JP2003014070A - 電動アクチュエータ - Google Patents

電動アクチュエータ

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JP2003014070A
JP2003014070A JP2001201425A JP2001201425A JP2003014070A JP 2003014070 A JP2003014070 A JP 2003014070A JP 2001201425 A JP2001201425 A JP 2001201425A JP 2001201425 A JP2001201425 A JP 2001201425A JP 2003014070 A JP2003014070 A JP 2003014070A
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JP
Japan
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spline
screw shaft
feed screw
electric actuator
displacement
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Shigekazu Nagai
茂和 永井
Masaki Miyahara
正樹 宮原
Yoshiyuki Yamazaki
善之 山崎
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SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
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    • F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20—Screw mechanisms
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16H25/20—Screw mechanisms
    • F16H2025/204—Axial sliding means, i.e. for rotary support and axial guiding of nut or screw shaft
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    • Y10T74/00—Machine element or mechanism
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    • Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
    • Y10T74/18576—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including screw and nut
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    • Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
    • Y10T74/18576—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including screw and nut
    • Y10T74/1868—Deflection related

Abstract

(57)【要約】 【課題】変位部材に対する略鉛直方向、送りねじ軸の軸
線を中心とする周方向、前記送りねじ軸の軸線に略直交
する水平線を中心とする周方向並びに前記送りねじ軸の
軸線に略直交する鉛直線を中心とする周方向、およびこ
れらの方向が複合的に組み合された方向から付与される
負荷を吸収する。 【解決手段】ボールねじ軸１６の回転運動は取付部５２
を介して変位部材４４ａ、４４ｂと一体になったボール
スプラインナット４２によって直線運動に変換される。
変位部材４４ａ、４４ｂに連結されたスプラインピスト
ン４８ａ、４８ｂの外周面にはインボリュートスプライ
ンが刻設され、スプラインピストン４８ａ、４８ｂがフ
レーム１２の内壁面に長手方向にインボリュートプライ
ンの穴部スプライン２０に摺動自在に噛み合う。取付部
５２は、穴部スプライン２０、スプラインピストン４８
ａ、４８ｂを介してフレーム１２の長手方向に沿って変
位する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電動アクチュエー
タに関し、一層詳細には、インボリュートスプラインを
用いたスプラインガイド機構をガイドにして変位部材を
直線運動させる電動アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、ワーク等を搬送する手段とし
て、送りねじ機構を用いた電動アクチュエータが使用さ
れている。この種の電動アクチュエータは、フレームの
内部に配設されたモータの駆動軸にカップリング部材を
介して送りねじ軸が同軸状に連結され、前記送りねじ軸
には、変位部材に設けられた送りナットが螺合されてい
る。前記フレームの内部には、変位部材を送りねじ軸に
沿って直線状に案内するリニアガイド機構が設けられて
いる。前記変位部材の一側部には、前記フレームに形成
されたスリットから外部に突出する取付部が設けられて
おり、前記取付部は、スライドテーブルと連結されてい
る。
【０００３】この場合、モータの回転により送りねじ軸
が回転し、前記送りねじ軸の回転運動は送りナットによ
って直線運動に変換され、変位部材がリニアガイド機構
の作用下にフレームの長手方向に沿って変位する。この
ため、スライドテーブルが変位して該スライドテーブル
に載置されたワークが搬送される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術に係る電動アクチュエータにおいて、リニアガイド機
構では、重量物のワークをスライドテーブルに載置して
搬送する場合に、ワークの重力作用による送りねじ軸の
軸線を中心とする周方向、前記送りねじ軸の軸線に略直
交する水平線を中心とする周方向並びに前記送りねじ軸
の軸線に略直交する鉛直線を中心とする周方向、および
これらの方向が複合的に組み合された方向から付与され
る負荷を吸収することができない。
【０００５】このため、送りねじ軸が撓曲して該送りね
じ軸と送りナットとの摺動抵抗が増大するという不都合
があった。
【０００６】本発明は、前記の不都合を克服するために
なされたものであって、変位部材に対して略鉛直方向、
送りねじ軸の軸線を中心とする周方向、前記送りねじ軸
の軸線に略直交する水平線を中心とする周方向並びに前
記送りねじ軸の軸線に略直交する鉛直線を中心とする周
方向、およびこれらの方向が複合的に組み合された方向
から付与される負荷を吸収することが可能な電動アクチ
ュエータを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、フレームと、前記フレームの内部また
は外部に配設された回転駆動源と、前記回転駆動源の駆
動軸に連結され、該回転駆動源の回転駆動力が伝達され
る送りねじ軸と、前記送りねじ軸に係合し、該送りねじ
軸の回転運動を直線運動に変換し前記送りねじ軸の軸線
方向に沿って変位する変位機構と、前記変位機構に連結
され、該変位機構を前記送りねじ軸の軸線方向に沿って
ガイドするとともに、前記変位機構に対して略鉛直方
向、前記送りねじ軸の軸線を中心とする周方向、前記送
りねじ軸の軸線に略直交する水平線を中心とする周方向
並びに前記送りねじ軸の軸線に略直交する鉛直線を中心
とする周方向、およびこれらの方向が複合的に組み合さ
れた方向から付与される負荷を吸収するスプラインガイ
ド機構と、を備えることを特徴とする。
【０００８】本発明によれば、変位機構に対して略鉛直
方向、送りねじ軸の軸線を中心とする周方向、前記送り
ねじ軸の軸線に略直交する水平線を中心とする周方向並
びに前記送りねじ軸の軸線に略直交する鉛直線を中心と
する周方向、およびこれらの方向が複合的に組み合され
た方向から付与される負荷を吸収するためのスプライン
ガイド機構を備えている。これにより、送りねじ軸と送
りナットとの摺動抵抗が解消され、重量物からなるワー
クを容易に搬送することができる。
【０００９】この場合、前記変位機構は、ボールベアリ
ングを介してボールねじ軸に螺合されたボールスプライ
ンナットと、前記ボールスプラインナットの両端部に当
接され該ボールスプラインナットと一体的に連結された
一組の変位部材と、前記一組の変位部材に取着された取
付部とを有すると、構成が簡略化され、好適である。
【００１０】この場合、前記一組の変位部材の変位方向
の一端部に、スプラインガイド機構が取着されるとよ
い。
【００１１】さらに、前記スプラインガイド機構が、前
記フレームの内壁面に長手方向にスプラインが設けられ
た穴部スプラインと、外周面に前記穴部スプラインに嵌
合するスプライン歯が形成された一組のスプラインピス
トンとを備えると、簡単な構成にすることができ、好適
である。
【００１２】また、前記穴部スプラインおよび前記一組
のスプラインピストンに、インボリュートスプラインが
設けられていると、変位機構を円滑に摺動させることが
でき、好適である。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る電動アクチュ
エータについて、好適な実施の形態を挙げ、添付の図面
を参照して詳細に説明する。
【００１４】図１乃至図５において、参照符号１０は、
本発明の実施の形態に係る電動アクチュエータを示す。
電動アクチュエータ１０は、基本的には、長尺状に形成
されたフレーム１２と、前記フレーム１２の一端部に設
けられたモータ（回転駆動源）１４と、フレーム１２の
内部に軸支された送りねじ軸であるボールねじ軸１６
と、前記ボールねじ軸１６によって変位する変位機構１
８とを備える。
【００１５】フレーム１２には、内壁面に長手方向に沿
ってインボリュートスプライン（スプライン歯の断面形
状がインボリュート曲線に形成されたスプラインをい
う）を形成した穴部スプライン（スプラインガイド機
構）２０が設けられ、上面に前記穴部スプライン２０に
連通するスリット２２が長手方向に沿って形成されてい
る。フレーム１２の一端部には、軸受部材２４の一端部
が固着され（図２参照）、前記軸受部材２４の他端部に
は、モータ１４がブラケット２６とともに取着されてい
る。なお、モータ１４は他の連結部材（図示しない）等
を介してフレーム１２の内部に設けてもよい。
【００１６】モータ１４の回転軸２８には、カップリン
グ３０を介してボールねじ軸１６が連結されている。前
記カップリング３０は軸受部材２４に装着されたベアリ
ング３２ａ、３２ｂによって軸支されている。ベアリン
グ３２ａ、３２ｂの内輪はナット３８によってカップリ
ング３０に固着されている。参照符号３６は、軸受部材
２４に螺着された軸受ナットを示しており、ベアリング
３２ａ、３２ｂの外輪を軸受部材２４に押圧する機能を
有する。
【００１７】ボールねじ軸１６の両端部は、カップリン
グ３０およびフレーム１２の他端部に取着した軸受部材
３４に装着されたベアリング３２ｃを介して軸支され
る。この場合、ボールねじ軸１６は、変位機構１８の内
部に貫通するように設けられている。また、送りねじ軸
は、ボールねじ軸１６に限定されるものではなく、図示
しない滑りねじ軸でもよい。
【００１８】変位機構１８は、ボールベアリング４０を
介してボールねじ軸１６に螺合するボールスプラインナ
ット４２と、前記ボールスプラインナット４２の両端部
に当接された一組の変位部材４４ａ、４４ｂと、前記一
組の変位部材４４ａ、４４ｂの上部に取着された取付部
５２とを有する。
【００１９】ボールスプラインナット４２の両端部に
は、略筒状に形成された変位部材４４ａ、４４ｂの一端
側が当接し、前記の変位部材４４ａ、４４ｂがその間に
介装された該ボールスプラインナット４２とともに取付
ボルト４６により一体的に連結されている。変位部材４
４ａ、４４ｂの内壁とボールねじ軸１６との間には、所
定間隔離間するように隙間が設けられている。また、変
位部材４４ａ、４４ｂの他端側には、一組のスプライン
ピストン（スプラインガイド機構）４８ａ、４８ｂが取
付ボルト５０により取着されている。スプラインピスト
ン４８ａ、４８ｂは、内壁がボールねじ軸１６に対して
所定間隔離間し、外周面に穴部スプライン２０に摺動自
在に噛み合うインボリュートスプラインが設けられてい
る。
【００２０】この場合、スプラインピストン４８ａがア
ルミニウム合金Ａ６０６３により押出し成形されて、穴
部スプライン２０との摺動面の隙間Ｔを設定するために
は、：スプラインピストン４８ａの押出し成形金型を
製作し、：前記押出し成形金型により前記スプライン
ピストン４８ａの押出し成形品を成形し、：前記押出
し成形品に係る前記スプラインピストン４８ａと穴部ス
プライン２０とが相互に噛み合う摺動面の隙間Ｔを測定
し、：前記測定した隙間Ｔが設定値になるように前記
押出し金型を修正する。
【００２１】なお、この実施の形態において、スプライ
ンピストン４８ａの材料を例えば、ＰＯＭ（ポリオキシ
メチレン）、ＰＩ（ポリイミド）、またはＵＨＭＷ−Ｐ
Ｅ（超高分子量ポリエチレン）によって形成した場合に
良好な結果が得られた。
【００２２】また、スプラインピストン４８ａのスプラ
イン歯の表面粗さを弾性流体潤滑理論により面圧、動粘
度、速度を考慮してさらに好適にはＲZ（十点平均粗
さ）１．６以下にすると、スプラインピストン４８ａと
穴部スプライン２０とが相互に噛み合う摺動面の摺動抵
抗を小さくすることができる。
【００２３】この場合、表面粗さはＲZ（十点平均粗
さ）１．６以下に加工するためには、化学研磨、ショッ
トブラスト等を施した後に、アルマイト処理、無電解ニ
ッケルメッキ等の表面処理を行うとよい。
【００２４】さらに、図１１および図１２に示すよう
に、スプラインピストン４８ａの端部の面取り角度αが
約１５°乃至２０°に設定されると、穴部スプライン２
０およびスプラインピストン４８ａとの摺動面５８に後
述する潤滑剤、例えば、高粘度グリスが容易に充填さ
れ、油膜が十分に確保され摺動抵抗を小さくすることが
できる。
【００２５】なお、スプラインピストン４８ｂ、６６
は、スプラインピストン４８ａと同様にアルミニウム合
金により押出し成形されて、前述の乃至の成形工程
を繰り返すことにより、前記スプラインピストン４８
ｂ、６６と穴部スプライン２０とが相互に噛み合う摺動
面の隙間Ｔを約０．０３ｍｍに設定することができる。
【００２６】変位部材４４ａ、４４ｂの上部には、フレ
ーム１２の長手方向に沿って延在する取付部５２が取付
ボルト５４により固着されており、前記取付部５２はフ
レーム１２の上部に画成されたスリット２２を介して外
部に露呈するように設けられている。なお、取付部５２
には図示しないテーブル等が装着される。
【００２７】よって、ボールねじ軸１６の回転によりボ
ールベアリング４０を介してボールスプラインナット４
２が変位部材４４ａ、４４ｂ、取付部５２とともに変位
方向に移動すると、スプラインピストン４８ａ、４８ｂ
が穴部スプライン２０をガイド溝として長手方向に沿っ
て移動する。この場合、図５および図１０に示されるよ
うに、穴部スプライン２０およびスプラインピストン４
８ａ、４８ｂが相互に噛み合う摺動面５８に潤滑剤、例
えば、所定の基油動粘度を有する高粘度グリスを使用す
ることにより摺動が円滑になって、摺動抵抗を小さくす
ることができる。前記の所定の基油動粘度とは、弾性流
体潤滑理論によれば１０００〜１００００（ＣＳt）の
範囲の高粘度グリスを用いてもよく、例えば、２２００
（ＣＳt）または９８５０（ＣＳt）の基油動粘度を有す
る高粘度グリスを用いてそれぞれ実験すると、良好な結
果が得られた。
【００２８】この実施の形態において、高粘度グリスを
潤滑剤に使用した理由として下記の点が挙げられる。
【００２９】 粘度が高いため油膜を厚くすることが
できる。
【００３０】 穴部スプライン２０およびスプライン
ピストン４８ａ、４８ｂの摺動面の表面粗さを比較的細
かく仕上げる必要がないので、製造コストを下げること
ができ、且つ表面粗さが悪くても摺動抵抗を小さくする
ことができる。
【００３１】 作動流体中に含まれる有害物質に関す
る汚染に対し強くなる。
【００３２】 油が流出しにくくなり穴部スプライン
２０およびスプラインピストン４８ａ、４８ｂの寿命が
長くなる。
【００３３】 穴部スプライン２０とスプラインピス
トン４８ａ、４８ｂの金属接触がなくなり、高粘度グリ
スの弾性により振動が吸収される。よって、穴部スプラ
イン２０をガイド溝にして摺動するスプラインピストン
４８ａ、４８ｂの騒音の発生を防止できるとともに、こ
れらのスプラインピストン４８ａ、４８ｂの騒音をより
一層低下させることができる。
【００３４】 穴部スプライン２０とスプラインピス
トン４８ａ、４８ｂが噛み合う溝の接触面が小さく、高
粘度グリスに付与された面圧（極圧）が高くても油膜が
確保される。
【００３５】なお、穴部スプライン２０およびスプライ
ンピストン４８ａ、４８ｂに形成されたスプラインは、
インボリュートスプラインに限定されるものではなく、
スプライン歯の断面を略矩形状の角形に形成してもよ
い。
【００３６】本発明の実施の形態に係る電動アクチュエ
ータ１０は、基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその動作および作用効果について説明する。
【００３７】モータ１４が駆動して回転軸２８を回転さ
せると、カップリング３０を介してボールねじ軸１６が
回転する。このボールねじ軸１６の回転運動は、ボール
ベアリング４０を介してボールスプラインナット４２に
伝達される。
【００３８】この場合、スプラインピストン４８ａ、４
８ｂは、穴部スプライン２０に噛み合っているので、ボ
ールスプラインナット４２の回転が阻止される。よっ
て、ボールねじ軸１６の回転運動はボールスプラインナ
ット４２によって直線運動に変換される。この直線運動
は変位部材４４ａ、４４ｂを介して取付部５２に伝達さ
れ、前記取付部５２は穴部スプライン２０およびスプラ
インピストン４８ａ、４８ｂをガイド溝にして矢印Ｘ方
向に変位し、該取付部５２に載置された図示しないテー
ブル等が搬送される。
【００３９】このとき、図示しないテーブルに載置され
たワーク等の荷重は、変位部材４４ａ、４４ｂと一体的
に連結されたスプラインピストン４８ａ、４８ｂに付与
され、前記ワーク等の荷重は穴部スプライン２０および
スプラインピストン４８ａ、４８ｂによって支持され
る。
【００４０】よって、図５に示されるように、取付部５
２に対して該取付部５２の略鉛直方向（矢印Ａ参照）に
付与された負荷、およびボールねじ軸１６の軸線を中心
とする周方向（矢印Ｂ参照）に付与された負荷は、穴部
スプライン２０およびスプラインピストン４８ａ、４８
ｂにより吸収される。また、ボールねじ軸１６の軸線に
略直交する水平線を中心とする周方向（矢印Ｃ参照）に
付与される負荷、および前記ボールねじ軸１６の軸線に
略直交する鉛直線を中心とする周方向（矢印Ｄ参照）に
付与される負荷も、穴部スプライン２０およびスプライ
ンピストン４８ａ、４８ｂにより吸収することができ
る。
【００４１】さらに、取付部５２（ボールねじ軸１６の
軸線）に対して負荷が複合的に組み合された方向から付
与された場合でも、負荷を吸収することができる。
【００４２】このように、本実施の形態に係る電動アク
チュエータ１０に設けられた穴部スプライン２０および
スプラインピストン４８ａ、４８ｂでは、取付部５２に
対して該取付部５２の略鉛直方向、ボールねじ軸１６の
軸線を中心とする周方向、前記ボールねじ軸１６の軸線
に略直交する水平線を中心とする周方向、前記ボールね
じ軸１６の軸線に略直交する鉛直線を中心とする周方
向、並びにこれらの方向が複合的に結合された方向等を
含む種々の方向から付与される負荷が吸収される。
【００４３】よって、取付部５２に付与されるテーブル
等の荷重が増大しても、前記荷重は穴部スプライン２
０、スプラインピストン４８ａ、４８ｂによって支持さ
れるので、ボールスプラインナット４２を介してボール
ねじ軸１６に付与されることがなく、前記ボールねじ軸
１６が撓曲することがない。
【００４４】次に、本実施の形態の変形例である電動ア
クチュエータ６０について、図６乃至図９により説明す
る。なお、上記の図１乃至図５に示した構成要素と同一
の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説
明を省略する。
【００４５】参照符号６２は、穴部スプライン２０に挿
通されたガイド部材を示しており、その一端部がフラン
ジ６４に螺着されてフレーム１２の他端部に取着した軸
受部材３４に装着されたベアリング３２ｃに軸支され、
他端部がスプラインピストン６６にねじ機構を介して装
着されている。この場合、ボールスプラインナット４２
の両端部には、スプラインピストン４８ｂ、６６が取付
ボルト６８により一体的に連結されている。なお、フラ
ンジ６４には、他の部材（図示しない）を係合するため
のねじ孔７０が形成されている。
【００４６】本実施の形態の変形例の電動アクチュエー
タ６０において、モータ１４の駆動によりボールねじ軸
１６が回転すると、ボールスプラインナット４２はスプ
ラインピストン４８ｂ、６６を介して矢印Ｙ方向に変位
する。このため、ガイド部材６２は穴部スプライン２０
をガイド溝にして変位方向に沿って出入して、図示しな
い他の部材が矢印Ｙ方向に搬送される。この場合、図９
および図１０に示されるように、穴部スプライン２０お
よびスプラインピストン４８ｂ、６６が相互に噛み合う
摺動面５８に潤滑剤、例えば、高粘度グリスが付着され
ると弾性潤滑理論により十分な面圧、動粘度、速度によ
って最適状態に維持される。従って、摺動が円滑になっ
て、結果的に金属接触が少なくなり、摺動抵抗を小さく
することができる。
【００４７】このため、ガイド部材６２は、穴部スプラ
イン２０およびスプラインピストン４８ｂ、６６によ
り、ガイド部材６２に対して該ガイド部材６２の軸線を
中心とする周方向（矢印Ｅ参照）に付与される負荷を吸
収することができる。
【００４８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る電動
アクチュエータによれば、変位機構に対して略鉛直方
向、送りねじ軸の軸線を中心とする周方向、前記送りね
じ軸の軸線に略直交する水平線を中心とする周方向並び
に前記送りねじ軸の軸線に略直交する鉛直線を中心とす
る周方向、およびこれらの方向が複合的に組み合された
方向から付与される負荷を吸収することができる。
【００４９】よって、変位機構に付与される荷重が大き
くても、この荷重は送りナットを介して送りねじ軸に付
与されることがなく、該送りねじ軸が撓曲することがな
い。従って、重量物からなるワークを円滑に搬送するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る電動アクチュエータ
の要部断面斜視図である。
【図２】図１に示す電動アクチュエータの概略分解斜視
図である。
【図３】図１に示す電動アクチュエータのＩＩＩ−ＩＩ
Ｉ線に沿った断面図である。
【図４】図３に示す電動アクチュエータのＩＶ−ＩＶ線
に沿った断面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る電動アクチュエータ
の取付部に対して付与される負荷の方向を示す説明図で
ある。
【図６】本発明の変形例に係る電動アクチュエータの要
部断面斜視図である。
【図７】図６に示す電動アクチュエータの概略分解斜視
図である。
【図８】図６に示す電動アクチュエータのＶＩＩＩ−Ｖ
ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図９】図８に示す電動アクチュエータのＩＸ−ＩＸ線
に沿った断面図である。
【図１０】図４および図９に示す穴部スプラインとスプ
ラインピストンとの噛み合いの摺動面の拡大図である。
【図１１】図２および図７に示すスプラインピストンの
正面図である。
【図１２】図１１に示すスプラインピストンのＸＩＩ−
ＸＩＩ線に沿った断面図である。
【符号の説明】
１０、６０…電動アクチュエータ １２…フレーム １６…ボールねじ軸 １８…変位機構 ２０…穴部スプライン ２２…スリット ３０…カップリング ３２ａ〜３２ｃ…
ベアリング ４０…ボールベアリング ４２…ボールスプ
ラインナット ４４ａ、４４ｂ…変位部材 ４８ａ、４８ｂ…
スプラインピストン ５２…取付部 ５８…摺動面 ６２…ガイド部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山崎 善之 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Ｆターム(参考） 3J062 AA22 AB22 AC07 BA11 BA32 BA37 CD04 CD23 CD25 CD35 CD57 5H607 BB01 CC03 EE52 KK07

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】フレームと、 前記フレームの内部または外部に配設された回転駆動源
    と、 前記回転駆動源の駆動軸に連結され、該回転駆動源の回
    転駆動力が伝達される送りねじ軸と、 前記送りねじ軸に係合し、該送りねじ軸の回転運動を直
    線運動に変換し前記送りねじ軸の軸線方向に沿って変位
    する変位機構と、 前記変位機構に連結され、該変位機構を前記送りねじ軸
    の軸線方向に沿ってガイドするとともに、前記変位機構
    に対して略鉛直方向、前記送りねじ軸の軸線を中心とす
    る周方向、前記送りねじ軸の軸線に略直交する水平線を
    中心とする周方向並びに前記送りねじ軸の軸線に略直交
    する鉛直線を中心とする周方向、およびこれらの方向が
    複合的に組み合された方向から付与される負荷を吸収す
    るスプラインガイド機構と、 を備えることを特徴とする電動アクチュエータ。
  2. 【請求項２】請求項１記載の電動アクチュエータにおい
    て、前記変位機構は、ボールベアリングを介してボール
    ねじ軸に螺合されたボールスプラインナットと、前記ボ
    ールスプラインナットの両端部に当接され該ボールスプ
    ラインナットと一体的に連結された一組の変位部材と、
    前記一組の変位部材に取着された取付部とを有すること
    を特徴とする電動アクチュエータ。
  3. 【請求項３】請求項２記載の電動アクチュエータにおい
    て、前記一組の変位部材の変位方向の一端部には、スプ
    ラインガイド機構が取着されることを特徴とする電動ア
    クチュエータ。
  4. 【請求項４】請求項３記載の電動アクチュエータにおい
    て、前記スプラインガイド機構は、前記フレームの内壁
    面に長手方向にスプラインが設けられた穴部スプライン
    と、外周面に前記穴部スプラインに嵌合するスプライン
    歯が形成された一組のスプラインピストンとを備えるこ
    とを特徴とする電動アクチュエータ。
  5. 【請求項５】請求項４記載の電動アクチュエータにおい
    て、前記穴部スプラインには、インボリュートスプライ
    ンが設けられることを特徴とする電動アクチュエータ。
  6. 【請求項６】請求項４記載の電動アクチュエータにおい
    て、前記一組のスプラインピストンには、インボリュー
    トスプラインが設けられることを特徴とする電動アクチ
    ュエータ。
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