JPH11201257A - 送りねじおよびその製造方法 - Google Patents

送りねじおよびその製造方法

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JPH11201257A
JPH11201257A JP10001781A JP178198A JPH11201257A JP H11201257 A JPH11201257 A JP H11201257A JP 10001781 A JP10001781 A JP 10001781A JP 178198 A JP178198 A JP 178198A JP H11201257 A JPH11201257 A JP H11201257A
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aluminum
driving force
aluminum alloy
bearing member
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JP10001781A
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Shigekazu Nagai
茂和 永井
Hiroyuki Shiomi
裕幸 塩見
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SMC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】各部材の摩耗および摺動部位の摩擦抵抗を軽減
させるとともに、重量を軽減して取り付け作業の容易化
を可能とした送りねじおよびその製造方法を提供する。 【解決手段】ボールねじ２は、駆動力伝達軸４と、駆動
力伝達軸４に外嵌される軸受部材６とから構成される。
駆動力伝達軸４の本体はアルミニウムまたはアルミニウ
ム合金で転造法等により形成され、軸受部材６は超高分
子量のポリエチレン樹脂材料で形成されている。アルミ
ニウムまたはアルミニウム合金を用いて形成された部材
に表面処理が施され、好適には、さらに表面仕上げ処理
が施される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、送りねじおよびそ
の製造方法に関し、一層詳細には、駆動源の駆動力を駆
動力伝達手段を介して移動テーブルに伝達し、前記移動
テーブルを所定方向に変位させることによりワークを搬
送するアクチュエータの駆動力伝達手段等に用いられる
送りねじおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、ワーク等を搬送するために種
々のアクチュエータが用いられている。これらのアクチ
ュエータでは、外枠を構成するフレームの長手方向に沿
って変位する移動テーブルを有し、モータ軸と同軸に連
結されたボールねじ、あるいはすべりねじ等の送りねじ
を介してモータの回転駆動力を前記移動テーブルに伝達
して該移動テーブルを直線的に変位させることにより、
該移動テーブルに載置されたワークを搬送している。
【０００３】ところで、モータの回転駆動力を移動テー
ブルに伝達する送りねじは、摺動性を保持するために、
例えば、炭素鋼若しくはＳＵＳ材等の金属製材料または
ポリアセタール等の合成樹脂製材料によって形成されて
いる。しかしながら、前記送りねじを炭素鋼等の金属製
材料で形成した場合、該送りねじの重量が大となるため
に取り付け作業が困難であるとともに、取り付け場所に
も制約を受ける等、種々の不具合がある。
【０００４】また、送りねじを合成樹脂製材料で形成し
た場合、長期間の使用によって前記送りねじの摺動部位
に摩耗が生じ、その結果、モータの回転駆動力を好適に
移動テーブルに伝達することができないという不都合が
ある。
【０００５】さらに、前記の如き摩耗を阻止するため
に、送りねじの摺動部位にグリス等の潤滑油を用いる場
合があるが、クリーンルーム等のように環境に左右され
る場所では前記潤滑油を使用することができないという
難点がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記の種々
の不都合を克服するためになされたものであり、各部材
の摩耗および摺動部位の摩擦抵抗を軽減させるととも
に、送りねじの重量を軽減して取り付け作業を容易化
し、この結果、取り付け場所の制約からも免れることを
可能とした送りねじおよびその製造方法を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る送りねじ
は、該送りねじの駆動力伝達軸をアルミニウムまたはア
ルミニウム合金で形成し、該送りねじの軸受部材を合成
樹脂、アルミニウムまたはアルミニウム合金で形成する
ことを特徴とする。
【０００８】ここで、前記送りねじとしては、ボールね
じまたはすべりねじを用いることができる。また、前記
軸受部材として合成樹脂を用いる際、その材質として
は、ポリアセタール等の他、超高分子量のポリエチレン
を用いると好適である。また、前記軸受部材として、耐
摩耗性の向上等の観点から、必要に応じて、本発明にお
いて駆動力伝達軸に用いるアルミニウムまたはアルミニ
ウム合金等と同種類の材質とすることもできる。
【０００９】これにより、送りねじを構成する前記駆動
力伝達軸と軸受部材の摩耗が減少し、また両者の摺動部
位における摺動抵抗が減少して摩擦抵抗が軽減されると
ともに、送りねじ、特に、前記駆動力伝達軸の重量が大
であることによって生じる送りねじを戴置するアクチュ
エータ等の取り付け作業の困難性、取り付け場所の制約
から免れることができ、しかも該駆動力伝達軸を長尺化
しにくいこと、負荷イナーシャが大きいことにより入力
トルクが大きくなるために駆動源であるモータの小型化
が制限されること等の不具合を解消することができる。
また、炭素鋼若しくはＳＵＳ材等の強磁性体材料を用い
る場合に生じる磁界中での影響を軽減することができ
る。
【００１０】さらに、本発明に係る送りねじの製造方法
は、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる前記
送りねじの駆動力伝達軸および軸受部材の少なくとも一
方が、転造法により形成されることを特徴とする。これ
により、加工精度が高い送りねじを能率的に製造するこ
とができる。
【００１１】さらにまた、本発明に係る送りねじの製造
方法は、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる
前記駆動力伝達軸および前記軸受部材の少なくとも一方
が、ダイヤモンドチップ、ＣＢＮチップ、ダイヤモンド
の電着工具、ダイヤモンドの焼結工具、ＣＢＮの電着工
具およびＣＢＮの焼結工具からなる群から選ばれたいず
れか１つを用いた精密切削法により形成されることを特
徴とする。これにより、前記駆動力伝達軸と軸受部材の
摩耗および両者の摺動部位における摺動抵抗を一層軽減
することができる。
【００１２】また、本発明に係る送りねじおよびその製
造方法は、アルミニウムまたはアルミニウム合金で形成
された前記送りねじの表面が、ニッケルメッキ処理、無
電解ニッケルメッキ処理またはカニゼンメッキ処理の各
方法を用いて表面処理され、あるいは前記送りねじの表
面が、アルミニウム陽極酸化（アルマイト）処理、また
はマグネシウム陽極酸化処理により表面処理されている
ことを特徴とする。この場合、これらの方法を用いるこ
とにより、表面処理された層をさらに熱硬化処理するこ
とができて好適である。
【００１３】これにより、アルミニウムまたはアルミニ
ウム合金で形成された前記送りねじの表面の硬度と平滑
性が高められ、各部材の摩耗および摺動部位の摩擦抵抗
を一層軽減することができる。また、前記陽極酸化処理
により表面処理された送りねじをさらに熱硬化処理する
ことにより、陽極酸化処理層およびアルミニウムまたは
アルミニウム合金地金層が応力弛緩される効果を得るこ
とができる。さらに、前記陽極酸化処理を着色陽極酸化
処理としてもよく、また、前記陽極酸化された層をさら
に通常よりも軽度の封孔処理を施すようにしても好適で
ある。
【００１４】また、本発明に係る送りねじの製造方法
は、アルミニウムまたはアルミニウム合金で形成された
前記送りねじの表面が、粒径の異なる２種類の粒子を用
いて複数回ショットピーニングにより表面処理され、ま
た、メッキ処理あるいは陽極酸化処理により表面処理さ
れた送りねじを、ショットピーニングにより表面仕上げ
処理されていることを特徴とする。これにより、表面の
粗さや残留応力が軽減された良好な送りねじを得ること
ができる。
【００１５】粒径の異なる２種類の粒子を用いて複数回
のショットピーニングにより表面処理する場合、その複
数回の処理の間に液体ホーニング仕上げ、ラップ仕上げ
またはサンドブラスト仕上げ等の表面仕上げ処理を施す
ことができる。また、複数回のショットピーニング処理
により表面の粗さや残留応力を軽減する方法として、予
め、比較的大きな粒子であってかつ被加工材料であるア
ルミニウムまたはアルミニウム合金に最適なショットピ
ーニング用粒子の寸法を実験的に求めてプログラム化し
ておき、その条件でショットピーニング処理し、引き続
いて粒子寸法を含むショットピーニング条件を深い処理
から浅い処理まで段階的に変化させて行うことが好適で
あり、これらの処理作業は自動化されていることが望ま
しい。このような段階的なショットピーニング処理を、
送りねじのメッキ処理加工等の前に１回または２回以上
行うようにしてもよく、また表面の微細なバリを除去す
るために段階的なショットピーニング処理の前後若しく
はその間に、サンドブラスト仕上げ、バフ仕上げ、また
は液体ホーニング仕上げを行うことも好適である。
【００１６】ショットピーニングにより表面処理または
表面仕上げ処理する前記の方法において、前記送りねじ
の表面に弾性液圧潤滑（Elasto Hydraulic Lubricatio
n）効果を有する傾斜面または油溜めを画成することが
できる。このとき、ショットピーニングに用いる粒子
が、所望の前記傾斜面または油溜めを画成するのに対応
する所定寸法のボール状または多面体状の形状であれ
ば、より好適である。また、ショットピーニング処理に
より、前記送りねじの表面近傍を再結晶硬化し、また
は、部分発熱により熱処理硬化することにより、送りね
じの表面の硬度を一層高くすることができる。一方、シ
ョットピーニング処理により、前記送りねじの表面がシ
ョットピーニングに用いる粒子に含有される金属により
浸透処理されて、金属浸透による表面改質効果を得るこ
とができる。
【００１７】なお、メッキ処理、アルミニウム陽極酸化
（アルマイト）処理、マグネシウム陽極酸化処理あるい
はショットピーニング処理により表面処理された前記送
りねじを、超仕上げ、バフ仕上げ、ラップ仕上げ、液体
ホーニング仕上げ、バニシ仕上げ、ローラ仕上げ、化学
研磨仕上げ、電解研磨仕上げ、サンドブラスト仕上げ、
ダイヤモンド砥石若しくはＣＢＮ砥石研削仕上げ、ドレ
ッシング機構付きダイヤモンド砥石若しくはＣＢＮ砥石
研削仕上げ、およびダイヤモンド電着タップ若しくはブ
ローチタップ切削仕上げからなる群から選ばれた少なく
とも１つの方法により表面仕上げ処理することができ
る。これにより、送りねじの表面の平滑性等の性状を一
層好適なものとすることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明に係る送りねじについてそ
の製造方法との関係で好適な実施の形態を挙げ、添付の
図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１９】図１および図２に示す本発明の第１の実施
の形態に係る送りねじであるボールねじ２は、駆動力伝
達軸４と、前記駆動力伝達軸４に外嵌される軸受部材６
とから構成され、この場合、前記駆動力伝達軸４の本体
はアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成され、ま
た、前記軸受部材６は超高分子量のポリエチレン樹脂材
料で形成されている。アルミニウム製の駆動伝達軸４に
は断面が湾曲した一条の螺旋状凹部８が形成され、この
駆動力伝達軸４には前記軸受部材６が嵌合する。該軸受
部材６は円柱部１０とこれと一体的なフランジ部１２と
を有し、前記駆動力伝達軸４に対応して断面が湾曲した
一条の螺旋状凹部１４が形成されている。前記凹部８と
前記凹部１４とによって画成される断面円形状の一条の
螺旋溝に複数個のボール１６が介装される。なお、図２
中、参照符号１８は、軸受部材６の円柱部１０の一方の
端部から他方の端部へと前記ボール１６を返送するため
の溝を示す。
【００２０】図３は、本発明の第１の実施の形態に係る
ボールねじ２を装備したアクチュエータの要部分解斜視
図である。
【００２１】このアクチュエータ２０は、長手方向に沿
って貫通する複数の流体通路２２ａ〜２２ｄおよび溝部
２４ａ、２４ｂを有するフレーム２６と、前記フレーム
２６の対向する側面部に前記溝部２４ａ、２４ｂを介し
て着脱自在に設けられた一対のサイドカバー２８ａ、２
８ｂと、前記フレーム２６の長手方向の両端部に夫々装
着されるエンドカバー３０ａ、３０ｂとを含む。なお、
前記サイドカバー２８ａ、２８ｂおよびエンドカバー３
０ａ、３０ｂによって閉塞される部分を除く上部開口部
は、図示しないトップカバーにより閉塞されている。
【００２２】前記フレーム２６の上面部には、長手方向
に沿って該フレーム２６と一体的に設けられた一対のガ
イドレール３２ａ、３２ｂを含むガイド機構３４が設け
られる。前記一対のガイドレール３２ａ、３２ｂ間には
モータ３６が固設され、ブロック体３８内に配設された
図示しないカップリング部材によって前記モータ３６の
回転駆動力をボールねじ２に伝達している。前記駆動力
伝達軸４は、一端部が支持ブロック４０によって回動自
在に支持されている。
【００２３】図４に本発明の第２の実施の形態に係る送
りねじであるすべりねじ２ａを示す。このすべりねじ２
ａは、図示しない駆動源からの回転駆動力を伝達する駆
動力伝達軸４ａをアルミニウムまたはアルミニウム合金
とし、前記駆動力伝達軸４ａに係合する軸受部材６ａを
ポリアセタール樹脂としている。なお、図４中、参照符
号８ａは一条の螺旋状凹部を示し、参照符号１０ａは円
柱部を示し、参照符号１２ａはフランジ部を示す。ま
た、参照符号１４ａは軸受け部材６ａに形成された一条
の螺旋状凹部を示す。
【００２４】本発明の第１および第２の実施の形態に係
る送りねじであるボールねじ２およびすべりねじ２ａに
よれば、駆動力伝達軸４、４ａがアルミニウムまたはア
ルミニウム合金で構成され、軸受部材６、６ａが合成樹
脂材料で構成されているために、駆動力伝達軸と軸受部
材との摺動部位における摩擦抵抗を軽減するとともに、
軽量化を図ることができる。
【００２５】上記した本発明に係る送りねじおよびその
製造方法は、前記送りねじ（ボールねじ２、送りねじ２
ａ）のみならず、アクチュエータ２０を構成する駆動力
伝達手段（駆動力伝達軸４、４ａ）以外の支持ブロック
４０、移動体４２、ガイドレール３２ａ、３２ｂを含む
ガイド機構３４等の各構成要素に対して適用することが
でき、さらにアクチュエータ１０全体をアルミニウムま
たはアルミニウム合金で形成することもできる。さらに
また、アクチュエータ２０を戴置する機械装置をアルミ
ニウムまたはアルミニウム合金で形成してもよく、前記
アクチュエータ２０の送りねじと直交若しくは任意の角
度で組み合わされて一体的に動作する他のアクチュエー
タとの接続部材や他のアクチュエータ本体にも適用する
ことができる。ここでアクチュエータと接続部材等を一
体的に形成する方法としては、鋳造、押し出し、引き抜
き、鍛造等の各方法を用いることができる。このように
構成されたアクチュエータは半導体製造装置としても好
適に用いることができる。一方、本発明に係る送りねじ
は、アクチュエータばかりでなく、一般工作機械あるい
はロボット装置等の送りねじとしても好適に用いること
ができる。
【００２６】図５〜図７にアクチュエータ全体をアルミ
ニウムまたはアルミニウム合金で形成した例を示す。図
５〜図７においては、ともにモータおよび送りねじが固
設されたガイド機構と該ガイド機構を受けるフレーム部
分を示すアクチュエータの部分断面図であるが、構造
上、図３に示すアクチュエータ２０とは異なる。すなわ
ち、図３に示すアクチュエータ２０では、ガイドレール
３２ａ、３２ｂ上をガイド機構３４が摺動する構造とな
っているが、図５〜図７に示すアクチュエータでは、ガ
イド機構４４ａ〜４４ｃとガイドレール４６ａ、４６
ｂ、４８ａ、４８ｂ、５０ａ、５０ｂとの間に形成され
る各４カ所の周回溝５２ａ〜５２ｄ、５４ａ〜５４ｄ、
５６ａ〜５６ｄにボール５７が介装されており、該周回
溝５２ａ〜５２ｄ、５４ａ〜５４ｄ、５６ａ〜５６ｄを
転動する該ボール５７を介して該ガイドレール４６ａ、
４６ｂ、４８ａ、４８ｂ、５０ａ、５０ｂ上を該ガイド
機構４４ａ〜４４ｃが移動する構造となっている。ま
た、これに関連して、送りねじ５８ａ〜５８ｃとモータ
６０ａ〜６０ｃとの直結部分のセンタリングがある程度
変位しても安定した駆動動作を行うことができるように
オルダム継手６２ａ〜６２ｃにより送りねじ５８ａ〜５
８ｃとモータ６０ａ〜６０ｃとが接続されている。
【００２７】さらに、図５〜図７に示すアクチュエータ
には、個別の構造上の相違がある。図５に示すアクチュ
エータにおいては、フレーム６４ａは３分割構造となっ
ており、相互にねじ止めされている。３分割された前記
フレーム６４ａの中央に位置するフレーム部位の両端部
にはガイドレール４６ａ、４６ｂが上向きに設けられて
おり、これに嵌合して凹形状の溝が下向きに形成された
ガイド機構４４ａが戴置されており、ガイド機構４４ａ
の中央部には送りねじ５８ａとモータ６０ａとが配設さ
れている。
【００２８】図６に示すアクチュエータにおいては、矩
形状に形成されたガイド機構４４ｂの中央部に送りねじ
５８ｂとモータ６０ｂとが設けられ、該ガイド機構４４
ｂは、上部を除く３方向から一体型のフレーム６４ｂに
よって囲まれた構造となっている。ガイド機構４４ｂは
その側面に設けられたガイドレール４８ａ、４８ｂの周
回溝５４ａ〜５４ｄ間を転動するボール５７を介してガ
イドレール４８ａ、４８ｂに支持されている。この場
合、周回溝５４ａ〜５４ｄのうち、ボール５７が周回す
る内側の溝部位はガイド機構４４ｂの荷重を直接には受
けない位置に形成されている。
【００２９】図７は、図５に示すアクチュエータの変形
例を示しており、フレーム６４ｃでは、図５のアクチュ
エータに設けられていた両端部のフレーム部位を有しな
い一方、図６のアクチュエータと同様に、各周回溝５６
ａ〜５６ｄのうち、ボール５７が転動される外側の溝部
位では荷重を直接には受けない構成を採用している。円
滑な摺動とボール５７の返送動作を確保するためであ
る。
【００３０】これらの例において、図８に示すように、
前記ガイドレール４６ａ、４６ｂ、４８ａ、４８ｂ、５
０ａ、５０ｂの前記周回溝５２ａ〜５２ｄ、５４ａ〜５
４ｄ、５６ａ〜５６ｄの断面形状をゴチックアーチ６５
の形状に形成すれば、ボール５７との摺動部位の摩耗抵
抗がより好適に軽減される。
【００３１】本発明の第１または第２の実施の形態に係
る製造方法により送りねじをアルミニウムまたはアルミ
ニウム合金で形成する場合、転造法、あるいはダイヤモ
ンドチップ、ＣＢＮチップ、ダイヤモンドの電着工具、
ダイヤモンドの焼結工具、ＣＢＮの電着工具、ＣＢＮの
焼結工具等を用いた精密切削法が好適である。この場
合、前記送りねじを回転数が１００００〜３００００ｒ
ｐｍの超高速切削工具により切削することもでき、ま
た、これらの方法に代えて、前記送りねじの駆動力伝達
軸および軸受部材の少なくとも一方を汎用のチップ切削
工具で切削し、または軸受部材をタップまたはブローチ
タップのうちのいずれかの切削工具で切削することによ
り、所望の表面性状をもつ送りねじを簡便に製造するこ
とができる。
【００３２】また、図９に示すように、アルミニウムま
たはアルミニウム合金で形成された前記送りねじの内面
研削をスパイラル動作するグラインディングセンタ６６
により行うことも好適であり、その際、切削油に代え
て、吹き付け部６８より高圧空気あるいは高圧ガスを吹
き付けることができる。グラインディングセンタ６６
は、研削工具６９と、テーブル７０と、ターンテーブル
７２と、ヘッド７４と、フレーム７６とから構成されて
おり、研削工具６９を除く各部材がアルミニウムまたは
アルミニウム合金で形成されている。
【００３３】研削工具６９はテーブル７０に固設され、
該テーブル７０はフレーム７６の立設する部材に昇降自
在に係合されている。被加工材である送りねじ（図示せ
ず）を載せるターンテーブル７２は、ヘッド７４上に置
かれている。前記ターンテーブル７２の下部に形成され
た２条の突起部７７ａ、７７ｂと前記ヘッド７４の上部
に形成された２条の溝部７８ａ、７８ｂとが嵌合され、
案内機構を構成することにより該ターンテーブル７２の
溝方向の移動を自在にするとともに、グラインディング
センタ６６の使用時には、該ターンテーブル７２がねじ
７９ａにより任意の位置で固定される構造となってい
る。一方、前記ヘッド７４の下部に形成された２条の突
起部７７ｃ、７７ｄと前記フレーム７６の上部に形成さ
れた２条の溝部７８ｃ、７８ｄとが嵌合され、案内機構
を構成することにより該ターンテーブル７２を介して前
記ターンテーブル７２の溝方向の移動を自在にするとと
もに、グラインディングセンタ６６の使用時には、該タ
ーンテーブル７２がねじ７９ｂにより任意の位置で固定
される構造となっている。前記溝部７８ａ〜７８ｄは直
溝切り加工されている。なお、図９中、参照符号８０は
研削時に発生する研削屑を吸引排出するための負圧源に
接続された吸引機構を示す。グラインディングセンタ６
６は、研削と切削の両方を行うことができるものである
ことが望ましく、さらにまた、被加工材である送りねじ
を自動交換することが可能であること、あるいはパレッ
ト若しくはパーツ送り手段を有するものであることが好
ましい。
【００３４】前記した方法によりアルミニウムまたはア
ルミニウム合金等で形成された送りねじは、その表面を
表面処理し、好ましくは、さらに表面仕上げ処理するこ
とにより摩擦抵抗が著しく減少し、各部材の摩耗がより
一層好適に軽減され、また、硬度等の表面性状が改善さ
れる。
【００３５】表面処理方法としては、ニッケルメッキ処
理、アルミニウム陽極酸化処理等を施し、また、前記し
た表面処理を施した部材の表面処理層を熱硬化処理等に
より改質し、あるいはショットピーニング、バフ仕上
げ、ラップ仕上げ、液体ホーニング仕上げ、バニシ仕上
げ、ローラー仕上げ、化学研磨、電解研磨、サンドブラ
スト仕上げ等の各種仕上げを行う。
【００３６】また、前記送りねじがボールねじである場
合、該ボールねじのボールとして７０００番前後のアル
ミニウムボールを用いると好適である。この際、前記ア
ルミニウムボールの表面をショットピーニングにより表
面処理し、油溜め、またはＥＨＬ効果を有する傾斜面を
画成することができる。また、前記アルミニウムボール
の表面をショットピーニング条件の異なる複数回のショ
ットピーニング処理を行い、表面の残留応力および不純
物を除去するとともに、表面にショットピーニング粒子
の材料である金属を浸透させることができる。
【００３７】なお、送りねじ以外の前記した各部材、装
置においても、本発明に係る製造方法である転造法若し
くはダイヤモンドチップ等を用いた精密切削法等の切削
法、汎用切削工具を用いた切削法等の形成方法や、メッ
キ処理等の各表面処理、超仕上げ等の表面仕上げ処理等
の各方法を好適に用いることができる。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る送り
ねじおよびその製造方法によれば、送りねじの駆動力伝
達軸をアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成し、
前記軸受部材を合成樹脂、アルミニウムまたはアルミニ
ウム合金で形成することにより、各部材の摩耗および摺
動部位における摺動抵抗が減少し、摩擦抵抗が軽減され
るとともに、駆動力伝達手段、特に、前記駆動力伝達軸
の重量が大であることによって生じる、送りねじを装備
する装置の取り付け作業の困難性、取り付け場所に対す
る制約から免れることができ、しかも該駆動力伝達軸が
長尺化しにくいこと、負荷イナーシャが大きいこと等に
より入力トルクが大きくなり駆動源であるモータの小型
化が制限されること等の不具合を解消することができ
る。また、炭素鋼若しくはＳＵＳ材等の強磁性体材料を
用いる場合に生じる磁界中での影響を軽減することがで
きる。
【００３９】さらに、駆動力伝達軸または軸受部材のう
ちの少なくともいずれか一方をアルミニウムまたはアル
ミニウム合金で形成する方法として、転造法、精密切削
法等を用いることにより、加工精度が高い送りねじを効
率的に製造することができる。
【００４０】さらにまた、アルミニウムまたはアルミニ
ウム合金で形成された送りねじの表面にニッケルメッキ
等の表面処理を施すことにより、各部材の摩耗および摺
動部位の摩擦抵抗を一層軽減することができる。
【００４１】また、表面処理された駆動力伝達軸等の各
部材に対して、さらに超仕上げ等の表面仕上げを施すこ
とにより、各部材の摩耗および摺動部位の摩擦抵抗を一
層軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るボールねじの
斜視図である。
【図２】図１のボールねじの一部省略断面図である。
【図３】図１のボールねじを装備したアクチュエータの
要部分解斜視図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係るすべりねじの
一部省略断面図である。
【図５】各部材全体がアルミニウムまたはアルミニウム
合金で形成されたアクチュエータのガイド機構およびフ
レーム部分の概略説明図である。
【図６】図５のアクチュエータの他の例のガイド機構お
よびフレーム部分の概略説明図である。
【図７】図５のアクチュエータのさらに他の例のガイド
機構およびフレーム部分の概略説明図である。
【図８】図５〜図７のアクチュエータのガイドレールの
ボール周回溝の一部省略断面斜視図である。
【図９】本発明に係る送りねじを内面研削加工するグラ
インディングセンタの概略斜視図である。
【符号の説明】
２…ボールねじ ２ａ…すべりねじ ４、４ａ…駆動力伝達軸 ６、６ａ…軸受部
材 ２０…アクチュエータ ２６、６４ａ〜６４ｃ、７６…フレーム ３４、４４ａ〜４４ｃ…ガイド機構 ４０…支持ブロッ
ク ５８ａ〜５８ｃ…送りねじ ６０ａ〜６０ｃ…
モータ ６２ａ〜６２ｃ…オルダム継手 ６５…ゴチックア
ーチ ６６…グラインディングセンタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｆ１６Ｃ 29/06 Ｆ１６Ｃ 29/06

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】駆動力伝達軸および前記駆動力伝達軸に外
    嵌される軸受部材からなる送りねじであって、前記駆動
    力伝達軸をアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成
    し、前記軸受部材を合成樹脂、アルミニウムまたはアル
    ミニウム合金で形成することを特徴とする送りねじ。
  2. 【請求項２】請求項１記載の送りねじにおいて、アルミ
    ニウムまたはアルミニウム合金で形成された前記送りね
    じの表面が、ニッケルメッキ処理、無電解ニッケルメッ
    キ処理またはカニゼンメッキ処理のうちのいずれか１つ
    の方法で表面処理されていることを特徴とする送りね
    じ。
  3. 【請求項３】請求項１記載の送りねじにおいて、アルミ
    ニウムまたはアルミニウム合金で形成された前記送りね
    じの表面が、アルミニウム陽極酸化（アルマイト）処理
    またはマグネシウム陽極酸化処理により表面処理されて
    いることを特徴とする送りねじ。
  4. 【請求項４】請求項１記載の送りねじにおいて、アルミ
    ニウムまたはアルミニウム合金で形成された前記送りね
    じの表面が、粒径の異なる２種類の粒子を用いて複数回
    ショットピーニングにより表面処理されていることを特
    徴とする送りねじ。
  5. 【請求項５】請求項２または３記載の送りねじにおい
    て、表面処理された前記送りねじが、ショットピーニン
    グにより表面仕上げ処理されていることを特徴とする送
    りねじ。
  6. 【請求項６】請求項１乃至５のいずれか１項に記載され
    た送りねじを製造する方法において、アルミニウムまた
    はアルミニウム合金からなる前記送りねじの駆動力伝達
    軸および軸受部材の少なくとも一方が、転造法により形
    成されることを特徴とする送りねじの製造方法。
  7. 【請求項７】請求項１乃至５のいずれか１項に記載され
    た送りねじを製造する方法において、アルミニウムまた
    はアルミニウム合金からなる前記駆動力伝達軸および前
    記軸受部材の少なくとも一方が、ダイヤモンドチップ、
    ＣＢＮチップ、ダイヤモンドの電着工具、ダイヤモンド
    の焼結工具、ＣＢＮの電着工具およびＣＢＮの焼結工具
    からなる群から選ばれたいずれか１つを用いた精密切削
    法により形成されることを特徴とする送りねじの製造方
    法。
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