JP4682302B2 - アクチュエータ - Google Patents

アクチュエータ Download PDF

Info

Publication number
JP4682302B2
JP4682302B2 JP2004337015A JP2004337015A JP4682302B2 JP 4682302 B2 JP4682302 B2 JP 4682302B2 JP 2004337015 A JP2004337015 A JP 2004337015A JP 2004337015 A JP2004337015 A JP 2004337015A JP 4682302 B2 JP4682302 B2 JP 4682302B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
slider
resin
frame
pair
resin sliding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2004337015A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2005172234A (ja
Inventor
茂和 永井
昭男 斉藤
正樹 今村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Priority to JP2004337015A priority Critical patent/JP4682302B2/ja
Publication of JP2005172234A publication Critical patent/JP2005172234A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4682302B2 publication Critical patent/JP4682302B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/02Sliding-contact bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H25/00Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20Screw mechanisms
    • F16H2025/2031Actuator casings
    • F16H2025/2034Extruded frame casings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H25/00Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20Screw mechanisms
    • F16H2025/204Axial sliding means, i.e. for rotary support and axial guiding of nut or screw shaft
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H25/00Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20Screw mechanisms
    • F16H2025/2062Arrangements for driving the actuator
    • F16H2025/2075Coaxial drive motors
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H25/00Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20Screw mechanisms
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00Machine element or mechanism
    • Y10T74/18Mechanical movements
    • Y10T74/18568Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
    • Y10T74/18576Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including screw and nut
    • Y10T74/18656Carriage surrounded, guided, and primarily supported by member other than screw [e.g., linear guide, etc.]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Description

本発明は、駆動源の駆動作用下にフレームに沿ってスライダを直線状に往復動作させることが可能なアクチュエータに関する。
従来から、例えば、ワークを搬送するためにアクチュエータ等の搬送手段が用いられ、特許文献1には、この種の従来技術に係るアクチュエータが開示されている。
このアクチュエータは、図14に示されるように、アウタレール1の内部に軸線方向に沿って変位自在なインナブロック2が設けられ、前記インナブロック2の略中央部にはボールねじ軸3が軸線方向に沿って延在するように設けられている。
また、アウタレール1におけるインナブロック2と対向する一対の内壁面1a、1bには、一対の第1ボール転走溝4が軸線方向に沿って形成されると共に、この第1ボール転走溝4と対向するインナブロック2の両側面には、同様に第2ボール転走溝が形成されている。そして、インナブロック2の内部には複数のボール6が循環する戻り通路7が形成され、前記ボール6が、戻り通路7、第1ボール転走溝4と第2ボール転走溝との間を循環することによりインナブロック2がアウタレール1に沿って変位自在にガイドされている。
そして、図示しない電動モータ等の駆動源に一体的に連結されたボールねじ軸3が回転し、前記ボールねじ軸3の回転作用下に該ボールねじ軸3に螺合されたインナブロック2がアウタレール1の軸線方向に沿って直線的に変位する。
特開2003−74551号公報
しかしながら、前記の特許文献1に開示されたアクチュエータでは、インナブロック2をアウタレール1の軸線方向に沿って案内するガイド機構として無限循環軌道に沿って転動する複数のボール6が必要となると共に、前記ボール6が転動するための第1ボール転送溝4、第2ボール転送溝、及び戻り通路7等の高精度な加工作業が必要となり、製造コストが高騰するという問題がある。
本発明は、前記の問題を考慮してなされたものであり、フレームに沿ってスライダを案内するガイド機構を簡素な構造とすることにより製造コストを低減することが可能なアクチュエータを提供することを目的とする。
前記の目的を達成するために、本発明は、フレームと、
前記フレームに配設される駆動源と、
前記駆動源の駆動力を伝達する駆動力伝達機構と、
前記駆動力伝達機構を介して伝達される駆動力に基づいて、前記フレームの軸線方向に沿って往復動作するスライダと、
前記フレームの内壁面に対向する該スライダの外壁面と該フレームの内壁面との間に介装され該フレーム及び/又はスライダに固定された複数の樹脂製摺動体を含み、前記スライダが該フレームに沿って変位するときに該スライダを案内するガイド機構と、
を備えることを特徴とする。
この場合、前記樹脂製摺動体を柱体状に形成し、スライダの側面に形成された装着溝に保持されるように設けるとよい。
また、前記樹脂製摺動体は、樹脂製材料によって形成された中空の円筒体と、金属製材料によって形成され前記円筒体の内部に挿入される芯材とによって構成されるとよい。なお、スライダの軸線方向に沿った両端面にそれぞれ装着される一組のプレートによって前記樹脂製摺動体を固定するとよい。
さらに、前記複数の樹脂製摺動体を、スライダに形成された一組の第1装着溝に装着され底壁部の第1摺動溝に沿って摺動する一組の第1樹脂製摺動体と、スライダに形成された一組の第2装着溝に装着され側壁部の第2摺動溝に沿って摺動する一組の第2樹脂製摺動体と、スライダに形成された一組の第3装着溝に装着され側壁部の第3摺動溝に沿って摺動する一組の第3樹脂製摺動体とによって構成してもよい。
さらに、送りねじ軸の軸心を中心とし前記第1〜第3樹脂製摺動体の軸心を結んだ仮想円が同一円周上に位置するように配置されるとよい。前記第1樹脂製摺動体は、その軸心が、第2及び第3樹脂製摺動体の軸心を結んだ仮想円の内側に所定長だけ偏位した仮想円上に位置するように配置されるとよい。
さらにまた、前記フレームが、底壁部と、前記底壁部を間にして相互に対向する一組の側壁部とによって形成されるとよい。
またさらに、
前記駆動源として、回転駆動源によって構成し、あるいは、内部にピストンが収装されたシリンダチューブと、前記ピストンと一体的に変位するピストンロッドを有する流体圧シリンダによって構成するとよい。
なお、前記複数の樹脂製摺動体は、固定側のフレームに保持された固定側樹脂製摺動体と、可動側のスライダに保持された可動側樹脂製摺動体とによって構成されるとよい。
本発明によれば、駆動力伝達機構を介して駆動源の駆動力がスライダに伝達され、前記スライダは、ガイド機構の案内作用下にフレームの軸線方向に沿って変位する。
前記スライダがフレームに沿って変位する際、スライダに保持され、前記フレームの内壁面に対向する該スライダの側面と該フレームの内壁面との間に介装され複数の樹脂製摺動体が該フレームの内壁面に沿って摺動することにより、該スライダがフレームの内壁面に沿って円滑に案内される。
本発明によれば、以下の効果が得られる。
すなわち、スライダの側面に複数の樹脂製摺動体を保持することにより、従来技術において用いられていたボール及びリターン部材等が不要となると共に、ボールを循環させる戻り通路等をスライダに形成する加工作業が不要となる。従って、複数の樹脂製摺動体をガイド機構とする簡素な構造により製造コストを低減し、廉価に製造することができる。
本発明に係るアクチュエータについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
図1において、参照数字10は、本発明の実施の形態に係るアクチュエータを示す。
このアクチュエータ10は、縦断面略U字状を呈し長尺に形成されたフレーム12と、前記フレーム12の一端部側に設けられた回転駆動源14と、前記回転駆動源14の回転駆動力を直線運動に変換して伝達する駆動力伝達機構16と、前記駆動力伝達機構16を介して伝達される直線運動によって前記フレーム12の内壁面に沿った軸線方向に往復動作するスライダ18と、前記スライダ18をフレーム12の軸線方向に沿って直線状に案内するガイド機構20とを有する。
なお、前記フレーム12およびスライダ18を、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、又はステンレススチール等の金属製材料によって形成し、前記フレーム12を、押し出し成形、引き抜き成形等によって一体的に形成すると好適である。
前記フレーム12の軸線方向に沿った他端部には、一組のねじ部材22a、22bを介してエンドプレート24が連結される(図1及び図2参照)。
前記フレーム12は、軸線方向に沿って所定間隔離間する複数の取付孔26(図2参照)が形成された底壁部28と、前記底壁部28から略直交する方向に所定長だけ立ち上がり相互に対向する一組の側壁部30a、30bとから構成され、前記底壁部28と一組の側壁部30a、30bとはそれぞれ一体的に形成される(図4参照)。
図4に示されるように、底壁部28の内壁面の中央部には、フレーム12の軸線方向に沿って延在する凹部32が形成され、また、側壁部30a、30bの内壁面全体は曲率半径が大きな縦断面円弧状に形成される。さらに、側壁部30a、30bに近接する底壁部28の内壁面には、後述する樹脂製摺動体34を摺動させるための縦断面円弧状の一組の第1摺動溝36a、36bが形成される。前記一組の第1摺動溝36a、36bは、フレーム12の軸線方向に沿って一端部から他端部まで略平行に延在するように配置される。
前記一組の側壁部30a、30bの内壁面には、後述する樹脂製摺動体34を摺動させるための縦断面円弧状の一組の第2摺動溝38a、38b及び第3摺動溝40a、40bがそれぞれ対向して形成される。前記一組の第2摺動溝38a、38b及び第3摺動溝40a、40bは、それぞれ、側壁部30a、30bの内壁面の略上下方向に位置すると共に、フレーム12の軸線方向に沿って略平行に延在するように形成される。
駆動力伝達機構16は、回転駆動源14の駆動軸に同軸に連結された送りねじ軸42と、前記送りねじ軸42に螺合するねじ部43が形成された略円筒状の送りナット44とを有する。前記送りナット44は、スライダ18の上面に形成された横断面矩形状の開口部46を介して該スライダ18の孔部内に装着される(図3参照)。なお、前記送りねじ軸42に代替して図示しないボールねじ軸、滑りねじ軸等を用いてもよい。
前記フレーム12の一組の側壁部30a、30bに対向するスライダ18の側面は、該側壁部30a、30bの内壁面に対応して曲率半径が大きな縦断面円弧状にそれぞれ形成される。
さらに、スライダ18の側面には、図4に示されるように、底壁部28の第1摺動溝36a、36bに対向し後述する第1樹脂製摺動体34a、34bが装着される縦断面円弧状の一組の第1装着溝48a、48bと、側壁部30a、30bの第2摺動溝38a、38bに対向し後述する第2樹脂製摺動体34c、34dが装着される縦断面円弧状の一組の第2装着溝50a、50bと、側壁部30a、30bの第3摺動溝40a、40bに対向し後述する第3樹脂製摺動体34e、34fが装着される縦断面円弧状の一組の第3装着溝52a、52bとが形成される。
なお、樹脂製摺動体を総称して「樹脂製摺動体34」とし、個々の樹脂製摺動体を示す場合、「第1樹脂製摺動体34a、34b」、「第2樹脂製摺動体34c、34d」、「第3樹脂製摺動体34e、34f」として説明する。
前記一組の第1〜第3装着溝48a、48b、50a、50b、52a、52bは、それぞれ、送りねじ軸42の軸線方向に沿って略平行に延在するように配置される。
また、スライダ18の中央部には送りねじ軸42を貫通させる貫通孔54が形成され、該スライダ18の上面には、他の部材を取り付けるための4つの取付用孔部56a〜56dが形成される。スライダ18の上面及び下面には、それぞれ凹部58a、58bが形成される(図4参照)。
さらに、スライダ18の軸線方向に沿った両端面には一組のプレート60a、60bが図示しないねじ部材を介して固定され、前記一組のプレート60a、60bの中央部には送りねじ軸42を挿通させるための円形状の孔部62が形成される(図3参照)。
この場合、前記一組のプレート60a、60bによって複数の樹脂製摺動体34の両端部がそれぞれ把持されることにより、スライダ18に装着された前記複数の樹脂製摺動体34の軸線方向に沿った変位が規制され、前記複数の樹脂製摺動体34が該スライダ18に保持(固定)される。従って、前記複数の樹脂製摺動体34は、前記一組のプレート60a、60bスライダ18の側面に形成された一組の第1〜第3装着溝48a、48b、50a、50b、52a、52b内における周方向の回転動作が阻止される。
なお、前記一組のプレート60a、60bを設けることがなく、スライダ18を一組のプレート60a、60bを含んだ形状に鋳造等によって一体成形してもよい。前記プレート60a、60bに代替して、前記第1〜第3装着溝48a、48b、50a、50b、52a、52bに係止された図示しないピン等の固定部材を設け、あるいは、接着剤等の接着部材を介して、前記複数の樹脂製摺動体34を前記第1〜第3装着溝48a、48b、50a、50b、52a、52bに固定してもよい。
ガイド機構20は、図3及び図4に示されるように、スライダ18の側面に形成された一組の第1〜第3装着溝48a、48b、50a、50b、52a、52bにそれぞれ装着され、フレーム12の内壁面に形成された一組の第1〜第3摺動溝36a、36b、38a、38b、40a、40bに沿ってそれぞれ摺動する6本の第1〜第3樹脂製摺動体34a〜34fを含む。前記第1〜第3樹脂製摺動体34a〜34fは、それぞれ同一構成からなり、例えば、超高分子ポリエチレン等によって形成された中空の円筒体と、前記円筒体の内部に挿入され、例えば、SUS又は鋼鉄の円柱体によって形成された芯材64とによって構成される。
なお、前記樹脂製摺動体34の形状は、円柱体に限定されるものではなく、角柱体等を含む柱体であればよい。また、樹脂製材料からなる円筒体に金属製の芯材64を挿入して樹脂製摺動体34を構成することにより剛性を確保することができる。
この場合、所定の直径を有する前記芯材64を円筒体の内部に圧入して樹脂製材料からなる該円筒体を拡径させることにより、樹脂製摺動体34の外径を所定径に調節することが可能となる。従って、前記樹脂製摺動体34が装着される第1〜第3装着溝48a、48b、50a、50b、52a、52bとの間の隙間調整、及び前記樹脂製摺動体34が摺動する第1〜第3摺動溝36a、36b、38a、38b、40a、40bとの間の隙間調整を容易に行うことができる。
本発明の実施の形態に係るアクチュエータ10は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
図示しない電源を付勢することにより回転駆動源14の駆動軸に連結された送りねじ軸42が回転駆動し、送りナット44のねじ部43との螺合作用下に回転運動がスライダ18の直線運動に変換される。従って、スライダ18は、ガイド機構20の案内作用下にフレーム12の軸線方向に沿って変位する。なお、図示しないコントローラの制御作用下に、回転駆動源14に流される電流の極性を正逆逆転させることにより、前記スライダ18をフレーム12の軸線方向に沿って往復動作させることができる。
スライダ18がフレーム12の軸線方向に沿って往復動作する際、一組のプレート60a、60bを介して該スライダ18の側面に保持された複数の樹脂製摺動体34がフレーム12の第1〜第3摺動溝36a、36b、38a、38b、40a、40bに沿って摺動することにより、フレーム12の内壁面に沿ってスライダ18を直線状に円滑に変位させることができる。
次に、複数の樹脂製摺動体34によって吸収される荷重について説明する。なお、図5及び図6では、網線の範囲(面積)によって荷重が支持される量を簡略化して図示している。
図5に示されるように、スライダ18に対して鉛直下方向(矢印A方向)の荷重(垂直荷重)が付与されたとき、最も下部側に配置され底壁部28の第1摺動溝36a、36bに係合する一組の第1樹脂製摺動体34a、34bによって主として支持されると共に、側壁部30a、30bの第2及び第3摺動溝38a、38b、40a、40bに係合する4本の第2樹脂製摺動体34c、34d及び第3樹脂製摺動体34e、34fによって従として支持される。
一方、図6に示されるように、スライダ18に対して前記垂直荷重を除いた偏荷重(例えば、矢印B方向の荷重)が付与されたとき、側壁部30a、30b及び底壁部28に配置された6本の樹脂製摺動体34が前記偏荷重を略均等に分散させて好適に支持することができる。
本実施の形態では、スライダ18の両側面に複数の樹脂製摺動体34を保持することにより、従来技術において用いられていたボール及びリターン部材等が不要となると共に、ボールを循環させる戻り通路等をスライダに形成する加工作業が不要となる。従って、本実施の形態では、複数の樹脂製摺動体34をガイド機構20とする簡素な構造により製造コストを低減し、廉価に製造することができる。
さらに、本実施の形態では、フレーム12を、押し出し成形、引き抜き成形等によって一体成形する際、前記フレーム12を構成する底壁部28及び側壁部30a、30bに対して第1〜第3摺動溝36a、36b、38a、38b、40a、40bを同時に成形することにより、より一層製造コストを低減することができる。この場合、前記第1〜第3摺動溝36a、36b、38a、38b、40a、40bに対する仕上げ加工等の後加工は不要である。
次に、スライダ18の側面とフレーム12の内壁面との間に介装される複数の樹脂製摺動体34の配置関係について説明する。
図7に示されるように、スライダ18に装着される複数の樹脂製摺動体34は、送りねじ軸42の軸心Oを中心とし複数の第1〜第3樹脂製摺動体34a(34b)、34c(34d)、34e(34f)の軸心L、M、Nを結んだ仮想円Pが同一円周上に位置するように配置される。換言すると、送りねじ軸42の軸心Oから複数の第1〜第3樹脂製摺動体34a(34b)、34c(34d)、34e(34f)の軸心L、M、Nまでの離間距離が等距離にあることにより、スライダ18に対する偏荷重(図6の矢印B方向の偏荷重参照)を好適に支持することができる。
また、図8に示されるように、スライダ18に装着される複数の樹脂製摺動体34の中、最も下側に配置され底壁部28によって支持される第1樹脂製摺動体34a(34b)を側壁部30a(30b)によって支持される他の第2及び第3樹脂製摺動体34c(34d)、34e(34f)の軸心M、Nを結んだ仮想円Pの内側にΔDだけ偏位した仮想円Q上に配置することにより、第1樹脂製摺動体34a(34b)に対するスライダ18の接触面の接触面積(斜線部分参照)を増大させることができる。
その際、複数の樹脂製摺動体34の本数は、6本に限定されるものではなく、複数本用いてスライダ18の側面とフレーム12の内壁面との間の所望の位置に配置することにより、ユーザの要望に沿った所望の効果が得られる。
なお、本実施の形態では、駆動源として、例えば、モータ等の回転駆動源14を用いて説明しているが、これに限定されるものではなく、前記回転駆動源14に代替して、図9に示されるように、流体圧シリンダ70を駆動源としてもよい。
前記流体圧シリンダ70の図示しないシリンダ室に圧力流体が供給されることによりピストンロッド72が進退動作し、前記ピストンロッド72の先端に連結されたエンドプレート74を介してスライダ18をフレーム12の軸線方向に沿って往復動作させることができる。なお、図9中において、参照数字76a、76bは、スライダ18の変位終端位置における衝撃を吸収するショックアブソーバを示す。
さらに、フレーム12の側面に図示しないセンサを装着し、スライダ18に連結され該スライダ18と一体的に変位する図示しない被検出部材を検出することにより、原点位置を検出することができる。
次に、駆動源として流体圧シリンダを用いたさらに他の実施の形態に係るアクチュエータ80、110を図10〜図13に示す。
図10及び図11に示されるアクチュエータ80では、圧力流体出入ポート82a、82bを有するロッドカバー84及びヘッドカバー86と、前記ロッドカバー84及びヘッドカバー86によって閉塞された図示しないシリンダ室にピストンが収装されたシリンダチューブ88とを備え、前記シリンダチューブ88がフレーム12及びスライダ90の凹部に沿って固定されている。前記シリンダチューブ88の端部から外部に向かって伸縮動作するピストンロッド92の先端部には、断面U字状を呈しフレーム12の軸線方向に沿って延在するスライダ90が連結ブロック94を介して連結される。
この場合、固定側であるフレーム12と可動側であるスライダ90との間には、複数の固定側樹脂製摺動体96と複数の可動側樹脂製摺動体98とがそれぞれ軸線方向に沿って所定距離離間して設けられる。すなわち、固定側のフレーム12の内壁面に形成された複数の長溝100の端部には、片側が3本ずつで両側で合計6本の固定側樹脂製摺動体96がそれぞれ固定され、可動側のスライダ90の外壁面に形成された複数の長溝102の端部には、片側が3本ずつで両側で合計6本の可動側樹脂製摺動体98がそれぞれ固定される。
従って、流体シリンダの付勢作用下にピストンロッド92とスライダ90が一体的に進退動作する際、前記スライダ90に付与される荷重(垂直荷重及び偏荷重を含む)は、前記固定側のフレーム12の内壁に保持された複数の固定側樹脂製摺動体96と、前記可動側のスライダ90の外壁に保持された複数の可動側樹脂製摺動体98とによって好適に支持される。
なお、前記複数の固定側樹脂製摺動体96と前記複数の可動側樹脂製摺動体98とは、水平線上において同一の長溝100に沿って固定されているが、フレーム12に沿ってスライダ90が変位した場合であっても、ピストンのストローク量を所定量に設定し、あるいはスライダ90の変位量を規制する図示しないストッパを設けることにより、前記複数の固定側樹脂製摺動体96と前記複数の可動側樹脂製摺動体98とが当接することがないように設けられている。
図12及び図13に示されるアクチュエータ110は、一組の圧力流体出入ポート111a、111bを有し内部に図示しないシリンダ室が形成されたベースブロック112と、前記シリンダ室に沿って変位するピストン(図示せず)に連結されたピストンロッド114と、前記ピストンロッド114の先端部に連結されて該ピストンロッドと一体的に変位するスライダ116とを備える。
なお、前記ベースブロック112は、フレームとして機能するものであり、複数の取付用孔部117が形成された薄肉の一組の側端部112a、112bと、前記一組の側端部112a、112bの間に上方に向かって膨出形成された中央膨出部112cとによって一体的に構成される。
固定側であるベースブロック112と可動側であるスライダ116との間には、複数の固定側樹脂製摺動体118と複数の可動側樹脂製摺動体120とがそれぞれ軸線方向に沿って所定距離離間して設けられる。すなわち、固定側のベースブロック112の内壁面(上面及び両側面)に形成された複数の長溝122の端部には、上面が2本で両側面が2本の合計4本の固定側樹脂製摺動体118がそれぞれ固定され、可動側のスライダ116の外壁面(上面及び両側面)に形成された複数の長溝124の端部には、上面が2本で両側面が2本の合計4本の可動側樹脂製摺動体120がそれぞれ固定される。
前記複数の固定側樹脂製摺動体118と前記複数の可動側樹脂製摺動体120とが当接しないように設けられている点は、前記アクチュエータ80と同一である。
なお、図10〜図13にそれぞれ設けられた固定側樹脂製摺動体96、118及び可動側樹脂製摺動体98、120は、それぞれ、図3に示す樹脂製摺動体34と同一の構成乃至作用効果を有するため、その詳細な説明を省略する。
本発明の実施の形態に係るアクチュエータの一部切り欠き斜視図である。 前記アクチュエータの分解斜視図である。 図1に示す前記アクチュエータを構成するスライダ及びガイド機構の分解斜視図である。 図1に示すアクチュエータの軸線方向と直交する縦断面図である。 図3に示すスライダに対して垂直荷重が付与された状態を示す側面図である。 図3に示すスライダに対して偏荷重が付与された状態を示す側面図である。 複数の樹脂製摺動体を同一円周上に配置した状態を示す部分拡大側面図である。 複数の樹脂製摺動体を異なる円周上に配置した状態を示す部分拡大側面図である。 本発明の他の実施の形態に係るアクチュエータの一部切り欠き斜視図である。 本発明のさらに他の実施の形態に係るアクチュエータの一部切り欠き斜視図である。 図10のXI−XI線に沿った縦断面図である。 本発明のさらにまた他の実施の形態に係るアクチュエータの一部切り欠き斜視図である。 図12の矢印C方向からみた矢視図である。 従来技術に係るアクチュエータの一部切り欠き斜視図である。
符号の説明
10、10a、80、110…アクチュエータ
12…フレーム 14…回転駆動源
16…駆動力伝達機構 18、90、116…スライダ
20…ガイド機構 24、74…エンドプレート
28…底壁部 30a、30b…側壁部
34、34a〜34f…樹脂製摺動体
36a、36b、38a、38b、40a、40b…摺動溝
42…送りねじ軸 44…送りナット
46…開口部
48a、48b、50a、50b、52a、52b…装着溝
60a、60b…プレート 64…芯材
70…流体圧シリンダ 88…シリンダチューブ
72、92、114…ピストンロッド 94…連結ブロック
96、118…固定側樹脂製摺動体 98、120…可動側樹脂製摺動体
100、102、122、124…長溝 112…ベースブロック

Claims (7)

  1. フレームと、
    前記フレームに配設される駆動源と、
    前記駆動源の駆動力を送りねじ軸の回転駆動とし、当該送りねじ軸に螺合する送りナットの直線運動に変換することで、伝達する駆動力伝達機構と、
    前記送りナットの直線運動に基づいて、前記フレームの軸線方向に沿って往復動作するスライダと、
    前記フレームの内壁面に対向する該スライダの外壁面と該フレームの内壁面との間に介装され該フレーム及び/又はスライダに固定された複数の樹脂製摺動体を含み、前記スライダが該フレームに沿って変位するときに該スライダを案内するガイド機構と、を備えたアクチュエータにおいて、
    前記樹脂製摺動体は、樹脂製材料によって形成された中空の円筒体と、金属製材料によって形成され前記円筒体の内部に挿入される芯材とからなり、
    前記複数の樹脂製摺動体は、前記スライダに形成された一組の第1装着溝に装着され底壁部の第1摺動溝に沿って摺動する一組の第1樹脂製摺動体と、前記スライダに形成された一組の第2装着溝に装着され側壁部の第2摺動溝に沿って摺動する一組の第2樹脂製摺動体と、前記スライダに形成された一組の第3装着溝に装着され側壁部の第3摺動溝に沿って摺動する一組の第3樹脂製摺動体とを含み、
    前記第1〜第3樹脂製摺動体は、前記送りねじ軸の軸心を中心とし前記第1〜第3樹脂製摺動体の軸心を結んだ仮想円が同一円周上に位置するように配置されることを特徴とするアクチュエータ。
  2. フレームと、
    前記フレームに配設される駆動源と、
    前記駆動源の駆動力を送りねじ軸の回転駆動とし、当該送りねじ軸に螺合する送りナットの直線運動に変換することで、伝達する駆動力伝達機構と、
    前記送りナットの直線運動に基づいて、前記フレームの軸線方向に沿って往復動作するスライダと、
    前記フレームの内壁面に対向する該スライダの外壁面と該フレームの内壁面との間に介装され該フレーム及び/又はスライダに固定された複数の樹脂製摺動体を含み、前記スライダが該フレームに沿って変位するときに該スライダを案内するガイド機構と、を備えたアクチュエータにおいて、
    前記樹脂製摺動体は、樹脂製材料によって形成された中空の円筒体と、金属製材料によって形成され前記円筒体の内部に挿入される芯材とからなり、
    前記複数の樹脂製摺動体は、前記スライダに形成された一組の第1装着溝に装着され底壁部の第1摺動溝に沿って摺動する一組の第1樹脂製摺動体と、前記スライダに形成された一組の第2装着溝に装着され側壁部の第2摺動溝に沿って摺動する一組の第2樹脂製摺動体と、前記スライダに形成された一組の第3装着溝に装着され側壁部の第3摺動溝に沿って摺動する一組の第3樹脂製摺動体とを含み、
    前記第1樹脂製摺動体は、その軸心が、前記送りねじ軸の軸心を中心とし前記第2及び第3樹脂製摺動体の軸心を結んだ仮想円の内側に所定長だけ偏位した仮想円上に位置し、前記スライダとの接触面積が増大するように配置されることを特徴とするアクチュエータ。
  3. 請求項1又は2記載のアクチュエータにおいて、
    前記樹脂製摺動体は、スライダの軸線方向に沿った両端面にそれぞれ装着される一組のプレートによって固定されることを特徴とするアクチュエータ。
  4. 請求項1又は2記載のアクチュエータにおいて、
    前記フレームは、底壁部と、前記底壁部を間にして相互に対向する一組の側壁部とによって形成されることを特徴とするアクチュエータ。
  5. 請求項1又は2記載のアクチュエータにおいて、
    前記駆動源は、回転駆動源からなることを特徴とするアクチュエータ。
  6. 請求項1又は2記載のアクチュエータにおいて、
    前記複数の樹脂製摺動体は、固定側のフレームに保持された固定側樹脂製摺動体と、可動側のスライダに保持された可動側樹脂製摺動体とからなることを特徴とするアクチュエータ。
  7. 請求項1又は2記載のアクチュエータにおいて、
    前記スライダは、前記一組の第2樹脂製摺動体が当該スライダの往復方向の側面に対して一対装着されるとともに、前記一組の第3樹脂製摺動体が当該スライダの往復方向の側面に対して一対装着され、
    前記スライダの一方の側面に装着された第2樹脂製摺動体の軸心位置と、前記スライダの他方の側面に装着された第3樹脂製摺動体の軸心位置と、が前記送りねじ軸の軸心に対して軸心対称となっていることを特徴とするアクチュエータ。
JP2004337015A 2003-11-21 2004-11-22 アクチュエータ Active JP4682302B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004337015A JP4682302B2 (ja) 2003-11-21 2004-11-22 アクチュエータ

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003392744 2003-11-21
JP2004337015A JP4682302B2 (ja) 2003-11-21 2004-11-22 アクチュエータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005172234A JP2005172234A (ja) 2005-06-30
JP4682302B2 true JP4682302B2 (ja) 2011-05-11

Family

ID=34587533

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004337015A Active JP4682302B2 (ja) 2003-11-21 2004-11-22 アクチュエータ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7520191B2 (ja)
JP (1) JP4682302B2 (ja)
KR (1) KR100663197B1 (ja)
CN (1) CN100402875C (ja)
DE (1) DE102004055306B4 (ja)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202006006447U1 (de) * 2006-04-21 2006-07-13 Festo Ag & Co. Fluidbetätigte Linearantriebsvorrichtung
DE102006027523A1 (de) * 2006-06-14 2008-01-10 Rk Rose + Krieger Gmbh Verbindungs- Und Positioniersysteme Lineareinheit
DE202006018505U1 (de) 2006-12-05 2008-04-17 Dewert Antriebs- Und Systemtechnik Gmbh Elektromotorischer Linearantrieb
JPWO2009084459A1 (ja) * 2007-12-28 2011-05-19 Thk株式会社 運動案内装置
ATE506879T1 (de) * 2008-09-10 2011-05-15 Man Wah Furniture Mfg Huizhou Co Ltd Ansteuerung zum einstellen von sitz- und liegemöbelteilen
JP5273790B2 (ja) * 2008-12-02 2013-08-28 株式会社アイエイアイ 電動アクチュエータの滑り案内機構と電動アクチュエータ
JP2010133431A (ja) * 2008-12-02 2010-06-17 Iai:Kk 電動アクチュエータ
JP5429960B2 (ja) * 2008-12-02 2014-02-26 株式会社アイエイアイ 電動アクチュエータと電動アクチュエータ組立方法
US20110290161A1 (en) * 2010-05-27 2011-12-01 Valley Precision, Inc. Stage with magnetic loading
KR101371454B1 (ko) * 2011-12-06 2014-03-11 현대자동차주식회사 이동 장치
JP5901956B2 (ja) * 2011-12-16 2016-04-13 株式会社コガネイ 直線往復動装置
JP2013143824A (ja) * 2012-01-11 2013-07-22 Smc Corp 電動アクチュエータ
JP5986640B2 (ja) * 2012-10-12 2016-09-06 国際計測器株式会社 モータユニット、動力シミュレータ、ねじり試験装置、回転ねじり試験装置、直動アクチュエータ及び加振装置
JP6038589B2 (ja) 2012-10-17 2016-12-07 Ntn株式会社 直動案内装置
TWI478789B (zh) * 2012-10-19 2015-04-01 Ind Tech Res Inst 伸縮軸組件
US20140326091A1 (en) * 2013-05-06 2014-11-06 Velmex, Inc. Miniature Linear Positioning System
JP6506508B2 (ja) * 2014-06-26 2019-04-24 日本トムソン株式会社 アクチュエータ
CN105276115A (zh) * 2014-07-22 2016-01-27 陆如东 一种机床丝杠传动装置
WO2016038720A1 (ja) * 2014-09-11 2016-03-17 Smc株式会社 リニアガイド装置及びアクチュエータ
CN105156471A (zh) * 2015-08-18 2015-12-16 浙江亚磊型钢冷拔有限公司 一种导轨型材
KR101657548B1 (ko) * 2015-11-30 2016-09-19 (주)조은정밀 유압발생기의 작동성이 뛰어난 골프 시뮬레이터용 스윙 플레이트
KR101657551B1 (ko) * 2015-11-30 2016-09-19 (주)조은정밀 유압발생기의 작동성이 우수한 골프 시뮬레이터용 스윙 플레이트
KR101657547B1 (ko) * 2015-11-30 2016-09-19 (주)조은정밀 골프 시뮬레이터용 스윙 플레이트
KR101956462B1 (ko) * 2017-08-16 2019-06-24 에스케이에프코리아(주) 리니어 모듈
US11925996B2 (en) 2018-11-27 2024-03-12 Tolomatic, Inc. Integrated guide linear actuator system
CN111255805A (zh) * 2020-02-15 2020-06-09 东莞新行自动化科技有限公司 多方位撑开式滑轨结构
US11754157B2 (en) 2020-05-20 2023-09-12 Tolomatic, Inc. Integrated motor linear actuator
DE102021213781B3 (de) 2021-12-03 2023-03-02 Festo Se & Co. Kg Linearantrieb
MX2023002405A (es) * 2023-02-24 2024-08-26 Cisneros Arturo Javier Santana Carro deslizable para soportar dispositivos y accesorios en estructuras de aluminio extruido.

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61223325A (ja) * 1985-11-05 1986-10-03 Hiroshi Teramachi リニアベアリングユニツト
JPH05159111A (ja) * 1991-10-09 1993-06-25 Nec Corp 印字ヘッドキャリッジのガイド構造
JPH0635644U (ja) * 1992-10-12 1994-05-13 日本精工株式会社 直動滑り案内軸受装置
JPH074432A (ja) * 1992-06-12 1995-01-10 Thk Kk 等定格荷重形直動案内ユニット
JPH09141533A (ja) * 1995-11-22 1997-06-03 Smc Corp リニアアクチュエータ
JPH09296824A (ja) * 1996-04-30 1997-11-18 Nippon Seiko Kk 潤滑剤供給部材付直動滑り案内軸受及び潤滑剤供給装置
JP2000088071A (ja) * 1998-09-18 2000-03-28 Smc Corp 電動アクチュエータ
JP2000213617A (ja) * 1999-01-27 2000-08-02 Nsk Ltd 高負荷容量一軸アクチュエ―タ
JP2003314546A (ja) * 2002-04-16 2003-11-06 Koyo Seiko Co Ltd 直動案内滑り軸受装置

Family Cites Families (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3832020A (en) 1972-08-31 1974-08-27 Heim Universal Corp Anti-friction ball bearing assembly
US3831456A (en) * 1973-04-13 1974-08-27 Kms Ind Inc Linear actuator with lock
AT337226B (de) * 1974-01-10 1977-06-27 Voest Ag Grosskonverter
JPS58184302A (ja) * 1982-04-20 1983-10-27 Kowa Shoji Kk 伸縮旋回装置
SE439968B (sv) * 1982-10-19 1985-07-08 Ulf Kenneth Folke Fasth Stelldon
JPS59212521A (ja) * 1983-05-16 1984-12-01 Miura Kumihimo Kojo:Kk 滑り軸受
DE3436977A1 (de) * 1984-10-09 1986-04-10 Antriebs Steuerungstech Ges Linearantrieb
US4582368A (en) * 1985-05-06 1986-04-15 Ndc Company, Ltd. Dry bearing
DE3815265A1 (de) * 1988-05-05 1989-11-16 Kolbenschmidt Ag Werkstoff fuer verbundlager und verfahren zu seiner herstellung
DE69211472T2 (de) * 1991-08-01 1997-01-16 Smc Kk Linearführungseinheit und Montierung dafür
US5222403A (en) * 1992-04-01 1993-06-29 Gmi Holdings, Inc. Drive mechanism engaging means for garage door operator
US5333535A (en) * 1992-07-21 1994-08-02 Smc Kabushiki Kaisha Rodless cylinder
US5570769A (en) * 1992-12-14 1996-11-05 Turn Act, Inc. Linear and rotary actuator combination
US5303638A (en) * 1993-02-26 1994-04-19 Green Joseph H Rodless piston and cylinder assembly for a reciprocating carriage
DE4313074A1 (de) * 1993-04-21 1994-10-27 Schaeffler Waelzlager Kg Führungsschiene für rollende Lastenträger
US5421653A (en) * 1993-04-23 1995-06-06 Southern Tool Manufacturing Co. Slide system
US5501526A (en) * 1993-06-15 1996-03-26 Nsk Ltd. Sliding bearing
US5799543A (en) * 1993-09-02 1998-09-01 Smc Kabushiki Kaisha Actuator structural body
EP0647503A3 (en) * 1993-10-12 1995-12-13 Smc Kk Linear guide unit and linear guide unit system.
US5676038A (en) * 1993-10-12 1997-10-14 Smc Kabushiki Kaisha Actuator with slide table
TW320231U (en) 1993-10-12 1997-11-11 Smc Kk Actuater having a slide table and linear guiding mechanism
DE9320135U1 (de) * 1993-12-23 1994-02-17 Mannesmann AG, 40213 Düsseldorf Druckmittelbetriebener Arbeitszylinder
JPH07190056A (ja) * 1993-12-24 1995-07-28 Nippon Thompson Co Ltd 直動ユニットにおけるトラックレール取付構造
DE4403639A1 (de) * 1994-02-05 1995-08-10 Festo Kg Fluidisch betätigbare Vorschubeinheit
KR100190595B1 (ko) * 1994-04-05 1999-06-01 다카다 요시유키 전기 액추에이터
US6116139A (en) * 1994-09-26 2000-09-12 Compact Air Products, Inc. Pneumatically powered linear actuator control apparatus and method
JP3221804B2 (ja) * 1994-09-28 2001-10-22 先生精機株式会社 アクチュエータ
TW463449B (en) * 1995-02-10 2001-11-11 Smc Kk Electric actuator
JPH09273550A (ja) 1996-04-02 1997-10-21 Enomoto:Kk 直動ブロック及び直動案内レール
AU2679597A (en) * 1996-04-22 1997-11-12 Tol-O-Matic Inc. Slot bearing
US5711611A (en) * 1996-06-10 1998-01-27 Smc Kabushiki Kaisha Guide mechanism
US5735610A (en) * 1996-06-19 1998-04-07 Machine Systems, Ltd. Linear guide
GB2316132B (en) * 1996-08-13 1999-02-17 Smc Kk Linear actuator
US5672010A (en) * 1996-11-18 1997-09-30 Macnicol; Allan E. Linear slide bearing apparatus
US5788379A (en) * 1997-04-08 1998-08-04 Zevatech, Inc. High precision plate bearing structures and methods of assembly
US5957029A (en) * 1997-09-19 1999-09-28 Bimba Manufacturing Co. Linear thruster
IT1295050B1 (it) * 1997-09-23 1999-04-27 Luciano Migliori Attuatore pneumatico telescopico a doppio effetto
JP3899617B2 (ja) * 1997-10-20 2007-03-28 Smc株式会社 アクチュエータ
JPH11218204A (ja) * 1998-01-29 1999-08-10 Nippon Seiko Kk 一軸テーブル送り装置
DE19806832A1 (de) * 1998-02-18 1999-08-26 Fraunhofer Ges Forschung Linearantrieb
JP2000088070A (ja) * 1998-09-09 2000-03-28 Smc Corp 電動アクチュエータ
US6308614B1 (en) * 1999-05-26 2001-10-30 Howa Machinery, Ltd. Actuator device
DE29911401U1 (de) * 1999-06-30 1999-09-09 MEMOTEC Meier Modultechnik GmbH, 73770 Denkendorf Trägerprofil mit rundflächigem Nutenstein
US6481335B2 (en) * 1999-12-23 2002-11-19 Mark Y. Shteynberg Hybrid actuator
IT1314903B1 (it) * 2000-07-10 2003-01-16 Gimatic Spa Attuatore lineare pneumatico
JP4547650B2 (ja) * 2000-09-08 2010-09-22 Smc株式会社 リニアアクチュエータ
JP4491702B2 (ja) * 2000-12-04 2010-06-30 Smc株式会社 リニアアクチュエータ
JP3488686B2 (ja) * 2000-12-05 2004-01-19 Smc株式会社 アクチュエータ
WO2002061922A1 (en) * 2001-01-26 2002-08-08 Tol-O-Matic, Inc. Electric actuator for rotary and linear motion
DE10116634C2 (de) * 2001-04-04 2003-08-14 Schunk Gmbh & Co Kg Führungseinrichtung
JP2003014070A (ja) * 2001-07-02 2003-01-15 Smc Corp 電動アクチュエータ
US6588289B2 (en) * 2001-07-06 2003-07-08 Danaher Motion Technology, Llc Linear actuator with protective guide chassis enclosing the lead screw
JP5031957B2 (ja) * 2001-08-30 2012-09-26 Thk株式会社 リニアアクチュエータ
JP2003222104A (ja) * 2002-01-31 2003-08-08 Smc Corp リニアアクチュエータ
CN2581745Y (zh) * 2002-12-03 2003-10-22 上海新亿特轴承制造有限公司 高速直线导轨

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61223325A (ja) * 1985-11-05 1986-10-03 Hiroshi Teramachi リニアベアリングユニツト
JPH05159111A (ja) * 1991-10-09 1993-06-25 Nec Corp 印字ヘッドキャリッジのガイド構造
JPH074432A (ja) * 1992-06-12 1995-01-10 Thk Kk 等定格荷重形直動案内ユニット
JPH0635644U (ja) * 1992-10-12 1994-05-13 日本精工株式会社 直動滑り案内軸受装置
JPH09141533A (ja) * 1995-11-22 1997-06-03 Smc Corp リニアアクチュエータ
JPH09296824A (ja) * 1996-04-30 1997-11-18 Nippon Seiko Kk 潤滑剤供給部材付直動滑り案内軸受及び潤滑剤供給装置
JP2000088071A (ja) * 1998-09-18 2000-03-28 Smc Corp 電動アクチュエータ
JP2000213617A (ja) * 1999-01-27 2000-08-02 Nsk Ltd 高負荷容量一軸アクチュエ―タ
JP2003314546A (ja) * 2002-04-16 2003-11-06 Koyo Seiko Co Ltd 直動案内滑り軸受装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE102004055306A1 (de) 2005-06-30
CN100402875C (zh) 2008-07-16
KR100663197B1 (ko) 2007-01-02
US7520191B2 (en) 2009-04-21
US20050109139A1 (en) 2005-05-26
KR20050049373A (ko) 2005-05-25
CN1619173A (zh) 2005-05-25
JP2005172234A (ja) 2005-06-30
DE102004055306B4 (de) 2007-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4682302B2 (ja) アクチュエータ
KR101256440B1 (ko) 전동 액추에이터
US6476525B2 (en) Linear actuator
US4939946A (en) Composite motion guide device
US6712512B2 (en) Rolling guide device and drive system using rolling guide device
CN103492758A (zh) 直线移动导向机构
JP4437844B2 (ja) 工作機械用スピンドル駆動機構
US6672765B2 (en) Direct drive bearing mechanism
JP2014081036A (ja) 直動案内装置
US7441956B2 (en) Linear guide/feed module with guide body and boom for it
JP5016875B2 (ja) スライドアクチュエータ
US6676295B2 (en) Linear guide bearing
US11808329B2 (en) Ball screw mechanism and linear moving device
JP2002503940A (ja) 線形駆動装置
JP2007218296A (ja) アクチュエータ
JP7036940B2 (ja) プレス
US6915881B2 (en) Linear drive
JPH11201162A (ja) 循環式ころがり案内装置
JP2599373Y2 (ja) 直線作動ユニット
JPH0527338U (ja) 直線作動ユニツト
JP5222609B2 (ja) 転動体循環路構造及び運動装置
JPH0592505U (ja) スライドアクチュエータ
KR100389584B1 (ko) 서보건의 전극이송장치
JPH10245121A (ja) アクチュエータ
KR200221012Y1 (ko) 서보건의 전극이송장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20071009

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20091228

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100316

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100517

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100803

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101104

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20101109

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20101130

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101229

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140218

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4682302

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250