JPH1130234A - スライド装置 - Google Patents

スライド装置

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JPH1130234A
JPH1130234A JP9196403A JP19640397A JPH1130234A JP H1130234 A JPH1130234 A JP H1130234A JP 9196403 A JP9196403 A JP 9196403A JP 19640397 A JP19640397 A JP 19640397A JP H1130234 A JPH1130234 A JP H1130234A
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slider
slide device
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support
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、スライダを軌道レール上で摺動さ
せる送りねじ機構を構成するねじ軸とナット体とを，ね
じ軸支持体を介して軌道レールの上面に対して取り付け
ることにより，組立作業性を改善したスライド装置を提
供する。 【解決手段】 軌道レール２のＵ字状凹部５に嵌挿され
たスライダ３は，駆動モータによって駆動され且つスラ
イダ３に取外し可能なナット体１７に螺合するねじ軸４
によって，軌道レール２上を摺動する。ねじ軸４の端部
を回転自在に支持するねじ軸支持体１１，１２は，軌道
レール２の上面１３に載置した状態で取付けられてい
る。送りねじ機構のリード等を変更する場合やメンテナ
ンスの場合等には，ねじ軸支持体１１，１２を軌道レー
ル２から取り外すと，ねじ軸４とナット体１７がスライ
ダ３から取り外すことができ，作業性が改善される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は，例えば，工作機
械，各種組立装置，又は試験装置等の直線摺動部に適用
されるスライド装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年，メカトロ技術の発展が目覚まし
く，当該技術を支える基礎的且つ汎用的な装置としてス
ライド装置がある。スライド装置は，現在では，工作機
械，半導体製造装置，搬送装置，及び産業用ロボット等
の各技術分野の装置に組み込まれて多用されているが，
技術の発展と共にその用途は拡大している。そして，ス
ライド装置自体に対しても高精度，高速摺動化，組立容
易性，及び汎用化等の要求が益々高まっている。
【０００３】スライド装置は，一般に，軌道溝を備えた
軌道レール，前記軌道レール上を摺動自在なスライダ，
前記スライダに設けられたねじ部に螺合するねじ軸，前
記ねじ軸の両端部を軸支する支持プレート，いずれか一
方の支持プレートに取り付けられ且つ前記ねじ軸を回転
する駆動モータを備えている。このスライド装置は，電
気・電子的に制御され，直線上を位置決め案内する。
【０００４】従来のＸＹ位置決めテーブル装置として、
図１７に示すようなものが知られている。該ＸＹ位置決
めテーブル装置は、ベッド１０５上に固定された軌道レ
ール１０６、軌道レール１０６上をスライダ１１３を介
して往復動するＸテーブル１０２、Ｘテーブル１０２上
の支持台１１４に固定された軌道レール１０８、軌道レ
ール１０８上をスライダ１０７を介して往復動するＹテ
ーブル１０１、ベッド１０５に取り付けられたＸ軸用駆
動モータ１０４、及びＸテーブル１０２に取り付けられ
たＹ軸用駆動モータ１０３を有する。更に、ＸＹ位置決
めテーブル装置は、Ｙ軸用駆動モータ１０３で回転駆動
されるＸテーブル１０２上の支持台１１４に軸受１１１
を介して回転可能に支持されたボールねじ軸１１２、及
びＸ軸用駆動モータ１０４で回転駆動されるベッド１０
５上に軸受１１０を介して回転可能に支持されたボール
ねじ軸１０９を有する。Ｘテーブル１０２は、ボールね
じ軸１０９の回転に応じてボールねじ軸１０９上を移動
し、またＹテーブル１０１は、ボールねじ軸１１２の回
転に応じてボールねじ軸１１２上を移動する。
【０００５】また，実開昭６３−１９３６３７号公報に
は，ボールねじとリニアガイド装置とを一体的に組み合
わせてなるボールねじ一体型リニアガイド装置が開示さ
れている。このボールねじ一体型リニアガイド装置は，
凹溝とこの凹溝の両内側面にボール転動溝とを有するガ
イドレールと，このガイドレール上をボールの転動を介
して凹溝内を軸方向に移動可能に遊嵌するナットと，こ
のナットに螺合するボールねじ軸と，前記ねじ軸の両端
部を軸支するサポートユニット，一方のサポートユニッ
トに取り付けられ且つ前記ねじ軸を回転する駆動モータ
を備えている。凹溝は，潤滑及び冷却用の油のための油
溜まりとしての機能を有しており，サポートユニット
は，この油が漏れるのを防止するため，ガイドレールに
対して端面にてシール材を介してボルト止めにて固定さ
れている。また，ナットに固定されたカバーは，ガイド
レールの凹溝を覆うように充分な長さを有している。
【０００６】また，特開平２−２９８４４６号公報，及
び特公平７−６１５８７号公報には，テーブルをガイド
によって移動可能に支持し且つ送りねじ軸によって移送
するテーブル移送装置が開示されている。即ち，このテ
ーブル移送装置は，断面コ字状を有し内側面に上下２条
の転動体転走面を有するガイドレールと，このガイドレ
ール上をボールの転動を介してガイドレール内側面によ
って挟み込むようにして移動自在に支持されたテーブル
と，このテーブルに螺合する送りねじ軸とを備えてい
る。前記送りねじ軸はモータによって回転駆動され，前
記送りねじ軸の一端部はガイドレールの一端に設けられ
た軸受部に回動自在に支持され，前記送りねじ軸の他端
部はガイドレールの他端に取り付けられるモータに継手
部を介して作動連結されている。
【０００７】また，実公平７−２８４４４号公報には，
送りねじ装置とリニアガイド装置とを一体化したフィー
ドユニット装置が開示されている。このフィードユニッ
ト装置は，上方が開口した横断面コ字状をなし両内側面
に互いに対向する軸方向のボール転動溝を有する長尺の
ガイドレールと，このガイドレールのボール転動溝に対
向するボール転動溝を両外側面に有するナットブロック
と，ナットブロックに螺合する送りねじ軸と，ガイドレ
ールに固定され送りねじ軸を回転自在に且つ軸方向移動
不能に支持するサポートユニットとを備えている。ま
た，サポートユニットの位置決めについては，サポート
ユニットに植設したピンをガイドレールのボール転動溝
に係合させることにより，サポートユニットのガイドレ
ールへの取付けを簡素化している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで，近年，送り
ねじ装置とリニアガイド装置とを一体化したスライド装
置としては，電子産業の発達と共にその製造装置や半導
体製造装置等の用途が急拡大している。そして各用途及
びその規模に合わせて，スライド装置全体を交換するこ
とはコスト上昇を招くと共に，交換作業が煩雑且つ長い
作業時間を必要とする。したがって，スライド装置のサ
イズやテーブルの支持・搬送等の性能に変更が生じたと
き等に対処するため，サイズや性能が自由に変更できる
と共に，安価で且つ迅速に交換作業を行うことができる
スライド装置が求められている。
【０００９】図１７に示すＸＹテーブル装置では，ボー
ルねじ軸１０９の軸受１１０が，モータが配置される側
では軌道レール１０６内に，また，モータが配置されな
い側では軌道レール１０６の端面に設けられているた
め，軌道レール１０６の長さやボールねじ軸の変更だけ
をするにしても，軸受１１０の取付けのためのボルト穴
の形成やその取付け作業等が煩雑である。
【００１０】上記各公報に開示の装置においても，ねじ
軸の両端を軸支するサポート（支持プレート，サポート
ユニット）はガイドレールの端面に対して取付けられて
いるので，メンテナンスのための分解や組立に際しての
作業性及び位置合わせが煩雑になる。更に，ガイドレー
ルの長さを変更する場合に切断した端面にタップ加工に
よりボルト穴を形成するに際して，ガイドレールを支持
台に固定する固定治具を使用する必要があり，加工作業
が煩雑となる。また，実公平７−２８４４４号公報に
は，モータ側のサポートユニットをガイドレールに嵌合
させる各種の取付け例が示されているが，嵌合部分を形
成することは加工が煩雑となることを意味し，且つサポ
ートユニットの嵌合位置は事実上当初の位置を変更でき
ないことを意味するから，結局，加工精度と組立作業と
が煩雑になる。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明の目的は，上記
課題を解決することであり，スライダを軌道レール上で
摺動させるためのねじ軸と螺合するナット体をスライダ
に対して取外し可能とし且つねじ軸の両端部を支持する
ねじ軸支持体を軌道レールの上面に対して取り付けるこ
とによって，スライド装置のメンテナンスや軌道レール
の長さ変更に対応して分解・組立作業を簡素化し，且つ
ねじ軸支持体の取付けのための各種作業を簡素化するこ
とができるスライド装置を提供することである。
【００１２】この発明は，互いに連結された一対の側部
を有する軌道レール，前記軌道レール上を摺動自在なス
ライダ，前記スライダに取外し可能に取り付けられると
共に前記スライダを前記軌道レール上で摺動させるため
の送りねじ機構を構成するナット体，前記ナット体に螺
合するねじ軸，前記ねじ軸の両端部を軸支し且つ前記一
対の側部の上面に載置した状態で取り付けられた一対の
ねじ軸支持体，及び前記ねじ軸支持体のいずれか一方に
取り付けられ且つ前記ねじ軸を回転駆動する駆動モータ
から成るスライド装置に関する。
【００１３】この発明は，上記のように構成されている
ので，例えば，メンテナンスやリードやねじ径を変更す
るために送りねじ機構を交換する場合等，送りねじ機構
をスライド装置から取り外す必要が生じたときには，一
対の側部の上面に載置した状態で取り付けられた一対の
ねじ軸支持体を，ねじ軸の軸支を解除した状態で，一対
の側部の上方からの操作で軌道レールから取り外す。ね
じ軸と共に送りねじ機構を構成するナット体はスライダ
から取外し自在であるので，スライダ全体をスライド装
置から取り外したり取り替えたりすることなく，ねじ軸
と螺合したままのナット体をスライダから取り外すこと
によって，メンテナンスを施したり，別のリードやねじ
径を有するねじ軸及びナット体と交換することができ
る。
【００１４】また，このスライド装置において，前記送
りねじ機構は，ナット体，ねじ軸，及びナット体の螺旋
溝とねじ軸の螺旋溝との間に介在されるボールを備えた
ボールねじで構成されている。ボールねじで構成される
送りねじ機構は，ねじ軸の雄ねじ部とナット体の雌ねじ
部との間に対向して形成される螺旋状の螺旋溝にボール
という転がり要素が配置されているため，ねじ軸の駆動
時においてねじ軸とスライダとの相対的な移動がスムー
ズになり，スライダの位置や速度を高精度で定めること
が可能となる。
【００１５】また，このスライド装置において，前記軌
道レールは，一対の側部と一対の側部を連結する底部と
によってＵ字状凹部を形成しており，前記スライダはＵ
字状凹部内を摺動自在に構成されている。前記スライダ
は，一対の側部に設けられた軌道溝と対応する軌道溝を
備えたケーシング，両軌道溝間を転走する転動体，ケー
シングの端面に固定されたエンドキャップ，及びエンド
キャップの端面に取り付けられたエンドシールを有して
いる。スライダは，軌道レールを構成する一対の側部間
に，転動体を介してガタツキなく嵌挿される。このよう
に，スライダは，直動転がり案内機構の基本的な構造を
有しているので，軌道レールに対してスムーズに動き，
スライダの位置や速度を高精度で定めることが可能とな
る。
【００１６】また，このスライド装置において，前記エ
ンドキャップにはグリースニップルが設けられており，
グリースニップルには，ねじ軸支持体とＵ字状凹部とで
形成されるスライダの摺動方向に開口する空間を通して
給油具が接続可能である。エンドキャップには転動体の
転走を潤滑するための潤滑油を供給するためのグリース
ニップルが設けられている。一対の側部の上面に載置し
た状態で取り付けられたねじ軸支持体は，Ｕ字状凹部を
形成している軌道レールとの間に，スライダの摺動方向
に開口する空間を形成している。したがって，この空間
を通して外部から軌道レールの長手方向にグリースニッ
プルに対して正対して給油することが可能となる。
【００１７】また，このスライド装置において，前記ボ
ールねじの少なくとも一方の端部は，この端部を軸支す
る軸受が嵌着された薄鋼板製の軸受支持金具をねじ軸支
持体に固定することにより，ねじ軸支持体に対して支持
されている。この薄鋼板製の軸受支持金具を用いる軸支
持構造は，軸受支持金具の加工及びねじ軸支持体への組
立が容易である。
【００１８】また，このスライド装置において，前記駆
動モータは，駆動モータの取付け仕様に対応して設けら
れるモータアタッチメントを介してねじ軸支持体に取り
付けられ，モータアタッチメントに圧入固着された圧入
リングをねじ軸支持体に形成された取付け孔に嵌合させ
ることにより，駆動モータがねじ軸支持体に位置決めさ
れる。スライド装置の使用用途に応じてモータの機種も
変更される。駆動モータに対応して形成される取付孔等
の位置及び大きさ等の取付け仕様も機種に応じて異なる
ので，ねじ軸支持体の取付けに際して，モータアタッチ
メントを介在させて仕様の違いによる取付け仕様の差異
を吸収するので，モータの交換及び取付けのための構造
が簡単化し且つそのための作業性が向上する。また，モ
ータアタッチメントに圧入固着された圧入リングをねじ
軸支持体に嵌合させるので，駆動モータのねじ軸支持体
に位置決めが容易である。
【００１９】また，このスライド装置において，前記ね
じ軸支持体と前記スライダとの対向する端面の少なくと
も一方には，薄鋼板の芯金と芯金に焼き付けられたゴム
とから構成される緩衝作用を有するストッパが取り付け
られている。スライダと軸受支持プレートとが衝突した
ときの衝撃を回避するため，一般には，スライダ又は軸
受支持プレートとの対向面に，弾性体から構成されたス
トッパが，接着剤等で固定されている。このスライド装
置における薄鋼板の芯金と芯金に焼き付けられたゴムと
から構成されるストッパは，一つの部品としてボルトで
固着可能であるので，ストッパの取付け取外しが容易と
なり，ストッパの交換及び取付作業性が改善される。
【００２０】また，このスライド装置において，前記軌
道レールには，軌道レールとスライダとの間を覆うカバ
ー部と，カバー部の外側に一体的に形成され且つスライ
ダの位置を検出するセンサが取り付けられるセンサ取付
けレール部とを有しているセンサレールが配設されてい
る。センサレールには，長手方向の必要な任意の位置に
センサを取り付けることができるので，センサの取付け
位置の変更やセンサの取付け作業が簡素化される。セン
サレールを軌道レールに取り付けることによって，カバ
ー部が軌道レールとスライダとの間を覆うため，異物が
軌道レールとスライダとの間に入り込むのが防止され
る。
【００２１】また，このスライド装置において，前記ス
ライダと前記ねじ軸との上部は，ねじ軸支持体間に掛け
渡された防塵カバーによって覆われており，スライダ
は，防塵カバーの側縁部から上方に延びて搭載物取付け
用のフランジ部を有している。防塵カバーは，スライド
装置の駆動部分であるスライダとねじ軸との上部を覆う
ので，上方からの異物の落下，侵入から駆動部分を保護
する。特に，一対の側部と底部とで構成した軌道レール
のＵ字状凹部内にスライダを嵌挿させているので，この
溝の上部が防塵カバーで略覆われた保護構造となる。防
塵カバーを用いる場合には，スライダは，搭載物（搬送
物）を支持するために防塵カバーの側縁部から上方に延
びる搭載物取付け用のフランジ部を有する構造となる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
によるスライド装置の実施例を説明する。図１は，この
発明によるスライド装置の一実施例の要部を一部を切り
欠いて示す斜視図、図２は図１に示すスライド装置の一
実施例の要部の分解斜視図である。
【００２３】図１に示すスライド装置１は，基本的に，
上面側が開口した断面Ｕ字状で長尺な軌道レール２，軌
道レール２のＵ字状凹部５内に移動可能に嵌挿されたス
ライダ３，スライダ３に螺合するねじ軸４，及び後述す
る駆動モータ６０から構成される。軌道レール２は取付
け孔８７（後述する）を挿通する取付けボルト等の固着
手段によって図示しない支持台に固定され，スライダ３
は，図示しない搭載物を取付けボルト等の固着手段によ
って固定する。スライダ３が軌道レール２に対して移動
することにより，搭載物は支持台に対して移動すること
ができる。スライダ３は，軌道レール２との間において
直動転がり案内機構を介して摺動自在である。軌道レー
ル２のＵ字状凹部５は，底部６とその両側から起立する
一対の側部７とによって構成されている。即ち，一対の
側部７は，底部６によって連結された構造を有してい
る。一対の側部７の対向する内面には，スライダ３が転
動する複数のボール１０を介して滑らかで正確な直線走
行を行うように，一対の軌道溝８が長手方向に平行に延
びて形成されており，一対の軌道溝８とボール１０とで
直動転がり案内機構が構成されている。
【００２４】スライダ３は，外周に螺旋溝を有するねじ
軸４が螺合する螺旋溝（図示せず）を有するナット体１
７を備えており，ねじ軸４とナット体１７とは，ねじ軸
４の回転に応じてスライダ３を軌道レール２の軸方向に
直線移動する送りねじ機構を構成している。この実施例
では，スライダ３が滑らかで正確に直線送りされるよう
に両螺旋溝の間にボールが転動可能に介在されており，
送りねじ機構は，ねじ軸４，ナット体１７及びボールを
備えたボールねじで構成されている。両螺旋溝に嵌合す
るボールが循環できるように，ナット体１７内には，ボ
ール循環路（図示せず）が形成されている。スライダ３
の詳細な構造については，後述する。
【００２５】ねじ軸４の各端部を回転可能に支持するモ
ータ側のねじ軸支持体１１とエンド側のねじ軸支持体１
２（それぞれの構造については後述する）は，アルミニ
ウム合金製であり，軌道レール２の各側部７の上面１３
に対してタップ加工によって形成されたねじ穴にねじ込
まれる取付けねじによって固定されている。軌道レール
２の軌道溝８及び上面１３は，互いに平行に加工されて
いる。したがって，モータ側ねじ軸支持体１１とエンド
側ねじ軸支持体１２をそのまま軌道レール２の上面１３
に対して固着すれば，垂直方向（上下方向）の位置合わ
せをする必要がない。モータ側ねじ軸支持体１１とエン
ド側ねじ軸支持体１２とを軌道レール２に対して水平方
向（左右方向）の位置合わせだけを行って取り付けれ
ば，スライダ３側の軌道溝９を軌道レール２側の軌道溝
８に対応させた状態で，軌道レール２に配置したねじ軸
４をスライダ３内に且つスライダ３の摺動方向に正確に
配置させることができる。結局，モータ側ねじ軸支持体
１１とエンド側ねじ軸支持体１２との軌道レール２に対
する位置合わせを簡単に行うことができる。
【００２６】モータ側ねじ軸支持体１１とエンド側ねじ
軸支持体１２との軌道レール２への取付けは，取付けボ
ルト１４及び取付けボルト１５を，それぞれ，モータ側
ねじ軸支持体１１とエンド側ねじ軸支持体１２とに設け
られた取付け用の貫通孔を通して軌道レール２に形成さ
れたねじ穴にねじ込むことによって行われる。軌道レー
ル２を途中で切断することによってその長さを調節する
場合を含めて，ねじ穴は，軌道レール２の上面１３に対
して上方からタップ加工によって形成される。したがっ
て，従来のように，固定治具によって軌道レール２を固
定した状態で軌道レール２の側部７，７の端面に横方向
からねじ穴を加工するのと比較して，加工作業能率が改
善される。また，モータ側ねじ軸支持体１１とエンド側
ねじ軸支持体１２とを軌道レール２に取り付けるには，
各ねじ軸支持体１１，１２を軌道レール２の上面１３に
載置した状態で取付けボルト１４，１５を軌道レール２
にねじ込む作業を行えばよく，垂直方向の位置合わせが
不要となり水平方向の位置合わせだけを行えばよい。し
たがって，軌道レール２の側面に垂直方向（高さ位置）
と水平方向（左右位置）とを同時に位置合わせをしなが
ら行う従来の取付け作業と比較して，取付け作業の作業
性も改善される。なお，取付けボルト１４，１５のよう
な，各種の取付け用のボルト又は取付け用の孔（穴）の
図面上への符号については，図面での煩雑さを回避する
ため，一つを代表して記載してある。
【００２７】図２には，図１に示したスライド装置１の
要部を一部切り欠いた分解斜視図が示されている。スラ
イダ３に形成した貫通孔１６には，ねじ軸４に螺合する
螺旋溝を有するナット体１７の筒部１８が嵌合してお
り，筒部１８と一体に形成されているフランジ部１９の
四隅に設けられた取付け孔を通してねじ軸取付けボルト
２０をスライダ３にねじ込むことによって，ナット体１
７がねじ軸４と共にスライダ３に取付けられる。したが
って，ねじ軸４のリードを変更する場合やメンテナンス
作業を行う場合等，ねじ軸４をスライド装置１から取り
外す必要があるときには，ナット体１７をスライダ３か
ら分離してねじ軸４をナット体１７と共に取り外すだけ
でよく，スライダ３全体或いは軌道レール２までも含め
て取り外す必要はない。また，交換したねじ軸やメンテ
ナンス終了後にねじ軸４をスライド装置１に戻す場合に
も，スライダ３は軌道レール２に嵌合したままであるか
ら，ボールねじのスライダ３への装填作業が簡単化され
る。
【００２８】モータ側ねじ軸支持体１１には，ねじ軸４
の縮径されたモータ側端部２１を支持するため，次のよ
うな軸受け支持構造が設けられている。即ち，モータ側
ねじ軸支持体１１には，モータ側端部２１に対応して軸
受孔２３が形成されており，軸受孔２３内に一対のアン
ギュラ軸受２４，２４がシム２５を介在させて組み込ま
れている。アンギュラ軸受２４，２４の抜出しを防止す
るため，軸受孔２３の両側は軸受押さえ２６及び２７が
配置されている。軸受押さえ２６，アンギュラ軸受２
４，２４及び軸受押さえ２７を貫通したねじ軸４のモー
タ側端部２１は，更にカラー２８を貫通し，ロックナッ
ト２９によって締め付けられ，その結果，軸受け支持構
造が完成すると共に，モータ側端部２１が軸受け支持構
造に回転自在に支持される。軸受押さえ２６は，後述す
るように，スライダ３がモータ側ねじ軸支持体１１に衝
突する場合に，衝撃を緩和するストッパともなってい
る。
【００２９】ねじ軸４のエンド側端部２２も，モータ側
端部２１と同様に縮径されており，次のような軸受け支
持構造が設けられている。即ち，エンド側ねじ軸支持体
１２にはエンド側端部２２に対応して軸受孔３０が形成
されており，軸受孔３０内に外側から軸受支持金具３４
が嵌合されている。軸受孔３０内に嵌合された軸受支持
金具３４内には，軸受３１及びＥ型止め輪３２が取り付
けられている。軸受支持金具３４は，軸受支持金具取付
けボルト３５によってエンド側ねじ軸支持体１２に取付
けられる。
【００３０】次に，スライダ３の詳細について説明す
る。図３はスライダ３の分解斜視図である。スライダ３
は，側面下部にボール１０が転動する軌道溝９と中央長
手方向に貫通孔１６とを有するケーシング４０を備えて
いる。軌道溝９の上面と軌道レール２との隙間は上面シ
ール４１によってシールされる。各軌道溝９からケーシ
ング４０内に形成した各ボール循環路４２を通って或い
はその逆の方向に多数のボール１０を無限循環させるた
め，各無限循環路毎に循環溝スペーサ４３が一対設けら
れ，循環溝スペーサ４３を含んで方向転換路が形成され
た一対のエンドキャップ４４がケーシング４０に対して
長手方向の端面に設けられている。エンドキャップ４
４，４４の外側には軌道レール２との隙間をシールする
一対のエンドシール４５が設けられている。エンドキャ
ップ４４とエンドシール４５とは，エンドキャップ４４
とエンドシール４５とを貫通してボルト４６によりケー
シング４０に取り付けられる。グリスニップル４７が少
なくとも一方のエンドシール４５を通してエンドキャッ
プ４４に接続されて，外部からの潤滑油が各無限循環路
内に供給される。また，この場合，他方のエンドキャッ
プ４４とエンドシール４５とには，潤滑油が漏れるのを
封じる止め栓４８が設けられている。
【００３１】次に，エンド側ねじ軸支持体１２における
ねじ軸４の端部２２の支持構造について説明する。図４
は図１に示すスライド装置におけるねじ軸４のエンド側
端部２２の支持構造を示す断面図，図５は図４に示され
る支持構造において用いられる軸受支持金具の正面図，
図６は図５に示す軸受支持金具の側面図である。図４に
示すように，エンド側ねじ軸支持体１２をねじ軸４の軸
線を含む垂直面で切断した断面図で見ると，軸受支持金
具３４は，軸受３１の外輪が嵌合する円筒部５０と，円
筒部５０の外側から径方向に広げられたフランジ部５１
とから構成されており，エンド側ねじ軸支持体１２に組
み付けた状態では，フランジ部５１の一側がエンド側ね
じ軸支持体１２の端面に当接される。フランジ部５１の
両横部は拡大されて，取付けボルト３５を挿通する挿通
孔５２が形成されている。挿通孔５２に対応して，エン
ド側ねじ軸支持体１２には取付けボルト３５が挿通する
挿通孔が形成されている。ストッパ３３の中央には段部
５３が形成されており，段部５３はエンド側ねじ軸支持
体１２の軸受孔３０に嵌合している。
【００３２】軸受支持金具３４をエンド側ねじ軸支持体
１２に組み付けた状態で，取付けボルト３５を軸受支持
金具３４の挿通孔５２を挿通してエンド側ねじ軸支持体
１２にねじ込むことにより，軸受支持金具３４はエンド
側ねじ軸支持体１２に固定される。ストッパ３３は，衝
撃を緩和する緩衝材を有しているので，エンド側ねじ軸
支持体１２に対して接着固定されている。なお，Ｅ型止
め輪３２は，ねじ軸４のエンド側端部２２に形成された
溝５４に係止されて，軸受３１がエンド側端部２２から
抜け出すのを防止している。また，軸受支持金具３４の
フランジ部５１の上縁部はエンド側ねじ軸支持体１２の
上縁から突出しないように平坦縁５５となっている。こ
の軸支持構造は，簡単な構造の薄鋼板製の軸受支持金具
３４を用いているので，軸受支持金具３４それ自体の加
工が簡単であると共に，エンド側ねじ軸支持体１２への
位置合わせと組立とを容易に行うことができる。
【００３３】図７，図８，図９，図１０及び図１１は，
それぞれ，この発明によるスライド装置１の第１実施例
において軌道レール２，スライダ３及びねじ軸４を含む
図１に示した要部の平面図，軌道レール２の一部を破断
して示す側面図，及びモータ側の端面図，エンド側の端
面図，及び図８における矢視Ａ−Ａで示す断面図であ
る。図示された各構成要素については，図１〜図６に示
したものと同様のものには同じ符号を付してあるので，
再度の説明を省略する。なお，スライダ３が支持する搭
載物の位置及び荷重に応じて，一つの軌道レール２に複
数のスライダ３が配設される。搭載物を支持するのにス
ライダ３を同じねじ軸４に対して２台用いた例が図７に
示されている。図７は，１台のスライダ３を実線で他の
１台のスライダ３ａを想像線で示すように，２台のスラ
イダ３，３ａを最も接近させた状態で並べて設置してい
る。スライダ当たりの支持荷重は過大になることがな
く，且つ搭載物の支持点，荷重共にバランス良く支持す
ることができる。なお，モータ側ねじ軸支持体１１の端
板７０については，後の駆動モータの取付けに関連して
詳述する。軌道レール２の底部６には，軌道レール２を
支持台に固定するための取付けボルト（図示せず）が挿
通される取付け孔８７が二列になって所定間隔に形成さ
れている。図９〜図１１に示すように，スライド装置１
の軌道レール２の断面における横軸線回り及び縦軸線回
りの断面二次モーメントを大きくして軌道レール２の曲
げ剛性が高められている。したがって，スライダ３が支
持するテーブルの下方向荷重が作用しても，例えば，長
手方向に隣接する二つの取付け孔８７，８７間において
最も大きく変位するであろう箇所での軌道レール２に生
じる変位量を抑制することができる。
【００３４】図１及び図２に示したスライド装置１の軌
道レール２，スライダ３，ねじ軸４，モータ側ねじ軸支
持体１１，及びエンド側ねじ軸支持体１２から成る要部
に対して駆動モータとセンサとが取り付けられる。図１
２は，駆動モータとセンサとをスライド装置１の要部に
対して取り付けてスライド装置１の組立が完成した状態
を示す斜視図である。駆動モータ６０は，ステッピング
モータであり，モータ用コネクタ６１を介してコントロ
ーラ（図示せず）から制御電流が入力され，出力軸６３
（図１３参照）に回転を出力する。駆動モータ６０は，
モータ側ねじ軸支持体１１に取付けボルト（図示せず。
ねじ軸４の軸方向と平行な方向に取り付ける）によって
取り付けられたモータアタッチメント６４に取付けボル
ト６５によって取り付けられる。このように，駆動モー
タ６０は，モータ側ねじ軸支持体１１に対して，種々の
駆動モータの取付仕様に合わせてなるモータアタッチメ
ント６４を介して取り付けられるので，モータ側ねじ軸
支持体１１に対してスライド装置１の使用用途に合わせ
て出力等の異なる各種駆動モータの取り付けを簡単に行
うことができる。
【００３５】また，駆動モータ６０は，軌道レール２の
上面１３に載置した状態で取り付けられたモータ側ねじ
軸支持体１１にモータアタッチメント６４を介して取り
付けられているので，軌道レール２の端面にモータ側ね
じ軸支持体を取り付け且つモータ側ねじ軸支持体に駆動
モータを取り付ける構造と比較して，駆動モータが軌道
レール２から大きく出っ張ることがなく，軌道レール２
を支持台（ベース）に取り付けたときに軌道レール２で
バランス良く荷重を支持することができる。
【００３６】図１３は図１２に示されたスライド装置１
に用いられるモータアタッチメントの側面図である。図
１３に示すように，モータアタッチメント６４の中央に
は貫通孔６７が形成されており，貫通孔６７の途中まで
圧入リング６８の一部が圧入されて固着されている。圧
入リング６８の残る部分は，モータアタッチメント６４
の貫通孔６７からはみ出しており，この部分はモータ側
ねじ軸支持体１１の端板７０に形成された取付け孔７１
（図１及び図２参照）に嵌合されている。また，駆動モ
ータ６０の取付け凸部６２が，貫通孔６７の残りの部分
に嵌合されている。モータアタッチメント６４にリング
部を一体に形成するよりも，別体に形成した圧入リング
を上記のように圧入固定する方が，加工も容易であって
精度を出すことができる。駆動モータ６０の出力軸６３
は圧入リング６８内を貫通しており，駆動モータ６０の
出力軸６３とねじ軸４のモータ側端部２１とは，モータ
側ねじ軸支持体１１内でカップリング６９によって連結
されている。
【００３７】モータ側ねじ軸支持体１１又はエンド側ね
じ軸支持体１２は，軌道レール２の上面１３に載置され
た状態で取り付けられているので，Ｕ字状凹部５に対し
て，軌道レール２のモータ側又はエンド側の外部から，
軌道レール２とねじ軸支持体１１，１２との間の空間を
通して，スライダ３に対して長手方向にアクセスするこ
とができる。このアクセスは，特にエンド側において行
い易く且つ有利である。したがって，スライダ３のボー
ル循環路４２へ給油するためにエンドキャップ４４に設
けられたグリースニップル４７に対して給油器を接続さ
せようとする場合に，従来のように給油器をスライダ３
に対して斜め状に無理な姿勢でアクセスすることなく，
給油器をグリースニップル４７に正対して無理なく接続
することができる。
【００３８】スライド装置においては，スライダ３が，
万一各ねじ軸支持体１１と衝突しても，その時の衝撃に
よる損傷を防止するために，軸受押さえでもなるストッ
パ２６が，軸受押さえ２７のような鋼板を芯板としてゴ
ムを焼付けしたものとして予め構成されている。このよ
うに，ストッパ２６は，芯板にゴムを焼付けた衝撃吸収
部材として構成されているので，ボルトにてねじ軸支持
体１１に取り付けられる。したがって，従来，一般的に
は弾性体でなるゴム状のストッパがボルトによって直接
的に固着することができないために，接着剤によって貼
着していたことと比較して，衝撃吸収部材としてのスト
ッパ２６を，その芯板を軸受押さえ２７と兼用させつ
つ，ねじ軸支持体１１にボルトにて容易に取り付けるこ
とができる。なお，ねじ軸支持体１１に対して軸受押さ
え２７を設けた場合には，ストッパ２６をスライダ３側
に設けてもよい。
【００３９】図１４は，図１２に示すスライド装置１
を，図８に示す矢視Ａ−Ａと同様の位置と方向で見た断
面図，即ち，スライダ３とねじ軸支持体１１との間の位
置においてねじ軸４に直交する平面で切断した断面図で
ある。図１２及び図１４を参照すると，軌道レール２の
一対の側壁７の外面には，それぞれセンサレール７４が
取付けボルト７５によって取付けられている。各センサ
レール７４には，位置を特定する必要がある任意の位置
にセンサ７６〜７９が設けられている。例えば，センサ
７６は原点を検出するためのものであり，センサ７８は
原点前を検出するためのものである。センサ７６〜７９
が検出した検出信号は，リード線８１を経てセンサ用コ
ネクタ８０からコントローラ（図示せず）に入力され
る。一方，スライダ３の側面には，ドグ８３がドグ取付
けボルト８４によって取り付けられており，スライダ３
がねじ軸４の回転動作で軌道レール２に沿って移動する
ときに，センサ７６〜７９がドグ８３を検出して，スラ
イダ３の位置の情報をコントローラに送信する。なお，
センサ７６〜７９とセンサ用コネクタ８０とを結ぶリー
ド線８１は，ナイロンクランプ８５によって，モータア
タッチメント６４に係止させることができる。
【００４０】モータ用コネクタ６１とセンサ用コネクタ
８０とを図示しないドライバと及びコントローラとに接
続することにより，コントローラは，センサ用コネクタ
８０からのドク８３を検出した検出信号に基づいて，駆
動モータであるステッピングモータ６０に制御信号を出
力してその出力回転を制御する。図１４に示されている
ように，センサレール７４にはその長手方向に延びるリ
ード線用溝８６が形成されており，センサ７６〜７９に
接続されるリード線８１を収容することができる。ま
た，センサナレール７４は，軌道レール２とスライダ３
と側面部分を覆う防塵カバーにもなっており，幅広いカ
バー部８８とセンサ取付けレール部８９とが一体に形成
されている。なお，この図において，軌道レール２の底
部６には，軌道レール２を支持台（図示せず）に取付け
る取付けボルトが挿通する取付け孔８７が２列に所定間
隔毎に形成されている。
【００４１】図１５は，この発明によるスライド装置の
第２実施例であって，軌道レール２内に収容されるスラ
イダ３やねじ軸４を外部から保護する防塵カバー９１を
設けたスライド装置９０を示した斜視図であり，図１６
は，図１５に示すスライド装置の図８に示す矢視Ａ−Ａ
と同様の位置と方向で見た断面図，即ち，スライダ９３
とねじ軸支持体１１との間の位置においてねじ軸４に直
交する平面で切断した断面図である。この第２実施例で
は，スライダの構造が異なる以外は，第１実施例で示し
たスライド装置１の構造と相違しないので，同一の構造
及び同一の機能を有する構成要素には同じ符号を付して
おり，それらについての再度の説明を省略する。スライ
ダ９３は，防塵カバー９１との干渉を回避するため，防
塵カバー９１の両側部を迂回するように，軌道レール２
の横方向から上方に延びる一対のフランジ部９４，９４
を有しており，搭載物（図示せず）はフランジ部９４，
９４に取付けねじ穴９５にねじ込まれる取付けボルト
（図示けず）によって取り付けられる。フランジ部９
４，９４は，スライド装置１におけるドグ８３の機能も
有している。なお，防塵カバー９１は，モータ側ねじ軸
支持体１１とエンド側ねじ軸支持体１２に対して取付け
ボルト９２によって上方から取付けられる。
【００４２】
【発明の効果】この発明によるスライド装置は以上のよ
うに構成されているので，次のような効果を有する。即
ち，このスライド装置は，互いに連結された一対の側部
を有する軌道レール上を摺動自在なスライダに，送りね
じ機構を構成するナット体を取外し可能に取り付けてお
き，ねじ軸をナット体に螺合し，一対の側部の上面に載
置した状態で取り付けられた一対のねじ軸支持体によっ
てねじ軸の両端部を軸支し，ねじ軸を回転駆動する駆動
モータをねじ軸支持体のいずれか一方に取り付けたの
で，例えば，メンテナンスの場合やリード又はねじ径を
変更するために送りねじ機構を交換する場合等，送りね
じ機構をスライド装置から取り外す必要が生じたときに
は，一対の側部の上面に載置した状態で取り付けられた
一対のねじ軸支持体を，ねじ軸の軸支を解除した状態
で，一対の側部の上方からの操作で軌道レールから取り
外すと，ねじ軸とスライダから取り外したナット体とを
スライド装置から簡単に取り外すことができる。したが
って，スライド装置自体を交換したり，スライダ全体を
スライド装置から取り外したり取り替えたりすることな
く，ねじ軸とナット体のみを取り外すことで，各種のメ
ンテナンスを施したり，異なるリード又はねじ径を有す
る送りねじ機構と交換することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるスライド装置の一実施例の要部
を一部を切り欠いて示す斜視図である。
【図２】図１に示すスライド装置の一実施例の要部の分
解斜視図である。
【図３】図１に示すスライド装置におけるスライダの分
解斜視図である。
【図４】図１に示すスライド装置におけるねじ軸のエン
ド側端部の支持構造を示す断面図である。
【図５】図４に示される支持構造に用いられる軸受支持
金具の正面図である。
【図６】図５に示す軸受支持金具の側面図である。
【図７】図１に示したスライド装置の要部の平面図であ
る。
【図８】図１に示したスライド装置の要部を，軌道レー
ルの一部を破断して示す側面図である。
【図９】図１に示したスライド装置の要部のモータ側の
端面図である。
【図１０】図１に示したスライド装置の要部のエンド側
の端面図である。
【図１１】図８における矢視Ａ−Ａでの断面図である。
【図１２】この発明によるスライド装置の一実施例を示
す斜視図である。
【図１３】図１２に示したスライド装置に用いられるモ
ータアタッチメントの側面図である。
【図１４】図１２に示すスライド装置を図８に示す矢視
Ａ−Ａと同様の位置と方向で見た断面図である。
【図１５】この発明によるスライド装置の別の実施例を
示す斜視図である。
【図１６】図１５に示すスライド装置を図８に示す矢視
Ａ−Ａと同様の位置と方向で見た断面図である。
【図１７】従来のＸＹ位置決めテーブル装置を示す斜視
図である。
【符号の説明】
１，９０ スライド装置 ２ 軌道レール ３，３ａ，９３ スライダ ４ ねじ軸 ５ Ｕ字状凹部 ６ 底部 ７ 側部 ８，９ 軌道溝 １０ ボール １１ モータ側ねじ軸支持体 １２ エンド側ねじ軸支持体 １３ 上面 １６ 貫通孔 １７ ナット体 ２１ モータ側端部 ２２ エンド側端部 ２７ 軸受押さえ ２４，３１ 軸受 ２６，３３ ストッパ ３４ 軸受支持金具 ４０ ケーシング ４２ ボール循環路 ４４ エンドキャップ ４５ エンドシール ４７ グリースニップル ６０ 駆動モータ ６４ モータアタッチメント ６８ 圧入リング ７１ 取付け孔 ７４ センサレール ７６〜７９ センサ ８１ リード線 ８３ ドグ ８８ カバー部 ８９ センサ取付けレール部 ９１ 防塵カバー ９４ フランジ部

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 互いに連結された一対の側部を有する軌
    道レール，前記軌道レール上を摺動自在なスライダ，前
    記スライダに取外し可能に取り付けられると共に前記ス
    ライダを前記軌道レール上で摺動させるための送りねじ
    機構を構成するナット体，前記ナット体に螺合するねじ
    軸，前記ねじ軸の両端部を軸支し且つ前記一対の側部の
    上面に載置した状態で取り付けられた一対のねじ軸支持
    体，及び前記ねじ軸支持体のいずれか一方に取り付けら
    れ且つ前記ねじ軸を回転駆動する駆動モータから成るス
    ライド装置。
  2. 【請求項２】 前記送りねじ機構は，前記ナット体，前
    記ねじ軸，及び前記ナット体の螺旋溝と前記ねじ軸の螺
    旋溝との間に介在されるボールを備えたボールねじで構
    成されていることから成る請求項１に記載のスライド装
    置。
  3. 【請求項３】 前記軌道レールは，前記一対の側部と前
    記一対の側部を連結する底部とによってＵ字状凹部を形
    成しており，前記スライダは前記Ｕ字状凹部内を摺動自
    在であることから成る請求項１又は２に記載のスライド
    装置。
  4. 【請求項４】 前記スライダは，前記一対の側部に設け
    られた軌道溝に対応した軌道溝を備えたケーシング，前
    記両軌道溝間を転走する転動体，前記ケーシングの端面
    に固定されたエンドキャップ，及び前記エンドキャップ
    の端面に取り付けられたエンドシールを有していること
    から成る請求項１〜３のいずれか１項に記載のスライド
    装置。
  5. 【請求項５】 前記エンドキャップにはグリースニップ
    ルが設けられており，前記グリースニップルには，前記
    ねじ軸支持体と前記Ｕ字状凹部とで形成される前記スラ
    イダの摺動方向に開口する空間を通して給油具が接続可
    能であることから成る請求項４に記載のスライド装置。
  6. 【請求項６】 前記ボールねじの少なくとも一方の前記
    端部は，前記端部を軸支する軸受が嵌着された薄鋼板製
    の軸受支持金具を前記ねじ軸支持体に固定することによ
    り，前記ねじ軸支持体に対して支持されていることから
    成る請求項１〜５のいずれか１項に記載のスライド装
    置。
  7. 【請求項７】 前記駆動モータは前記駆動モータの取付
    け仕様に対応して配設されたモータアタッチメントに取
    り付けられ，前記モータアタッチメントに圧入固着され
    た圧入リングを前記ねじ軸支持体に形成された取付け孔
    に嵌合させることにより，前記駆動モータが前記ねじ軸
    支持体に位置決めされることから成る請求項１〜６のい
    ずれか１項に記載のスライド装置。
  8. 【請求項８】 前記ねじ軸支持体と前記スライダとの対
    向する端面の少なくとも一方には，薄鋼板の芯金と前記
    芯金に焼き付けられたゴムとから構成される緩衝作用を
    有するストッパが取り付けられていることから成る請求
    項１〜７のいずれか１項に記載のスライド装置。
  9. 【請求項９】 前記軌道レールには，前記軌道レールと
    前記スライダとの間を覆うカバー部と，前記カバー部の
    外側に一体的に形成され且つ前記スライダの位置を検出
    するセンサが取り付けられるセンサ取付けレール部とを
    有しているセンサレールが配設されていることから成る
    請求項１〜８のいずれか１項に記載のスライド装置。
  10. 【請求項１０】 前記スライダと前記ねじ軸との上部
    は，前記ねじ軸支持体間に掛け渡された防塵カバーによ
    って覆われており，前記スライダは，前記防塵カバーの
    側縁部から上方に延びて搭載物取付け用のフランジ部を
    有していることから成る請求項１〜９のいずれか１項に
    記載のスライド装置。
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