JP3570077B2 - 無吸引クリーンアクチュエータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハウジングに組み込まれて軸方向に直線駆動されるキャリッジを有する防塵構造のアクチュエータに係り、特に、排気ポンプ無しで外部への発塵を防止できる無吸引クリーンアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の防塵構造のアクチュエータとしては、例えば、実開平7−7837号に開示されたものがある。このものは、図6に示すように、ハウジング100の内部に直線案内装置101と、これに案内されるキャリッジ102と、そのキャリッジをボールねじを介して軸方向に駆動する駆動装置103とを備えており、ハウジング100の一面にはキャリッジ102の移動方向に長く開口したスリットを有する。キャリッジ102の一部はスリットを介してハウジング外に突き出していて、これに搬送用のテーブル等を取り付けるようになっている。そのハウジング100の両端部に複数個のプーリ105を配し、それらのプーリを介して張設したシールベルト106の可動ループにキャリッジ102を取り付けてある。シールベルト106の可動ループは、ハウジングのスリット開口を塞いで、ハウジング内部で発生した金属粉やグリース微粒子等の塵埃が外部へ飛散することを防止するもので、プーリ105を経てキャリッジ102の直線移動に伴って循環する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の防塵構造のアクチュエータは、キャリッジ102がある程度高速で移動すると、その前進側のハウジング内部空間の空気が圧縮されて内圧が外部空気圧より高くなり、シールベルト106で塞がれている筈のスリットから外部に洩れ出すことがある。そのため、上記防塵構造のアクチュエータを例えば極微小な塵埃の微量飛散することも忌避される無塵室内で部品移送ロボットとして使用する場合等には、図7に示すように、防塵構造のアクチュエータを更にカバー110で覆うとともに、ダクト111を介して排気ポンプ112でカバー110内を排気して負圧を作り、微小塵埃の外部飛散の完全防止を図らなければならないという未解決の課題がある。
【0004】
本発明は、このような従来の防塵構造のアクチュエータが直面する未解決の課題に着目してなされたもので、カバーで覆い排気ポンプで減圧することを不要とする完全防塵構造の無吸引クリーンアクチュエータを提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に係る発明は、軸方向に長く開口したスリットを外面に有するハウジング内に、直線案内装置を介して軸方向に移動自在に支持されるとともに送り装置で前記スリットに沿って往復駆動される搬送用部材を設け、該搬送用部材はその一部を前記スリットを介してハウジング外部に突出せしめるとともに、複数のプーリを介してハウジング内に軸方向可動に張設され前記スリットの開口を封止するシールベルトの可動ループに係合してなるアクチュエータにおいて、前記搬送用部材が移動する前記ハウジング内の主空間に沿わせて、外部と連通する従空間を併設するとともに、その従空間と前記主空間とを、主空間の両端部に設置されて従空間への一方向のみに空気を流す排気弁を介して連通させたことを特徴とするものである。
【0006】
本発明に係る無吸引クリーンアクチュエータは、搬送用部材自身の軸方向への搬送動作と排気弁との共働により、ハウジング内の主空間内の空気を隣設した従空間の方へ追い出すと共に、逆流を阻止する。これにより、排気ポンプを用いることなくハウジング内に負圧をつくり出して、ハウジング内の直線案内装置や送り装置などの駆動で発生する塵埃をハウジング外部に飛散させない。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図1,図2は本発明の一実施形態例を示したもので、図1は軸に垂直に切断した断面図、図2はそのII−II線断面図である。
【0008】
先ず、構成を説明すると、軸方向に長いハウジング1の内部は上下二段に仕切り、上部の空間(以下、「主空間」という)2と下部の空間(以下、「従空間」という)3とに分割されている。
【0009】
その主空間2内に、一対の直動案内装置(リニアガイド装置)4,4が平行に配設され、この2台の直動案内装置4,4により、搬送用部材である1台の主キャリア10が軸方向に移動自在に支持されている。主キャリア10は断面ほぼT型で、ハウジング1の内法の幅よりやや小さい幅を有し、その上面には左右両サイド寄りの位置に被搬送ワークの取付け座面10aが突設されている。直動案内装置4は、左右両側面に軸方向の転動体転動溝5を有する断面ほぼ角形の案内レール6と、その案内レール6を跨ぐ断面コ字型に形成されて内側面に前記案内レールの転動体転動溝5に対向する図示されない転動体転動溝を有するスライダ7と、両転動体転動溝内を転動しつつ無限循環する図示されない多数の転動体とを備え、スライダ7は転動体の転動を介して案内レール6上を滑らかに移動する構造の転がり案内である。
【0010】
前記直動案内装置4の案内レール6は、下部が主空間2の床面11の左右両サイドにある軸方向の溝12内に埋め込まれて固定され、その上に跨架されたスライダ7の下面が床面11とすれすれになるようにしてある。そのスライダ7は主キャリア10のT型断面の下部空間内に密着して取付けてある。かくして、床面11と側壁13とハウジングのカバー1aとで囲まれた主空間2の空間断面が主キャリア10とこれを支持した直動案内装置4とで、接触しない程度の僅かの隙間を残して軸方向に仕切られ、これにより主キャリア10はピストンとしての機能をも兼ねるものとなっている。
【0011】
この主キャリア10を、選定された速度で選定された位置まで軸方向に正確に搬送する送り装置として、本実施形態例ではボールねじ装置16が用いられている。ボールねじ装置16は、主空間2の長さにほぼ見合う長さのねじ軸17に図示されない多数のボールを介してボールねじナット18が螺着されており、そのねじ軸17の一端は軸受19aを介してハウジング1に支持され、他端は軸受19bを介してモータハウジング20に支持されると共に、カップリング21を介してモータ22(例えばACサーボモータ)に連結されている。ボールねじナット18は主キャリア10の下部に一体的に固定されている。
【0012】
ハウジング1は、その上面を覆うカバー1aの両サイドに、軸方向に長く開口した2条の平行なスリットSを備え、主キャリア10のワーク取付け座面10aが各スリットSを貫通してハウジング1の外部に突き出している。その2条のスリットSの開口をそれぞれ封止するため、シールベルト25の可動ループからなるベルト式防塵装置が各スリットSに対応して左右一対に、ハウジング1内に設けられている。各ベルト式防塵装置は同一の構成であるから、その一方のみを説明すると、ハウジング1内の軸方向の両端部において上の主空間2に二個、下の従空間3に二個と上下に計四個のプーリ26を配置してある。シールベルト25は一端を主キャリア10の一端側にねじ27で係止し、四個のプーリ26を通し下方の従空間3を経てループ状に掛け渡し、他端を主キャリア10の他端側に係止することによりシールベルト25の可動ループを形成している。スリットSの開口の側縁にはベルトシール溝28が形成され、その溝28にシールベルト25の側縁を係合させるようにしてシールを効果的に行うようになっている。なお、シールベルト25の材質は、薄い金属帯板又はポリウレタン含浸帆布製の平バンド等任意に選定できる。
【0013】
従空間3の床面30には幅中心位置に溝31が軸方向に延設され、これに従動用の直動案内装置32の案内レール33が下部を埋め込んで設置してある。その案内レール33上に跨架されたスライダ34に、従動キャリア35が一体的に取付けられている。従動キャリア35は、従空間3の壁面に接触しない程度の僅かの隙間を残す断面形状とされ、その左右両側の下面にシールベルト25を通す溝35aを有し、ねじ35bでシールベルト25に係止されている。こうして、シールベルト25の回動に伴い直動案内装置4に案内されつつ従空間3を軸方向に移動するピストンとしての機能を有するものとなっている。
【0014】
このように形成された主空間2と従空間3とは、軸方向の両端部近傍に設けられた開口36,37で連通しており、各開口36,37にそれぞれ、主空間2から従空間への一方向のみに空気を流す排気弁38,39が取付けられている。
【0015】
また、従空間3の軸方向の両端には開口40,41が形成されていて、これに排気ダクト42,43が接続され、各開口40,41にそれぞれ、従空間3から排気ダクト42,43への一方向のみに空気を流す排気弁44,45が取付けられている。
【0016】
次に作用を述べる。
ハウジング1の上カバー1aからスリットSを介して突き出ている主キャリア10の左右一対のワーク取付座面10aには、図示しない被搬送体であるワークを取り付け、ボルトで固定される。
【0017】
いま、主キャリア10は、図2においてモータ22に接近した位置に停止しているものとする。
この状態で駆動装置であるモータ22を正転させる。このようにモータ22が正転すると、その回転力がボールねじ装置16のねじ軸17を正回転させる。これにボールねじナット18が応動して矢符号F方向に移動すると、主キャリア10が共に同方向に移動する。こうして主キャリア10が駆動され、直動案内装置4に案内されてハウジング1の主空間2内を移動することによりワークが搬送される。主キャリア10の移動に伴い、シールベルト25は回動移動しつつスリットSの開口をシールする。このシールベルト25の回動に伴い、シールベルト25に取り付けられている従動キャリア35が、従空間3の内部を主キャリア10の進行方向とは反対に矢符号G方向に同速度で移動する。
【0018】
主キャリア10がF方向に移動すると前方の主空間2の容積が縮小されていくと同時に、従動キャリア35のG方向移動によりその後方の従空間3の容積が拡大されていく。このとき、排気弁38は開き、排気弁44は閉じる。従空間3の断面積は主空間2のそれより大きいので、その断面積差により主キャリア10前方の主空間2は負圧となる。
【0019】
一方、主キャリア10の後方の主空間2の容積はF方向移動につれて拡大されていき、同時に、従動キャリア35の前方の従空間3の容積が縮小されていく。このとき、排気弁39は閉じ、排気弁45は開く。排気弁39が閉じたままで拡大されていくことにより、主キャリア10の後方の主空間2内は負圧となる。容積が縮小される従動キャリア35の前方の従空間3の空気は、開いた排気弁45により排気ダクト43に送り込まれて、無塵室外部に放出される。
【0020】
モータ22の逆転により主キャリア10を逆作動させた場合、上記と反対の動作が行われて、主キャリア10の前後の主空間2内は上記同様に負圧となり、従動キャリア35の進行方向側の従空間3内に圧縮される空気は排気弁44から排出される。
【0021】
かくして、発塵量の多い主空間2は排気ポンプで排気することなく常に負圧に保持されることとなり、内部の直動案内装置4やボールねじ装置16等で微細な塵埃が発生しても装置外部に洩れだすことはなく、排気ダクトを経て排出される空気流とともに無塵室外に運び出される。
【0022】
なお、上記の説明では触れていないが、主キャリア10に軸方向の貫通孔を設けてあっても良い。その場合も同様に主キャリア10の作動により主空間2内は負圧に保持され、発塵の外部飛散が防止される。
【0023】
図3,図4に他の実施形態例を示す。
この例は、従動キャリア35を内蔵した従空間3を省き、その代わりに排気ダクト51を従空間としてハウジング1に連設して、主空間2を排気弁38,39のみを介して排気ダクト51に連通させた点、及び主キャリア10に軸方向の貫通孔50を設けるとともに、その貫通孔50の前後の両開口に、主キャリア10の内部から流出する方向にのみ空気を流す排気弁52,53を有する点が上記第1の実施形態例とは異なっている。なお、54,55はそれぞれ、前記排気弁52,53を取付けるためのカバーである。
【0024】
この場合、主キャリア10が矢符号Fの方向に移動するとき、前進方向にある排気弁52は閉じ、排気弁38は開く。これにより、主キャリア10の前方側の縮小されていく主空間2内の空気は発塵粒子を伴って排気ダクト51に放出される。一方、主キャリア10の後方の拡大されていく主空間2では、排気弁53が開き、排気弁39は閉じる。したがって後方主空間2内は負圧になる。主キャリア10が逆移動する場合も同様であり、かくして発塵量の多い主キャリア10内は常に負圧が保持されて、発生した発塵粒子が外部に洩れ出ることが防止される。
【0025】
図5に更に他の実施形態例を示す。
この例は、上記第2の実施形態例において主キャリア10の貫通孔50前後の両開口に排気弁を設けていない点が異なっている。
【0026】
主キャリア10が矢符号Fの方向に移動するとき、前進方向にある排気弁38が開く。主キャリア10の前方側の縮小されていく主空間2内の空気は発塵粒子を伴って従空間である排気ダクト51に放出される。同時に、主キャリア10の後方の拡大されていく主空間2は排気弁39が閉じて負圧になり、前方の主空間2内の空気が貫通孔50を通り後方の主空間2の方へ吸引されて外部への発塵が防止できる。
【0027】
なお、上記実施形態例では、主キャリア10を一対の直動案内装置4で支持するものを示したが、一台の直動案内装置で支持するものにも適用できる。
また、主キャリア10の送り装置としてボールねじ装置を用いたものを説明したが、これに限らず、ベルト駆動,エアシリンダー駆動その他公知の送り装置であっても良い。
【0028】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、スリットを外面に有するハウジング内をそのスリットに沿って往復駆動される搬送用部材を備え、その搬送用部材の移動にともない回動するシールベルトの可動ループを設けてスリットの開口を封止するようにしたアクチュエータに、外部と連通する従空間を併設するとともに、従空間と前記主空間とを主空間から従空間への一方向のみに空気を流す排気弁を介して連通させたものとしたため、ハウジング内を搬送用部材の移動と排気弁との共働により負圧に保ことができて、その結果、排気ポンプで減圧する必要のない完全防塵構造の無吸引クリーンアクチュエータを提供できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態例の軸に垂直に切断した断面図である。
【図2】図1のII−II線断面図である。
【図3】本発明の他の実施形態例の縦断面図である。
【図4】図3のIV−IV線断面図である。
【図5】本発明の更に他の実施形態例の縦断面図である。
【図6】従来の防塵型アクチュエータの縦断面図である。
【図7】図6に示す従来のアクチュエータを排気ポンプを使用して吸引アクチュエータとした斜視図である。
【符号の説明】
1 ハウジング
2 主空間
3 従空間
4 直線案内装置
10 搬送用部材
16 送り装置
25 シールベルト
26 プーリ
38 排気弁
39 排気弁
Claims (1)
- 軸方向に長く開口したスリットを外面に有するハウジング内に、直線案内装置を介して軸方向に移動自在に支持されるとともに送り装置で前記スリットに沿って往復駆動される搬送用部材を設け、該搬送用部材はその一部を前記スリットを介してハウジング外部に突出せしめるとともに、複数のプーリを介してハウジング内に軸方向可動に張設され前記スリットの開口を封止するシールベルトの可動ループに係合してなるアクチュエータにおいて、
前記搬送用部材が移動する前記ハウジング内の主空間に沿わせて、外部と連通する従空間を併設するとともに、該従空間と前記主空間とを、主空間の両端部に設置されて従空間への一方向のみに空気を流す排気弁を介して連通させたことを特徴とする無吸引クリーンアクチュエータ。
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