JPS63288620A - アルミニウムの電解複合超鏡面加工方法 - Google Patents
アルミニウムの電解複合超鏡面加工方法Info
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H5/00—Combined machining
- B23H5/06—Electrochemical machining combined with mechanical working, e.g. grinding or honing
-
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- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H5/00—Combined machining
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- B23H5/08—Electrolytic grinding
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、アルミニウムを０．ｌ μ−Ｒｗａｘ以下の
超鏡面に表面加工できるようにした電解複合超鏡面加工
方法に関し、例えば、アルミディスクのサブストレート
表面の超鏡面加工に利用される。
超鏡面に表面加工できるようにした電解複合超鏡面加工
方法に関し、例えば、アルミディスクのサブストレート
表面の超鏡面加工に利用される。
一般に、電解複合超鏡面加工方法は、回転軸に固着され
た電極の下端面に緩衝材を固着するとともにこれを研磨
布で覆ってなる研磨ヘッドを、回転させつつ上記被加工
面に所定の押付力でもって押し付け、かつ電極と被加工
面間に電流を流しなから該被加工面を表面加工する方法
である。そしてこの鏡面を得るためには、所定の押付力
を被加工面に均一に作用させることが重要である。
た電極の下端面に緩衝材を固着するとともにこれを研磨
布で覆ってなる研磨ヘッドを、回転させつつ上記被加工
面に所定の押付力でもって押し付け、かつ電極と被加工
面間に電流を流しなから該被加工面を表面加工する方法
である。そしてこの鏡面を得るためには、所定の押付力
を被加工面に均一に作用させることが重要である。
この押付力を均一化できる方法として、従来、砥粒を粘
弾性体で保持してなる研磨材を用いる方法（特開昭５８
−１３７５２５号公報参照）又は、研磨布と上記電極と
の間に弾性体からなる緩衝材を配置した方法（特公昭５
８−１９４１２号公報及び特開昭５６−１３９６９９号
公報参照）がある、そしてこの場合、上記研磨布及びｌ
ｌ街材としては、電解液を、及び電解液中に澹離砥粒を
使用する場合は該砥粒をも透過させる必要がある点、及
び布寿命を確保する点から通常、不織布が使用されてい
る。
弾性体で保持してなる研磨材を用いる方法（特開昭５８
−１３７５２５号公報参照）又は、研磨布と上記電極と
の間に弾性体からなる緩衝材を配置した方法（特公昭５
８−１９４１２号公報及び特開昭５６−１３９６９９号
公報参照）がある、そしてこの場合、上記研磨布及びｌ
ｌ街材としては、電解液を、及び電解液中に澹離砥粒を
使用する場合は該砥粒をも透過させる必要がある点、及
び布寿命を確保する点から通常、不織布が使用されてい
る。
上記公報には、例えば、被加工面の表面硬度がＨＶ２０
０と硬いオーステナイト系のステンレス鋼の場合は、表
面あらさを数Ｉｏｎｓ Ｒｗａｘ以下に表面加工するこ
とができるとの記載がある。
０と硬いオーステナイト系のステンレス鋼の場合は、表
面あらさを数Ｉｏｎｓ Ｒｗａｘ以下に表面加工するこ
とができるとの記載がある。
しかしながら、従来の電解複合超鏡面加工方法では、被
加工物の表面硬度が高い場合は良好な鏡面が得られるが
、アルミニウムのように表面硬度がＨＶ７０と低い軟質
材の場合は被加工面にスクラッチが発生し易く、表面あ
らさを０．１ｐｍＲ■ａＸ以下の超鏡面に表面加工する
ことは困難である。
加工物の表面硬度が高い場合は良好な鏡面が得られるが
、アルミニウムのように表面硬度がＨＶ７０と低い軟質
材の場合は被加工面にスクラッチが発生し易く、表面あ
らさを０．１ｐｍＲ■ａＸ以下の超鏡面に表面加工する
ことは困難である。
なお、第９図および第１０図は上記従来方法による場合
のアルミニウムの被加工面におけるスクラッチの発生状
態を示す図である。
のアルミニウムの被加工面におけるスクラッチの発生状
態を示す図である。
本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされた
もので、アルミニウムの被加工面をスクラッチの発生を
防止して表面あらさを０．１ μ―Ｒｓａｗ以下の超鏡
面に表面加工することができるアルミニウムの電解複合
超鏡面加工方法を提供することを目的としている。
もので、アルミニウムの被加工面をスクラッチの発生を
防止して表面あらさを０．１ μ―Ｒｓａｗ以下の超鏡
面に表面加工することができるアルミニウムの電解複合
超鏡面加工方法を提供することを目的としている。
本発明者は、アルミニウムの電解複合超鏡面加工方法に
おいて、スクラッチの発生を防止できる条件を得るため
、まず上記従来方法による場合のスクラッチの発生原因
について研究し、以下の点を見い出した。
おいて、スクラッチの発生を防止できる条件を得るため
、まず上記従来方法による場合のスクラッチの発生原因
について研究し、以下の点を見い出した。
即ち、従来方法では、研磨材として材質に規定がない通
常の不織布を用いており、かつ押付力のコントロールが
不適正であり、これにより極部的に押付力が高くなり、
スクラッチが発生している。
常の不織布を用いており、かつ押付力のコントロールが
不適正であり、これにより極部的に押付力が高くなり、
スクラッチが発生している。
さらに、機械精度の誤差、例えば、回転軸に配設されて
いる電極のスラスト方向の振れ、該電極と被加工面との
直角度、及び研磨布の装着時の盛り上がりや皺が原因と
なって被加工面の局部に高押付力を発生させ、これらも
スクラッチ発生の要因と考えられる。
いる電極のスラスト方向の振れ、該電極と被加工面との
直角度、及び研磨布の装着時の盛り上がりや皺が原因と
なって被加工面の局部に高押付力を発生させ、これらも
スクラッチ発生の要因と考えられる。
そこで本発明者は、研磨材として用いられる不織布の繊
維径と表面あらさとの関係及び押付力と表面あらさとの
関係について実験を行った。
維径と表面あらさとの関係及び押付力と表面あらさとの
関係について実験を行った。
第１図及び第２図は上記実験結果を示し、第１図は上記
不織布の繊維径と表面あらさとの関係を、第２図は電極
押付圧と表面あらさとの関係をそれぞれ示す。
不織布の繊維径と表面あらさとの関係を、第２図は電極
押付圧と表面あらさとの関係をそれぞれ示す。
第１図から明きらかなように、研磨布の繊維径が細くな
るほど表面あらさが向上しており、繊維径ＩＮ１．５デ
ニールを境界として、これ以上では表面あらさの平均が
０．１２μｍＲｍａｘであったものが、１デニール以下
では０．０２μ−Ｒｗａｘとなっていることがわかる。
るほど表面あらさが向上しており、繊維径ＩＮ１．５デ
ニールを境界として、これ以上では表面あらさの平均が
０．１２μｍＲｍａｘであったものが、１デニール以下
では０．０２μ−Ｒｗａｘとなっていることがわかる。
また、第２図から明きらかなように、押付圧を低くする
ほど表面あらさが向上しており、０．５ｋｇ４７ｃｍ”
以下に制御すれば約０．０２μｍ Ｒｍａｘとなり、被
加工面にスクラッチが発生しないことがわかる。・そこ
で本発明は、電極の下端面に固着された緩衝材を覆うよ
うに研磨布を貼設してなる研磨ヘッドを、回転させつつ
被加工面に押し付けることにより、アルミニウムの被加
工面を表面加工する電解複合超鏡面加工方法において、
上記研磨布を極細繊維からなる不織シートとし、上記押
付力を０゜５ｋｇｆ／Ｃｍ２を越えない範囲に制御する
ようにしたことを特徴としている。
ほど表面あらさが向上しており、０．５ｋｇ４７ｃｍ”
以下に制御すれば約０．０２μｍ Ｒｍａｘとなり、被
加工面にスクラッチが発生しないことがわかる。・そこ
で本発明は、電極の下端面に固着された緩衝材を覆うよ
うに研磨布を貼設してなる研磨ヘッドを、回転させつつ
被加工面に押し付けることにより、アルミニウムの被加
工面を表面加工する電解複合超鏡面加工方法において、
上記研磨布を極細繊維からなる不織シートとし、上記押
付力を０゜５ｋｇｆ／Ｃｍ２を越えない範囲に制御する
ようにしたことを特徴としている。
ここで本発明者の実験により、平均押付圧は、電極の下
面と研磨布の下面間との隙間である電極ギャップＤ（第
４図参照）によって影響を受けることが明らかになった
。第３図は電極ギャップと電極押付圧との関係を調査し
た実験結果を示す特性図である。第３図から明かなよう
に、押付圧が大きい領域では、わずかの電極ギャップの
誤差で大きく押付圧が変化することがわかる。
面と研磨布の下面間との隙間である電極ギャップＤ（第
４図参照）によって影響を受けることが明らかになった
。第３図は電極ギャップと電極押付圧との関係を調査し
た実験結果を示す特性図である。第３図から明かなよう
に、押付圧が大きい領域では、わずかの電極ギャップの
誤差で大きく押付圧が変化することがわかる。
本発明に係るアルミニウムの電解複合超鏡面加工方法で
は、研磨布を極細繊維からなる不織シートとするととも
に、電極押付力を０．５ ｋｇｆ ／ｃｍ”以下に制御
するようにしたので、繊維１本当たりの曲げ剛性が低く
なり、被加工面に深い傷を付けることがなく、また、押
付力が局部的に高くなっても繊維が変形して砥粒を逃が
し、砥粒による被加工面へのくい込みを防止することが
でき、スクラッチの発生を防止して表面あらさを大きく
向上することができる。
は、研磨布を極細繊維からなる不織シートとするととも
に、電極押付力を０．５ ｋｇｆ ／ｃｍ”以下に制御
するようにしたので、繊維１本当たりの曲げ剛性が低く
なり、被加工面に深い傷を付けることがなく、また、押
付力が局部的に高くなっても繊維が変形して砥粒を逃が
し、砥粒による被加工面へのくい込みを防止することが
でき、スクラッチの発生を防止して表面あらさを大きく
向上することができる。
以下、本発明の実施例を図について説明する。
第４図ないし第６図は本発明の一実施例方法を実施する
ための表面加工装置を示す。
ための表面加工装置を示す。
図において、１は表面加工装置であり、該表面加工装置
１は、テーブル駆動装置２と、１！掻駆動装置３と、電
解液供給！ａ置４と、電流供給装置５とで構成されてい
る。
１は、テーブル駆動装置２と、１！掻駆動装置３と、電
解液供給！ａ置４と、電流供給装置５とで構成されてい
る。
上記テーブル駆動装置２は、ベッド２ａを図示しない駆
動モータで図示左右に駆動し、さらに駆動モータ２ｂで
回転テーブル２Ｃを回転駆動するように構成されている
。なお上記回転テーブル２Ｃの下方には電解液受け２ｄ
が配設されている。
動モータで図示左右に駆動し、さらに駆動モータ２ｂで
回転テーブル２Ｃを回転駆動するように構成されている
。なお上記回転テーブル２Ｃの下方には電解液受け２ｄ
が配設されている。
そしてこの回転テーブル２Ｃの上面に被加工物、この場
合はアルミ合金のアルミディスクＷが載置される。
合はアルミ合金のアルミディスクＷが載置される。
上記［極駆動装置１１！３は上記回転テーブル２Ｃの上
方に配設されており、該駆動装置３は、駆動機ｔｌｉ６
により回転軸６ａを回転駆動するとともに、垂直方向に
所定の押付力を作用させることができるように構成され
ている。該回転軸６ａには、電解液を通す通路６ｂが形
成されており該回転軸６ａの下端には、研磨ヘッド７が
取り付けられている。
方に配設されており、該駆動装置３は、駆動機ｔｌｉ６
により回転軸６ａを回転駆動するとともに、垂直方向に
所定の押付力を作用させることができるように構成され
ている。該回転軸６ａには、電解液を通す通路６ｂが形
成されており該回転軸６ａの下端には、研磨ヘッド７が
取り付けられている。
上記研磨へラド７は、工具電極９．緩衝材１０および研
磨布１１で構成されており、この工具電極９が上記回転
軸６ａの下端に固着されている。
磨布１１で構成されており、この工具電極９が上記回転
軸６ａの下端に固着されている。
該電極９の回転軸６ａへの固着においては、機械精度の
誤差が考慮されている。即ち、スラスト方向の振れ、お
よびアルミディスクＷの上面との直角度等の誤差を予め
測定し、最大誤差においても押付圧が０．５ｋｇｆ／ｃ
ｍ″を越えないように謂整して固着されている。
誤差が考慮されている。即ち、スラスト方向の振れ、お
よびアルミディスクＷの上面との直角度等の誤差を予め
測定し、最大誤差においても押付圧が０．５ｋｇｆ／ｃ
ｍ″を越えないように謂整して固着されている。
上記工具電極９は電極（陰橿）として作用する円板状の
ものであり、多数の電解液噴出口９ａが放射状に上面か
ら下面に貫通して形成されている。
ものであり、多数の電解液噴出口９ａが放射状に上面か
ら下面に貫通して形成されている。
またこの工具電極９の下面には、上記緩衝材１０が配設
されており、さらに該緩衝材１０を覆うように上記研磨
布１１が配設されており、該研磨布の周縁部は上記工具
電極９ａ及び上記回転軸６ａに接着材８で固着されてい
る。
されており、さらに該緩衝材１０を覆うように上記研磨
布１１が配設されており、該研磨布の周縁部は上記工具
電極９ａ及び上記回転軸６ａに接着材８で固着されてい
る。
上記緩衝材１０はポリエステル製不織布であり、上記研
磨布１１はポリエステル製の繊維径が１デニール以下の
極細繊維を使用した人工皮革である。
磨布１１はポリエステル製の繊維径が１デニール以下の
極細繊維を使用した人工皮革である。
またこの研磨布１１は市販光されているシート状のもの
を緩衝材１０の外形形状に合わせてプレス成形されたも
のであり、これにより該研磨布１１の装着時の盛り上が
りや慣をなくしている。なお、上記研磨布１１および該
緩衝材ｌＯは、後述の電解液及び砥粒を通す性質がある
。
を緩衝材１０の外形形状に合わせてプレス成形されたも
のであり、これにより該研磨布１１の装着時の盛り上が
りや慣をなくしている。なお、上記研磨布１１および該
緩衝材ｌＯは、後述の電解液及び砥粒を通す性質がある
。
上記電解液供給装置４の電解液タンク１４内には不動態
化型電解液であるＮａＮＯｓと遊離砥粒が収容されてい
る。該砥粒は、組成はアルミナであり、平均粒径は０．
５μｍである。そしてこの電解液タンク１４は電解液通
路１２を介して電！！！ｉＷＡ動装置３に接続されてお
り、この供給通路１２には供給ポンプ１３が介設されて
いる。このようにして電解液は上記供給通路１２を通っ
て上記回転輪６ａ内の通路６ｂを介して工具電８ｉ９の
電解液噴出口９ａから研磨布１１とアルミディスクＷと
の間に供給され、上記電解液受２ｄに溜まり、さらに帰
還通路１３を通って上記タンク１４に戻るようになって
いる。
化型電解液であるＮａＮＯｓと遊離砥粒が収容されてい
る。該砥粒は、組成はアルミナであり、平均粒径は０．
５μｍである。そしてこの電解液タンク１４は電解液通
路１２を介して電！！！ｉＷＡ動装置３に接続されてお
り、この供給通路１２には供給ポンプ１３が介設されて
いる。このようにして電解液は上記供給通路１２を通っ
て上記回転輪６ａ内の通路６ｂを介して工具電８ｉ９の
電解液噴出口９ａから研磨布１１とアルミディスクＷと
の間に供給され、上記電解液受２ｄに溜まり、さらに帰
還通路１３を通って上記タンク１４に戻るようになって
いる。
また上記電流供給装置５の直流定電圧電源１５は、陽極
端子が上記回転テーブル２Ｃを介して上記アルミディス
クＷに、陰極端子が上記工具電極９に接続されており、
この工具電極９とアルミディスクＷとの間に直流定電圧
を印加する。なお、１６は両極間の電圧を計測する電圧
計である。
端子が上記回転テーブル２Ｃを介して上記アルミディス
クＷに、陰極端子が上記工具電極９に接続されており、
この工具電極９とアルミディスクＷとの間に直流定電圧
を印加する。なお、１６は両極間の電圧を計測する電圧
計である。
次に上記表面加工賃Ｗ１により、本発明の一実施例によ
アルミニウムの電解複合超鏡面加工方法を実施する場合
について説明する。
アルミニウムの電解複合超鏡面加工方法を実施する場合
について説明する。
本実施例では、上記アルミディスクＷを上記表面加工装
置ｌの回転テーブル２Ｃの上面に載置し、上記電極駆動
装置３によって上記研磨ヘッド７を回転させつつ軸方向
に押付力を作用させる。そしてこの加工において、上記
研磨へラド７の研磨布１１は上述のように、繊維径１デ
ニール以下の極細繊維が使用されており、また研磨ヘッ
ド１７の上記被加工面への押付圧を０．５ ｋｇｆ ／
ｃｍ”以下に制御する。
置ｌの回転テーブル２Ｃの上面に載置し、上記電極駆動
装置３によって上記研磨ヘッド７を回転させつつ軸方向
に押付力を作用させる。そしてこの加工において、上記
研磨へラド７の研磨布１１は上述のように、繊維径１デ
ニール以下の極細繊維が使用されており、また研磨ヘッ
ド１７の上記被加工面への押付圧を０．５ ｋｇｆ ／
ｃｍ”以下に制御する。
次に本実施例の作用効果を説明する。
上述のように、アルミニウムのような軟質材ヲ鏡面加工
する場合は、押付圧を所定値（例えば０゜５ ｋｇｆ
７ｃｍ” ）以下に制御するとともに、掻部的にも高押
付力が発生しないようにする必要がある。
する場合は、押付圧を所定値（例えば０゜５ ｋｇｆ
７ｃｍ” ）以下に制御するとともに、掻部的にも高押
付力が発生しないようにする必要がある。
これに対して本実施例では研磨布１１として繊維径が１
デニール以下のポリエステル極細！！維からなる人工皮
革を使用したので、繊維１本あたりの曲げ剛性が小さく
なり、撮部的に高押付力が発生することはあまりなく、
被加工面に傷をつけることがない、さらに仮に押付圧が
局部的に高くなってもこの繊維の剛性が低いことがら砥
粒を逃がすことができ、砥粒による被加工面へのくい込
みを緩和することができる。
デニール以下のポリエステル極細！！維からなる人工皮
革を使用したので、繊維１本あたりの曲げ剛性が小さく
なり、撮部的に高押付力が発生することはあまりなく、
被加工面に傷をつけることがない、さらに仮に押付圧が
局部的に高くなってもこの繊維の剛性が低いことがら砥
粒を逃がすことができ、砥粒による被加工面へのくい込
みを緩和することができる。
また本実施例では、押付圧を０．５ ｋｇｆ ７ｃｍ”
以下とするために予め機械精度の誤差による電極のスラ
スト方向のフレ及び被加工面との直角度を測定して、こ
れらの誤差最大時にも０．５ ｋｇｆ ７ｃｍ”を越え
ないように電極を配設し、さらにシート状で市販されて
いる研磨布を上記緩衝材に合わせてプレス成形し、これ
を装着したので、この点からも局部的に押付力が高くな
るのを防止でき、これによりスクラッチの発生を防止す
ることができ、アルミニウムを０．１ μｔａ Ｒｍａ
ｘ以下の超鏡面に加工することができる。
以下とするために予め機械精度の誤差による電極のスラ
スト方向のフレ及び被加工面との直角度を測定して、こ
れらの誤差最大時にも０．５ ｋｇｆ ７ｃｍ”を越え
ないように電極を配設し、さらにシート状で市販されて
いる研磨布を上記緩衝材に合わせてプレス成形し、これ
を装着したので、この点からも局部的に押付力が高くな
るのを防止でき、これによりスクラッチの発生を防止す
ることができ、アルミニウムを０．１ μｔａ Ｒｍａ
ｘ以下の超鏡面に加工することができる。
なお、上記実施例では、研磨布を接着材で工具電極に固
着したが、これは第７図、第８図に示すように、ホース
バンド２０あるいは押え板２２とボルト２１によって固
着してもよい。
着したが、これは第７図、第８図に示すように、ホース
バンド２０あるいは押え板２２とボルト２１によって固
着してもよい。
以上のように、本発明に係るアルミニウムの電解複合超
鏡面加工方法によれば、研磨布を極細繊維からなる不織
シートとし、押付圧を０．５ ｋｇｆ ７ｃｍ”を越え
ない範囲に制御したので、スクラッチの発生を防止する
ことができ、アルミニウムの被加工面を０．１ μ−Ｒ
５ｘａｘ以下の超鏡面に加工ができる効果がある。
鏡面加工方法によれば、研磨布を極細繊維からなる不織
シートとし、押付圧を０．５ ｋｇｆ ７ｃｍ”を越え
ない範囲に制御したので、スクラッチの発生を防止する
ことができ、アルミニウムの被加工面を０．１ μ−Ｒ
５ｘａｘ以下の超鏡面に加工ができる効果がある。
第１図ないし第３図は本発明成立過程を説明するための
図であり、第１図は繊維径−表面あらさ特性図、第２図
は電極押付圧−表面あらさ特性図、第３図は電極ギャッ
プ−電極押付圧特性図、第４図ないし第６図は本発明の
実施例方法を実施するための装置を示し、第４図は研磨
ヘッドの断面図、第５図は工具電極の断面底面図、第６
図は表面加工装置の正面図、第７図、第８図はいずれも
上記実施例の変形例を示す研磨へラドの断面図、第９図
、第１０図はアルミニウム加工面のスクラッチ発生状態
を示す図である。 図において、６ａは回転軸ミ７は研磨ヘッド、１０は緩
衝材、１１は研磨布、Ｗはアルミニウムである。 特許出願人 株式会社神戸製鋼所 代理人 弁理士 下布 努 第２図 ０ ０．５ １ １．５
２ ２．５を詩押住玉（ｋｇｆ／ｅｓ＋”
） 第３図 を宋−ギャー、ブ （ｍｍ） 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図 第９図 第１０図
図であり、第１図は繊維径−表面あらさ特性図、第２図
は電極押付圧−表面あらさ特性図、第３図は電極ギャッ
プ−電極押付圧特性図、第４図ないし第６図は本発明の
実施例方法を実施するための装置を示し、第４図は研磨
ヘッドの断面図、第５図は工具電極の断面底面図、第６
図は表面加工装置の正面図、第７図、第８図はいずれも
上記実施例の変形例を示す研磨へラドの断面図、第９図
、第１０図はアルミニウム加工面のスクラッチ発生状態
を示す図である。 図において、６ａは回転軸ミ７は研磨ヘッド、１０は緩
衝材、１１は研磨布、Ｗはアルミニウムである。 特許出願人 株式会社神戸製鋼所 代理人 弁理士 下布 努 第２図 ０ ０．５ １ １．５
２ ２．５を詩押住玉（ｋｇｆ／ｅｓ＋”
） 第３図 を宋−ギャー、ブ （ｍｍ） 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図 第９図 第１０図
Claims (1)
- （１）回転軸に固着された電極の下端面に緩衝材を介し
て研磨布を貼設してなる研磨ヘッドを、回転させつつ軸
方向に所定の押付力で押し付けることにより、アルミニ
ウム（以下アルミニウム合金を含む）の被加工面を表面
加工する電解複合超鏡面加工方法において、上記研磨布
を極細繊維からなる不織シートとし、上記押付力を０．
５ｋｇｆ／Ｃｍ＾２を越えない範囲に制御するようにし
たことを特徴とするアルミニウムの電解複合超鏡面加工
方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62126330A JPS63288620A (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | アルミニウムの電解複合超鏡面加工方法 |
| US07/187,464 US4839005A (en) | 1987-05-22 | 1988-04-28 | Electrolytic-abrasive polishing method of aluminum surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62126330A JPS63288620A (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | アルミニウムの電解複合超鏡面加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63288620A true JPS63288620A (ja) | 1988-11-25 |
| JPH0460766B2 JPH0460766B2 (ja) | 1992-09-29 |
Family
ID=14932516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62126330A Granted JPS63288620A (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | アルミニウムの電解複合超鏡面加工方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4839005A (ja) |
| JP (1) | JPS63288620A (ja) |
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