JP4678165B2 - 直動テーブル装置 - Google Patents
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Description
ところで、直動テーブル装置は、例えば、半導体製造装置、工作機械、またはそれらの部品の製造または処理等において使用される真空チャンバ内に設置されるものがある。
しかしながら、真空チャンバ内に直動テーブル装置を設置後は、真空チャンバ内部で分解や組み付け等のメンテナンス作業を実施することになるが、真空チャンバ内は複雑かつ狭小な構造となっているため、十分なメンテナンス空間を確保することは困難である。そのため、直動テーブル装置を真空チャンバ内に設置した後は、直動テーブル装置の構成要素のメンテナンス作業には多大な手間を要する。また、メンテナンス作業中は、生産ラインの停止を伴うとともに、メンテナンス後においても真空引き等、生産ラインの再開までにはかなりの時間を要するという問題があるため、真空チャンバ内でのメンテナンスの作業性を改善することは重要な課題である。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであって、真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置のメンテナンスの作業性を改善することを目的としており、特に、真空チャンバ内での直動テーブル装置のボールねじのメンテナンスの作業性を改善することを目的とする。
図1は本発明の一実施形態を示す図であり、同図は本発明に係る直動テーブル装置の概略構成を示す斜視図である。
この直動テーブル装置1は、図1に示すように、真空チャンバ10内に設置されるものであり、ベース2、リニアガイド3A,3B、移動テーブル4を備えるとともに、移動機構5としてボールねじ51、ナットブラケット55およびサポートブラケット54A,54B等を備えて構成されている。
各リニアガイド3A,3Bは、図2に示すように、それぞれの案内レール31A,31Bと、各案内レール31A,31B上をスライド可能な2つのスライダ32とを備えて構成されている。各スライダ32内には、案内レール31A,31Bに同レールの長手方向に沿って形成された転動体転動溝に転動自在に係合する多数の球状転動体33が組み込まれている。
ここで、このサポートブラケット54A,54B部分について図3を参照しつつより詳しく説明する。なお、図3は、本発明の直動テーブル装置を示す断面図である。
サポートユニット52A,52Bは、図3に示すように、玉軸受等の転がり軸受52a,52aを内装する軸受ハウジング52bと、外輪押え52fとを備えて構成されている。
各サポートブラケット54A,54Bには、サポートユニット52A,52Bにおける軸受ハウジング52bの円筒部52dを装着する装着口54aがねじ軸51cの軸方向に貫通形成されている。そして、図3に示すように、軸受ハウジング52bの円筒部52dが各サポートブラケット54A,54Bの装着口54aに挿入されるとともに、外輪押え52fが軸受ハウジング52bとともに4つの止めねじ57によって各サポートブラケット54A,54Bの側面に形成された雌ねじにねじ止めされる。
ナットブラケット55は、ねじ軸51cに螺合されたナット51bを支持するものであり、図3および図4に示すように、平行六面体状をなすブロック部材である。図3に示すように、同図でナットブラケット55の左右方向の面には、その中央部分にねじ軸51cの軸方向に貫通して、円筒状のナット51bの円筒部51pを収容する開口部55pが形成されている。この開口部55pの内径はナット51bの円筒部51pの外径より一回り大きい。そのため、ナットブラケット55とナット51bとは径方向での相対位置に自由度があるため、相互の組付け位置の調整代が確保される。
例えば、上記実施形態では、位置決め部材53は、ナットフランジ51fと、ナットブラケット55のナットフランジ51f側の側面との間に介装されるスペーサであり、略長方形状に形成された一枚の板から形成されており、さらに、この位置決め部材53の略中央部には位置決め部53pが、ナット51bの円筒部51pのもつ外径寸法に対してインロー結合する内径寸法を有して形成されている例について説明したが、本発明に係る位置決め部材は、これに限定されるものではない。そこで、次に、位置決め部材の他の例について説明する。
なお、この第一の変形例では、位置決め部材を、二つの位置決め部材64a,64bに分割した例で説明したが、分割する個数を3個以上としてもよい。
図7は本発明の第二の変形例を示す図であり、同図では、ナットブラケット75、ボールねじ51のナット51b部分、および位置決め部材のみを示し、他の機構部材はその図示を省略している。なお、この第二の変形例では、上述した実施形態に対して、位置決め部材の構成のみが異なっており、他の構成については同様であるため位置決め部材の構成以外の説明は省略する。
また、例えば第四の変形例として、図9に示すように、位置決め部材を、3つの位置決め部材74a,74b,74cの組から構成するとともに、ナットブラケット55のナットフランジ51fとは反対の側の側面に装着するようにしてもよい。
2 ベース
2a 平板部
3A,3B リニアガイド
4 移動テーブル
5 移動機構
10 真空チャンバ
51 ボールねじ
51b ナット
51c ねじ軸
51f ナットフランジ
51p 円筒部(当接部)
52A,52B サポートユニット
53 位置決め部材
53p 位置決め面(位置決め部)
54A,54B サポートブラケット
55 ナットブラケット
56 ロックナット
Claims (2)
- 真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置であって、
ベースと、該ベースに対して直動可能に支持される移動テーブルと、該移動テーブルに取付けられたナットブラケットと、該ナットブラケットに着脱可能に支持されるナットおよび該ナットに螺合して当該ナットを軸方向に駆動するねじ軸を有するボールねじと、を備え、
前記ナットブラケットは、前記ナットの径方向の相対位置を決める位置決め部が形成された位置決め部材を取付けてなり、
前記ナットは、円筒部を有し、前記位置決め部材は、前記位置決め部として前記円筒部とインロー結合する開口部を有することを特徴とする直動テーブル装置。 - 真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置であって、
ベースと、該ベースに対して直動可能に支持される移動テーブルと、該移動テーブルに取付けられたナットブラケットと、該ナットブラケットに着脱可能に支持されるナットおよび該ナットに螺合して当該ナットを軸方向に駆動するねじ軸を有するボールねじと、を備え、
前記ナットブラケットは、前記ナットの径方向の相対位置を決める位置決め部が形成された位置決め部材を取付けてなり、
前記ナットは、円筒部を有し、前記位置決め部材は、複数の部材の組から構成されるとともに、当該複数の部材に、前記位置決め部として前記円筒部の周囲と当接させる当接面をそれぞれ有することを特徴とする直動テーブル装置。
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- 2004-09-30 JP JP2004287774A patent/JP4678165B2/ja not_active Expired - Fee Related
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