JP2003222129A - スライド装置のシール構造 - Google Patents

スライド装置のシール構造

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JP2003222129A JP2002273342A JP2002273342A JP2003222129A JP 2003222129 A JP2003222129 A JP 2003222129A JP 2002273342 A JP2002273342 A JP 2002273342A JP 2002273342 A JP2002273342 A JP 2002273342A JP 2003222129 A JP2003222129 A JP 2003222129A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 このスライド装置のシール構造は，フォーム
ラバーから成るシール体を軌道レールに設けたカバー支
持部材に配設し，スライダ３の移動時にカバー支持部材
間の開口を良好に密封し，装置そのものの耐久性を向上
させる。 【解決手段】 カバー支持部材１６は，軌道レール２の
側部７に取り付けられたカバー部１９とそれと一体のシ
ール支持部２９とから成る。シール体１は，復元力を有
する柔軟な多孔質部材で構成され，シール支持部２９の
凹部２３に対向状態に当接して配置され，シール支持部
２９間の開口３４を密封する。スライダ３にはシール体
１の先端面２６間を通って延びる物体取付け用の突出部
１０が設けられている。軌道レール２に対するスライダ
３の往復移動時に，突出部１０はシール体１の先端面２
６に密接してシール体１を伸縮変形させて移動する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は，軌道部品と該軌
道部品に対して往復移動するスライダを有するスライド
装置において，スライダの往復移動で発生する塵埃，油
等の異物，又は外部から侵入する塵埃，油等の異物がス
ライド装置に出入するのを防止するシール構造に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来，クリーンルーム等で稼働される半
導体製造装置，工作機械，各種組立装置，試験装置等に
組み込まれるスライド装置として，図８及び図９に示す
ものが知られている。該スライド装置は，上面側が開口
した断面Ｕ字状で長尺な軌道レール２，軌道レール２の
上方に開口２７を持つＵ字状の凹部５内に移動可能に嵌
挿されたスライダ３Ｂ，スライダ３Ｂに螺合するボール
ねじ軸４，及びボールねじ軸４を回転駆動するモータ９
から構成されている。軌道レール２には，モータ９が取
り付けられたボールねじ軸４のモータ側の一端を支持す
る支持体１１と，ボールねじ軸４の他端を支持する支持
体１２とが設けられ，支持体１１，１２によってボール
ねじ軸４が回転自在に支持している。軌道レール２はね
じ等の適宜の固着手段によって支持台に固定されてい
る。スライダ３Ｂは，軌道レール２に対して転動体を介
して摺動自在に取り付けられている。軌道レール２の凹
部５は，底部６とその両側から起立する一対の側壁部７
Ａとから構成されている。一対の側壁部７Ａの対向面に
は，スライダ３Ｂが直線走行できるように，転動体が転
走する軌道溝８が長手方向に形成されている。スライダ
装置では，側壁部７Ａに形成された軌道溝８とスライダ
３Ｂに形成された軌道溝によって転動体が転走する負荷
路が形成されている。
【０００３】スライダ３Ｂは，テーブル等の物体（図示
せず）を取り付けるため側方に先端が上方に延びる一対
の取付けフランジ部１３を有している。取付けフランジ
部１３には，物体をボルトで固定するためのねじ穴１４
が形成されている。カバー１５Ｂは，スライダ３Ｂの取
付けフランジ部１３が往復移動する開口３３を除いて，
軌道レール２を覆うように支持体１１，１２に取り付け
られ，スライド装置の駆動部分として軌道レール２内に
収容されるスライダ３Ｂとボールねじ軸４の上部を覆
い，軌道レール２の内外への塵埃等の異物の出入を防止
している。スライダ３Ｂの取付けフランジ部１３は，カ
バー１５Ｂとの干渉を回避するため，軌道レール２の横
方向から上方に延びている。スライダ３Ｂには，ボール
ねじ軸４が螺合する螺旋溝を備えたボールねじナット１
７が取り付けられている。ボールねじ軸４とボールねじ
ナット１７から成る送りねじ機構は，ボールねじ軸４の
回転に応じてスライダ３Ｂを軌道レール２の軸方向に直
線移動させることができる。支持体１１，１２は，軌道
レール２の各側壁部７Ａの上面２０に固定されている。
軌道レール２の軌道溝８及び上面２０は，互いに平行に
加工されている。
【０００４】また，軌道レール２の側壁部７Ａの外面に
は，センサレール２２が取り付けられている。センサレ
ール２２には，予め決められた所定の位置にリミットセ
ンサ５２が設けられている。リミットセンサ５２が往復
移動状態のフランジ部１３を検出した検出信号は，リー
ド線２４を経てセンサ用コネクタ２５からコントローラ
に入力される。また，モータ用コネクタ２８からの制御
信号に応じてモータ９が制御される。モータ９の回転駆
動力は，カップリング３０を介してボールねじ軸４に伝
達される。また，スライダ３Ｂの摺動範囲は，支持体１
１と支持体１２とにそれぞれ取り付けられたストッパ３
１，３２によって規定されている。
【０００５】上記のようなスライド装置について，開口
３３を通じて塵埃等の異物が出入するのを防止するた
め，開口３３に蛇腹状のシール部材を設けたスライド装
置のシール構造が知られている。該シール構造では，開
口３３は軌道レール２の側壁部７Ａとカバー１５Ｂとの
互いに対向する対向面の一方に取り付けられた自己弾力
性を有する少なくとも一つの伸縮性シール部材によって
塞がれている。上記伸縮性シール部材は，スライダ３Ｂ
の摺動に伴って開口３３を通過する取付けフランジ部１
３によって一方の対向面に向かう方向に伸縮変形される
（例えば，特許文献１参照）。
【０００６】また，本発明者に係る出願であるスライド
装置のシール構造は，スライダの摺動に伴って取付けフ
ランジ部が通過できるように，軌道レールとカバーとの
間のスリットには伸縮性シール部材が配置されている。
伸縮性シール部材は，取付けフランジ部の周りにおいて
スリットをシールするため取付けフランジ部が通過する
領域では取付けフランジ部に密接した状態に分離され，
取付けフランジ部が通過する前後の領域では自己弾力性
により互いに衝合する上シール及び下シールから構成さ
れている。上シールと下シールに作用する重力の影響を
相殺するため，下シールの弾性力は上シールの弾性力よ
りも強く設定されている。更に，上シール及び下シール
は，それぞれ一方の側端部がスリットの開口縁部に取り
付けられ，他方の側端部が自己弾力性により互いに衝合
する帯板状のシール部材から構成されている。（例え
ば，特許文献２参照）。
【０００７】また，防塵機能を有する移載装置が知られ
ているが，該移載装置において，ロッドレスシリンダ
は，シリンダチューブと該シリンダチューブに沿って進
退可能なスライドテーブルとを備えている。スライドテ
ーブルに取り付け台が固着された状態で，カバー部材が
シリンダチューブに固定される。カバー部材の内壁とシ
リンダチューブの側壁及び取り付け台の側壁とにより，
防塵部材が一体的に挟持されると共に，防塵部材が移動
方向と直交する方向に弾性変形可能になっている（例え
ば，特許文献３参照）。
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−３２５０７０号公報（第１
頁，図４）
【特許文献２】特開２００１−２７２３５号公報（第１
頁，図１）
【特許文献３】特開２００１−１８７９０６号公報（第
１頁，図１）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，上記公
報に開示されたスライド装置では，スライダの摺動に伴
ってテーブル取付け用の取付けフランジ部が一体的に移
動するために，軌道レールとカバーとの間には，取付け
フランジ部が通過するためのスリットや開口が形成され
ている。開口から摩耗粉，塵埃等の異物がスライド装置
の内部に侵入したり，又は装置自体から発生した塵埃等
が半導体製造装置等が設置されているクリーンルームへ
と飛散することを完全に防止することができない。その
ため，スリットや開口を通じて塵埃がシール装置の内外
に出入するのを防止するため，上記のように，開口にジ
ャバラ状の伸縮性シール部材で開口部を塞いでシールし
たり，又はスリットに上シールと下シールから成る伸縮
性シール部材でスリットを塞いでシールしているが，こ
のような伸縮性シール部材を製作するのが複雑で容易で
なく，しかも製造コストがアップし，伸縮性シール部材
に密封性のよい伸縮の弾性度を確保することには問題が
あった。
【００１０】そこで，本出願人は，上記の問題を解決す
るため，図７に示すように，スライド装置のシール構造
に組み込まれる簡単な構造であって製造コストが安価な
シール部材を開発し，先に特願２００１−２３８５７２
号として出願した。該スライド装置のシール構造は，軌
道レール２の側壁部７Ａとカバー１５Ａとの間の開口に
復元力を有するシール部材１Ａをカバー１５Ａに固着し
て配置し，シール部材１Ａによってカバー１５Ａと軌道
レール２の側壁部７Ａとの間の開口３３を密封し，スラ
イダ３Ａの突出部１０Ａがシール部材１Ａと側壁部７Ａ
との間を往復移動する時に，シール部材１Ａを突出部１
０Ａの面に対して密接状態で伸縮変形させ，スライダ３
Ａをスムーズに往復移動させ，開口３３におけるシール
性を向上させると共に，シール部材１Ａの耐久性を向上
させ，シール部材１Ａの開口３３への配設を容易にした
ものである。なお，図７に示すシール構造では，後述の
図３に示す本発明のシール構造と同様に機能を有する部
品や部分には同一の符号を付し，それらの説明はここで
は省略する。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明の目的は，例え
ば，本出願人に係る特願２００１−２３８５７２号に開
示されたスライド装置のシール構造を小型化し，該構造
を簡単化したものであり，シール箇所を一箇所にして簡
単化し，小型化に対応できるように改善したもの，ま
た，シール箇所が二箇所であっても横幅の狭いスリムな
ものに改善したものであり，スライダに設けた突出部が
軌道部品に支持されたシール部材の当接面間を通過する
際に，少なくとも１本の突出部によってシール部材を伸
縮変形可能な多孔質材によって粉塵，油等の異物がスラ
イド装置の内部に侵入したり，又はスライド装置自身で
発生した塵埃，油等の異物が半導体製造装置等を設置し
たクリーンルーム，試験室等のルームへと飛散するのを
防止するように構成したスライド装置のシール構造を提
供することである。
【００１２】この発明は，互いに対向して長手方向に隔
置して延びる一対の側部を備えた軌道レールを有する軌
道部品，及び前記軌道部品の前記側部間において往復移
動するスライダを有し，前記軌道部品は上部に長手方向
に延びる対向面によって形成される開口を備え，前記軌
道部品の前記開口を密封するため前記軌道部品に先端面
が当接状態にそれぞれ配置された復元力を有する柔軟な
多孔質材でなるシール部材を有し，前記スライダには前
記シール部材の前記先端面間を通って延びる物体取付け
用の突出部が設けられ，前記軌道部品に対する前記スラ
イダの往復移動時に，前記突出部は前記シール部材の前
記先端面に密接して前記シール部材を伸縮変形させて移
動することから成るスライド装置のシール構造に関す
る。
【００１３】前記突出部は，移動方向両端が楔状に先細
に形成された先端部と前記先端部間の肉厚の中間部とか
ら形成され，前記スライダの長手方向に延びている。
【００１４】前記シール部材には，前記スライダの前記
突出部の通過によって生じる伸縮変形を復元させるため
前記シール部材の長手方向に沿ってばね部材が設けられ
ている。また，前記シール部材は，フォームラバーで形
成されている。更に，前記シール部材を形成する前記フ
ォームラバーの表面には，保護皮膜がコーティングされ
ている。
【００１５】前記シール部材は，前記先端面に向かって
薄肉部に変化する断面形状に形成され，前記スライダの
前記突出部の通過時には前記薄肉部が実質的に断面四角
形状に伸縮変形するものである。また，前記スライダの
前記突出部が摺接する前記シール部材の摺接面には，前
記シール部材の長手方向に沿って耐摩耗性の摺接ベルト
が取り付けられている。更に，前記シール部材が摺接す
る前記スライダの前記突出部の摺接面には，耐摩耗性の
摺接ベルトが取り付けられている。
【００１６】前記軌道部品と前記シール部材とで囲まれ
る空間の空気を吸引するため又は前記空間にクリーンな
空気を吹き込むため，前記軌道部品に設けた通口には空
気管が接続されている。
【００１７】前記軌道レールは，一対の前記側部と前記
側部に一体構造の底部とから形成され，前記側部が前記
底部の両側面から隔置して上方へ延びて全体的に樋形状
に形成されている。
【００１８】このシール構造を備えたスライド装置は，
前記スライダの両側面に形成された軌道溝と前記軌道レ
ールの前記側部の内面にそれぞれ形成された軌道溝とで
形成される負荷路には，前記スライダに組み込まれた転
動体が転走することによって前記スライダが前記軌道レ
ールに対して往復移動するものである。
【００１９】前記スライダは前記軌道部品の前記側部間
で摺動移動する摺動台と前記摺動台に取り付けられたボ
ールねじを構成するボールねじナットを備えた駆動部と
を有し，前記軌道部品には前記スライダに設けた前記ボ
ールねじナットが螺合するボールねじ軸を支持すると共
に前記ボールねじ軸を回転駆動する駆動装置が設けられ
ている。
【００２０】このスライド装置のシール構造は，前記ス
ライダには１本の前記突出部が前記スライダの幅方向中
央部に長手方向に延びて設けられ，前記軌道部品は，前
記軌道レール，前記側部の長手方向に沿って上方へ延び
て前記側部にそれぞれ取り付けられた前記シール部材を
支持した一対の第１のカバー支持部材，及び前記軌道レ
ールの端面にそれぞれ取り付けられたエンドカバーを有
する。また，前記カバー支持部材は，前記側部の長手方
向に沿って延びるカバー部と該カバー部と一体構造で前
記スライダの上方に沿って互いに対向状態に延びる凹部
を備えたシール支持部とを有し，前記シール部材は前記
凹部に配置して取り付けられている。
【００２１】このスライド装置のシール構造は，前記ス
ライダには２本の前記突出部が前記スライダの幅方向に
隔置して長手方向に延びて設けられ，前記軌道部品は，
前記軌道レール，前記軌道レールの両端面に取り付けら
れたエンドカバー，及び前記シール部材を支持する第２
のカバー支持部材から成り，前記カバー支持部材は，一
対のカバー支持側部とカバー支持中央部から構成され，
前記カバー支持側部は前記側部の長手方向に沿って上方
へ延びて前記側部にそれぞれ取り付けられ且つ先端面が
それぞれの前記突出部に対向し，前記カバー支持中央部
は前記エンドカバーに取り付けられ且つ前記突出部間に
配設されている。更に，前記カバー支持中央部は，中央
部にウエブ部を備えたＴ形部材又は前記ウエブ部が整合
した一対のＬ形部材から形成され，また，前記シール部
材は，前記カバー支持側部にそれぞれ支持されたシール
側部材と前記ウエブ部の両側で前記カバー支持中央部に
それぞれ支持されたシール中間部材とから構成されてい
る。
【００２２】前記カバー支持部材には，前記スライダの
側面に対向して前記スライダの移動位置を検出するセン
サが設けられている。また，前記シール部材は，前記カ
バー支持部材に固着される厚肉部と該厚肉部から前記突
出部に向かって伸縮変形する薄肉部とから形成されてい
る。
【００２３】また，前記カバー支持部材に取り付けられ
る前記シール部材の面には，取付け板が固着されてい
る。また，前記突出部には，機器，部品，部材，位置決
めテーブル等の物体を取り付けるための物体取付けベー
スが固着されている。
【００２４】このスライド装置のシール構造は，上記の
ように構成されているので，軌道部品の対向面間の開口
を埋める状態にそれぞれの対向面に配置されたシール部
材で前記開口を密閉し，スライダが軌道部品を摺動移動
する時に，シール部材の対向面間を移動するスライダの
突出部がシール部材の対向面間で前記シール部材を伸縮
変形させて前記シール部材に密接状態でスムーズに往復
移動することができ，また，スライダに設けた突出部が
１本の場合には，スライダの外部への露出部が一箇所の
みになり，気密性を一層高めることができる。スライダ
に設けた突出部が２本の場合には，突出部に固定したフ
ランジ板に機器等の物体を取り付けると，物体の安定し
た取り付け状態を確保でき，物体の荷重によってスライ
ダが傾くようなことがなくスライダのスムーズな摺動が
できる。
【００２５】また，スライド装置の内部は，前記軌道部
品と前記カバー支持部材とで囲まれて気密状態に構成さ
れており，前記突出部が通過する長手方向に延びるシー
ル部材の当接面のみであるので，内部に存在する空気を
吸引する場合にも吸引量も少なくなり，半導体製造装置
の設置されたクリーンルーム等の作業環境に高いクリー
ン度を得られ易く構成されている。また，スライド装置
の内部からの空気の吸い出し用の通口に対して空気流れ
を逆にして通口からスライド装置内部にクリーンな空気
を吹き込み，スライド装置の隙間からクリーンな空気を
吹き出し，スライド装置の外部から内部へ侵入するごみ
等の異物の侵入を低減することも可能であり，このよう
な機能として作用させる場合には，木工関係のおが屑の
充満する作業環境，セラミックス切断や研削加工の作業
環境等の粉塵の舞う作業環境等に利用して最適である。
【００２６】このシール構造では，前記突出部は，長手
方向両端が楔状に先細に形成された先端部と前記先端部
間の肉厚の中間部とから形成することが好ましい。ま
た，前記シール部材は，前記軌道部品を構成するカバー
支持部材のシール支持部に設けた凹部に嵌合する厚肉部
と該厚肉部から前記突出部に向かって伸縮変形する薄肉
部とから形成することが好ましい。この場合には，前記
スライダの前記突出部の通過によって前記シール部材が
変形する変形状態は，前記突出部による押し開きの無理
の無いスムーズな状態で伸縮変形して行われ，良好な密
閉状態が維持される。従って，このシール構造は，前記
カバー支持部材の前記シール支持部に配置された前記シ
ール部材間の隙間を通じての塵埃等の異物の出入が発生
せず，例えば，前記スライダの往復移動で発生する摩耗
粉等の塵埃が前記軌道部品の内部からクリーンルーム等
の外部へ放出することがなく，クリーンルームのクリー
ン度を維持することができる。更に，前記シール部材
は，フォームラバーでシンプルな断面四角形に形成され
ているので，複雑な形状や構造に伴うコストがかからず
製造コストを低減できると共に，前記軌道部品の対向面
間に形成される開口への装着が極めて容易である。
【００２７】また，このシール構造は，前記シール部材
には前記スライダの前記突出部が通過する側の長手方向
に沿ってばね部材が設けられているので，前記スライダ
の前記突出部の通過によって発生する前記シール部材の
伸縮変形による前記シール部材の伸縮変形に対する復元
力が増し，また，前記シール部材の経年変化，例えば，
前記スライダの前記突出部を一定期間移動させないで停
止させていた後に，前記突出部を移動させたとしても，
前記突出部の形状が前記シール部材に残存することな
く，前記ばね部材のばね力によって直ちに前記シール部
材の伸縮変形を補助して復元させ，前記ばね部材のばね
力によって前記シール部材の伸縮変形のレスポンスも良
好になり，前記シール部材の他の面への密接性がアップ
し，シール性能を向上させることができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下，図面を参照して，この発明
によるスライド装置のシール構造の実施例を説明する。
この発明によるシール構造を組み込んだスライド装置
は，クリーンルーム，試験実験室等の室で稼働される半
導体製造装置，工作機械，各種組立装置，試験装置，位
置決めテーブル，スライドテーブル，粉塵作業環境で使
用される機器等の各種装置に組み込まれて使用されるも
のである。このスライド装置は，図１〜図６に示されて
いるが，図７〜図９に示すスライド装置のものと同様の
部分や部品については同一の符号を付し，重複する説明
を省略している。
【００２９】まず，図１〜図３を参照して，この発明に
よるスライド装置のシール構造の一実施例を説明する。
このシール構造を組み込んだスライド装置は，互いに対
向して長手方向に隔置して延びる一対の側部７を備えた
軌道レール２を有する軌道部品５５と，軌道部品５５の
側部７間において往復移動するスライダ３を有する。軌
道部品５５は，上部に長手方向に延びる対向面５６によ
って形成される開口３４を備えており，対向面５６間の
開口３４を密閉するため対向面５６には復元力を有する
柔軟な多孔質材でなるシール部材１が互いに対向する先
端面２６を当接した状態に配置されている。また，スラ
イダ３には，シール部材１の先端面２６間を通って延び
る物体取付け用の突出部１０が設けられている。物体取
付け用の突出部１０は，例えば，半導体製造装置，工作
機械，ロボット等の装置に使用されている機器，部品，
部材，位置決めテーブル等の物体を取り付けるのに利用
され，突出部１０には，例えば，図示のように，フラン
ジ板等の物体取付ベースを固定するためのねじ穴５８或
いはフランジ部を設けることができる。このシール構造
は，特に，シール部材１の先端面２６が当接状態にそれ
ぞれ配置され，軌道部品５５に対するスライダ３の往復
移動時に，突出部１０がシール部材１の先端面２６に密
接してシール部材１を伸縮変形させて移動し，スライド
装置の内部を密閉されることである。
【００３０】軌道部品５５は，例えば，一対の側部７と
側部７に一体構造の底部６とから形成された軌道レール
２と，側部７に取り付けられたカバー支持部材１６を一
体構造に成形加工（図示せず）できるが，図３に示すよ
うに，軌道溝８を形成した側部７を備えた軌道レール２
と，上部の対向面５６を備えたカバー支持部材１６とを
上下方向に二分割して別部材に形成した構造に構成する
ことができる。図３に示すカバー支持部材１６は，側部
７の長手方向に沿って上方へ延びて側部７にねじ５７で
それぞれ取り付けられ，また，カバー支持部材１６は，
側部７の長手方向に沿って延びるカバー部１９と，カバ
ー部１９と一体構造でスライダ３の上面５０に沿って互
いに対向して開口する凹部２３を備えたシール支持部２
９とを備えている。
【００３１】以下，このシール構造を示す実施例では，
図３に示すように，軌道部品５５を軌道レール２とカバ
ー支持部材１６とで構成した場合について説明する。こ
のシール構造は，互いに対向して長手方向に延びる一対
の側部７を備えた軌道部品５５，及び軌道部品５５の側
部７間において往復移動するスライダ３を有し，軌道部
品５５は，軌道レール２とカバー支持部材１６から構成
されている。軌道レール２は，ベース等に取付け孔５１
を通じて取付けねじ等で固定されている。カバー支持部
材１６は，側部７の長手方向に沿って延びるカバー部１
９と，カバー部１９と一体構造でスライダ３の上面５０
に沿って互いに対向して開口する凹部２３を備えたシー
ル支持部２９とを有する。カバー支持部材１６は，軌道
レール２の側部７の上方へ延び出して側部７にそれぞれ
取り付けられている。カバー支持部材１６の上部の対向
部には，シール部材１がそれぞれ配置されている。
【００３２】シール部材１は，シール支持部２９間，即
ち，シール支持部２９の先端間の開口３４を密封するた
め，先端の対向状態の先端面２６が互いに当接状態にシ
ール支持部２９の凹部２３にそれぞれ配置され，復元力
を有する柔軟な多孔質材で構成されている。スライダ３
には，シール部材１の先端面２６間を通って延びる突出
部１０が設けられている。突出部１０は，軌道レール２
に対するスライダ３の往復移動時に，シール部材１の先
端面２６に密接してシール部材１を伸縮変形させて移動
するものである。
【００３３】スライダ３に設けた突出部１０は，図１に
示すように，移動方向両端が楔状に先細に形成された先
端部３５と，先端部３５間の肉厚の中間部３６とから形
成されている。シール部材１は，シール支持部２９の凹
部２３に嵌合する厚肉部３７と，厚肉部３７から先端面
２６に向かって伸縮変形する薄肉部３８とから形成され
ている。シール部材１は，スライダ３の突出部１０の通
過時には，薄肉部３８が断面形状が実質的に四角形に伸
縮変形するように構成されている。更に，シール部材１
には，スライダ３の突出部１０の通過によって生じる伸
縮変形を復元させるため，シール部材１の長手方向に沿
ってばね部材４０が設けられている。シール部材１は，
フォームラバーで形成され，又は該フォームラバーの表
面には，保護皮膜がコーティングされている。
【００３４】シール部材１をシール支持部２９の凹部２
３へ固着するのを堅固に構成するため，シール部材１の
固着面には，取付け板４３が固着されている。また，突
出部１０が摺接するシール部材１の摺接面には，シール
部材１の長手方向に沿って耐摩耗性の摺接ベルト１８が
取り付けられている。又は，シール部材１が摺接するス
ライダ３の突出部１０の摺接面には，耐摩耗性の摺接ベ
ルト（図示せず）が取り付けられてもよい。
【００３５】軌道レール２は，一対の側部７と，側部７
と一体的構造の底部６とから構成されており，軌道レー
ル２の側部７間は，開口した樋形状に形成されている。
また，このスライド装置は，軌道レール２，一対のカバ
ー支持部材１６及び一対のシール部材１で囲まれる空間
に存在する空気を吸引するため，軌道レール２に形成さ
れた通口４２に接続された空気管４１が取り付けられて
いる。軌道レール２の一端部には，ねじ孔が形成された
通口４２を備えたエンドカバー２１が取付けねじによっ
て取り付けられている。通口４２には，軌道レール２内
の凹部５で発生する塵埃や油等の異物を吸引してクリー
ンルーム等の部屋の外部に排出するため，空気管４１が
連結されている。又は，このスライド装置は，その内部
空間からの空気の吸い出し用通口４２に対して空気流れ
を逆にして通口４２から内部にクリーンな空気を吹き込
み，スライド装置の隙間からクリーンな空気を吹き出
し，スライド装置の内部に侵入するごみ等の異物の侵入
を低減することもできる。
【００３６】カバー支持部材１６のカバー部１９には，
スライダ３の側面に対向して長手方向に沿ってセンサレ
ール２２が設けられ，センサレール２２の所定の位置に
スライダ３の移動位置を検出するリミットセンサが設け
られている。また，軌道レール２の側部７は，軌道レー
ル２の底部６と一体的構造であり，軌道レール２は，上
部が開口２７に形成された樋型に形成されている。この
スライド装置は，軌道レール２の凹部５内が一方の端部
をエンド側ボールねじ軸用支持体１２及びエンドカバー
２１で密閉し，他方の端部をモータ側ボールねじ軸用支
持体１１及びエンドカバー２１で密閉している。
【００３７】このスライド装置は，Ｕ形形状の凹部５を
備えた軌道レール２をべースにして，長尺状でなる軌道
レール２の内側面の軌道に沿ってスライダ３が摺動自在
に位置決め駆動されるように構成されている。このスラ
イド装置は，スライダ３の両側面に形成された軌道溝４
５と軌道レール２の側部７の内面にそれぞれ形成された
軌道溝８とでそれぞれ形成される負荷路を転動体４４が
転走することによって，スライダ３は軌道レール２に対
してスムーズに往復移動することができる。軌道レール
２の側部７に固定されたカバー支持部材１６の側面に設
けたセンサ支持部４９には，センサレール２２が取り付
けられ，センサレール２２の隔置した二箇所の所定の位
置にスライダ３の移動を検出するリミットセンサが取り
付けられている。
【００３８】スライダ３は，軌道レール２の側部７間で
摺動移動する摺動台４７と，摺動台４７に取り付けられ
たボールねじを構成するボールねじナット１７を備えた
駆動部４８とを有する。軌道レール２には，スライダ３
に設けたボールねじナット１７に螺合するボールねじ軸
４を支持すると共にボールねじ軸４を回転駆動する駆動
装置が設けられている。スライダ３には，ボールねじナ
ット１７が固定され，軌道レール２に固定された支持体
１１，１２（図９）にボールねじ軸４が回転可能に取り
付けられている。軌道レール２の一端部にはモータ９が
取り付けられたモータブラケットが固着されている。ス
ライダ３は，ボールねじ軸４がモータ９によって可逆回
転することによって軌道レール２に沿って往復移動する
ように構成されている。また，スライダ３の摺動台４７
には，グリースニップル５３及びエンドシール４６が取
付けねじ５４で取り付けられている。
【００３９】シール部材１は，例えば，シール部材１の
側面に固着された取付け板４３を介在してカバー支持部
材１６のシール支持部２９の凹部２３の壁面に固着され
ている。スライダ３の突出部１０は，シール部材１の側
面に固着された摺接ベルト１８間を通過する時に，シー
ル部材１はスライダ３の突出部１０の面に対して密接状
態で伸縮変形するように構成され，それによって，突出
部１０が開口３４を長手方向に摺動自在に移動できるよ
うに構成されている。フォームラバーのシール部材１と
摺接する突出部１０の進行方向の両端部は，楔状に先細
に形成された先端部３５に形成され，フォームラバーの
伸縮変形を滑らかに案内している。
【００４０】シール部材１は，自己弾力による復元力を
有する柔軟な多孔質材で形成され，従来のシール部材よ
りも製作し易く，取扱い易く，伸縮の繰り返し寿命も長
くなり，密封性のよい構造に構成されている。シール部
材１は，実質的に断面形状が矩形，正方形等の四角形に
形成され，スライダ３の突出部１０がシール部材１を押
しのけて通過する時には，断面形状が実質的に四角形状
態で伸縮変形する材料，例えば，多孔質で連通していな
い多孔部材であるフォームラバーで形成されることによ
って，塵埃等の出入を防止するための密封性を確保でき
好ましいものである。また，フォームラバーの表面に
は，場合によっては，保護皮膜３９をコーティングする
こともできる。
【００４１】シール部材１を構成するフォームラバー
は，例えば，ラテックスを主原料とし，硫黄，加硫促進
剤，老化防止剤，起泡剤等の配合物を泡立たせ，凝固剤
を加えて凝固させ，加熱蒸気や熱水で加硫した後，水洗
乾燥されたラテックススポンジであり，自己弾力による
復元力を有する柔軟な多孔性のゴムである。シール部材
１の表面には，防湿のため保護皮膜３９をコーティング
することもできるが，皮膜無しの表面に構成する方が繰
り返し伸縮でひび割れ等が発生することがない。シール
部材１を配設したことによって開口３４の密封性が向上
した。
【００４２】シール部材１は，カバー支持部材１６に着
脱可能な取付け板４３がフォームラバーの側面又は上下
面の長手方向に沿って両面粘着テープで粘着したり，或
いは接着剤で固着している。フォームラバーの側面に
は，スライダ３の横方向の突出部１０の側面と摺接する
ため，発塵性を小さくする摺接ベルト１８が接着剤で固
着され，或いは両面粘着テープで粘着されている。取付
け板４３は，例えば，ステンレス板製の薄板で形成され
ており，取付け板４３には，カバー支持部材１６に取り
付けるための取付用ねじ孔が長手方向に沿って所定の間
隔で形成することもできる。
【００４３】また，摺接ベルト１８は，シール部材１の
フォームラバーの上面，下面及び／又は側面の長手方向
に沿って固着され，クリーンルーム内で使用されるウェ
ハ搬送用ベルトが利用されている。ウェハ搬送用ベルト
はポリエステル材で形成され，摩耗粉が発生し難い材料
である。従って，摺接ベルト１８は，スライダ３の突出
部１０と摺接する少なくとも表面をポリエステル樹脂，
ポリエステル繊維等のポリエステル製に形成されてい
る。図示していないが，シール部材１と摺接するスライ
ダ３の突出部１０の部分にも，摺接ベルトを固着するこ
とによって，一層発塵性を低減させることができる。摺
接ベルト１８は，シール部材１のフォームラバーの幅よ
り若干幅広の形状に形成され，フォームラバーの伸縮時
にフォームラバーが摺接ベルト１８からはみ出すことが
なく，フォームラバーがスライダ３の突出部１０の表面
に接触しない形状に形成されることが好ましい。また，
スライダ３の突出部１０の摺接ベルト１８との摺接面に
は，耐摩耗性の摺接ベルトが取り付けられることが耐摩
耗性を向上させ，発塵性を防止する点からも好ましいも
のである。
【００４４】次に，図４〜図６を参照して，この発明に
よるスライド装置のシール構造の第２実施例を説明す
る。第２実施例のシール構造は，第１実施例のシール構
造と比較して，第１実施例のスライダ３が１本の突出部
１０を備えているのに対し，スライダ３が２本の突出部
６０を備え，それに対応して第２実施例のシール部材６
１とシール支持部６２を備えたカバー支持部材６３とか
ら成る軌道部品５９の構成が，第１実施例の軌道部品５
５と相違しているが，その他の構成については実質的に
同一である。そこで，第２実施例を示す図４〜図６で
は，第１実施例を示す図１〜図３に示す同一の部分及び
部品については同一の符号を付し，重複する説明を省略
する。
【００４５】このスライド装置のシール構造は，スライ
ダ３には２本の突出部６０がスライダ３の幅方向の両側
に隔置して長手方向に延びて設けられている。また，突
出部６０は，突出部１０と同一の形状を有するものであ
る。一対の突出部６０の上面には，機器等の物体を取り
付けるためのフランジ板等の物体取付ベース７０が取り
付けられている。従って，物体取付ベース７０に取り付
けられる物体は，２本の突出部６０で支持されるので，
支持状態が安定し，第１実施例のものよりも重荷重の物
体を支持することができる。また，軌道部品５９は，側
部７を備えた軌道レール２，軌道レール２の両端部に取
り付けられたエンドカバー２１，及びシール部材６１を
支持するカバー支持部材６３から構成されている。カバ
ー支持部材６３は，軌道レール２の側部７の長手方向に
沿って上方へ延びて側部７にそれぞれ取り付けられ且つ
先端面が突出部６０に対向する一対のカバー支持側部６
４と，エンドカバー２１に両端が取り付けられ且つ突出
部６０間に配設されたカバー支持中央部６５とから構成
されている。
【００４６】カバー支持部材６３については，一方のカ
バー支持側部６４と一方のカバー支持中央部６５との間
には突出部６０が通過するための開口３４が形成され，
また，他方のカバー支持側部６４と他方のカバー支持中
央部６５との間には突出部６０が通過するための開口３
４が形成されている。カバー支持中央部６５は，ウエブ
部６６が中央部に位置して互いに整合した一対のＬ形カ
バー部材６７から形成されている。又は，図示していな
いが，カバー支持中央部６５は，中央部にウエブ部６６
を備えた一体構造のＴ形カバー部材に形成してもよい。
カバー支持中央部６５は，Ｌ形又はＴ形の形状であるの
で，剛性が高くなり，スライダ３の突出部６０の移動に
対して耐変形性になり，また，シール部材６０の固着面
を大きく確保でき，シール部材６０を強固に固着でき，
スライダ３の突出部６０のスムーズな摺動を可能にす
る。
【００４７】また，シール部材６１は，カバー支持側部
６４にそれぞれ支持された一対のシール側部材６８と，
ウエブ部６６の両側でカバー支持中央部６５にそれぞれ
支持された一対のシール中間部材６９とから構成されて
いる。シール部材６１を構成するシール側部材６８とシ
ール中間部材６９は，第１実施例のシール部材１の当接
面及びその取付面等に比較して，実質的に同様な形状に
構成されている。
【００４８】
【発明の効果】また，このスライド装置のシール構造
は，上記のように構成されているので，スライダにはそ
の上面の一箇所から延び出した突出部に製造装置等の部
品，機器，部材等の物体即ち搬送荷重が取り付けられる
構造であるので，物体の搬送荷重は小荷重に限定される
が，例えば，半導体製造装置，クリーン位置決めテーブ
ル等において搬送されるべき小荷重の部品，機器，テー
ブル等に最適の小型化に対応できる。このスライド装置
のシール構造は，例えば，狭いスペースに沢山のテーブ
ルを集積した装置を組み立てる場合に，横幅の狭いスラ
イド装置が要求されるが，このスライド装置のシール構
造は，そのような装置に最適である。また，第２実施例
のスライド装置は，スライダに上方へ延びる２本の突出
部を備えており，重荷重の物体を支持することができる
が，従来のスライド装置のようにスライダの側方へ延び
出したフランジ部を備えていないので，従来のものに比
較して横幅の狭いスリムな構造に形成されている。
【００４９】また，シール部材は，極めてシンプルな形
状，例えば，断面四角形の形状，厚肉部と薄肉部とから
成る略台形形状等に構成され，シール部材をカバー支持
部材のシール支持部の凹部に容易に配設でき，シール部
材の対向面をシール支持部間から突出させて互いに当接
するように簡単に配設できると共に，シンプルな構造で
あるので，スライダの突出部がシール部材間を通過する
際にも異常変形を起こす恐れがなくシール性能を向上で
き，しかもシール部材の製造コストも安価にできる。こ
のシール構造は，シール性能が良好であるので，特に，
半導体製造装置等を設置したクリーンルームでは，スラ
イド装置自身から発生した塵埃，油等の異物がスライド
装置の外部に飛散することがなく，発塵性を今までにな
く低く抑えることができ，スライド装置が原因になるよ
うなクリーンルームでのトラブルが発生することがな
い。或いは，このシール構造は，粉塵の舞う作業環境で
使用される場合には，スライド装置の内部にクリーンな
空気を吹き込むことによって，スライド装置そのものの
摺動機能を損なうことがなく，耐久性を向上させること
ができる。また，シール部材は，フオームラバー等の多
孔質材で形成され，スライド装置に組み込まれると，ス
ライド装置の開口から塵埃等の異物が装置内部に侵入す
るのを防止することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるシール構造を組み込んだスライ
ド装置の一実施例を示す平面図である。
【図２】図１のスライド装置を示す側面図である。
【図３】図１に示すスライド装置におけるシール構造を
示す図１のＡ−Ａ断面における断面図である。
【図４】この発明によるシール構造を組み込んだスライ
ド装置の別の実施例を示す平面図である。
【図５】図４のスライド装置を示す側面図である。
【図６】図４に示すスライド装置におけるシール構造を
示す図４のＢ−Ｂ断面における断面図である。
【図７】先行技術のスライド装置におけるシール構造を
示す図１のＡ−Ａ断面に対応する部分の断面図である。
【図８】従来のスライド装置を示す斜視図である。
【図９】図８のスライド装置において，カバーを取り除
いた状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１，６１ シール部材 ２ 軌道レール ３ スライダ ４ ボールねじ軸 ５ 凹部 ６ 底部 ７ 側部 ８，４５ 軌道溝 ９ モータ １０，６０ 突出部 １１，１２ ボールねじ軸用支持体 １６，６３ カバー支持部材 １７ ボールねじナット １８ 摺接ベルト １９ カバー部 ２１ エンドプレート ２２ センサレール ２３ 凹部 ２６ シール部材の先端面 ２９ ６２ シール支持部 ３４ シール支持部間の開口 ３５ 先端部 ３６ 中間部 ３７ 厚肉部 ３８ 薄肉部 ３９ 保護被膜 ４０ ばね部材 ４１ 空気管 ４２ 通口 ４３ 取付け板 ４４ 転動体 ４７ 摺動台 ４８ 駆動部 ５０ スライダの上面 ５２ リミットセンサ ５５，５９ 軌道部品 ５６ 対向面 ５７ ねじ ５８ ねじ穴 ６４ カバー支持側部 ６５ カバー支持中央部 ６６ ウエブ部 ６７ Ｌ形カバー部材 ６８ シール側部材 ６９ シール中間部材 ７０ 物体取付けベース

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 互いに対向して長手方向に隔置して延び
    る一対の側部を備えた軌道レールを有する軌道部品，及
    び前記軌道部品の前記側部間において往復移動するスラ
    イダを有し，前記軌道部品は上部に長手方向に延びる対
    向面によって形成される開口を備え，前記軌道部品の前
    記開口を密封するため前記軌道部品に先端面が当接状態
    にそれぞれ配置された復元力を有する柔軟な多孔質材で
    なるシール部材を有し，前記スライダには前記シール部
    材の前記先端面間を通って延びる物体取付け用の突出部
    が設けられ，前記軌道部品に対する前記スライダの往復
    移動時に，前記突出部は前記シール部材の前記先端面に
    密接して前記シール部材を伸縮変形させて移動すること
    から成るスライド装置のシール構造。
  2. 【請求項２】 前記突出部は，移動方向両端が楔状に先
    細に形成された先端部と前記先端部間の肉厚の中間部と
    から形成され，前記スライダの長手方向に延びているこ
    とから成る請求項１に記載のスライド装置のシール構
    造。
  3. 【請求項３】 前記シール部材には，前記スライダの前
    記突出部の通過によって生じる伸縮変形を復元させるた
    め前記シール部材の長手方向に沿ってばね部材が設けら
    れていることから成る請求項１又は２に記載のスライド
    装置のシール構造。
  4. 【請求項４】 前記シール部材は，フォームラバーで形
    成されていることから成る請求項１〜３のいずれか１項
    に記載のスライド装置のシール構造。
  5. 【請求項５】 前記シール部材を形成する前記フォーム
    ラバーの表面には，保護皮膜がコーティングされている
    ことから成る請求項４に記載のスライド装置のシール構
    造。
  6. 【請求項６】 前記シール部材は，前記先端面に向かっ
    て薄肉部に変化する断面形状に形成され，前記スライダ
    の前記突出部の通過時には前記薄肉部が実質的に断面四
    角形状に伸縮変形することから成る請求項１〜５のいず
    れか１項に記載のスライド装置のシール構造。
  7. 【請求項７】 前記スライダの前記突出部が摺接する前
    記シール部材の摺接面には，前記シール部材の長手方向
    に沿って耐摩耗性の摺接ベルトが取り付けられているこ
    とから成る請求項１〜６のいずれか１項に記載のスライ
    ド装置のシール構造。
  8. 【請求項８】 前記シール部材が摺接する前記スライダ
    の前記突出部の摺接面には，耐摩耗性の摺接ベルトが取
    り付けられていることから成る請求項１〜７のいずれか
    １項に記載のスライド装置のシール構造。
  9. 【請求項９】 前記軌道部品と前記シール部材とで囲ま
    れる空間の空気を吸引するため又は前記空間にクリーン
    な空気を吹き込むため，前記軌道部品に設けた通口には
    空気管が接続されていることから成る請求項１〜８のい
    ずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
  10. 【請求項１０】 前記軌道レールは，一対の前記側部と
    前記側部に一体構造の底部とから形成され，前記側部が
    前記底部の両側面から隔置して上方へ延びて全体的に樋
    形状に形成されていることから成る請求項１〜９のいず
    れか１項に記載のスライド装置のシール構造。
  11. 【請求項１１】 前記スライダの両側面に形成された軌
    道溝と前記軌道レールの前記側部の内面にそれぞれ形成
    された軌道溝とで形成される負荷路には，前記スライダ
    に組み込まれた転動体が転走することによって前記スラ
    イダが前記軌道レールに対して往復移動することから成
    る請求項１〜１０のいずれか１項に記載のスライド装置
    のシール構造。
  12. 【請求項１２】 前記スライダは前記軌道部品の前記側
    部間で摺動移動する摺動台と前記摺動台に取り付けられ
    たボールねじを構成するボールねじナットを備えた駆動
    部とを有し，前記軌道部品には前記スライダに設けた前
    記ボールねじナットが螺合するボールねじ軸を支持する
    と共に前記ボールねじ軸を回転駆動する駆動装置が設け
    られていることから成る請求項１〜１１のいずれか１項
    に記載のスライド装置のシール構造。
  13. 【請求項１３】 前記スライダには１本の前記突出部が
    前記スライダの幅方向中央部に長手方向に延びて設けら
    れ，前記軌道部品は，前記軌道レール，前記側部の長手
    方向に沿って上方へ延びて前記側部にそれぞれ取り付け
    られた前記シール部材を支持した一対の第１のカバー支
    持部材，及び前記軌道レールの両端面にそれぞれ取り付
    けられたエンドカバーを有することから成る請求項１〜
    １２のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構
    造。
  14. 【請求項１４】 前記カバー支持部材は，前記側部の長
    手方向に沿って延びるカバー部と該カバー部に一体構造
    で前記スライダの上方に沿って互いに対向状態に延びる
    凹部を備えたシール支持部とを有し，前記シール部材は
    前記凹部に配置して取り付けられていることから成る請
    求項１３に記載のスライド装置のシール構造。
  15. 【請求項１５】 前記スライダには２本の前記突出部が
    前記スライダの幅方向に隔置して長手方向に延びて設け
    られ，前記軌道部品は，前記軌道レール，前記軌道レー
    ルの両端面に取り付けられたエンドカバー，及び前記シ
    ール部材を支持する第２のカバー支持部材から成り，前
    記カバー支持部材は一対のカバー支持側部とカバー支持
    中央部から構成され，前記カバー支持側部は前記側部の
    長手方向に沿って上方へ延びて前記側部にそれぞれ取り
    付けられ且つ先端面がそれぞれの前記突出部に対向し，
    前記カバー支持中央部は前記エンドカバーに取り付けら
    れ且つ前記突出部間に配設されていることから成る請求
    項１〜１２のいずれか１項に記載のスライド装置のシー
    ル構造。
  16. 【請求項１６】 前記カバー支持中央部は，中央部にウ
    エブ部を備えたＴ形部材又は前記ウエブ部が整合した一
    対のＬ形部材から形成され，また，前記シール部材は，
    前記カバー支持側部にそれぞれ支持されたシール側部材
    と前記ウエブ部の両側で前記カバー支持中央部にそれぞ
    れ支持されたシール中間部材とから構成されていること
    から成る請求項１５に記載のスライド装置のシール構
    造。
  17. 【請求項１７】 前記カバー支持部材には，前記スライ
    ダの側面に対向して前記スライダの移動位置を検出する
    センサが設けられていることから成る請求項１３〜１６
    のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
  18. 【請求項１８】 前記シール部材は，前記カバー支持部
    材に固着される厚肉部と該厚肉部から前記突出部に向か
    って伸縮変形可能な薄肉部とから形成されていることか
    ら成る請求項１３〜１７のいずれか１項に記載のスライ
    ド装置のシール構造。
  19. 【請求項１９】 前記カバー支持部材に取り付けられる
    前記シール部材の面には，取付け板が固着されているこ
    とから成る請求項１３〜１８のいずれか１項に記載のス
    ライド装置のシール構造。
  20. 【請求項２０】 前記突出部には，機器，部品，部材，
    位置決めテーブル等の物体を取り付けるための物体取付
    けベースが固着されていることから成る請求項１〜１９
    のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
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