이스의 전기접속부에 도입, 접속해야하기 때문에, 배선작업이 귀찮고 난잡하게 되거나, 상기 도선이 다른 부재의 방해로 되는 등의 문제가 생기기 쉽다. 또한, 보수관리에 있어서 매니폴드 베이스와 전자밸브를 분리함에 있어서, 도선에서 매니폴드 베이스에 접속되어 있는 센서를 케이싱으로부터 떼어내거나, 또는 상기 도선을 매니폴드 베이스로부터 분리하는 등의 작업을 행해야만 하고, 취급이 귀찮다.
본 발명의 기술적 과제는, 자기센서의 설치가 간단하고 배선도 용이함과 아울러, 보수관리 시의 취급도 용이한 위치검출기능을 구비한 매니폴드밸브를 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 의하면, 압력유체를 컨트롤하기 위한 전자밸브와, 이 전자밸브에 압력유체와 전력을 공급하기 위한 매니폴드 베이스를 보유하는 매니폴드밸브가 제공된다.
상기 전자밸브는, 상기 매니폴드 베이스 상에 설치하기 위한 설치면을 보유하는 케이싱과, 이 케이싱의 내부에 슬라이딩가능하게 설치된 밸브부재와, 이 밸브부재를 구동하는 전자식 구동수단과, 상기 밸브부재와 동기하여 변이하도록 설치된자석과, 상기 케이싱의 설치면의 상기 자석과 대응하는 위치에 설치된 센서설치용 오목부를 보유하고 있다.
또한 상기 매니폴드 베이스는, 상기 전자밸브를 탑재하기 위한 탑재면과, 전자밸브 제어용 컨트롤러에 접속하기 위한 제 1플러그와, 상기 오목부와 대응하는 탑재면 상의 위치에 이 탑재면으로부터 전자밸브측에 돌출하도록 설치되어 있으므로, 상기 탑재면 상으로의 전자밸브에 의해 상기 오목부 내에 끼워맞추는 적어도 1개의 자기센서와, 이 자기센서와 상기 제 1플러그를 도통시키기 위한 도통수단을 보유하고 있다.
상기 구성을 보유하는 본 발명의 매니폴드밸브는, 상기 매니폴드 베이스에 자기센서를 돌출상태로 설치함과 아울러, 전자밸브의 케이싱에 오목부를 설치하고, 매니폴드 베이스 상에 전자밸브를 탑재함으로써 자기센서가 상기 오목부 내의 소정의 위치에 설치되도록 한 것이므로, 상기 자기센서의 설치가 간단하고, 또한, 도선을 외부에 둘러쌀 필요가 없기 때문에 배선도 용이하다. 또한, 보수관리에 있어서 매니폴드 베이스와 전자밸브를 분리함에 있어서, 매니폴브 베이스로부터 자기센서를 떼어내거나, 도선을 매니폴드 베이스로부터 떼어낼 필요가 없기 때문에, 취급도 용이하다.
본 발명의 바람직한 구성형태에 의하면, 상기 매니폴드 베이스의 탑재면에 상기 오목부에 끼워맞추는 돌출부가 설치되고, 이 돌출부 내에 자기센서를 수용함으로써 이 돌출부가, 매니폴드 베이스와 전자밸브를 연결할 때의 위치결정수단과, 상기 자기센서를 탑재면으로부터 돌출상태로 유지하기 위한 홀더를 겸하고 있다.
본 발명의 구체적인 구성형태에 의하면, 상기 전자밸브가 스풀식 전자밸브임과 아울러, 상기 구동수단이 전자조작식의 1개 또는 2개의 파일럿 밸브로 이루어져 있고, 상기 전자밸브가 밸브부재의 양측에 각각 파일럿유체의 작용에 의해 동작하는 피스톤을 보유하고, 상기 밸브부재 또는 피스톤 중 어느 하나에 상기 자석이 설치되어 있다.
본 발명에 있어서 바람직하게는, 상기 자석이, 압력유체 또는 파일럿유체로부터 격리된 상태로 설치되어 있는 것이다.
본 발명의 바람직한 구체적인 구성형태에 의하면, 상기 각 피스톤이, 그 일단면측에 형성된 압력실과, 타단면측에 형성된 호흡실과, 이들 양 실 간을 차단하는 피스톤패킹을 보유하고 있어서, 한쪽의 피스톤에 있어서의 상기 피스톤패킹보다도 호흡실측에 치우친 위치에 상기 자석이, 이 패스톤패킹에서 파일럿유체와의 접촉이 방지된 상태로 설치되어 있다.
도 1은, 본 발명에 관한 매니폴드밸브의 제 1실시예를 나타내는 단면도이다.
도 2는, 도 1의 매니폴드밸브를 분해하고 또는 요부를 파단한 사시도이다.
도 3은, 도 1의 요부확대도이다.
도 4는, 본 발명에 관한 매니폴드밸브의 제 2실시예를 나타내는 단면도이다.
도 5는, 도 4의 매니폴드밸브를 분해하고 또는 요부를 파단한 사시도이다.
도 6는, 자기센서의 설치방법의 다른 예를 나타내는 요부단면도이다.
도 7은, 자기센서의 설치방법의 또 다른 예를 나타내는 요부단면도이다.
도 8은, 자기센서의 접속방법의 다른 예를 나타내는 요부사시도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
100, 200 … 매니폴드밸브 1 … 전자밸브
1a … 설치면 2 … 매니폴드 베이스
2a … 탑재면 5 … 파일럿 밸브
6 … 케이싱 8 … 스풀
10 … 호흡실 12a, 12b … 피스톤
13a, 13b … 압력실 15 … 피스톤패킹
20 … 자석 21 … 자기센서
22 … 오목부 28 … 제 1플러그
31 … 도통수단 37 … 돌출부
도 1 ~ 도 3은 본 발명에 관한 매니폴드밸브의 제 1의 실시형태를 나타내는 것으로, 이 매니폴드밸브(100)는, 압축공기 등의 압력유체를 컨트롤하기 위한 전자밸브(1)와, 이 전자밸브(1)에 상기 압력유체와 절력을 공급하기 위한 매니폴드 베이스(2)를 보유하고, 이 매니폴드 베이스(2) 상에 상기 전자밸브(1)가 탑재되어 있다.
상기 전자밸브(1)는 더블 파일럿식 전자밸브로, 주밸브(4)와, 이 주밸브(4)의 한끝에 나란히 설치된 2개의 전자조작식 파일럿 밸브(5a, 5b)를 보유하고, 이들파일럿밸브(5a, 5b)에서 주밸브(4)를 절환하는 것이다. 상기 주밸브(4)는 5포트밸브로서 구성되고, 비자성체로 이루어지는 케이싱(6)을 보유하고 있다. 이 케이싱 (6)은, 직사각형 단면을 보유하는 제 1부재(6a)와, 이 한끝에 연결되어서 상기 파일럿 밸브(5a, 5b)를 설치하기 위한 어댑터를 겸하는 제 2부재(6b)와, 다른끝에 연결되어서 케이싱의 끝부를 폐쇄하는 엔드커버로서의 기능을 가지는 제 3부재(6c)로 이루어져 있고, 이 케이싱(6)의 하면은, 상기 매니폴드 베이스(2)의 상면의 탑재면 (2a)에 고정하기 위한 실질적으로 평평한 설치면(1a)으로 이루어져 있다.
상기 설치면(1a)에는, 제 1부재(6a)의 바닥면으로 되는 위치에, 공급통과구멍(P1)과, 그 양측에 위치하는 2개의 출력통과구멍(A1, B1)과, 또한 그 양측에 위치하는 2개의 배출통과구멍(EA1, EB1)이 설치되어 있다. 또한, 상기 제 1부재(6a)의 내부에는, 이들 각 통과구멍이 축선방향으로 나란히하여 개구하는 밸브구멍(7)이 설치되고, 이 밸브구멍(7) 내에, 유로절환용 밸브부재인 스풀(8)이 슬라이딩가능하게 수용되어 있다.
상기 스풀(8)의 외주에는, 상기 각 포트 간을 연결하는 유로끼리를 서로 구획하기 위한 복수의 시일부재(9)가 설치됨과 아울러, 스풀(8)의 양끝 외주에, 상기 스풀(8)의 끝부가 면하는 호흡실(10)과 밸브구멍(7) 내의 동작유체의 유로의 사이를 차단하는 끝부시일부재(9a)가 각각 설치되어 있다.
한편, 상기 제 2부재(6b) 및 제 3부재(6c)에는, 스풀(8)의 양끝이 면하는 위치에 피스톤실(11a, 11b)이 각각 형성되어 있다. 제 2부재(6b)에 형성된 제 1피스톤실(11a)은 큰지름이고, 그 중에는 큰지름의 제 1피스톤(12a)이 슬라이딩가능하게 수용되어 있다. 또한, 제 3부재(6c)에 형성된 제 2피스톤실(11b)은 상기 제 1피스톤실(11a)보다 작은 지름이고, 그 중에는 작은 지름의 제 2피스톤(12b)이 슬라이딩가능하게 수용되어 있다. 이들 피스톤(12a, 12b)은 각각, 스풀(8)의 끝면에 분리가능하게 접촉하거나, 또는 스풀(8)과 일체로 연결되어 있어서, 상기 스풀(8)과 동기하여 이동하도록 되어 있다.
또한, 상기 각 피스톤(12a, 12b)의 배면측, 즉 스풀(8)에 접촉하고 있는 면과는 반대측의 부분에는, 각각 제 1 및 제 2의 압력실(13a, 13b)이 형성되고, 각 피스톤(12a, 12b)과 스풀(8)과의 사이에는, 각각 도시하지 않는 통과구멍에 의해 외부에 개방하는 상기 호흡실(10, 10)이 형성되어 있고, 이들 압력실(13a, 13b)과 호흡실(10, 10)과의 사이에는, 상기 피스톤(12a, 12b)의 외주에 설치된 피스톤패킹 (15, 15)으로 기밀하게 차단되어 있다.
큰지름의 제 1피스톤(12a)측에 위치하는 상기 제 1압력실(13a)은, 도 3으로부터 명확한 바와 같이, 파일럿 공급유로(16), 보조블럭(14)에 설치된 수동조작기구(17a)(도 2참조), 한쪽의 파일럿 밸브(5a), 및 파일럿 출력유로(18a)를 통해서 상기 공급포트(P)에 연통하고 있다. 또한, 작은 지름의 제 2피스톤(12b)측에 위치하는 제 2압력실(13b)은, 상기 파일럿 공급유로(16), 다른쪽의 파일럿 밸브(5b), 파일럿 출력유로(18b), 수동조작기구(17b), 및 파일럿 출력유로(18c)를 통해서 상기 공급포트(P)를 통해서 상기 공급포트(P)에 연통하고 있다.
또한, 한쪽의 파일럿 밸브(5a)가 오프로 되어서 제 1압력실(13a)이 대기로개방됨과 아울러, 다른쪽의 파일럿 밸브(5b)가 온으로 되어서 제 2압력실(13b)에 상기 파일럿 출력유로(18b 및 18c)를 통해서 파일럿 공급유로(16)로부터의 파일럿유체가 공급되어 있을 때는, 제 2피스톤(12b)에 의해 스풀(8)이 눌려지고, 도 1에서 나타내는 바와 같이 좌측으로 이동한 제 1절환위치를 점유한다. 이 상태로부터 상기 파일럿 밸브(5a, 5b)가 절환되고, 파일럿 밸브(5a)가 온으로 되어서 파일럿 밸브(5b)가 오프로 되면, 제 2압력실(13b)이 대기로 개방되어서 제 1압력실(13a)에 파일럿유체가 공급되기 때문에, 피스톤(12a)에 의해 스풀(8)이 눌려져서 우측으로 이동하고, 제 2절환위치로 절환된다.
상기 수동조작기구(17a, 17b)는 각각, 파일럿 밸브(5a, 5b)가 온으로 되었을 경우와 마찬가지의 절환상태를 수동으로 재현시키기 위한 것이므로, 정전시나 파일럿 밸브가 고장난 경우 등에 사용하는 것이다. 즉, 수동조작기구(17a)는, 파일럿 밸브(5a)에 대응하는 것이므로, 조작자(17c)를 눌러내림으로써 파일럿 공급유로 (16)와 파일럿 출력유로(18a)가 직접 연통하고, 제 1압력실(13a)에 공급포트(P)로부터 파일럿유체가 공급된다. 다른쪽의 수동조작기구(17b)는 파일럿 밸브(5b)에 대응하고 있어서, 조작자(17c)를 눌러내림으로써 파일럿 공급유로(16)와 파일럿 출력유로(18c)가 직접 연통하고, 제 2압력실(13b)에 공급포트(P)로부터 파일럿유체가 공급된다.
또한, 상기 파일럿 밸브(5a, 5b)는, 솔레노이드로의 통전에 의해서 파일럿유로를 개폐하는 저자조작식 파일럿 밸브로서, 그 구성 및 작용은 공지의 것과 동일하기 때문에, 그 구체적인 설명은 생략한다.
상기 전자밸브(1)에 있어서의 제 1피스톤(12a)에는, 스풀(8)의 동작위치를 검출할 때의 피검출체로 되는 자석(20)이 설치되어 있다. 이 자석(20)은 합성수지나 합성고무와 같은 연질의 탄성기재 중에, 자성을 가지는 금속분말을 혼합하여, 원주의 일부에 노치부를 보유하는 링형상으로 형성한 것이므로, 상기 피스톤(12a)의 외주의, 피스톤패킹(15)보다도 호흡실(10)측에 치우친 위치에 형성된 설치홈 내에, 탄력적으로 지름을 확대한 상태로 끼워넣음으로써 설치되어 있다. 또한, 제 1피스톤(12a)(따라서 스풀(8))과 함께 변이하는 이 자석(20)을 매니폴드 베이스(2)에 설치한 자기센서(21)로 검출함으로써, 상기 스풀(8)의 동작위치를 검출할 수 있도록 하고 있다.
이 경우, 상기 자석(20)의 두께를 설치홈의 깊이보다도 조금 작게 형성함으로써, 상기 자석(20)의 외주면이 피스톤(12a)의 외주면보다 낮은 위치에 있어서 피스톤실(11b)의 내주면에 슬라이딩접촉하지 않도록 하여 두는것이 바람직하고, 이것에 의해, 자석(20)의 슬라이딩접촉에 의한 피스톤(12a)의 슬라이딩저항의 증가를 방지하는 것이 가능할 뿐만 아니라, 이 자석(20)이 대기 중의 자성 미세입자를 약간 흡착한 것으로 하여도, 이것이 피스톤(12a)의 슬라이딩에 악영향을 치우친 것을 방지할 수 있다.
또한, 이와 같이 상기 자석(20)을, 피스톤(12a)의 외주의 호흡실(10)측의 위치에 설치함으로써, 상기 자석(20)이 파일럿유체나 주밸브(4) 중의 압력유체와 직접 접촉하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 상기 유체 중에 수분이나 화학미스트 또는 금속분말과 같은 자성체 입자 등이 포함되어 있는 것으로 하여도, 상기 자석(20)이 이들과 접촉하여 녹슬거나 부식하는 또는 자성체 입자를 흡착하는 일이 없고, 자력의 저하에 의한 위치검출정밀도의 저하나, 흡착한 미세입자에 의한 피스톤 (12a)의 동작불량 등이 생기지 않는다.
상기 전자밸브(1)의 케이싱(6)에 설치된 설치면(1a)에는, 제 2부재(6b)의 바닥면으로 되는 위치에, 상기 자기센서(21)가 끼워맞춰지는 실질적으로 직사각형의 단면형상을 보유하는 오목부(22)가, 상기 제 1피스톤(12a)에 근접하는 깊이로 커트됨으로써 설치되어 있다.
상기 전자밸브(1)가 탑재되어 있는 상기 매니폴드 베이스(2)는, 두께방향으로 복수개를 접합하여 사용하는 스태킹타입인 것에서, 비자성체로 형성되어 있고, 절반측에 설치된 유로형성부(2A)와 다른 절반측에 설치된 전자접속부(2B)를 보유하고, 상기 매니폴드 베이스(2)의 상면에는, 이들 유로형성부(2A)와 전기접속부 (2B)에 걸치도록 상기 탑재면(2a)이 형성되어 있다. 상기 유로형성부(2A)와 전기접속부 (2B)와는, 일체로 형성하여도, 별체로 형성하여 서로 연결되어도 좋다.
상기 유로형성부(2A)에는, 매니폴드 베이스(2)를 두께방향으로 관통하는 공급유로(P) 및 배출유로(E)가 설치됨과 아울러, 상기 매니폴드 베이스(2)의 끝면에 개구하는 2개의 출력포트(A, B)가 설치되어 있다. 또한, 이들 공급유로(P)와 배출유로(E) 및 각 출력포트(A, B)가 각각, 유로형성부(2A)의 내부에 형성된 연통구멍을 통해서 상기 탑재면(2a) 상에 개구하는 공급통로(P2)와 2개의 배출통과구멍(EA2, EB2) 및 2개의 출력통과구멍(A2, B2)에 연통하고, 이 탑재면(2a) 상에 전자면을 탑재하였을 때 이들 각 통과구멍이, 상기 전자면의 설치면(1a)에 개구하는 공급통과구멍(P1)과 2개의 배출통과구멍(EA1, EB1) 및 2개의 출력통과구멍(A1, B1)에 각각 연통하도록 되어 있다.
도 중 24는, 복수의 매니폴드 베이스(2)를 접합하여 체결할 때에 볼트를 삽입하기 위한 체결구멍(25, 26)은 매니폴드 베이스의 양 면의 상대하는 위치에 설치되는 위치결정용 돌기와 결합구멍으로, 돌기(25)가 인접하는 매니폴드 베이스(2)의 연결구멍(26)에 결합하도록 되어 있다.
또한, 상기 전기접속부(2B)는, 접속용 각종 전기부품을 수용하기 위한 수용실(27)을 보유하고 있고, 이 수용실(27) 내에는, 전자밸브 제어용 컨트롤러로부터 도입되는 도선의 선단의 제 1소켓(도시하지 않음)을 접속하기 위한 제 1플러그(28)와, 이 제 1플러그(28)에 전기적으로 접속된 제 1프린트기판(29)과, 이 제 1프린트기판(29)에 접속된 제 2소켓(30a)과, 상기 자기센서(21)와 제 1프린트기판(29)을 서로 도통하기 위한 도통수단(31)을 설치되어 있다.
상기 제 2소켓(30a)은, 전자밸브(1)의 파일럿 밸브(5a, 5b)에 설치된 제 2플러그(30b)에 접촉이간 가능하도록 접속되는 것이다. 한편, 상기 도통수단(31)은, 자기센서(21)가 설치된 제 2프린트기판(38)과, 이 제 2프린트기판(38)과 제 1프린트기판(29)을 접촉이간 가능하도록 접속하는 커넥터(34)로 이루어지는 것이므로, 이 커넥터(34)는, 상기 제 2프린트기판(38)에 설치된 제 3소켓(34a)과, 제 1프린트기판(29)으로부터 연장하는 도선(35)에 설치되고 이 제 3소켓(34a)에 접촉이간 가능하도록 접속되는 제 3플러그(34b)로 이루어져 있다.
또한, 상기 전기접속부(2B)의 상면에는, 상기 전자밸브(1)의 오목부(22)에 거의 꽉 끼워맞춰지는 크기의 직사각형 단면을 보유하는 캡형의 돌출부(37)가, 탑재면(2a)으로부터 상방으로 돌출하도록 형성되고, 이 돌출부(37) 내에 상기 자기센서(21)가 수용실(27)측으로부터 삽입되어 있고, 이 돌출부(37)에 의해서 상기 자기센서(21)가, 탑재면(2a)으로부터 전자밸브(1)측으로 향하여 돌출한 상태로 유지되어 있다. 또한, 상기 매니폴드 베이스(2)의 탑재면(2a) 상으로 전자밸브(1)를 탑재함으로써, 상기 돌출부(37)가 오목부(22) 내에 끼워맞춰져서 매니폴드 베이스(2)와 전자밸브(1)와의 위치결정이 행해짐과 아울러, 이 돌출부(37)를 통해서 자기센서 (21)가 오목부(22) 내에 끼워맞춰진 상태로 설치되도록 되어 있다. 따라서 상기 돌출부(37)는, 매니폴드 베이스(2)와 전자밸브(1)를 연결할 때의 위치결정수단과, 상기 자기센서(21)를 탑재면으로부터 돌출상태로 유지하기 위한 홀더를 겸하는 것이다. 이 돌출부(37)는, 매니폴드 베이스(2)와 일체로 형성되어 있지만, 별도로 형성하여 매니폴드 베이스(2)에 고정하여도 좋다.
상기 구성을 보유하는 매니폴드밸브(100)는, 매니폴드 베이스(2) 상에 전자밸브(1)를 탑재하는 것만으로 자기센서(21)를 오목부(22) 내의 소정의 위치에 자동적으로 설치하는 것이 가능하고, 상기 자기센서(21)의 설치가 간단하며, 자기센서 (21)로부터의 도선을 외부에 둘러쌀 필요가 없기 때문에 배선도 용이하다. 또한, 보수관리에 있어서 상기 매니폴드 베이스(2)와 전자밸브(1)를 분리할 때에, 매니폴드 베이스(2)로부터 자기센서(21)를 떼어내거나, 도선을 매니폴드 베이스(2)로부터떼어낼 필요가 없으므로, 취급도 용이하다.
도 4 및 도 5는 본 발명에 관한 매니폴드밸브의 제 2실시예를 나타내는 것이므로, 이 제 2실시예의 매니폴드밸브(200)가 상기 제 1실시예의 매니폴드밸브(100)와 다른 점은, 제 1실시예에서는 큰 지름의 제 1피스톤(12a)에 자석(20)을 설치함과 아울러, 매니폴드 베이스(2)의 제 1피스톤(12a)과 대응하는 위치에 자기센서 (21)를 설치하는 것에 대하여, 제 2실시예에서는, 제 1피스톤(12a)의 반대측에 있는 작은 지름의 제 2피스톤(12b)에 자석(20)을 취급함과 아울러, 매니폴드 베이스 (2)의 제 2피스톤(12b)측의 위치에 상기 자기센서(21)를 설치하고 있는 점이다.
즉, 전자밸브(1)의 케이싱(6)에 있어서의 제 3부재(6c)의 하면에 오목부(22)를 형성하고, 매니폴드 베이스(2)에 있어서의 유로형성부(2A)의 상면에 돌출부(37)를 형성하며, 이 돌출부(37)의 내부에 상기 자기센서(21)를 가지고 있다. 또한, 이 매니폴드 베이스(2)의 유로형성부(2A)의 측면에는 배선용 삽입통과홈(39)를 형성하고, 이 삽입통과홈(39) 내로 통한 도선(40)에서, 자기센서(21)가 접속된 제 2프린트기판(38)과 제 1프린트기판(29)을 직접 접속하고 있다.
또한, 제 2실시예의 상기 이외의 구성은 실질적으로 제 1실시예와 동일하기 때문에, 주요한 동일구성부분에 제 1실시예와 동일한 부호를 붙여서 그 설명은 생략한다.
상기 각 실시예에서는, 매니폴드 베이스(2)에 중공 캡형상의 돌출부(37)를 형성하고, 이 돌출부(37) 내에 자기센서(21)를 수용함으로써, 상기 자기센서(21)를 매니폴드 베이스(2)로부터 돌출한 상태로 설치되지만, 자기센서(21)의 설치방법은이와 같은 것에 한정되는 것은 아니다. 도 6에 나타내는 것은, 돌출부(37)를 앞끝이 개방하는 중공 통형상으로 형성하고, 이 돌출부(37) 내에 자기센서(21)를 수용하고 있다. 이 경우, 자기센서(21)는 돌출부(37)로부터 외부로 돌출하지 않도록 수용하여도, 일부를 돌출시킨 상태로 수용하여도 좋다. 또한, 도 7에 나타내는 것은, 매니폴드 베이스(2)에 상기한 바와 같은 돌출부(37)를 설치하는 것없이, 자기센서 (21)를 외부로 노출시킨 상태로 설치되어 있다.
또한 도 8은, 자기센서(21)와 제 1프린트기판(29)을 접속하는 도통수단(31)의 다른 예를 나타내는 것이므로, 상기 실시예어서는 제 2프린트기판(38)과 제 1프린트기판(29)을 제 3커넥터(34)로 떼어내기가 가능하도록 접속되어 있지만, 이 예에서는, 자기센서(21)와 제 1프린트기판(29)을 플렉서블한 도선(41)으로 직접 접속되어 있다.
또한, 상기 실시예에서는 자석(20)을 피스톤에 설치하고 있지만, 스풀(8)에 설치할 수도 있다. 이 경우, 자석(20)이 압력유체와 접촉하는 것을 피할 수 있기 때문에, 스풀(8)의 끝부의 끝부 시일부재(9a)보다도 흡수실(10)측에 치우친 위치에 이 자석(20)을 설치하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 각 실시예에서는, 오목부(22) 내에 1개의 자기센서(21)를 설치하도록 하고 있지만, 2개 이상의 복수의 자기센서를 설치하여도 좋다. 이와 같이 복수의 자기센서를 설치함으로써, 스풀(8)의 양 스트로크끝에서의 위치나, 스트로크 중의 임의의 위치를 간단하게 검출할 수 있다.
또한, 상기 각 실시예에 있어서의 전자밸브는, 2개의 피스톤의 지름을 대소로 다르게 하고 있지만, 동일 지름의 피스톤을 사용할 수도 있다.
또는, 상기 전자밸브로서, 1개의 파일럿 밸브에서 스풀을 절환하는 싱글 파일럿식 전자밸브를 이용할 수도 있다.
또한, 본 발명은, 스풀식 이외의 전자밸브를 보유하는 매니폴드밸브, 예컨대 포핏식의 전자밸브를 구비한 매니폴드밸브 등에도 적용할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.
이상에서 상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 자기센서의 설치가 간단하고 배선도 용이함과 아울러, 보수관리 시의 취급도 용이한 위치검출기능을 구비한 매니폴드밸브를 얻을 수 있다.

Claims (5)

  1. 압력유체를 컨트롤하기 위한 전자밸브와, 이 전자밸브에 압력유체와 전력을 공급하기 위한 매니폴드 베이스를 포함하고,
    상기 전자밸브가, 상기 매니폴드 베이스 상에 설치되기 위한 설치면을 보유하는 케이싱과, 이 케이싱의 내부에 설치된 유체컨트롤용 밸브부재와, 이 밸브부재를 구동하는 전자식 구동수단과, 상기 밸브부재와 동기하여 변이하도록 설치된 위치검출용 자석과, 상기 케이싱의 설치면에 상기 자석과 대응하도록 설치된 센서설치용 오목부를 보유하고,
    상기 매니폴드 베이스가, 상기 전자밸브를 탑재하기 위한 탑재면과, 전자밸브제어용 컨트롤러에 접속하기 위한 제 1플러그와, 상기 오목부와 대응하는 탑재면 상의 위치에 이 탑재면으로부터 전자밸브측으로 돌출하도록 설치되어 있고, 상기 탑재면 상으로의 전자밸브의 탑재에 의해 상기 오목부 내에 끼워맞추는 1개 이상의 자기센서와, 이 자기센서와 상기 제 1플러그를 도통시키는 도통수단을 보유하는 것을 특징으로 하는 위치검출기능을 구비한 매니폴드밸브.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 매니폴드 베이스의 탑재면에 상기 오목부에 끼워맞추는 중공의 돌출부가 설치되고, 이 돌출부 내에 자기센서를 수용함으로써 상기 돌출부가, 상기 매니폴드 베이스와 전자밸브를 연결할 때의 위치결정수단과, 상기 자기센서를 탑재면으로부터 돌출상태로 유지하기 위한 홀더를 겸하고 있는 것을 특징으로 하는 매니폴드밸브.
  3. 제 1항 또 제 2항에 있어서, 상기 전자밸브가 스풀식 전자밸브임과 아울러, 상기 구동수단이 전자조작식의 1개 또는 2개의 파일럿밸브로서, 상기 전자밸브가 밸브부재의 양측에 각각 파일럿유체의 작용에 의해 동작하는 피스톤을 보유하고, 상기 밸브부재 또는 피스톤 중 어느 하나에 상기 자석이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 매니폴드밸브.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 자석은 압력유체 또는 파일럿유체로부터 격리된 상태로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 매니폴드 밸드.
  5. 제 3항에 있어서, 상기 각 피스톤은 그 일단면측에 형성된 압력실과, 타단면측에 형성된 호흡실과, 이들 양 실 간을 차단하는 피스톤패킹을 보유하고 있고, 한쪽의 피스톤에 있어서의 상기 피스톤패킹보다도 호흡실측에 치우친 위치에 상기 자석이, 이 피스톤패킹으로 파일럿유체와의 접촉이 방지된 상태로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 매니폴드밸브.
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