JPS62180114A - 静圧気体直線案内装置 - Google Patents
静圧気体直線案内装置Info
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- JPS62180114A JPS62180114A JP2072986A JP2072986A JPS62180114A JP S62180114 A JPS62180114 A JP S62180114A JP 2072986 A JP2072986 A JP 2072986A JP 2072986 A JP2072986 A JP 2072986A JP S62180114 A JPS62180114 A JP S62180114A
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- 230000003068 static effect Effects 0.000 title claims description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 56
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 7
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は超高精度の測定器、加工機などの構成に使用さ
れる可動体を備えた直線案内装置に関するものである。
れる可動体を備えた直線案内装置に関するものである。
従来から用いられている基本的な静圧気体直線案内装置
（以下、案内装置と略称する）は第１図に示すように両
端の支持台ｌで支持された固定体２に可動体３を挿通し
、これら固定体２と可動体３との間に形成した微小な間
隙Ｓ及び固定体２の四隅を切除した気体流通溝に加圧気
体を噴出させ、これにより可動体３だけでなく、この可
動体３に負荷せしめた荷重を浮上させた状態で保持し、
かつ他の図示してない駆動装置からのわずかな駆動力で
もって直線運動を行うようになっている。
（以下、案内装置と略称する）は第１図に示すように両
端の支持台ｌで支持された固定体２に可動体３を挿通し
、これら固定体２と可動体３との間に形成した微小な間
隙Ｓ及び固定体２の四隅を切除した気体流通溝に加圧気
体を噴出させ、これにより可動体３だけでなく、この可
動体３に負荷せしめた荷重を浮上させた状態で保持し、
かつ他の図示してない駆動装置からのわずかな駆動力で
もって直線運動を行うようになっている。
なお、かかる案内装置では一般に可動体３に気体噴出孔
が設けられ、これら噴出孔の形状及び可動体３の形状、
間隙Ｓなどは噴出気体圧力、流量との関係から決定され
る。
が設けられ、これら噴出孔の形状及び可動体３の形状、
間隙Ｓなどは噴出気体圧力、流量との関係から決定され
る。
畝上のような案内装置は大気圧下で使用される機器、装
置に組込まれて使用される限りにおいて、固定体２と可
動体３との間の間隙Ｓや特に四隅に設けられた空間から
排出される気体は周囲にそのまま放出されているが、こ
の種の案内装置ではボール、コロなどを介在せしめた直
線案内装置よりも位置決め精度が高いことから、超高精
度が要求される半導体製造装置、磁気ディスク検査装置
などに広く使用されている。
置に組込まれて使用される限りにおいて、固定体２と可
動体３との間の間隙Ｓや特に四隅に設けられた空間から
排出される気体は周囲にそのまま放出されているが、こ
の種の案内装置ではボール、コロなどを介在せしめた直
線案内装置よりも位置決め精度が高いことから、超高精
度が要求される半導体製造装置、磁気ディスク検査装置
などに広く使用されている。
しかしながら、上記案内装置を大気圧下でなく特に真空
雰囲気中での使用においては、間隙を維持するには気体
供給量がその圧力差分だけ多くなる。すなわち真空雰囲
気中へ多量の気体が噴出し、その結果一定の真空雰囲気
をたもつには大きな排出容量をもった真空ポンプを必要
と砦、装置全体の大型化をもたらすばかりでなく、機器
の運転操作の面からも好ましいものではなかった。
雰囲気中での使用においては、間隙を維持するには気体
供給量がその圧力差分だけ多くなる。すなわち真空雰囲
気中へ多量の気体が噴出し、その結果一定の真空雰囲気
をたもつには大きな排出容量をもった真空ポンプを必要
と砦、装置全体の大型化をもたらすばかりでなく、機器
の運転操作の面からも好ましいものではなかった。
上記に鑑みて、可動体と固定体との間隙、特に固定体と
可動体との間に形成された、段付状、斜切状の長手方向
に存在する空間からの気体の放出を図るべく、シール部
材を配設するとともに可動体に気体の導入口と排出口の
双方を設けたことを特徴とする。
可動体との間に形成された、段付状、斜切状の長手方向
に存在する空間からの気体の放出を図るべく、シール部
材を配設するとともに可動体に気体の導入口と排出口の
双方を設けたことを特徴とする。
以下、図によって具体的に実施例を説明する。
第２図及び第３図には本発明実施例に係る案内装置の要
部断面図を示し、在来例と同一部分は同一符号を用いれ
ば、２はガイドレールとしての固定体であり、３は図示
してない負荷物体を取付は移動自在とする可動体で、上
記固定体２を摺動軸として図示矢印で示した方向に、不
図示の駆動装置によって直線運動するように構成されて
いる。
部断面図を示し、在来例と同一部分は同一符号を用いれ
ば、２はガイドレールとしての固定体であり、３は図示
してない負荷物体を取付は移動自在とする可動体で、上
記固定体２を摺動軸として図示矢印で示した方向に、不
図示の駆動装置によって直線運動するように構成されて
いる。
このうち可動体３には、気体導入口４と、これに連通し
た通気孔４ａ及び固定体２の表面に対面した位置に気体
案内装置４ｂが形成しである。
た通気孔４ａ及び固定体２の表面に対面した位置に気体
案内装置４ｂが形成しである。
また、同じ固定体３には気体排出口５と、これに連通し
た通気孔５ａ、気体排出溝５ｂが形成しである。
た通気孔５ａ、気体排出溝５ｂが形成しである。
このように気体導入口４、通気孔４ａ、気体案内溝４ｂ
及び気体排出口５、通気孔５ａ、気体排出溝５ｂの双方
が形成された可動体３の両端における内部空間の四隅に
は、固定体２の四隅が斜切又は段付形状に形成されて成
る気体流通溝６を気密封止するためのシール部材７が配
設されている。
及び気体排出口５、通気孔５ａ、気体排出溝５ｂの双方
が形成された可動体３の両端における内部空間の四隅に
は、固定体２の四隅が斜切又は段付形状に形成されて成
る気体流通溝６を気密封止するためのシール部材７が配
設されている。
なお気体流通溝６は四隅に限らず、中央部長手方向に形
成したものであっても良い。
成したものであっても良い。
次に、上記のように構成された本発明案内装置の作動を
説明すると、可動体３には不図示の加工装置、測定装置
など、いわゆる負荷装置が加装してあり、図示してない
駆動装置によって直線移動ができるようになっているが
、この場合、可動体３の気体導入口４に連通したパイプ
を通じて圧縮気体が送られ、通気孔４ａ、気体案内溝４
ｂを経て、固定体２の表面と可動体３の内壁面との間に
形成された間隙Ｓに気体が噴出し、気体流通溝６に流入
するとともに気体排出溝５ｂから通気孔５ａを経て気体
排出口５より回収して排出される。
説明すると、可動体３には不図示の加工装置、測定装置
など、いわゆる負荷装置が加装してあり、図示してない
駆動装置によって直線移動ができるようになっているが
、この場合、可動体３の気体導入口４に連通したパイプ
を通じて圧縮気体が送られ、通気孔４ａ、気体案内溝４
ｂを経て、固定体２の表面と可動体３の内壁面との間に
形成された間隙Ｓに気体が噴出し、気体流通溝６に流入
するとともに気体排出溝５ｂから通気孔５ａを経て気体
排出口５より回収して排出される。
このように微小な間隙Ｓに噴出気体が存在することによ
って可動体３は円滑に移動することができる。
って可動体３は円滑に移動することができる。
このような作動に際して、気体案内溝４ｂから噴出した
気体は、４つの気体流通溝６が両端でシール部材７によ
り封止されているため、可動体３の両端に開放された間
隙Ｓ（第３図参照）より気体が流出するが、この間隙Ｓ
は数μｍのオーダであり、可動体３の両端における各々
４ケ所の間隙Ｓからの放出される気体の総量はわずかで
ある。
気体は、４つの気体流通溝６が両端でシール部材７によ
り封止されているため、可動体３の両端に開放された間
隙Ｓ（第３図参照）より気体が流出するが、この間隙Ｓ
は数μｍのオーダであり、可動体３の両端における各々
４ケ所の間隙Ｓからの放出される気体の総量はわずかで
ある。
なお、この場合、気体排出口５及びこれに連通した通気
孔５ ａ 、気体案内溝５ｂは十分に大きな断面形状と
し、通気抵抗が小さいことが必要である。
孔５ ａ 、気体案内溝５ｂは十分に大きな断面形状と
し、通気抵抗が小さいことが必要である。
（実施例）
固定体２、可動体３を９９％純度のアルミナセラミック
で次の諸元のものに製作した。
で次の諸元のものに製作した。
固定体断面： ８０ｍｍ Ｘ ８０ｍｍ固定体全長：
３５０ｍｍ 可動体外形寸法： １４０ｍｍ Ｘ １４０ｍｍ Ｘ
２００ｍｍ有効ストローク７５０ｍｍ 気体案内溝：幅１ｍｍ 深さ２５μｍ間隙Ｓニアμｍ 気体流通溝の大きさ：５ｍｍ Ｘ５ｍｍかかる諸元のも
とに、シール部材７をアルミナセラミック製として構成
した案内装置を１０− ’Ｔｏｒｒに保たれた真空容器
中に設置して、気体導入口４を通じて４Ｋｇ／ＣｒＡの
加圧気体を、１５Ｎｌ／分の気体流量にて供給した。（
ただし、Ｎｌは標準状態の容積）一方排出口５からの排
気量は１４．５Ｎｌ／分で実質的に全量が回収され、気
体の若干の漏れはあったものの、真空容器内の真空度を
保ために使用している排気ポンプに問題を生じることな
く、容器内を一定の真空度に維持することができた。
３５０ｍｍ 可動体外形寸法： １４０ｍｍ Ｘ １４０ｍｍ Ｘ
２００ｍｍ有効ストローク７５０ｍｍ 気体案内溝：幅１ｍｍ 深さ２５μｍ間隙Ｓニアμｍ 気体流通溝の大きさ：５ｍｍ Ｘ５ｍｍかかる諸元のも
とに、シール部材７をアルミナセラミック製として構成
した案内装置を１０− ’Ｔｏｒｒに保たれた真空容器
中に設置して、気体導入口４を通じて４Ｋｇ／ＣｒＡの
加圧気体を、１５Ｎｌ／分の気体流量にて供給した。（
ただし、Ｎｌは標準状態の容積）一方排出口５からの排
気量は１４．５Ｎｌ／分で実質的に全量が回収され、気
体の若干の漏れはあったものの、真空容器内の真空度を
保ために使用している排気ポンプに問題を生じることな
く、容器内を一定の真空度に維持することができた。
畝上のように本発明によれば、可動体に気体導入口と気
体排出口の双方を形成し、かつ固定体と可動体との間に
噴出せしめた気体が固定体と可動体との間に形成した気
体流通溝から流出するのをシール部材で封止し、はぼ全
量の気体を回収できるようにしたことから、案内装置全
体から外部に放出される気体の量はごくわずかであり、
案内装置を真空雰囲気中で使用する場合、真空度を低下
させたり、雰囲気内を汚染する恐れがない。
体排出口の双方を形成し、かつ固定体と可動体との間に
噴出せしめた気体が固定体と可動体との間に形成した気
体流通溝から流出するのをシール部材で封止し、はぼ全
量の気体を回収できるようにしたことから、案内装置全
体から外部に放出される気体の量はごくわずかであり、
案内装置を真空雰囲気中で使用する場合、真空度を低下
させたり、雰囲気内を汚染する恐れがない。
また、回収した気体を再循環して使用することから特殊
の気体を使用する場合でも、気体の消費を少なくし、有
効活用をすることができるなどすぐれた特長を有してい
る。
の気体を使用する場合でも、気体の消費を少なくし、有
効活用をすることができるなどすぐれた特長を有してい
る。
第１図は在来の案内装置の要部縦断面図、第２図は本発
明実施例による静圧気体直線案内装置の要部縦断面図で
ある。第３図は第２図におけるＸ−Ｘ線断面図である。 ｌ：支持台 ２：固定体 ３：可動体 ４：気体導入口 ５：気体排出口 ６：気体流通溝 ７：シール部材 Ｓ：間隙
明実施例による静圧気体直線案内装置の要部縦断面図で
ある。第３図は第２図におけるＸ−Ｘ線断面図である。 ｌ：支持台 ２：固定体 ３：可動体 ４：気体導入口 ５：気体排出口 ６：気体流通溝 ７：シール部材 Ｓ：間隙
Claims (1)
- 固定体と可動体との間に気体を供給し静圧気体を介在せ
しめてなる直線案内装置において、固定体と可動体の間
に形成した気体流通溝にシール部材を配設するとともに
上記可動体に気体導入口と気体排出口の双方を設けたこ
とを特徴とする静圧気体直線案内装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61020729A JPH07109217B2 (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 静圧気体直線案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61020729A JPH07109217B2 (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 静圧気体直線案内装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62180114A true JPS62180114A (ja) | 1987-08-07 |
| JPH07109217B2 JPH07109217B2 (ja) | 1995-11-22 |
Family
ID=12035270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61020729A Expired - Fee Related JPH07109217B2 (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 静圧気体直線案内装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07109217B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002155938A (ja) * | 2000-02-01 | 2002-05-31 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
| JP2008175399A (ja) * | 2008-04-07 | 2008-07-31 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
| JP2009052741A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-03-12 | Kyocera Corp | スライド装置およびそれを用いた処理システム |
| WO2014024583A1 (ja) * | 2012-08-06 | 2014-02-13 | オイレス工業株式会社 | エアベアリング装置及び塗布装置 |
| WO2016158381A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 住友重機械工業株式会社 | 静圧気体軸受 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59175621A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-04 | Yoshio Aoyama | スクリユ−軸の軸受 |
| JPS59232740A (ja) * | 1983-06-10 | 1984-12-27 | Miyoutoku:Kk | エア−スライドシステム |
| JPS60113816A (ja) * | 1983-11-22 | 1985-06-20 | Miyoutoku:Kk | エア−スライド装置 |
| JPS60143902U (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-24 | 太陽鉄工株式会社 | 低摩擦型流体圧シリンダ− |
-
1986
- 1986-01-31 JP JP61020729A patent/JPH07109217B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59175621A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-04 | Yoshio Aoyama | スクリユ−軸の軸受 |
| JPS59232740A (ja) * | 1983-06-10 | 1984-12-27 | Miyoutoku:Kk | エア−スライドシステム |
| JPS60113816A (ja) * | 1983-11-22 | 1985-06-20 | Miyoutoku:Kk | エア−スライド装置 |
| JPS60143902U (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-24 | 太陽鉄工株式会社 | 低摩擦型流体圧シリンダ− |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002155938A (ja) * | 2000-02-01 | 2002-05-31 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
| JP2009052741A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-03-12 | Kyocera Corp | スライド装置およびそれを用いた処理システム |
| JP2008175399A (ja) * | 2008-04-07 | 2008-07-31 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
| WO2014024583A1 (ja) * | 2012-08-06 | 2014-02-13 | オイレス工業株式会社 | エアベアリング装置及び塗布装置 |
| JP2014031865A (ja) * | 2012-08-06 | 2014-02-20 | Oiles Ind Co Ltd | エアベアリング装置及び塗布装置 |
| CN104583618A (zh) * | 2012-08-06 | 2015-04-29 | 奥依列斯工业株式会社 | 空气轴承装置及涂布装置 |
| WO2016158381A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 住友重機械工業株式会社 | 静圧気体軸受 |
| JP2016191434A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 住友重機械工業株式会社 | 静圧気体軸受 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07109217B2 (ja) | 1995-11-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |