JP4442685B2 - ワークの支持装置 - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1では、エア浮上搬送装置が開示されているが、このエア浮上搬送装置は、平面基板の下方に配置されたエア浮上ユニットからエアを噴出して平面基板を浮上させつつ、送り機構によって前方へ移送させるようにしたものであって、平面基板の搬送方向の先端に位置するエア浮上ユニットの下流端近傍に平面基板の浮上量を大きくする機構を設けて、平面基板とエア浮上ユニットとが干渉して破損、疵付くことがないようにしたものである。
この方式では、ワークWの質量と気体の流量のバランスを調整することで安定性を得るようにしている。
このように、上記ワーク支持装置1は気体の圧力によりワークWを支持するものであるため、特に非接触方式を必要とする精密ワークの支持用として適しているといえる。
精密ワークは、ウエハ、基板、ガラス板など薄く軽いプレート形状であるため、気体の流量を微小に制御することが必要となり、支持板4にはパンチングメタルPmや焼結プレートPsなどの多孔質材が主に用いられている(図8、図9参照)。パンチングメタルPmは、一面に、10mm間隔で形成された径5mm程の小孔hを有している。また、焼結プレートPsでは、多孔質材S表面をガラス材Gで被覆し、一面に50mm間隔で、径30mmの小孔hを形成している。
例えば0.1MPaの元圧をかけたときに、パンチングメタルPmや焼結プレートPsのような支持板4から、噴出させる気体の流量を0.5NL/min/cm2以下にすることは現状では困難で、この流量では近年の厚み10μmオーダーのフィルム状ワークWでは、ワークWの質量と気体流量とのバランスが崩れ、いわゆる波打ちや膨らみが起こり、支持姿勢が不安定となる(図7参照)。
また、支持面がパンチングメタルPmや焼結プレートPsでは,姿勢が不安定になったワークWが接触したとき、ワークW表面が疵付く虞がある。
そのため、より軽量で薄化したフィルム状ワークWでも安定した姿勢で支持することができ、且つワークWが接触した場合でも、疵付くことがない、支持装置が求められている。
本発明は、以上のような背景から提案されたもので、より通気抵抗の大きい通気性多孔シートを支持面として用いることにより、支持面全体から、制御された微小流量の気体を放出させて、軽量薄化ワークの安定支持を可能とした、ワークの支持装置を提供することを目的とするものである。
この際、通気性多孔シート(14)の取付部材(13)上に形成される空間(17)に、噴出された気体が滞留するため、ワーク(W)が薄いフィルム状シートであっても、全体が所定の気体圧で支えられ、安定してワーク(W)を支えることができる。
図1、図2にワークとして、薄化フィルム状ワークWの支持装置10の要部を模式的に示す。
この支持装置10は、基体11上に配設された気密状の枠部材12と、この枠部材12内側の基体11上に配設された少なくとも一つの取付部材13と、これら枠部材12と取付部材13とにより支持される通気性多孔シート14と、通気性多孔シート14と枠部材12と、基体11とにより画成した密閉空間15に加圧気体を供給する加圧気体供給源16とを備えている。
この場合、通気性多孔シート14と取付部材13とは、適宜な固定手段で固定することができる。すなわち、通気性多孔シート14と取付部材13とは、適宜な当て部材18を介して、ボルトなど機械的に固定してもよいし、接着、融着によって固定することもできる。
これら固定箇所は、取付部材13の高さ寸法によって高さが規定され、これら固定箇所以外の通気性多孔シート14は、凸状に膨出させていることから、固定箇所を底部とした、凸状に膨出する箇所に比較して窪んだ状態として、気体を滞留させる空間17が形成される。
なお、この支持装置10においては、厚さが例えば0.5mmの通気性多孔シート14を、基体11上の取付部材13に取着するに当たり、隣接する凸状に膨出する通気性多孔シート14の頂部間の間隔を支持ピッチPとして、30mmとしている。
なお、加圧気体供給源16には、周知の構成のものを用いることができる。
この支持装置10により支持搬送される対象のワークWについて説明する。このワークWは、例えば厚さ50μmの樹脂上に、厚さ30μmの銅による回路パターンを形成した、単位面積当たりの質量0.02g/cm2としている。
気体の噴出によって、通気性多孔シート14上面とワークWとの間に気体が充満し、通気性多孔シート14における窪んだ箇所である、空間17に気体が溜まり気体層が形成される。
ワークWはこれら気体圧によって、支持することができる。この場合、通気性多孔シート14は、全面に微細孔が存在し、一方、空間17は、気体は噴出はしないものの、支持箇所周囲の膨出する箇所から噴出した気体が滞留するため、全体として略一定圧の気体層が形成され、ワークWは安定した状態で支持される。
11 基体
12 枠部材
13 取付部材
14 通気性多孔シート
15 密閉空間
16 加圧気体供給源
17 凹部
18 当て部材
19 供給孔
20 コネクタ部材
21 ワーク搬送手段
21a 回動プーリ
21b 駆動ベルト
W ワーク
H 連通口
Claims (6)
- 基体(11)と、
基体(11)上に配設された枠部材(12)と、
前記枠部材(12)内側の前記基体(11)上に配設された少なくとも一つの取付部材(13)と、
前記枠部材(12)と前記取付部材(13)とにより支持され、前記枠部材(12)と前記取付部材(13)との間で凸状に膨出する通気性多孔シート(14)と、
前記通気性多孔シート(14)と前記枠部材(12)と、前記基体(11)とにより画成した密閉空間(15)に加圧気体を供給する加圧気体供給源(16)とを備えてなり、
前記枠部材(12)と前記取付部材(13)との間で凸状に膨出する箇所では、前記通気性多孔シート(14)から噴出する気体によりワーク(W)を支持すると共に、
前記凸状に膨出する箇所以外では、前記取付部材(13)上であって、前記凸状に膨出した前記通気性多孔シート(14)と前記ワーク(W)とで囲まれた空間(17)に前記気体を滞留させて気体層を形成し、当該気体層の気体圧により前記ワーク(W)を支持することを特徴とするワークの支持装置。 - 前記取付部材(13)は前記基体(11)上に稜部として構成したことを特徴とする請求項1に記載のワークの支持装置。
- 前記取付部材(13)は前記基体(11)上に柱状部として構成したことを特徴とする請求項1に記載のワークの支持装置。
- 前記密閉空間(15)は、互いに連通させたことを特徴とする請求項1ないし3のうち、いずれか1に記載のワークの支持装置。
- 前記通気性多孔シート(14)は、フッ素系樹脂で構成したことを特徴とする請求項1ないし4のうち、いずれか1に記載のワークの支持装置。
- 前記通気性多孔シート(14)上のワーク(W)支持面に近接して、ワーク(W)に接触して前記ワーク(W)を搬送方向に案内するワーク搬送手段(21)を設けたことを特徴とする請求項1ないし5のうち、いずれか1に記載のワークの支持装置。
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