TW401495B - Feed screw and method for producing the same - Google Patents

Description

401495 五、發明說明α) 技術領域 本發明係關於一種饋送螺桿及其製造方法，更 之，係關於介以驅動力傳達裝置將驅動源之驅 ς 移動體上，並藉由使前述移動體移位於預定方 搬送工作件之％動器（actuat〇r)用驅動力傳達 的饋送螺桿及其製造方法。 装置等所用 背景技術 習知以來為了搬送工作件而使用各種的”器 (actuat〇r)。該種引動器，具有沿著構成外檀^ 度方向而移位的移動體、及與馬達同轴連結之的長 是滑動螺桿等的饋送螺桿。當馬達之 =珠螺桿或 饋送螺桿而傳達至前述移動體上時，該移動由前述 移位。隨著該種移動體之移位，就可搬送载做直線 上的工作件。 戟罝於該移動體 前述饋送螺桿，通常係使用碳鋼或 屬製或聚縮盤類等的合成樹脂等保持滑=材科等金 然而，對於碳鋼或是不錄鋼材料 氣品…。 言，由於該饋送螺桿係屬於比較重 =^的饋送螺桿而 進行安裝作業的不妥情況。X，該=所以會有難以 通密度變化而對磁埸帶來影響所以盆安ίί，由於會使磁 制的不妥情況。 八文瑕埸所也有受到限 又，對於聚縮醛類等之合 因長期間使用而會在該饋送螺桿之^ 饋送螺椁而言’ 果，會招致馬達之旋轉驅動力對移動體=位發生磨損，結 __ 傳達變戚不良的 第5頁 A:\310317.ptd 五、發明說明（2) 問題。為了防止該種磨損，雖然只要在饋送 說 位塗佈滑脂（grease )等的潤滑油即可 ’、 巧動部 製造設備中之防塵求.高例如半導體 止塵埃混入的環境中，就有無法使必需極力防 本發明係為了解決上述之問題而：m況。 提供一種可減低各構件之磨損及滑動部雇二，=在於 時可減輕饋送螺桿之重量且容易進行安擦阻力，同 到安裝埸所限制的饋送螺桿及其製業，及不會受 發明之据示 、冼。 關於本發明之饋送螺桿，只里 外嵌於前述驅動力傳達轴上的軸承^驅動力傳達軸、及 力傳達軸係由鋁或鋁合金所形成，^、’而其中前述驅動 樹脂、鋁、或鋁合金之1中則述軸承構件係由合成

〇孟 < 吳甲—種所形 力X 此情況，作為合咸樹脂之較佳例，π 0 超高分子量之聚乙烯等為例。 ’可列舉聚縮醛類、 依此就可減少構成饋送螺桿 承構件之磨損’且減少兩者’ L驅動力傳達轴及軸 〜夕呵有之滑動部 调 低摩擦阻力。又，由於可減低饋 Z中的滑動阻力及減 具備該饋送螺桿之引動器等的安裝2桿之，量，所以可使 且，.可將前述驅動力傳達軸長产化 業變彳于各易進行。而 (inertia)很大而輸入轉矩會變大 者因負載慣量 之馬達予以小型化》又，由於可 所以可將作為驅動源 以沒有安裝場所之限制。 P制帶給礤場之影響，所 又’關於本㈣之饋㈣桿1要在^或㈣金所

401495 五、發明說明（3) 上’依含有無電解鍵錦處理的電鍍處理 以形成鎳皮膜即可。對於該電鍍處理的 σ 予熱硬化處理即可。或是亦可依要進一步施 飞疋丌了依鋁陽極軋化處理或鎂陽極 ίϊΐΪΓ由鋁或鋁合金所形成之構件的表面。 表面的：度及平滑性，且可更加減低各構件之磨$及= = 處尤其是，#由熱硬化處理依前述陽極氧 ΪS:ίί 的構件，就可獲得可使陽極氧化處理 層及鋁或鋁合金本質金屬層之應力鬆弛緩和的效果。再者 ，亦：將前述陽極氧化處理改為著色陽極氧化處理，且亦 可對刖述被陽極氧化之層施予比平常更輕度的封孔處理。 又，只要由鋁或是鋁合金所形成之構件的表面，係交 互使用粒徑不同之二種類的粒子並藉由施行複數次珠擊法 (shot…⑼““處理而被表面處理即可。珠擊法處理，亦 可利用電鍍處理或是陽極氧化處理而被表面處理的構件 進行之利用珠擊法處理就可獲得可減低表面之粗度或殘 留應力之良好的饋送螺桿。 、在父互使用粒徑不同之二種類的粒子並施行複數次珠 擊法處理的情況，首先，要使用大粒徑的粒子並使其表面 硬化i接著，使用小粒徑的粒子在其表面上形成微細的凹 凸。刖述凹凸，發揮後述之貯油部的功能。 另外’此情況’只要在各次的珠擊法處理之間施行液 體搪光（h〇ning)、研光（lapping)或是喷砂等的表面完工 處理即可。

401195 五、發明說明（4) 留應力的：：複5次之珠擊法處理以減低表面之粗度或殘 為被加工的驗求出最適於比較大的粒子且 之兹·？彳卜科的鋁或疋鋁合金之珠擊法用粒子的尺寸以使 子尺^之接i利用該條件進行珠擊法處理，接著使含有粒 而谁轩擊法條件階段性地從工作件之表面變化至内部 佳。為佳，且以自動化方式進行該等的處理作業為更 A亦可在饋送螺桿之電鍍處理加工等之前進行一次或二 種ϊ段性？珠擊法處理…，若在階段性的 、 之則後或是其間進行喷砂、擦光（buff ing)、 液：搪光的話，則由於可除去工作件之表面的微 邊所以較佳。 〜 在利用珠擊法處理而進行表面處理或是表面完工處理 的方法中，只要在前述饋送螺桿之表面形有 ^骨aust〇hydr〇dynaDlic Lubrication)效果的= = 疋貯油部即可。因而，在進行珠擊法處理時，使用可形 所期望尺寸之前述傾斜面或是貯油部之尺寸的球狀或^ 面體狀之形狀的粒子為佳。 又，利用珠擊法處理，且藉由使構件之表面附近再锋 晶硬化，或是藉由依部分發熱而使之熱硬化，就可使: 之表面更加高硬化。再者，若依據珠擊法處理的話， 於在構件之表面上次透了含有珠擊法所用的粒子之金， 所以依金属浸透亦可獲得表面改質的效果。 另外，只要利用由超完工、擦光（buffing)、研光 Μ

第8頁 A:\310317.ptd 401495 五、發明說明（5) (lapping)、液體搪光（liquid honing)、屋光 (burn i shi ng)、輥子完工（roller finish)、化學研磨完 工、電解研磨完工、喷砂（sand blasting)、鑽石磨石或 是氮化硼磨石研削完工、附有修整機構（dr ess i ng)之鑽石 磨石或是氮化硼磨石研削完工、或者鑽石電附積螺絲攻或 是拉刀螺絲攻（broach tap)切削完工所組成的群組中所選 擇之至少一個方法而表面完工處理，依電渡處理、铭陽極 氧化處理、鎂陽極氧化處理或是珠擊法處理而被表面處理 的構件即可。依此’就可更加使構件之表面的平滑性等成 為良好。 有 鋁或鋁 方即可 金邊按 傳達轴依 又 由鑽石工具、 燒結工 而由銘 的一方 關本發 合金製 。亦即 壓模子 或是軸 此就可 ，有關 切角（d 鑽石之 具所組 或鋁合 即可。 明之饋 作驅動 ，使鋁 邊進行承構件 有效率 本發明 i amond 燒結工 成的群金製作 送螺桿之 力傳達轴 或是銘合 冷間或是 之至少任 地製造加 之饋送螺 chip)、 具、氮化 组中所選 驅動力傳 製造方法，只要依滾製法由 或轴承構件之至少其中的一 金旋轉，並對該鋁或是铭合 熱間加工，以形成方力 一方上。 工精度 桿之製 氮化硼 硼之電 出之其 達軸或 高的餚送螺桿。 造方法’只要依使用 切角、鑽石之電沈毛 沈積工具、氮化棚泛 中一種的精密切削沒 轴承構件之至少其_

損及傳達轴或…構件磨

五、發明說明（6) 圖式4簡·^% 第1圖為本發明第一實施形態 斜視圖。 <展琛螺柃的局部省略 第2圖為沿著第1圖之滚珠螺 面圖。 仔灸釉線方向的部分縱剖 視 圖 第3圖為裝備有第1圖之滚珠螺桿之引動器的分解斜 第4圖為沿著本發明第二實施形態之滑動螺桿之軸線 方向的部分縱剖面圖。 第5圖為顯示各構件整體係由紹或是銘合金所形成的 引動器之導引機構及框架的部分縱剖面圖。 第6圖顯示第5圖之引動器之另一例的導引機構及框架 的部分縱剖面圖。 第7圖顯示第5圖之引動器之更另一例的導引機構及框 架的部分縱剖面圖。 第8圖顯示設於第5圖至第7圖之引動器上的導執周圍 溝的局部切除斜視圖》 0 第9圖為内面研削加工本發明之饋送嫘桿之磨光中心 (grinding c enter )的概略斜視圖0 所實施之最佳彬熊 就本發明之饋送螺桿列舉在與其製造方法的關係中較 佳的實施形態，且邊參照附圖邊詳細説明如下。 β 第1圖及第2圖之關於本發明第一實施形態的饋送螺桿 的滾珠螺桿2，係由驅動力傳達轴4、及外嵌於前埤驅動力 I麵 A：X3l〇317.ptd

第10 .頁 401495

五、發明說明（7) 傳達抽4之轴承描^本 或是銘合金所H i、°、前述驅動力傳達軸4係由銘 的聚乙烯，脂材：所：成則述軸承構件6係由超高分子量 旋狀=8的驅0動力傳達轴4之外周部，形成有周圍成螺 6。 在該驅動力傳達轴4上嵌合前述軸承構件 的凸ΪΪΐΠ係具有圓柱部10及與該圓柱部10成為-體 你二’並形成有與前述溝部8對應的螺旋狀溝部14 皴叔溝部8和前述溝部14，就可形成複數個滾珠16所 Ϊ Ϊ 道。另外，於第2圖中，參照符號18係顯示將前 1 由轴承構件6之圓柱部10之一方的端部轉送至另 方的端邛用的通路，且依相互务通的前述軌道和通路U 構成滾珠16所轉動的無限循環軌道。 第3圖係顥示如此所構成的滾珠螺桿2，例如適合當作 用以將旋轉驅動源的旋轉驅動力傳達至移動體上的驅動力 傳達將置用的引動器2 〇。 該引動器20，具備有框架26，一對側蓋28a、2 8b及端 蓋30a、30b，前述框架26具有沿著長度方向而貫穿的複數 個流體通路22a至22b及溝部24a、24b ;前述一對側蓋28a 、28b係介以前述溝部24a、24b裝卸自如地設在前述框架 26之兩侧面上；而前述端蓋3〇a、3〇b係分別裝接在前述框 架26之長度方向的兩端部上。另外’未圖示的頂蓋係由前 述端蓋30a、30b支撐在框架26的上方。 在前述框架26之上面部設有導引機構34，該事引機構 ΙϋϋΙ Ι1Η 第11頁 A:\310317. ptd 401495 五、發明說明（8) 34係具備沿著長度方向而與該框架2δ一體設 3二;對導軌32a、32b間固設有馬：2 塊體38内之未圖示的聯結構件，係甩以將 轉驅動力傳達至滚珠螺桿2上。滾珠螺桿2之2 4,其一端係由支撐塊40支撐成轉動自如。冑力傳達軸 又，在前述框架26内，具有用以保持軸 持部，且設有在導軌32a、32b之導引作用下▲、承搛 件6—體移位的移動體42。 下與别遂轴承構 的滑^桿2第Λ圖係顯不本發明第二實施形態之饋送螺桿 該滑動螺桿2a ,係由鋁或是鋁合金 ^以驅動來自未圖示之驅動源的旋轉驅J驅動力傳達軸 述驅動力傳達轴“的轴承構件6 = ’❿扣合在前 。第4圖中，㈣8a係顯示一條的螺旋聚肤缩，類樹脂所形成 顯不圓柱部，符號12a係顯示凸緣部。〖溝^，符號l〇a係 形成於軸承構件6&上的一條螺旋狀的溝付旒1“係顯示 依據有關第一及第二實施形熊之° 2及滑動螺桿2a ’則驅動力傳達軸送螺桿的滾珠螺桿 所以可減低驅動： = = = ;樹腊材料所形成， 位中：摩擦阻力，同時可謀求輕量轴化承構件Ha之滑動部 4a及軸承構:二:由銘再或者是銘若合成驅動力傳達軸4、 銘或是紹合金形成含有支樓塊4(；、疋移饋動送I桿，則亦可以 移動體42、導引機構34 401495

五、發明說明（9) 等的弓丨動器20整體。 再者，亦可由鋁或是鋁合金形成裝備有引動器 械裝置，可以與前述引動器20之馈送螺桿相正交或是任^竟 的角度加以組合且可適用於一體動作之未圖示的另〜卩丨$ 器的連接構件（未圖示）或另一引動器本體上。在此，作為 一體形成引動器和連接構件等的方法，可使用鑄造、擠^ 、抽軋、鍛造等的各方法。如此所構成的引動器亦可較佳 地使用於半導體製造裝置上。 第5圖至第7圖係顯示由鋁或是鋁合金形成引動器整體 的例子。在第5圖至第7圖中，雖為顯示同時固設有馬達及 饋送螺桿的導引機構和接受該導引機構的框架部分之引動 器的部分剖面圖，但是在構造上卻與第3圖所示的引動器 20不同。

亦即，在第3圖所示的引動器2〇中，雖係構成導引機 構34滑動於導軌32a、32b上，但是在第5圖至第7圖所示的 引動器中，係在形成於導引機構44a至44c和導軌46a、46b 、48a、48b、50a、50b之間的各四個部位的周圍溝52a至 52d、5 4a至54d、5 6a至5 6d上介裝有滾珠57，且介以轉動 $周圍溝52a至52d、54a至54d、56a至56d的該滾珠57使該 導引機構44a至44c移動於該導軌46a、46b、48a、48b、 5〇a、5 0b上。又，與此相關聯，利用歐丹（〇ldham’ s)連接 頭62a至62C連接饋送螺桿58a至58c和馬達6〇&至600;，俾使 饋送螺桿58a至58c和馬達60 a至60<：的連結部分之中心有某 種程度之移位亦可進行穩定的驅動動作。

401495 五、發明說明（ίο) 第5圖至第7圖所示之引動器，在構造上是互為不同者 〇 首先，第5圖所示之引動器，係形成框架64a分割三部 分的構造，且互相螺固著。位於被分割三部分的前述框架 6 4a之中央的框架部位之兩端侧上，有導執46&、46b朝向 上方膨出形成，可支撐對之嵌合且其凹形狀之溝向下所形 成的導引機構44a。又，導引機構44a之中央部配設有饋送 螺桿58a和馬達60a〇 第6圖所示之引動器，係在形成矩形狀之導引機構44b 之中央部設有饋送螺桿58b和馬達60b，該導引機構44b， 係由除了上部的三方向形成由一體成形的框架64b所包圍 的構造。導引機構44b係介以轉動於設在其侧面之導軌 4 8a、48b的周圍溝54a至54d間的滚珠57而支撐在導軌48a 、48b 上。· 第7圖係顯示第5圖所示之引動器的變形例。亦即，該 引動器中之框架64c ’不具有兩端部的框架部位。 在該等例中，如第8圖所示，若將前述導軌46&、4“ 、48a、48b、50a、50b 之前述周圍溝523至52(1、5切至54(1 、56a至56d的剖面形狀形成歌德式拱門（G〇th 6力5之形狀，則可更加地減低與滾珠5?之滑動部位的磨=)阻 在由鋁或是鋁合金製作有關第一或第二 送螺桿之驅動力傳送轴、軸承橋株 也形態之饋 之各構件時，做為其製

I A:\310317. ptd 第14頁 造方法之一者，可採甩滾製法。 亦即，使鋁或是鋁合金旋轉，一面對該鋁或是鋁合金 壓住模具一面進行冷間或熱間加工以成形之。 作為其他的製造方法，較佳者為使用鑽石切角、氮化 :切：、鑽石之電附積工具、鑽石之燒結工具、氮化硼之 電附積：具、氮化硼之燒結工具等的精密切削法。 來切削前述饋㈡；二；：可利用通用的切角工具 ^ ^ a以m迗螺桿之驅動力傳達轴及轴承構件之至少一 方，或疋利用螺絲攻或拉刀螺絲攻中之一 代該等的方法，•此就可簡 期1之符有表面性狀的饋送螺桿。 吓 又，如第9圖所示’亦可利用艘你，. 光中心66進行由銘或是銘二利二螺：(Spiral)動作的磨 此時，只要利用吹氣呷成的構件之内面研削。 壓氣體即可。 P 8替代㈣油來吹高壓空氣或是高 (_磨 69之各=皆係由銘或是銘If所 =成，除了研削工具 沿著=;:;二=;:=7。上，該升降構件70係 一以; 401495 友、發明說明" 一 -- 、78b ’利用構成導引機構使該轉台72可在溝方向上移動 自如’同時在使用磨光中心66時，該轉台72可利用螺針 9a固定在任意的位置上。 另一方面，嵌合有形成於前述底床74之下部的二條突 起部77c、77d和形成於前述框架76之上部的二條溝部78c 、7 8d ’利用構成導引機構並介以前述轉台72以使該轉台 72可在溝方向上移動自如，同時在使甩磨光中心66時，該 轉台72可利用螺釘79b固定在任意的位置上。 另外，第9圖中，符號80係顯示用以吸引排出研削時 所f生之研削層之連接負壓源的吸引機構80。磨光中心66 交研削和切削兩方面者為佳，再者，以可自動 材料的饋送螺桿、或具有托板或者零件饋 方法ί ί ί ίΪ合金等所形成的饋送螺桿，係利用前述之 理就可顯著減少摩與阻六，^2者為更利用表面完工處 且可改盖# # 不 可更佳地減低各構件的磨損， 真』改善硬度等的表面特性。 人傻侦 作為表面處理方法，可盛 、鎂陽極氧化處理等。x 處理、銘陽極氧化處理 表面處理的構件之表面處理層用理等改質施行該種 、液體搪光、壓光、輥子& 或疋亦可進行擦光、研光 砂等的各種完工處理。70 、化學研磨、電解研磨、噴 又’在前述饋送螺桿為步 珠，較佳是依JIS規格使用、由1珠螺桿時’該滾珠螺桿之滾 由紹合金編號7000號數前後的

A:\310317.ptd 第16頁 五、發明說明（13) 要利用珠擊法處 具有彈性流體潤 ’亦可利用珠擊 桿、或滑動螺桿 傾斜面或是貯油 ’進行珠擊法條 面之殘留應力及 金屬浸透在表面 述的各構件、裝 滚製法或是鑽石 用切削工具之切 面處理、超完工 理來表面 滑效果的 法處理來 之表®， 部等》 件不同之 雜質，同 上。 置中，亦 切角等的 削法等的 等的表面 適用於引動器中之驅動力 送螺桿’但是並非被限定 是機械人裝置等的饋送螺 銘合金所構成的滾珠。此時，只 處理前述鋁滾珠之表面，以形成 傾斜面或是貯油部等即可。再者 表面處理作為饋送螺桿之滾珠螺 以形成具有彈性流體潤滑效果的 、 又’可對前述紹滾珠之表命 複數次的珠擊法處理，以除去表 %可使作為珠.擊法粒子之材料的 另外，在饋送螺桿以外之前 可使用有關本發明之製造方法的 精密切削法等的切削法、使用通 =成方法、或電鍍處理等的各表 元工處理等的各方法。 、在上述之實施形態中，雖係 傳達裝置而說明有關本發明之饋 於此，亦可適用於一般工作機或 棒〇 利用性 或a依據本發明之饋送螺桿，則由於驅動力傳達軸可由鋁 紹合金形成’且軸承構件可由合成樹脂、銘或是铭合 位中任一種來形成，所以可減少各構件之磨損及滑動部 逑驅之滑動阻力’且可減低摩擦阻力。又’由於可減輕前 裝作動力傳達轴之重量’所以裝備有饋送螺桿之裝置的安 " 業可變得容易。再者，藉由使驅動力傳達轴長度化、

五、發明說明（14) 或加大負裁慣性而使輸入轉矩. 以小型化。而Η 丄 1 文入就j便驅動源之馬達得 而且’由於可抑制對磁 所不會受到限制。 ，办等所以女裝％ 再者藉由在由鋁或是鋁合金所形成的構件t@ 施行電鍍4理、嗒权每化在 Α W稱仔之表面上 4-τ* 陽極乳化處理、珠擊法處理等的表面處理 ’沈可更加減低各構件之廢招典 處· 傅什之歷鈿及'月動部位之摩擦阻六。 ，對被表面處理之驅動力傳達轴摄 -步施行超完工等的表面完工處理，1C:、更進 構件之磨損及滑動部位之摩擦阻力。a ，β更加減低各 又’若依據有關本發明之饋送螺桿之製诰古、土 t ^ 於使用鋁或暑鋁入金，* 4丄、A k方法，則由 作驅動六播* : β虹精由、滾製法或是精密切削法來製 二：動力傳達韩或是轴承構件中之至少一η 精度且有致率地製造饋送螺桿之構件：斤以可尚加

Claims (1)

1. 附件-40i4S5 案號 8712184.?

   丨月 六、申請專概® ^ ^-----—修正 1. 一種饋送螺桿（2，2a、 a ^ (4，4a);及外嵌:驅動力傳達轴 承構件（6，6a)， ^驅動力傳達轴（4，4a)上的轴 合金ί Ϊ :在而Ϊ t驅動力傳達軸(4，4a)係由銘或銘 銘、或銘合金之其中一種所形成。）係由口成樹月曰 如申請專利範圍第1項之饋送螺桿（2，2a)，其中，前 述驅動力傳達軸（4，4a、弋▲.七缸之 ）其中刖 少苴中一方的矣2 4a)或别述軸承構件（6 ,6a)之至 如上，係依電鍍處理形成有鎳皮膜。 如申請專利犯圍第i ,員之饋送螺桿（2 ,2 4 a)或刖述轴承構件（6，6a)之至 > 一方表面係依鋁陽極氧化處理或鎂陽極氧化 處理而被表面處理者。 如申請專利範圍第1項之饋送螺桿（2，2a)，其中， 述驅動力傳達軸（4，4心或前述軸承構件（6 /6a)中之 ^少一方表面係交互使用粒徑不同之二種類的粒子並 二由施行複數次珠擊法（sh〇t peening)處理而被表面 處理者。 如申請專利範圍第2項之饋送螺桿（2，2a)，其中，前 述鎳皮膜係依珠擊法處理作表面完工處理者:用 如申請專利範圍第2項之饋送螺桿（2，2a)，其中，錄 皮膜係利用由超完工、擦光（buff ing)、研光 ” (lapping)、液體搪光（iiQUid honing)、消散完工 (burnishing)、輥子完工（r〇Uer finish)、化學研磨 2. 3. 4. 5. 6.

   A:\310317.ptc 第1頁 2000.01.26.019 附件-40i4S5 案號 8712184.?

   丨月 六、申請專概® ^ ^-----—修正 1. 一種饋送螺桿（2，2a、 a ^ (4，4a);及外嵌:驅動力傳達轴 承構件（6，6a)， ^驅動力傳達轴（4，4a)上的轴 合金ί Ϊ :在而Ϊ t驅動力傳達軸(4，4a)係由銘或銘 銘、或銘合金之其中一種所形成。）係由口成樹月曰 如申請專利範圍第1項之饋送螺桿（2，2a)，其中，前 述驅動力傳達軸（4，4a、弋▲.七缸之 ）其中刖 少苴中一方的矣2 4a)或别述軸承構件（6 ,6a)之至 如上，係依電鍍處理形成有鎳皮膜。 如申請專利犯圍第i ,員之饋送螺桿（2 ,2 4 a)或刖述轴承構件（6，6a)之至 > 一方表面係依鋁陽極氧化處理或鎂陽極氧化 處理而被表面處理者。 如申請專利範圍第1項之饋送螺桿（2，2a)，其中， 述驅動力傳達軸（4，4心或前述軸承構件（6 /6a)中之 ^少一方表面係交互使用粒徑不同之二種類的粒子並 二由施行複數次珠擊法（sh〇t peening)處理而被表面 處理者。 如申請專利範圍第2項之饋送螺桿（2，2a)，其中，前 述鎳皮膜係依珠擊法處理作表面完工處理者:用 如申請專利範圍第2項之饋送螺桿（2，2a)，其中，錄 皮膜係利用由超完工、擦光（buff ing)、研光 ” (lapping)、液體搪光（iiQUid honing)、消散完工 (burnishing)、輥子完工（r〇Uer finish)、化學研磨 2. 3. 4. 5. 6.

   A:\310317.ptc 第1頁 2000.01.26.019 401495 正 i號8712〗8狀 六、申請專利範圍 7. 元工、電解研磨完工、喷砂（sand blasting)、鑽石磨 石或是氮化硼磨石研削完工、附有修整機構之鑽石磨 石f是氮化蝴磨石研削完工、或者鑽石電沈積螺絲攻 或是拉刀螺絲攻（br〇ach tap)切削完工所組成的群組 中所選擇之至少—個方法而作表面完工處理者。 如申請專利範圍第3項之饋送螺桿（2，2a)，其中，施 予銘陽極氧化處理或鎂陽極氧化處理之前述驅動力傳 達轴（4，4a)或前述軸承構件（6，6“之至少一方表面 係依珠擊法處理而作表面完工處理者。 如申請專利範圍第3項之饋送螺桿（2，2a)，其中，施 予鋁陽極氧化處理或鎂陽極氧化處理之前述驅動力傳 達軸（4 ’ 4a)或前述軸承構件（6，6 一 係利用選自超完工、捧#〜丁 m, 衣面 光完工、消散完工、工、液體搪 工所成組群之至少一拉刀螺絲攻切削完 9 之饋送螺桿(2,2a>，其中，使 用刖述粒检不同之二種類的粒便 述驅動力傳達轴（44 之珠擊法處理係對前 少一方表面，首先以大)粒或/粒4^承構件（6七）之至 粒徑粒子施加珠擊的處；施加珠擊，其次以小 子之珠擊而硬化’依小粒=述表面係依大粒徑粒 /子之珠擊而形成有微細

   401495 曰 修正 ------------- 年 六、申請專利範圍 的凹凸。 10.如申請專利範圍第5項之饋送螺桿（2，2a)，其中，施 2珠擊法處理的前述驅動力傳達軸（4，4a)或前述軸承 ，件（6，6a)之至少一方表面係利用選自超完工、擦光 疋工、研光具完工、液體搪光完工、消散完工、 完工、化學研磨完工、電解研磨完工、；：完工輥： 2石或是說化硼磨石研削完工、附有修整機構之鑽 2石或是氮化硼磨石研削完工、或者鑽石電沈積螺 J或疋拉刀螺絲攻切削完工所成組群之至少一個方 法而作表面完工處理者。 U.如申請專利範圍第7項之饋送螺桿（2，2a)，里中，施 u擊法處理的前述驅動力傳達軸（4，4a)或前述軸承 ^ 6，6a)之至少一方表面係利用選自超完工、擦光 " 研光具元工、液體搪光完工、消散完工、概子 完工、化學研磨完工、電解研磨完工、噴砂完工、鑽 】：石或是氮化硼磨石研削完工、附有修整機構之鑽 或是氮化硼磨石研削完工、或者鑽石電沈積螺 或是拉刀螺絲攻切削完工所成組群之至少一個方 法行被表面完工處理者。 I2·=申請專利範圍第9項之馈送螺桿（2，2a)，其中，施 ^ ^^法處理的前述驅動力傳達軸（4，4a)或前述軸承 ，6a)之至少一方表面係利用選自由超完工、擦 ^工、研光具完工、液體搪光完工、消散完工、輥 元 化學研磨70工、電解研磨完工、喷砂完工、

   A:\310317.ptc 第3頁 2000.01.26.021 401495 ___蜜號 87121848_年月曰___ 六、申請專利範園 鑽石磨石或是氮化硼磨石研削完工、附有修整機構之 鑽石磨石或是氮化硼磨石研削完工、或者鑽石電沈積 螺絲攻或是拉刀螺絲攻切削完工所成組群之至少一個 方法而施行表面完工處理者。 13.如申請專利範圍第1項之饋送螺桿（2，2a)，其t，前 述驅動力傳達轴係由滾珠螺桿（2)所構成，前述滾珠螺 捍（2)係連結在旋轉驅動源（3 6 )之驅動轴上且藉由將前 述旋轉驅動源（36)之旋轉驅動力傳遞至移動體（42) 上，以使移動體（42)可適用於沿著框架（26)之長度方 向設計成移位自如的引動器（20)上。 14.如申請專利範圍第1項之饋送螺桿（2，2a)，其中，前 述驅動力傳達轴係由滑動螺桿（2a)所樣成，前地滑動 螺桿（2 a )係連結在旋轉驅動源（3 6 )之驅動轴上且藉由 將別述旋轉驅動源（36)之旋轉驅動力傳遞至移動體 (42)上’以使移動體（42)可適用於沿著框架之長 度方向設計成移位自如的引動器（2〇)上。 15·如申1專利範圍第13項之饋送螺桿（2，2a)，其中，扣 =在刖述滾珠螺桿（2)及與該滾珠螺桿（2)的複數個滾 1 6 )之表面上’藉由珠擊法處理而施行表面處理以 形成有傾斜面或貯油部。 16. Ϊ :=專利範圍第14項之饋送螺桿（2，2a)，其中，在 2 ^虛動螺杯之表面上，藉由珠擊法處理而施行 處理以形成有傾斜面或貯油部。 ^如申請專利範圍第i項之饋送螺桿（2，2a)，其中，由

   401495 -----案號87121848_车 月 I 修---------- 六、申請專利範圍 鋁或鋁合金製作之驅動力傳達軸（4 ’4a)或軸承構件 (6，6 a)之至少一方係由滾製法製成者。 18.如申請專利範圍第1項之饋送螺桿（2，2a)，其中’驅 動力傳達軸（4，4a)或軸承構件（6，6a)之至少一方係 使用選自鑽石切角（diamond chip)、氮化硼切角、鑽 石之電沈積工具、鑽石之燒結工具、氮化硼之電沈積 工具、氮化硼之燒結工具所成组群之其中一種的精密 切削法而由銘或銘合金製作者。