JP2000088071A - 電動アクチュエータ - Google Patents

電動アクチュエータ

Info

Publication number
JP2000088071A
JP2000088071A JP10265257A JP26525798A JP2000088071A JP 2000088071 A JP2000088071 A JP 2000088071A JP 10265257 A JP10265257 A JP 10265257A JP 26525798 A JP26525798 A JP 26525798A JP 2000088071 A JP2000088071 A JP 2000088071A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electric actuator
frame
screw shaft
ball screw
driving force
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10265257A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigekazu Nagai
茂和 永井
Akio Saito
昭男 斉藤
Masaru Saito
優 齋藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Priority to JP10265257A priority Critical patent/JP2000088071A/ja
Priority to DE69934751T priority patent/DE69934751T2/de
Priority to EP99117698A priority patent/EP0987468B1/en
Priority to US09/393,166 priority patent/US6344718B1/en
Priority to CNB991202279A priority patent/CN1175546C/zh
Publication of JP2000088071A publication Critical patent/JP2000088071A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/28—Electric drives
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20—Screw mechanisms
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20—Screw mechanisms
    • F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
    • F16H25/2418—Screw seals, wipers, scrapers or the like
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
    • F16C2322/39—General build up of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/005—Guide rails or tracks for a linear bearing, i.e. adapted for movement of a carriage or bearing body there along
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/008—Systems with a plurality of bearings, e.g. four carriages supporting a slide on two parallel rails
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/08—Arrangements for covering or protecting the ways
    • F16C29/082—Arrangements for covering or protecting the ways fixed to the way
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20—Screw mechanisms
    • F16H2025/2031—Actuator casings
    • F16H2025/2034—Extruded frame casings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20—Screw mechanisms
    • F16H25/22—Screw mechanisms with balls, rollers, or similar members between the co-operating parts; Elements essential to the use of such members
    • F16H25/2204—Screw mechanisms with balls, rollers, or similar members between the co-operating parts; Elements essential to the use of such members with balls

Abstract

(57)【要約】 【課題】メンテナンスのコストを低減することにある。 【解決手段】回転駆動源１６の駆動作用下にボールねじ
軸２０を介して伝達される回転駆動力によってフレーム
１２の長手方向に沿って変位する移動体３４および送り
ナット部材３０と、前記移動体３４および送りナット部
材３０と別体で形成され、該移動体３４と一体的にフレ
ーム１２に沿って変位するガイドブロック６０ａ、６０
ｂとを備え、前記移動体３４は、ガイドブロック６０
ａ、６０ｂに対して着脱自在に装着される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、移動体の変位作用
下に、例えば、ワーク等を搬送することが可能な電動ア
クチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、ワークの搬送等に電動アクチ
ュエータが用いられている。この種の従来技術に係る電
動アクチュエータを図７に示す。
【０００３】この電動アクチュエータ１は、上面に長手
方向に延在する開口部を有し、内壁面に相互に対向する
一組の転動面２ａ、２ｂが形成された長尺なアウタレー
ル３を備える。前記アウタレール３の開口部内には、図
示しないモータの回転駆動力が伝達されるボールねじ軸
４が配設され、前記ボールねじ軸４は、支持プレート５
およびモータブラケット６を介してその両端部が回転自
在に軸支される。
【０００４】また、アウタレール３の開口部内には、前
記ボールねじ軸４の螺合作用下に該ボールねじ軸４の回
転運動を直線運動に変換するインナブロック７が設けら
れ、前記インナブロック７は、前記ボールねじ軸４の回
転作用下にアウタレール３の長手方向に沿って往復動作
する。
【０００５】前記アウタレール３の相互に対向する内壁
面には一組の転動面２ａ、２ｂが形成され、インナブロ
ック７には前記転動面２ａ、２ｂに対する転動作用下に
複数のボール８が循環する循環軌道９が形成されてい
る。この場合、前記複数のボール８は、アウタレール３
の開口部に沿ってインナブロック７を円滑に案内する機
能を営む。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術に係る電動アクチュエータ１では、インナブロック７
は、ワークが載置される図示しないスライドテーブルが
装着される移動体として機能するとともに、ボールねじ
軸４に嵌合するナット部材として機能し、且つ複数のボ
ール８が転動循環するガイドブロックとしての機能を兼
ね備えた一体的なブロック体によって形成されている。
【０００７】従って、従来技術に係る電動アクチュエー
タ１では、インナブロック７が、例えば、損傷、摩耗し
た場合、複数のボール８を含むインナブロック７全体を
新たなインナブロック７と交換しなければならず、メン
テナンスのコストが増大するという不都合がある。
【０００８】本発明は、前記の不都合を克服するために
なされたものであり、メンテナンスのコストを低減する
ことが可能な電動アクチュエータを提供することを目的
とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、外枠を構成するフレームと、前記フレ
ームに付設された駆動部と、前記駆動部の駆動力を伝達
する駆動力伝達手段と、前記駆動部の駆動作用下に駆動
力伝達手段を介して伝達される駆動力によってフレーム
の長手方向に沿って変位する移動機構と、前記移動機構
と別体で形成され、該移動機構と一体的にフレームに沿
って変位するガイド機構と、を備え、前記移動機構は、
ガイド機構に対して着脱自在に装着されることを特徴と
する。
【００１０】本発明によれば、移動機構とガイド機構と
が、それぞれ別体で且つ着脱自在に構成されているた
め、フレームにガイド機構を保持した状態で移動機構の
みを簡便に取り外すことができる。
【００１１】この結果、メンテナンスのコストが低減す
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明に係る電動アクチュエータ
について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照し
ながら以下詳細に説明する。
【００１３】図１乃至図４において、参照数字１０は、
本発明の第１の実施の形態に係る電動アクチュエータを
示す。
【００１４】この電動アクチュエータ１０は、図２に示
されるように、長尺状に形成されたフレーム１２と、例
えば、モータ等からなり、前記フレーム１２の一端部に
連結部１４を介して連結される回転駆動源１６と、前記
フレーム１２の凹部１８内に軸線方向に沿って配設さ
れ、前記回転駆動源１６の回転駆動力を伝達する駆動力
伝達手段として機能するボールねじ軸２０とを含む。
【００１５】前記連結部１４は、図４に示されるよう
に、角筒状に形成されたブロック体２２と、前記ボール
ねじ軸２０と回転駆動源１６の駆動軸とを同軸状に連結
するカップリング部材２４と、前記ボールねじ軸２０の
一端部を回動自在に軸支するベアリング部材２６とを有
する。なお、前記フレーム１２の端部には、図示しない
電磁ブレーキ機構を設けてもよい。また、カップリング
部材２４を用いることなく、ボールねじ軸２０と回転駆
動源１６の駆動軸とを同軸に一体的に形成してもよい。
【００１６】さらに、電動アクチュエータ１０は、図２
に示されるように、前記ボールねじ軸２０が螺合するね
じ穴２８が貫通形成され、該ボールねじ軸２０に対する
螺合作用下に軸線方向に沿って変位する直方体状の送り
ナット部材３０と、ねじ部材３２を介して前記送りナッ
ト部材３０に連結され、ボールねじ軸２０の回転作用下
に該送りナット部材３０と一体的にフレーム１２の長手
方向に沿って変位する移動体３４と、前記移動体３４を
フレーム１２の長手方向に沿って案内するガイド機構３
６とを有する。なお、前記フレーム１２をアルミニウム
材料によって形成し、前記フレーム１２の表面に硬質ア
ルマイト処理を施してもよい。
【００１７】前記フレーム１２の長手方向に沿った一端
部には、開口部を閉塞するとともに、ボールねじ軸２０
の一端部を回動自在に軸支するエンドブロック３８がね
じ部材３９を介して装着される。また、前記フレーム１
２の上面部には、前記エンドブロック３８とブロック体
２２とによって両端部がそれぞれ支持される長尺状のト
ップカバー４０が装着される。
【００１８】フレーム１２の相互に対向する外壁面に
は、断面略Ｔ字状を呈し長手方向に沿って延在する一組
の長溝４２ａ、４２ｂが形成されたサイドカバー４４
ａ、４４ｂがそれぞれ装着され、前記長溝４２ａ、４２
ｂの所定部位には、移動体３４の変位量等を検出する図
示しないセンサ等が装着される。
【００１９】前記トップカバー４０の幅狭な両側面に
は、図３に示されるように、長溝４６が長手方向に沿っ
てそれぞれ形成され、前記長溝４６に沿って第１シール
部材４８が装着される。前記第１シール部材４８は、例
えば、可撓性を有する樹脂製材料等によって形成され
る。また、フレーム１２に装着されたサイドカバー４４
ａ、４４ｂにも同様に長溝５０が形成され、前記長溝５
０には、トップカバー４０側の第１シール部材４８と対
峙する第２シール部材５２が設けられる。
【００２０】この第１および第２シール部材４８、５２
は、それぞれ略同一構成からなり、長溝４６、５０内に
保持され該長溝４６、５０の断面形状に対応する形状を
有する保持部５４と、前記保持部５４と一体的に形成さ
れ、可撓性を有するリップ部５６とから構成される。前
記リップ部５６の端部には、第１シール部材４８と第２
シール部材５２とが相互に接触してフレーム１２内の凹
部１８を閉塞する断面階段状の係合部５８が形成されて
いる。
【００２１】この場合、前記リップ部５６が移動体３４
の壁面に接触することにより、サイドカバー４４ａ、４
４ｂと移動体３４との間の間隙、およびトップカバー４
０と移動体３４との間の間隙が閉塞される。同時に、前
記移動体３４を除いた部分は、相互に対向する第１およ
び第２シール部材４８、５２のリップ部５６が重畳し且
つ係合部５８と接触してフレーム１２内の凹部１８を閉
塞することにより、フレーム１２内に発生した塵埃等が
フレーム１２の外部に流出することを阻止することがで
きる。従って、本実施の形態に係る電動アクチュエータ
１０を、クリーンルーム等のように清浄性が要求される
環境で好適に使用することが可能となる。 なお、前記
リップ部５６の先端部を二つに分岐させ、その分岐した
一方のリップ部（図示せず）を上方側に、他方のリップ
部（図示せず）を下方側に撓曲するように形成してもよ
い。
【００２２】ガイド機構３６は、図２に示されるよう
に、送りナット部材３０と別体で構成され、フレーム１
２の凹部１８内に所定間隔離間して配設される一組のガ
イドブロック６０ａ、６０ｂを有する。前記一組のガイ
ドブロック６０ａ、６０ｂは、それぞれねじ部材６１を
介して移動体３４の端部側に固定され、前記移動体３４
と一体的にフレーム１２の長手方向に沿って変位自在に
設けられる。
【００２３】各ガイドブロック６０ａ（６０ｂ）は、中
央部に長手方向に沿って延在する断面略Ｕ字状の溝部６
２が形成され（図３参照）、ガイドブロック本体６４
と、前記ガイドブロック本体６４の両端部に一体的に連
結される一組のリターンブロック６６とから構成される
（図２参照）。
【００２４】フレーム１２の内壁面には、図３に示され
るように、実質的に凹部からなる転動溝６８とガイドブ
ロック６０ａ、６０ｂの外壁面に形成された一組の断面
円弧状の転動溝７０とによって複数のボール７２が転動
する循環軌道が形成され、前記循環軌道はリターンブロ
ック６６に形成された図示しないリターン通路を介して
ガイドブロック６０ａ、６０ｂの循環穴７４に連通する
ように形成されている。
【００２５】この場合、複数のボール７２は、上部側の
転動溝６８およびガイドブロック６０ａ、６０ｂの上部
側の循環穴７４に沿って転動循環するとともに、下部側
の転動溝６８およびガイドブロック６０ａ、６０ｂの下
部側の循環穴７４に沿って転動循環するように、縦方向
に２列に配設されている。
【００２６】移動体３４の上面には、図２に示されるよ
うに、所定間隔離間し長手方向に沿って略平行に延在す
る一組の突条部７６ａ、７６ｂが形成され、前記一組の
突条部７６ａ、７６ｂの両端部には、それぞれ、船首形
状のように先細りに形成され、第１および第２シール部
材４８、５２に対する摺動抵抗を軽減する機能を営む摺
動部材７８が装着される（図１並びに図２参照）。ま
た、移動体３４の底面部には、図２に示されるように、
ボールねじ軸２０に螺合する送りナット部材３０を位置
決め固定するための凹部８０が形成されている。
【００２７】本発明の第１の実施の形態に係る電動アク
チュエータ１０は、基本的には以上のように構成される
ものであり、次にその動作並びに作用効果について説明
する。
【００２８】図示しない電源に接続された回転駆動源１
６を付勢することにより前記回転駆動源１６の回転駆動
力がカップリング部材２４を介してボールねじ軸２０に
伝達され、前記ボールねじ軸２０が所定方向に回動す
る。前記回転駆動力はボールねじ軸２０に螺合する送り
ナット部材３０を介して移動体３４に伝達され、前記移
動体３４がフレーム１２の長手方向に沿って変位する。
【００２９】この場合、ガイドブロック６０ａ、６０ｂ
に設けられた複数のボール７２が、フレーム１２の転動
溝６８とガイドブロック６０ａ、６０ｂの転動溝７０と
によって形成される循環軌道および循環穴７４に沿って
転動することにより、該移動体３４を円滑に変位させる
ことができる。
【００３０】本実施の形態では、例えば、前記ボールね
じ軸２０のねじ山が摩耗して移動体３４の直線精度が劣
化したために他の新たなボールねじ軸２０と交換する場
合、または前記ボールねじ軸２０を直径の異なる他のボ
ールねじ軸（図示せず）に交換する場合、あるいは経年
変化により耐久性が劣化した送りナット部材３０を新た
な送りナット部材３０と交換する場合には、フレーム１
２の上面からトップカバー４０を取り外した後、送りナ
ット部材３０および一組のガイドブロック６０ａ、６０
ｂにねじ締結された移動体３４のねじ部材３２をそれぞ
れ取り外すことにより、前記ボールねじ軸２０および送
りナット部材３０を簡便に交換することができる。
【００３１】その際、本実施の形態では、一組のガイド
ブロック６０ａ、６０ｂが送りナット部材３０および移
動体３４と別体で構成され、ねじ部材３２を介して着脱
自在に設けられているため、フレーム１２の凹部１８内
に一組のガイドブロック６０ａ、６０ｂを装着した状態
を保持しながら、ボールねじ軸２０および送りナット部
材３０を交換することができる。従って、ガイドブロッ
クを含むボールねじ軸４およびインナブロック７を全て
交換しなければならない従来技術と比較して、本実施の
形態では、ガイドブロック６０ａ、６０ｂを交換する必
要がないため、メンテナンスのコストを低減することが
できる。
【００３２】また、本実施の形態では、ガイドブロック
６０ａ、６０ｂと送りナット部材３０とを別体で構成し
た場合であっても、ガイドブロック６０ａ（６０ｂ）の
略中央部に断面略Ｕ字状の溝部６２を形成することによ
り、前記溝部６２に沿ってボールねじ軸２０を低く設定
することができるため、溝部６２の深さＨだけ装置全体
の高さ方向の寸法を抑制することができるという利点が
ある（図３参照）。この結果、高さ方向の寸法を抑制し
て装置全体を扁平化することにより、装置全体の小型化
を図ることができる。
【００３３】また、ガイド機構３６を構成する転動溝６
８、７０に対しそれぞれ焼入れを行った後、研削加工を
施し、さらに、ショットピーニング等の超精密仕上げを
行って前記転動溝６８、７０の転動面を硬化させること
により、摩耗を防止することができる。なお、前記転動
溝６８、７０の転動面に連通する図示しない油溜め孔部
を設けることにより、ボール７２の潤滑性を向上させる
ことができる。また、押し出し成形あるいは引き抜き成
形されたフレーム１２の表面に、適宜、レイデント処
理、クロムメッキ、ガニゼンメッキ（登録商標）等を施
してもよい。
【００３４】この場合、ボール７２を、アルミニウム、
またはポリイミド樹脂、あるいは超高分子ポリエチレン
等の材料で形成し、一方、フレームをアルミニウム材料
で形成し、さらに転動溝６８、７０に対しカニゼンメッ
キ（登録商標）による表面処理を行ってもよい。なお、
図示しない油溜め孔部内に、潤滑油中に含まれる塵埃を
吸着する不織布を設けると、一層好適である。
【００３５】この結果、電動アクチュエータ１０を、ク
リーンルーム等の清浄化が要求される環境において好適
に使用することができる。
【００３６】次に、本発明の第２の実施の形態に係る電
動アクチュエータ９０を図５に示す。なお、以下に示す
実施の形態では、図２に示す電動アクチュエータ１０と
同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な
説明を省略する。
【００３７】第２の実施の形態に係る電動アクチュエー
タ９０では、駆動力伝達手段として機能するボールねじ
軸２０に代替してタイミングベルト９２を用いている点
で相違する。前記タイミングベルト９２を移動ブロック
９４に連結された締付プレート（図示せず）によって挟
持することにより、該タイミングベルト９２と移動ブロ
ック９４とが一体的に変位するように設けられている。
【００３８】なお、参照符号９６は、モータ等の回転駆
動源、参照符号９８は、前記回動駆動源９６の駆動軸に
連結された図示しないプーリが内部に配設されたブロッ
ク体、参照符号９９は、タイミングベルト９２が懸架さ
れ、エンドブロック３８に回動自在に軸支されるプーリ
をそれぞれ示す。
【００３９】この第２の実施の形態では、多くの部品を
共通化しながら、ボールねじ軸仕様の電動アクチュエー
タ１０をタイミングベルト仕様の電動アクチュエータ９
０に簡便に交換することができる利点がある。
【００４０】次に、本発明の第３の実施の形態に係る電
動アクチュエータ１００を図６に示す。
【００４１】第３の実施の形態に係る電動アクチュエー
タ１００は、フレーム１２の軸線と略平行に回転駆動源
１０２を配設し、回転駆動源１０２の駆動軸に連結され
た第１プーリ１０４とボールねじ軸２０に連結された第
２プーリ１０６とに懸架されたベルト１０８を介して回
転駆動力を伝達している。なお、参照符号１１０は、カ
バー部材を示す。
【００４２】この電動アクチュエータ１００では、フレ
ーム１２と回転駆動源１０２とを同軸に連結することな
く、ベルト１０８を介して略平行に連結することによ
り、装置全体の長手方向の寸法を抑制することができる
利点がある。
【００４３】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
【００４４】すなわち、移動機構とガイド機構とが、そ
れぞれ別体で且つ着脱自在に構成されているため、フレ
ームにガイド機構を保持した状態で移動機構のみを簡便
に取り外して交換することができ、メンテナンスのコス
トが低減する。
【００４５】また、メンテナンス作業を簡素化すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る電動アクチュ
エータの斜視図である。
【図２】図１に示す電動アクチュエータの分解斜視図で
ある。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った縦断面図であ
る。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ線に沿った横断面図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る電動アクチュ
エータの分解斜視図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態に係る電動アクチュ
エータの一部断面平面図である。
【図７】従来技術に係る電動アクチュエータの一部切欠
斜視図である。
【符号の説明】
１０、９０、１００…電動アクチュエータ １２…フレーム １６、９６、１０２
…回転駆動源 １８…凹部 ２０…ボールねじ軸 ３０…送りナット部材 ３４…移動体 ３６…ガイド機構 ６０ａ、６０ｂ…ガ
イドブロック ６８、７０…転動溝 ７２…ボール ９２…タイミングベルト ９４…移動ブロック
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 齋藤 優 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Ｆターム(参考） 3J104 AA03 AA23 AA36 AA57 AA64 AA69 AA74 AA76 AA79 BA05 BA21 DA18 DA20 5H607 BB21 CC03 DD03 DD08 EE28 EE52

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】外枠を構成するフレームと、 前記フレームに付設された駆動部と、 前記駆動部の駆動力を伝達する駆動力伝達手段と、 前記駆動部の駆動作用下に駆動力伝達手段を介して伝達
    される駆動力によってフレームの長手方向に沿って変位
    する移動機構と、 前記移動機構と別体で形成され、該移動機構と一体的に
    フレームに沿って変位するガイド機構と、 を備え、前記移動機構は、ガイド機構に対して着脱自在
    に装着されることを特徴とする電動アクチュエータ。
  2. 【請求項２】請求項１記載の電動アクチュエータにおい
    て、 前記ガイド機構は、一組のガイドブロックを有し、前記
    一組のガイドブロックは、移動機構を構成する移動体に
    対してねじ部材を介して固定されていることを特徴とす
    る電動アクチュエータ。
  3. 【請求項３】請求項２記載の電動アクチュエータにおい
    て、 前記一組のガイドブロックには、断面略Ｕ字状の溝部が
    長手方向に沿って形成されていることを特徴とする電動
    アクチュエータ。
  4. 【請求項４】請求項１記載の電動アクチュエータにおい
    て、 前記駆動力伝達手段は、少なくとも、ボールねじ軸また
    はタイミングベルトを含み、前記ボールねじ軸とタイミ
    ングベルトは、交換可能に設けられることを特徴とする
    電動アクチュエータ。
  5. 【請求項５】請求項４記載の電動アクチュエータにおい
    て、 前記ボールねじ軸と略平行に回転駆動源が設けられ、前
    記回転駆動源の回転駆動力は、プーリに懸架されたベル
    トを介して伝達されることを特徴とする電動アクチュエ
    ータ。
  6. 【請求項６】請求項１記載の電動アクチュエータにおい
    て、 前記移動機構は、ボールねじ軸に螺合する送りナット部
    材と、前記送りナット部材に対してねじ締結される移動
    体とを有することを特徴とする電動アクチュエータ。
JP10265257A 1998-09-18 1998-09-18 電動アクチュエータ Pending JP2000088071A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10265257A JP2000088071A (ja) 1998-09-18 1998-09-18 電動アクチュエータ
DE69934751T DE69934751T2 (de) 1998-09-18 1999-09-08 Elektrische Betätigungsvorrichtung
EP99117698A EP0987468B1 (en) 1998-09-18 1999-09-08 Electric actuator
US09/393,166 US6344718B1 (en) 1998-09-18 1999-09-10 Electric actuator
CNB991202279A CN1175546C (zh) 1998-09-18 1999-09-17 电致动器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10265257A JP2000088071A (ja) 1998-09-18 1998-09-18 電動アクチュエータ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000088071A true JP2000088071A (ja) 2000-03-28

Family

ID=17414724

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10265257A Pending JP2000088071A (ja) 1998-09-18 1998-09-18 電動アクチュエータ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6344718B1 (ja)
EP (1) EP0987468B1 (ja)
JP (1) JP2000088071A (ja)
CN (1) CN1175546C (ja)
DE (1) DE69934751T2 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002089557A (ja) * 2000-07-13 2002-03-27 Nsk Ltd リニアガイド
US6848327B2 (en) 2000-12-05 2005-02-01 Smc Kabushiki Kaisha Actuator
JP2005172234A (ja) * 2003-11-21 2005-06-30 Smc Corp アクチュエータ
JP2008248938A (ja) * 2007-03-29 2008-10-16 Iai:Kk アクチュエータ
JP2015033321A (ja) * 2013-08-05 2015-02-16 リモス（シェンジェン）カンパニーリミテッド リニアアクチュエーター
WO2018055683A1 (ja) * 2016-09-21 2018-03-29 ヤマハ発動機株式会社 ロボット、動力伝達装置、動力伝達システム
JP2020501919A (ja) * 2016-12-15 2020-01-23 ボストン ダイナミクス，インコーポレイテッド 脚付きロボット用のねじアクチュエータ

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2000274283A1 (en) * 2000-09-13 2002-03-26 Bernard Canal Device for tensioning a ship's line or a cable
US7448134B2 (en) * 2001-04-06 2008-11-11 Smc Kabushiki Kaisha Method for producing actuator having guide-equipped frame
JP2004011681A (ja) * 2002-06-04 2004-01-15 Smc Corp アクチュエータ
US6832539B2 (en) * 2002-07-15 2004-12-21 Delaware Capital Formation, Inc. Cylinder lock
JP2004312881A (ja) * 2003-04-07 2004-11-04 Smc Corp アクチュエータ
JP4452551B2 (ja) * 2004-05-11 2010-04-21 日本トムソン株式会社 低発塵用スライド装置
JP4500102B2 (ja) * 2004-05-13 2010-07-14 日本トムソン株式会社 スライド装置
JPWO2007013422A1 (ja) * 2005-07-27 2009-02-05 Thk株式会社 運動案内装置の製造方法、およびこの方法を用いて製造される運動案内装置
ITBG20060043A1 (it) * 2006-09-11 2008-03-12 Motus Tech Srl Motion Tecnology Attuatore lineare ad elementi di giunzione in costituzione monolitica pressofusa.
DE202006018505U1 (de) * 2006-12-05 2008-04-17 Dewert Antriebs- Und Systemtechnik Gmbh Elektromotorischer Linearantrieb
ITMI20081251A1 (it) * 2008-07-10 2010-01-10 Ficep Spa Apparecchiatura per la realizzazione di fori a diametro variabile in lamiere
DE102010053279A1 (de) * 2010-12-02 2012-06-06 Hs Genion Gmbh Spindelantrieb mit Notbetätigungsfunktion
US9541178B2 (en) * 2011-11-22 2017-01-10 Iai Corporation Actuator
CN104100634A (zh) * 2013-04-02 2014-10-15 全研科技有限公司 线性滑动改良结构
JP5746266B2 (ja) * 2013-06-07 2015-07-08 Thk株式会社 アクチュエータ
DE102013216881A1 (de) * 2013-08-26 2015-02-26 Robert Bosch Gmbh Linearantrieb
US9206891B2 (en) * 2014-01-23 2015-12-08 Hiwin Technologies Corp. Support structure for a ball screw
JP6506508B2 (ja) * 2014-06-26 2019-04-24 日本トムソン株式会社 アクチュエータ
CN107842551B (zh) * 2016-09-20 2020-12-01 博世力士乐（常州）有限公司 直线滑轨装置及其组装方法
DE102016219923A1 (de) * 2016-10-13 2018-04-19 Robert Bosch Gmbh Linearbewegungsvorrichtung mit Abdeckplatte welche Dichtlippen aufweist
CN106949044B (zh) * 2017-03-05 2018-10-09 浙江力久电机股份有限公司 一种带随动式隔热瓦的高同步性机电伺服机构
CN107906121B (zh) * 2017-12-27 2020-03-20 苏州科爱佳自动化科技有限公司 一种高精度自动化移动装备
JP2022098128A (ja) 2020-12-21 2022-07-01 Smc株式会社 リニアガイド機構およびリニアアクチュエータ

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2537386B2 (ja) * 1988-08-11 1996-09-25 ファナック株式会社 産業用ロボットの直動軸構造
EP0647503A3 (en) * 1993-10-12 1995-12-13 Smc Kk Linear guide unit and linear guide unit system.
JP3221804B2 (ja) * 1994-09-28 2001-10-22 先生精機株式会社 アクチュエータ
JP3705641B2 (ja) * 1996-01-19 2005-10-12 Ｓｍｃ株式会社 アクチュエータ
JPH09331651A (ja) * 1996-06-07 1997-12-22 Smc Corp 電動アクチュエータ
US6084326A (en) * 1998-02-04 2000-07-04 Smc Kabushiki Kaisha Actuator

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002089557A (ja) * 2000-07-13 2002-03-27 Nsk Ltd リニアガイド
US6848327B2 (en) 2000-12-05 2005-02-01 Smc Kabushiki Kaisha Actuator
JP2005172234A (ja) * 2003-11-21 2005-06-30 Smc Corp アクチュエータ
JP4682302B2 (ja) * 2003-11-21 2011-05-11 Ｓｍｃ株式会社 アクチュエータ
JP2008248938A (ja) * 2007-03-29 2008-10-16 Iai:Kk アクチュエータ
JP2015033321A (ja) * 2013-08-05 2015-02-16 リモス（シェンジェン）カンパニーリミテッド リニアアクチュエーター
WO2018055683A1 (ja) * 2016-09-21 2018-03-29 ヤマハ発動機株式会社 ロボット、動力伝達装置、動力伝達システム
JPWO2018055683A1 (ja) * 2016-09-21 2019-03-14 ヤマハ発動機株式会社 ロボット、動力伝達装置、動力伝達システム
JP2020501919A (ja) * 2016-12-15 2020-01-23 ボストン ダイナミクス，インコーポレイテッド 脚付きロボット用のねじアクチュエータ
JP2021121462A (ja) * 2016-12-15 2021-08-26 ボストン ダイナミクス，インコーポレイテッド 脚付きロボット用のねじアクチュエータ
US11131368B2 (en) 2016-12-15 2021-09-28 Boston Dynamics, Inc. Screw actuator for a legged robot
JP7288926B2 (ja) 2016-12-15 2023-06-08 ボストン ダイナミクス，インコーポレイテッド 脚付きロボット用のねじアクチュエータ
US11754155B2 (en) 2016-12-15 2023-09-12 Boston Dynamics, Inc. Screw actuator for a legged robot

Also Published As

Publication number Publication date
CN1248813A (zh) 2000-03-29
US6344718B1 (en) 2002-02-05
EP0987468B1 (en) 2007-01-10
EP0987468A2 (en) 2000-03-22
DE69934751T2 (de) 2007-11-08
CN1175546C (zh) 2004-11-10
EP0987468A3 (en) 2002-07-10
DE69934751D1 (de) 2007-02-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000088071A (ja) 電動アクチュエータ
JP4470194B2 (ja) リニアアクチュエータ
CN100462591C (zh) 致动器
RU2580979C2 (ru) Линейный исполнительный механизм
US5326335A (en) Drive apparatus
US5735610A (en) Linear guide
US6619846B1 (en) Actuator
US20050011291A1 (en) Electric actuator
EP1486690A2 (en) Spacer for linear motion apparatus and linear motion apparatus provided with spacer
KR100528713B1 (ko) 볼나사기구
US20050054468A1 (en) Actuator
CN107191479B (zh) 直线运动导向机构
JP2004011681A (ja) アクチュエータ
EP0483384A1 (en) Rectilinear guide device
KR101602087B1 (ko) 윤활제 장치를 가진 선형 가이드
JP4500102B2 (ja) スライド装置
DE50200105D1 (de) Rolle für ein Laufwerk bzw. für eine Rollenbatterie
US5326197A (en) Drive apparatus
JP2872839B2 (ja) 小形直動転がり案内ユニット
JP2005106284A (ja) アクチュエータ
JP2005180602A (ja) ガイド機構
JP2004003631A (ja) ボールねじ機構
JPH0647707U (ja) ロッドレスシリンダのダストスクレーパ
JPH10245121A (ja) アクチュエータ
JPH1163386A (ja) 摺動機構

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050804

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080430

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080722

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20081118