KR20060049819A - 전동 액추에이터 - Google Patents

Abstract

워크(work)에 접촉했을 때에 부여되는 충격을 적절하게 흡수하여 내구성을 유지하는 것을 과제로 한다.

피스톤22에 부여되는 충격을 흡수하는 1쌍의 피스톤 댐퍼56a, 56b와, 하우징12의 단부에 설치된 제1엔드 댐퍼36a와, 로드 커버16에 설치된 제2엔드 댐퍼36b를 구비하고, 상기 피스톤 댐퍼56a(56b)에 의하여 충격을 흡수할 때에 슬라이딩 너트52가 피스톤22에 대하여 이송 나사축18의 축선방향을 따라 변위 가능하게 설치되어 있다.

Description

전동 액추에이터{ELECTRIC ACTUATOR}

도1은 본 발명의 실시예에 관한 전동 액추에이터의 사시도이다.

도2는 도1에 나타내는 전동 액추에이터의 축선방향을 따르는 부분 종단면도이다.

도3은 도2의 III-III선에 따른 종단면도이다.

도4는 엔드 댐퍼의 사시도이다.

도5는 피스톤 댐퍼의 사시도이다.

도6은 중간위치에 있어서 피스톤 로드가 워크에 접촉한 상태를 나타내는 부분 종단면도이다.

도7은 도6의 상태에 있어서, 피스톤 댐퍼에 의하여 충격이 흡수되는 상태를 나타내는 동작 설명도이다.

도8은 피스톤 로드의 전진단에 있어서 피스톤 댐퍼와 엔드 댐퍼에 의하여 충격이 흡수되는 상태를 나타내는 동작 설명도이다.

도9는 본 발명의 다른 실시예에 관한 전동 액추에이터의 사시도이다.

도10은 도9의 X-X선에 따른 부분 종단면도이다.

도11은 도10의 XI-XI선에 따른 종단면도이다.

도12는 종래기술에 관한 전동 액추에이터의 일부 절단 사시도이다.

도13은 도12에 나타내는 전동 액추에이터의 분해 사시도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10, 80 : 전동 액추에이터 12, 82 : 하우징

14 : 회전 구동원 16, 84 : 로드 커버

18 : 이송 나사축 20a, 20b : 가이드 로드

22, 90 : 피스톤 24 : 피스톤 로드

26 : 소켓 36a, 36b : 엔드 댐퍼

38 : 원통부 40 : 플랜지부(flange部)

34, 48, 58 : 관통구멍 50 : 나사 구멍

52 : 슬라이딩 너트 54a, 54b, 57a, 57b : 평면부

56a, 56b : 피스톤 댐퍼 60, 100 : 연결체

62, 64 : 환상부(環狀部) 66 : 환상 플랜지부

68 : 환상체 70 : 가이드부

72a, 72b : 플레이트 86 : 튜브

92a, 92b : 가이드 플레이트 94a, 94b : 마그네트

96a, 96b : 가이드면 98 : 클리어런스(clearance)

본 발명은, 회전 구동원(回轉 驅動源)의 회전 구동작용에 의하여 변위부재(變位部材)를 직선으로 왕복 동작시키는 것이 가능한 전동 액추에이터(電動 actuator)에 관한 것이다.

종래부터 예를 들면 워크(work)를 반송하기 위하여 액추에이터 등의 반송수단이 사용되고 있다.

여기에서 종래기술에 관한 전동 액추에이터를 도12 및 도13에 나타낸다(예를 들면 일본 특허문헌 1참조).

이 종래기술에 관한 전동 액추에이터1은, 프레임2의 오목부3을 따라 변위하는 슬라이더4와, 도면에 나타나 있지 않은 모터에 의하여 구동되고 또한 상기 슬라이더4에 대하여 분리 가능한 너트체(nut體)5에 나사결합하는 나사축6을 구비한다. 상기 나사축6의 양단부에는 그 나사축6을 회전하도록 지지하는 나사축지지체7a, 7b가 각각 설치되고, 상기 나사축지지체7a, 7b는 프레임2의 상면8에 재치(載置)된 상태로 부착되어 있다.

일본 특허문헌1 일본 공개특허공보 특개평11-30234호 공보

그러나 상기의 종래기술에 관한 전동 액추에이터를, 복잡한 제어장치 등을 이용하지 않고 유체압 실린더의 피스톤 로드와 같은 진퇴 동작에 의 하여, 예를 들면 일방의 스트로크 엔드(stroke end)와 타방의 스트로크 엔드의 사이의 중간위치 등에 있어서의 워크의 푸쉬(push) 작업에 적용하였을 경우에, 상기 워크에 접촉하였을 때의 충격이 슬라이더를 통하여 나사축 등으로 전달되기 때문에 전동 액추에이터의 내구성(耐久性)이 약해진다는 문제가 있다.

본 발명은 상기의 문제를 고려하여 이루어진 것으로서, 예를 들면 워크의 푸쉬 작업 등에 적용하였을 경우에, 워크에 접촉했을 때에 변위부재에 부여되는 충격을 적절하게 흡수하여 내구성을 유지하는 것이 가능한 전동 액추에이터를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 하우징과,

상기 하우징에 연결되는 회전 구동원과,

상기 회전 구동원의 회전 구동력을 직선운동으로 변환하여 변위부재에 전달함으로써 상기 변위부재를 직선으로 왕복 동작시키는 구동력 전달축과,

상기 변위부재에 부여되는 충격을 흡수하는 완충기구를

구비하고,

상기 변위부재는, 피스톤과, 상기 피스톤의 축선방향을 따르는 구멍 내에 지지되어, 상기 구동력 전달축의 회전작용에 의하여 상기 피스톤과 일체적으로 변위하는 슬라이딩 너트를 구비하고,

상기 완충기구는, 상기 슬라이딩 너트의 축선방향을 따르는 양단부에 각각 설치된 탄성체로 이루어지고, 상기 피스톤에 부여된 충격을 흡수하는 피스톤 댐퍼(damper)를 포함하고, 상기 피스톤 댐퍼에 의하여 충격을 흡수할 때에 상기 슬라이딩 너트와 그 피스톤은 상기 구동력 전달축의 축선방향을 따라 상대적으로 변위 가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.

이 경우에 상기 완충기구는, 상기 피스톤 댐퍼 이외에 탄성체로 형성되고 피스톤측에 접하는 하우징의 단부에 설치된 제1엔드 댐퍼와, 상기 하우징으로부터 소정의 거리만큼 이간하는 로드 커버에 설치된 제2엔드 댐퍼를 포함하고, 스트로크 엔드에서는 상기 피스톤 댐퍼와 제1 또는 제2엔드 댐퍼와의 상승효과에 의하여 완충 기능이 이루어지는 것이 바람직하다.

상기 1쌍의 피스톤 댐퍼는, 상기 슬라이딩 너트의 단면으로부터 소정의 길이만큼 돌출하도록 설치되어, 상기 돌출한 일방의 피스톤 댐퍼는 상기 연결체에 접촉하고 상기 돌출한 타방의 피스톤 댐퍼는 상기 환상체에 접촉하도록 설치된다. 따라서 피스톤에 부여된 충격은 상기 연결체 또는 환상체를 통하여 피스톤 댐퍼에 전달되어서 적절하게 흡수된다.

또 피스톤에 충격이 부여되지 않는 통상의 상태에서는, 피스톤의 일단부에 연결된 연결체와 타단부에 연결된 환상체에 의하여 슬라이딩 너트가 지지되어, 슬라이딩 너트 및 피스톤은 구동력 전달축을 통하여 일체적으로 변위한다.

본 발명에 의하면, 양쪽 스트로크 엔드간의 중간위치 또는 스트로크 엔드 등의 임의의 위치에 있어서, 워크에 대한 푸쉬 등에 의하여 피스톤에 충격이 부여되었을 때에 상기 충격은 피스톤을 통하여 피스톤 댐퍼에 의하여 적절하게 흡수된다.

상기 충격이 피스톤 댐퍼에 의하여 흡수될 때에, 피스톤의 내부에 설치된 슬라이딩 너트가 그 피스톤에 대하여 구동력 전달축의 축선방향을 따라 약간 슬라이딩 가능하게 설치되어 있기 때문에, 상기 피스톤 댐퍼에 의하여 적절하게 충격이 흡수된다.

또 스트로크 엔드에서는, 제1 또는 제2엔드 댐퍼와의 상승효과에 의하여 더한층 적절하게 충격이 흡수된다.

(실시예)

본 발명에 관한 전동 액추에이터에 대하여 적합한 실시예를 들어, 첨부한 도면을 참조하면서 이하에서 상세하게 설명한다.

도1에 있어서, 도면번호 10은 본 발명의 실시예에 관한 전동 액추에이터를 나타낸다. 이 전동 액추에이터10은, 대략 편평한 모양의 블록체(block體)로 이루어지는 하우징12와, 상기 하우징12의 일단부(一端部)에 연결된 회전 구동원14와, 상기 회전 구동원14가 연결된 측과 반대측에 상기 하우징12로부터 소정의 거리만큼 이간하여 설치되는 로드 커버(엔드 블록)16과, 후술하는 커플링 부재를 통하여 회전 구동원14의 회전 구동력을 전달하는 이송 나사축(구동력 전달축)18을 구비한다.

또한 상기 전동 액추에이터10은, 상기 이송 나사축18을 사이에 두고 평행하게 설치되고 일단부가 제1나사부재19a, 19b(도2참조)를 통하여 상기 하우징12에 연결되고 또한 타단부가 제2나사부재21a, 21b(도2참조)를 통하여 상기 로드 커버16에 연결된 1쌍의 가이드 로드20a, 20b와, 상기 이송 나사축18을 통하여 전달되는 구동력의 작용에 의하여 상기 1쌍의 가이드 로드20a, 20b를 따라 변위하는 피스톤22와, 상기 로드 커버16을 관통하여 상기 피스톤22와 일체적으로 진퇴 동작하는 중공원통(中空圓筒) 모양의 피스톤 로드24와, 상기 피스톤 로드24의 선단부에 장착되어서 구멍부를 폐쇄하는 소켓26을 구비한다.

또 상기 피스톤22 및 피스톤 로드24는 변위부재로서 기능을 한다. 또한 상기 이송 나사축18의 표면처리로는 무전해(無電解) 니켈도금 처리를 실시하면 좋다. 또한 커플링 부재28을 이용하지 않고 상기 이송 나사축18을 모터축으로 하여 공통화 하여도 좋다.

도2에 나타나 있는 바와 같이 하우징12의 내부에 있어서, 커플링 부재28에 근접하는 이송 나사축18의 단부측에는 제1베어링30a 및 제2베어링30b가 각각 나란하게 설치되고, 상기 제1베어링30a 및 제2베어링30b는 제1베어링 가압체32a와 제2베어링 가압체32b에 의하여 지지된다.

피스톤22에 접하는 하우징12의 단부에는, 이송 나사축18이 관통하는 관통구멍34를 구비하는 제1엔드 댐퍼(end damper)36a가 지지된다. 상기 제1엔드 댐퍼36a는 도4에 나타나 있는 바와 같이 소정의 두께로 이루어지는 원 통부38과, 상기 원통부38의 외경보다 약간 직경이 큰 플랜지부(flange部)40이 일체로 구성된다.

이 경우에 제1엔드 댐퍼36a의 플랜지부40이 하우징12의 고리모양 오목부42에 결합됨으로써, 원통부38의 일부(단부(端部))가 하우징12의 단면으로부터 소정의 길이만큼 피스톤22측으로 돌출한 상태로 지지된다.

피스톤 로드24가 관통하는 로드 커버16의 내벽에는, 제2엔드 댐퍼36b와 부시(bush)44가 설치된다. 상기 제2엔드 댐퍼36b는 제1엔드 댐퍼36a와 동일한　형상으로 이루어지고 플랜지부40이 로드 커버16의 고리모양 오목부46에 결합됨으로써, 원통부38의 일부(단부)가 로드 커버16의 단면으로부터 소정의 길이만큼 피스톤22측으로 돌출한 상태로 지지된다.

상기 제1엔드 댐퍼36a 및 제2엔드 댐퍼36b는 각각 우레탄고무 등의 탄성체로 형성되면 좋다.

상기 피스톤22는, 도3에 나타나 있는 바와 같이 그 중심부에 축선방향을 따라 관통하고 종단면이 대략 타원모양으로 형성된 관통구멍48과, 상기 관통구멍48의 양측에 경량화를 위하여 내부가 제거되어 형성된 1쌍의 구멍50a, 50b를 구비하고, 예를 들면 알루미늄 등의 금속제 재료에 의하여 일체로 성형된다. 상기 피스톤22의 관통구멍48에는, 이송 나사축18에 나사결합 하는 나사 구멍50을 구비하는 대략 원통모양의 슬라이딩 너트52가, 그 이송 나사축18의 축선방향을 따라 슬라이딩 가능하게 삽입된다.

이 경우에 상기 슬라이딩 너트52와 피스톤22는 그 이송 나사축18의 축선방향을 따라 상대적으로 슬라이딩 가능하게 설치되고, 또한 그 슬라이딩 너트52의 외주면(外周面)에 형성된 1쌍의 평면부54a, 54b에 의하여 피스톤22가 원주방향으로 회전하는 것이 방지된다.

상기 슬라이딩 너트52의 양단부에는, 도5에 나타내는 고리모양의 1쌍의 피스톤 댐퍼56a, 56b가 고리모양 오목부를 통하여 장착되고, 상기 1쌍의 피스톤 댐퍼56a, 56b는 슬라이딩 너트52의 단면으로부터 축선방향을 따라 소정의 길이만큼 돌출하도록 설치된다.

이 경우에 피스톤 댐퍼56a, 56b는 그 외주면에 형성된 1쌍의 평면부57a, 57b를 구비하여, 슬라이딩 너트52의 종단면의 외주형상(도3참조)과 하나의 면이 되도록 형성된다.

상기 피스톤22의 축선방향을 따르는 일단부에는, 이송 나사축18이 삽입되는 관통구멍58을 구비하는 연결체60이 설치된다. 상기 연결체60은, 피스톤22의 너트에 나사결합 하는 볼트로 이루어지는 제1나사부를 구비하는 제1환상부(環狀部)64와, 중공(中空)의 피스톤 로드24의 너트에 나사결합 하는 볼트로 이루어지는 제2나사부를 구비하는 제2환상부62와, 상기 제1환상부64와 제2환상부62의 사이에 설치된 환상 플랜지부66으로 구성된다. 상기 제1환상부64, 제2환상부62 및 환상 플랜지부66은 각각 일체적으로 형성된다.

상기 피스톤22의 축선방향을 따르는 타단부에는, 그 피스톤22의 너트부에 나사결합 하는 볼트부가 외주면에 형성된 환상체68에 연결되고, 상기 환상체68은 피스톤22의 단면과 하나의 면이 되도록 설치된다.

이 경우에 슬라이딩 너트52의 단면으로부터 소정의 길이만큼 돌출하는 일방의 피스톤 댐퍼56a는 연결체60의 제2환상부64에 접촉하도록 설치되고, 슬라이딩 너트52의 단면으로부터 소정의 길이만큼 돌출하는 타방의 피스톤 댐퍼56b는 환상체68에 접촉하도록 설치된다.

따라서, 피스톤 로드24가 워크W에 접촉하여 그 피스톤 로드24에 대하여 충격이 부여되었을 때를 제외하고, 피스톤22의 양단부에 고정된 연결체60 및 환상체68에 의하여 슬라이딩 너트52가 피스톤22의 내부에 지지되고, 이송 나사축18과의 회전작용에 의하여 상기 슬라이딩 너트52는 축선방향을 따라 피스톤22와 일체적으로 변위되도록 설치된다.

또 상기 1쌍의 피스톤 댐퍼56a, 56b는 제1 및 제2엔드 댐퍼36a, 36b와 마찬가지로, 우레탄고무 등의 탄성체로 형성되면 좋다.

피스톤22의 축선과 직교하는 양측면에는 단면이 대략 원호(圓弧) 모양인 가이드부70(도3참조)이 형성되고, 1쌍의 가이드 로드20a, 20b의 사이에 피스톤22가 협지된다. 상기 가이드부70에는, 가이드 로드20a, 20b의 외주면과 선접촉(線接觸)하고 또한 가이드 로드20a, 20b의 축선방향을 따라 연장되는 수지제(樹脂製)의 1쌍의 플레이트72a, 72b가 접착된다. 각각 금속제 재료에 의하여 형성된 피스톤22와 가이드 로드20a, 20b와의 사이에 수지제 재료로 이루어지는 플레이트72a, 72b를 삽입시킴으로써 슬라이딩 저항을 경감시키기 위해서이다.

피스톤22에 대하여 방사(radial) 방향의 부하가 가해졌을 경우에 혹은 피스톤22에 회전 방향의 부하가 가해졌을 경우의 어느 쪽이더라도, 상기 1쌍의 가이드 로드20a, 20b에 의하여 상기 부하가 적절하게 흡수된다. 회전 방향의 부하에 대하여는, 1쌍의 가이드 로드20a, 20b가 회전을 방지하는 기능을 한다.

본 발명의 실시예에 관한 전동 액추에이터10은 기본적으로는 이상과 같이 구성되는 것으로서, 다음에 그 동작 및 작용 효과에 대하여 설명한다.

도면에 나타나 있지 않은 전원을 넣음으로써 회전 구동원14의 회전 구동력이 커플링 부재28을 통하여 이송 나사축18에 전달된다. 소정의 방향으로 회전하는 이송 나사축18이 이송 너트로서 기능하는 슬라이딩 너트52의 나사 구멍50에 나사결합 함으로써, 상기 슬라이딩 너트52 및 피스톤22가 1쌍의 가이드 로드20a, 20b의 안내작용에 의하여 피스톤 로드24와 일체적으로 축선방향을 따라 변위한다.

또 회전 구동원14에 흐르는 전류의 극성(極性)을 역전(逆轉)시킴으로써, 상기 피스톤22 및 피스톤 로드24를 상기와는 반대 방향을 따라 동작시킬 수 있다.

도6에 나타나 있는 바와 같이 피스톤22가 일방 또는 타방의 스트로크 엔드까지 도달하지 않게 그 중간위치에서 워크W의 푸쉬 작업을 한 경우에, 워크W에 접촉하는 소켓26, 피스톤 로드24 및 연결체60을 통하여 피스톤22에 충격이 전달된다.

이 경우에 본 실시예에서는, 연결체60에 접촉하는 피스톤 댐퍼56a의 단부가 도7에 나타나 있는 바와 같이 변형됨으로써 충격이 수용되고, 또한 피스톤22의 내부에 설치된 슬라이딩 너트52가 피스톤22에 대하여 이송 나사축18의 축선방향을 따라 약간 슬라이딩하여 변위함으로써(도7에서 2점 쇄선 참조), 상기 충격이 적절하게 흡수된다.

환언하면, 피스톤 로드24에 부여되는 충격에 의하여, 서로 연결된 피스톤22 및 연결체60이 이송 나사축18의 축선방향을 따라 변위가 가능하게 설치되고, 상기 피스톤22 및 연결체60의 약간의 변위를 슬라이딩 너트52의 단부에 장착된 탄성을 구비하는 피스톤 댐퍼56a에 의하여 흡수함으로써 상기 충격이 적절하게 완화된다.

이 경우에 슬라이딩 너트52는 이송 나사축18에 나사결합 하고 있기 때문에, 그 이송 나사축18과의 관계에서는 변위하는 일이 없음과 아울러 슬라이딩 너트52와 이송 나사축18의 나사결합 부위에 대하여 충격이 전달되는 것이 저지됨으로써, 상기 슬라이딩 너트52 및 이송 나사축18의 나사결합 부위를 적절하게 보호할 수 있다.

따라서 본 실시예에서는, 양쪽 스트로크 엔드의 중간위치에 있어서 피스톤 로드24에 의하여 워크W가 푸쉬된 경우이더라도, 상기 피스톤 로드24에 부여되는 충격이 탄성을 구비하는 피스톤 댐퍼56a와 피스톤22 및 슬라이딩 너트52와의 사이의 상대적인 슬라이딩 변위를 통하여 원활하게 흡수되기 때문에, 전동 액추에이터10의 내구성이 약해지는 것을 저지할 수 있다.

또한 피스톤 로드24의 전진단(前進端)에 있어서의 스트로크 엔드에서 충격이 발생하였을 경우에, 상기 피스톤 댐퍼56a의 완충작용과 함께 연결체60의 환상 플랜지부(環狀 flange部)66이 제2엔드 댐퍼36b에 접촉하여 완충작용에 상승효과가 일어나기 때문에, 더한층 적절하게 충격이 흡수된다(도8참조).

마찬가지로 피스톤 로드24의 후진단(後進端)에 있어서의 스트로크 엔드에서 충격이 발생하였을 경우에, 상기 피스톤 댐퍼56b의 완충작용과 함께 피스톤22 및 환상체68의 단면이 제1엔드 댐퍼36a에 접촉하여 완충작용에 상승효과가 일어나기 때문에, 더한층 적절하게 충격이 흡수된다(도2참조).

이와 같이 본 실시예에서는, 피스톤22에 설치된 1쌍의 피스톤 댐퍼56a, 56b와, 하우징12 및 로드 커버16에 설치된 제1 및 제2엔드 댐퍼36a, 36b를 포함하는 완충기구를 설치함으로써, 양쪽 스트로크 엔드간의 중간위치 및 양쪽 스트로크 엔드의 임의의 위치에 있어서 피스톤22에 부여되는 충격을 적절하게 완충할 수 있다.

또한 본 실시예에서는 압축 공기가 없거나 또는 사용할 수 없는 환경이더라도, 에어 실린더와 마찬가지로 사용이 가능한 모터 구동에 의한 액추에이터로서 사용할 수 있다.

이 경우에 에어 실린더와 마찬가지라고 하는 것은 ON/OFF 제어에 의한 구동인 것, 컨트롤러가 불필요한 것, 피스톤22의 푸쉬 동작이 가능한 것, 센서가 없어도 구동 가능한 것, 속도제어, 추진력제어가 가능한 것 등을 말한다.

또한 본 실시예에서는, 강성 바디(剛性 body)를 없애고 평행한 1쌍의 가이드 로드20a, 20b에 의하여 소정의 강성을 확보함으로써, 부품수를 줄이고 제조비용을 삭감하고 또한 경량화(輕量化)를 도모할 수 있다.

하우징12 및 로드 커버16의 제조방법으로는, 예를 들면 알루미늄 다이 캐스팅(Al die casting)에 의하여 일체로 성형하거나 판금 딥 드로잉(板金 deep drawing) 또는 복수 매의 강판을 적층하여 일체로 형성한 적층강판(積層鋼板) 등을 이용하면 좋다.

회전 구동원14로는, 예를 들면 DC 브러시 모터(직류 brush motor) DC 부러시리스 모터(brushless motor), 스텝핑 모터(stepping motor) 혹은 AC 서보 모터(교류 servo motor) 등을 이용하면 좋다.

이송 나사축18로는, 수지제 미끄러짐 나사축, 금속제 미끄러짐 나사축, 볼 나사축 혹은 풀리(pully)에 걸리는 타이밍 벨트 등을 이용하면 좋다.

다음에 본 발명의 다른 실시예에 관한 전동 액추에이터80을 도9∼도11에 나타낸다. 도1에 나타낸 전동 액추에이터l0과 동일한 구성요소는 동일한 참조 부호를 붙여 그 상세한 설명을 생략한다.

이 다른 실시예에 관한 전동 액추에이터80은, 1쌍의 가이드 로드20a, 20b가 없고, 원통모양의 하우징82를, 단(段)이 형성되고 원통모양의 로드 커버84와 연결하는 긴 원통모양의 튜브86을 구비하고, 상기 튜브86의 중공부(中空部)88내로 피스톤90이 수용되어 있는 점에서 상기 실시예와 다르다.

상기 피스톤90의 외주면에는, 수지제 재료로 형성되고 축선방향을 따라 연장하는 1쌍의 가이드 플레이트92a, 92b와, 단면이 원호모양의 반이 분할된 형상으로 이루어지는 1쌍의 마그네트94a, 94b가 각각 오목부를 통하여 고정된다. 이 경우에 상기 1쌍의 가이드 플레이트92a, 92b만이 튜브86의 내벽에 형성된 평탄한 가이드면96a, 96b를 따라 슬라이딩 하도록 설치되어 있기 때문에, 피스톤90에 대한 가이드 작용 및 튜브86이 원주방향으로 회전하려고 하는 것을 방지하는 작용을 하게 된다. 또 상기 가이드 플레이트92a, 92b를 제외한 다른 부위에 있어서는 피스톤90의 외벽과 튜브86의 내벽의 사이에 소정의 클리어런스(clearance)98이 형성된다(도11참조).

또 피스톤90의 내부에 동일한　형상으로 이루어지는 슬라이딩 너트52가 슬라이딩 가능하게 장착되는 점은 상기 실시예와 동일하다. 또한 상기 슬라이딩 너트52는 피스톤90의 일단부(一端部)에 연결된 연결체100과, 피스톤90의 타단부(他端部)에 장착된 C클립102에 의하여 지지된다.

상기 튜브86의 외주면의 소정의 부위에는, 예를 들면 근접 센서(近接 sensor), 포토 마이크로 센서(photo micro sensor) 등의 각종 센서가 도면에 나타나 있지 않은 밴드를 통하여 장착되고, 상기 마그네트94a, 94b의 자계(磁界)를 튜브86에 장착된 센서(도면에는 나타내지 않는다)에 의하여 감지함으로써 피스톤22의 위치가 검출된다.

1쌍의 피스톤 댐퍼56a, 56b 및 엔드 댐퍼36a, 36b의 기능은 상기 실시예와 동일하기 때문에, 그 상세한 설명을 생략한다.

이상의 실시예에서는, 도1 및 도9에 나타나 있는 바와 같이 피스톤 로드24가 신축(伸縮) 동작하는 로드 타입만 개시되어 있지만 이에 한정되는 것은 아니고, 상기 피스톤22에 도면에 나타나 있지 않은 슬라이드 테이블을 연결하여 사용하는 슬라이드 테이블 타입(slide table type)에도 적용할 수 있는 것은 물론이다.

이 경우에 피스톤 로드24를 피스톤22로부터 떼어내고, 피스톤 로드24가 관통하는 구멍부가 폐쇄된, 도면에 나타나 있지 않은 다른 로드 커버를 사용함으로써 로드 타입으로부터 슬라이드 테이블 타입으로 용이하게 변경할 수 있다.

본 발명에 의하면, 이하의 효과가 얻어진다.

즉 예를 들면 워크의 푸쉬 작업 등에 적용하였을 경우에, 워크에 접촉했을 때에 변위부재에 부여되는 충격을 피스톤 댐퍼 등의 완충기구에 의하여 적절하게 흡수하여 내구성을 유지할 수 있다.

Claims (4)

1. 하우징과,

   상기 하우징에 연결되는 회전 구동원(回轉驅動源)과,

   상기 회전 구동원의 회전 구동력을 직선운동으로 변환하여 변위부재(變位部材)에 전달함으로써 상기 변위부재를 직선으로 왕복 동작시키는 구동력 전달축(驅動力傳達軸)과,

   상기 변위부재에 부여되는 충격을 흡수하는 완충기구(緩衝機構)를

   구비하고,

   상기 변위부재는, 피스톤과, 상기 피스톤의 축선방향을 따르는 구멍 내에 지지되어 상기 구동력 전달축의 회전작용에 의하여 상기 피스톤과 일체적으로 변위하는 슬라이딩 너트를 구비하고,

   상기 완충기구는, 상기 슬라이딩 너트의 축선방향을 따르는 양단부에 각각 설치된 탄성체로 이루어져, 상기 피스톤에 부여된 충격을 흡수하는 피스톤 댐퍼를 포함하고, 상기 피스톤 댐퍼에 의하여 충격을 흡수할 때에 상기 슬라이딩 너트와 그 피스톤은 상기 구동력 전달축의 축선방향을 따라 상대적으로 변위 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 전동 액추에이터.
2. 제1항에 있어서,

   상기 완충기구는, 탄성체로 형성되고 피스톤 측에 접하는 하우징의 단부(端部)에 설치된 제1엔드 댐퍼와, 상기 하우징으로부터 소정의 거리만큼 이간하는 로드 커버에 설치된 제2엔드 댐퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 전동 액추에이터.
3. 제1항에 있어서,

   상기 슬라이딩 너트는, 피스톤의 일단부에 연결된 연결체와 타단부에 연결된 환상체(環狀體)에 의하여 지지되는 것을 특징으로 하는 전동 액추에이터.
4. 제3항에 있어서,

   상기 1쌍의 피스톤 댐퍼는 상기 슬라이딩 너트의 단면(端面)으로부터 소정의 길이만큼 돌출하도록 설치되어, 상기 돌출한 일방의 피스톤 댐퍼는 상기 연결체에 접촉하고, 상기 돌출한 타방의 피스톤 댐퍼는 상기 환상체에 접촉하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 전동 액추에이터.

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