JP5047749B2 - 小型スライド装置 - Google Patents
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Description
図3に示すように、基台1にはレール2を敷設するとともに、このレール2に沿ってスライドテーブル3を移動するようにしている。つまり、上記スライドテーブル3の両側には、断面形状をコ字状にしたガイド部材4を設け、これらガイド部材4を上記レール2に摺動自在に跨がせて、上記のようにスライドテーブル3をレール2に沿って移動させるようにしている。
また、上記スライドテーブル3には、レール2の軸方向に貫通する孔を形成するとともに、この孔内にボールナット5をねじで固定し、当該ボールナット5にスクリューシャフト6のねじ部6aを螺合させている。したがって、スクリューシャフト6を回転させたとき、この回転力によってボールナット5およびスライドテーブル3が一体となって、レール2に沿って移動することとなる。
そして、基台1には、上記支持部6bが貫通できる孔を形成したケーシング7を固定するとともに、このケーシング7内にアンギュラベアリング8を組み込んでいる。また、上記ケーシング7の開口にはふた部材9を固定して、ケーシング7からアンギュラベアリング8が抜け出さないようにしている。
例えば、上記のスライド装置を、半導体素子の製造工程で位置決め装置として用いる場合には、半導体を載置したスライドテーブル3を種々の位置に移動させるとともに、これら各位置において所定の処理を半導体に施す。このとき、スライドテーブル3の移動位置には精密さが要求されることになるが、特に半導体等のワークが小型の場合には、要求される精密さもミクロン単位の極めて厳密なものとなる。したがって、特に小型のスライド装置においては、スクリューシャフト6が軸方向へ移動しないように、ベアリングナット11によって、フランジ6cとカラー10とを、それら両者の間に遊びが生じないようにして、軸方向に固定している。
しかし、従来のスライド装置においては、スクリューシャフト6の軸方向の移動を規制するために、カラー10やベアリングナット11を取り付けるスペースが必要となり、また、回転軸12とスクリューシャフト6(連結部6d)とを連結するカップリング部材13を取り付けるスペースも必要となる。このように、カラー10やベアリングナット11、あるいはカップリング部材13を、スクリューシャフト6の軸方向に設けなければならないため、どうしてもスクリューシャフト6が長くなってしまい、装置の全長が長くなってしまう。
つまり、従来のスライド装置においては、スライドテーブル3の移動範囲が僅かであるにも関わらず、その長さ方向の小型化に制約を受けざるを得ないという問題があった。
また、上記のように専用部品が不要となるので、部品点数を削減してコストを低減することができる。
図1に示すように、基台21にはレール22を敷設するとともに、このレール22に沿ってスライドテーブル23を移動するようにしている。つまり、上記スライドテーブル23の両側には、断面形状をコ字状にしたガイド部材24を設け、これらガイド部材24を上記レール22に摺動自在に跨がせて、上記のようにスライドテーブル23をレール22に沿って移動させるようにしている。
また、上記スライドテーブル23には、レール22の軸方向に貫通する孔を形成するとともに、この孔内にボールナット25をねじで固定し、当該ボールナット25にスクリューシャフト26のねじ溝を螺合させている。したがって、スクリューシャフト26を回転させたとき、この回転力によってボールナット25およびスライドテーブル23が一体となって、レール22に沿って移動することとなる。
具体的には、上記カップリング部材31は、その軸方向に貫通する孔31aを形成するとともに、この孔31aに連通するネジ孔31b,31cを、径方向に形成している。
このように、フランジ27aとカップリング部材31との間に内輪29aを挟持することで、キャップ部材27およびこのキャップ部材27を固定したスクリューシャフト26が軸方向にがたつくのを規制している。
ただし、キャップ部材27は、焼入れ硬化の必要がないため、上記のようにスクリューシャフト26とキャップ部材27とを別体成形すれば、スクリューシャフト26に挟持部を形成するよりも、加工コストを低減することができる。また、別体成形したキャップ部材27を、スクリューシャフト26のモーターM側先端に固定すれば、当該スクリューシャフト26の先端に加工を施す必要がなくなる。そのため、ストローク長さに応じてスクリューシャフト26を切断し、当該スクリューシャフト26の長さを適宜変更して利用することができる。したがって、スクリューシャフト26の共通利用が可能となり、在庫点数を削減することができる。
さらには、キャップ部材27はスクリューシャフト26よりも硬くないため、六角穴付き止めネジN1の先端がキャップ部材27に食い込みやすく、六角穴付き止めネジN1の緩み防止効果が期待できる。
23 スライドテーブル
26 スクリューシャフト
27 キャップ部材
27a この発明の挟持部を構成するフランジ
29 この発明のベアリングであるアンギュラベアリング
31 カップリング部材
32 モーター回転軸
M モーター
Claims (1)
- 基台に敷設されたレールと、このレール上を移動するスライドテーブルと、このスライドテーブルに連結するとともに上記レールと平行に位置するスクリューシャフトと、このスクリューシャフトを回転させるモーターと、このモーターの回転軸と上記スクリューシャフトとを連結するカップリング部材と、上記スクリューシャフトを支持するベアリングとを備え、上記モーターを駆動してスクリューシャフトを回転させ、このスクリューシャフトの回転によってスライドテーブルをレールの軸方向に移動させる小型スライド装置において、上記ベアリングの内輪に支持され、その内径を上記スクリューシャフトの外径とほぼ等しくして、上記モーター側の上記スクリューシャフトの先端を圧入固定するための孔を形成したキャップ部材を備えるとともに、このキャップ部材の上記スクリューシャフトを挿入する挿入口側にはフランジを形成し、上記カップリング部材は軸方向に貫通する貫通孔を備え、このカップリング部材の貫通孔には、その一端側から上記キャップ部材の先端を挿入するとともに、上記フランジを上記ベアリングの内輪の一端に当接させた状態で挿入された上記キャップ部材の先端側を止めネジで押圧して固定し、上記貫通孔の他端側からは上記モーターの回転軸を挿入してこの回転軸を止めねじで押圧して固定するとともに、上記カップリング部材の一端を上記ベアリングの内輪の他端に圧接させて、上記キャップ部材のフランジと上記カップリング部材の一端とによって上記ベアリングを直接挟持し、上記カップリング部材と上記スクリューシャフトとを連結する構成にしたことを特徴とする小型スライド装置。
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