KR200404835Y1 - 반도체 소자 픽업실린더 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 부품을 제조하기 위하여 칩 등의 반도체 소자를 가이드로드에 조립된 흡입컵에 의해 픽업하여 소정의 공정으로 이동시키는데 사용되는 픽업실린더에 관한 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은 위치결정홈(14)과 병렬 결합 안내구멍(15), 실린더실(11)과 가이드구멍(12)이 나란히 배치 형성된 실린더 하우징(10)과, 상기 실린더실(11)과 가이드구멍(12)에 설치되는 단일의 로드커버(25)와 엔지니어링 플라스틱 계열의 수지재 가이드부시(32)와, 상기 로드커버(25)를 관통하는 피스톤 로드(22) 및 Y형패킹을 이중으로 구비한 피스톤헤드(21)가 일체 구성된 피스톤(20)과, 상기 로드커버(25)의 내 외측에서 상기 피스톤로드(21)에 배설된 댐퍼(27,28)와, 상기 가이드부시를 관통 설치되되 내부에 부압발생 공기구멍(31)이 관통된 일체형의 가이드로드(30)와, 상기 피스톤로드(22)와 가이드로드(30)의 전면측에 동시 조립되는 가이드플레이트(40)로 구성하여서,

픽업실린더의 구조 간략화에 의한 제조비용의 절감은 물론, 전, 후측면과 좌, 후측면 및 상, 하부 간의 폭을 대폭적으로 줄이면서, 상기 실린더하우징에는 상부면에 적어도 2개 이상의 위치결정홈과 이들 위치결정홈의 방향과 직교방향으로 병렬 결합 안내구멍을 양측에 관통 구성하여 장착 및 여러개를 동시에 장착함에 있어 편리성을 극대화 한 것에 특징이 있다.

Description

반도체 소자 픽업실린더{THE PICK UP CYLINDER FOR ELEMENT OF A SEMICONDUCTOR}

본 고안은 반도체 부품을 제조하기 위하여 칩 등의 반도체 소자를 가이드로드에 조립된 흡입컵에 의해 픽업하여 소정의 공정으로 이동시키는데 사용되는 픽업실린더에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 길이의 최소화, 장착의 용이성, 피스톤 기밀성의 극대화에 의한 백레쉬 현상의 최소화 및 소재 개선에 의한 장기간 사용에도 정밀작동이 보장되는 반도체 소자 픽업실린더에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정에는 칩 부품과 같은 반도체 소자를 픽업하여 조립공정으로 이동하기 위하여 픽업실린더가 사용된다.

이러한 픽업실린더는 실린더 하우징에 병렬로 관통된 실린더실과 가이드구멍에 나라히 배치되는 피스톤및 가이드로드와, 적용 구조에 따라 상기 피스톤을 구성하는 피스톤헤드 및 피스톤로드나 상기 가이드로드에 관통되는 부압발생용 공기구멍에 부착된 흡입컵(suction cup)을 소정의 스토로크로 돌출시키는 것에 의해 반도체 소자의 표면에 맞닿음시키고, 상기 공기구멍에 연결되는 별도의 공기흡입기와 같은 부압발생수단에 의한 부압의 발생으로 상기 반도체소자를 흡입하고, 다시 실린더의 피스톤로드의 소정 스트로크로 인입하는 것에 의해 반도체소자를 픽업하도록 되어 있다.

또한, 가이드로드에 부압발생용 공기구멍을 관통한 가이드로드인 경우에는 단일로드가 아닌 분리된 가이드로드로 구성되고, 이러한 가이드로드와 피스톤로드를 동시에 조립한 플레이트의 후측면에는 실린더블록의 충돌을 완화하는 댐퍼를 갖추고 있다.

이러한 픽업실린더의 일 예로 대한민국 실용신안출원 제20-2001-15099호(반도체칩 픽업장치)가 개시되고 있다.

이러한 선원 기술은 다음과 같은 여러 단점이 있다.

첫째, 실린더하우징에 피스톤의 전, 후진 동작을 위한 압축공기 공급의 전, 후진포트 및 피스톤로드와 가이드로드(구동로드)의 고정이 다수의 스냅링에 의해 제공되어 전, 후진포트 가공 및 로드의 고정 작업이 복잡하고,

부압용 공기구멍을 피스톤헤드 및 피스톤로드에 형성하여 이들의 공기구멍에 부압을 생성하는 부압용 중공관을 갖는 플러그의 구성에 따른 피스톤헤드와 부압용 중공관과의 기밀작업의 복잡, 피스톤을 구성하는 피스톤헤드와 피스톤로드의 별도 가공에 의한 조립구조로 제공되어 조립작업의 복잡 및 다수의 구성부재의 소요로 제조원가의 상승 및 상하 높이의 폭이 커지는 단점이 있었다.

둘째, 실린더하우징과 스토퍼받이부의 충격완화 및 피스톤로드 및 가이드로드의 회전방지 목적의 가이드플레이트(브라켓)의 구성으로 인한 전, 후 길이 및 부피가 커져 소형화가 어려운 단점이 있다.

더욱이 가이드로드가 분리형으로 되어 가이드플레이트의 전면측과 실린더하우징의 후측면 간의 길이(폭)가 커지는 단점이 있었고, 더욱이 장기간 사용에 따른 결합부분이 나사풀림 되는 것에 의해 작업공차가 발생하는 단점이 있었다.

세째, 칩마운터와 같은 장비에 장착을 위한 위치결정홈이나 병렬 설비에 따른 결합안내 구조가 제공되지 않아서 장착에 따른 별도의 가이드 기구가 필요한 단점이 있었다.

네째, 피스톤로드의 회전을 방지할 목적으로 병렬로 나라히 구비되는 가이드로드(구동로드)을 안내 지지하는 양측의 가이드부시가 금속재질로 이루어져 장기간 사용에 의한 마찰 마모로 가이드부시와 가이드로드간의 클리언스가 커져 전, 후진 동작에 따른 진동 및 흔들림으로 인한 정밀동작이 보장되지 못하는 단점이 있었다.

본 고안은 상기와 같은 종래 기술이 갖는 단점을 해소하고자 픽업실린더의 구조를 간소화와 이러한 구조 간소화에 의한 폭과 높이 크기를 최대한 줄일 수 있어 슬림형의 구현 및 제조원가를 대폭적으로 절감할 수 있도록 개선한 것에 있다.

또한, 본 고안은 구성부재의 간략화와 동시에 정밀작동이 보장되고, 장기간 사용에도 수명의 보장과 오작동이 최소화되어 신뢰성이 보장되는 반도체 소자 픽업실린더를 제공함에 있다.

또한, 본 고안은 칩마운터와 같은 장비에 장착에 필요한 구조로 제공되어 여러개를 동시에 세팅할 수 있어 장비 장착의 편리성이 보장되는 반도체 소자 픽업실린더를 제공함에 있다.

또한, 피스톤의 전, 후진 동작에 따른 공급되는 압축공기의 기밀성을 극대화할 수 있는 구조로 제공되어 백래쉬와 같은 오동작 범위를 최대한 없애 정밀동작이 보장되어 제품의 신뢰성이 보장되는 반도체 소자 픽업실린더를 제공함에 있다.

상기 목적을 달설하기 위한 본 고안의 반도체 소자 픽업실린더는,

실린더하우징의 전측면으로부터 내부에 일정거리로 가공된 실린더실로 구성되어 단일의 로드커버의 조립으로 구성되고,

피스톤은 피스톤로드와 피스톤헤드가 일체로 구성되어 상기 피스톤로드는 전면측에서 가공된 나사홈에 가이드플레이트가 전면측에서 관통결합되는 육각렌치볼트로 연결되되,

상기 가이드 플레이트의 후측면과 피스톤로드의 전측면 사이에 스페이서가 상기 육각렌치볼트의 나사조립으로 고정되어 후측면보다 일정길이로 돌출되며, 상기 로드커버와 피스톤헤드 사이 및 상기 스페이서와 로드커버 사이에 링형태의 댐퍼가 피스톤로드에 각각 끼움 구성되며,

상기 실린더하우징에 관통되는 전진포트는 상기 실린더실의 후측면과 직결 관통되고, 후진포트는 상기 실린더하우징의 후측면으로부터 상기 피스톤헤드의 전진위치의 전방에 실린더실의 하부면에서 관통 구성되고,

상기 가이드로드는 일체형으로 내부에 부압발생용 공기구멍을 관통하고 전면측 확장헤드를 상기 가이드플레이트의 단차구멍에 맞결합하며, 이 확장헤드의 외주면에 면취 형성된 양측의 로크홈과 상기 단차구멍의 측면에서 교차관통되는 상, 하부 로크구멍에 각각 끼움되는 로크핀의 걸림에 의한 회전방지 및 이탈방지로 조립 구성하여서,

픽업실린더의 전, 후측면과 좌, 후측면 및 상, 하부 간의 폭을 대폭적으로 줄이면서, 상기 실린더하우징에는 상부면에 적어도 2개 이상의 위치결정홈과 이들 위치결정홈의 방향과 직교방향으로 병렬 결합 안내구멍을 양측에 관통 구성하여 장착 및 여러개를 동시에 장착함에 있어 편리성을 극대화 한 것에 특징이 있다.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 고안의 구성에 대하여 살펴보면 다음과 같다.

도 1은 본 고안의 외관 구성을 보여주는 사시도 이고, 도 2는 본 고안의 구성부재를 보여주는 분해사시도 이며, 도 3은 본 고안의 조립상태의 단면도로서, 이를 참조하면,

본 고안의 반도체 소자 픽업용 실린더는,

전, 후진포트(16,17)가 연결된 실린더실(11)과 가이드구멍(12)이 나란히 배치 형성된 실린더 하우징(10)과,

상기 실린더실(11)과 가이드구멍(12)에 각각 설치되는 로드커버(25)와 가이드부시(32)와,

상기 로드커버(25)를 관통하는 피스톤 로드(22) 및 상기 전, 후진 포트(16,17)에 의해 공급되는 압축공기로 전, 후진하는 피스톤헤드(21)를 포함하는 피스톤(20)과,

상기 가이드부시(32)를 관통하여 설치되고 내부에 부압발생 공기구멍(31)이 관통된 가이드로드(30)와,

상기 피스톤로드(22)와 가이드로드(30)의 전면측에 동시 조립되는 가이드플레이트(40)의 구성요소를 갖추고 있다.

이러한 구성요소를 갖는 본 고안의 픽업실린더에 대하여 구체적으로 살펴보면,

상기 실린더하우징(10)은 알루미늄 소재의 직육면체로서, 상부면에 칩마운터(미 도시함)와 결속되는 한쌍의 체결나사홈(13)과 이러한 체결나사홈의 위치결정을 위해 칩마운터의 장착면에 구성되는 위치결정핀(미 도시함)에 결합되는 한쌍의 위치결정홈(14)이 구성되고, 이 위치결정홈의 방향과 직교방향으로 병렬 결합 안내구멍(15)을 양측에 관통하여 구성된다

또한, 전면측으로부터 내부에 실린더실(11)이 원통홈으로 가공되고, 상기 실린더실(11)은 후단 폐쇄단부가 실린더하우징(10)의 후측면에서 관통되는 전진포트(16)와 직결되고, 중앙측 하부측에 상기 실린더실(11)의 길이방향으로 가공되고, 실린더하우징(10)의 하부면에 수직방향으로 관통되는 후진포트(17)와 연통된다.

이러한 실린더실(11)은 고정도의 표면조도를 위하여 통상의 롤버니싱 공구(미 도시함)에 의해 가공된다.

이러한 롤버니싱 가공은 주지된 바와 같이, 열처리된 롤에 의하여 금속표면을 눌러서 공차와 조도를 향상시키는 가공법으로서, 이러한 롤버니싱 가공에 의해 형성된 상기 실린더실(11)의 내주면은 매우 조밀한 표면조도를 갖게 되어 상기 피스톤헤드(21)의 접동에 따른 마찰소음 및 마찰력을 최소화할 수 있다.

한편, 상기 후진포트(16)의 형성을 위해 상기 실린더하우징(10)의 하부면에 수직방향으로 관통된 관로는 금속재 마감볼(18)의 억지끼움에 의한 폐쇄로 상기 후진포트(16)은 실린더실(11)의 내부와 단일포트로 연통된다.

그리고 이러한 전, 후진 포트(16,17)는 별도의 압축공기원인 컴프레서와 같은 기구의 연결라인(미 도시함)과 연결하기 위해 나사부가 가공된다.

상기 실린더실(11)에는 상기 피스톤(20)의 피스톤헤드(21)로 삽입되고, 전면측에서 후면 방향의 일정거리로 가공된 나사홈(22a)를 갖는 피스톤로드(22)가 전면측에 돌출되어 설치된다.

이때, 상기 피스톤헤드(21)는 외주면에 한쌍의 환홈이 가공되어 각각에 Y형 패킹(23,24)이 상기 피스톤헤드(21)의 진행 방향대하여 대칭상태로 결합된 이중패킹구조로 구비된다.

이러한 이중의 Y형 패킹(23,24)은 상기 전,후진 포트(16,17)에 의해 공급되는 압축공기를 기밀하여 피스톤헤드(21)에 의해 구획된 실린더실(11)의 전방과 후방을 기밀하여 전, 후진 동작의 오동작이 없게된다.

다시 말하여 상기 이중의 Y형 패킹(23,24)은 도 4의 확대도에서 보여주는 바와 같이, V형의 확개부분이 압축공기의 누설방향에 대하여 대응으로 설치됨으로서, 압축공기에 가해지는 힘에 의해 외향으로 벌려지면서 실린더실(11)의 내면에 밀착되어 확실한 기밀이 제공된다.

상기 피스톤(20)의 피스톤로드(22)는 상기 실린더실(11)의 전면 개방측에 가공된 내경이 확장된 단차부에 결합되는 단일의 로드커버(25)를 관통하여 돌출된다.

이때, 상기 로드커버(25)는 내주면 및 외주면에 가공된 환홈에 패킹(25a)과 실린더개스킷(25b)이 결합한 상태에서 상기 실린더실(11)의 전면측에서 끼움되고 스냅링(26)에 의해서 이탈방지로 조립되어 상기 피스톤로드(22)와 로드커버(25)의 관통구멍과 실린더실(11)의 내경과 로드커버(25)의 외주면은 밀봉된다.

그리고 상기 로드커버(25)는 상기 실린더실(11)의 단차부인 개방부의 내측에 일정 거리의 깊이에서 조립되고, 상기 피스톤로드(22)는 상기 로드커버(25)를 사이에 두고 피스톤헤드(21)의 전면측과 상기 로드커버(25)의 전면측에 링형태의 댐퍼(27,28)가 끼움되어 설치된다.

따라서, 전진하여 상기 로드커버(25)의 후측면에 맞닿는 피스톤헤드(21)의 충격은 상기 내측의 댐퍼(27)에 의해 감쇄되고,

상기 로드커버(25)의 전면측에 설치되는 외측 댐퍼(28)는 후술되는 가이드플레이트(40)의 후진에 따른 실린더하우징(10)의 전면측과의 충격이 감쇄된다.

이때, 상기 외측의 댐퍼(28)은 상기 로드커버(25)가 설치된 상기 실린더실(11)의 단차부 깊이의 크기를 갖게되어 실린더하우징(10)의 전면측에 돌출없이 매몰상태로 설치되고, 상기 외측의 댐퍼(28)는 후술되는 스페이서(47)와의 충격을 감쇄하여 가이드플레이트(40)과 실린더하우징(10)의 전, 후진 스토로크를 최대한 짧게하면서 효과적인 완충이 가능하여 상기 가이드플레이트(40)의 전면측과 실린더하우징(10)의 후면측 간의 작동폭을 최대한 짧게 할 수 있다.

상기 실린더하우징(10)의 가이드구멍(12)에 설치되고 내부에 부압발생 공기구멍(31)이 구비된 일체형의 상기 가이드로드(30)는 전면측에 단차상으로 돌출된 확장헤드(33)가 일체 구비되고, 이 확장헤드의 내주면에는 반도체소자를 픽킹하는 흡입컵(100)이 나사조립되는 나사부(34)가 상기 공기구멍(31)과 연통 구성되고 외주면 양측에 로크홈(35)이 면취 가공되어 구성된다.

이때, 상기 가이드구멍(12)의 양측에 조립되어 상기 가이드로드(30)를 지지하는 상기 가이드부시(32)는 높은 온도 및 압력조건에서 우수한 기계적 성능, 우수한 화학적, 부식성 및 마모저항, 열적 안전성, 고성능 마찰특성, 우수한 피로저항을 갖고 있는 엔지니어링 플라스틱 계열의 수지 소재를 사용한다.

이러한 엔지니어링 플라스틱 계열의 수지재의 가이드부시(32)는 외주면에 일정간격을 갖고 한쌍의 환홈(32a)이 가공되어 상기 가이드구멍(12)에 억지끼움으로 조립된다.

이러한 과정에서 상기 복수의 환홈(32a)은 상기 가이드구멍(12)에 억지끼움에 의한 짓눌림과 같은 외부 변형력을 흡수하여 상기 가이드로드(30)가 관통하는 내부 관통공의 이그러짐을 흡수 보정함으로서 내경의 변형을 차단할 수 있다.

한편, 상기 가이드로드(30)는 상기 부압발생 공기구멍(31)의 후단부에 공기흡입기와 같은 부압발생수단(미 도시함)의 연결라인과 연결되는 나사부(36)가 가공 형성된다.

상기 피스톤로드(22)와 가이드로드(30)를 동시에 조립하는 상기 가이드플레이트(40)는 피스톤로드(22)와 가이드로드(30)와 대응위치로 전면측에서 후면측으로 단차구멍(41,42)이 관통되되, 상기 상부측 단차구멍(41)에 대해서는 측면방향에서 직교하여 한쌍의 로크구멍(43)이 관통되어 상기 단차구멍(41)의 내주면 상 하측이 일부를 관통되고, 하부측 관통구멍(42)에 대해서는 후측에 상기 실린더실(11)의 전면 개방부의 내경과 같은 크기의 환형홈(44)이 가공 구성되었다.

이때, 상부측 단차구멍(41)에는 상기 가이드로드(30)가 후단측으로부터 끼움되어 전단측의 상기 확장헤드(33)를 맞결합하되, 이 단차헤드의 외주면 양측에 면취 형성된 로크홈(35)에 상기 상, 하부 한쌍의 로크구멍(43)에 로크핀(45)을 각각 끼움하여 이 로크핀(43)과 상기 로크홈(35) 상호간이 걸림되어 상기 가이드로드(30)가 회전방지 및 이탈장지로 견고하게 조립 연결된다.

그리고 상기 하부측 단차구멍(42)에는 육각렌찌볼트(46)가 끼움되고 상기 피스톤로드(22)의 전면측에서 가공된 나사홈(22a)에 나사결합으로 피스톤로드(22)가 연결되며, 상기 단차구멍(42)의 후측에 형성된 상기 환형홈(44)에는 링형태의 스페이서(47)가 끼움된 상태에서 나사조립되어 상기 스페이서(47)의 후측면은 상기 가이드 플레이트(40)의 후측면보다 일정길이로 돌출된 상태로 조립된다.

따라서, 상기 가이드플레이트(40)의 후진동작시에 상기 로드커버(25)의 전면의 실린더실(11) 개방부에 매립상태로 위치된 외측의 댐퍼(28)에서 완충되도록 되어 있다.

이러한 본 고안은 도 5에 도시된 바와 같이, 컴프레서와 같은 공기압 공급수단에 의하여 전진포트(16)에 압축공기가 공급됨과 동시에 실린더하우징(10)의 실린더실(11)의 피스톤(20)이 전진(하강)하게 된다.

이때, 상기 전진하는 피스톤(20)의 피스톤헤드(21)는 이중의 Y형패킹(24)에 의하여 기밀이 유지된 상태로 전진하게 되고, 피스톤헤드(21)의 전면에 설치된 내측의 댐퍼(27)에 의해 로드커버(25)의 후단과 충격이 완충되어 소음 및 충격 마모가 극소화된다.

이러한 피스톤헤드(21)의 전진은 일체의 피스톤로드(22)를 하강 작동하게 되고, 이러한 피스톤로드(22)의 전진과 동시에 가이드플레이트(40)에 의해 결속된 가이드로드(30)가 연동하여 전진(하강)하게 된다.

따라서, 가이드로드(30)의 확장헤드(33)의 나사부(34)에 나사조립된 흡입컵(100)을 하강하여 이송테이블(200) 상에 위치된 반도체소자의 상면에 밀착하여 흡착하게 된다.

이러한 반도체 소자의 흡착은 상기 가이드로드(30)의 후단에 가공된 나사부(36)에 연결된 공기흡입기와 같은 부압발생수단에 의해 공기구멍(31)에 형성되는 진공압(부압)에 의해 흡입하게 된다.

이러한 상태에서 도 6과 같이 실린더하우징(10)의 후진포트(16)에 압축공기가 공급되면, 전진된 피스톤(20)은 후진(상승)하게 된다.

이렇게 후진(상승)하는 피스톤 동작에 의해 상기 흡입컵(100)에 흡착된 반도체 소자를 상승하여 소정의 공정 위치로 이송하게 된다.

이러한 과정에 있어, 상승하는 피스톤(20), 즉 피스톤헤드(21)의 상승과 동시에 피스톤로드(22)가 상승하게 되고, 이러한 피스톤로드의 상승은 가이드플레이트(40) 및 가이드로드(30)를 동시에 상승하게 된다.

이렇게 상승하는 가이드플레이트(40)는 후단에 조립되어 상기 가이드플레이트(40)의 후측면 보다 돌출 조립된 스페이서(47)가 실린더실(11)에 조립된 로드커버(25)의 전면측에 배치된 외측 댐퍼(28)에 완충되면서 상기 가이드플레이트(40)의 후측면 전부가 충돌하는 것을 방지하면서 멈추게 된다.

그리고, 이렇게 반도체 소자를 픽업하여 소정의 공정으로 이송하는 픽업실린더는 이송의 효율을 위하여 여러개가 동시에 조립되어 사용된다.

이때, 본 고안은 실린더하우징(10)의 구성된 병렬 결합 안내구멍(15)을 이용하여 가이드로드(미 도시함)에 끼운상태에서 상부에 구성된 위치결정홈(14)에 의해 간편하게 위치 고정한 후, 각각의 체결나사홈(13)을 이용하여 나사체결하여 짧은 시간에 간편하게 설치할 수 있다.

그리고 이러한 본 고안의 픽업실린더에 있어 상기 피스톤(20)과 이와 동기동작하는 가이드로드(30)의 고속으로 전, 후진 스토로크를 수행하게 됨으로서, 상기 가이드로드(30)를 지지 안내하면서 가장 많은 마찰력은 받는 가이드부시(32)를 기계적강도 및 내마모성, 높은 연속 사용온도에 강한 엔지니어링 플라스틱 계열의 수지를 이용하여 극복함으로서 장기간 사용에도 고속동작하는 가이드로드(30)에 의해 가이드부시(32)의 내경확장으로 발생되는 클리언스의 최소화로 정밀작업과 수명보장이 구현된다.

더욱이, 실린더하우징(10)과 이 실린더하우징에서 일정 스토로크를 주행하는 가이드로드(30)를 일체형으로 구성하고, 가이드플레이트(40)와 실린더하우징(10) 간의 완충을 목적으로 제공되는 외측의 댐퍼(28)를 피스톤(20)의 피스톤로드(22)에 구성함으로서 픽업실린더의 상, 하부 및 전, 후 폭을 최대한 줄일 수 있다.

이상과 같은 본 고안은 구조 간략화에 의한 제조원가의 절감은 물론 가이드로드의 일체화, 댐퍼의 이중구조에 의한 충격완충의 극대화는 물론 전, 후진하는 피스톤로드에 구성함으로써 실린더의 소형화 및 슬림화 구현, 그리고 장비에 따른 편리성으로 제품의 신뢰도가 극대화되는 효과가 있고,

장기간 사용에 따른 소재 변경에 의한 사용수명과 정밀작동이 보장되는 효과가 있다.

도 1은 본 고안의 사시도.

도 2는 본 고안의 분해사시도.

도 3은 본 고안의 단면도.

도 4는 도 3의 일부 발췌 확대도.

도 5 및 도 6은 본 고안의 작동상태도로서,

도 5는 반도체 소자를 픽업하기 위하여 하강한 작동상태도 이고,

도 6은 반도체 소자를 픽업하여 상승한 작동상태도 이다.

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **

10: 실린더하우징 11: 실린더실

14: 위치결정홈 15: 병렬 결합 안내구멍

20: 피스톤 21: 피스톤헤드

22: 피스톤로드 25: 로드커버

27, 28: 댐퍼 30: 가이드로드

31: 부압발생 공기구멍 32: 가이드부시

40: 가이드플레이트 41, 42: 단차구멍

43: 로크구멍 44: 환형홈

45: 로크핀 47: 스페이서

Claims (7)

1. 전, 후진 포트로 연결된 실린더실과 가이드구멍이 병렬로 관통 형성된 실린더 하우징과, 상기 실린더실에 결합되는 로드커버를 관통하는 피스톤 로드 및 상기 전, 후진 포트에 의해 공급되는 압축공기로 전, 후진하는 피스톤헤드를 포함하는 피스톤과, 상기 가이드구멍에 결합된 가이드부시에 관통하여 설치되고 내부에 부압발생 공기구멍이 관통된 가이드로드와, 상기 피스톤로드와 가이드로드의 전면측에 동시 조립되는 가이드플레이트 및 이 가이드플레이트와 상기 실린더하우징간의 충격 완충을 위하여 가이드플레이트의 후측면 중앙부분에 구비된 외부댐퍼를 포함하는 반도체 소자 픽업실린더에 있어서,

   상기 실린더실은 실린더하우징의 전측면으로부터 내부에 일정거리로 가공되어 단일의 로드커버가 조립 구성되고,

   상기 피스톤은 피스톤로드와 피스톤헤드가 일체로 구성되어 상기 피스톤로드는 전면측에서 가공된 나사홈에 상기 가이드플레이트의 전면측에서 관통결합되는 육각렌치볼트로 연결되며, 상기 가이드 플레이트의 후측면과 피스톤로드의 전측면 사이에 스페이서가 상기 육각렌치볼트의 나사조립으로 상기 가이드플레이트의 후측면보다 일정길이로 돌출 고정되고, 상기 로드커버와 피스톤헤드 사이 및 상기 스페이서와 로드커버 사이에 링형태의 내측 댐퍼 및 외측 댐퍼가 각각 끼움 구성되며,

   상기 실린더하우징에 관통되는 전진포트는 상기 실린더실의 후측면과 직결 관통되고, 후진포트는 상기 실린더하우징의 후측면으로부터 상기 피스톤헤드의 전진위치의 전방에 실린더실의 하부면에서 관통 구성되고,

   상기 가이드로드는 일체형으로 내부에 부압발생용 공기구멍을 관통하고 전면측 확장헤드를 상기 가이드플레이트의 단차구멍에 맞결합하며, 상기 확장헤드의 외주면에 면취 형성된 양측의 로크홈과 상기 단차구멍의 측면에서 교차관통되는 상, 하부 로크구멍에 각각 끼움되는 로크핀의 걸림에 의한 회전방지 및 이탈방지로 조립 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업실린더.
2. 제1항에 있어서,

   상기 피스톤의 피스톤헤드는 외주면에 일정간격을 갖고 복수의 환홈이 가공되고, 이 환홈에 Y형 패킹이 대칭상태로 조립된 이중패킹으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업실린더.
3. 제1항에 있어서,

   상기 실린더실의 내주면은 통상의 롤버니싱 공구에 의해 가공된 표면조도를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업실린더.
4. 제1항에 있어서,

   상기 가이드로드를 지지하는 가이드부시는 엔지니어링 플라스틱 계열의 수지재로 가공된 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업실린더.
5. 제4항에 있어서,

   상기 가이드부시는 외주면에 복수의 환홈이 가공되어 상기 가이드구멍에 억지끼움으로 조립되며, 상기 복수의 환홈에 의해 상기 가이드로드가 관통하는 내경의 변형을 차단하도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업실린더.
6. 제1항에 있어서,

   상기 실린더하우징은 상부면에 적어도 2개 이상의 위치결정홈이 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업실린더.
7. 제1항 또는 제6항에 있어서,

   상기 실린더하우징은 상기 위치결정홈의 방향과 직교방향으로 병렬 결합 안내구멍을 양측에 관통하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업실린더.