JPH07317767A

JPH07317767A - 静圧気体軸受

Info

Publication number: JPH07317767A
Application number: JP11881594A
Authority: JP
Inventors: Yukiharu Ootsuka; 行治大塚
Original assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Current assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date: 1994-05-31
Filing date: 1994-05-31
Publication date: 1995-12-08
Anticipated expiration: 2015-09-18
Also published as: JP3090396B2

Abstract

(57)【要約】【目的】周囲に流出する気体の量を極めて低く抑える
ことができる静圧気体軸受の提供。【構成】軸受面１２に開口されてこの軸受面１２に気
体を供給する給気路２０と、軸受面１２の外周側に配置
されかつ軸受面１２から凹状に窪んで形成されたポケッ
ト３０と、このポケット３０の壁面に開口されてポケッ
ト３０と外部とを連通する排気路４０と、ポケット３０
の外周側に連続的に配置されかつ軸受面１２と略同一面
上に配置された外周抵抗部５０とを備えた静圧気体軸受
１０を構成した。また、排気路４０を通してポケット３
０内の気体の負圧吸引を行う負圧吸引手段６０を設けれ
ば、さらに流出気体の量を抑えることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、周囲に流出する気体の
量が極めて少量な極低流出量の静圧気体軸受に係り、測
定機器、加工機械、位置決め装置等に設けられる案内機
構などに利用できる。

【０００２】

【背景技術】一般に、測定機器、加工機械、位置決め装
置等の位置決めを必要とする各種装置の案内機構とし
て、滑り案内、転がり案内、あるいは静圧案内による案
内機構が利用されている。このうち滑り案内や転がり案
内による案内機構では、スティックスリップ、振動、弾
性変形などの問題が生じるため、高精度な位置決めが要
求される場合には、静圧案内による案内機構が用いられ
ることが多い。この静圧案内による案内機構の潤滑剤と
しては、油や空気などが用いられているが、温度や汚染
等の要因により、特に高精度な位置決めが要求される場
合には、静圧気体軸受による案内機構が広く用いられて
いる。

【０００３】従来より、静圧気体軸受による案内機構を
備えた高精度あるいは超精密システムの一形態として、
案内機構の案内に従って変位する部材の変位量を把握す
るための測長系にレーザ干渉計を用い、さらにこのレー
ザ干渉計および案内機構を含めてシステム全体をチャン
バで覆うことにより周囲の熱や空気の流れの影響を遮断
したものが挙げられる。このようなチャンバの設置は、
温度変動による構成部材の伸縮、レーザ干渉計の光路上
の空気の揺らぎの影響を除去あるいは抑制するためにな
されたものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たチャンバにより全体を覆ったシステムでは、チャンバ
の外側の熱や空気の流れの影響は遮断することができる
が、チャンバの内部において静圧気体軸受から流出する
気体（外部から静圧気体軸受の軸受面に供給された気体
の全て）があるため、このチャンバ内に流出した気体の
温度や流れの影響は回避することができないという問題
があった。

【０００５】本発明の目的は、周囲に流出する気体の量
を極めて低く抑えることができる静圧気体軸受を提供す
ることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、軸受面に供給
した気体を排気路から排気して前記目的を達成しようと
するものである。具体的には、本発明の静圧気体軸受
は、軸受面に開口されてこの軸受面に気体を供給する給
気路と、前記軸受面の外周側に配置されかつ前記軸受面
から凹状に窪んで形成されたポケットと、このポケット
の壁面に開口されてポケットと外部とを連通する排気路
と、前記ポケットの外周側に連続的に配置されかつ前記
軸受面と略同一面上に配置された外周抵抗部とを備えた
ことを特徴とする。

【０００７】ここで、前記ポケットの寸法（大きさ）や
配置形状、前記排気路の本数や径（断面積）、および前
記外周抵抗部の形状や面積等は、所望の排気率Ｑｒ（＝
排出流量Ｑｅｘ／流入流量Ｑｉｎ；後述の図１、図２参
照）が得られるように適宜決定すればよい。例えば、排
気路の本数を多くする、あるいは外周抵抗部の面積を大
きくすることにより、外周抵抗部の抵抗を排気路の抵抗
よりも極めて大きくなるようにすれば、排出流量Ｑｅｘ
が大きくなり、高い排気率Ｑｒが得られる。

【０００８】また、本発明の静圧気体軸受は、前記排気
路を通して前記ポケット内の気体の負圧吸引を行う負圧
吸引手段を備えたことを特徴とする。さらに、本発明の
静圧気体軸受は、前記負圧吸引手段が、前記給気路の途
中に設けられた給気側流量センサと、前記排気路の途中
に設けられた排気側流量センサと、前記排気路の途中で
あって前記排気側流量センサの下流側に設けられた負圧
発生装置と、前記給気側流量センサと前記排気側流量セ
ンサとによる検出流量が略等しくなるように前記負圧発
生装置を制御する制御装置とを備えたことを特徴とす
る。ここで、前記負圧発生装置の好適な具体例として
は、前記排気路の途中であって前記排気側流量センサの
下流側に設けられた負圧イジェクタと、この負圧イジェ
クタと前記給気路の途中であって前記給気側流量センサ
の上流側とを連通する通気路と、この通気路の途中に設
けられて前記制御装置により操作されるレギュレータと
を備えたものなどが挙げられる。

【０００９】

【作用】このような本発明においては、外部の気体を給
気路を通して軸受面に供給するとともに、ポケットでこ
の気体を採集し、排気路を通して外部に排出する。ま
た、ポケットの外周側に設けられた外周抵抗部により周
囲への気体の流出を抑える。このため、軸受面に供給さ
れた気体の大部分は、周囲に流出することなく、ポケッ
トから排気路を通して外部に排出されるようになる。そ
して、このように周囲への気体の流出量を極めて低く抑
えることにより、静圧気体軸受による案内機構を備えた
高精度あるいは超精密システム、特に測長系にレーザ干
渉計を用いている場合などにおいて、流出気体の温度や
流れによるシステムへの悪影響が回避され、これらによ
り前記目的が達成される。

【００１０】また、負圧吸引手段を設け、ポケット内の
気体の負圧吸引を行うようにすれば、周囲への気体の流
出量がより一層抑えられ、ゼロとすることも可能とな
る。そして、この負圧吸引手段を、給気側流量センサ、
排気側流量センサ、負圧発生装置、および制御装置を備
えた構成としておけば、給気側流量センサおよび排気側
流量センサによる検出流量が略等しくなるように制御装
置で負圧発生装置を制御することにより、周囲への気体
の流出量を容易かつ確実にゼロとすることが可能とな
る。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１には、本実施例の静圧気体軸受１０の全体
構成が示されている。静圧気体軸受１０は、図中下向き
の面に軸受面１２が形成された軸受本体１１と、外部か
ら軸受面１２に空気等の気体を供給する給気路２０と、
軸受面１２の外周側に配置されて気体の採集を行うポケ
ット３０と、このポケット３０内の気体を外部に排出す
る排気路４０と、ポケット３０の外周側に配置された外
周抵抗部５０と、排気路４０を通してポケット３０内の
気体の負圧吸引を行う負圧吸引手段６０とを備えてい
る。

【００１２】軸受本体１１は、軸受面１２に対向するよ
うに軸受本体１１の図中下側に設けられた対向部材１５
と所定間隔Ｈを置いて配置されている。静圧気体軸受１
０は、軸受本体１１が負荷Ｗのかかった状態で所定間隔
Ｈを保ちながら対向部材１５に対して相対的に移動する
ことにより、案内機構を構成するようになっている。な
お、空間に対しては軸受本体１１および対向部材１５の
いずれが固定側であってもよい。

【００１３】図２には、軸受本体１１の拡大状態および
圧力分布が示されている。また、図３には、軸受本体１
１を軸受面１２側から見た状態が示されている。図２お
よび図３において、給気路２０は、軸受本体１１の内部
に形成された給気孔２１と、この給気孔２１と連通する
ように軸受本体１１に接続された給気管２２と、給気孔
２１が軸受面１２に開口する部分に形成された給気溝２
３とにより構成されている。また、給気孔２１のうち給
気溝２３側の部分には、給気管２２側の部分よりも孔径
を絞られた絞り部２１Ａが形成されている。給気溝２３
は、軸受面１２から窪むように形成された円弧状、三角
形形状、あるいは四角形形状等の断面形状を有する溝で
あり（図２参照）、軸受面１２上において略正方形をな
すように配置されている（図３参照）。

【００１４】ポケット３０は、軸受面１２の延長面の位
置から窪むように形成された方形状の断面形状を有する
溝であり（図２参照）、軸受面１２の外周側に略正方形
をなすように配置されている（図３参照）。排気路４０
は、軸受本体１１の内部に形成されてポケット３０の壁
面に開口する排気孔４１と、この排気孔４１と連通する
ように軸受本体１１に接続された排気管４２とにより構
成されている。

【００１５】外周抵抗部５０は、軸受面１２に供給され
た気体の流出位置であるポケット３０の外周側に連続的
に、つまり途切れることなく略正方形をなすように配置
されている。また、外周抵抗部５０の表面は、軸受面１
２と略同一面上に配置されている。

【００１６】ここで、静圧気体軸受１０の各部の寸法の
一例を挙げると、図２および図３において、軸受本体１
１の厚みＳ２＝２０ｍｍ、ポケット３０の深さＳ１＝５
ｍｍ、給気溝２３の幅Ｌ１＝３０ｍｍ、給気溝２３から
ポケット３０までの幅Ｌ２＝１０ｍｍ、ポケット３０の
幅Ｌ３＝５ｍｍ、外周抵抗部５０の幅Ｌ４＝５ｍｍ、軸
受本体１１の大きさＬ５＝７０ｍｍなどである。但し、
各部の寸法はこれらの数値に限定されるものではない。

【００１７】図１に戻って、給気路２０（給気管２２）
の図中右側端部には、外部の気体を供給するための圧力
源２５が設けられ、この圧力源２５の下流には、図中右
側より、流入気体の浄化を行うフィルタ２６、流入気体
の圧力調整または流量調整を行うレギュレータ２７、流
入気体の圧力を測定する圧力計２８、流入気体の流量を
測定する給気側流量センサ６１が設けられている。

【００１８】排気路４０（排気管４２）の途中には、ポ
ケット３０で採集されて排気路４０を通して排出される
気体の流量を測定する排気側流量センサ６２が設けられ
ている。また、排気側流量センサ６２の下流には、気体
を噴出して負圧を発生させる負圧イジェクタ７１が設け
られている。この負圧イジェクタ７１と、給気路２０
（給気管２２）の途中であってフィルタ２６とレギュレ
ータ２７との間の位置とは、通気路７２により連通され
ている。

【００１９】通気路７２の途中には、上流側（図中右
側）より、通気路７２を通る気体の圧力調整または流量
調整を行うレギュレータ７３、圧力を測定する圧力計７
４、負圧イジェクタ７１に送る気体の圧力調整または流
量調整を行う電空レギュレータ７５が設けられている。
そして、これらの負圧イジェクタ７１、通気路７２、レ
ギュレータ７３、圧力計７４、および電空レギュレータ
７５により、負圧発生装置７０が構成されている。

【００２０】また、給気側流量センサ６１および排気側
流量センサ６２と、電空レギュレータ７５との間には、
演算処理装置（ＣＰＵ）８１およびパワーアンプ８２が
設けられている。そして、これらの演算処理装置８１お
よびパワーアンプ８２により、負圧発生装置７０を制御
する制御装置８０が構成されている。制御装置８０は、
給気側流量センサ６１および排気側流量センサ６２の各
検出信号を演算処理装置８１に入力し、これらの各検出
信号により得られる流入流量Ｑｉｎおよび排出流量Ｑｅ
ｘの値に基づいて演算された演算処理装置８１の出力
を、パワーアンプ８２を介して電空レギュレータ７５に
送って電空レギュレータ７５を操作することにより、負
圧イジェクタ７１の状態を制御するようになっている。
そして、以上に述べた負圧発生装置７０、制御装置８
０、給気側流量センサ６１、および排気側流量センサ６
２により負圧吸引手段６０が構成されている。

【００２１】このような本実施例においては、以下のよ
うにして静圧気体軸受１０を動作させる。先ず、圧力源
２５により外部の気体を給気路２０を通して給気溝２３
から軸受面１２に供給する。また、給気路２０から分岐
した通気路７２にも気体を送り、負圧イジェクタ７１に
気体を供給する。

【００２２】次に、図２に示すように、軸受面１２に供
給された気体（流入流量Ｑｉｎ）は、外周抵抗部５０と
対向部材１５との隙間を通って周囲に流出される気体
（流出流量Ｑｏｕｔ）と、ポケット３０で採集されて排
気路４０を通して外部に排出される気体（排出流量Ｑｅ
ｘ）とに分岐される。この際、負圧吸引手段６０により
ポケット３０内の気体の真空吸引を行って流出流量Ｑｏ
ｕｔ＝０となるようにする。

【００２３】つまり、制御装置８０により、給気側流量
センサ６１の検出信号（流入流量Ｑｉｎ）および排気側
流量センサ６２の検出信号（排出流量Ｑｅｘ）を入力
し、これらの値が等しくなる（流入流量Ｑｉｎ＝排出流
量Ｑｅｘとなる）ように、つまり流出流量Ｑｏｕｔ＝０
となるように電空レギュレータ７５を操作して負圧イジ
ェクタ７１の状態を制御する。なお、このような制御装
置８０によるフィードバック制御は、静圧気体軸受１０
の動作期間中、継続して行う。

【００２４】また、静圧気体軸受１０の動作時の圧力分
布は、図２に示すように、軸受面１２のうち給気溝２３
よりも内周側の部分では、均一で高い圧力Ｐｒとなって
おり、軸受面１２のうち給気溝２３よりも外周側の部分
では、外周側に向かうに従って圧力Ｐｒから除々に降下
する状態となっている。さらに、ポケット３０の位置で
は、圧力Ｐｐまで降下した状態となっており、外周抵抗
部５０の位置では、外周側に向かうに従って圧力Ｐｐか
ら除々に降下して大気圧Ｐａに至る状態となっている。
そして、前述したような負圧吸引手段６０によるポケッ
ト３０内の気体の真空吸引を行って流出流量Ｑｏｕｔ＝
０とする場合には、圧力分布は、図２中の二点鎖線の分
布に近づく。

【００２５】このような本実施例によれば、次のような
効果がある。すなわち、軸受面１２に供給された気体を
外部に排出するためのポケット３０および排気路４０が
設けられ、かつポケット３０の外周側に外周抵抗部５０
が設けられているので、周囲への気体の流出を極めて低
く抑えることができる。また、負圧吸引手段６０により
ポケット３０内の気体の負圧吸引を行っているので、周
囲への気体の流出をより一層抑えることができる。この
ため、静圧気体軸受による案内機構を備えた高精度ある
いは超精密システム、特に測長系にレーザ干渉計を用い
ている場合などにおいて、流出気体の温度や流れによる
システムへの悪影響を回避できる。

【００２６】さらに、負圧吸引手段６０は、給気側流量
センサ６１、排気側流量センサ６２、負圧発生装置７
０、および制御装置８０を備えた構成となっているの
で、給気側流量センサ６１および排気側流量センサ６２
の各検出信号から得られた流入流量Ｑｉｎおよび排出流
量Ｑｅｘが等しくなるように制御装置８０で負圧発生装
置７０を制御することにより、容易かつ確実に流出流量
Ｑｏｕｔ＝０とすることができる。

【００２７】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の目的を達成できる他の構成も含
み、例えば以下に示すような変形等も本発明に含まれる
ものである。すなわち、前記実施例では、ポケット３０
は、方形状の断面形状を有していたが、このような断面
形状に限定されるものではなく、例えば、円弧状、三角
形形状、Ｕ字状等の断面形状であってもよく、要する
に、軸受面１２の延長面の位置から凹状に窪むように形
成されていればよい。

【００２８】また、前記実施例では、ポケット３０は、
軸受面１２の外周側に略正方形をなすように配置されて
いたが、このような連続環状の配置に限定されるもので
はなく、例えば、図４に示すように、断続した環状配置
のポケット９０，９１としてもよく、あるいは排気孔４
１の開口部分をそのままポケット９２としたものであっ
てもよく、さらに多重配置とされたポケット９３であっ
てもよい。そして、ポケット３０は、略正方形をなすよ
うな配置とする必要もなく、例えば、円形や長方形等を
なすような配置としてもよく、要するに、必要な軸受面
１２の面積を確保できるような配置であればよい。

【００２９】さらに、排気路４０の本数、直径、長さ、
屈曲状態、合流回数等は、任意である。しかし、排気路
４０の本数や直径を増大して排気路４０の全体としての
断面積を増加させる、あるいは排気路４０の長さを短く
する、屈曲状態や合流回数を減少させるなどすることに
より、排気路４０の抵抗を減少させるようにすることが
好ましく、そうすることで排気路４０側に気体が流れや
すくなるため、流出流量Ｑｏｕｔをより一層減じること
が可能となる。

【００３０】また、前記実施例では、外周抵抗部５０
は、ポケット３０の外周側に略正方形をなすように配置
されていたが、略正方形をなすような配置に限定される
ものではなく、例えば、円形や長方形等をなすような配
置としてもよく、要するに、ポケット３０の外周側に連
続的に配置されていればよい。さらに、前記実施例で
は、外周抵抗部５０の表面は平坦な形状となっていた
が、図５に示すように、ラビリンスを形成して抵抗を増
大させた外周抵抗部１００としてもよく、あるいは一部
または全部にテーパを付けた外周抵抗部１０１〜１０３
としてもよい。

【００３１】また、外周抵抗部５０の表面は、軸受面１
２と略同一面上に配置されていればよい。つまり、軸受
面１２と完全に同一面上に配置されていてもよく、ある
いは軸受面１２の位置よりも対向部材１５側に突出また
は逆に凹むように配置されていてもよい。しかし、軸受
面１２と完全に同一面上に配置するようにすれば、加工
を容易に行うことができる。そして、外周抵抗部５０の
幅Ｌ４や面積等は、任意である。しかし、幅Ｌ４や面積
等を大きくして外周抵抗部５０の抵抗を増大させるよう
にすることが好ましく、そうすることで排気路４０側に
気体が流れやすくなるため、流出流量Ｑｏｕｔをより一
層減じることが可能となる。

【００３２】また、前記実施例では、負圧吸引手段６０
は、負圧発生装置７０、制御装置８０、給気側流量セン
サ６１、および排気側流量センサ６２を備えた構成とな
っていたが、これらのうち制御装置８０、給気側流量セ
ンサ６１、および排気側流量センサ６２を省略し、負圧
発生装置７０のみで負圧吸引を行うようにしてもよい。
しかし、制御装置８０、給気側流量センサ６１、および
排気側流量センサ６２を設けておくことが好ましく、そ
うすることで確実かつ容易に流出流量Ｑｏｕｔ＝０とす
ることができる。

【００３３】さらに、前記実施例では、負圧発生装置７
０は、負圧イジェクタ７１、通気路７２、および電空レ
ギュレータ７５を備えた構成となっていたが、ポケット
３０内の気体を負圧吸引できれば、例えば、ポンプ等を
用いた他の構成であってもよい。

【００３４】そして、前記実施例では、静圧気体軸受１
０は直線案内面用のスラスト型静圧気体軸受となってい
たが、本発明の静圧気体軸受は、ラジアル型静圧気体軸
受に適用してもよい。

【００３５】また、前記実施例では、負圧吸引手段６０
が設けられ、この負圧吸引手段６０によりポケット３０
内の気体の負圧吸引を行っているが、本発明は、負圧吸
引手段６０を設けずに、排気路４０のみによりポケット
３０から気体を排出するようにしてもよく、この場合に
も流入流量Ｑｉｎの９５％以上を排気路４０に導くこと
ができる。例えば、平均的な静圧気体軸受１０におい
て、浮上量（図１中の間隔Ｈ）が約１０μｍの場合、流
入流量Ｑｉｎは約４Ｎリットル／ｍｉｎ（標準状態）と
なるが、その時の流出流量Ｑｏｕｔを約０．１Ｎリット
ル／ｍｉｎ（標準状態）にすることができる。このた
め、前記実施例の場合と同様に、高精度あるいは超精密
システム、特に測長系にレーザ干渉計を用いている場合
などにおいて、流出気体の温度や流れによるシステムへ
の悪影響を回避できる。しかし、負圧吸引手段６０を設
けておくことが好ましく、そうすることで周囲への気体
の流出をより一層確実に抑えることができるうえ、流出
流量Ｑｏｕｔ＝０、つまり流入流量Ｑｉｎの１００％を
排気路４０に導くこともできる。

【００３６】なお、本発明の効果を確かめるために次の
ような実験を行った。前記実施例（負圧吸引手段６０を
設置した場合）において、浮上量Ｈ（μｍ）に対する、
排気率Ｑｒ（％）、負荷容量Ｗ（ｋｇｆ）、負荷制御圧
力Ｐｓｕｃ（ＭＰａ）の関係を調べた。図６には、この
実験の結果が示されている。図６によれば、全ての浮上
量Ｈの値に対し、排気率Ｑｒ（＝排出流量Ｑｅｘ／流入
流量Ｑｉｎ）は１００％となっており、本発明の効果が
顕著に示されている。また、負荷容量Ｗが小さく、浮上
量Ｈが大きい程、負荷制御圧力Ｐｓｕｃを上げる必要の
あることが示されている。なお、参考として負圧吸引手
段６０を設けずに４本の排気路４０により排出を行った
場合（後述の図７参照）の排気率Ｑｒの値が黒丸印で示
されている。負圧吸引手段６０を設置した前記実施例の
場合は、負圧吸引手段６０を設けない場合に比べ、排気
率Ｑｒが高く、優れた排気特性であることがわかる。

【００３７】また、負圧吸引手段６０を設けずに１本ま
たは４本の排気路４０により排出を行った場合におい
て、浮上量Ｈ（μｍ）に対する、排気率Ｑｒ（％）、負
荷容量Ｗ（ｋｇｆ）、流入流量Ｑｉｎ（リットル／ｍｉ
ｎ）、流出流量Ｑｏｕｔ（リットル／ｍｉｎ）の関係を
調べた。図７および図８には、この実験の結果が示され
ている。図７によれば、排気路４０の本数が１本の場合
でも４本の場合でも、流入流量Ｑｉｎの９５％以上の排
気を行うことができることが示されており、本発明の効
果が顕著に示されている。また、排気路４０の本数が１
本の場合では、４本の場合に比べ、浮上量Ｈの大きい領
域で排気率Ｑｒの低下が見られるが、使用領域（浮上量
Ｈが８〜１２μｍ程度）では排気率Ｑｒの差は僅かとな
っていることがわかる。図８によれば、流出流量Ｑｏｕ
ｔは、浮上量Ｈの小さい領域で一定となっており、特に
排気路４０の本数が４本の場合には、使用領域でも一定
となっている。また、浮上量Ｈが１０μｍの時、流入流
量Ｑｉｎが約４Ｎリットル／ｍｉｎ（図７参照）に対
し、流出流量Ｑｏｕｔは約０．１Ｎリットル／ｍｉｎ
（図８参照）となっていることがわかる。

【００３８】

【発明の効果】以上に述べたように本発明によれば、軸
受面に供給された気体を、外周抵抗部により流出を抑え
ながらポケットで採集して排気路を通して外部に排出す
るので、周囲への気体の流出を抑えることができ、流出
気体の温度や流れによる高精度あるいは超精密システム
への悪影響を回避できるという効果がある。

【００３９】また、負圧吸引手段を設け、ポケット内の
気体の負圧吸引を行うようにした場合には、周囲への気
体の流出量をより一層抑ることができ、ゼロにすること
もできるという効果がある。そして、この負圧吸引手段
を、給気側流量センサ、排気側流量センサ、負圧発生装
置、および制御装置を備えた構成とした場合には、給気
側流量センサおよび排気側流量センサによる検出流量が
略等しくなるように制御装置で負圧発生装置を制御する
ことにより、周囲への気体の流出量を容易かつ確実にゼ
ロとすることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す全体構成図。

【図２】前記実施例の一部の拡大詳細図。

【図３】前記実施例の一部の別の拡大詳細図。

【図４】本発明の変形例を示す概略構成図。

【図５】本発明の別の変形例を示す概略構成図。

【図６】本発明（負圧吸引手段を設けた前記実施例の場
合）の実験結果の説明図。

【図７】本発明（負圧吸引手段を設けない場合）の実験
結果の説明図。

【図８】本発明（負圧吸引手段を設けない場合）の実験
結果の別の説明図。

【符号の説明】

１０静圧気体軸受１２軸受面２０給気路３０，９０〜９３ポケット４０排気路５０，１００〜１０３外周抵抗部６０負圧吸引手段６１給気側流量センサ６２排気側流量センサ７０負圧発生装置７１負圧イジェクタ７２通気路７５電空レギュレータ８０制御装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】軸受面に開口されてこの軸受面に気体を
供給する給気路と、前記軸受面の外周側に配置されかつ
前記軸受面から凹状に窪んで形成されたポケットと、こ
のポケットの壁面に開口されてポケットと外部とを連通
する排気路と、前記ポケットの外周側に連続的に配置さ
れかつ前記軸受面と略同一面上に配置された外周抵抗部
とを備えたことを特徴とする静圧気体軸受。
【請求項２】請求項１に記載した静圧気体軸受におい
て、前記排気路を通して前記ポケット内の気体の負圧吸
引を行う負圧吸引手段を備えたことを特徴とする静圧気
体軸受。
【請求項３】請求項２に記載した静圧気体軸受におい
て、前記負圧吸引手段は、前記給気路の途中に設けられ
た給気側流量センサと、前記排気路の途中に設けられた
排気側流量センサと、前記排気路の途中であって前記排
気側流量センサの下流側に設けられた負圧発生装置と、
前記給気側流量センサと前記排気側流量センサとによる
検出流量が略等しくなるように前記負圧発生装置を制御
する制御装置とを備えたことを特徴とする静圧気体軸
受。