CN1491146A - 化学机械加工和表面精加工 - Google Patents

化学机械加工和表面精加工 Download PDF

Info

Publication number
CN1491146A
CN1491146A CNA028047672A CN02804767A CN1491146A CN 1491146 A CN1491146 A CN 1491146A CN A028047672 A CNA028047672 A CN A028047672A CN 02804767 A CN02804767 A CN 02804767A CN 1491146 A CN1491146 A CN 1491146A
Authority
CN
China
Prior art keywords
workpiece
instrument
conversion coating
active chemistry
coupling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA028047672A
Other languages
English (en)
Inventor
M��D������
M·D·米肖德
G·斯罗卡
¿
L·W·温克尔曼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rem Technologies Inc
Original Assignee
Rem Technologies Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rem Technologies Inc filed Critical Rem Technologies Inc
Publication of CN1491146A publication Critical patent/CN1491146A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/042—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces operating processes therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B33/00—Honing machines or devices; Accessories therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/11—Lapping tools
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B5/00—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor
    • B24B5/36—Single-purpose machines or devices
    • B24B5/42—Single-purpose machines or devices for grinding crankshafts or crankpins
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C22/00—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C22/73—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals characterised by the process
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F3/00—Brightening metals by chemical means

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Chemical Treatment Of Metals (AREA)
  • Dental Preparations (AREA)
  • Milling Processes (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Gear Processing (AREA)

Abstract

在此描述的发明公开了一种化学机械加工和表面精加工方法。在一工件的表面形成了一转化涂层，并且通过该工件与工具之间的相对运动来去除它，从而暴露了该工件以进一步与该活性化学物质发生反应。使用较低的机械力，从而不超过该工件的塑性变形、剪切强度、抗拉强度和/或热降解温度。因为该化学机械加工和表面精加工方法需要很少的力和/或接触速度即可去除该转化涂层，所以设备的体积、复杂性和成本可以被明显减小，同时提高了加工精确度。本发明本身导致非常受控的金属去除速度，并且可以简单地表面精加工该工件，或必要时，可以在表面精加工该工件的同时进行成形和/或定尺。

Description

化学机械加工和表面精加工
背景技术
传统的机械加工是侵蚀性强的加工。即便是在显微等级下，由于施加高度集中的力且随之造成局部高温峰值，所以，不管多么小心警惕，这种加工几乎总是导致冶金学损坏。这种损坏可能包括微裂纹、应力集中点的引入、氧化、相变和有益的残余压应力的降低和显微硬度的降低。研磨加工例如可以产生足够多的热量，以至对硬化工件的表面进行回火，这经常被称为研磨烧伤，由此降低了工件的磨损疲劳性能和接触疲劳性能。另外，传统的机械加工一直产生毛边和加工线痕。这些残留的毛边和加工线痕必须从重要表面上除去，以减小磨损、摩擦、工作温度、划伤、接触疲劳失效(蚀斑)和/或各种动态疲劳失效如弯曲疲劳、扭曲疲劳和轴向疲劳。
除工件的冶金学损坏外，传统的机械操作在制造精确度极高的工件时还存在着内在限制。如上所述，机械加工涉及借助工具从工件上主动剪切下金属，其中工具高速且/或高压力地移动。因此，工具磨损在该方法中是必然的。但是，保持工件之间的尺寸精确度依赖于保持工具尺寸稳定性的能力。当工件硬度增加到40HRC或更高时，工具磨损变得非常成问题。如齿轮或轴承通常被硬化到55HRC-65HRC或更高。
引导切削工具的机器有自己一套限制高精确度的固有限制条件。驱动工具的机械装置的某些限制例如包括几何形状误差、进给速度误差、驱动磨损、振动和滞后。通常，机器体积庞大以保持所需的刚性，从而能精确施加尤其从较硬工件上去除金属所需的强大的力。由切削负荷引起的显著的热变形和结构偏差也可能成为问题，尤其是对精密工件而言。
除加工线痕以外，为实现工具主动切削动作而施加的力也产生了引起颤动的振动。通常，通过多步加工过程来减小颤动和加工线痕。例如，在高质量齿轮的情况下，齿轮必须进行研磨，随后被搪磨以减小由机加工产生的颤动和加工线痕。如果没有非常小心，则研磨和搪磨过程可能对工件的临界接触面造成严重的冶金学损坏。只有通过费事的全面检查才能保证工件质量。
不能过分重视光滑面精加工的重要性，例如尤其是对金属与金属接触的工件如齿轮、轴承、齿条、机轴和凸轮轴来说，它们经常具有很难去除的机加工线痕或研磨线痕或其它表面缺陷。对这些工件来说，粗糙度可能增大摩擦、噪音、振动、磨损、划伤、蚀点、剥落、工作温度并且削弱润滑性。对承载物件来说，在表面上的加工线痕可能成为承受脉动应力和应变的工件的疲劳断裂的引发点。结果，人们非常需要消除由传统加工线痕造成的应力源。
对工件进行表面精加工的一种方法就是通过传统的多步连续精细研磨、搪磨及精研来机加工表面。获得a＜2微英寸Ra的研磨面要求时间、多个步骤和工艺技术状态。复杂的表面形状要求昂贵的且非常复杂的机械、昂贵的工具和耗时的维护。除成本以外，这种加工还产生了方向线和引起回火和微裂纹的潜在可能，这会破坏热处理表面的完整性。如上所述，优质工件需要利用一种技术如硝酸酒精腐蚀对研磨硬化面进行费事的全面检查。这种方法的另一个缺点是，研磨颗粒被注入表面，由此造成应力源、润滑剂残余和/或磨损。
发明内容
在此描述的发明公开了一种化学机械加工和表面精加工的方法。一活性化学物质与一工件的表面发生反应，从而在工件表面上形成一个柔软的转化涂层。转化涂层不溶于活性化学物质中，从而保护工件的基体金属不会进一步与活性化学物质发生反应。一个接触工具借助相对运动从该工件上除去转化涂层，从而招致新金属面进一步与活性化学物质发生反应，这允许转化涂层重新形成在工件上。
低机械力被用于从工件上除去转化涂层，其中不超过工件基体金属的塑性变形、剪切强度、抗拉强度和/或热软化温度。因此，这种化学机械加工方法消除了与传统机加工有关的回火、微裂纹、应力源和其它冶金学损坏的潜在可能性。因为化学机械加工及表面精加工方法需要很小的力和/或接触速度来去除转化涂层，所以与传统机加工设备相比，显著缩小了设备的体积、复杂性和成本，同时可以提高机加工精确度。工具磨损由于能够在更小的切削力、速度和工作温度下工作而是最小的，或者没有磨损。这些参数的减小允许工具由非磨蚀性或略有磨蚀性的材料制成，这些材料比工件的基体金属软。工具可以是刚性或柔性的，以便适应于工件表面。
在某些应用场合中，可以完全取消机加工设备，其中，在相对运动中并承受负载的配磨工件起到从它们的对置接触面上去掉转化涂层的工具的作用。本发明本身能够适应非常受控制的金属去除速度，并且恰好能够进行工件的表面精加工，如果需要，它可以与工件的成形和/或定尺同时地进行表面精加工。如本文所用的，“表面精加工”表示从工件表面上去掉金属，以减小粗糙度、波度、加工痕迹和裂纹。“定尺”表示从工件表面上均匀去除金属以使其符合适当尺寸。“成形”表示从工件表面上有差异地去除金属以使其符合适当的形状。“成形”包括钻、锯、镗、切削、铣、车削、磨削、刨削等。
附图说明
图1表示一个用于例2、3的Falex Corporation FLC LubricityTester的例子。
图2表示另一个用于例4、5的Falex Corporation FLC LubricityTester的例子。
具体实施方式
代替传统的冷却润滑剂，在此描述的化学机械加工和表面精加工方法采用能够与金属工件表面发生反应的水基或有机基活性化学物质，常见的金属是铁、钛、镍、铬、钴、钨及其合金。活性化学物质首先被输入成形、定尺和/或表面精加工的设备中，从而与工件的基体金属发生反应并由此形成一个柔软的转化涂层。转化涂层不溶于活性化学物质中，从而保护工件的基体金属不会进一步与活性化学物质发生反应。转化涂层可以包括如金属氧化物、金属磷酸盐、金属草酸盐、金属硫酸盐或金属铬酸盐。
在转化涂层形成后是在工具与工件之间有相对运动的适当的工具接触。相对运动可以通过使工具横越固定工件的运动、使工件横越固定工具的运动或使工具和工件同时运动而产生。转化涂层被工具擦除，由此在工件上露出新金属，因而允许在暴露金属上重新形成转化涂层。金属去除速度与活性化学物质和金属反应以形成转化涂层的速度成比例。该反应速度可通过提高温度和使用化学促进剂来提高。当反应速度提高时，金属去除速度将受到转化涂层去除速度的控制。这种擦除和重新形成的作业反复进行，直到完成所需的表面精加工和/或成形和/或定尺为止。没有发生冶金学损坏。机加工工具需要很小的力即可去除转化涂层，因此，与传统机加工相比，显著减小了机器的体积、复杂性和成本，而同时可以提高机加工的精确度。
在本发明的实施例中，工具和工件的相对运动和接触力小于工件的塑性变形、剪切强度和/或抗拉强度，所以在工件上没有产生热软化温度。在某些实施例中，工具与工件的接触使金属以1.0微英寸的理论分解能力从工件上被除去。因为工具施加在工件上的力比较小，所以工具磨损被最小化和/或被消除。这种化学机械加工方法本身适应于非常受控制的金属去除速度，并且可以在成形和/或定尺的同时进行工件的表面精加工。
当使用这种化学机械加工和表面精加工方法时，在工件表面上形成一转化涂层，它比工件的基体金属软。任何可以在工件表面上形成这种化学转化涂层的活性化学物质都在本发明的考虑范围内。虽然，在基体金属上产生的转化涂层所显示出的特性对本方法的成功实践是重要的，但活性化学物质成分却不是的。在转让给REM化学有限公司的US4818333中描述了这样的转化涂层，其内容在此作为参考被引入。
活性化学物质最好能够在工作条件下快速有效地产生基体金属的柔软转化涂层。转化涂层必须还基本上不溶于活性化学物质中并且保护基体金属不会进一步反应，由此保证金属去除主要通过擦除和重新形成而不是通过溶解来发生。
活性化学物质也可以包括催化剂、促进剂、氧化剂并且在某些情况下还包括抑制剂和/或润湿剂。应该注意的是，添加成分的数量可以在没有不利作用的情况下超过溶解极限。从保持供给活性成分以便在工作过程中补充活性化学物质的观点出发，含有不溶成分是有益的。
更具体地说，根据所涉及的金属基体，活性化学物质通常包括磷酸盐或磷酸、草酸盐或草酸、氨基磺酸盐或氨基磺酸、硫酸盐或硫酸、铬酸盐或铬酸或它们的混合物。另外，已知的催化剂或促进剂可以添加到活性化学物质中，例如(但不局限于)磷酸硒、磷酸锌、磷酸铜、磷酸锰、磷酸镁和磷酸铁，以及无机和有机的氧化剂，例如(但不局限于)过硫酸盐、过氧化物、间-硝基苯、氯酸盐、亚氯酸盐、硝酸盐和亚硝酸盐。
本发明所用的活性化学物质可以被稀释或分散。稀释剂或分散剂通常大多是水，但也可以是其它材料，例如(但不局限于)石蜡油、有机液、硅酮油、合成油和其它的油、油脂或润滑油。也期望在某些条件下最好用其中水非常少的高浓酸如硫酸、甲磺酸或磷酸来产生转化涂层。此外，必要时，油或润滑剂可被用作稀释剂或分散剂。这在例如硫酸与矿物油一起使用时是必要的，因为硫酸会被分散到而不是溶解到矿物油中。
任何可以如上所述地去除柔软转化涂层以便露出新金属面而又没有超过工件的塑性变形、剪切强度和/或抗拉强度并且不会在工件上产生热软化温度的工具都在本发明的考虑范围内。虽然工具特性对成功去除转化涂层是重要的，但工具设计结构不是。在某些情况下，工具可以是工件的配合面或类似结构。如工件可以包括齿轮，而工具可以包括一啮合齿轮或类似件。在另一例子中，工件可以包括轴承座圈，而工具可以包括许多啮合的轴承滚珠或滚子或类似物。
根据本发明，工具可以是刚性或柔性的。例如，如果工件是齿轮的齿根圆角，则工具可以是略有磨蚀性的刚性圆柱体，其大小使它可以接触所有的所需凹面，以便除去机加工线痕和/或磨削线痕和/或喷丸硬化图形。在另一例子中，如果工件是管的内表面，则形状与工件相符的可弯曲和/或可膨胀的工具可通过去除成形线或焊缝来改善表面光洁度。
在一个实施例中，工具不与活性化学物质反应，因为在工具上没有形成用化学引发的转化涂层。可以制成该工具的不反应材料可以是木头、纸、布、陶瓷、塑料、聚合物、人造橡胶和金属，但是，可以使用任何不与活性化学物质反应的材料。例如，如果工件是齿轮，则工具可以是一个被设计成在与反应性工件啮合工作时能赋予所需成形和/或表面精加工特性的非反应性啮合齿轮。
这种化学机械加工和表面精加工方法有许多优势。此方法实现了能够制造出高精确度工件的良好受控制的金属去除速度。可以用约1.0微英寸分解能力去除金属。该方法也具有同时进行成形和/或定尺和/或表面精加工的能力，从而减少了总加工步骤数。因为只要给予很少的力即可实现金属去除，所以可以使用体积更小、更简单且更便宜的机器来引导工具。工具速度也比传统机加工所需的速度低得多并且明显降低了工具的成本和磨损。
此外，一次就可以成形和/或定尺和/或表面精加工出更大的加工面积。此方法实际上也消除了毛边、加工线痕、颤动、塑性变形和其它的工件表面缺陷。本方法的一个进一步优势是冷却且无烧伤的机加工方法，它造成了很小或没有造成应力或冶金学损坏如氧化、相变、应力源和硬度变化。通常，在金属热软化温度下或低于此温度下来实施此方法。低温也可能有助于消除精密工件的热变形。另外，在更低的工具压力下，结构偏差是最小的，这对于最小化和/或消除精密工件的结构变形和类似变形是特别重要的。最后，极大提高了机加工方法的精确度。
在本发明的另一实施例中，可以完成金属对金属接触面的就地的成形和/或定尺和/或表面精加工。这是如此完成的，即通过把含有或没有细磨料的活性化学物质添加到组合装置中，从而转化涂层形成在工件和工具的各反应金属面上。首先，该装置可以在低负荷下运行，然后可以逐渐增加到满负荷状态。只在临界接触面上去掉转化涂层，在该面上进行摩擦、滚压、滑动等以便露出用于进一步反应的新金属面。化学机械加工和表面精加工将只发生在临界接触面上，以便消除凹凸不平，这最终导致无线痕或几乎无线痕的表面。必要时，可以继续加工，以便获得配合工件的超光洁表面和/或按照其理想几何形状来最终成形和/或定尺。因此，每个配合面将有理想的匹配接触面积。原地加工可以通过调整活性化学物质特性、加工时间和温度、接触负荷和接触速度来精度高度受控制地修正配合件的微小尺寸或形状误差。
表面精加工或超精加工也有其它优势，如可以精加工整体组件如变速箱的所有临界接触面，这显著降低精加工每个独立件的成本。一旦该方法被最优化，则表面精加工的再现性极高，并且在制造厂环境中易于完成，因此没有必要进行全面的最后检查。该方法可以在室内或室外进行并且可以通过去除配合件的微小尺寸/形状误差而同时完成组装机件的最终成形和/或定尺。在齿轮和轴承的应用中，例如，此方法减小了磨合期、磨损、划伤、工作温度、摩擦、振动和噪音。
此方法的一个实施例是两个啮合齿轮。活性化学物质可以被注入到第一啮合齿轮上，在第一啮合齿轮上形成转化涂层，同时在第二啮合齿轮上形成转化涂层。两个啮合齿轮通过相对运动而相互接触，这同时去掉了齿轮上的转化涂层。因此，这两个齿轮都易于进一步与活性化学物质发生反应，从而转化涂层可以重新在齿轮上形成并去除，直到两个齿轮具有预期表面特性如表面光洁度、成形、尺寸及其组合。在一个实施例中，这两个齿轮位于一变速箱内，其中在变速箱工作期间内发生了这两个齿轮之间的接触。
在另一实施例中提供一轴承座圈和许多匹配滚子。活性化学物质被注入轴承座圈内，同时在轴承座圈和滚子上形成转化涂层。轴承座圈和匹配的滚子通过相对运动而接触，这同时去掉了轴承座圈和匹配滚子的转化涂层。因此轴承座圈和匹配滚子易于进一步与活性化学物质发生反应，从而转化涂层可以重新形成并被去除，直到轴承座圈和匹配滚子具有预期表面特性如表面光洁读、成形、尺寸及其组合。
例1-就地的表面精加工
标称尺寸为3.5×1×1/2英寸的且硬度为43-45HRC的两个类似的SAE 4140碳钢被用作试样。过去，用180粒度的湿/干金刚砂砂纸沿纵向机械抛光各试样的3×1/2英寸。试样1的最初Ra和Rmax分别为10.0微英寸和98.4微英寸。试样2的最初Ra和Rmax分别为17.6微英寸和167微英寸。
试样2被放置在60克/升草酸和20克/升间-硝基苯磺酸钠的溶液中，其传统的机械抛光面朝上。然后，试样1的传统机械抛光面被放置成垂直地接触试样2的传统机械抛光面。试样2保持在固定位置上，而用手前后画圆地移动试样1，以模仿临界接触面的滑动。只施加非常小的压力。这样持续大约10分钟。试样1在金属对金属接触面处的最终Ra和Rmax分别为1.71微英寸和27.6微英寸。试样2在金属对金属接触面处的最终Ra和Rmax分别为1.95微英寸和45.4微英寸。
如例1所示，通过用适当的活性化学物质弄湿表面并且轻微擦除它们，可以表面精加工甚至是超精加工和/或定尺和/或成形两个由硬化金属制成的匹配工件。在本发明的这个实施例中，不需要研磨、高温或高压。只在金属与金属接触之处成形和/或定尺和/或表面精加工该表面。
当一变速箱内有两个或两个以上的齿轮啮合时，可以类似于例1所方式地成形和/或定尺和/或精加工它们的齿腹。这可以如通过在施加较小负荷到输出轴上时使变速箱的输入轴转动来完成。通过使新鲜的活性化学物质不断在齿轮面上流动，或通过把活性化学物质成批添加到齿轮应被打湿的变速箱内，可以弄湿齿轮齿的接触区。齿接触面将会变得更光滑并且齿廓将被成形为理想的齿轮形状。
同样，当在非常小的负荷下运行时，通过把活性化学物质添加到工件中，可以成形、定尺和/或表面精加工轴承。没有发生如传统机加工中所发生的冶金学损坏，在传统机加工中，使用了产生局部高温的剂料或力，从而导致了应力源或回火，引起了由摩擦、磨损、划擦、接触疲劳和动态疲劳而产生的早期工件失效。
本发明不局限于轴承或齿轮，而是可以被用于任何会从表面精加工和/或定尺和/或成形中受益的硬金属对金属的接触中。一步成形和/或定尺和/或精加工的能力提高了各种工件的生产效率。
例2-借助略有磨蚀性的工具的传统机械加工基线
借助略有磨蚀性的(600粒度)湿/干金刚砂砂纸和作为冷却润滑油的重量为SAE30的无去垢剂机油，按传统方式机械加工一个钢号为SAE52100、硬度为HRC57-63(部分#001-502-001P)的Falex CorporationFLC润滑实验环。
在外环面的一硬塑料模(Facsimile)使一个600粒度的湿/干金刚砂砂纸压于其上时，Falex Corporation FLC Lubricity Tester以设定转速旋转该环。Falex提供的0-150英尺磅的且重力作用于其上的Sears Craftsman扭矩手柄是唯一用到传统机械研磨加工中的负荷。该环在整个实验期间局部浸没在SAE30重的无去垢剂机油内。图1示出了该实验装置。
在加工前后，在分析天平上清洁、干燥并称重实验环以确定去除金属量。
实验环在加工前重22.0951克。在460RPM下加工1小时后，重22.0934克。每小时损失0.0017克，这合8.9微英寸的尺寸变化。
例3-借助略有磨蚀性工具的化学机械加工
使用略有磨蚀性的(600粒度)湿/干金刚砂砂纸和作为用于产生转化涂层的活性化学物质的保持为6.25体积％的FERROMIL，以传统方式机械加工一个钢号为SAE52100、硬度为HRC57-63(部分#001-502-001P)的Falex Corporation FLC润滑实验环。
在外环面的一硬塑料模(Facsimile)使一个600粒度的湿/干金刚砂砂纸压于其上时，Fa1ex Corporation FLC Lubricity Tester以设定转速旋转该环。Falex提供的0-150英尺磅的且重力作用于其上的Sears Craftsman扭矩手柄是唯一用到化学机械方法中的负荷。该环在室温下局部浸没在以6.5毫升/分流过容器的FERROMILFML-575中。
参见图1的实验装置图。
在加工前后，在分析天平上清洁、干燥并称重该实验环，以确定去除的金属量。
实验环在加工前重22.1827克。在460RPM下加工1小时后，重22.1550克。每小时损失0.0277克，这合145.6微英寸的尺寸变化。这些结果显示出金属去除速度是例2的16倍。
例2和3显示了，对硬工件的化学机械加工大大提高了金属去除速度。因此，可以使用略有磨蚀性的工具和活性化学物质来成形和/或定尺和/或表面精加工硬化的金属工件。工件的硬度并不重要，只要活性化学物质与表面发生反应即可。实际上，不管金属有多硬，金属去除速度大概保持一样。与此成鲜明对比的是，在传统机加工(如磨削、搪磨、抛光等)中，当工件硬度增大到60HRC或更大时，工具磨损加剧，而金属去除速度减小。
本发明实施例的例2、3表明了，可以用略有磨蚀性的工具来成形和/或定尺和/或表面精加工很硬的金属表面。这可以被用来如成形和/或定尺和/或表面精加工齿轮齿廓。在这种情况下，如一个略有磨蚀性的小型旋转和/或振动工具被放置成使它与不断被适当的活性化学物质打湿的齿轮的齿腹接触。这将去除机加工线痕和/或研磨线痕并且用来使齿成形为理想的齿轮形状。这显著延长了遇到弯曲疲劳、划伤和其它故障的齿轮的使用寿命，同时减小了齿轮噪音并允许增大的工作功率密度。
本发明不局限于齿轮，而是可以被用于任何会从表面精加工和/或定尺寸和/或成形中受益的硬金属表面中。一步成形和表面精加工的能力将提高各种工件的制造效率。
例4-借助非磨蚀性塑料工具的传统机械研磨基线
使用REMFBC-50(用来防止工具快速生锈和热降解的肥皂混合物，但不能产生转化涂层)来精加工一个钢号为SAE4620、硬度为HRC58-63(部分S-25)的Falex Corporation FLC润滑实验环。
在一个固定的FERROMILMedia#NA(没有任何磨料颗粒的纯塑料(聚酯树脂))接触外环时，Falex Corporation FLC Lubricity Tester以设定转速旋转该环。该塑料介质被成形为环的轮廓，以提供适当的表面接触。Falex提供的0-150英尺磅的且重力作用于其上的SearsCraftsman扭矩手柄是唯一用到传统机械方法的负荷。环局部浸没在以6.5毫升/分流过容器的REMFBC-50中。参见图2的实验装置图。
在加工前后，在分析天平上清洁、干燥并称重该实验环，以确定去除的金属量。
实验环在加工前重22.3125克。在460RPM下加工3小时后，重22.3120克。总共损失0.0005克或每小时损失0.00017克，这合0.9微英寸/小时的尺寸变化。
这个实例表明，在没有使用活性化学物质的情况下，通过非磨蚀性塑料在加工硬化钢面上去除的金属量不多。
例5-有无研磨塑料工具的化学机械加工
使用FERROMILVII Aero-700来精加工一个钢号为SAE4620的FalexCorporation FLC润滑实验环。
在一个固定的FERROMILMedia#NA(没有任何磨料颗粒的纯塑料(聚酯树脂))接触外环时，Falex Corporation FLC Lubricity Tester以设定转速旋转该环。塑料介质被成形为环形以提供适当的表面接触。环局部浸没在12.5体积％的以6.5毫升/分流过容器的FERROMVIIAero-700中。参见图2的实验装置图。
在加工前后，在分析天平上清洁、干燥并称重该实验环，以确定去除的金属量。
该实验环在加工前重22.1059克。在460RPM下加工3小时后重22.0808克。总共损失0.0251克或每小时损失0.00837克，这合44.0微英寸/小时的尺寸变化。这表示比使用比基体金属软的非磨蚀性工具的例4的金属去除速度要大49倍，因此，不会超过基体金属的塑性变形、剪切强度或抗拉强度。
例4、5表明，即使使用非磨蚀性塑料，也可以从硬化钢中去除相当多的金属。在使用活性化学物质的情况下，由塑料形成的工具则可以用来成形和/或定尺和/或表面精加工硬化的钢面。由硬化材料形成的工具具有大大延长的使用寿命是合理的，因为它们不必经受强力或经历局部高温。该工具将保留比较久，因为它可以通过施加只去除软转化涂层所需的力即可去除金属。
另外，这两个例子表明，可以用比传统机加工中所用的那些机器要小的机器来完成从非常硬的表面去除金属，因为只需要施加较小的力。在更小的工具压力下产生的尤其是关于精密工件的最小结构偏差和较低温度将会最小化和/或消除结构变形并提高机加工的精确度。因为金属去除速度是44.0微英寸/小时，所以很明显，机加工可以具有达到1.0微英寸的非常高的金属去除分解能力。
例6-化学机械表面精加工
化学机械表面精加工一齿轮齿的齿根圆角区，以去除轴向研磨线痕。用缠有600粒度的湿/干金刚砂纸的、粗0.067英寸的高速钢丝的一截形成工具。工具转速约为80RPM。用非常轻的压力使该工具保持压在齿轮齿的齿根圆角区(Webster，AISI8620渗碳钢，17齿齿轮，8直径齿距和25°压力角，倒角半径约0.0469英寸)。60克/升草酸和20克/升间-硝基苯磺酸钠溶液被逐滴(1-2滴/10秒)注入接触面。这进行15分钟。一旦表面精加工进行了10分钟后，就更换金刚砂砂纸。
放大10倍来检查表面精加工的工件，结果，多数表面没有轴向研磨线痕且光滑平整，只有一、两个表面存在着轴向研磨线痕。这表明，使用化学机械表面精加工，可以表面精加工临界凹面，同时保持非常紧的尺寸允许公差。此外，通过较简单的化学机械表面精加工，可以去除齿轮齿根圆角区的机加工线痕和/或研磨线痕。由于使用略有磨蚀性的工具而产生的任何线痕都与轴向研磨线痕垂直。因此，显著降低了齿的弯曲疲劳，从而延长了齿轮的使用寿命。
本发明不局限于齿轮，而是可以被用于任何经历动态疲劳的硬金属面。一步成形和表面精加工的能力将会提高各种工件的制造效率。
尽管以优选实施例的形式描述了本发明的装置和方法，但显然，本领域技术人员可以不脱离本发明的概念和范围地将各种改动用所述的方法上。所有这样的相似的并对本领域技术人员来说是显而易见的改进和等同替换应被认为是在如后续权利要求书所述的本发明范围和概念中。

Claims (46)

1、一种方法，它包括：
a.提供一工具；
b.把一活性化学物质输入到一工件之上，所述活性化学物质能够与所述工件发生反应，从而在所述工件上形成一个转化涂层，所述转化涂层不溶于所述活性化学物质中，因而所述转化涂层保护所述工件不会进一步发生反应；和
c.通过它们之间的相对运动而使该工具接触该工件，直到达到所述工件的预期表面特性为止；其中，该工具与所述工件之间的接触从所述工件上去掉了该转化涂层，结果招致该工件进一步与所述活性化学物质发生反应，结果，该转化涂层可以再次形成在该工件上。
2、如权利要求1所述的方法，其中，该工件的表面特性选自表面精加工、成形、定尺及其组合。
3、如权利要求1所述的方法，其中，该活性化学物质是水基或有机基物质。
4、如权利要求1所述的方法，其中，所述活性化学物质包括活性成分，它选自磷酸盐、磷酸、草酸盐、草酸、氨基磺酸盐、氨基磺酸、硫酸盐、硫酸、铬酸盐或铬酸及其混合物。
5、如权利要求1所述的方法，其中，该活性化学物质是浓酸。
6、如权利要求5所述的方法，其中，该浓酸是硫酸、甲磺酸或磷酸。
7、如权利要求1所述的方法，其中，所述活性化学物质包括催化剂或促进剂，它选自磷酸硒、磷酸锌、磷酸铜、磷酸锰、磷酸镁和磷酸铁。
8、如权利要求1所述的方法，其中，所述活性化学物质包括无机或有机的氧化剂，它选自过硫酸盐、过氧化物、间-硝基苯、氯酸盐、亚氯酸盐、硝酸盐和亚硝酸盐及其化合物。
9、如权利要求1所述的方法，其中，所述活性化学物质和稀释剂或分散剂一起被注入该工件之上。
10、如权利要求9所述的方法，其中，所述稀释剂或分散剂选自水、有机液体、石蜡油、硅酮油、合成油和其它的油、润滑油或油脂及其化合物。
11、如权利要求1所述的方法，其中，所述工件由金属构成。
12、如权利要求11所述的方法，其中，所述转化涂层包括一化合物，它选自金属氧化物、金属磷酸盐、金属草酸盐、金属硫酸盐、金属氨基磺酸盐和金属铬酸盐。
13、如权利要求11所述的方法，其中，所述金属选自铁、钛、镍、铬、钴、钨、铀及其合金。
14、如权利要求1所述的方法，其中，该工件与该工具之间的相对运动是由于该工具横越固定不动的该工件造成的。
15、如权利要求1所述的方法，其中，所述工件与工具之间的所述相对运动是由于该工件横穿固定的工具所造成的。
16、如权利要求1所述的方法，其中，在该工件和该工具之间的相对运动是由同时移动都不固定的该工具和该工件而造成的。
17、如权利要求1所述的方法，其中，该工具是非磨蚀性的。
18、如权利要求1所述的方法，其中，该工具略有磨蚀性。
19、如权利要求1所述的方法，其中，该工具是刚性的。
20、如权利要求1所述的方法，其中，该工具是柔性的，以便符合所述工件。
21、如权利要求1所述的方法，其中，该工具是该工件的一个配合面或类似结构。
22、如权利要求21所述的方法，其中，该工具由非反应性材料构成，从而在所述工具上未形成一个转化涂层。
23、如权利要求22所述的方法，其中，该非反应性材料选自木头、纸、布、陶瓷、塑料、聚合物、人造橡胶和金属。
24、如权利要求21所述的方法，其中，该工具对所述活性化学物质起反应，从而在所述工具上形成一个第二转化涂层。
25、如权利要求24所述的方法，它进一步包括继续该加工过程，直到达到所述工具的理想表面特性。
26、如权利要求25所述的方法，其中，所述工具的表面特性选自表面精加工、成形、定尺及其组合。
27、如权利要求1所述的方法，其中，所述工件包括齿轮的齿根圆角，其中该工具从该齿轮齿根圆角上去掉表面缺陷，所述表面缺陷选自加工线痕、研磨线痕、喷丸硬化印及其组合。
28、如权利要求1所述的方法，其中，所述工件包括齿轮，所述工具包括啮合齿轮或类似物。
29、如权利要求28所述的方法，其中，所述工具对所述活性化学物质起反应，从而在所述工具上形成一个第二转化涂层。
30、如权利要求29所述的方法，它进一步包括继续所述加工过程，直到达到所述工具的理想表面特性。
31、如权利要求30所述的方法，其中，所述工具的表面特性选自表面精加工、成形、定尺及其组合。
32、如权利要求1所述的方法，其中，所述工件包括轴承座圈，所述工具包括许多匹配的轴承滚珠或滚子或类似物。
33、如权利要求32所述的方法，其中，所述工具对所述活性化学物质发生反应，从而在所述工具上形成一个第二转化涂层。
34、如权利要求33所述的方法，其中，它进一步包括继续所述加工过程，直到获得所述工具的理想表面特性。
35、如权利要求34所述的方法，其特征在于，所述工具的表面特性选自表面精加工、成形、定尺及其组合。
36、如权利要求1所述的方法，其中，该工件和该工具被装配在一外壳内。
37、如权利要求1所述的方法，它在一个低于所述工件的热软化温度的温度下进行。
38、如权利要求1所述的方法，其中，所述工具是非磨蚀性的并且它在一个小于该工件的塑性变形的力下与所述工件接触。
39、如权利要求1所述的方法，其中，所述工具是非磨蚀性的并且它在一个小于所述工件的剪切强度的力下与所述工件接触。
40、如权利要求1所述的方法，其中，所述工具是非磨蚀性的并且它在一个小于所述工件的抗拉强度的力下与所述工件接触。
41、如权利要求1所述的方法，其中，该工具与该工件的接触造成材料以1.0微英寸的理论分解能力从该工件上被去掉。
42、一种方法，它包括：
a.提供一个第一啮合齿轮；
b.将一活性化学物质注入到所述第一啮合齿轮之上，所述活性化学物质能够与所述第一啮合齿轮发生反应，从而在所述啮合齿轮上形成一个第一转化涂层，所述第一转化涂层不溶于所述活性化学物质中，从而所述第一转化涂层保护所述第一啮合齿轮不会进一步发生反应；
c.提供一个第二啮合齿轮，其中所述活性化学物质能够与所述第二啮合齿轮发生反应，从而在该第二啮合齿轮上形成一个第二转化涂层，所述第二转化涂层不溶于所述活性化学物质内，从而所述第二转化涂层保护所述第二啮合齿轮不会进一步反应；并且
d.通过它们之间的相对运动使所述的第一和第二啮合齿轮彼此接触，直到达到所述的第一和第二啮合齿轮的理想表面特性为止；其中，在所述的第一和第二啮合齿轮之间的接触同时分别从所述第一和第二啮合齿轮之上去除了所述的第一和第二转化涂层，从而招致所述的第一和第二啮合齿轮与所述活性化学物质进一步发生反应，结果，所述的第一和第二转化涂层可以分别再次形成在所述的第一和第二啮合齿轮上。
43、如权利要求42所述的方法，其中，所述的第一和第二啮合齿轮的表面特性选自表面精加工、成形、定尺寸及其组合。
44、如权利要求42所述的方法，其中，所述的第一和第二啮合齿轮位于一个变速箱内，其中在所述变速箱的工作期间内发生所述第一和第二啮合齿轮之间的所述接触。
45、一种方法，它包括：
a.提供一个匹配的齿轮座圈；
b.把一活性化学物质注入到所述匹配的齿轮座圈之上，所述活性化学物质能够与所述的匹配的齿轮座圈发生反应，从而在所述的匹配的齿轮座圈上形成一个第一转化涂层，所述第一转化涂层不溶于所述活性化学物质内，因而，所述第一转化涂层保护所述匹配的齿轮座圈不会进一步反应；
c.提供许多个匹配滚子，所述活性化学物质能够与所述的匹配滚子发生反应，从而在所述的匹配滚子上形成一个第二转化涂层，所述第二转化涂层不溶于所述活性化学物质，因而，所述第二转化涂层保护所述匹配滚子不会进一步反应；并且
d.通过它们之间的相对运动，使所述匹配的轴承座圈与所述滚子接触，直到达到所述滚子和所述匹配的轴承座圈的理想表面特性为止；其中，在所述匹配的轴承座圈和所述匹配滚子之间的所述接触同时从所述匹配的轴承座圈和所述匹配滚子去掉所述的第一和第二转化涂层，从而招致所述匹配的轴承座圈和所述匹配滚子与所述活性化学物质进一步发生反应，结果，所述第一和第二转化涂层可以分别再次形成在所述匹配的轴承座圈和所述匹配滚子上。
46、如权利要求45所述的方法，其中，所述匹配的轴承座圈和所述匹配滚子的表面特性选自表面精加工、成形、定尺寸及其组合。
CNA028047672A 2001-02-08 2002-02-07 化学机械加工和表面精加工 Pending CN1491146A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US26775601P 2001-02-08 2001-02-08
US60/267,756 2001-02-08

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1491146A true CN1491146A (zh) 2004-04-21

Family

ID=23020012

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA028047672A Pending CN1491146A (zh) 2001-02-08 2002-02-07 化学机械加工和表面精加工

Country Status (19)

Country Link
US (2) US20020106978A1 (zh)
EP (1) EP1358044B1 (zh)
JP (1) JP2004530040A (zh)
KR (1) KR20030085529A (zh)
CN (1) CN1491146A (zh)
AT (1) ATE416065T1 (zh)
BR (1) BR0206813A (zh)
CA (1) CA2435732A1 (zh)
CZ (1) CZ20032027A3 (zh)
DE (1) DE60230114D1 (zh)
ES (1) ES2317993T3 (zh)
HU (1) HUP0303188A2 (zh)
IL (2) IL157290A0 (zh)
MX (1) MXPA03007106A (zh)
PL (1) PL363342A1 (zh)
RU (1) RU2290291C2 (zh)
SK (1) SK8982003A3 (zh)
WO (1) WO2002062528A2 (zh)
ZA (1) ZA200305319B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103567848A (zh) * 2013-10-10 2014-02-12 广东电网公司东莞供电局 一种清除硅橡胶互感器硅伞套表面老化层的方法
CN104160065A (zh) * 2011-12-13 2014-11-19 Skf公司 在机械组件的摩擦面上制备保护层的方法
CN113211006A (zh) * 2021-04-08 2021-08-06 浙江先导精密机械有限公司 一种机械手臂的凸台倾角加工方法

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2832160B1 (fr) * 2001-11-15 2005-01-14 Atofina PROCEDE DE TRAVAIL OU MISE EN FORME DES METAUX EN PRESENCE DE LUBRIFIANTS AQUEUX A BASE D'ACIDE METHANESULFONIQUE (AMS) ou D'UN SEL HYDROSOLUBLE D'AMS
ATE551153T1 (de) * 2003-05-30 2012-04-15 Rem Technologies Verfahren für das superfinish eines hohlen zahnrades
US20050202921A1 (en) * 2004-03-09 2005-09-15 Ford Global Technologies, Llc Application of novel surface finishing technique for improving rear axle efficiency
US7229565B2 (en) * 2004-04-05 2007-06-12 Sikorsky Aircraft Corporation Chemically assisted surface finishing process
ES2213500B1 (es) * 2004-05-04 2005-05-01 Delphi Diesel Systems S.L. Prodecimiento de obtencion de un recubrimiento mediante fosfatado en una pieza de hierro o acero, y pieza de hierro o acero correspondiente.
US7690312B2 (en) * 2004-06-02 2010-04-06 Smith Timothy G Tungsten-iron projectile
US7037175B1 (en) * 2004-10-19 2006-05-02 Cabot Microelectronics Corporation Method of sharpening cutting edges
CN101184868A (zh) * 2005-04-06 2008-05-21 雷姆技术公司 高密度碳化物的超级抛光
ATE484698T1 (de) 2005-12-02 2010-10-15 United Technologies Corp Zahnrad mit verbesserter oberflächengüte
US7820068B2 (en) * 2007-02-21 2010-10-26 Houghton Technical Corp. Chemical assisted lapping and polishing of metals
ES2530193T3 (es) 2007-08-28 2015-02-27 Rem Technologies, Inc. Procedimiento para inspección y reconstrucción de componentes de ingeniería
US10179388B2 (en) * 2009-05-12 2019-01-15 Rem Technologies, Inc. High throughput finishing of metal components
US8172716B2 (en) 2009-06-25 2012-05-08 United Technologies Corporation Epicyclic gear system with superfinished journal bearing
CN103526197B (zh) 2012-07-05 2016-03-16 通用电气公司 维修元件的方法
CN103454394A (zh) * 2013-09-11 2013-12-18 西安航空动力股份有限公司 一种航空发动机正齿轮硬化面缺陷的判定方法
CN113278957B (zh) * 2013-10-17 2024-04-16 凯密特尔有限责任公司 制备用于冷成型的金属成型体的方法
EP3115149B1 (en) * 2015-07-08 2018-03-14 Scania CV AB Method of grinding a workpiece having a cylindrical bearing surface and method for determining processing parameters
PL3417090T3 (pl) 2016-02-15 2022-01-10 Rem Technologies, Inc. Obróbka chemiczna przedmiotów obrabianych wytwarzanych przyrostowo
KR20190043155A (ko) 2016-08-24 2019-04-25 피피지 인더스트리즈 오하이오 인코포레이티드 금속 기판을 처리하기 위한 알칼리성 조성물
US10792781B2 (en) 2018-04-13 2020-10-06 Bell Helicopter Textron Inc. Masking tool system and method
US10927959B2 (en) 2019-02-27 2021-02-23 Caterpillar Inc. Method and appliance for making isotropically finished seal ring of seal assembly for machine
DE102019126669A1 (de) * 2019-10-02 2021-04-08 Profilator Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zum Glätten der Zahnflanken der Zähne verzahnter Werkstücke
CN110512200B (zh) * 2019-10-10 2020-09-15 黄鸿珊 一种五金件磷化发黑设备

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL59186C (zh) * 1938-03-04
US2453429A (en) * 1944-11-30 1948-11-09 Sr Daniel A Gorman Surface treatment of metals
US2933437A (en) * 1956-05-29 1960-04-19 Bell Telephone Labor Inc Chemical lapping method
US3291667A (en) * 1961-04-10 1966-12-13 North American Aviation Inc Etching process for selectively forming workpiece surfaces
FR1543792A (fr) * 1966-12-29 1900-01-01 Ibm Métallisation de matières plastiques
US3593410A (en) * 1967-11-21 1971-07-20 Robert A Taylor Method for casting and finishing tools or dies
US3734837A (en) * 1969-07-08 1973-05-22 Hughes Aircraft Co Method of hardening polished aluminum surfaces
US4181540A (en) * 1978-05-26 1980-01-01 Whirlpool Corporation Metal surface treatment method
US4491500A (en) * 1984-02-17 1985-01-01 Rem Chemicals, Inc. Method for refinement of metal surfaces
US4569720A (en) * 1984-05-07 1986-02-11 Allied Corporation Copper etching system
US4758025A (en) * 1985-06-18 1988-07-19 Mobil Oil Corporation Use of electroless metal coating to prevent galling of threaded tubular joints
US4705594A (en) * 1986-11-20 1987-11-10 Rem Chemicals, Inc. Composition and method for metal surface refinement
JPS63288620A (ja) * 1987-05-22 1988-11-25 Kobe Steel Ltd アルミニウムの電解複合超鏡面加工方法
US4818333A (en) * 1987-08-03 1989-04-04 Rem Chemicals, Inc. Metal surface refinement using dense alumina-based media
US4844749A (en) * 1987-12-11 1989-07-04 Foreman Robert W Reagent bath for and method of treating a workpiece surface
US4910844A (en) * 1988-12-12 1990-03-27 Eastman Kodak Company Method for finishing the surface of an aluminum roller
USRE34272E (en) * 1989-05-04 1993-06-08 Rem Chemicals, Inc. Method and composition for refinement of metal surfaces
US5158629A (en) * 1989-08-23 1992-10-27 Rem Chemicals, Inc. Reducing surface roughness of metallic objects and burnishing liquid used
US5225038A (en) * 1990-08-09 1993-07-06 Extrude Hone Corporation Orbital chemical milling
US5114548A (en) * 1990-08-09 1992-05-19 Extrude Hone Corporation Orbital electrochemical machining
US5330558A (en) * 1993-03-31 1994-07-19 Henkel Corporation Method for removing chromium containing coatings from aluminum substrates
US5503481A (en) * 1993-12-09 1996-04-02 The Timken Company Bearing surfaces with isotropic finish
US5972792A (en) * 1996-10-18 1999-10-26 Micron Technology, Inc. Method for chemical-mechanical planarization of a substrate on a fixed-abrasive polishing pad
US5958288A (en) * 1996-11-26 1999-09-28 Cabot Corporation Composition and slurry useful for metal CMP
US6068787A (en) * 1996-11-26 2000-05-30 Cabot Corporation Composition and slurry useful for metal CMP
US6177026B1 (en) * 1998-05-26 2001-01-23 Cabot Microelectronics Corporation CMP slurry containing a solid catalyst
US6378206B1 (en) * 1998-10-29 2002-04-30 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Method of fabricating pin retaining ring for internal gear, internal meshing planetary gear structure, and hydraulic motor pump
US6732606B1 (en) * 2000-06-30 2004-05-11 Eaton Corporation Polished gear surfaces
KR100804035B1 (ko) * 2000-08-01 2008-02-18 아이신에이더블류 가부시키가이샤 기어, 그리고 기어의 치면 다듬질가공방법 및 장치
US6656293B2 (en) * 2001-12-10 2003-12-02 Caterpillar Inc Surface treatment for ferrous components

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104160065A (zh) * 2011-12-13 2014-11-19 Skf公司 在机械组件的摩擦面上制备保护层的方法
CN104160065B (zh) * 2011-12-13 2016-05-11 Skf公司 在机械组件的摩擦面上制备保护层的方法
CN103567848A (zh) * 2013-10-10 2014-02-12 广东电网公司东莞供电局 一种清除硅橡胶互感器硅伞套表面老化层的方法
CN113211006A (zh) * 2021-04-08 2021-08-06 浙江先导精密机械有限公司 一种机械手臂的凸台倾角加工方法
CN113211006B (zh) * 2021-04-08 2022-04-22 浙江先导精密机械有限公司 一种机械手臂的凸台倾角加工方法

Also Published As

Publication number Publication date
IL157290A0 (en) 2004-02-19
ZA200305319B (en) 2004-10-18
PL363342A1 (en) 2004-11-15
WO2002062528A2 (en) 2002-08-15
ATE416065T1 (de) 2008-12-15
RU2003127071A (ru) 2005-03-10
KR20030085529A (ko) 2003-11-05
US20050164610A1 (en) 2005-07-28
RU2290291C2 (ru) 2006-12-27
EP1358044B1 (en) 2008-12-03
BR0206813A (pt) 2004-02-03
ES2317993T3 (es) 2009-05-01
DE60230114D1 (de) 2009-01-15
MXPA03007106A (es) 2004-10-15
US20020106978A1 (en) 2002-08-08
SK8982003A3 (en) 2004-05-04
HUP0303188A2 (hu) 2003-12-29
IL157290A (en) 2007-06-03
JP2004530040A (ja) 2004-09-30
EP1358044A2 (en) 2003-11-05
CA2435732A1 (en) 2002-08-15
WO2002062528A3 (en) 2003-02-27
CZ20032027A3 (cs) 2004-03-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1491146A (zh) 化学机械加工和表面精加工
Hashimoto et al. Abrasive fine-finishing technology
Nemat et al. An investigation of the surface topography of ball burnished mild steel and aluminium
JP2008535672A (ja) 高密度カーバイドの超仕上げ
WO1999035419A1 (fr) Vis-mere et procede de fabrication correspondant
Jain et al. 1.4 review of gear finishing processes
US20210354263A1 (en) Multiple smooth elements bonded to a ground; novel tools and methods for surface improvement of metals and other materials
RU2458777C2 (ru) Способ упрочняющей обработки поверхностей деталей выглаживанием
Jawalkar et al. Study of roller burnishing process on En-8 specimens using design of experiments
JP3985700B2 (ja) ローラバニッシュ加工方法
US20090205470A1 (en) Coated guided pad for saw blades
AU2002243897A1 (en) Chemical mechanical machining and surface finishing
JPH07108306A (ja) 金属板圧延用ロールの研削方法
Kumara et al. Investigations on effect of different ball burnishing conditions on surface roughness using response surface methodology
RU2349444C1 (ru) Способ обкатывания винтов
SU905324A1 (ru) Способ обработки изделий из титановых сплавов
Balasubramanian EDIFICE OF SLAPPING APPLIANCE AND SLAPPING OF POWERED SEALS USING SG (500/7GRADE) IRON SLURPING DISCUS TOOL PLATTER
Davim et al. Grinding technology and new grinding wheels
RU2530606C2 (ru) Способ формирования плосковершинного микрорельефа трибосопряжений со смазочными микровпадинами
JP3083160B2 (ja) 機械部品の加工方法
RU2451837C1 (ru) Способ обработки деталей шестеренного насоса
RU2303515C1 (ru) Упрочняющая головка с упругим инструментом
RU2349443C1 (ru) Устройство для обкатывания винтов
RU2325263C1 (ru) Устройство для шлифообкатывания
Jackson Grinding and finishing processes

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C12 Rejection of a patent application after its publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication