JPH02253039A - ボールねじ移動機構のクリーン化機構 - Google Patents
ボールねじ移動機構のクリーン化機構Info
- Publication number
- JPH02253039A JPH02253039A JP7439889A JP7439889A JPH02253039A JP H02253039 A JPH02253039 A JP H02253039A JP 7439889 A JP7439889 A JP 7439889A JP 7439889 A JP7439889 A JP 7439889A JP H02253039 A JPH02253039 A JP H02253039A
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- housing
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 9
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
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- 238000010186 staining Methods 0.000 description 1
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- Transmission Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野］
この発明はボールねじ移動機構の発塵に対するクリーン
化機構に関するものである。
化機構に関するものである。
［従来の技術］
電子部品やコンピュータに使用される磁気ディスクなど
の製造または検査においてはワークの高精度の直線移動
のためにボールねじによる移動機構が使用されている。
の製造または検査においてはワークの高精度の直線移動
のためにボールねじによる移動機構が使用されている。
製造または検査においては、塵埃による汚染を排除する
ために作業はクリーンルーム内で行われる。
ために作業はクリーンルーム内で行われる。
第２図（ａＬ（ｂ） 、（Ｃ）および（ｄ）はボールね
じによる移動機構の構造図で、図（ａ）、（ｂ）はそれ
ぞれ側面および平面を、図（ｃ）はＡ−Ａ断面を、また
図（ｄ）は斜視外観を示す。移動機構１は雄ねじを有す
る回転軸ＩＩと、これに回転ボール（図示省略）を介在
して係合した雌ねじを有する移動子１２、回転軸１１を
両側で軸支する支持板！３、回転軸１１に対する駆動モ
ータＩ４よりなる。これらはハウジング■５によりカバ
ーされ、回転軸１１の回転により移動子１２に載置され
た被移動体２を移動するものである。
じによる移動機構の構造図で、図（ａ）、（ｂ）はそれ
ぞれ側面および平面を、図（ｃ）はＡ−Ａ断面を、また
図（ｄ）は斜視外観を示す。移動機構１は雄ねじを有す
る回転軸ＩＩと、これに回転ボール（図示省略）を介在
して係合した雌ねじを有する移動子１２、回転軸１１を
両側で軸支する支持板！３、回転軸１１に対する駆動モ
ータＩ４よりなる。これらはハウジング■５によりカバ
ーされ、回転軸１１の回転により移動子１２に載置され
た被移動体２を移動するものである。
［解決しようとする課題］
」―記のボールねじの移動機構１は、回転軸１１の回転
により移動子１２の雌ねじ、または介在している回転ボ
ールとの間の摩擦により塵埃が発生する。
により移動子１２の雌ねじ、または介在している回転ボ
ールとの間の摩擦により塵埃が発生する。
図（ｄ）において移動子１２か矢印Ｂの方向に移動する
ときは、ハウジングＩ５の上面に設けられた開Ｉ」溝１
５１，１５２の一力より矢印Ｃ２のように吸入され、他
方より矢印ＣＩ のように排出されるエアにより塵埃が
クリーンルーム内に放出されて汚染される。
ときは、ハウジングＩ５の上面に設けられた開Ｉ」溝１
５１，１５２の一力より矢印Ｃ２のように吸入され、他
方より矢印ＣＩ のように排出されるエアにより塵埃が
クリーンルーム内に放出されて汚染される。
移動方向が反対のときも同様である。ここで、開口溝１
５１，１５２は被移動体２を載置するために、図（ｃ）
のように移動子１２に設けられた突起部１２１，１２２
の移動に必要なもので、これがあるためにハウジング１
５は完全に密閉することができない。これに対して、塵
埃の放出を防止することが要請されている。
５１，１５２は被移動体２を載置するために、図（ｃ）
のように移動子１２に設けられた突起部１２１，１２２
の移動に必要なもので、これがあるためにハウジング１
５は完全に密閉することができない。これに対して、塵
埃の放出を防止することが要請されている。
この発明は以上に鑑みてなされたもので、ボールねじの
移動機構に発生する塵埃を、クリーンルームを汚染する
ことな（外部に排出するクリーン化機構を提供すること
を目的とするものである。
移動機構に発生する塵埃を、クリーンルームを汚染する
ことな（外部に排出するクリーン化機構を提供すること
を目的とするものである。
［課題を解決するための手段］
この発明はボールねじと、上面にボールねしの移動子に
対する開に１溝を有するハウジングとよりなる移動機構
におけるクリーン化機構であって、ボールねじの回転軸
の支持板に設けられた風孔と、支持板の外方に設けられ
た排気ボックス、およびハウジングの内部のボールねし
の下部に設けられ、空気孔を適当に分散して穿孔した隔
離板とによりエアダクトを構成する。移動子の移動によ
り生ずる負の風圧に対してハウジングの開１」溝よりエ
アを吸入し、正の風圧に対してエアダクトを経由してハ
ウジングの底面に設けられた排気孔と、排気孔に接続さ
れた排気ポンプにより、ボールねじに発生した塵埃を含
むエアを外部に排出するものである。
対する開に１溝を有するハウジングとよりなる移動機構
におけるクリーン化機構であって、ボールねじの回転軸
の支持板に設けられた風孔と、支持板の外方に設けられ
た排気ボックス、およびハウジングの内部のボールねし
の下部に設けられ、空気孔を適当に分散して穿孔した隔
離板とによりエアダクトを構成する。移動子の移動によ
り生ずる負の風圧に対してハウジングの開１」溝よりエ
アを吸入し、正の風圧に対してエアダクトを経由してハ
ウジングの底面に設けられた排気孔と、排気孔に接続さ
れた排気ポンプにより、ボールねじに発生した塵埃を含
むエアを外部に排出するものである。
［作用］
以」二の構成によるクリーン化機構においては、移動子
の移動により、移動と反対側に生ずる負の風圧に対して
は、開口溝のその側の部分よりエアが吸入されることは
従来と同様であるが、移動方向に生ずる正の風圧に対し
ては、排気ポンプの吸引作用により、塵埃を含んだエア
はエアダクトを経由して外部に排出される。ここで、隔
離板はエアの流入量を調整するためのもので、もしこれ
がないときは排気孔と開口溝が短絡してエアが多量に流
れ、従って排気ポンプの負荷が過大となって大型のポン
プが必要となる。なお、隔離板の空気孔は、若干のエア
の流通を許してエアダクトの効果を向上するものである
。
の移動により、移動と反対側に生ずる負の風圧に対して
は、開口溝のその側の部分よりエアが吸入されることは
従来と同様であるが、移動方向に生ずる正の風圧に対し
ては、排気ポンプの吸引作用により、塵埃を含んだエア
はエアダクトを経由して外部に排出される。ここで、隔
離板はエアの流入量を調整するためのもので、もしこれ
がないときは排気孔と開口溝が短絡してエアが多量に流
れ、従って排気ポンプの負荷が過大となって大型のポン
プが必要となる。なお、隔離板の空気孔は、若干のエア
の流通を許してエアダクトの効果を向上するものである
。
［実施例コ
第１図（ａ）、（ｂ）および（Ｃ）は、この発明による
ボールねじ移動機構のクリーン化機構の実施例の構造図
で、図（ａ）は全体の側面を、図（ｂ）は支持板を、図
（Ｃ）は隔離板をそれぞれ示す。図（ａ）において、ボ
ールねじの回転軸１１の両端を図（ｂ）に示す風孔Ｈｓ
ｌ ＋ Ｈｓ２ ＋ Ｈｓ３を有する支持板１６１．１
６２で軸支する。支持板の中央の円形孔Ｈｃは回転軸Ｉ
Ｉの軸受は用のものである。各支持板に対して外方に排
気ボックス３１．３２を設けて外部に対して気密とする
。また移動子Ｉ２の下部に図（ｃ）に示す空気孔４ａを
有する隔離板４を取り付けてハウジング１５の底面との
間に適当な寸法のエア通路を設ける。さらに、ハウジン
グＩ５の底面の中央に排気孔１５３を設け、これより排
気バイブ５により排気ポンプ６に接続する。排気ポンプ
６の容量は、ハウジングＩ５の体積と移動子Ｉ２の移動
速度などから泪算により求められる。
ボールねじ移動機構のクリーン化機構の実施例の構造図
で、図（ａ）は全体の側面を、図（ｂ）は支持板を、図
（Ｃ）は隔離板をそれぞれ示す。図（ａ）において、ボ
ールねじの回転軸１１の両端を図（ｂ）に示す風孔Ｈｓ
ｌ ＋ Ｈｓ２ ＋ Ｈｓ３を有する支持板１６１．１
６２で軸支する。支持板の中央の円形孔Ｈｃは回転軸Ｉ
Ｉの軸受は用のものである。各支持板に対して外方に排
気ボックス３１．３２を設けて外部に対して気密とする
。また移動子Ｉ２の下部に図（ｃ）に示す空気孔４ａを
有する隔離板４を取り付けてハウジング１５の底面との
間に適当な寸法のエア通路を設ける。さらに、ハウジン
グＩ５の底面の中央に排気孔１５３を設け、これより排
気バイブ５により排気ポンプ６に接続する。排気ポンプ
６の容量は、ハウジングＩ５の体積と移動子Ｉ２の移動
速度などから泪算により求められる。
以」−の機構９動作を説明するき、矢印Ｂの方向に移動
子１２が移動するとき、一方の側の負圧により、ハウジ
ング１５の開１”ｌ溝より矢印Ｃ２のエアが吸入される
。これに対して他方の側の正圧は、排気ポンプ６により
矢印Ｃ１′の経路で吸引されて外部に排出される。移動
方向が反対のときも同様で、エアが開［１溝から室内に
漏れることがなく塵埃によるクリーンルームの汚染が防
止される。
子１２が移動するとき、一方の側の負圧により、ハウジ
ング１５の開１”ｌ溝より矢印Ｃ２のエアが吸入される
。これに対して他方の側の正圧は、排気ポンプ６により
矢印Ｃ１′の経路で吸引されて外部に排出される。移動
方向が反対のときも同様で、エアが開［１溝から室内に
漏れることがなく塵埃によるクリーンルームの汚染が防
止される。
［発明の効果］
以上の説明により明らかなように、この発明によるボー
ルねし移動機構のクリーン化機構においては、ボールね
じの回転軸を軸支する支持板の風孔と、支持板の外方の
排気ボックスと、またハウ−〇− ジング内の隔離板により構成されたエアダクトを経由し
て、ボールねしに発生した塵埃を含んだエアか、排気パ
イプと排気ポンプにより強制的に外部にυＦ出されて１
１ｊ染が防止されるもので、電子部品や磁気ディスクな
どの精密部品の製造、検査を行うクリーンルーム内に使
用するときは、その清浄度の維持、向−Ｌに寄′与する
効果には大きいものがある。
ルねし移動機構のクリーン化機構においては、ボールね
じの回転軸を軸支する支持板の風孔と、支持板の外方の
排気ボックスと、またハウ−〇− ジング内の隔離板により構成されたエアダクトを経由し
て、ボールねしに発生した塵埃を含んだエアか、排気パ
イプと排気ポンプにより強制的に外部にυＦ出されて１
１ｊ染が防止されるもので、電子部品や磁気ディスクな
どの精密部品の製造、検査を行うクリーンルーム内に使
用するときは、その清浄度の維持、向−Ｌに寄′与する
効果には大きいものがある。
第１図（ａＬ（ｂ）および（Ｃ）は、この発明によるボ
ールねじ移動機構のクリーン化機構の実施例の構造図、
第２図（ａ） 、（ｂ） 、（ｃ）および（ｄ）は、従
来のボールねじ移動機構の構造図である。 １・・・ボールねし移動機構、１１・・・回転軸、１２
・・・移動子、 １２１，１２２・・・突起部
、１３１．１３２・・・支持板、 １４・・・駆動モ
ータ、１５・・・ハウジング、１５１，１５２・・・開
口溝、＋５３・・・排気孔、 １６１，１６２・
・・支持板、２・・・被移動体、 ３１．３２・
・・排気ボックス、４・・・隔離板、 ４ａ・
・・空気孔、５・・・排気パイプ、 ６・・・排気ポンプ。
ールねじ移動機構のクリーン化機構の実施例の構造図、
第２図（ａ） 、（ｂ） 、（ｃ）および（ｄ）は、従
来のボールねじ移動機構の構造図である。 １・・・ボールねし移動機構、１１・・・回転軸、１２
・・・移動子、 １２１，１２２・・・突起部
、１３１．１３２・・・支持板、 １４・・・駆動モ
ータ、１５・・・ハウジング、１５１，１５２・・・開
口溝、＋５３・・・排気孔、 １６１，１６２・
・・支持板、２・・・被移動体、 ３１．３２・
・・排気ボックス、４・・・隔離板、 ４ａ・
・・空気孔、５・・・排気パイプ、 ６・・・排気ポンプ。
Claims (1)
- ボールねじと、上面に該ボールねじの移動子に対する開
口溝を有するハウジングとよりなる移動機構において、
該ボールねじの回転軸の支持板に設けた風孔と、該支持
板の外方に設けた排気ボックス、および上記ハウジング
の内部の上記ボールねじの下部に設けられ、空気孔を適
当に分散して穿孔した隔離板とによりエアダクトを構成
し、上記移動子の移動により生ずる負の風圧に対して上
記ハウジングの開口溝よりエアを吸入し、正の風圧に対
して上記エアダクトを経由して上記ハウジングの底面に
設けられた排気孔と、該排気孔に接続された排気ポンプ
により、上記ボールねじに発生した塵埃を含むエアを外
部に排出することを特徴とする、ボールねじ移動機構の
クリーン化機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7439889A JP2652884B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | ボールねじ移動機構のクリーン化機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7439889A JP2652884B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | ボールねじ移動機構のクリーン化機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02253039A true JPH02253039A (ja) | 1990-10-11 |
| JP2652884B2 JP2652884B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=13546043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7439889A Expired - Lifetime JP2652884B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | ボールねじ移動機構のクリーン化機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2652884B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4142983C2 (de) * | 1990-12-25 | 2002-07-18 | Nsk Ltd | Kugelumlaufspindel |
| JP2003090411A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ボールねじ移動機構 |
| US6571932B1 (en) | 1995-04-18 | 2003-06-03 | Nsk, Ltd. | Dustproof linear actuator with an air venting device |
| JP2003222129A (ja) * | 2001-11-26 | 2003-08-08 | Nippon Thompson Co Ltd | スライド装置のシール構造 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009103262A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Nsk Ltd | 直線移動装置 |
| JP5234198B2 (ja) * | 2012-02-10 | 2013-07-10 | 日本精工株式会社 | 直線移動装置 |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP7439889A patent/JP2652884B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4142983C2 (de) * | 1990-12-25 | 2002-07-18 | Nsk Ltd | Kugelumlaufspindel |
| US6571932B1 (en) | 1995-04-18 | 2003-06-03 | Nsk, Ltd. | Dustproof linear actuator with an air venting device |
| US6695121B2 (en) | 1995-04-18 | 2004-02-24 | Nsk Ltd. | Dustproof linear actuator with an air venting device |
| JP2003090411A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ボールねじ移動機構 |
| JP2003222129A (ja) * | 2001-11-26 | 2003-08-08 | Nippon Thompson Co Ltd | スライド装置のシール構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2652884B2 (ja) | 1997-09-10 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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