KR100474754B1 - 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터 - Google Patents

벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터 Download PDF

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Abstract

본 발명은 응답성이 좋은 벨로우즈 신축성부재를 이용하여 직선왕복운동부재인 슬라이드테이블의 습동마찰면적을 최소화에 의한 직선운동의 고속화가 제공되는 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터를 제공함에 있다.
본 발명의 상기 목적은 실린더블록(10)과, 이 실린더블록의 상기 실린더실(11)에 이동 가능케 끼움되는 피스톤(21)과, 이 피스톤을 중심으로 양측에 대향 조립되는 쿠션슬리브(22) 및 이들 쿠션슬리브와 상기 피스톤(21)의 양측 사이에 일측이 연결 조립되고 타측이 상기 실린더실(11)의 양측 단부에 각각 조립 고정되는 양측의 신축성 벨로우즈(23)로 구성된 벨로우즈운동체(20)와, 상기 피스톤(21)과 연결 조립되어 슬라이드 이동케 구성된 슬라이드테이블(30)과,
상기 실린더블록(10)의 실린더실(11)을 기밀상태로 조립되는 양측의 헤드커버(40)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터에 의하여 달성된다.

Description

벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터{A HIGH SPEED AND LOW FRICTION LINEAR ACTUATOR A BELLOWS TYPE}
본 발명은 각종산업용 기계장치에 사용되는 리니어 액츄에이터(LINEAR ACTUATOR)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 응답성이 좋은 벨로우즈 신축성부재를 이용하여 직선왕복운동부재인 슬라이드테이블의 습동마찰면적을 최소화에 의한 직선운동의 고속화가 제공되고, 슬라이드테이블의 제동에 따른 관성력을 곧바로 흡수함과 동시에 충격 없이 부드럽게 완충하면서 제동시키어서 슬라이드테이블의 손상을 극소화하며, 슬라이드테이블의 운동속도 및 중량에 따라서 완충력의 조정 사용은 물론 필요시에 L.M가이드(Liner Motion Guide)의 병행 장착 사용으로 호환성을 갖는 복동형의 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터에 관한 것이다.
일반적으로 공장자동화의 트랜스퍼, 이송 공급장치 및 조립, 반송라인 분야, 산업용 직교좌표형 로봇, 운반기계 및 리프트장치, CNC 공작기계의 자동도어 및 이송장치, 산업용 자동도어분야, 포장, 용접, 도장기계의 직선운동장치 등과 같은 각종 산업용 기계장치에는 로드리스 실린더, 슬라이드 실린더와같은 리니어 액츄에이터(LINEAR ACTUATOR)가 사용되고 있다.
또한, 반도체와 같은 초정밀형 제품을 제조함에 있어서는 각 제조라인에서 필요한 부품의 조립의 위해 조립장비가 필수적으로 사용되고 있고,
이러한 조립장비는 컨베이어 라인 상에서 이송되는 조립부품의 클램핑 이송, 흡착이송, 부품의 전환이송의 목적으로 여러 타입의 리니어 액츄에이터가 사용되고 있으며 이러한 리니어 액츄에이터는 상기와 같은 작업을 수행하기 위하여 직선왕복운동부재에 별도의 지그를 장착하여 사용되고 있다.
이러한 종래의 리니어 액츄에이터로 알려진 로드리스 실린더는 사용범위 및 그 운용방법에 따라서 다양한 기능 및 형태를 갖추고 있으나,
대표적으로 마그네틱 타입(Magnetic Type), 밴드시일 타입(Band Seal Type), 케이블 타입(Cable Type), 메카니컬 타입(Mechanical Type) 등이 알려지고 있다.
이러한 리니어 액츄에이터는 그 구조가 복잡하여 제조코스트가 많이 드는 단점과, 직선운동부재의 왕복운동에 따른 습동마찰면적이 커서 고속운동이 어려운 단점, 습동마찰면적의 커서 장기간 사용에 따른 습동부의 손상으로 인한 오동작 발생으로 수명이 짧은 단점과 장치의 호환성이 미약하여 신뢰성이 떨어지는 단점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 단점을 효과적으로 해소하기 위하여 연구 개발된 것으로서,
본 발명의 목적은 응답성이 좋은 양방의 벨로우즈 부재의 신축에 의해 이들의 중앙에 연결 구성된 직선왕복운동부재인 슬라이드테이블이 습동면적이 최소화 상태로 고속의 직선왕복운동이 제공되는 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터를 제공함에 있다.
본 발명의 목적은 구성부품의 간소화 및 집약에 의한 전체적인 부피와 중량의 최소화로서 직선왕복운동부재인 슬라이드테이블의 습동마찰면적을 최소화하여 소형의 정밀 부품의 조립장비에서의 적용 능률 및 사용 능률을 극대화할 수 있는 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터를 제공함에 있다.
본 발명의 목적은 지그가 장착되는 슬라이드 테이블의 전, 후진 작동의 제어에 따른 관성력을 곧바로 흡수함과 동시에 충격 없이 부드럽게 완충하면서 제동시키어서 슬라이드테이블의 손상을 극소화하여 장치 수명을 극대화할 수 있는 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터를 제공함에 있다.
본 발명의 목적은 슬라이드테이블의 운동속도 및 중량에 따라서 완충력의 조정 사용이 가능하여 사용의 범용화가 가능한 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터를 제공함에 있다.
본 발명의 목적은 적용범위에 따라서 별도의 L.M가이드(Liner Motion Guide)의 병행 장착 사용으로 호환성을 극대화한 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터를 제공함에 있다.
본 발명의 상기 목적은 길이방향의 내부에 관통된 실린더실과 길이방향의 상부 양측에 형성된 가이드홈 및 이들 가이드홈과의 사이로 상기 실린더실을 따라 연통된 슬롯공을 구성한 실린더블록과,
이 실린더블록의 슬롯공에 조립돌기를 노출상태로 끼움하여 상기 실린더실에 이동 가능케 끼움되는 피스톤과, 이 피스톤을 중심으로 대향하여 양측에 각각 조립되는 쿠션슬리브 및 이들 쿠션슬리브와 상기 피스톤 양단 사이에 일측이 연결 조립되고 타측이 상기 실린더실의 양측 단부에 각각 조립 고정되는 양측의 신축성 벨로우즈로 구성된 벨로우즈운동체와,
상기 피스톤의 조립돌기와 연결 조립되고 양측의 가이드돌기를 상기 양측의가이드홈에 끼움되어 슬라이드 이동하도록 조립된 슬라이드테이블과,
상기 실린더실과 상기 각 벨로우즈 내부쳄버를 밀폐하고 상기 벨로우즈의 내부쳄버에 삽입되는 쿠션쳄버와 쿠션오리피스를 갖는 슬리브가이드관을 돌출하되, 상기 쿠션쳄버에 연통하는 공기포트가 형성되며 이 공기포트의 대향측에 공기량조절공이 연통된 조절포트가 상기 쿠션오리피스와 연통된 상태로 관통되어 쿠션니들이 나사 조립된 양측의 헤드커버로 구성된 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터에 의하여 달성된다.
또한 본 발명은 상기 직선왕복운동 하는 슬라이드테이블의 이동거리를 제어하는 스토퍼와 상기 슬라이드테이블의 양단을 완충하면서 정지시키는 공기완충기를 포함한 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터에 의하여 달성된다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 구성에 대하여 상세히 살펴보기로 한다.
즉, 본 발명은 첨부도면 도 1 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 길이방향의 내부에 관통된 실린더실(11)과 길이방향의 상부 양측에 형성된 가이드홈(12) 및 이들 가이드홈과의 사이로 상기 실린더실(11)을 따라 연통된 슬롯공(13)을 구성한 실린더블록(10)과,
이 실린더블록의 슬롯공(13)에 조립돌기(21-1)를 노출상태로 끼움하여 상기 실린더실(11)에 이동 가능케 끼움되는 피스톤(21)과, 이 피스톤을 중심으로 양측에 대향 조립되는 쿠션슬리브(22) 및 이들 쿠션슬리브와 상기 피스톤(21)의 양측 사이에 일측이 연결 조립되고 타측이 상기 실린더실(11)의 양측 단부에 각각 조립 고정되는 양측의 신축성 벨로우즈(23)로 구성된 벨로우즈운동체(20)와,
상기 피스톤(21)의 조립돌기(21-1)와 연결 조립되고 하부에 돌출된 양측의 가이드돌기(31)를 상기 양측의 가이드홈(12)에 끼움되어 슬라이드 이동하도록 조립된 슬라이드테이블(30)과,
상기 실린더실(11)과 상기 각 벨로우즈(23)의 내부쳄버(23-1)를 밀폐하고 상기 내부쳄버(23-1)에 삽입되면서 상기 각 쿠션슬리브(22)를 수용하는 쿠션쳄버(41-1)와 이 쿠션쳄버의 일측에 쿠션오리피스(41-2)를 길이방향으로 형성한 슬리브가이드관(41)을 돌출하되, 상기 쿠션쳄버(41-1)에 연통하는 공기포트(42)가 형성되며 이 공기포트의 대향측에 공기량조절공(43)이 연통된 조절포트(44)가 상기 쿠션오리피스(41-2)와 연통된 상태로 관통되어 쿠션니들(45)이 나사 조립된 양측의 헤드커버(40)로 대별 구성된다.상기 벨로우즈운동체(20)는 상기 양측의 쿠션슬리브(22)를 상기 중앙의 피스톤(21)이 갖는 나사공(21-2)의 양측에서 대향으로 나사조립하되,상기 각 쿠션슬리브(22)는 플랜지형태의 돌기환(22-1)에 상기 양측 신축성 벨로우즈(23)의 각 일측단이 에워싼 상태로 끼움되어 상기 쿠션슬리브(22)와 상기 피스톤(21)의 나사조임에 의한 상기 돌기환(22-1)의 일측면과 상기 피스톤(21)의 일측면 사이에서 밀착으로 기밀조립되고,상기 신축성 벨로우즈(23)의 각 타측단은 상기 양측 헤드커버(40)의 각 슬리브가이드관(41)의 외주면에 끼움 조립되는 엔드링(25)의 돌기환(25-1)을 에워싼 상태로 끼움되되, 상기 실린더실(11)의 양측 단부면에 플랜지부분이 걸림되고 내부로 조립되는 각각의 엔드커버(24)의 나사공(24-1)에 상기 엔드링(25)이 나사조립에 의한 조임으로 상기 엔드커버(24)의 내측면과 상기 엔드링(25)의 돌기환(25-1)의 일측면 사이에 밀착으로 기밀조립되어 상기 각각의 내부쳄버(23-10의 기밀이 유지되도록 되어 있다.
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이때, 상기 각각의 쿠션슬리브(22)는 중앙의 길이방향으로 밸브조립홈(22-2)이 형성되고, 이 밸브조립홈과 상기 벨로우즈(23)의 내부쳄버(23-1)를 연통하는 통공(22-3)이 상기 밸브조립홈(22-2)에 직교하여 상기 돌기환(22-1)의 근처에 다수개 관통되되, 상기 밸브조립홈(22-2)에는 체크밸브(50)가 조립되어 구성된다.
상기 체크밸브(50)는 공기통로(51-1)가 관통되고 상기 밸브조립홈(22-2)의 선단에 나사 조립되는 체크플런저(51)와, 이 체크플런저의 헤드와 상기 각 쿠션슬리브(22)의 일측 단부면 사이에 개재되어 상기 슬리브가이드관(41)의 쿠션쳄버(41-1)의 내주연에 밀착상태로 이동 가능케 조립되는 쿠션시일(52)과, 상기 공기통로(51-1)를 개폐하는 체크볼(53)과, 이 체크볼을 탄지 하여 상기 공기통로(51-1)를 차단하는 압축스프링(54)으로 구성된다.상기 슬라이드테이블(30)은 상기 피스톤(21)의 조립돌기(21-1)에 체결볼트(B)로 볼트 조립되고, 일측면 양측에 스토퍼돌기(32)가 돌출되되 이들 사이에 다수의 조립나사공(33)이 형성된다.
상기 각각의 헤드커버(40)는 상기 각 엔드커버(24)를 감싸는 상태로 실린더블록(11)과 다수의 체결볼트(B)로 나사 조립되고, 상기 슬라이드테이블(30)의 스토퍼돌기(32)에 대응하도록 일측면에 돌출부(40-1)가 각각 돌출 형성되되, 상기 각 돌출부(40-1)에는 나사공(40-2)이 관통되어 완충로드(60-1)를 갖는 공기완충기(60)가 나사조립되어 고정너트(N)로 고정되며, 상기 각 돌출부(40-1)의 일측인 상기 나사공(40-2)의 대향측에 나사공(40-3)이 관통되어 스토퍼볼트(70)가 나사조립되어 고정너트(N)로 고정 설치된다.이때, 상기 공기완충기(60)는 상기 나사공(40-2)에서 나사회동에 의한 전, 후진이 제공되고, 상기 스토퍼볼트(70)도 상기 나사공(40-3)에서 나사회동으로 전, 후진이 제공된다.따라서 상기 슬라이드테이블(30)의 좌측이동이나 우측이동에 의한 상기 각 헤드커버(40) 측에 접근시에 상기 스토퍼돌기(32)가 상기 공기완충기(60)의 완충로드(60-1)에 부딪히면서 완충되면서 서서히 멈춤게 되고, 이때, 상기 슬라이드테이블(30)의 이동은 상기 각 스토퍼볼트(70)의 나사조정에 의한 선단부를 상기 헤드커버(40)의 내측인 상기 슬라이드테이블(30) 측으로의 전진 거리에 의해 상기 슬라이드테이블(30)의 좌, 우 이동구간을 조정할 수 있다.
한편, 상기 실린더블록(10)은 도 11에 도시된 바와 같이, 외측면 일측에 길이방향으로 L.M가이드(80)를 설치하고 이 L.M가이드(80)에 의해 안내되면서 상기 슬라이드테이블(30)의 양측 스토퍼돌기(32) 사이에 형성된 조립나사공(33))과 볼트(B)로 나사 조립되어 상기 슬라이드테이블(30)의 이동과 동일하게 이동하는 슬라이블록(81)을 연결하여 사용할 수 있다.
이러한 본 발명은 상기 슬라이드테이블(30)에 별도의 작업지그(미도시됨)를 장착하고 상기 양측의 헤드커버(40)에 형성된 각 공기포트(42)에 통상의 공기압공급수단(콤프레사)을 연결하고 이들 중 상기 슬라이드테이블(30)이 이동된 일측의 헤드커버(40)의 공기포트(42)에 압축공기를 공급하게 된다.
이렇게 공급되는 압축공기는 상기 일측의 슬리브가이드관(41)의 쿠션쳄버(41-1)에 삽입된 상기 쿠션슬리브(22)의 체크밸브(50)를 통하여 밸브조립홈(22-2) → 통공(22-3)을 경유하여 수축된 상태의 일측의 벨로우즈(23)의 내부쳄버(23-1)에 공급되면서 신장하게 된다.
이러한 수축된 일측의 벨로우즈(23)의 신장에 의해 상기 압축공기가 공급되는 쿠션슬리브(22)가 상기 일측의 슬리브가이드관(41)의 쿠션쳄버(41-1)에서 이탈되면서 상기 중앙의 피스톤(21)을 대향측 타측 헤드커버(40) 측으로 이동시키게 되고,상기 피스톤(21)의 조립돌기(21-1)과 볼트(B)로 조립된 슬라이드테이블(30)이 양측의 가이드돌기(31)로 상기 실린더블록(10)의 가이드홈(12)에서 슬라이드 안내되어 이동된다.(도 12 참조)
이렇게 이동하는 피스톤(21)에 의해 타측의 벨로우즈(23)가 수축하면서 이의 내부쳄버(23-1)에 공급된 압축공기가 상기 타측 슬리브가이드관(41)의 쿠션쳄버(41-1)를 통하여 타측 헤드커버(40)의 공기통로(42)로 통하여 배출된다.(도 13 참조)
계속하여 이동하는 피스톤(21)은 도 14에 도시된 바와 같이, 그 이동 측의 쿠션슬리브(22)에 조립된 체크밸브(50)의 체크플런저(51)가 슬리브가이드관(41)에 삽입되는 시점부터 쿠션시일(52)에 의하여 상기 벨로우즈(23)의 내부쳄버(23-1)와 쿠션쳄버(41-1)가 기밀상태로 됨과 동시에 상기 내부쳄버(23-1)의 공기가 수축되는 벨로우즈(23)에 의해 압축되면서 공기완충이 시작되고 내부의 압축공기는 상기 슬리브가이드관(41)의 일측에 관통된 쿠션오리피스(41-2)를 경유하여 공기량조절공(43) 및 공기통로(42)를 경유하여 서서히 배출되게 되고 계속적인 공기완충에 의한 도 15와 같이 완전히 수축과 동시에 이동이 정지된다.
이렇게 피스톤(21)의 이동이 완료된 상태에서 상기 피스톤(21)이 이동된 측의 상기 헤드커버(40)의 공기포트(42)를 통하여 압축된 공기가 공급되면 전술한 과정과 동일하게 상기 피스톤(21) 그 대향측으로 이동하게 된다.
이러한 작동의 반복으로 상기 슬라이드테이블(30)은 직선왕복운동을 반복적으로 행하면서 장착된 지그(미도시됨)에 의해 작업을 행하게 되는 것이다.
이러한 본 발명에 있어, 상기 쿠션오리피스(41-2)와 연통된 조절포트(44)에 나사 조립된 쿠션니들(45)은 상기 슬라이드테이블(30)에 장착되는 지그의 중량이나 이동속도에 따라서 상기 공기통로(42)와 연통하는 공기량조절공(43)의 간극을 나사이동에 의해 조절하여 공기 배출량을 조정으로 완충정도를 조정할 수 있다.
또한, 상기 피스톤(21)과 동일하게 이동하는 슬라이드테이블(30)의 이동거리는 상기 헤드커버(40)에 각각 구성되는 스토퍼볼트(70)의 진퇴 조정에 의해 가능하고, 이러한 스토퍼볼트(70)에 의해 그 이동거리가 너무 짧을 경우에는 공기완충이 미약함으로 상기 스토퍼볼트(70)의 대향측에 구성된 공기완충기(60)의 진퇴이동 및 완충력의 조정으로 가능하게 된다.
특히, 본 발명은 상기 벨로우즈운동체(20)의 직선왕복운동에 따른 습동마찰면적이 최소화로 제공되어 고속운동이 제공된다.
따라서 작업범위에 따라서 상기 슬라이드테이블(30)에 취부 되는 지그(미도시됨)나 이러한 지그에 의해 이동되는 물품에 의한 중량이 클 경우에는 상기 슬라이드테이블(30)에 무리한 충격을 효과적으로 완충하여 파손 극소화에 의한 수명연장 및 오동작 발생을 극소화하기 위하여 외부의 상기 공기완충기(60)를 병행하여 사용할 수 있다.
또한 상기 실린더블록(10)과 슬라이드테이블(30)에는 별도의 L.M가이드(80)와 슬라이드블록(81)을 필요시에 조립하여 사용할 수 있어 장치의 범용화가 제공된다.
이상에서 상세히 살펴본 바와 같이, 본 발명은 단순구성에도 오동작이 없이 고속운동이 가능하고, 직선왕복운동을 하는 피스톤 및 슬라이드테이블의 운동에 따른 습동마찰면이 극소화되어 고속운동에 따른 수명연장이 제공되는 효과, 적용장비에 따라서 그 사용이 넓은 장치의 범용화가 제공되는 효과, 단순구성에 의한 제조코스트가 저렴하여 장치의 신뢰성을 갖는다.
도 1은 본 발명의 분해사시도,
도 2는 본 발명의 조립상태 사시도,
도 3은 본 발명의 정면구성도,
도 4는 본 발명의 평면구성도,
도 5는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 취한 단면도,
도 6은 5의 'F'부 발췌 확대도,
도 7은 본 발명의 정단면도,
도 8은 도 7의 'G'부 발췌 확대도,
도 9는 도 8의 'H'부 발췌 확대도,
도 10은 본 발명의 측면구성도,
도 11은 본 발명의 다른 실시예를 보인 측면구성도,
도 12 내지 도 15는 본 발명의 작동에 따른 과정을 보여주는 발췌 확대도.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
10 : 실린더블록 20 : 벨로우즈운동체
21 : 피스톤 22 : 쿠션슬리브
23 : 벨로우즈 30 : 슬라이드테이블
40 : 헤드커버 60 : 공기완충기

Claims (6)

  1. 길이방향의 내부에 관통된 실린더실(11)과 길이방향의 상부 양측에 형성된 가이드홈(12,12) 및 이들 가이드홈과의 사이로 상기 실린더실(11)을 따라 연통된 슬롯공(13)을 구성한 실린더블록(10)과,
    이 실린더블록의 슬롯공(13)에 조립돌기(21-1)를 노출상태로 끼움하여 상기 실린더실(11)에 이동 가능케 끼움되는 피스톤(21)과, 이 피스톤을 중심으로 양측에 대향 조립되는 쿠션슬리브(22) 및 이들 쿠션슬리브와 상기 피스톤(21)의 양측 사이에 일측이 연결 조립되고 타측이 상기 실린더실(11)의 양측 단부에 각각 조립 고정되는 양측의 신축성 벨로우즈(23)로 구성된 벨로우즈운동체(20)와,
    상기 피스톤(21)의 조립돌기(21-1)와 연결 조립되고 하부에 돌출된 양측의 가이드돌기(31)를 상기 양측의 가이드홈(12)에 끼움되어 슬라이드 이동하도록 조립된 슬라이드테이블(30)과,
    상기 실린더실(11)과 상기 각 벨로우즈(23)의 내부쳄버(23-1)를 밀폐하고 상기 내부쳄버(23-1)에 삽입되면서 상기 각 쿠션슬리브(22)를 수용하는 쿠션쳄버(41-1)와 이 쿠션쳄버의 일측에 쿠션오리피스(41-2)를 길이방향으로 형성한 슬리브가이드관(41)을 돌출하되, 상기 쿠션쳄버(41-1)에 연통하는 공기포트(42)가 형성되며 이 공기포트의 대향측에 공기량조절공(43)이 연통된 조절포트(44)가 상기 쿠션오리피스(41-2)와 연통된 상태로 관통되어 쿠션니들(45)이 나사 조립된 양측의 헤드커버(40)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 벨로우즈운동체(20)는 상기 양측의 쿠션슬리브(22)를 상기 중앙의 피스톤(21)이 갖는 나사공(21-2)의 양측에서 대향으로 나사조립하되,
    상기 각 쿠션슬리브(22)는 플랜지형태의 돌기환(22-1)에 상기 양측 신축성 벨로우즈(23)의 각 일측단이 에워싼 상태로 끼움되어 상기 쿠션슬리브(22)와 상기 피스톤(21)의 나사조임에 의한 상기 돌기환(22-1)의 일측면과 상기 피스톤(21)의 일측면 사이에서 밀착으로 기밀조립되고,
    상기 신축성 벨로우즈(23)의 각 타측단은 상기 양측 헤드커버(40)의 각 슬리브가이드관(41)의 외주면에 끼움 조립되는 엔드링(25)의 돌기환(25-1)을 에워싼 상태로 끼움되되, 상기 실린더실(11)의 양측 단부면에 플랜지부분이 걸림되고 내부로 조립되는 각각의 엔드커버(24)의 나사공(24-1)에 상기 엔드링(25)이 나사조립에 의한 조임으로 상기 엔드커버(24)의 내측면과 상기 엔드링(25)의 돌기환(25-1)의 일측면 사이에 밀착으로 기밀조립되어 상기 각각의 내부쳄버(23-10의 기밀이 유지되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 각각의 쿠션슬리브(22)는 중앙의 길이방향으로 밸브조립홈(22-2)이 형성되고, 이 밸브조립홈과 상기 벨로우즈(23)의 내부쳄버(23-1)를 연통하는 통공(22-3)이 상기 밸브조립홈(22-2)에 직교하여 상기 돌기환(22-1)의 근처에 다수개 관통되되, 상기 밸브조립홈(22-2)에는 체크밸브(50)가 조립되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 체크밸브(50)는 공기통로(51-1)가 관통되고 상기 밸브조립홈(22-2)의 선단에 나사 조립되는 체크플런저(51)와, 이 체크플런저의 헤드와 상기 각 쿠션슬리브(22)의 일측 단부면 사이에 개재되어 상기 슬리브가이드관(41)의 쿠션쳄버(41-1)의 내주연에 밀착상태로 이동 가능케 조립되는 쿠션시일(52)과, 상기 공기통로(51-1)를 개폐하는 체크볼(53)과, 이 체크볼을 탄지 하여 상기 공기통로(51-1)를 차단하는 압축스프링(54)으로 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 각각의 헤드커버(40)는 상기 각 엔드커버(24)를 감싸는 상태로 실린더블록(11)과 다수의 체결볼트(B)로 나사 조립되고, 상기 슬라이드테이블(30)의 스토퍼돌기(32)에 대응하도록 일측면에 돌출부(40-1)가 각각 돌출 형성되되, 상기 각 돌출부(40-1)에는 나사공(40-2)이 관통되어 상기 슬라이드테이블(30)의 멈춤을 완충 조정하는 완충로드(60-1)를 갖는 공기완충기(60)가 나사조립되어 고정너트(N)로 고정되며, 상기 각 돌출부(40-1)의 일측인 상기 나사공(40-2)의 대향측에 나사공(40-3)이 관통되어 상기 슬라이드테이블(30)의 이동구간을 조정하도록 스토퍼볼트(70)가 나사조립되어 고정너트(N)로 고정 설치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터.
  6. 제1항, 제2항, 제5항에 있어서,
    상기 실린더블록(10)은 외측면 일측에 길이방향으로 L.M가이드(80)를 설치하고 이 L.M가이드(80)에 의해 안내되면서 상기 슬라이드테이블(30)과 볼트(B)로 나사 조립되어 상기 슬라이드테이블(30)의 이동과 동일하게 이동하는 슬라이블록(81)을 구비한 벨로우즈 타입의 저마찰 고속 리니어 액츄에이터.
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