JP4470194B2 - リニアアクチュエータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ボールネジ軸と一体的に組み付けられるスライダをガイドレールに沿って直線状に往復動作させるリニアアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種のボールネジ軸を用いたリニアアクチュエータは、例えばスライダの両外側面はボール転動体を介して断面略U字状のガイドレールの両内側面の長軸方向に移動自在に支持されており、このスライダに取り付けられてボールネジ穴に螺合するボールネジ軸を回転させることにより、前記スライダを往復動作させている(特公平7−61587号公報参照)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のリニアアクチュエータではスライダの両外側面とガイドレールの両内側面との間に設けられるボール転動体の間隔を一定にしてスライダの幅を広げると、自ずとガイドレールの幅も拡大してリニアアクチュエータが大型化し、重さが増えるという問題点があった。
【0004】
本発明は、前記の不都合を克服するためになされたもので、その目的はスライダの凹部がガイドレールに跨架され、前記スライダの両内側面と前記ガイドレールの両外側面との間にボール転動体を設けてガイドテーブルの幅方向の寸法を小さく設定することにより、前記ガイドテーブルの容積が縮小されてその重量を軽減することが可能なリニアアクチュエータを提供するものである。
【0005】
さらに、本発明の他の目的は、ボールネジナットをスライダに対して浮動自在に保持してボールネジ軸の作動形態に追従できるように設けることにより、前記ボールネジ軸の軸線とボール転動溝の軸線との平行度のずれを吸収することが可能なリニアアクチュエータを提供するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を解決するために、本発明は、両側面の長軸方向にボール転動溝を設けて延伸される断面略U字状のガイドレールと、前記ガイドレールの長軸方向と略直交する幅方向の中心部に前記ボール転動溝と平行に配設されるボールネジ軸と、前記ガイドレールの長軸方向の両端部にて前記ボールネジ軸を支持する軸受と、前記ガイドレールのボール転動溝に対向するボール転動溝を含む無限循環路が形成され、凹部内に前記ガイドレールが臨むように設けられ且つ該ガイドレールの長軸方向に沿って変位可能なスライダと、前記スライダの前記ガイドレール側の面に形成された凹部に装着され前記ボールネジ軸に螺合するボールネジナットと、前記スライダの凹部において該スライダと前記ガイドレールとの間に配置されて前記ボールネジナットを移動自在に支持するネジガイド部材と、前記ボールネジ軸の軸線と略平行に延在し且つ前記スライダの側方に設けられるスイッチレールとを備え、前記スイッチレールには、前記スライダと一体的に変位するマグネットの磁界を検知することにより、該スライダの位置を検出するセンサが装着され、前記スライダは、略水平面において該スライダの変位方向と略直交する方向に対する前記ボールネジナットの微小変位および略鉛直方向に対するこのボールネジナットの微小変位をそれぞれ吸収するフローティング機構により支持されることを特徴とする。
【0007】
本発明によれば、ガイドレールがスライダの凹部に装着されてガイドレールの幅寸法がスライダの幅よりも小さく設定されることで、ガイドレールの容積が縮小し、リニアアクチュエータの重量が軽減されて製造コストを低減することが可能である。
【0008】
また、本発明によれば、略水平面において変位方向と略直交する方向に対するボールネジナットの微小変位および略鉛直方向に対するこのボールネジナットの微小変位をそれぞれ吸収するフローティング機構を設けることにより、ボールネジ軸の軸線とボール転動溝の軸線との平行度に若干のずれが生じた際にもそのずれを吸収することができ、スライダの円滑な直線運動を行うことができる。
【0009】
この場合、前記フローティング機構は、略水平面において前記スライダの変位方向と略直交する方向に対する前記ボールネジナットの微小変位を、前記スライダにその変位方向に略直交して形成された穴に、前記ネジガイド部材に連結された移動子が摺動自在に係合されることで吸収する一方、略鉛直方向に対する前記ボールネジナットの微小変位を、前記ボールネジナットの外面に前記スライダの変位方向に沿って形成された一対の平行面が、前記ネジガイド部材に形成された一対の開口面間に略鉛直方向に移動自在に嵌合されることで吸収し、さらに、前記ボールネジナットの前記一対の平行面が略鉛直方向に移動自在に嵌合される前記ネジガイド部材の前記一対の開口面が、前記ガイドレールの両側面間に形成された凹溝に対向するように開口すると共に、前記一対の開口面および前記一対の平行面の少なくとも一部が前記凹溝内に配置されていることにより、ボールネジナットがボールネジ軸の作動形態に適宜に追従でき、好適である。
【0010】
この場合、前記移動子は、略水平面内における前記スライダの変位方向と略直交する方向に並列に設けられると、スライダの高さを低くすることができ、好適である。
【0011】
また、この場合、前記移動子は、略鉛直方向の同一平面内に並列に設けられると、ガイドレールおよびスライダの幅を狭くすることができ、好適である。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明に係るリニアアクチュエータについて、好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら、以下、詳細に説明する。
【0013】
本発明の第1の実施の形態に係るリニアアクチュエータ10は、図1に示すように、基本的には、ガイドレール12と、前記ガイドレール12に移動自在に支持されるスライダ14と、前記スライダ14に螺合するボールネジ軸16と、前記ボールネジ軸16を軸支する一対の第1軸受18、第2軸受20と、前記ボールネジ軸16の軸線と略平行に延在し一組のボルト105a、105bを介して前記第1軸受18、第2軸受20にそれぞれ固定されるスイッチレール106とから構成される。
【0014】
図4に示されるように、ガイドレール12は断面略U字形の凹溝22および前記凹溝22を形成する上面28、28が直線状に延伸する部材により構成され、この上面28、28は後述するスライダ14の凹部132に内設されて前記ガイドレール12の幅方向の寸法がスライダ14の幅よりも小さくなるように構成される。前記ガイドレール12の底面114から立ち上げる両外側面24、24には、ボールネジ軸16の軸心から等間隔の位置にあってそれぞれ長軸方向に延びる平行なボール転動溝26を有している。
【0015】
ガイドレール12の上面28、28に跨架されるスライダ14は、スライダ本体30と、前記スライダ本体30の変位方向の両側面に取着されるエンドプレート32と、前記エンドプレート32に取着される潤滑部材42を収納するカバー部材44と、スクレーパ46とから構成される(図5参照)。なお、エンドプレート32、カバー部材44およびスクレーパ46はボルト48により取り付られる。スライダ本体30はその左右の両側縁に下方に延伸される肉厚の袖部34、34を有し、この袖部34、34の内側面には、ガイドレール12のボール転動溝26に対向してボール転動溝36が形成されると共に、前記ボール転動溝26、36に平行する直線状の貫通孔からなるボール通路38が袖部34、34に穿設されている。なお、ボール転動溝26、36およびボール通路38は同一水平面内に設けられボールネジ軸16の軸心よりも下方に位置する。
【0016】
スライダ本体30の両側面に取着するエンドプレート32には、図5に示されるように、スライダ30の内側面に沿って貫設されるボール転動溝36とボール通路38とを連通する湾曲路40が形成されている。この場合、潤滑部材42内の潤滑剤はボールネジ軸16およびエンドプレート32に設けた孔50を介して湾曲路40に補給される。スライダ14には、スライダ本体30に設けて対向するボール転動溝26、36およびボール通路38とエンドプレート32に設けられた湾曲路40とからなる無限循環路52(図4参照)が形成され、この無限循環路52に多数のボール54が転動自在に装着される。
【0017】
図2に示されるように、ボールネジ軸16の両端部56、58は、この両端部56、58のジャーナル部60、62に設けられる第1軸受18、第2軸受20により回転自在に軸支される。
【0018】
第1軸受18は、ガイドレール12の一方の端面にボルト(図示せず)により固着される第1エンドプレート64と、前記第1エンドプレート64の中央部に穿設された軸受孔66に嵌合される複数個、例えば2個の第1玉軸受68とから構成され、前記軸受孔66にボールネジ軸16の一方の端部56が前記第1玉軸受68を介して挿入されている。この場合、第1玉軸受68は、その内輪をボールネジ軸16の一方の端部56に嵌め込まれるスペーサ70と、前記端部56におけるベアリング押え72によるネジ機構により締め付けられ、その外輪を第1エンドプレート64に設けられたネジ機構に螺合する軸受ナット74により締め付けられて第1エンドプレート64に固着されている。さらに、ボールネジ軸16の一方の端部56はモータ76に連結される。参照符号88は、ベアリング押え72の回り止めの止めネジである。
【0019】
第2軸受20は、ガイドレール12の他方の端面にボルト(図示せず)により固着される第2エンドプレート78と、前記第2エンドプレート78の中央部に穿設された軸受孔80に嵌合される第2玉軸受82とから構成され、前記軸受孔80にボールネジ軸16の他方の端部58が前記第2玉軸受82を介して挿入されている。この場合、第2玉軸受82は、その内輪をボールネジ軸16の他方の端部58に嵌め込まれる軸止め輪84により係止され、ボールネジ軸16の他方の端部58は前記第2玉軸受82を介して第2エンドプレート78に回転自在に軸支されている。
【0020】
図4に示されるように、周知のボールネジ機構を有してボールネジ軸16に螺合するボールネジナット86は、外周面中央部を略平行に切り欠かれた平行面92を有する。参照符号94はスライダ本体30の内部上面96に略水平方向に微小変位可能に装着されるネジガイド部材を示しており、前記ネジガイド部材94の開口面98にボールネジナット86の平行面92を略鉛直方向に摺動自在に嵌合してボールネジナット86をガイドし、かつ前記平行面92に対し略水平面内における変位方向と略直交する方向に並列して移動子100を螺着し、前記移動子100のボス102がスライダ本体30の袖部34、34に連接する外側面に設けられた穴104に摺動自在に装着される。
【0021】
この場合、ボールネジナット86は略鉛直方向にネジガイド部材94により微小変位可能に支持され、略水平方向にネジガイド部材94に螺着される移動子100を介してスライダ本体30に微小変位可能に支持されるフローティング機構により、ボールネジ軸16の軸線とボール転動溝26、36の軸線との平行度に若干のずれを生じた際にもそのずれを吸収することができるように垂直方向および水平方向に微小に変位することが可能である。移動子100の軸心はボールネジ軸16の水平方向の軸心よりも上方に位置する。
【0022】
第1エンドプレート64、第2エンドプレート78に一組のボルト105a、105bにより固着されたスイッチレール106には軸線方向に沿って略平行な2条の長溝108、110が形成され、この長溝108、110には位置調整が可能なようにセンサ(図示せず)が挿着される。スライダ本体30に取り付けられた該スライダ本体30と一体的に変位するマグネット112の磁界をセンサによって検知することにより、前記スライダ本体30の位置を検出することができる。ガイドレール12の底面114に設けたネジ孔116(図3参照)には、リニアアクチュエータ10を取り付けるボルト(図示せず)が螺着される。
【0023】
なお、リニアアクチュエータ10は、その取り付け位置をずらしてガイドレール12の底面114に設けた脚部118を図示しないボルトを介して締め具120で固定することも可能である。参照符号122は、スライダ14のストロークを調整する調整ボルトを示しており、第1エンドプレート64、第2エンドプレート78にネジ結合され、ナット124により両エンドプレート64、78に締め付けられる。
【0024】
また、スライダ本体30の上面126に穿設する穴128は図示しないテーブル等を位置決めするためのものであり、螺刻するネジ孔130はテーブル等を固定するためのものである。
【0025】
本実施の形態に係るリニアアクチュエータ10は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【0026】
図2、図3に示されるように、モータ76の駆動によりボールネジ軸16が回転すると、その螺合作用によりボールネジナット86が従動し、スライダ14がガイドレール12に沿って軸方向(矢印Y方向)に移動する。スライダ14は、ボールネジ軸16とボールネジナット86のボールネジ穴との間に介挿される鋼球(図示せず)の転動およびガイドレール12とスライダ14との間に設けられたボール転動溝26、36間に挿入されるボール54の転動により円滑に移動することができる。
【0027】
この場合、図4に示されるように、ボールネジナット86は略鉛直方向の変位をこのボールネジナット86の平行面92とネジガイド部材94の開口面98との係合により変位可能に保持され、略水平方向の変位をスライダ本体30の穴104に摺動自在に支承される移動子100のボス102により変位可能に保持されるので、ボールネジ軸16の作動態様に応答して追従することができる。
【0028】
よって、スライダ14はボールネジ軸16の回転によりガイドレール12に沿って円滑に移動することができる。
【0029】
この場合、スライダ14はガイドレール12に跨架されて該スライダ14の両袖部34、34によりスライダ14に付加される加重を支持するので変形しない。
【0030】
また、ガイドレール12の上面28、28はスライダ14の凹部132に内設されるようにこのガイドレール12の幅方向の寸法がスライダ14の幅よりも小さく設定されるので、ガイドレール12の容積が減少してこのガイドレール12の軽量化を図ることが可能である。
【0031】
よって、本実施の形態では、組立の際にボール転動溝26、36の軸線とボールネジ軸16の軸線とを完全な平行度に維持する必要がない。従って、ボール転動溝26、36の軸線とボールネジ軸16の軸線とが平行でなく若干のずれがあっても、そのずれをフローティング機構より吸収することができるので、組立作業時間が短縮され、製造コストを低減することが可能である。
【0032】
本実施の形態では、移動子100の水平方向の軸心をボールネジ軸16の軸心よりも上方に設けているが、移動子100の水平方向の軸心をボールネジ軸16の軸心より下方に設けても同様の効果が得られる。
【0033】
また、本実施の形態においては、ボールネジ軸16およびボールネジナット86は、ボールネジを用いた場合を例に説明したが、すべりネジを用いることも勿論可能である。
【0034】
図6乃至図8は本発明の他の形態に係るリニアアクチュエータ140の構成を示す。以下の説明において、上述した図1乃至図5に記載の構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付して詳細な説明を省略する。
【0035】
図8に示されるように、ネジガイド部材94の上面142には、このネジガイド部材94の開口面98の外側に略鉛直方向の同一平面内に並列する移動子144が螺着される。移動子144のボス146、頭部148は、それぞれスライダ本体30の上面126に穿設される穴150および長穴152に装着される。さらに、移動子144は頭部148の外周面の一部をスライダ本体30の長穴152の内周面に外接してネジガイド部材94の微小変位に矢印方向に微動できるように前記ネジガイド部材94に支承される。参照符号154は、スライダ本体30の内部上面96とネジガイド部材94の上面142との間に介装されるワッシャを示しており、移動子144のボス146をスライダ本体30に浮動状態に保持する。
【0036】
この場合、移動子144をネジガイド部材94に略鉛直方向に設けることによりスライダ14の幅方向の寸法を比較的小さくすることできる。
【0037】
【発明の効果】
本発明によれば、両側面の長軸方向に延びるガイドレールをスライダの凹部に跨架して、ガイドレールの外側面とスライダの両内側面間に転動体を設けることにより、ガイドレールの幅寸法をスライダの幅よりも小さく設定することで、ガイドレールの容積の縮小によるリニアアクチュエータの重さが軽減されてリニアアクチュエータのコストを低減することが可能である。
【0038】
また、本発明によれば、ボールネジ軸に螺合するボールネジ穴をスライダに浮動状態に保持するフローティグ機構を設けることにより、組み付け時においてボールネジ軸とボール転動溝との完全な平行度を保持する必要がない。従って、ボールネジ軸の軸線とボール転動溝の軸線との平行度に若干のずれが生じた際にもそのずれをフローティグ機構により吸収することが可能である。
【0039】
さらに、本発明によれば、ボールネジ軸はガイドレールの凹部に収納され、凹部を被覆するようにスライダ本体が装着される構成にしたので、両端の軸受とスライダ本体との間に防塵カバーを設けることできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るリニアアクチュエータの概略構成を示す斜視図である。
【図2】図1に示されるリニアアクチュエータの長軸方向の断面構成図である。
【図3】図1に示されるリニアアクチュエータの平面図である。
【図4】図3のIV−IV線断面図である。
【図5】図3に示されるスライダ本体とエンドプレートとの関係を説明するための分解斜視図である。
【図6】本発明の他の実施の形態に係るリニアアクチュエータの長軸方向の断面構成図である。
【図7】図6に示されるリニアアクチュエータの平面図である。
【図8】図7のVIII−VIII線断面図である。
【符号の説明】
10…リニアアクチュエータ 44…カバー部材
12…ガイドレール 46…スクレーパ
14…スライダ 52…無限循環路
16…ボールネジ軸 68…第1玉軸受
18…第1軸受 82…第2玉軸受
20…第2軸受 86…ボールネジナット
24…外側面 94…ネジガイド部材
26…ボール転動溝 100…移動子
30…スライダ本体 106…スイッチレール
36…ボール転動溝 140…リニアアクチュエータ
38…ボール通路 144…移動子
40…湾曲路 152…長穴
42…潤滑部材
Claims (1)
- 両側面の長軸方向にボール転動溝を設けて延伸される断面略U字状のガイドレールと、前記ガイドレールの長軸方向と略直交する幅方向の中心部に前記ボール転動溝と平行に配設されるボールネジ軸と、前記ガイドレールの長軸方向の両端部にて前記ボールネジ軸を支持する軸受と、前記ガイドレールのボール転動溝に対向するボール転動溝を含む無限循環路が形成され、凹部内に前記ガイドレールが臨むように設けられ且つ該ガイドレールの長軸方向に沿って変位可能なスライダと、前記スライダの前記ガイドレール側の面に形成された凹部に装着され前記ボールネジ軸に螺合するボールネジナットと、前記スライダの凹部において該スライダと前記ガイドレールとの間に配置されて前記ボールネジナットを移動自在に支持するネジガイド部材と、前記ボールネジ軸の軸線と略平行に延在し且つ前記スライダの側方に設けられるスイッチレールとを備え、
前記スイッチレールには、前記スライダと一体的に変位するマグネットの磁界を検知することにより、該スライダの位置を検出するセンサが装着され、
前記スライダは、略水平面において該スライダの変位方向と略直交する方向に対する前記ボールネジナットの微小変位および略鉛直方向に対するこのボールネジナットの微小変位をそれぞれ吸収するフローティング機構により支持されると共に、
前記フローティング機構は、略水平面において前記スライダの変位方向と略直交する方向に対する前記ボールネジナットの微小変位を、前記スライダにその変位方向に略直交して形成された穴に、前記ネジガイド部材に連結された移動子が摺動自在に係合されることで吸収する一方、略鉛直方向に対する前記ボールネジナットの微小変位を、前記ボールネジナットの外面に前記スライダの変位方向に沿って形成された一対の平行面が、前記ネジガイド部材に形成された一対の開口面間に略鉛直方向に移動自在に嵌合されることで吸収し、
さらに、前記ボールネジナットの前記一対の平行面が略鉛直方向に移動自在に嵌合される前記ネジガイド部材の前記一対の開口面が、前記ガイドレールの両側面間に形成された凹溝に対向するように開口すると共に、前記一対の開口面および前記一対の平行面の少なくとも一部が前記凹溝内に配置されており、
前記移動子は、略鉛直方向の同一平面内に並列に設けられ、
前記スライダに形成された前記穴は、略水平面における前記スライダの変位方向と略直交する方向に延びた長穴であることを特徴するリニアアクチュエータ。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000042045A JP4470194B2 (ja) | 2000-02-18 | 2000-02-18 | リニアアクチュエータ |
TW090102608A TW469325B (en) | 2000-02-18 | 2001-02-07 | Linear actuator |
DE10107076A DE10107076C5 (de) | 2000-02-18 | 2001-02-13 | Linearstellglied |
KR10-2001-0007824A KR100407282B1 (ko) | 2000-02-18 | 2001-02-16 | 선형 액츄에이터 |
CNB011046244A CN1142376C (zh) | 2000-02-18 | 2001-02-16 | 线性致动器 |
US09/785,974 US6476525B2 (en) | 2000-02-18 | 2001-02-17 | Linear actuator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000042045A JP4470194B2 (ja) | 2000-02-18 | 2000-02-18 | リニアアクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001227614A JP2001227614A (ja) | 2001-08-24 |
JP4470194B2 true JP4470194B2 (ja) | 2010-06-02 |
Family
ID=18565168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000042045A Expired - Lifetime JP4470194B2 (ja) | 2000-02-18 | 2000-02-18 | リニアアクチュエータ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6476525B2 (ja) |
JP (1) | JP4470194B2 (ja) |
KR (1) | KR100407282B1 (ja) |
CN (1) | CN1142376C (ja) |
DE (1) | DE10107076C5 (ja) |
TW (1) | TW469325B (ja) |
Families Citing this family (49)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5031957B2 (ja) * | 2001-08-30 | 2012-09-26 | Thk株式会社 | リニアアクチュエータ |
DE10215832A1 (de) * | 2002-04-10 | 2003-10-30 | Neff Antriebstech Automation | Linearantriebseinrichtung |
FR2860457B1 (fr) * | 2003-10-02 | 2006-03-03 | Faurecia Sieges Automobile | Dispositif de reglage a vis sans fin, glissiere comportant un tel reglage et siege comportant une telle glissiere. |
JP4403537B2 (ja) * | 2003-12-02 | 2010-01-27 | Smc株式会社 | リニアスライド装置 |
ATE340672T1 (de) * | 2004-03-01 | 2006-10-15 | Festo Ag & Co | Linearantrieb mit einem von zwei führungseinheiten flankierten schlitten |
JP4500102B2 (ja) * | 2004-05-13 | 2010-07-14 | 日本トムソン株式会社 | スライド装置 |
DE102004031497A1 (de) * | 2004-06-30 | 2006-05-18 | Schaeffler Kg | Profilschienenführung |
DK1800025T3 (da) * | 2004-09-29 | 2013-03-25 | Linak As | Lineær aktuator |
JP4755429B2 (ja) * | 2005-03-04 | 2011-08-24 | 株式会社ミツトヨ | 検出器駆動装置 |
DE112006001723B4 (de) * | 2005-06-30 | 2020-06-10 | Thk Co., Ltd. | Rollführungsvorrichtung und Verfahren zum Herstellen derselben |
DE102005053896B3 (de) * | 2005-11-08 | 2007-01-25 | Siemens Ag | Kugelgewindetrieb mit Überlastkupplung |
DE102006014943A1 (de) * | 2006-03-31 | 2007-10-04 | Schaeffler Kg | Linearführung |
DE102006056516A1 (de) * | 2006-11-29 | 2008-06-05 | Isel Automation Gmbh & Co. Kg | Lineareinheit |
DE202006018505U1 (de) | 2006-12-05 | 2008-04-17 | Dewert Antriebs- Und Systemtechnik Gmbh | Elektromotorischer Linearantrieb |
WO2009015676A1 (en) * | 2007-08-01 | 2009-02-05 | Ab Skf | Linear actuator |
US8079578B2 (en) * | 2007-09-05 | 2011-12-20 | Hgs Aerospace, Inc. | Universal holding fixture |
JP2012533439A (ja) * | 2009-07-17 | 2012-12-27 | サマック,ロバート,エー | 自動調整可能な工作機械加工物搭載装置 |
DE102010044793B4 (de) * | 2010-09-09 | 2013-10-31 | Parker Hannifin Gmbh | Elektromechanischer Linearantrieb mit Nachschmiereinrichtung |
CN102059574A (zh) * | 2010-12-06 | 2011-05-18 | 天津锐新电子热传技术股份有限公司 | 用于挤压机前梁板扩孔加工的动力头装置 |
CN102152131B (zh) * | 2011-02-28 | 2012-06-13 | 西安理工大学 | 滚珠丝杠副压电致动器串联宏微驱动及导轨装置 |
CN102182761A (zh) * | 2011-05-13 | 2011-09-14 | 大连泷孚中天精机有限公司 | 致动一体化滑块 |
US8941276B2 (en) * | 2012-03-02 | 2015-01-27 | Bose Corporation | Rotor assembly having ball nut cartridge |
CN102705462A (zh) * | 2012-05-10 | 2012-10-03 | 太仓戴尔塔精密模具有限公司 | 一种微调调节头传动轴 |
JP6038589B2 (ja) | 2012-10-17 | 2016-12-07 | Ntn株式会社 | 直動案内装置 |
CN103062351A (zh) * | 2012-12-23 | 2013-04-24 | 浙江大学 | 一种轻载滚珠丝杠副安装支撑装置 |
US20140326091A1 (en) * | 2013-05-06 | 2014-11-06 | Velmex, Inc. | Miniature Linear Positioning System |
CN103317755A (zh) * | 2013-07-01 | 2013-09-25 | 无锡市德华机械有限公司 | 数控转塔冲床纵向运动部分整体支架 |
US9334937B2 (en) * | 2013-07-03 | 2016-05-10 | Pacific Bearing Company | Floating nut and carriage assembly |
US9528581B2 (en) * | 2013-08-16 | 2016-12-27 | Delta Electronics, Inc. | Motor driven linear actuator and electric motor thereof |
DE102013216880A1 (de) * | 2013-08-26 | 2015-03-19 | Robert Bosch Gmbh | Linearbewegungsvorrichtung |
US10088024B2 (en) * | 2013-11-25 | 2018-10-02 | Aktiebolaget Skf | Linear electro-mechanical actuator |
USD748704S1 (en) * | 2014-05-28 | 2016-02-02 | Jenny Science Ag | Linear motor electic slide |
CN105276115A (zh) * | 2014-07-22 | 2016-01-27 | 陆如东 | 一种机床丝杠传动装置 |
US9285021B2 (en) * | 2014-07-22 | 2016-03-15 | Hiwin Technologies Corp. | Linear module with a support device |
USD748171S1 (en) * | 2014-11-10 | 2016-01-26 | Linak A/S | Linear actuator |
DE102016204133A1 (de) * | 2016-03-14 | 2017-09-14 | Zf Friedrichshafen Ag | Linearer Stellantrieb |
JP6704827B2 (ja) * | 2016-09-30 | 2020-06-03 | 日本電産サンキョー株式会社 | 直線駆動装置 |
JP1588198S (ja) * | 2017-01-26 | 2017-10-16 | ||
USD846076S1 (en) * | 2017-05-12 | 2019-04-16 | Smc Corporation | Fluid pressure cylinder with table |
CN107448744A (zh) * | 2017-08-09 | 2017-12-08 | 天津帕比特科技有限公司 | 一种监控器竖直传送装置稳定机构 |
CN109664270A (zh) * | 2018-12-06 | 2019-04-23 | 深圳威洛博机器人有限公司 | 一种滑台模组 |
CN109915567B (zh) * | 2019-03-27 | 2023-08-01 | 南京理工大学 | 一种多级同步丝杠推杆机构 |
CN110034655A (zh) * | 2019-03-28 | 2019-07-19 | 深圳市赫瑞科技有限公司 | 一种高精度内置滚珠式直线电机 |
KR102359366B1 (ko) * | 2021-06-03 | 2022-02-08 | 이종기 | 리드 볼 스크류용 볼 너트, 곡면 거치대 및 이를 포함하는 직선운동장치 |
CN114211286B (zh) * | 2021-12-08 | 2023-07-21 | 中航西安飞机工业集团股份有限公司 | 一种滚珠丝杠副的浮动支撑结构及防止抖动的方法 |
CN114102926B (zh) * | 2021-12-16 | 2024-06-18 | 光控瑀宏(浙江)高新设备有限公司 | 一种用于药用空心胶囊脱模的涂油机 |
WO2023145075A1 (ja) * | 2022-01-31 | 2023-08-03 | ファナック株式会社 | 送り軸機構 |
CN116620821A (zh) * | 2023-06-07 | 2023-08-22 | 钛玛科(北京)工业科技有限公司 | 一种用于狭小空间的纠偏设备及生产线 |
CN117167362B (zh) * | 2023-10-19 | 2024-02-23 | 常州斯曼特电器有限公司 | 一种用于油缸活塞杆的位置检测系统 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT21155B (de) * | 1904-12-01 | 1905-08-25 | Gabriel Lemenyi Papp | Vorrichtung zum Zusammendrücken der Stoß-, Zug- und Tragfedern von Eisenbahnwagen. |
JPH01151144A (ja) * | 1987-12-07 | 1989-06-13 | Toshiba Corp | 電界放射形電子銃 |
JPH0761587B2 (ja) * | 1990-10-25 | 1995-07-05 | テイエチケー株式会社 | ボールねじガイドユニットを用いた移送テーブル |
JP2559186B2 (ja) | 1992-07-29 | 1996-12-04 | ミサワホーム株式会社 | 太陽電池付き屋根パネル |
JP2633798B2 (ja) | 1993-08-26 | 1997-07-23 | シーケーディ株式会社 | 板状部材把持装置 |
JP2858391B2 (ja) | 1994-03-11 | 1999-02-17 | エヌオーケー株式会社 | ロッドレスシリンダ |
JP3570077B2 (ja) * | 1996-05-08 | 2004-09-29 | 日本精工株式会社 | 無吸引クリーンアクチュエータ |
JP2851272B2 (ja) * | 1997-03-10 | 1999-01-27 | 本田技研工業株式会社 | 操舵トルクセンサ付き可変舵角比操舵装置 |
JP3767648B2 (ja) | 1997-05-16 | 2006-04-19 | Nok株式会社 | ロッドレスシリンダ |
JPH11201257A (ja) * | 1998-01-07 | 1999-07-27 | Smc Corp | 送りねじおよびその製造方法 |
DE19801018C2 (de) * | 1998-01-14 | 1999-11-04 | Festo Ag & Co | Kupplungseinrichtung |
US5941130A (en) * | 1998-04-07 | 1999-08-24 | General Motors Corporation | Adjustable steering column for motor vehicle |
-
2000
- 2000-02-18 JP JP2000042045A patent/JP4470194B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-02-07 TW TW090102608A patent/TW469325B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-02-13 DE DE10107076A patent/DE10107076C5/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-02-16 KR KR10-2001-0007824A patent/KR100407282B1/ko active IP Right Grant
- 2001-02-16 CN CNB011046244A patent/CN1142376C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2001-02-17 US US09/785,974 patent/US6476525B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20010015581A1 (en) | 2001-08-23 |
CN1309252A (zh) | 2001-08-22 |
US6476525B2 (en) | 2002-11-05 |
DE10107076A1 (de) | 2001-09-06 |
CN1142376C (zh) | 2004-03-17 |
JP2001227614A (ja) | 2001-08-24 |
KR20010082716A (ko) | 2001-08-30 |
TW469325B (en) | 2001-12-21 |
DE10107076B4 (de) | 2005-11-17 |
DE10107076C5 (de) | 2010-09-09 |
KR100407282B1 (ko) | 2003-11-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090428 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090430 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091006 |
|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100219 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4470194 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140312 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |