JPH06221634A - クリーンルーム用の局所クリーンユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 クリーンルーム用のクリーン搬送車３０の開
口部孔５４Ａ、５４Ａ…にはカバー５４、５４…が設け
られていて、カバー５４はファン４６で吸い込まれたク
リーンルーム３２内のエア４７の逆流を防止する。従っ
て、ファン４６を介してクリーン度が低下したエアがク
リーンルーム３２内に流入することを防止し、さらに、
クリーンルーム３２内のエアが渦流となることを防止す
る。 【効果】 クリーンルーム内のクリーン度を維持すると
共に局所クリーンユニット内のクリーン度を維持し、か
つクリーンルーム及び局所クリーンユニット内のそれぞ
れのクリーン度の調和を図る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はクリーンルーム内の局所
クリーンエリアのクリーン度をクリーンルーム内より高
くするために、クリーンルーム内で使用されるクリーン
ルーム用の局所クリーンユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ハードディスクは基板上に磁性膜が
形成されるため、成膜前の基板上に粉塵が付着されてい
ると磁性膜に欠陥が生じ磁気ハードディスクとしての品
質が低下する。従って、製造工程中にディスク基板への
粉塵の付着を防止する必要がある。そのため、一般に磁
気ハードディスクや液晶用ガラス基板等はクリーンルー
ム内で製造されている。

【０００３】ところで、近年磁気ハードディスクは記憶
密度を高める事により記憶容量が増大された小径の磁気
ハードディスクが開発されている。この磁気ハードディ
スクは小径でありながら記憶容量の増大が図られてい
て、記憶密度を高めるためには従来の磁気ハードディス
ク以上にディスク基板に付着する粉塵を制限する必要が
ある。従って、高記憶容量の小径の磁気ハードディスク
が製造されるクリーンルームは、従来の大径の磁気ハー
ドディスクが製造されるクリーンルームより高いクリー
ン度が要求される。そして、従来のクリーンルームより
高いクリーン度を得るために、従来のクリーンルーム内
に局所クリーンエリアを備えた局所クリーンユニットを
設ける方法が知られている。この局所クリーンユニット
は例えばクリーントンネル、クリーン倉庫、クリーンコ
ンベア及びクリーン搬送車等が該当する。

【０００４】以下、クリーン搬送車に基づいて、局所ク
リーンエリアを得るための構成を説明する。図５はクリ
ーン搬送車の側面図であり、図６はその要部拡大図であ
る。図５に示すようにクリーン搬送車１０は底部に車輪
１２、１２…を備えていて、車輪１２、１２…でクリー
ンルーム（図示せず。）内の走行レール１３に沿って走
行する。また、クリーン搬送車１０の頂部には高性能微
粒子除去フィルタ（以下、ＨＥＰＡフィルタと称す。）
１４が設けられている。ＨＥＰＡフィルタ１４の上方に
はファン１６、１６、１６が設けられている。

【０００５】ファン１６にはシャフト１６Ａを介して羽
根１６Ｂ、１６Ｂ…が回転自在に支持されている（図６
参照）。そして、羽根１６Ｂ、１６Ｂ…の回転でクリー
ンルーム内のエア１７をＨＥＰＡフィルタ１４を介して
クリーン搬送車１０内の局所クリーンエリア１８内に供
給する。これにより、クリーンルーム内のエア１７に含
有されている粉塵がＨＥＰＡフィルタ１４で除去されて
局所クリーンエリア１８内に供給されるので、局所クリ
ーンエリア１８内のクリーン度が高くなる。尚、図５上
で２２は局所クリーンエリア１８内に収納された磁気ハ
ードディスク用の基板である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図６に
示すように羽根１６Ｂ、１６Ｂ…の回転でクリーンルー
ム内からファン室２４に供給されたエア１７の一部が、
羽根１６Ｂとファン本体１６Ｃ間の隙間等を経てクリー
ンルーム内に戻される。戻されたエア１７は機械的回転
部を備えたファン１６を介しているので、粉塵の含有量
が増加している。従って、クリーンルーム内のクリーン
度が低下するという問題がある。

【０００７】一方、クリーンルームはダウンフロー方式
のものが一般的であり、この方式はエアを天井からグレ
ーチング床に下降させて、クリーンルーム内の粉塵をグ
レーチング床を介してクリーンルーム外に除去するもの
である。従って、エアを天井からグレーチング床に下降
させる流れに渦等が生じると、クリーンルーム内の粉塵
を除去することができない。そして、羽根１６Ｂ、１６
Ｂ…の回転でクリーンルーム内からファン室２４に供給
されたエア１７の一部が、羽根１６Ｂとファン本体１６
Ｃ間を介してクリーンルーム内に戻されると、クリーン
ルーム内に粉塵の混入した渦１７Ａが生じる（図６参
照）。従って、クリーンルーム内の粉塵をグレーチング
床を介してクリーンルーム外に除去することができない
ので、クリーンルーム内のクリーン度が低下するという
問題がある。

【０００８】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、局所クリーンエリアのクリーン度を高めると共
にクリーンルーム内のクリーン度の低下を防止して、局
所クリーンエリア及びクリーンルームのそれぞれのクリ
ーン度の調和を図ることができるクリーンルーム用の局
所クリーンユニットを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、クリーンルーム内で局所クリーンユニット
が配置されると共に、局所クリーンユニットに設けられ
た吸込ファンでクリーンルーム内のエアをフィルタを介
して局所クリーンユニット内に供給して、局所クリーン
ユニット内のクリーン度をクリーンルームより高くする
クリーンルーム用の局所クリーンユニットにおいて、前
記局所クリーンユニットの吸込ファンのエア吸込開口部
に逆流防止部材が設けられたことを特徴とする。

【００１０】また、本発明は、前記目的を達成する為
に、前記クリーンルーム内を移動可能な局所クリーンユ
ニットに設けられている逆流防止部材が略半球状に形成
されたことを特徴とする。

【００１１】

【作用】本発明によれば、クリーンルーム内で使用され
る局所クリーンユニットは、吸込ファンで吸い込んだク
リーンルーム内のエアをフィルタを介して局所クリーン
ユニット内に供給して、局所クリーンユニット内のクリ
ーン度をクリーンルームより高くする。この局所クリー
ンユニットには吸込ファンのエア吸込開口部が形成され
ていて、エア吸込開口部には逆流防止部材が設けられて
いる。そして、逆流防止部材は吸込ファンで吸い込まれ
たクリーンルーム内のエアの逆流を防止する。従って、
吸込ファンを介してクリーン度が低下したエアがクリー
ンルーム内に流入することを防止でき、さらに、クリー
ンルーム内のエアに渦流が発生することを防止できるま
た、局所クリーンユニットをクリーンルーム内で移動す
る場合には、逆流防止部材を略半球状に形成する。従っ
て、局所クリーンユニットが移動する際にクリーンルー
ム内のエアが略半球状の逆流防止部材に沿って流れるの
で、クリーンルーム内のエアに渦流が発生することを防
止できる。

【００１２】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るクリーン
ルーム用の局所クリーンユニットについて詳説する。図
１は局所クリーンユニットがクリーンルーム内で使用さ
れている状態を説明する図、図２は局所クリーンユニッ
トの傾斜図、図３は局所クリーンユニットの側面図、図
４は局所クリーンユニット用の逆流防止部材の要部拡大
図である。

【００１３】図１に示すように局所クリーンユニット
（以下、クリーン搬送車と称す。）３０はクリーンルー
ム３２内の走行レール３４に沿って移動する。走行レー
ル３４はクリーンルーム３２を構成しているグレーチン
グ床３６に形成されていて、グレーチング床３６はクリ
ーンルーム３２の底部から所望の高さ位置（Ｈ）に配設
されている。また、クリーンルーム３２の天井部にはＨ
ＥＰＡフィルタ３８が設けられている。図１上で、ＨＥ
ＰＡフィルタ３８の端部３８Ａとグレーチング床３６の
端部３６Ａは側壁部４０で連結されていて、側壁部４０
はリターンシャフト４２を形成する。リターンシャフト
４２はグレーチング床３６の下方に導かれたエアをＨＥ
ＰＡフィルタ３８の上方に案内する。尚、４７はクリー
ンルーム３２内をダウンフローするエアである。

【００１４】図２に示すようにクリーン搬送車３０は天
井部にＨＥＰＡフィルタ４４を備えていて、ＨＥＰＡフ
ィルタ４４の上方の天井板４５にはファン４６、４６…
が設けられている。ファン４６にはシャフト４６Ａを介
して羽根４６Ｂ、４６Ｂ…が回転自在に支持されている
（図４参照）。そして、羽根４６Ｂ、４６Ｂ…が回転す
るとクリーンルーム３２内のエア４７をＨＥＰＡフィル
タ４４を介してクリーン搬送車３０内の局所クリーンエ
リア４８内に供給する（図３参照）。局所クリーンエリ
ア４８内には磁気ハードディスク用の基板等のワーク５
０が収納されている。

【００１５】また、クリーン搬送車３０の天井板４５に
はファン４６、４６…を覆う逆流防止部材としてのカバ
ー５４、５４…が設けられている。カバー５４は略半球
状に形成されていて、カバー５４の頂部には開口孔５４
Ａが円状に形成されている。従って、ファン４６の羽根
４６Ｂ、４６Ｂ…が回転すると、クリーンルーム３２内
のエア４７がカバー５４の開口孔５４Ａを介してファン
室５６（図３参照）に供給される。

【００１６】前記の如く構成されたクリーンルーム用の
クリーン搬送車の作用を説明する。先ず、ファン４６、
４６…の羽根４６Ｂ、４６Ｂ…を回転させると、クリー
ンルーム３２内のエア４７がカバー５４の開口孔５４Ａ
の方向に吸引される。そして、吸引された略全量のエア
４７はカバー５４の開口孔５４Ａ内に導かれる。開口孔
５４Ａ内に導かれたエア４７はファン４６を介してファ
ン室５６に供給される。ファン室５６に供給されたエア
４７は略全量がＨＥＰＡフィルタ４４を介してクリーン
搬送車３０内の局所クリーンエリア４８内に供給され
る。これにより、クリーンルーム３２内のエア４７に含
有されている粉塵がＨＥＰＡフィルタ４４で除去されて
局所クリーンエリア４８内に供給されるので、局所クリ
ーンエリア４８内のクリーン度が高くなる。

【００１７】一方、羽根４６Ｂ、４６Ｂ…の回転でクリ
ーンルーム３２内からファン室５６にエア４７が供給さ
れると、ファン室５６内のエア圧が上昇する。従って、
ファン室５６からＨＥＰＡフィルタ４４を介して局所ク
リーンエリア４８内に供給されない一部のエア４７は、
羽根４６Ｂ、４６Ｂ…とファン本体４６Ｃ間の隙間等を
経てカバー５４内に戻される（図４参照）。カバー５４
内に戻されたエア４７は機械的回転部を備えたファン１
６を介しているので、粉塵の含有量が増加している。

【００１８】しかしながら、カバー５４内に戻されたエ
ア４７はカバー５４の曲線に沿って上昇し、カバー５４
の曲線の途中から、羽根４６Ｂ、４６Ｂ…の方向に吸込
される。従って、カバー５４内に戻されたエア４７はフ
ァン４６を介して再度ファン室５６に供給される。これ
により、カバー５４内に戻されたエア４７をカバー５４
からクリーンルーム３２内に排出しないようにすること
ができる。

【００１９】一方、羽根４６Ｂ、４６Ｂ…の回転でカバ
ー５４の開口孔５４Ａの方向に吸引されても、カバー５
４の開口孔５４Ａ内に導かれないエア４７が存在する
（図３、図４参照）。しかしながら、開口孔５４Ａ内に
導かれないエア４７は図４に示すようにカバー５４の外
周に沿って下降する。この場合、カバー５４は略半球状
に形成されているのでカバー５４の外周に沿って下降す
るエア４７は渦を発生させずに、ダウンフローの状態を
維持される。

【００２０】ところで、クリーン搬送車３０がクリーン
ルーム３２内を走行している場合、クリーン搬送車３０
と共にカバー５４が水平方向に移動する。しかしなが
ら、カバー５４は略半球状に形成されているのでカバー
５４が水平方向に移動しても、クリーンルーム３２内の
エア４７はカバー５４の曲線に沿って移動する。従っ
て、カバー５４の曲線に沿って移動したエア４７が渦流
となることを防止できる。

【００２１】前記実施例では局所クリーンユニットをク
リーン搬送車として説明したが、これに限らず、局所ク
リーンユニットをクリーントンネルやクリーンコンベ
ア、クリーン倉庫等としてもよい。前記実施例では略半
球状のカバー５４を使用した場合について説明したが、
これに限らず、略半球状以外の矩形状等のカバーを使用
してもよい。但し、局所クリーンユニットがクリーン搬
送車の場合、矩形状等のカバーを使用するとクリーン搬
送車の走行時に、カバーに当接したクリーンルーム３２
内のエア４７が渦流となることが考えられる。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るクリー
ンルーム用の局所クリーンユニットによれば、クリーン
ルーム用の局所クリーンユニットには吸込ファンのエア
吸込開口部が形成されていて、エア吸込開口部には逆流
防止部材が設けられている。そして、逆流防止部材は吸
込ファンで吸い込まれたクリーンルーム内のエアの逆流
を防止する。従って、吸込ファンを介してクリーン度が
低下したエアがクリーンルーム内に流入することを防止
でき、さらに、クリーンルーム内のエアに渦流が発生す
ることを防止できる。

【００２３】また、局所クリーンユニットをクリーンル
ーム内で移動する場合には、逆流防止部材を略半球状に
形成する。従って、局所クリーンユニットが移動する際
にクリーンルーム内のエアが略半球状の逆流防止部材に
沿って流れるので、クリーンルーム内のエアに渦流が発
生することを防止できる。これにより、クリーンルーム
内のクリーン度を維持すると共に局所クリーンエリアの
クリーン度を維持して、クリーンルーム及び局所クリー
ンエリアのそれぞれのクリーン度の調和を図ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るクリーンルーム用の局所クリーン
ユニットがクリーンルーム内で使用されている状態を説
明する図

【図２】本発明に係るクリーンルーム用の局所クリーン
ユニットの斜視図

【図３】本発明に係るクリーンルーム用の局所クリーン
ユニットの側面図

【図４】本発明に係るクリーンルーム用の局所クリーン
ユニットのエアの流れを説明した図

【図５】従来のクリーンルーム用の局所クリーンユニッ
トの側面図

【図６】従来のクリーンルーム用の局所クリーンユニッ
トのエアの流れを説明した図

【符号の説明】

３０…クリーン搬送車（クリーンルーム用の局所クリー
ンユニット） ３２…クリーンルーム ４４…ＨＥＰＡフィルタ ４６…ファン（吸込ファン） ４７…クリーンルーム内のエア ４８…局所クリーンエリア ５４…カバー（逆流防止部材） ５４Ａ…開口孔（エア吸込開口部）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルーム内で局所クリーンユニッ
   トが配置されると共に、局所クリーンユニットに設けら
   れた吸込ファンでクリーンルーム内のエアをフィルタを
   介して局所クリーンユニット内に供給して、局所クリー
   ンユニット内のクリーン度をクリーンルームより高くす
   るクリーンルーム用の局所クリーンユニットにおいて、 前記局所クリーンユニットの吸込ファンのエア吸込開口
   部に逆流防止部材が設けられたことを特徴とするクリー
   ンルーム用の局所クリーンユニット。
2. 【請求項２】 前記局所クリーンユニットはクリーンル
   ーム内を移動することを特徴とする請求項１記載のクリ
   ーンルーム用の局所クリーンユニット。
3. 【請求項３】 前記クリーンルーム内を移動可能な局所
   クリーンユニットに設けられている逆流防止部材が略半
   球カバーに形成されたことを特徴とする請求項２記載の
   クリーンルーム用の局所クリーンユニット。