JP3221804B2 - アクチュエータ - Google Patents
アクチュエータInfo
- Publication number
- JP3221804B2 JP3221804B2 JP25892194A JP25892194A JP3221804B2 JP 3221804 B2 JP3221804 B2 JP 3221804B2 JP 25892194 A JP25892194 A JP 25892194A JP 25892194 A JP25892194 A JP 25892194A JP 3221804 B2 JP3221804 B2 JP 3221804B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- support
- pair
- members
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/404—Screw bearings therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
- F16H2025/2436—Intermediate screw supports for reducing unsupported length of screw shaft
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/18—Mechanical movements
- Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
- Y10T74/18576—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including screw and nut
- Y10T74/18648—Carriage surrounding, guided by, and primarily supported by member other than screw [e.g., linear guide, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/18—Mechanical movements
- Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
- Y10T74/18576—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including screw and nut
- Y10T74/1868—Deflection related
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Description
りネジを適宜の方向に回転させることにより、送りネジ
に螺合された送りナットを介して送りナットに固定され
たスライダを適宜の方向に移動させるアクチュエータに
係り、特に、安定した動作を提供できるように工夫した
ものに関する。
すような構成になっている。まず、基台201があり、
この基台201上にはボールネジ203が配置されてい
る。このボールネジ203は、その両端を上記基台20
1上に設置された軸受部材205、207によって回転
可能に支持されている。又、サーボモータ209が配置
されていて、上記ボールネジ203は、このサーボモー
タ209の出力軸に、図示しないカップリング機構を介
して連結されている。
11が螺合していて、このボールナット211にはスラ
イダ213が取付けられている。このスライダ213
は、スライダ本体215と、このスライダ本体215に
取付けられたガイドブロック217とから構成されてい
る。又、基台201側にはレール219が設けられてい
て、上記ガイドブロック217はこのレール219に移
動可能に係合している。
適宜の方向に回転させると、ボールネジ203が同方向
に回転する。このボールネジ203の回転によって、そ
の回転を規制されているボールナット211が適宜の方
向に移動する。このボールナット211の移動によっ
て、スライダ213も同方向に移動していくことにな
る。
においては次のような問題があった。すなわち、上記ア
クチュエータは、回転運動を直線運動に変換するもので
あり、その際、ボールネジ203に固有振動数(f)が
存在しているため、ボールネジ203の回転数が固有振
動数(f)と一致する領域ではボールネジ203が大き
く振動してしまうことになる。この固有振動数(f)は
ボールネジ203の長さ、太さ、ボールネジ203の端
部における支持状態等によって決定される。そこで、ボ
ールネジ203の回転数がボールネジ203の固有振動
数(f)に対して共振しないような工夫が必要になって
くる。
に、次の式(I)によって求められる。
固有振動数(f)に対して、その80%以下を許容回転
数(n)としている。例えば、図14に示すような取付
状態を例にとって考察してみる。尚、図14において
は、図13における構成部品と同じものには同一符合を
付して示している。この図14に示すような取付状態の
場合において、その固有振動数(f)が最低となるの
は、図中距離(B)が最大になったときである。そし
て、そのときの許容回転数(n)は次の式(II)に示
すようなものである。
その固有振動数(f)に対して共振しないような値、す
なわち、固有振動数(f)の80%以下に設定すること
により、共振による振動を抑制することができる。しか
しながら、式(I)、(II)は、仮に、ボールネジ2
03のねじ軸断面積(A)が同じで、その長さ(L)が
2倍になると、許容回転数(n)が1/4に低下するこ
とを示しており、機器の高速化にとって問題となってい
た。これに対しては、図13に示すような取付状態にお
いて、中間(ボールナット211と軸受部材207の
間、ボールナット211と軸受部材205の間)にサポ
ートを取付けることにより、ボールネジ203の固有振
動数(f)そのものを高めて、それによって、許容回転
数(n)を高めようとすることが考えられている。
の図15に示す構成は、基台201上に中間サポート2
21を取付けて、この中間サポート221によって、ボ
ールネジ203を支持しようとするものである。そし
て、このような中間サポート221を設置した場合に
は、ボールナット211、スライダ213等、ボールネ
ジ203の回転によって移動するものとの干渉が懸念さ
れる。そこで、図15に示すように、リミットスイッチ
223を設け、該リミットスイッチ223によって、上
記ボールナット211、スライダ213等、ボールネジ
203の回転によって移動するものの接近を検知し、そ
れによって、中間サポート221を待機位置に退避させ
る構成になっている。又、別の発明として特開平1−2
47862号公報に示すものがある。ここに示されてい
る構造では、中間位置に予め支持部材が係留するような
窪みを基台に形成し、該窪みにバネを利用して支持部材
を位置決めする。そして、スライダが支持部材に当接す
る事で係留を解放して移動させる構造である。
と次のような問題があった。まず、図15に示す構成で
は構成が複雑化して装置が大型化してしまうという問題
があった。すなわち、図15に示すように、基台201
上に中間サポート221を設けると共にリミットスイッ
チ223を設け、且つ、スライダ213側には上記リミ
ットスイッチ223を作用させるための作用部材を取付
けなければならず、さらに、上記中間サポート221を
出没させるための駆動機構も必要になってしまうからで
ある。又、特開平1−247862号公報に示す構成で
は、弾性を利用しているため係留の解放には外部よりの
力を加える必要があ。特開平1−247862号公報に
示す構成ではスライダの移動によってその力を発生して
いる。この場合、スライダの移動速度が大きいと支持装
置の係留解放時の衝撃が問題となり、音、振動が発生し
易いい欠点がある。
ものでその目的とするところは、装置の構成の複雑化、
大型化を来すことなく、かつ衝撃を発生しない、中間支
持機構を備えたアクチュエータを提供することにある。
願発明の請求項1によるアクチュエータは、両端を基台
上に配置された一対の軸受部材によって夫々回転可能に
支持された送りネジを回転駆動部によって適宜の方向に
回転させ、送りネジにその回転を規制された状態で螺合
する送りナットを適宜の方向に移動させ、その送りナッ
トに取付けられているスライダを同方向に移動させるよ
うに構成したアクチュエータにおいて、上記スライダと
その両側の軸受部材との間の中間位置に送り方向に移動
可能であって送り方向と直角な方向に姿勢を規制され送
りネジを支持する一対の支持部材を夫々配置し、上記一
対の支持部材を連結手段により連結し、上記一対の支持
部材には夫々回転体が取付けられていて、これら一対の
回転体には紐体が巻回されており、該紐体の両端はスラ
イダに連結されているとともに、紐体の中央部が基台に
固定され、スライダの移動速度に対して一対の支持部材
の移動速度を1/2にし、上記支持部材を支持部材本体
と、該支持部材本体に対して軸方に所定範囲内で移動可
能に取付けられた送りネジ支持部とから構成し、移動端
において軸受部材とスライダとが上記支持部材の送りネ
ジ支持部を介して当接するようにし、支持部材本体は軸
受部材とスライダの何れにも当接しないように構成し、
上記送りネジ支持部の所定範囲内での軸方向への移動に
よって、スライダ、一対の支持部材、一対の軸受部材相
互間の僅かな位置ずれを吸収するようにしたことを特徴
とするものである。又、請求項2によるアクチュエータ
は、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記一対
の軸受部材に回転体を夫々固定し、上記一対の回転体に
紐体を巻回するとともに該紐体の両端を上記一対の支持
部材に連結したことを特徴とするものである。又、請求
項3によるアクチュエータは、請求項1記載のアクチュ
エータにおいて、上記一対の支持部材を棒体を介して連
結したことを特徴とするものである。
り連結すると共に、一対の支持部材をスライダとその両
側の夫々の軸受部材との間の中間位置に夫々配置し、上
記一対の支持部材に夫々回転体を取付けて、これら一対
の回転体に紐体を巻回し、該紐体の両端をスライダに連
結するとともにその中央部を基台に連結する構成になっ
ている。そして、スライダが移動すれば、一対の支持部
材がスライダの移動速度に対して半分の移動速度で移動
していくことになる。又、支持部材を支持部材本体と、
該支持部材本体に対して軸方向に所定範囲内で移動可能
に取付けられた送りネジ支持部とから構成し、移動端に
おいて軸受部材とスライダとが上記支持部材の送りネジ
支持部を介して当接するようにし、支持部材本体は軸受
部材とスライダの何れにも当接しないように構成し、上
記送りネジ支持部の所定範囲内での軸方向への移動によ
って、スライダ、一対の支持部材、一対の軸受部材相互
間の僅かな位置ずれを吸収するようにしたので、紐体に
無理な張力が作用することを防止することができると共
に位置調整が容易になる。
実施例を説明する。尚、この実施例は、送りネジ・送り
ナットとして、ボールネジ・ボールナット機構を使用し
たアクチュエータに本願発明を適用したものである。図
1に示すように、まず、基台1があり、この基台1上に
は送りネジとしてのボールネジ3が配置されている。上
記ボールネジ3は、その両端を軸受部材5、7によって
回転可能に支持されている。又、回転駆動部としてのサ
ーボモータ9が配置されていて、上記ボールネジ3は、
このサーボモータ9の出力軸に、図示しないカップリン
グ機構を介して連結されている。上記ボールネジ9には
送りナットとしてのボールナット11が螺合していて、
このボールナット11にはスライダ13が取付けられて
いる。上記スライダ13はスライダ本体15と、このス
ライダ本体15に取付けられたガイドブロック17とか
ら構成されている。
て、上記ガイドブロック17はこのレール19に移動可
能に係合している。そして、サーボモータ9を適宜の方
向に回転させることにより、ボールネジ3が同方向に回
転する。このボールネジ3の回転によって、その回転を
規制されているボールナット11が適宜の方向に移動す
る。このボールナット11の移動によって、スライダ1
3も同方向に移動することになる。
してのサポートブラケット21、23が夫々設置されて
いる。上記サポートブラケット21は、ブラケット本体
25と、このブラケット本体25に取付けられたガイド
ブロック27とから構成されている。上記ブラケット本
体25にはボールネジ3が貫通している。又、ガイドブ
ロック27は基台1側のレール19に移動可能に係合し
ている。又、ブラケット本体25のボールネジ3の貫通
部にはサポートブッシュ29が設置されていて、このサ
ポートブッシュ29は、その内径をボールネジ3の外径
に対して僅かに大きく設定されている。
同様の構成になっている。すなわち、サポートブラケッ
ト23は、ブラケット本体31と、このブラケット本体
31に取付けられたガイドブロック33とから構成され
ている。上記ブラケット本体31にはボールネジ3が貫
通している。又、ガイドブロック33は基台1側のレー
ル19に移動可能に係合している。又、ブラケット本体
31のボールネジ3の貫通部にはサポートブッシュ35
が設置されていて、このサポートブッシュ35は、その
内径をボールネジ3の外径に対して僅かに大きく設定さ
れている。
スライダ13の間の丁度中間に位置するように配置され
ている。又、支持部材23も同様であり、軸受部材7と
スライダ13の間の丁度中間に位置するように配置され
ている。又、軸受部材5には回転体としてのプーリ51
が回転可能に取付けられており、又、軸受部材7にも回
転体としてのプーリ53が回転可能に取付けられてい
る。上記プーリ51、53には紐体としてのベルト55
が巻回されていて、その両端はサポートブラケット21
のブラケット本体25、サポートブラケット23のブラ
ケット本体31に、夫々連結されている。
本体25には回転体としてのプーリ57が回転可能に取
付けられている。又、サポートブラケット23のブラケ
ット本体31にも回転体としてのプーリ59が回転可能
に連結されている。これらプーリ57、59には紐体と
してのベルト61が巻回されていて、その両端はスライ
ダ13のスライダ本体15に連結されている。又、上記
ベルト61の中間部は、基台1に固定されている。図
1、図2中固定部を符合62で示す。上記固定の方法と
しては、ベルト61を図示しない金具(基台1にねじ込
まれる止めネジを備えたもの)によって基台1に押し付
けるように固定する方法や、ベルト61をその部分で分
離して、夫々の端部を金具(基台1にねじ込まれる止め
ネジを備えたもの)によって基台1に押し付けて固定す
る方法等が考えられる。尚、プーリ51、53、ベルト
55、プーリ57、59、ベルト61の構成を抽出して
模式的に図2に示す。この構成ではサポートブラケット
21と23が離れようとするときは、図2に示すよう
に、ベルト61に張力が発生することによりこれを規制
することができ、逆に、サポートブラケット21と23
接近しようとするときは、図2に示すように、ベルト5
5に張力が発生することによりこれを規制することが
で、その結果サポートブラケット21、23は相互に一
定の距離を保つことが出来る。
参照して詳しく説明してみる。まず、当初、図5に示す
ような状態にあるものと仮定する。その状態から、スラ
イダ13が図中左側に100mmだけ移動したものとす
る。スライダ13と基台1との間に張設したベルト61
の長さは不変であるから、スライダ13の右側をみてみ
ると、図6に示すように、スライダ13とプーリ59と
の間のベルトの長さは(L+50mm)となり、一方、プ
ーリ59と基台1の固定部62との間のベルト61の長
さは(L−50mm)となる。つまり、プーリ59及び支
持部材23は図中左側に50mmだけ移動したことにな
る。これに対して、スライダ13の左側をみてみると、
図7に示すように、プーリ57とスライダ13との間の
ベルト61の長さは(L’−50mm)となり、一方、プ
ーリ57と基台1との間のベルト61の長さは(L’+
50mm)となる。つまり、プーリ57及び支持部材21
が図中左側に50mmだけ移動することになる。以上が半
速の原理である。
ず、サーボモータ9を適宜の方向に回転させて、スライ
ダ13を図1中左側に移動させるものとする。このスラ
イダ13の移動によって、既に説明したプーリ51、5
3、ベルト55、プーリ57、59、ベルト61の作用
によって、サポートブラケット21、23が、同方向
に、スライダ13の移動速度の半分の移動速度によって
移動していくことになる。又、サーボモータ9を逆方向
に回転させることにより、スライダ13を図1中右側に
移動させた場合も同じであり、プーリ51、53、ベル
ト55、プーリ57、59、ベルト61の作用によっ
て、サポートブラケット21、23が、同方向に、スラ
イダ13の移動速度の半分の移動速度によって移動して
いくことになる。
ールネジ3は、一対のサポートブラケット21、23に
よって支持されることになるので、その固有振動数
(f)が高くなり、結局、ボールネジ3の許容回転数
(n)を高くすることができるようになる。つまり、そ
れによって、高速化に対応することができるようになる
ものである。
することができるものである。まず、構成の複雑化、装
置の大型化を来すことなく、所望のサポート機能を得る
ことができるようになった。すなわち、構成としては、
スライダ13の両側にサポートブラケット21、23を
配置し、これらサポートブラケット21、23を、プー
リ37、39、ベルト41、43を介して連結しただけ
の構成であるからである。又、従来のように、中間サポ
ートを出没させるための構成も一切不要になるからであ
る。
サポートブラケット21、23を当接して移動させる機
構ではなく、スライダ13の加減速に同期し、サポート
ブラケットも丁度半分の加減速度で移動するため、作動
も滑らかであり、高速移動でのスライダ13とサポート
ブラケット21、23との当接による振動、音の発生が
ないという利点がある。又、支持部材21、23は、ス
ライダ13が軸受部材5と軸受部材7との間の丁度中間
に位置している状態で、夫々、軸受部材5とスライダ1
3の間の中間位置、軸受部材7とスライダ13の間の中
間位置に位置するように設定されているので、スライダ
13が移動して、従来例の説明で使用した図14の取付
間距離Bが最大となる位置で、サポートブラケットは、
中間を支持しない場合に振幅が大きいB/2の位置にあ
り、この位置で軸を支えるため、軸の一次振動を押さえ
るのに効果的で、許容回転数を高めることが出来る。
施例を、図6乃至図10を参照して説明する。尚、前記
第1実施例と同一部分には同一符合を付して示しその説
明は省略する。前記第1実施例では、スライダ13とサ
ポートブラケット21、23、及び、サポートブラケッ
ト21、23と軸受部材5、7とが接触しない範囲のと
き、適切な作動を行い得る機構である。なぜなら、仮
に、上記接触が生じ、更にスライダ13が進行しようと
した場合を考えてみる。まず、図6に示すようにスライ
ダ13が図6中左側に移動し、サポートブラケット21
とスライダ13とが先に接触した場合には、ベルト61
は固定部62で固定されているため、更にスライダ13
が進もうとするとベルト61のスライダ13の図6中右
側から固定部62までの部分に無理な力が作用すること
になる。又、図7に示すように、先に軸受部材5とサポ
ートブラケット21とが接触した場合、スライダ13が
更に左に進行しようとしても、サポートブラケット23
は、既に当接し固定状態のサポートブラケット21と連
結されたベルト55によってその移動を制限されている
ため、ベルト61の図7中右側から固定部62までの部
分にその力に相当する張力が作用する。更に、ベルト5
5にはスライダ13の推進力の2倍の負荷が張力として
作用することになる。
ブラケット21、23、スライダ13とが同時に当接す
ればこの様な事態にはならない。しかしながら、そのよ
うな事象は幾何的には有り得るが実際には同時に当接さ
せることは実現性に乏しい。特に、アクチュエータの原
点位置を移動可能範囲終端で押付け、その停止を元に検
出する機構ではこの状況は原点検出動作で常に発生す
る。従って前記第1実施例では上記接触が生じないよう
に、スライダ13の移動範囲を規制し、例えば、スライ
ダ13と基台1にストッパブロックを設け、サポートブ
ラケット21、23がスライダ13と軸受部材5、7に
接触しない範囲で用いる等の処置が必要となる。
1、23を軸受部材5、7とスライダ13に当接させ
ず、ベルト55、61に新たな張力を作用させないよう
に工夫したものである。本実施例では図8乃至図10に
示すように、前記第1実施例でサポートブラケット2
1、23に固定した送りネジ支持部としてのサポートブ
ッシュ29、35に換わり、軸方向に一定の範囲で移動
可能なサポートブッシュ129、131を設けるととも
に、該サポートブッシュ129、131の移動範囲を規
制する止め輪130、132を設けている。上記サポー
トブッシュ129、131はサポートブラケット本体2
5、31に対し送り方向に適切な区間(機構の大きさに
よって異なるが、通常数mmから10mm程度)自由に移動
可能で、かつネジ軸を支えている。尚、半速移動機構等
は前記第1実施例と同じであり、その説明は省略する。
動端において軸受部材5とスライダ(この場合スライダ
13につけたストッパフランジ133)とがサポートブ
ッシュ129を介して軸受部材5に当接し、このときサ
ポートブラケット21の軸方向長さ(H)とサポートブ
ッシュ129の軸方向有効移動長さ(J)とがJ=H+
α、且つ、サポートブッシュ129とサポートブラケッ
ト21とが軸方向に約(α/2)程度の間隙を保つ様に
ベルト55、61の長さを設定すれば、この状態でサー
ボモータ9が更にまわろうとした場合、すなわち、スラ
イダ13が更に移動しようとした場合には、前記第1実
施例と異なり、各ベルトに新たな負荷が作用するような
ことはない。それによって、スライダ13、サポートブ
ラケット21、23、軸受部材5、7相互間の位置調整
が容易になるものである。すなわち、仮に、移動方向端
部において、スライダ13、サポートブラケット21、
23、軸受部材5、7の三者が同時に当接することを目
標にして位置調整した場合に、それが多少ずれている場
合にも、上記サポートブッシュ129、131の軸方向
への移動によりそれを吸収できるからである。
の第3実施例を説明する。尚、この実施例の場合にも、
前記第1実施例と同一部分には同一符号を付して示しそ
の説明は省略する。まず、サポートブラケット21とサ
ポートブラケット23とは第1連結手段としての棒体7
1によって連結されている。又、サポートブラケット2
1のブラケット本体25にはプーリ81が取付けられて
いて、又、サポートブラケット23のブラケット本体3
1にもプーリ83が取付けられている。これらプーリ8
1、83にはベルト85が巻回されていて、このベルト
85の両端は、スライダ13のスライダ本体15に連結
されているとともに、その中央部は基台1に固定されて
いる。図中固定部を符合86で示す。この固定方法につ
いては、第1実施例で説明した通りである。
ず、サーボモータ9を適宜の方向に回転させることによ
り、スライダ13を図10中左側に移動させるものとす
る。このスライダ13の図10中左側への移動により、
プーリ81、83、ベルト85の作用によって、サポー
トブラケット21、23は、スライダ13の移動速度の
半分の移動速度によって、同方向に移動していくことに
なる。この半速の原理については前述した通りである。
又、その際、サポートブラケット21、23は、棒体7
1を介して連結されているので、両サポートブラケット
21、23は、常時同じ間隔を保持した状態で移動して
いくことになる。そして、これは、サーボモータ9の回
転方向を逆転させて、スライダ13を図10中右側に移
動させる場合も同様である。
例の場合と同様の効果を奏することができるものであ
る。又、棒体71を介して支持部材21、23を連結す
るようにしているので、前記第1実施例の場合以上に動
作の同期が確実なものとなる。又、この第3実施例の場
合にも、前記第2実施例のように、サポートブッシュ2
9、35を軸方向に可動とし、終端部でベルトに新たな
負荷が加わるのを防ぐことが考えられる。
のではない。例えば、第1連結手段、第2連結手段の構
成については前記各実施例に示されたものに限定されな
い。又、前記各実施例では、送りネジとしてボールネジ
を使用し、送りナットとしてボールナットを使用する場
合を示したが、必ずしも、ボールネジとボールナットに
限定されるものではない。例えば、角ネジ、台形ネジ等
を用いる場合にも有効である。又、支持部材の形状等に
ついても同様である。又、第1連結手段、第2連結手段
の構成としても、前記第1乃至第2実施例に限定される
ものではなく、例えば、プーリ及びベルトの代わりに、
スプロケット及びチェーンを使用するようにしてもよ
い。又、前記第1及び第2実施例において、一対の軸受
部材5、7に回転体としてのプーリ51、53を取付け
るようにしたが、例えば、基台1に取付けてもよく、
又、基台1に取付けられる図示しない別の部材に取付け
てもよい。
ュエータによると、構成の複雑化、装置の大型化を来す
ことなく、極めて簡単な構成によって、送りネジの支持
構造を得ることができる。そして、送りネジ固有振動数
ひいては許容回転数を高めることを可能とし、それによ
って、高速化に容易に対応することが可能となる。又、
支持部材を支持部材本体と軸方向に移動可能な送りネジ
支持部とから構成しているので、スライダ、支持部材、
軸受部材間の位置調整に多少のずれがあっても、それを
上記送りネジ支持部の移動により吸収することができる
ので、位置調整作業が容易になるものである。
の全体構成を示す斜視図である。
の一部の構成を模式的に示す図である。
イダーの移動速度に対して支持部材の移動速度が半分に
なる原理を説明するための図である。
イダーの移動速度に対して支持部材の移動速度が半分に
なる原理を説明するための図である。
イダーの移動速度に対して支持部材の移動速度が半分に
なる原理を説明するための図である。
実施例においてサポートブラケットがスライダと当接し
軸受部材とは当接していない状態を説明するための図で
ある。
実施例においてサポートブラケットが軸受部材と当接し
スライダとは当接していない状態を説明するための図で
ある。
ットの構造を示す斜視図である。
ットの構造を示す断面図である。
受部材とがサポートブッシュを介して当接しサポートブ
ラケット本体に軸方向の負荷を受けない状態を説明する
ための図である。
タの全体構成を示す斜視図である。
タの一部の構成を模式的に示す図である。
を示す斜視図である。
を示すとともに固有振動数を説明するための図である。
によって支持する構成を示す図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 両端を基台上に配置された一対の軸受部
材によって夫々回転可能に支持された送りネジを回転駆
動部によって適宜の方向に回転させ、送りネジにその回
転を規制された状態で螺合する送りナットを適宜の方向
に移動させ、その送りナットに取付けられているスライ
ダを同方向に移動させるように構成したアクチュエータ
において、 上記スライダとその両側の軸受部材との間の中間位置に
送り方向に移動可能であって送り方向と直角な方向に姿
勢を規制され送りネジを支持する一対の支持部材を夫々
配置し、 上記一対の支持部材を連結手段により連結し、 上記一対の支持部材には夫々回転体が取付けられてい
て、これら一対の回転体には紐体が巻回されており、該
紐体の両端はスライダに連結されているとともに、紐体
の中央部が基台に固定され、 スライダの移動速度に対して一対の支持部材の移動速度
を1/2にし、 上記支持部材を支持部材本体と、該支持部材本体に対し
て軸方に所定範囲内で移動可能に取付けられた送りネジ
支持部とから構成し、移動端において軸受部材とスライ
ダとが上記支持部材の送りネジ支持部を介して当接する
ようにし、支持部材本体は軸受部材とスライダの何れに
も当接しないように構成し、上記送りネジ支持部の所定
範囲内での軸方向への移動によって、スライダ、一対の
支持部材、一対の軸受部材相互間の僅かな位置ずれを吸
収するようにしたことを特徴とするアクチュエータ。 - 【請求項2】 請求項1記載のアクチュエータにおい
て、 上記一対の軸受部材に回転体を夫々固定し、上記一対の
回転体に紐体を巻回するとともに該紐体の両端を上記一
対の支持部材に連結したことを特徴とするアクチュエー
タ。 - 【請求項3】 請求項1記載のアクチュエータにおい
て、 上記一対の支持部材を棒体を介して連結したことを特徴
とするアクチュエータ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25892194A JP3221804B2 (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | アクチュエータ |
EP95308066A EP0773389B1 (en) | 1994-09-28 | 1995-11-10 | Actuator |
US08/558,263 US5720202A (en) | 1994-09-28 | 1995-11-13 | Actuator |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25892194A JP3221804B2 (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | アクチュエータ |
EP95308066A EP0773389B1 (en) | 1994-09-28 | 1995-11-10 | Actuator |
US08/558,263 US5720202A (en) | 1994-09-28 | 1995-11-13 | Actuator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0898455A JPH0898455A (ja) | 1996-04-12 |
JP3221804B2 true JP3221804B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=27236916
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25892194A Expired - Fee Related JP3221804B2 (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | アクチュエータ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5720202A (ja) |
EP (1) | EP0773389B1 (ja) |
JP (1) | JP3221804B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6392749B1 (en) | 1997-09-22 | 2002-05-21 | Candela Instruments | High speed optical profilometer for measuring surface height variation |
US6717671B1 (en) | 1997-09-22 | 2004-04-06 | Candela Instruments | System for simultaneously measuring thin film layer thickness, reflectivity, roughness, surface profile and magnetic pattern |
US6757056B1 (en) | 2001-03-26 | 2004-06-29 | Candela Instruments | Combined high speed optical profilometer and ellipsometer |
US7684032B1 (en) | 2005-01-06 | 2010-03-23 | Kla-Tencor Corporation | Multi-wavelength system and method for detecting epitaxial layer defects |
KR101512763B1 (ko) * | 2014-02-19 | 2015-04-16 | 히윈 테크놀러지스 코포레이션 | 볼 스크류용 지지 구조체 |
EP2881621A2 (en) | 2013-11-01 | 2015-06-10 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Actuator |
Families Citing this family (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19636272A1 (de) * | 1996-09-06 | 1998-03-12 | Star Gmbh | Linearführungseinrichtung |
DE19740208C2 (de) * | 1997-09-12 | 1999-07-22 | Fraunhofer Ges Forschung | Antriebsvorrichtung für mehrere Aggregate einer Drehmaschine |
JP2000088071A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-03-28 | Smc Corp | 電動アクチュエータ |
DE19926800A1 (de) * | 1999-06-11 | 2000-12-14 | Wittenstein Gmbh & Co Kg | Vorrichtung zum Steuern eines Triebwerkes |
WO2001039923A2 (de) * | 1999-11-30 | 2001-06-07 | HüLLER HILLE GMBH | Werkzeugmaschine, insbesondere langbett-werkzeugmaschine |
US6418807B2 (en) | 2000-03-06 | 2002-07-16 | Tol-O-Matic, Inc. | Stabilizer for ball screw actuator |
US6899511B2 (en) | 2000-10-19 | 2005-05-31 | Rapid Development Services, Inc, Mo. Corp | Modular robotic device and manufacturing system |
JP2004011681A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-01-15 | Smc Corp | アクチュエータ |
DE10322329A1 (de) * | 2003-05-17 | 2004-12-02 | Zf Lenksysteme Gmbh | Zugmittelgetriebe |
DE102004055306B4 (de) * | 2003-11-21 | 2007-06-14 | Smc K.K. | Stellglied |
JP4886318B2 (ja) * | 2006-02-22 | 2012-02-29 | 株式会社アイエイアイ | アクチュエータ |
US9222559B2 (en) | 2009-03-09 | 2015-12-29 | Arizona Board Of Regents, Acting For And On Behalf Of Northern Arizona University | Elastic motor-spring actuator |
JP5421844B2 (ja) * | 2010-04-22 | 2014-02-19 | ヤマハ発動機株式会社 | ボールねじ装置の駆動制御装置及び駆動制御方法 |
CN101837554A (zh) * | 2010-05-19 | 2010-09-22 | 杭州机床集团有限公司 | 机床长丝杠牵引式随动支承装置 |
CN103168186B (zh) * | 2010-10-08 | 2016-08-10 | 平田机工株式会社 | 滑块装置 |
US9010205B2 (en) * | 2011-01-20 | 2015-04-21 | Pacific Bearing Company | Linear slide having integral carriage and nut assembly |
CN102853050B (zh) * | 2011-06-29 | 2015-04-01 | 上银科技股份有限公司 | 长行程线性模组 |
SI2584223T1 (sl) | 2011-10-17 | 2015-06-30 | Ntn-Snr Roulements | Navojno pogonsko vreteno, ki vsebuje drsne leĺ˝aje in drsni leĺ˝aj |
WO2013056727A1 (en) | 2011-10-17 | 2013-04-25 | Ntn-Snr Roulements | Drive screw system comprising slide bearing and slide bearing |
CN103252678B (zh) * | 2012-08-31 | 2016-01-13 | 天津市天工伟业数控机床有限公司 | 滚珠丝杆防晃装置 |
JP2015055273A (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-23 | 株式会社アイエイアイ | アクチュエータ |
JP6247588B2 (ja) * | 2013-11-01 | 2017-12-13 | ヤマハ発動機株式会社 | アクチュエーター |
TWI524018B (zh) * | 2013-11-28 | 2016-03-01 | 上銀科技股份有限公司 | 具有支撐裝置的滾珠螺桿 |
CN104728379B (zh) * | 2013-12-18 | 2017-05-10 | 上银科技股份有限公司 | 滚珠螺杆支撑装置 |
DE102014101246B4 (de) | 2014-02-02 | 2015-08-20 | Hiwin Technologies Corp. | Mit einem Stützwerk versehene Kugelrollspindel |
DE102014109561B3 (de) * | 2014-07-08 | 2015-09-10 | Hiwin Technologies Corp. | Linearmodul mit einer Stützvorrichtung |
US9285021B2 (en) | 2014-07-22 | 2016-03-15 | Hiwin Technologies Corp. | Linear module with a support device |
JP2016114177A (ja) * | 2014-12-16 | 2016-06-23 | 上銀科技股▲分▼有限公司 | ボールねじ |
CN106246844B (zh) * | 2016-08-09 | 2019-06-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 光栅刻划机及其螺母减重装置 |
CN106499785A (zh) * | 2016-10-28 | 2017-03-15 | 成都福誉科技有限公司 | 一种高精度直线模组及其控制方法 |
TWI615236B (zh) | 2016-12-13 | 2018-02-21 | Hiwin Tech Corp | 具有模組化支撐裝置之線性傳動機構 |
JP1587328S (ja) * | 2017-02-15 | 2017-10-02 | ||
DE102017103728B3 (de) | 2017-02-23 | 2018-03-22 | Hiwin Technologies Corp. | Linearantrieb mit modularer Stützvorrichtung |
CN107035833A (zh) * | 2017-05-15 | 2017-08-11 | 浙江卓求传动科技有限公司 | 一种使用寿命长的滚珠丝杆及其制备方法 |
CN108050218A (zh) * | 2018-01-29 | 2018-05-18 | 潍坊海丰自动化科技有限公司 | 直线驱动装置及直线运动设备 |
JP1614110S (ja) * | 2018-04-04 | 2018-09-25 | ||
US11598400B2 (en) | 2020-11-19 | 2023-03-07 | Pacific Bearing Corporation | Nut with flexible fingers and self-aligning members |
CN114770188B (zh) * | 2022-04-22 | 2024-05-03 | 北京晶亦精微科技股份有限公司 | 一种传动支架以及滑移装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1191667A (fr) * | 1958-02-18 | 1959-10-21 | Lip | Procédé de commande à distance d'un élément mobile à partir d'un support fixe,dispositif pour sa mise en oeuvre, et ses diverses applications |
CH519125A (de) * | 1970-01-16 | 1972-02-15 | Haller Richard | Vorrichtung zur gegenseitigen axialen Verschiebung einer Welle oder Gewindespindel oder Zahnstange einerseits und eines darauf angeordneten Elementes anderseits |
DE3804117A1 (de) * | 1988-02-11 | 1989-08-24 | Neff Gewindespindeln | Mechanische lineareinheit |
JP2867386B2 (ja) * | 1988-08-31 | 1999-03-08 | 日本精工株式会社 | 送りねじ支持装置 |
JP2923951B2 (ja) * | 1988-09-07 | 1999-07-26 | 日本精工株式会社 | 送りねじ支持装置 |
JP2567800Y2 (ja) * | 1991-09-30 | 1998-04-02 | 日本精工株式会社 | ねじ軸用中間サポート装置 |
JP2526816B2 (ja) | 1992-10-14 | 1996-08-21 | 日本精工株式会社 | 可動体送り装置 |
US5531557A (en) * | 1994-07-01 | 1996-07-02 | Rite-Hite Corporation | Drive screw system with nested mobile supports |
-
1994
- 1994-09-28 JP JP25892194A patent/JP3221804B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-11-10 EP EP95308066A patent/EP0773389B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-11-13 US US08/558,263 patent/US5720202A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6392749B1 (en) | 1997-09-22 | 2002-05-21 | Candela Instruments | High speed optical profilometer for measuring surface height variation |
US6717671B1 (en) | 1997-09-22 | 2004-04-06 | Candela Instruments | System for simultaneously measuring thin film layer thickness, reflectivity, roughness, surface profile and magnetic pattern |
US6757056B1 (en) | 2001-03-26 | 2004-06-29 | Candela Instruments | Combined high speed optical profilometer and ellipsometer |
US7684032B1 (en) | 2005-01-06 | 2010-03-23 | Kla-Tencor Corporation | Multi-wavelength system and method for detecting epitaxial layer defects |
EP2881621A2 (en) | 2013-11-01 | 2015-06-10 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Actuator |
US9752664B2 (en) | 2013-11-01 | 2017-09-05 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Actuator |
KR101512763B1 (ko) * | 2014-02-19 | 2015-04-16 | 히윈 테크놀러지스 코포레이션 | 볼 스크류용 지지 구조체 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0773389A1 (en) | 1997-05-14 |
US5720202A (en) | 1998-02-24 |
JPH0898455A (ja) | 1996-04-12 |
EP0773389B1 (en) | 2001-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3221804B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP2867386B2 (ja) | 送りねじ支持装置 | |
JPH0673797B2 (ja) | 移動テーブル | |
JP2007228688A (ja) | アクチュエータ | |
CN115240559B (zh) | 电子设备 | |
JPH0611435Y2 (ja) | テーブル送り機構 | |
KR100403003B1 (ko) | 액튜에이터 | |
JPH11165229A (ja) | 工作機械 | |
JP2005069253A (ja) | 無段変速機用プーリ幅調整装置 | |
JP2600476Y2 (ja) | 倍速送り装置 | |
JP2000214370A (ja) | 直線駆動装置およびレンズ駆動装置 | |
KR0133694Y1 (ko) | 직동 배속 장치 | |
JPH04244644A (ja) | オートテンショナ | |
JP2570672B2 (ja) | 微小回転装置 | |
JPS646429Y2 (ja) | ||
JPH0611009A (ja) | ボールねじ装置 | |
JPH084845A (ja) | 減速機 | |
JPH08174451A (ja) | ロボット装置の水平移動機構 | |
JP3384438B2 (ja) | 直線動作装置 | |
KR200381183Y1 (ko) | 압연강판용 권취릴 | |
JPH0812150A (ja) | シート材のガイド装置 | |
CN105577026A (zh) | 采用压电驱动的缓释机构 | |
JPH11187617A (ja) | 同心二軸同時回転装置 | |
CN117796917A (zh) | 重力平衡装置、医生控制台及手术机器人 | |
JP2555822Y2 (ja) | 電子写真装置のレンズ支持装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080817 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090817 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090817 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100817 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100817 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110817 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110817 Year of fee payment: 10 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110817 Year of fee payment: 10 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130817 Year of fee payment: 12 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |