JPH1163143A - アクチュエータ - Google Patents

アクチュエータ

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Publication number
JPH1163143A
JPH1163143A JP22991497A JP22991497A JPH1163143A JP H1163143 A JPH1163143 A JP H1163143A JP 22991497 A JP22991497 A JP 22991497A JP 22991497 A JP22991497 A JP 22991497A JP H1163143 A JPH1163143 A JP H1163143A
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JP
Japan
Prior art keywords
driving force
transmission shaft
bearing member
aluminum
force transmission
Prior art date
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Pending
Application number
JP22991497A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigekazu Nagai
茂和 永井
Hiroyuki Shiomi
裕幸 塩見
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SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
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Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
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Publication of JPH1163143A publication Critical patent/JPH1163143A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】駆動力伝達手段の摩耗および摺動部の摩擦抵抗
を軽減させ、且つ取り扱い等の好適な軽量のアクチュエ
ータを提供する。 【解決手段】アクチュエータ10において、駆動力伝達
手段であるボールねじ30の駆動力伝達軸32をアルミ
ニウムで形成し、前記駆動力伝達軸32に外嵌される軸
受部材34を超高分子量のポリエチレン製材料で形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、駆動源の駆動力を
駆動力伝達手段を介して移動テーブルに伝達し、前記移
動テーブルを所定方向に変位させることによりワークを
搬送するアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、ワーク等を搬送するためにア
クチュエータが用いられている。このアクチュエータ
は、外枠を構成するフレームの長手方向に沿って変位す
る移動テーブルを有し、モータ軸と同軸に連結されたボ
ールねじあるいはすべりねじを介してモータの回転駆動
力を前記移動テーブルに伝達して該移動テーブルを摺動
変位させることにより、該移動テーブルに載置されたワ
ークを搬送している。
【0003】ところで、モータの回転駆動力を移動テー
ブルに伝達するボールねじあるいはすべりねじは、摺動
性を保持するために、例えば、炭素鋼若しくはSUS材
等の金属製材料またはポリアセタール等の合成樹脂製材
料によって形成されている。
【0004】しかしながら、前記ボールねじあるいはす
べりねじを炭素鋼等の金属製材料で形成した場合、該ボ
ールねじあるいはすべりねじの重量が大となるために取
付作業が困難であり、取付場所にも制約を受ける等、種
々の不具合がある。
【0005】また、ボールねじあるいはすべりねじを合
成樹脂製材料で形成した場合、長期間の使用によって前
記ボールねじあるいはすべりねじの摺動部分に摩耗が生
じ、その結果、モータの回転駆動力を好適に移動テーブ
ルに伝達することができないという不都合がある。
【0006】また、摩耗を防止するために、ボールねじ
あるいはすべりねじの摺動部位にグリス等の潤滑油を用
いる場合があるが、クリーンルーム等のように環境に左
右される場所では前記潤滑油を使用することができない
という難点がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記の種々
の不都合を克服するためになされたものであり、駆動力
伝達手段の各部材の摩耗および摺動部の摩擦抵抗を軽減
させることができるとともに、駆動力伝達手段の重量を
軽減して取付作業を容易化し、また取付場所にも制約を
受けることが少ない等、種々の不都合を解消することが
できるアクチュエータを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、駆動源の駆動力を駆動力伝達手段を介
して移動テーブルに伝達し、前記移動テーブルをフレー
ムの長手方向に沿って変位させることによりワークを搬
送するアクチュエータにおいて、前記駆動力伝達手段
は、駆動力伝達軸および前記駆動力伝達軸に外嵌される
軸受部材からなり、前記駆動力伝達軸をアルミニウムま
たはアルミニウム合金で形成し、前記軸受部材を合成樹
脂、アルミニウムまたはアルミニウム合金で形成するこ
とを特徴とする。
【0009】前記駆動力伝達手段としては、ボールねじ
またはすべりねじを用いることができる。また、前記軸
受部材として合成樹脂を用いる際、その種類としては、
ポリアセタール等の他、好適には超高分子量のポリエチ
レンを用いることができる。また、前記軸受部材とし
て、耐摩耗性等の観点から、必要に応じて、本発明にお
いて駆動力伝達軸に用いるアルミニウムまたはアルミニ
ウム合金等と同種類の材質とすることもできる。
【0010】これにより、ボールねじあるいはすべりね
じを構成する前記駆動力伝達軸と軸受部材の摩耗が減少
し、また両者の摺動部における摺動抵抗が減少して摩擦
抵抗が軽減されるとともに、駆動力伝達手段、特に、前
記駆動力伝達軸の重量が大であることによって生じるア
クチュエータの取付作業の困難性、取付場所の制約から
免れることができ、しかも該駆動力伝達軸を長尺化しに
くいこと、負荷イナーシャが大きいことにより入力トル
クが大きくなるために駆動源であるモータの小型化が制
限されること等の不具合を解消することができる。ま
た、炭素鋼若しくはSUS材等の金属製材料の強磁性体
材料を用いる場合に生じる磁界中での影響を軽減するこ
とができる。
【0011】本発明に係るアクチュエータにおいて、好
適には、前記駆動力伝達軸または軸受部材をアルミニウ
ムまたはアルミニウム合金で形成し、その表面をニッケ
ルメッキ処理、あるいはアルマイト処理することによ
り、各部材の摩耗および摺動部の摩擦抵抗を一層軽減す
ることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明に係るアクチュエータにつ
いて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら以下詳細に説明する。
【0013】図1は、本発明の第1の実施の形態に係る
アクチュエータの要部分解斜視図である。
【0014】このアクチュエータ10は、長手方向に沿
って貫通する複数の流体通路12a〜12dおよび溝部
14a、14bを有するフレーム16と、前記フレーム
16の対向する側面部に前記溝部14a、14bを介し
て着脱自在に設けられた一対のサイドカバー18a、1
8bと、前記フレーム16の長手方向の両端部に夫々装
着されるエンドカバー20a、20bとを含む。なお、
前記サイドカバー18a、18bおよびエンドカバー2
0a、20bによって閉塞される部分以外の上部開口部
は、図示しないトップカバーによって閉塞されている。
【0015】前記フレーム16の上面部には、長手方向
に沿って該フレーム16と一体的に設けられた一対のガ
イドレール22a、22bを含むガイド機構24が設け
られる。前記一対のガイドレール22a、22b間には
モータ26が固設され、ブロック体28内に配設された
図示しないカップリング部材によって前記モータ26の
回転駆動力をボールねじ30に伝達している。なお、ガ
イドレール22a、22bをフレーム16と別体で構成
してもよく、その断面形状も図1に示すものに限らず、
製造が容易な正方形状とすることができる。
【0016】図2および図3に示されるように、駆動力
伝達手段であるボールねじ30は、駆動力伝達軸32
と、前記駆動力伝達軸32に外嵌される軸受部材34と
から構成される。この場合、前記駆動力伝達軸32の本
体はアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成され、
また、前記軸受部材34は超高分子量のポリエチレン樹
脂材料で形成されている。
【0017】ボールねじ30の要部を図3に示す。アル
ミニウム製の駆動伝達軸32には螺旋状の一条の湾曲凹
部36が形成され、この駆動力伝達軸32には前記軸受
部材34が嵌合する。該軸受部材34は円柱部38とこ
れと一体的なフランジ部40とを有し、前記駆動力伝達
軸32に対応して螺旋状の一条の湾曲凹部42が形成さ
れている。前記駆動力伝達軸32の湾曲凹部36と軸受
部材34の湾曲凹部42とによって画成される断面円形
状の一条の螺旋溝に複数個のボール44が介装される。
なお、図3中、参照符号46は、軸受部材34の円柱部
38の一方の端部から他方の端部へと前記ボール44を
返送するための溝を示す。前記駆動力伝達軸32は、図
1に示すように、一端部が支持ブロック48によって回
動自在に支持されている。
【0018】前記ブロック体28と支持ブロック48と
の間には、前記駆動力伝達軸32の回動作用下に矢印X
またはY方向に変位する移動体50が設けられる。前記
移動体50には一対の平行な脚部52a、52bが設け
られ、これら脚部52a、52bの下端のそれぞれの案
内面54a、54bが前記ガイドレール22a、22b
に摺接する。脚部52a、52bの上面には図示しない
シリンダ等が固着され、その下方には前記脚部52a、
52b間に保持体56が支持されている。前記保持体5
6の略中央には前記軸受部材34の円柱部38を保持す
る孔部が画成される。
【0019】本発明の第1の実施の形態に係るアクチュ
エータ10は、基本的には以上のように構成されるもの
であり、次にその作用効果について説明する。
【0020】モータ26を付勢すると、図示しない回転
駆動軸から与えられる回転力はカップリング部材(図示
せず)を介して駆動力伝達軸32に伝達される。これに
よって軸受部材34はボール44を介して変位し、この
軸受部材34を保持する保持体56および脚部52a、
52bが設けられた移動体50もガイドレール22a、
22b上を一体的に移動する。従って、移動体50が矢
印XまたはY方向に移動し、図示しないワークの移送あ
るいは加工が施されることになる。この場合、駆動力伝
達軸32をすべりねじ構造とし、このすべりねじをアル
ミニウムまたはアルミニウム合金で形成し、軸受部材3
4をポリアセタール樹脂で形成してもよい。
【0021】さらに、前記駆動力伝達軸32と軸受部材
34とをアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成
し、それぞれの表面にニッケルメッキを施すと、摩擦抵
抗が著しく減少し、従って、重量を増大させることなく
円滑に移動体50の移送動作が行われる。
【0022】本発明の第1の実施の形態によれば、駆動
力伝達軸32をアルミニウムまたはアルミニウム合金で
形成し、一方、軸受部材34をポリエチレン樹脂で形成
している。従って、両材料がともに軽量であるために、
アクチュエータ自体の取付作業が容易となり、また、取
付場所にも制約されない等の効果が得られる。
【0023】図4に示す本発明の第2の実施の形態で
は、軸受部材34の湾曲凹部42の断面形状をゴチック
アーチ60の形状に形成し、図5に示す本発明の第3の
実施の形態では、軸受部材34の湾曲凹部42の湾曲面
の半径R1 とボール44の半径R2 とが異なるように形
成されている。これらの例においては、軸受部材34の
摩耗および摺動部の摩擦抵抗がより好適に軽減される。
【0024】これら駆動力伝達軸32または軸受部材3
4をアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成し、さ
らに必要に応じてニッケルメッキ処理またはアルマイト
処理を行うものについては、ショットピーニング、バフ
仕上げ、ラップ仕上げ、液体ホーニング仕上げ、バニシ
仕上げ、ローラー仕上げ、化学研磨、電解研磨、サンド
ブラスト仕上げ等の表面研磨または研削方法を適宜選択
して施すことがより望ましく、この場合、砥石としてダ
イヤモンドまたはCBN材料を用いると一層好適であ
る。これらの表面研磨または研削を行うことにより、各
部材の表面の粗度を著しく小さくすることができ、各部
材の摩耗がより一層好適に軽減される。
【0025】
【発明の効果】本発明に係るアクチュエータによれば、
以下の効果が得られる。
【0026】すなわち、駆動力伝達軸をアルミニウムま
たはアルミニウム合金で形成し、前記軸受部材を合成樹
脂、アルミニウムまたはアルミニウム合金で形成するこ
とにより、各部材の摩耗および摺動部位における摺動抵
抗が減少し、摩擦抵抗が軽減されるとともに、駆動力伝
達手段、特に、前記駆動力伝達軸の重量が大であること
によって生じる、アクチュエータの取付作業の困難性、
取付場所に対する制約から免れることができ、しかも該
駆動力伝達軸が長尺化しにくいこと、負荷イナーシャが
大きいことに比例して入力トルクが大きくなるために駆
動源であるモータの小型化が制限されること等の不具合
を解消することができる。また、炭素鋼若しくはSUS
材等の金属製材料の強磁性体材料を用いる場合に生じる
磁界中での影響を軽減することができる。
【0027】さらに、駆動力伝達軸または軸受部材のう
ちの少なくともいずれか一方をアルミニウムまたはアル
ミニウム合金で形成した後、その表面をニッケルメッキ
処理、あるいはアルマイト処理することにより、各部材
の摩耗および摺動部の摩擦抵抗を一層軽減することがで
きる。
【0028】さらにまた、駆動力伝達手段の送りねじと
してボールねじを用いる場合は、ボールねじの駆動力伝
達軸または軸受部材のうち少なくともいずれか一方の溝
部をゴチックアーチ状に形成し、あるいは、ボールねじ
の伝達軸または軸受部材の溝部のうち少なくとも一方の
溝部の湾曲面の半径をボールの半径と異なるように形成
することにより、各部材の摩耗および摺動部の摩擦抵抗
を一層軽減することができる。
【0029】また、アクチュエータ本体をアルミニウム
またはアルミニウム合金で形成することにより、アクチ
ュエータが一層軽量化されるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るアクチュエー
タの要部分解斜視図である。
【図2】図1のアクチュエータを構成するボールねじの
駆動力伝達軸および軸受部材の拡大斜視図である。
【図3】図2に示すボールねじの駆動力伝達軸および軸
受部材の縦断面図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態に係るアクチュエー
タのボールねじ部分の一部省略断面図である。
【図5】本発明の第3の実施の形態に係るアクチュエー
タのボールねじ部分の一部省略断面図である。
【符号の説明】
10…アクチュエータ 24…ガイド機構 30…ボールねじ 32…駆動力伝達軸 34…軸受部材 44…ボール 50…移動体

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】駆動源の駆動力を駆動力伝達手段を介して
    移動テーブルに伝達し、前記移動テーブルをフレームの
    長手方向に沿って変位させることによりワークを搬送す
    るアクチュエータにおいて、 前記駆動力伝達手段は、駆動力伝達軸および前記駆動力
    伝達軸に外嵌される軸受部材からなり、前記駆動力伝達
    軸をアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成し、前
    記軸受部材を合成樹脂、アルミニウムまたはアルミニウ
    ム合金で形成することを特徴とするアクチュエータ。
  2. 【請求項2】請求項1記載のアクチュエータにおいて、
    前記駆動力伝達軸をアルミニウムまたはアルミニウム合
    金で形成し、さらにその表面がニッケルメッキ処理また
    はアルマイト処理されていることを特徴とするアクチュ
    エータ。
  3. 【請求項3】請求項1または2記載のアクチュエータに
    おいて、前記軸受部材をアルミニウムまたはアルミニウ
    ム合金で形成し、さらにその表面がニッケルメッキ処理
    またはアルマイト処理されていることを特徴とするアク
    チュエータ。
  4. 【請求項4】請求項1乃至3のいずれか1に記載のアク
    チュエータにおいて、前記駆動力伝達手段がボールねじ
    であって、該ボールねじの伝達軸または前記軸受部材の
    うち少なくともいずれか一方の溝部をゴチックアーチ状
    に形成することを特徴とするアクチュエータ。
  5. 【請求項5】請求項1乃至3のいずれか1項に記載のア
    クチュエータにおいて、前記駆動力伝達手段はボールね
    じであって、該ボールねじの伝達軸または前記軸受部材
    のうち少なくともいずれか一方の溝部の湾曲面の半径を
    ボールの半径と異なるように形成することを特徴とする
    アクチュエータ。
  6. 【請求項6】請求項1乃至5のいずれか1項に記載のア
    クチュエータにおいて、アクチュエータ本体をアルミニ
    ウムまたはアルミニウム合金で形成することを特徴とす
    るアクチュエータ。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005003077A1 (de) * 2003-07-01 2005-01-13 Bayer Cropscience Aktiengesellschaft Verfahren zum herstellen von difluoracetessigsäurealkylestern
JP2009079655A (ja) * 2007-09-26 2009-04-16 Ntn Corp ボールねじおよびこれを備えた無段変速機のアクチュエータ
KR101050583B1 (ko) 2010-12-31 2011-07-19 주식회사아이로보 전동식 다점 위치 결정 장치
CN102317252A (zh) * 2009-02-19 2012-01-11 苏威氟有限公司 氟取代的链烷酸的酯类的组合物
JP2012077813A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Kimiyo Nakao 直動アクチュエータ及び螺子杆

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005003077A1 (de) * 2003-07-01 2005-01-13 Bayer Cropscience Aktiengesellschaft Verfahren zum herstellen von difluoracetessigsäurealkylestern
JP2009079655A (ja) * 2007-09-26 2009-04-16 Ntn Corp ボールねじおよびこれを備えた無段変速機のアクチュエータ
CN102317252A (zh) * 2009-02-19 2012-01-11 苏威氟有限公司 氟取代的链烷酸的酯类的组合物
JP2012077813A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Kimiyo Nakao 直動アクチュエータ及び螺子杆
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