JP2000062950A - 浮上装置 - Google Patents
浮上装置Info
- Publication number
- JP2000062950A JP2000062950A JP23332298A JP23332298A JP2000062950A JP 2000062950 A JP2000062950 A JP 2000062950A JP 23332298 A JP23332298 A JP 23332298A JP 23332298 A JP23332298 A JP 23332298A JP 2000062950 A JP2000062950 A JP 2000062950A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- air
- levitation
- ceramic material
- glass substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 対象物を安定的に浮上させることが可能で、
塵埃を発生したり、クリンルームの清浄度を悪化させる
ことのない浮上装置を提供する。 【解決手段】 浮上装置１０は、ベース材１５上に平行
に配置された複数のエア供給管１３と、ガラス基板１１
の形状に合わせてこれらのエア供給管１３に分散配置さ
れた複数の通気性セラミックス材１２と、ストッパ２１
ａ，２１ｂなどをを備えている。そして、エアホース１
４を経由して気体供給管１３に供給された圧縮空気が通
気性セラミックス材１２を通して上方ヘ噴出し、ガラス
基板１１を浮上させる。
塵埃を発生したり、クリンルームの清浄度を悪化させる
ことのない浮上装置を提供する。 【解決手段】 浮上装置１０は、ベース材１５上に平行
に配置された複数のエア供給管１３と、ガラス基板１１
の形状に合わせてこれらのエア供給管１３に分散配置さ
れた複数の通気性セラミックス材１２と、ストッパ２１
ａ，２１ｂなどをを備えている。そして、エアホース１
４を経由して気体供給管１３に供給された圧縮空気が通
気性セラミックス材１２を通して上方ヘ噴出し、ガラス
基板１１を浮上させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ガラス基板や
シリコンウエハーなどの物品を空中に浮上させた状態で
保持する装置に関する。
シリコンウエハーなどの物品を空中に浮上させた状態で
保持する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルーム内において液晶ガラス基
板などを搬送する場合、従来より、専用カセットに液晶
ガラス基板を格納し、このカセットをベルトコンベアで
搬送する方法、あるいはロボットのアームに真空吸着パ
ットを設け、液晶ガラス基板を吸着した状態でアームを
作動させて搬送する方法などが採用されている。
板などを搬送する場合、従来より、専用カセットに液晶
ガラス基板を格納し、このカセットをベルトコンベアで
搬送する方法、あるいはロボットのアームに真空吸着パ
ットを設け、液晶ガラス基板を吸着した状態でアームを
作動させて搬送する方法などが採用されている。
【０００３】一方、セラミックス多孔体を通じて圧力気
体を噴出させることによって対象物を浮上させる浮上装
置が、特開昭６３−２０７５８９号公報などに開示され
ている。
体を噴出させることによって対象物を浮上させる浮上装
置が、特開昭６３−２０７５８９号公報などに開示され
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】現在、液晶ガラス基板
のサイズは７６０ｍｍ×８００ｍｍ×１．１ｍｍが主流
であるが、パーソナルコンピュータ用の液晶ガラス基板
の場合、板厚が薄くなるほど画像が鮮明になる傾向があ
るため、最近では、８００ｍｍ×１１００ｍｍ×０．７
ｍｍのサイズの需要が増大している。
のサイズは７６０ｍｍ×８００ｍｍ×１．１ｍｍが主流
であるが、パーソナルコンピュータ用の液晶ガラス基板
の場合、板厚が薄くなるほど画像が鮮明になる傾向があ
るため、最近では、８００ｍｍ×１１００ｍｍ×０．７
ｍｍのサイズの需要が増大している。
【０００５】ところが、板厚が０．７ｍｍになると、自
重によって、液晶ガラス基板の中心付近に４０ｍｍ程度
の撓みが生ずるため、従来のように、カセットに格納し
てベルトコンベアで搬送する方式では、振動によって液
晶ガラス基板が落下して破損したり、自重による撓みが
原因となって液晶ガラス基板が破損することが多い。
重によって、液晶ガラス基板の中心付近に４０ｍｍ程度
の撓みが生ずるため、従来のように、カセットに格納し
てベルトコンベアで搬送する方式では、振動によって液
晶ガラス基板が落下して破損したり、自重による撓みが
原因となって液晶ガラス基板が破損することが多い。
【０００６】一方、ロボットのアームなどを用いて液晶
ガラス基板を移送する場合、アームの真空パットで液晶
ガラス基板を吸着しているが、この真空を解除すると
き、液晶ガラス基板が破損することが多い。
ガラス基板を移送する場合、アームの真空パットで液晶
ガラス基板を吸着しているが、この真空を解除すると
き、液晶ガラス基板が破損することが多い。
【０００７】このような問題を解決するためには、液晶
ガラス基板を撓ませることなく、しかも、真空パットな
どで吸着することなく浮上させる方法、すなわち、空気
の噴流を液晶ガラス基板の下面に衝突させ、空気噴流が
有する運動量によって液晶ガラス基板を浮上させる方法
を利用すれば良い。
ガラス基板を撓ませることなく、しかも、真空パットな
どで吸着することなく浮上させる方法、すなわち、空気
の噴流を液晶ガラス基板の下面に衝突させ、空気噴流が
有する運動量によって液晶ガラス基板を浮上させる方法
を利用すれば良い。
【０００８】しかし、空気噴流による浮上方法を採用し
た場合、図４に示すように、清浄度を維持するためにク
リーンルーム３４内に発生させている一定の空気流（一
方向流３５）が、空気噴流によって乱され、作業者３６
から発生する塵埃がクリーンルーム３４内の清浄度を悪
化させるため、このような空気噴流による浮上方法は採
用不可能である。
た場合、図４に示すように、清浄度を維持するためにク
リーンルーム３４内に発生させている一定の空気流（一
方向流３５）が、空気噴流によって乱され、作業者３６
から発生する塵埃がクリーンルーム３４内の清浄度を悪
化させるため、このような空気噴流による浮上方法は採
用不可能である。
【０００９】一方、特開昭６３−２０７５８９号公報な
どに開示されている浮上装置は、フロートテーブルやス
ライドテーブルなどに適したものであるが、クリーンル
ーム内において、液晶ガラス基板などを浮上させるため
に用いることはできない。
どに開示されている浮上装置は、フロートテーブルやス
ライドテーブルなどに適したものであるが、クリーンル
ーム内において、液晶ガラス基板などを浮上させるため
に用いることはできない。
【００１０】そこで、本発明が解決しようとする課題
は、対象物を安定的に浮上させることが可能で、塵埃を
発生したり、クリンルームの清浄度を悪化させることの
ない、浮上装置を提供することにある。
は、対象物を安定的に浮上させることが可能で、塵埃を
発生したり、クリンルームの清浄度を悪化させることの
ない、浮上装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明の浮上装置は、浮上対象物の形状に合わせて
分散配置された複数の通気性セラミックス材と、通気性
セラミックス材を通して上方ヘ気体を噴出させる気体供
給手段とを備えたことを特徴とする。ここで、浮上対象
物の形状に合わせて分散配置とは、浮上対象物の水平投
影の範囲内に分散配置することをいう。
め、本発明の浮上装置は、浮上対象物の形状に合わせて
分散配置された複数の通気性セラミックス材と、通気性
セラミックス材を通して上方ヘ気体を噴出させる気体供
給手段とを備えたことを特徴とする。ここで、浮上対象
物の形状に合わせて分散配置とは、浮上対象物の水平投
影の範囲内に分散配置することをいう。
【００１２】このような構成とすることにより、複数の
通気性セラミックス材から噴出した気体が、それぞれの
通気性セラミックス材の上面に気体膜を形成するため、
これらの気体膜で浮上対象物を安定的に浮上させること
ができる。
通気性セラミックス材から噴出した気体が、それぞれの
通気性セラミックス材の上面に気体膜を形成するため、
これらの気体膜で浮上対象物を安定的に浮上させること
ができる。
【００１３】この場合、浮上対象物を浮上させる噴出気
体は、通気性セラミックス材内部の空隙を通過すること
によって、細かく分散された状態で噴出するため、クリ
ーンルーム内の一方向流を乱すことがなく、清浄度を悪
化させることもない。また、クリーンルームレベルの環
境下において、通気性セラミックス材自体が酸化した
り、変質することがないため、長期間に渡って使用して
も塵埃を発生することがない。
体は、通気性セラミックス材内部の空隙を通過すること
によって、細かく分散された状態で噴出するため、クリ
ーンルーム内の一方向流を乱すことがなく、清浄度を悪
化させることもない。また、クリーンルームレベルの環
境下において、通気性セラミックス材自体が酸化した
り、変質することがないため、長期間に渡って使用して
も塵埃を発生することがない。
【００１４】また、本発明の浮上装置では、気体供給手
段として、略平行に配置された気体供給管と、気体供給
管に形成され通気性セラミックス材が装着可能な気体吹
出口とを備えることにより、浮上対象物の形状に合わせ
て分散配置された複数の通気性セラミックス材に対し
て、均一かつ安定的に気体を供給することが可能となる
ため、対象物を安定的に浮上させることができる。
段として、略平行に配置された気体供給管と、気体供給
管に形成され通気性セラミックス材が装着可能な気体吹
出口とを備えることにより、浮上対象物の形状に合わせ
て分散配置された複数の通気性セラミックス材に対し
て、均一かつ安定的に気体を供給することが可能となる
ため、対象物を安定的に浮上させることができる。
【００１５】さらに、本発明の浮上装置においては、通
気性セラミックス材からの気体噴出によって浮上する浮
上対象物を一定位置に保持する位置決め機構を備えるこ
とにより、浮上対象物が浮上中に勝手に移動するのを阻
止することができるため、落下による破損などを防止す
ることができる。
気性セラミックス材からの気体噴出によって浮上する浮
上対象物を一定位置に保持する位置決め機構を備えるこ
とにより、浮上対象物が浮上中に勝手に移動するのを阻
止することができるため、落下による破損などを防止す
ることができる。
【００１６】この場合、位置決め機構として、浮上対象
物の周辺に分散配置された複数の通気性セラミックス材
と、通気性セラミックス材を通して浮上対象物方向ヘ気
体を噴出させる気体供給手段とを備えることにより、浮
上対象物を噴出気体で一定位置に保持することが可能と
なるため、いわゆる、無接触で位置決めすることができ
る。
物の周辺に分散配置された複数の通気性セラミックス材
と、通気性セラミックス材を通して浮上対象物方向ヘ気
体を噴出させる気体供給手段とを備えることにより、浮
上対象物を噴出気体で一定位置に保持することが可能と
なるため、いわゆる、無接触で位置決めすることができ
る。
【００１７】一方、本発明の浮上装置においては、通気
性セラミックス材の気孔率を３０％〜５０％とすること
により、必要最小限の気体噴出量で浮上対象物を安定的
に浮上させることが可能となり、クリーンルーム内の一
方向流を乱すこともない。なお、通気性セラミックス材
の気孔率が３０％未満の場合は気体の圧力損失が大きく
なり浮上能力が低下しがちであり、５０％を越える場合
は噴出量が増大しクリーンルーム内の一方向流を乱す可
能性が高まるので、３０％〜５０％の範囲内とすること
が望ましい。
性セラミックス材の気孔率を３０％〜５０％とすること
により、必要最小限の気体噴出量で浮上対象物を安定的
に浮上させることが可能となり、クリーンルーム内の一
方向流を乱すこともない。なお、通気性セラミックス材
の気孔率が３０％未満の場合は気体の圧力損失が大きく
なり浮上能力が低下しがちであり、５０％を越える場合
は噴出量が増大しクリーンルーム内の一方向流を乱す可
能性が高まるので、３０％〜５０％の範囲内とすること
が望ましい。
【００１８】また、本発明の浮上装置では、通気性セラ
ミックス材として、アルミナと、シリカ、チタニカ、マ
グネシア、カルシア、イットリアのいずれか一つ以上と
を含有する多孔質焼結体を用いることにより、耐酸化性
などがさらに向上し、経年変化もなくなるため、塵埃な
どを発生することがなく、長期間に渡って安定した気体
噴出を行うことができる。
ミックス材として、アルミナと、シリカ、チタニカ、マ
グネシア、カルシア、イットリアのいずれか一つ以上と
を含有する多孔質焼結体を用いることにより、耐酸化性
などがさらに向上し、経年変化もなくなるため、塵埃な
どを発生することがなく、長期間に渡って安定した気体
噴出を行うことができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は第１実施形態の浮上装置を
示す斜視図、図２は図１のＡ−Ａ線における断面図であ
る。
に基づいて説明する。図１は第１実施形態の浮上装置を
示す斜視図、図２は図１のＡ−Ａ線における断面図であ
る。
【００２０】本実施形態の浮上装置１０においては、ベ
ース材１５上に複数のエア供給管１３が平行に配置さ
れ、浮上対象物であるガラス基板１１の形状に合わせて
複数の通気性セラミックス材１２がこれらのエア供給管
１３に分散配置されている。すなわち、ガラス基板１１
の水平投影の範囲内に複数の通気性セラミックス材１２
が分散配置されている。また、気体供給管１３には、エ
アホース１４を経由して圧縮空気が供給され、この圧縮
空気が通気性セラミックス材１２を通して上方ヘ噴出さ
れる。さらに、ベース材１５はレール２０にスライド自
在に係止されている。なお、通気性セラミックス材１２
は、エア供給管１３に形成された空気吹出口１３ａにそ
れぞれ取り付けられている
ース材１５上に複数のエア供給管１３が平行に配置さ
れ、浮上対象物であるガラス基板１１の形状に合わせて
複数の通気性セラミックス材１２がこれらのエア供給管
１３に分散配置されている。すなわち、ガラス基板１１
の水平投影の範囲内に複数の通気性セラミックス材１２
が分散配置されている。また、気体供給管１３には、エ
アホース１４を経由して圧縮空気が供給され、この圧縮
空気が通気性セラミックス材１２を通して上方ヘ噴出さ
れる。さらに、ベース材１５はレール２０にスライド自
在に係止されている。なお、通気性セラミックス材１２
は、エア供給管１３に形成された空気吹出口１３ａにそ
れぞれ取り付けられている
【００２１】複数の通気性セラミックス材１２から噴出
した空気は、それぞれの通気性セラミックス材１２の上
面に空気膜を形成するため、これらの空気膜によって、
通気性セラミックス材１２から１ｍｍ程度の位置にガラ
ス基板１１を浮上させることができる。この場合、ガラ
ス基板１１は分散配置された複数の通気性セラミック材
１２から噴出する空気で浮上しているため、自重による
撓みが発生せず、破損のおそれもない。
した空気は、それぞれの通気性セラミックス材１２の上
面に空気膜を形成するため、これらの空気膜によって、
通気性セラミックス材１２から１ｍｍ程度の位置にガラ
ス基板１１を浮上させることができる。この場合、ガラ
ス基板１１は分散配置された複数の通気性セラミック材
１２から噴出する空気で浮上しているため、自重による
撓みが発生せず、破損のおそれもない。
【００２２】また、本実施形態の浮上装置では、ガラス
基板１１の位置決め機構として、ガラス基板１１の周辺
にストッパ２１ａ，２１ｂが分散配置されているが、ス
トッパ２１ａ，２１ｂにはそれぞれ通気性セラミックス
材２１ｘ，２１ｙが取り付けられ、これらの通気性セラ
ミックス材２１ｘ，２１ｙを通してガラス基板１１方向
ヘ空気を噴出させる構造である。
基板１１の位置決め機構として、ガラス基板１１の周辺
にストッパ２１ａ，２１ｂが分散配置されているが、ス
トッパ２１ａ，２１ｂにはそれぞれ通気性セラミックス
材２１ｘ，２１ｙが取り付けられ、これらの通気性セラ
ミックス材２１ｘ，２１ｙを通してガラス基板１１方向
ヘ空気を噴出させる構造である。
【００２３】したがって、通気性セラミック材１２から
の噴出空気で浮上しているガラス基板１１を、通気性セ
ラミックス材２１ｘ，２１ｙから噴出する空気によって
一定位置に保持することが可能であり、いわゆる、無接
触でガラス基板１１を一定位置に拘束することができ
る。これによって、ガラス基板１１が浮上中に勝手に移
動するのを阻止することができるため、落下による破損
などを防止することができる。
の噴出空気で浮上しているガラス基板１１を、通気性セ
ラミックス材２１ｘ，２１ｙから噴出する空気によって
一定位置に保持することが可能であり、いわゆる、無接
触でガラス基板１１を一定位置に拘束することができ
る。これによって、ガラス基板１１が浮上中に勝手に移
動するのを阻止することができるため、落下による破損
などを防止することができる。
【００２４】ここで、図３，４を参照して、浮上装置１
０を使用状態について説明する。図３は浮上装置１０の
使用状態を示す斜視図、図４は浮上装置１０の使用状態
を示す正面図である。なお、図３，４においては、浮上
装置１０のストッパ２１ａ，２１ｂを省略して記載して
いる。
０を使用状態について説明する。図３は浮上装置１０の
使用状態を示す斜視図、図４は浮上装置１０の使用状態
を示す正面図である。なお、図３，４においては、浮上
装置１０のストッパ２１ａ，２１ｂを省略して記載して
いる。
【００２５】図３は浮上装置１０を利用して搬送装置３
０を形成した例を示している。図３に示すように、浮上
装置１０は、フレーム体３１に固定されたレール２０に
スライド自在に取り付けられ、駆動部３２で回転駆動さ
れたベルト３３によって浮上装置１０をレール２０に沿
って移動させることができる。
０を形成した例を示している。図３に示すように、浮上
装置１０は、フレーム体３１に固定されたレール２０に
スライド自在に取り付けられ、駆動部３２で回転駆動さ
れたベルト３３によって浮上装置１０をレール２０に沿
って移動させることができる。
【００２６】したがって、ガラス基板１１を浮上装置１
０によって浮上させ、その状態のままで、浮上装置１０
をレール２０に沿って移動させることにより、ガラス基
板１１を無接触で搬送することができる。
０によって浮上させ、その状態のままで、浮上装置１０
をレール２０に沿って移動させることにより、ガラス基
板１１を無接触で搬送することができる。
【００２７】この場合、通気性セラミックス材１２，２
１ｘ，２１ｙから噴出する空気は、通気性セラミックス
材１２，２１ｘ，２１ｙ内部の空隙を通過することによ
って、細かく分散された状態で噴出されるため、図４に
示すように、クリーンルーム３４内に形成されている一
方向流３５を乱すことがなく、作業者３６から発生する
塵埃がガラス基板１１に付着したり、クリーンルーム３
４内の清浄度が悪化することがない。
１ｘ，２１ｙから噴出する空気は、通気性セラミックス
材１２，２１ｘ，２１ｙ内部の空隙を通過することによ
って、細かく分散された状態で噴出されるため、図４に
示すように、クリーンルーム３４内に形成されている一
方向流３５を乱すことがなく、作業者３６から発生する
塵埃がガラス基板１１に付着したり、クリーンルーム３
４内の清浄度が悪化することがない。
【００２８】また、クリーンルーム３４内において、長
期間に渡って稼働させた場合でも、通気性セラミックス
材１２，２１ｘ，２１ｙ自体が酸化したり、変質するこ
とがないため、塵埃の発生源となることもない。
期間に渡って稼働させた場合でも、通気性セラミックス
材１２，２１ｘ，２１ｙ自体が酸化したり、変質するこ
とがないため、塵埃の発生源となることもない。
【００２９】一方、本実施形態の浮上装置１０において
は、通気性セラミックス材１２，２１ｘ，２１ｙの気孔
率を３５％としたところ、必要最小限の空気噴出量で、
ガラス基板１１を安定的に浮上させることが可能で、ク
リーンルーム３４内の一方向流３５を乱すこともなかっ
た。
は、通気性セラミックス材１２，２１ｘ，２１ｙの気孔
率を３５％としたところ、必要最小限の空気噴出量で、
ガラス基板１１を安定的に浮上させることが可能で、ク
リーンルーム３４内の一方向流３５を乱すこともなかっ
た。
【００３０】また、浮上装置１０では、通気性セラミッ
クス材１２，２１ｘ，２１ｙとしてアルミナ、シリカを
含有する多孔質焼結体を用いている。多孔質焼結体は、
粒径１０μ〜１００μのセラミック粒子と添加材との混
合体を加圧、加熱することによって焼結させたものであ
るが、その内部には微小な空孔が多数形成され、全体的
には３５％程度の気孔率となっている。また、アルミ
ナ、シリカのほかに、チタニカ、マグネシア、カルシ
ア、イットリアなどを含有する多孔質焼結体を用いるこ
ともできる。
クス材１２，２１ｘ，２１ｙとしてアルミナ、シリカを
含有する多孔質焼結体を用いている。多孔質焼結体は、
粒径１０μ〜１００μのセラミック粒子と添加材との混
合体を加圧、加熱することによって焼結させたものであ
るが、その内部には微小な空孔が多数形成され、全体的
には３５％程度の気孔率となっている。また、アルミ
ナ、シリカのほかに、チタニカ、マグネシア、カルシ
ア、イットリアなどを含有する多孔質焼結体を用いるこ
ともできる。
【００３１】なお、通気性セラミックス材１２，２１
ｘ，２１ｙの気孔率は、原料となるセラミック粒子の粒
径、添加材の種類、加圧力、焼結温度などを変えること
によって、調整することができるため、作業条件に適し
た気孔率を設定することができる。この多孔質焼結体
は、空気中で酸化、変質しにくいため、塵埃などを発生
することもなく、長期間に渡って安定した空気噴出を行
うことができる。
ｘ，２１ｙの気孔率は、原料となるセラミック粒子の粒
径、添加材の種類、加圧力、焼結温度などを変えること
によって、調整することができるため、作業条件に適し
た気孔率を設定することができる。この多孔質焼結体
は、空気中で酸化、変質しにくいため、塵埃などを発生
することもなく、長期間に渡って安定した空気噴出を行
うことができる。
【００３２】次に、図５〜７を参照して、本発明の第２
実施形態について説明する。図５は第２実施形態の浮上
装置を示す平面図、図６は前記浮上装置の側面図、図７
は前記浮上装置の正面図である。
実施形態について説明する。図５は第２実施形態の浮上
装置を示す平面図、図６は前記浮上装置の側面図、図７
は前記浮上装置の正面図である。
【００３３】本実施形態の浮上装置５０は、円板状をし
たシリコンウエハー５１を浮上させるためのものであ
り、平行に配置されたエア供給管５２に、シリコンウエ
ハー５１の形状に合わせて複数の通気性セラミックス材
５３が分散配置されている。また、シリコンウエハー５
１の外周には、通気性セラミック５４ａを備えたストッ
パ５４が配置されている。通気性セラミックス材５３を
通過した空気は上向きに噴出し、通気性セラミック５４
ａを通過した空気はシリコンウエハー５１方向へ噴出す
る。
たシリコンウエハー５１を浮上させるためのものであ
り、平行に配置されたエア供給管５２に、シリコンウエ
ハー５１の形状に合わせて複数の通気性セラミックス材
５３が分散配置されている。また、シリコンウエハー５
１の外周には、通気性セラミック５４ａを備えたストッ
パ５４が配置されている。通気性セラミックス材５３を
通過した空気は上向きに噴出し、通気性セラミック５４
ａを通過した空気はシリコンウエハー５１方向へ噴出す
る。
【００３４】このような構成とすることにより、浮上装
置１０の場合と同様、シリコンウエハー５１を安定的に
浮上させることが可能であり、浮上したシリコンウエハ
ー５１は通気性セラミック５４ａを通して噴出する空気
によって一定位置に保持される。したがって、シリコン
ウエハー５１を浮上させた浮上装置５０をそのまま移動
させる機構を設ければ、シリコンウエハー５１を無接触
で搬送することが可能である。
置１０の場合と同様、シリコンウエハー５１を安定的に
浮上させることが可能であり、浮上したシリコンウエハ
ー５１は通気性セラミック５４ａを通して噴出する空気
によって一定位置に保持される。したがって、シリコン
ウエハー５１を浮上させた浮上装置５０をそのまま移動
させる機構を設ければ、シリコンウエハー５１を無接触
で搬送することが可能である。
【００３５】また、浮上装置５０の場合、通気性セラミ
ック材５３，５４ａを通して噴出する空気が周囲の空気
流を乱すことがないので、クリーンルーム内で使用して
も、清浄度を悪化させたり、塵埃の発生源となることが
ない。このため、浮上装置５０は、クリーンルーム内に
おいても、長期間に渡って使用することができる。
ック材５３，５４ａを通して噴出する空気が周囲の空気
流を乱すことがないので、クリーンルーム内で使用して
も、清浄度を悪化させたり、塵埃の発生源となることが
ない。このため、浮上装置５０は、クリーンルーム内に
おいても、長期間に渡って使用することができる。
【００３６】
【発明の効果】本発明により、以下の効果を奏すること
ができる。
ができる。
【００３７】（１）浮上対象物の形状に合わせて分散配
置された複数の通気性セラミックス材と、通気性セラミ
ックス材を通して上方ヘ気体を噴出させる気体供給手段
とを備えたことにより、複数の通気性セラミックス材か
ら噴出する気体で形成される気体膜によって浮上対象物
を安定的に浮上させることができる。この場合、通気性
セラミックス材から細かく分散された状態で気体が噴出
するため、クリーンルーム内の一方向流を乱すことがな
く、清浄度を悪化させることもない。また、クリーンル
ーム内で通気性セラミックス材が酸化、変質することが
ないため、長期間に渡って使用しても、塵埃を発生する
こともない。
置された複数の通気性セラミックス材と、通気性セラミ
ックス材を通して上方ヘ気体を噴出させる気体供給手段
とを備えたことにより、複数の通気性セラミックス材か
ら噴出する気体で形成される気体膜によって浮上対象物
を安定的に浮上させることができる。この場合、通気性
セラミックス材から細かく分散された状態で気体が噴出
するため、クリーンルーム内の一方向流を乱すことがな
く、清浄度を悪化させることもない。また、クリーンル
ーム内で通気性セラミックス材が酸化、変質することが
ないため、長期間に渡って使用しても、塵埃を発生する
こともない。
【００３８】（２）気体供給手段として、略平行に配置
された気体供給管と、気体供給管に形成され通気性セラ
ミックス材が装着可能な気体吹出口とを備えることによ
り、浮上対象物の形状に合わせて分散配置された複数の
通気性セラミックス材に対して、均一かつ安定的に気体
を供給することが可能となるため、対象物を安定的に浮
上させることができる。
された気体供給管と、気体供給管に形成され通気性セラ
ミックス材が装着可能な気体吹出口とを備えることによ
り、浮上対象物の形状に合わせて分散配置された複数の
通気性セラミックス材に対して、均一かつ安定的に気体
を供給することが可能となるため、対象物を安定的に浮
上させることができる。
【００３９】（３）通気性セラミックス材からの気体噴
出によって浮上する浮上対象物を一定位置に保持する位
置決め機構を備えることにより、浮上対象物が浮上中に
勝手に移動するのを阻止することができるため、落下に
よる破損などを防止することができる。
出によって浮上する浮上対象物を一定位置に保持する位
置決め機構を備えることにより、浮上対象物が浮上中に
勝手に移動するのを阻止することができるため、落下に
よる破損などを防止することができる。
【００４０】（４）位置決め機構として、浮上対象物の
周辺に分散配置された複数の通気性セラミックス材と、
通気性セラミックス材を通して浮上対象物方向ヘ気体を
噴出させる気体供給手段とを備えることにより、浮上対
象物を噴出気体で一定位置に保持することが可能となる
ため、無接触で位置決めすることができる。
周辺に分散配置された複数の通気性セラミックス材と、
通気性セラミックス材を通して浮上対象物方向ヘ気体を
噴出させる気体供給手段とを備えることにより、浮上対
象物を噴出気体で一定位置に保持することが可能となる
ため、無接触で位置決めすることができる。
【００４１】（５）通気性セラミックス材の気孔率を３
０％〜５０％とすることにより、必要最小限の気体噴出
量で浮上対象物を安定的に浮上させることが可能とな
り、クリーンルーム内の一方向流を乱すこともなくな
る。
０％〜５０％とすることにより、必要最小限の気体噴出
量で浮上対象物を安定的に浮上させることが可能とな
り、クリーンルーム内の一方向流を乱すこともなくな
る。
【００４２】（６）通気性セラミックス材として、アル
ミナと、シリカ、チタニカ、マグネシア、カルシア、イ
ットリアのいずれか一つ以上とを含有する多孔質焼結体
を用いることにより、耐酸化性などがさらに向上するた
め、塵埃などを発生することもなく、長期間に渡って安
定した気体噴出を行うことができる。
ミナと、シリカ、チタニカ、マグネシア、カルシア、イ
ットリアのいずれか一つ以上とを含有する多孔質焼結体
を用いることにより、耐酸化性などがさらに向上するた
め、塵埃などを発生することもなく、長期間に渡って安
定した気体噴出を行うことができる。
【図１】第１実施形態の浮上装置を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線における断面図である。
【図３】図１の浮上装置の使用状態を示す斜視図であ
る。
る。
【図４】図１の浮上装置の使用状態を示す正面図であ
る。
る。
【図５】第２実施形態の浮上装置を示す平面図である。
【図６】図５に示す浮上装置の側面図である。
【図７】図５に示す浮上装置の正面図である。
１０，５０ 浮上装置
１１ ガラス基板
１２，２１ｘ，２１ｙ，５３，５４ａ 通気性セラミッ
ク材 １３，５２ エア供給管 １３ａ 空気吹出口 １５ ベース材 １４ エアホース ２０ レール ２１ａ，２１ｂ，５４ ストッパ ３０ 搬送装置 ３１ フレーム体 ３２ 駆動部 ３３ ベルト ３４ クリーンルーム ３５ 一方向流 ３６ 作業者 ５１ シリコンウエハー
ク材 １３，５２ エア供給管 １３ａ 空気吹出口 １５ ベース材 １４ エアホース ２０ レール ２１ａ，２１ｂ，５４ ストッパ ３０ 搬送装置 ３１ フレーム体 ３２ 駆動部 ３３ ベルト ３４ クリーンルーム ３５ 一方向流 ３６ 作業者 ５１ シリコンウエハー
Claims (6)
- 【請求項１】 浮上対象物の形状に合わせて分散配置さ
れた複数の通気性セラミックス材と、前記通気性セラミ
ックス材を通して上方ヘ気体を噴出させる気体供給手段
とを備えた浮上装置。 - 【請求項２】 前記気体供給手段として、略平行に配置
された気体供給管と、前記気体供給管に形成され前記通
気性セラミックス材が装着可能な気体吹出口とを備えた
請求項１記載の浮上装置。 - 【請求項３】 前記通気性セラミックス材からの気体噴
出によって浮上する前記浮上対象物を一定位置に保持す
る位置決め機構を備えた請求項１，２記載の浮上装置。 - 【請求項４】 前記位置決め機構として、前記浮上対象
物の周辺に分散配置された複数の通気性セラミックス材
と、前記通気性セラミックス材を通して前記浮上対象物
方向ヘ気体を噴出させる気体供給手段とを備えた請求項
３記載の浮上装置。 - 【請求項５】 前記通気性セラミックス材の気孔率が３
０％〜５０％である請求項１〜４記載の浮上装置。 - 【請求項６】 前記通気性セラミックス材が、アルミナ
と、シリカ、チタニカ、マグネシア、カルシア、イット
リアのいずれか一つ以上とを含有する多孔質焼結体であ
る請求項１〜５記載の浮上装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23332298A JP2000062950A (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | 浮上装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23332298A JP2000062950A (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | 浮上装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000062950A true JP2000062950A (ja) | 2000-02-29 |
Family
ID=16953334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23332298A Pending JP2000062950A (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | 浮上装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000062950A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002301767A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ラミネート装置およびラミネート方法ならびにフィルム付き基板 |
| KR20030083502A (ko) * | 2002-04-23 | 2003-10-30 | 주식회사 디엠에스 | 분사 유체를 이용하는 액정 디스플레이 소자 제조방법 |
| KR100490971B1 (ko) * | 2002-12-12 | 2005-05-23 | (주)에스티아이 | 액정표시장치용 유리기판의 부상장치 |
| JP2005191553A (ja) * | 2003-12-01 | 2005-07-14 | Smc Corp | ワーク浮上装置 |
| US6969224B2 (en) | 2003-12-01 | 2005-11-29 | Smc Kabushiki Kaisha | Workpiece levitating device |
| CN1318151C (zh) * | 2004-02-05 | 2007-05-30 | 东京毅力科创株式会社 | 涂敷膜形成装置及涂敷膜形成方法 |
| KR100742153B1 (ko) | 2005-07-08 | 2007-07-24 | 주식회사 태성기연 | 판유리 이송장치 |
| JP2009051672A (ja) * | 2002-04-18 | 2009-03-12 | Olympus Corp | 基板搬送装置 |
-
1998
- 1998-08-19 JP JP23332298A patent/JP2000062950A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002301767A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ラミネート装置およびラミネート方法ならびにフィルム付き基板 |
| JP4744713B2 (ja) * | 2001-04-05 | 2011-08-10 | 東芝モバイルディスプレイ株式会社 | ラミネート装置およびラミネート方法 |
| JP2009051672A (ja) * | 2002-04-18 | 2009-03-12 | Olympus Corp | 基板搬送装置 |
| KR20030083502A (ko) * | 2002-04-23 | 2003-10-30 | 주식회사 디엠에스 | 분사 유체를 이용하는 액정 디스플레이 소자 제조방법 |
| KR100490971B1 (ko) * | 2002-12-12 | 2005-05-23 | (주)에스티아이 | 액정표시장치용 유리기판의 부상장치 |
| JP2005191553A (ja) * | 2003-12-01 | 2005-07-14 | Smc Corp | ワーク浮上装置 |
| US6969224B2 (en) | 2003-12-01 | 2005-11-29 | Smc Kabushiki Kaisha | Workpiece levitating device |
| CN1318151C (zh) * | 2004-02-05 | 2007-05-30 | 东京毅力科创株式会社 | 涂敷膜形成装置及涂敷膜形成方法 |
| KR100742153B1 (ko) | 2005-07-08 | 2007-07-24 | 주식회사 태성기연 | 판유리 이송장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2006129385A1 (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP2010212666A (ja) | ウェーハ表面測定装置 | |
| JP6765751B2 (ja) | 被加工物の保持機構及び加工装置 | |
| JP2000062951A (ja) | 搬送装置 | |
| JP2000062950A (ja) | 浮上装置 | |
| KR102605684B1 (ko) | 기판 부상 반송 장치 | |
| JP2009073646A (ja) | 浮上方法及び浮上ユニット | |
| TWI557835B (zh) | Substrate delivery device | |
| JP2004244186A (ja) | 薄板の搬送用支持装置 | |
| WO2000003428A1 (fr) | Dispositif de transfert de substrat et son procede de fonctionnement | |
| JP2009032744A (ja) | ベルヌーイチャック | |
| JPH08330383A (ja) | 基板受渡し装置 | |
| JP4629007B2 (ja) | 薄板状材料搬送用エアテーブル及び薄板状材料搬送装置 | |
| JP2010143733A (ja) | 基板ハンドリングシステム及び基板ハンドリング方法 | |
| JP2000136024A (ja) | 浮上装置 | |
| TW200413697A (en) | Substrate holding device, substrate processing apparatus, and method of releasing substrate | |
| JP4442685B2 (ja) | ワークの支持装置 | |
| JP5221508B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2002127070A (ja) | 板状体保持装置 | |
| WO2012066613A1 (ja) | 通気性搬送用テーブル | |
| TWI843075B (zh) | 拾取筒夾、拾取裝置及安裝裝置 | |
| JP2001277173A (ja) | プリント基板の吸着装置及び投入機 | |
| JP2012040668A (ja) | ワーク保持装置 | |
| JP2018152447A (ja) | 基板浮上搬送装置 | |
| JP2006049493A (ja) | 基板搬送モジュールならびにそれを用いた基板搬送装置および基板搬送方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040831 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041027 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20050315 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |