KR20030004099A - 전동액츄에이터 - Google Patents

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KR20030004099A
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Abstract

볼 나사축(16)의 회전운동은 부착부(52)에 의해 변위부재(44a, 44b)와 일체로 설치된 볼 스플라인너트(42)에 의해 직선운동으로 변환된다. 변위부재(44a, 44b)에 연결된 스플라인 피스톤(48a, 48b)의 외주면에는 인벌류트 스플라인(involute spline)이 새겨지며, 스플라인 피스톤(48a, 48b)은 프레임(12)의 내벽면에 형성된 인벌류트 스플라인의 스플라인 홀부(20)와 미끄럼운동이 자유롭게 맞물린다. 부착부(52)는 스플라인 홀부(20) 및 스플라인 피스톤(48a, 48b)에 의해 프레임(12)의 길이방향을 따라서 변위한다.

Description

전동액츄에이터{Electric Actuator}
본 발명은 전동액츄에이터에 관한 것이며, 보다 상세하게는 인벌류트 스플라인(involute spline)을 사용한 스플라인 가이드기구의 가이드작용하에, 변위부재를 직선운동시키는 전동액츄에이터에 관한 것이다.
종래부터, 피가공물(공작물) 등을 반송하는 수단으로서, 이송나사기구를 사용하는 전동액츄에이터가 사용되고 있다. 이러한 전동액츄에이터는 프레임의 내부에 배설된 모터의 구동축에 커플링부재에 의해 이송나사축이 동일축상에 연결되며, 상기 이송나사축에는 변위부재에 설치된 이송너트가 나사체결되어 있다. 상기 프레임의 내부에는, 예를 들면 가이드레일을 따라 슬라이드하는 가이드레일 및 가이드블록을 포함하는 선형 가이드기구가 설치되어 있다. 상기 변위부재의 일측부에는, 상기 프레임에 형성된 슬릿에서 외부로 돌출되는 부착부가 설치되어 있으며, 상기 부착부는 슬라이드 테이블과 연결되어 있다.
이 경우, 모터의 회전에 의해 이송나사축이 회전하며, 상기 이송나사축의 회전운동은 이송너트에 의해 직선방향으로 변환된다. 변위부재가 선형 가이드기구의 가이드 작용하에 프레임의 길이방향을 따라 변위한다. 이 때문에, 슬라이드테이블이 변위하여 상기 슬라이드테이블 상의 피가공물이 반송된다.
그러나, 종래기술에 의한 액츄에이터에 있어서, 선형 가이드기구에서는 중량물의 피가공물이 슬라이드 테이블 상에서 반송되는 경우에, 피가공물의 중력작용에 의한 이송나사축의 축선을 중심으로 하는 둘레방향, 상기 이송나사축의 축방향으로대략 직교하는 수평선을 중심으로 하는 둘레방향, 상기 이송나사축의 축선에 대략 직교하는 연직선을 중심으로 하는 둘레방향, 및 이들의 방향이 복합적으로 조합된 방향에 가해지는 부하를 흡수할 수가 없다.
이 때문에, 이송나사축이 휘어지고 구부러져서, 상기 이송나사축과 이송너트 사이의 슬라이딩 저항이 증가한다는 문제점이 있었다.
본 발명은 이송나사축으로부터 전송되는 부하를 방지하기 위해서, 변위부재에 여러 방향에서 가해지는 부하를 적절하게 흡수할 수 있는 전동액츄에이터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 가장 중요한 목적은, 변위부재에 대해 대략 연직방향, 이송나사축의 축선을 중심으로 하는 둘레방향, 상기 이송나사축의 축선에 대략 직교하는 수평선을 중심으로 하는 둘레방향, 상기 이송나사축의 축선의 대략 직교하는 연직선을 중심으로 하는 둘레방향, 및 이들의 방향이 복합적으로 조합된 방향에서 가해지는 부하를 흡수할 수 있는 전동액츄에이터를 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 전동액츄에이터의 요부단면사시도.
도 2는 도 1에 도시하는 전동액츄에이터의 개략분해사시도.
도 3은 도 1에 도시하는 전동액츄에이터의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 단면도.
도 4는 도 1에 도시하는 전동액츄에이터의 Ⅳ-Ⅳ선에 따른 단면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 전동액츄에이터의 부착부에 대해 부여되는 부하의 방향을 나타내는 설명도.
도 6은 본 발명의 변형예에 의한 전동액츄에이터의 요부단면사시도.
도 7은 도 6에 도시하는 전동액츄에이터의 개략분해사시도.
도 8은 도 6에 도시하는 전동액츄에이터의 Ⅷ-Ⅷ선에 따른 단면도.
도 9는 도 8에 도시하는 전동액츄에이터의 Ⅸ-Ⅸ선에 따른 단면도.
도 10은 도 4 및 도 9에 도시하는 스플라인 홀부와 스플라인 피스톤과의 맞물림부분의 미끄럼운동면의 확대도.
도 11은 도 1 및 도 7에 도시하는 스플라인 피스톤의 정면도.
도 12는 도 11에 도시하는 스플라인 피스톤의 ⅩⅡ-ⅩⅡ선에 따른 단면도.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 프레임과,
상기 프레임의 내부 또는 외부에 배설된 회전구동원과,
상기 회전구동원의 구동축에 연결되어 상기 회전구동원의 회전구동력이 전달되는 이송나사축과,
상기 이송나사축에 결합되고, 상기 이송나사축의 회전운동을 직선운동으로 변환시키며, 상기 이송나사축의 축방향을 따라 변위하는 변위기구와,
상기 변위기구에 연결되고, 상기 변위기구를 상기 이송나사축의 축방향을 따라 가이드함과 동시에, 상기 변위기구에 대해 연직방향, 상기 이송나사축의 축선을 중심으로 하는 둘레방향, 상기 이송나사축의 축선에 직교하는 수평선을 중심으로 하는 둘레방향, 상기 이송나사축의 축선에 직교하는 연직선을 중심으로 하는 둘레방향, 및 이들의 방향이 복합적으로 조합된 방향으로부터 가해지는 부하를 흡수하는 스플라인 가이드기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 변위기구에 대해 대략 연직하는 방향, 이송나사축의 축선을 중심으로 하는 둘레방향, 상기 이송나사축의 축선에 대략 직교하는 수평선을 중심으로 하는 둘레방향, 상기 이송나사축의 축선에 대략 직교하는 연직선을 중심으로 하는 둘레방향, 및 이들의 방향이 복합적으로 조합된 방향으로부터 가해지는 부하를 흡수하기 위한 스플라인 가이드기구를 구비하고 있다. 이에 의해, 이송나사축과 이송너트와의 미끄럼운동의 저항이 해소되고, 중량물의 피가공물을 용이하게 반송할 수 있다.
이 경우, 상기 변위기구는 볼베어링에 의해 볼 나사축에 나사체결되는 볼 스플라인너트, 상기 볼 스플라인너트의 양 단부에 맞닿아 있고 상기 볼 스플라인너트와 일체로 연결되는 한 쌍의 변위부재, 및 상기 한 쌍의 변위부재에 설치된 부착부를 가지고 있기 때문에 구성이 간략하게 된다.
이 경우, 상기 한 쌍의 변위부재의 변위방향의 일단부에, 스플라인 가이드기구가 설치될 수 있다.
또한, 상기 스플라인가이드 기구는 상기 프레임의 내벽면에 길이방향으로 스플라인이 설치된 스플라인 홀부, 외주면에 상기 스플라인 홀부에 끼워맞춰지는 스플라인 이(tooth)가 형성된 한 쌍의 스플라인 피스톤이 구비되어 있기 때문에 간단한 구성으로 할 수 있다.
또 상기 스플라인 홀부 및 상기 한 쌍의 스플라인 피스톤에, 인벌류트 스플라인이 설치되어 있기 때문에 변위기구를 원활하게 미끄럼운동시킬 수 있다.
(실시예)
이하, 본 발명에 의한 전동액츄에이터에 대하여, 첨부도면을 참조하여 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 5에 있어서, 참조부호 10은 본 발명의 실시예에 있어서의 전동액츄에이터를 나타낸다. 전동액츄에이터(10)는 기본적으로는 기다랗게 형성된 프레임(12), 상기 프레임(12)의 일단부에 설치된 모터(회전구동원; 14), 프레임(12)의 내부에 축지된 이송나사축인 볼 나사축(16), 및 상기 볼 나사축(16)에 의해 변위하는 변위기구(18)를 구비한다.
프레임(12)에는, 내벽면에 길이방향을 따라 인벌류트 스플라인(스플라인 이의 단면형상이 인벌류트곡선으로 형성된 스플라인을 말한다)이 형성된 스플라인 홀부(스플라인 가이드기구; 20)가 설치되고, 상기 스플라인 홀부(20)에 연통하는 슬릿(22)이 프레임(12)의 상면에 길이방향을 따라 형성되어 있다. 프레임(12)의 일단부에는, 베어링부재(24)의 일단부가 고착되며(도 2 참조), 상기 베어링부재(24)의 타단부에는, 모터(14)가 브래킷(26)과 함께 설치되어 있다. 또한, 모터(14)는 다른 연결부재(도시하지 않음) 등에 의해 프레임(12)의 내부에 설치될 수도 있다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 모터(14)의 회전축(28)에는 커플링(30)에 의해 볼 나사축(16)이 연결되어 있다. 상기 커플링(30)은 베어링부재(24)에 장착된 베어링(32a, 32b)에 의해 축지되어 있다. 베어링(32a, 32b)의 내측 바퀴는 너트(38)에 의해 커플링(30)에 고착되어 있다. 참조부호 36은 베어링부재(24)에 나사체결된 베어링너트를 나타내고 있으며, 상기 베어링너트(36)는 베어링부재(24)에 대해 베어링(32a, 32b)의 외측 바퀴를 압압하는 기능을 갖는다.
볼 나사축(16)의 양단부는 커플링(30) 및 프레임(12)의 타단부에 설치된 베어링부재(34)에 장착된 베어링(32c)에 의해 축지된다(도 3 참조). 이 경우, 볼 나사축(16)은 변위기구(18)의 내부를 관통하도록 설치되어 있다. 또, 이송나사축은 볼 나사축(16)에 한정되는 것은 아니며, 미도시된 미끄럼나사축일 수도 있다.
변위기구(18)는 볼베어링(40)에 의해 볼 나사축(16)에 나사체결되는 볼 스플라인너트(42), 상기 볼 스플라인너트(42)의 양단부에 맞닿아 있는 한 쌍의 변위부재(44a, 44b), 및 상기 한 쌍의 변위부재(44a, 44b)의 상부에 설치된 부착부(52)를 갖는다.
볼 스플라인너트(42)의 양단부에는, 대략 원통상으로 형성된 변위부재(44a, 44b)의 일단측이 맞닿아 있으며, 상기 변위부재(44a, 44b)는 그 사이에 끼워져 설치된 상기 볼 스플라인너트(42)와 함께 설치볼트(46)에 의해 일체로 연결되어 있다. 변위부재(44a, 44b)의 내벽과 볼 나사축(16)과의 사이에는, 소정의 간격으로 분리되도록 갭(gap)이 설치되어 있다. 또 변위부재(44a, 44b)의 타단측에는, 원둘레방향으로 회전하는 것을 방지하기 위한 한 쌍의 스플라인 피스톤(스플라인가이드기구; 48a, 48b)이 설치볼트(50)에 의해 장착되어 있다. 스플라인 피스톤(48a, 48b)의 내벽은 볼 나사축(16)으로부터 소정의 간격으로 분리되며, 외주면에 스플라인 홀부(20)가 미끄럼운동이 자유롭게 맞물리는 인벌류트 스플라인이 설치되어 있다.
이 경우, 스플라인 피스톤(48a)은 알루미늄합금 A6063에 의해 압출성형되며, 스플라인 홀부(20)와의 미끄럼운동면의 갭(T)을 설정하기 위해서는(도 10 참조), ①스플라인 피스톤(48a)의 압출성형금형을 제작하고, ②상기 압출성형금형에 의해 상기 스플라인 피스톤(48a)의 압출성형품을 성형하고, ③상기 압출성형품에서의 상기 스플라인 피스톤(48a)과 스플라인 홀부(20)가 서로 맞물리는 미끄럼운동면의 갭(T)을 측정하고, ④상기 측정한 갭(T)이 설정값이 되도록 상기 압출금형을 수정한다.
또한, 본 실시예에 있어서, 스플라인 피스톤(48a)의 재료, 예를 들어 POM(폴리옥시메틸렌), PI(폴리이미드) 또는 UHMW-PE(초고분자량 폴리에틸렌)로 형성하는 경우가 양호한 결과가 얻어진다.
또, 스플라인 피스톤(48a)의 스플라인 이의 표면조도(거칠기)를, 탄성유체윤활이론에 의해 면압, 동적점성도, 속도를 고려하여 1.6 이하의 RZ(10점 평균조도)로 하면 스플라인 피스톤(48a)과 스플라인 홀부(20)가 서로 맞물리는 미끄럼운동면의 미끄럼운동저항을 감소시킬 수 있다.
이 경우, 표면조도를 1.6 이하의 RZ(10점 평균조도)으로 맞추기 위해서는,화학연마, 쇼트블라스트 등을 실시한 후, 알루마이트처리, 무전해니켈도금 등의 표면처리를 실시하면 좋다.
또한, 도 11 및 도 12에 도시하는 바와 같이, 스플라인 피스톤(48a)의 단부의 챔퍼링(chamfering) 각도(α)를 약 15°∼20°로 설정하면, 스플라인 홀부(20) 및 스플라인 피스톤(48a)과의 미끄럼운동면(58)에 윤활제, 예를 들어 고점도 그리스를 용이하게 충전할 수 있고, 유막이 충분히 보호되어 미끄럼운동저항을 감소시킬 수 있다.
또한, 스플라인 피스톤(48b, 66)은 스플라인 피스톤(48a)과 동일한 방식으로 알루미늄합금에 의해 압출성형되고, 상술한 ① 내지 ④의 성형공정을 반복함으로써, 상기 스플라인 피스톤(48b, 66)과 스플라인 홀부(20)가 서로 맞물리는 미끄럼운동면의 갭(T)을 약 0.03mm로 설정할 수가 있다.
변위부재(44a,44b)의 상부에는 프레임(12)의 길이방향을 따라서 연재하는 부착부(52)가 부착볼트(54)에 의해 고착되어 있으며, 상기 부착부(52)는 프레임(12)의 상부에 구획형성된 슬릿(22)에 의해 외부에 노출되도록 설치되어 있다. 또한, 부착부(52)에는 도시하지 않는 테이블 등이 장착된다.
따라서, 볼 나사축(16)의 회전에 따라 볼베어링(40)에 의해 볼 스플라인너트(42)가 변위부재(44a, 44b) 및 부착부(52)와 함께 변위방향으로 이동하면, 스플라인 피스톤(48a, 48b)이 스플라인 홀부(20)의 가이드홈을 따라 길이방향으로 이동한다. 이 경우, 도 10에 도시되는 바와 같이, 스플라인 홀부(20) 및 스플라인 피스톤(48a, 48b)이 서로 맞물리는 미끄럼운동면(58)에 윤활제, 예를 들어소정의 기유동점도(基油動粘度)를 갖는 고점도 그리스를 사용함으로써 미끄럼운동이 원활하게 되어 미끄럼운동저항을 감소시킬 수 있다. 상기 소정의 기유동점도란 탄성유체윤활이론에 의해 1000∼10000(CSt) 범위의 고점도 그리스를 사용할 수도 있으며, 예를 들어 2200(CSt) 또는 9850(CSt)의 기유동점도를 갖는 고점도 그리스를 사용하여 각각 실험하였는 바, 양호한 결과를 얻었다.
본 실시예에 있어서, 고점도 그리스를 윤활제로 사용한 이유로는 다음과 같은 이유를 들 수 있다.
① 점도가 높기 때문에 유막을 두껍게 할 수가 있다.
② 스플라인 홀부(20) 및 스플라인 피스톤(48a, 48b)의 미끄럼운동면의 표면조도를 비교적 세밀하게 마무리 할 필요가 없기 때문에, 제조비용을 절감할 수 있고, 표면조도가 나빠도 미끄럼운동저항을 감소시킬 수가 있다.
③ 작동유체중에 포함되는 유해물질에 관한 오염에 대해 강해진다.
④ 기름유출이 어려워 스플라인 홀부(20) 및 스플라인 피스톤(48a, 48b)의 수명이 길어진다.
⑤ 스플라인 홀부(20)와 스플라인 피스톤(48a, 48b)의 금속접촉이 없어지며, 고점도 그리스의 탄성에 의해 진동이 흡수된다. 따라서, 스플라인 홀부(20)의 가이드홈을 따라 미끄럼운동하는 스플라인 피스톤(48a, 48b)의 소음 발생을 방지함과 동시에, 이들 스플라인 피스톤(48a, 48b)의 소음을 보다 저하시킬 수가 있다.
⑥ 스플라인 홀부(20)와 스플라인 피스톤(48a, 48b)이 맞물리는 홈의 접촉면이 작고, 고점도 그리스에 부여된 면압(극압)이 높아도 유막이 확보된다.
또한, 스플라인 홀부(20) 및 스플라인 피스톤(48a, 48b)에 형성된 스플라인은 인벌류트 스플라인에 한정되는 것은 아니며, 스플라인 이의 단면은 대략 직사각형모양의 각형으로 형성할 수도 있다.
본 발명의 실시예에 있어서의 전동액츄에이터(10)는 기본적으로는 이상과 같이 구성되며, 다음에, 그 동작 및 작용효과에 대해 설명한다.
모터(14)가 구동하여 회전축(28)을 회전시키면, 커플링(30)에 의해 볼 나사축(16)이 회전한다. 이 볼 나사축(16)의 회전운동은 볼베어링(40)에 의해 볼 스플라인너트(42)에 전달된다.
이 경우, 한 쌍의 스플라인 피스톤(48a, 48b)은 스플라인 홀부(20)에 맞물리고 있기 때문에, 볼 스플라인너트(42)의 회전이 저지된다. 따라서, 볼 나사축(16)의 회전운동은 볼 스플라인너트(42)에 의해 직선운동으로 변환된다. 이 직선운동은 상기 한 쌍의 변위부재(44a, 44b)에 의해 부착부(52)에 전달된다. 상기 부착부(52)는 스플라인 홀부(20) 및 스플라인 피스톤(48a, 48b)의 가이드 홈을 따라 화살표 X방향으로 변위되고, 상기 부착부(52)에 실린 도시하지 않는 테이블 등이 반송된다.
이 때, 도시하지 않는 테이블에 실려있는 피가공물 등의 하중은 변위부재(44a, 44b)와 일체로 연결된 스플라인 피스톤(48a, 48b)에 가해지고, 상기 피가공물 등의 하중은 스플라인 홀부(20) 및 스플라인 피스톤(48a, 48b)에 의해 지지된다.
따라서, 도 5에 도시하는 바와 같이, 부착부(52)에 대하여 상기 부착부(52)의 대략 연직방향(화살표 A참조)에 가해진 부하, 및 볼 나사축(16)의 축선을 중심으로 하는 둘레방향(화살표 B참조)에 가해진 부하는 스플라인 홀부(20) 및 스플라인 피스톤(48a, 48b)에 의해 흡수된다. 또, 볼 나사축(16)의 축방향으로 대략 직교하는 수평선을 중심으로 하는 둘레방향(화살표 C참조)에 가해진 부하, 및 상기 볼 나사축(16)의 축선에 대략 직교하는 연직선을 중심으로 하는 둘레방향(화살표 D방향)에 가해진 부하도 스플라인 홀부(20) 및 스플라인 피스톤(48a, 48b)에 의해 흡수할 수가 있다.
또한, 부착부(52; 볼 나사축(16)의 축선)에 대해 부하가 복합적으로 조합된 방향에 가해진 경우에도 부하를 흡수할 수가 있다.
이와 같이, 본 실시예에 있어서의 전동액츄에이터(10)에 설치된 스플라인 홀부(20) 및 스플라인 피스톤(48a, 48b)에서는 부착부(52)에 대하여 상기 부착부(52)의 대략 연직방향(화살표 A방향), 볼 나사축(16)의 축선을 중심으로 하는 둘레방향(활살표 B방향), 상기 볼 나사축(16)의 축선에 대략 직교하는 수평선을 중심으로 하는 둘레방향(화살표 C방향), 상기 볼 나사축(16)의 축선에 대략 직교하는 연직선을 중심으로 하는 둘레방향(화살표 D방향), 및 이들의 방향이 복합적으로 결합된 방향 등을 포함하는 각 방향에 가해지는 부하가 흡수된다.
따라서, 부착부(52)에 부여되는 테이블 등의 하중이 증가하여도 상기 하중은 스플라인 홀부(20) 및 스플라인 피스톤(48a, 48b)에 의해 지지되기 때문에, 볼 스플라인너트(42)에 의해 볼 나사축(16)에 부여되지 않으며, 상기 볼 나사축(16)이 휘어지고 구부러지는 일이 없다.
다음에, 본 실시예의 변형예인 전동액츄에이터(60)에 대하여, 도 6 내지 도 9에 의해 설명한다. 또한, 상기 도 1 내지 도 5에 도시한 구성요소와 동일 구성요소에는 동일참조 부호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.
참조부호 62는 스플라인 홀부(20)에 삽입관통된 가이드부재를 나타내며, 상기 가이드부재의 일단부가 플랜지(64)에 나사체결되어 베어링부재(34)에 장착된 베아링(32c)에 축지되고, 상기 가이드부재의 타단부는 나사기구에 의해 스플라인 피스톤(66)에 장착되어 있다. 이 경우, 볼 스플라인너트(42)의 양단부에는 스플라인 피스톤( 48b, 66)이 설치볼트(68)에 의해 일체로 연결되어 있다. 또한, 프랜지(64)에는 다른 부재(도시하지 않음)를 결합시키기 위한 나사홀(70)이 형성되어 있다.
본 실시예의 변형예인 전동액츄에이터(60)에 있어서, 모터(14)의 구동에 의해 볼 나사축(16)이 회전하면, 볼 스플라인너트(42)는 도 8에 도시하는 바와 같이, 스플라인 피스톤(48b, 66)에 의해 화살표 Y방향으로 변위한다. 이 때문에, 가이드부재(62)는 스플라인 홀부(20)을 가이드홈으로 하여 변위방향을 따라 출입하고, 도시하지 않는 다른 부재가 화살표 Y방향으로 반송된다. 이 경우, 도 9 및 도 10에 도시하는 바와 같이, 스플라인 홀부(20) 및 스플라인 피스톤(48b, 66)이 서로 맞물리는 미끄럼운동면(58)에 윤활제, 예를 들어 고점도 그리스가 부착되면 탄성윤활이론에 의해 충분한 면압, 동적점성도, 속도에 의해 최적상태로 유지된다. 따라서, 미끄럼운동이 원활하게 되어, 결과적으로는 금속접촉이 적어지게 되고 미끄럼운동저항을 감소시킬 수가 있다.
이 때문에, 가이드부재(62)는 스플라인 홀부(20) 및 스플라인 피스톤(48b,66)에 의해 가이드부재(62)에 대해 상기 가이드부재(62)의 축선을 중심으로 하는 둘레방향(화살표 E참조)으로 부여되는 부하를 흡수할 수가 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 전동액츄에이터에 의하면, 변위기구에 대하여 대략 직교하는 방향, 이송나사축의 축선을 중심으로 하는 둘레방향, 상기 이송나사축의 축선으로 대략 직교하는 수평선을 중심으로 하는 둘레방향, 상기 이송나사축의 축선에 대략 직교하는 연직선을 중심으로 하는 둘레방향, 및 이들의 방향이 복합적으로 조합된 방향에 가해지는 부하를 흡수할 수가 있다.
따라서, 변위기구에 부여되는 하중이 커도 이 하중은 이송너트에 의해 이송나사축에 부여되지 않으며, 상기 이송나사축이 휘어지고 구부러지는 일이 없다. 따라서, 중량물로 이루어지는 피가공물을 원활하게 반송할 수가 있다.

Claims (7)

  1. 프레임(12)과,
    상기 프레임(12)의 내부 또는 외부에 배설된 회전구동원(14)과,
    상기 회전구동원(14)의 구동축에 연결되어 상기 회전구동원(14)의 회전구동력이 전달되는 이송나사축(28)과,
    상기 이송나사축에 결합되며, 상기 이송나사축의 회전운동을 직선운동으로 변환하고 상기 이송나사축의 축선방향을 따라 변위하는 변위기구(18)와,
    상기 변위기구(18)에 연결되며, 상기 변위기구(18)를 상기 이송나사축의 축선방향을 따라 가이드함과 동시에, 상기 변위기구(18)에 대해 연직방향(A), 상기 이송나사축의 축선을 중심으로 하는 둘레방향(B), 상기 이송나사축의 축선에 직교하는 수평선을 중심으로 하는 둘레방향(C), 상기 이송나사축의 축선에 직교하는 연직선을 중심으로 하는 둘레방향(D), 및 이들의 방향이 복합적으로 조합된 방향에 가해지는 부하를 흡수하는 스플라인 가이드기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 전동액츄에이터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 변위기구(18)는 볼베어링(40)에 의해 볼 나사축(16)에 나사체결된 볼 스플라인너트(42)와, 상기 볼 스플라인너트(42)의 양단부에 맞닿아 있고 상기 볼 스플라인너트(42)와 일체로 연결되는 한 쌍의 변위부재(44a, 44b)와, 상기 한 쌍의 변위부재(44a, 44b)에 설치된 부착부(52)를 갖는 것을 특징으로 하는전동액츄에이터.
  3. 제2항에 있어서, 상기 한 쌍의 변위부재(44a, 44b)의 일단부에는 변위방향으로 소정의 간격으로 분리되어 있고, 외주면에 형성된 스플라인 이를 갖는 한 쌍의 스플라인 피스톤(48a, 48b)이 설치되어 있으며, 상기 스플라인 피스톤(48a, 48b)은 상기 프레임(12)의 내벽면에 형성된 스플라인 홀부(20)와 맞물리는 것을 특징으로 하는 전동액츄에이터.
  4. 제1항에 있어서, 상기 스플라인 가이드기구는 상기 프레임(12)의 내벽면에 길이방향으로 스플라인이 설치된 스플라인 홀부(20)와, 상기 스플라인 홀부(20)에 끼워지는 스플라인 이가 외주면에 형성된 한 쌍의 스플라인 피스톤(48a, 48b)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전동액츄에이터.
  5. 제4항에 있어서, 상기 스플라인 홀부(20)에는 인벌류트 스플라인이 설치되는 것을 특징으로 하는 전동액츄에이터.
  6. 제4항에 있어서, 상기 한 쌍의 스플라인 피스톤(48a, 48b)에는 인벌류트 스플라인이 설치되는 것을 특징으로 하는 전동액츄에이터.
  7. 제1항에 있어서, 상기 변위기구는 볼베어링(40)에 의해 볼 나사축에 나사체결되고 한 쌍의 스플라인 피스톤(66, 48b) 사이에 연결되는 볼 스플라인너트(42)와, 상기 스플라인 피스톤(66)에 연결되고 상기 프레임(12)에 형성된 스플라인 홀부(20)를 따라 변위됨으로써 상기 프레임(12)의 타단측에 대해 자유롭게 왕복이동하는 원통형의 가이드부재(62)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전동액츄에이터.
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