JP4311801B2 - 防塵機構付きリニアアクチュエータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム内等において使用する駆動機構として用いるのに適した防塵機構付きのリニアアクチュエータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
リニアアクチュエータとしては各種の構造のものが知られている。一般的に知られているリニアアクチュエータの一つには、ボールねじとボールねじナットを用いて、モータの回転運動を移動ステージの往復直線運動に変換する構成を備えたものがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
リニアアクチュエータをクリーンルーム等において使用する場合には、ボールねじとボールねじナットの噛み合い摺動部分や、移動ステージとこれをガイドするためのガイドレールとの間の摺動部分から発生する粉塵がクリーンルーム内に漏れ出ないようにする必要がある。
【0004】
ここで、移動ステージとボールねじを連結している連結部分の移動軌跡に沿って、アクチュエータハウジングには開口部が形成されている。従って、この開口部から粉塵が漏出することを確実に防止する必要がある。
【0005】
本発明の課題は、アクチュエータハウジングの開口部からの粉塵漏出を確実に防止可能な防塵機構付きリニアアクチュエータを提案することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、軸部材と、この軸部材に機械的に係合していると共に当該軸部材に沿って往復移動可能な移動ステージとを有するリニアアクチュエータにおいて、前記軸部材と前記移動ステージの間に配置された仕切り板と、前記移動ステージにおける前記軸部材への連結部の移動軌跡に沿って当該仕切り板に形成された開口部と、当該開口部を封鎖するために前記仕切り板の前記軸部材の側において前記開口部に沿って配置された防塵ベルトと、前記防塵ベルトを前記連結部に対して前記軸部材の側に迂回させるために、前記移動ステージに取り付けた迂回手段とを有し、前記仕切り板は、前記軸部材と平行に延びる左右一対の垂直側板と、この左右一対の垂直側板の中間に配置される中央仕切り板と、を有し、前記左右一対の垂直側板及び前記中央仕切り板の前後端は、前記軸部材の両端部を回転自在の状態で支持する一対の端部ブロックに取り付けられ、前記防塵ベルトは前記一対の端部ブロック間に架け渡され、前記開口部は、前記中央仕切り板と前記左右一対の垂直側板との間に形成されることを特徴としている。
【0007】
ここで、前記迂回手段としては、ローラを用いて前記防塵ベルトを前記連結部から迂回させるもの、円弧状等の摺動面を用いて前記防塵ベルトを前記連結部から迂回させるものを採用することができる。
【0008】
前記移動ステージは左右一対の前記連結部によって支持されている場合には、これらの連結部のそれぞれの移動軌跡に沿って形成した左右一対の開口部が形成される。この場合には、左右一対の開口部の間に配置されている中央仕切り板の貫通孔を前記移動ステージに形成しておけばよい。
【0009】
典型的なリニアアクチュエータにおいては、前記軸部材は、前記仕切り板を含む部材によって区画形成された区画室(アクチュエータハウジング)の中に配置されている。この場合には、前記区画室の内部から空気を吸引する吸気口を設けることにより、区画室内部で発生した粉塵を確実に吸引除去できる。
【0010】
これに加えて、前記開口部近傍の前記区画室の外側位置に吸引口を取り付ければ、前記開口部から漏れ出た粉塵を確実に吸引除去できる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して本発明を適用した防塵機構付きリニアアクチュエータの一例を説明する。
【0012】
図1(a)〜(c)は本例のリニアアクチュエータを示す平面図、正面図および横断面図である。これらの図に示すように、リニアアクチュエータ1は、細長い箱形のハウジング2と、この中に回転自在の状態で支持されたボールねじ3と、このボールねじ3の回転に応じて往復直線移動する移動ステージ4と、ボールねじ3を回転させるための駆動モータ5を有している。
【0013】
ハウジング2は、水平基板21と、この水平基板21の上面から垂直に起立しボールねじ3と平行に延びる左右一対の垂直側板22、23(仕切り板)と、これら垂直側板22、23の前端および後端に取り付けられた端部ブロック24、25とを備えている。一方の端部ブロック24によってボールねじ3の一端が回転自在の状態で支持されている。ボールねじ3の他端側の部分は、他方の端部ブロック25によって回転自在の状態で支持されていると共に、当該ブロック25を貫通して駆動モータ5の側に連結されている。
【0014】
左右の垂直側板22、23の上端部分は内側に向けて直角に折れ曲がって、左右の水平上板部分22a、23aとなっている。これら左右の上板部分22a、23aの中間には中央仕切り板26が配置されており、この中央仕切り板26の前後端はそれぞれ端部ブロック24、25に取り付け固定されている。この結果、水平上板部分22aおよび中央仕切り板26の間に、ボールねじ3の軸線方向、すなわち移動ステージ4の移動方向に延びる左側開口部27が形成されている。同様に、水平上板部分23aと中央仕切り板26の間には右側開口部28が形成されている。
【0015】
各開口部27、28は、これらの開口部よりも広幅の防塵ベルト29、30によって封鎖されている。これらの防塵ベルト29、30は、それぞれ、水平上板部分22a、23aおよび中央仕切り板26の下面側に沿って、端部ブロック24、25の間に架け渡されている。
【0016】
このように、ハウジング2は、基板21、側板22、23、上板部分22a、23a、中央仕切り板26、および端部ブロック24、25、並びに、開口部27、28を封鎖している防塵ベルト29、30によって、箱形に仕切られた区画室となっている。
【0017】
次に、移動ステージ4は、ボールねじ3に螺合しているボールねじナットが形成されているナットブロック41と、このナットブロック41の上面に固定されている下プレート42、この下プレート42の上面に固定されている中プレート43および、この中プレート43の上面に固定されている上プレート44とを備えている。ナットブロック41の両側面は、ハウジング2の内部に取り付けられているリニアガイドレール31によって、ボールねじ3の軸線方向に向けて摺動自在に支持されている。
【0018】
図2はナットブロック41によって支持されている3枚のプレート42〜44の形状を説明するための分解斜視図である。この図も参照して説明すると、下プレート42は平坦な板である。この上に固定されている中プレート43は、その中央を前後方向に延びる矩形断面のリブ43aを備え、このリブ43aの前後端の左右側面および中央部の左右側面には、それぞれ水平に張り出したローラ61〜66が回転自在の状態で支持されている。両端部のローラ61、62、65、66に比べて、中央部のローラ63、64は一段低い位置に配置されている。
【0019】
また、リブ43aの両側からは張り出し部43b、43cが水平に張り出しており、これらの張り出し部43b、43cの上面はリブ上面と面一であるが、その下面は前後から中央に向けて傾斜面43d、43eおよび43f、43gとされ、これら傾斜面の頂点部分には上方に略半円状にくり抜いた円弧溝43h、43iとされ、これらの中にローラ63、64が位置している。
【0020】
上プレート44は、平板状の本体部分44aと、この本体部分の下面の左右両側部分から下方に突出している前後方向に延びる突出部44b、44cとを備え、これらの突出部44b、44cが中プレート43の上面に固定されている。突出面44b、44cの間の溝と中プレート43の上面とによって、中央仕切り板26が貫通している貫通孔45が区画形成されている。また、本体部分44aの左右の側面の下端部分はL形に切り取られて、前後方向に延びるL形溝44d、44eが形成されている。このL形溝44d、44eには、ハウジング2の左右の水平上板部分22a、23aが僅かの隙間で対峙した状態となっている。
【0021】
このように、移動ステージ4における上プレート44がハウジング2の外側に位置し、中プレート43、下プレート42およびナットブロック41がハウジング2の内部に位置し、これら双方の間は、上プレート44の下面に形成した左右一対の突出部44b、44cを介して連結された状態となっている。これら連結部としての突出部44b、44cの移動軌跡に沿って、前述した左右一対の開口部27、28が形成されている。
【0022】
ここで、本例では、これらの突出部(連結部)44b、44cと防塵ベルト29、30とが干渉することが無いように、各ベルトはこれら突出部分の下方を迂回するように架け渡されている。すなわち、左側の防塵ベルト29は、前側のローラ61の上側を通り、傾斜面43dに沿って中央のローラ63の下側に架け渡され、更に、傾斜面43eに沿って後側のローラ65の上側を通っている。右側の防塵ベルト30も同様に、前側のローラ62の上側を通り、傾斜面43fに沿って中央のローラ63の下側に架け渡され、更に、傾斜面43gに沿って後側のローラ66の上側を通っている。
【0023】
このように構成した本例のリニアアクチュエータ1においては、図3から分かるように、移動ステージ4の移動軌跡に沿って形成されている開口部27、28は防塵ベルト29、30によって封鎖されている。従って、ボールねじ3とナットブロック41のボールねじナットの摺動部分や、ナットブロック41とリニアガイドレールとの摺動部分から発生した粉塵が、これらの開口部27、28を介して外部に漏れ出ることを防止できる。
【0024】
また、本例では、防塵ベルト29、30がハウジング2の内側に配置され、この配置に伴って、開口部27、28に沿って移動する移動ステージ4の突出部44b、44cに対して各防塵ベルト29、30を下方に迂回させるようにしている。移動ステージ4の移動に起因してハウジング内に発生したポンピング作用により内圧が高まった場合には、各防塵ベルト29、30は、ハウジング内側から水平上板部分22a、23aおよび中央仕切り板26に押しつけられる。よって、ハウジングの外側に防塵ベルトを配置する場合に比べて、優れた防塵効果を得ることができる。
【0025】
さらに、本例では、移動ステージ4に貫通孔45を形成し、ここを通して中央仕切り板26を配置することにより、ハウジング2の開口部27、28の幅を可能な限り狭くしている。この結果、ハウジング2に広幅の開口が開いている場合に比べて、粉塵の漏出量を低減できる。
【0026】
一方、本例のリニアアクチュエータ1においては、上記の構成に加えて、ハウジング内から空気を吸引する吸気口が備わっている。すなわち、図1、図3に示すように、左右一対の側板22、23には吸気口22b、23bが形成されており、これらの吸気口を介して、ハウジング内の空気を吸引可能である。
【0027】
また、側板22、23の上端に形成されている水平上板部分22a、23aには、想像線で示すように矩形断面の吸気用ダクト7、8が取り付けられており、各吸気用ダクト7、8と水平上板部分22a、23aの間には、開口部27、28に沿って延びる狭い幅の吸気口7b、8bが開いている。
【0028】
従って、ハウジング内で発生した粉塵は左右の側板22、23に形成した吸気口22b、23bから外部の集塵機等(図示せず)に吸引されて、当該ハウジング内から除去される。
【0029】
また、クリーンルーム等では一般にダウンフロー状態の空気流が形成されている。従って、開口部27、28の隣接位置に配置した吸気口7b、8bを介して吸気動作を行うと、開口部27、28から漏れ出た粉塵がダウンフローの空気流と共に当該吸気口に吸引される。よって、粉塵を周囲に飛散させることなく、確実に吸引除去できる。特に、本例では、中央仕切り板の上面を左右に傾斜したテーパー面としてあるので、上方からの空気流を当該テーパー面に沿って効率良く吸気口7b、8bに導くことができる。
【0030】
さらに、本例のリニアアクチュエータ1においては、中央仕切り板26を配置することにより各開口部27、28が極めて狭い幅となっている。従って、防塵ベルト29、30を省略し、上記の吸気口から吸気動作を行うだけでも、目標とする防塵性能を得ることができる。
【0031】
(その他の実施の形態)
次に、図4(a)〜(c)は、上記のリニアアクチュエータの変形例を示す平面図、正面図および横断面図であり、図5は移動ステージの中プレートを示す斜視図である。このリニアアクチュエータ100の基本的な構成は上記のアクチュエータ1と同一であるので、対応する部分には同一の符号を付し、それらの説明は省略する。
【0032】
本例のアクチュエータ100では、一対の防塵ベルト29、30が移動ステージ4の突出部44b、44cに干渉することの無いように、これらのベルトを迂回させるための手段として、ローラの代わりに、下に凸となった円弧状摺動面を用いている。
【0033】
すなわち、移動ステージ4を構成している中プレートとして、ローラを備えた中プレート43(図2参照)の代わりに、中プレート430を備えている。この中プレート430は、その中央を前後方向に延びる矩形断面のリブ431を備え、このリブ431の前後端の左右側面および中央部の左右側面には、それぞれ左右に水平に張り出した前側張り出し部432、433、後側張り出し部434、435、および中央張り出し部436、437が形成されている。中央張り出し部436、437は、下面が下方に突出した円弧状摺動面436a、437aとされている。前側に位置している前側張り出し部432、433には、当該円弧状摺動面436a、437aに所定の間隔で対峙した凸円弧状摺動面432a、433aが形成されている。同様に、後側に位置している後側張り出し部434、435にも、当該円弧状摺動面に対して所定の間隔で対峙している凸円弧状摺動面434a、435aが形成されている。
【0034】
左側の防塵ベルト29は、左側の摺動面432a、436aおよび434aに架け渡されている。同様に、右側の防塵ベルト30は、右側の摺動面433a、437aおよび435aに架け渡されている。各摺動面は、移動ステージ4の移動に伴って、各防塵ベルト29、30に沿って摺動する。
【0035】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のリニアアクチュエータにおいては、移動ステージの移動軌跡に沿って形成したハウジング(区画室)の開口部を、ハウジング内側から広幅の防塵ベルトによって封鎖し、かかる配置に伴って、防塵ベルトが開口部に沿って移動する移動ステージの部位に干渉することが無いように、当該防塵ベルトをハウジング内部に迂回させるようにしている。従って、本発明によれば、移動ステージの移動に伴ってハウジング内圧が高まった場合等において、防塵ベルトをハウジングの外側に配置する構成に比べて優れた防塵効果を得ることができる。
【0036】
また、本発明では、ハウジング内から空気を吸引する吸気口および、ハウジングの外における開口部の近傍位置に配置した吸気口を配置した構成を採用している。これらの吸気口を介して吸気動作を行うことにより、ハウジング内で発生した粉塵を吸引して集塵機等に回収できるので、リニアアクチュエータからの発塵を確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したリニアアクチュエータを示す平面図、正面図および横断面図である。
【図2】図1の移動ステージを構成している上、中、下プレートを示す分解斜視図である。
【図3】図1のリニアアクチュエータの防塵機構を示す説明図である。
【図4】図1のリニアアクチュエータの変形例を示す平面図、正面図および横断面図である。
【図5】図4の移動ステージを構成している中プレートを示す斜視図である。
【符号の説明】
1 リニアアクチュエータ
2 ハウジング
21 基板
22、23 側板
22a、23b 水平上板部分
22b、23b 吸気口
24、25 端部ブロック
26 中央仕切り板
27、28 開口部
29、30 防塵ベルト
4 移動ステージ
41 ナットブロック
42 下プレート
43 中プレート
44 上プレート
44b、44c 突出部(連結部)
45 貫通孔
61〜66 ローラ
7、8 吸気ダクト
7b、8b 吸気口
100 リニアアクチュエータ
430 中プレート
432a〜437a 円弧状摺動面
Claims (7)
- 軸部材と、この軸部材に機械的に係合していると共に当該軸部材に沿って往復移動可能な移動ステージとを有するリニアアクチュエータにおいて、
前記軸部材および前記移動ステージの間に配置された仕切り板と、
前記移動ステージにおける前記軸部材への連結部の移動軌跡に沿って当該仕切り板に形成された開口部と、
当該開口部を封鎖するために前記仕切り板の前記軸部材の側において前記開口部に沿って配置された防塵ベルトと、
前記防塵ベルトを前記連結部に対して前記軸部材の側に迂回させるために、前記移動ステージに取り付けたベルト迂回手段とを有し、
前記仕切り板は、前記軸部材と平行に延びる左右一対の垂直側板と、この左右一対の垂直側板の中間に配置される中央仕切り板と、を有し、
前記左右一対の垂直側板及び前記中央仕切り板の前後端は、前記軸部材の両端部を回転自在の状態で支持する一対の端部ブロックに取り付けられ、
前記防塵ベルトは前記一対の端部ブロック間に架け渡され、
前記開口部は、前記中央仕切り板と前記左右一対の垂直側板との間に形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1において、
前記ベルト迂回手段は、前記防塵ベルトを前記軸部材の側に押しつけているローラを備えていることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1において、
前記ベルト迂回手段は、前記防塵ベルトを前記軸部材の側に押しつけている摺動面を備えていることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1において、
前記移動ステージは左右一対の前記連結部を備えており、
前記開口部はこれらの連結部に対応する左右一対の開口部を含み、
前記仕切り板は、左右一対の開口部の間に配置されている中央仕切り板を備えており、
前記移動ステージは、前記中央仕切り板が貫通して延びる貫通孔を備えていることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1において、
前記軸部材は、前記仕切り板を含む部材によって区画形成された区画室の中に配置されており、
更に、前記区画室の内部から空気を吸引する吸気口を有していることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1または5において、
更に、前記開口部近傍の前記区画室の外側位置に配置された吸気口を有していることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1ないし6のうちの何れか一つの項において、前記軸部材はボールねじであり、前記移動ステージには、当該ボールねじに螺合しているボールねじナットが形成されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06817599A JP4311801B2 (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | 防塵機構付きリニアアクチュエータ |
PCT/JP2000/004434 WO2002003451A1 (fr) | 1999-03-15 | 2000-07-03 | Verin lineaire a mecanisme anti-poussiere |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06817599A JP4311801B2 (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | 防塵機構付きリニアアクチュエータ |
PCT/JP2000/004434 WO2002003451A1 (fr) | 1999-03-15 | 2000-07-03 | Verin lineaire a mecanisme anti-poussiere |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000266151A JP2000266151A (ja) | 2000-09-26 |
JP4311801B2 true JP4311801B2 (ja) | 2009-08-12 |
Family
ID=26344913
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06817599A Expired - Lifetime JP4311801B2 (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | 防塵機構付きリニアアクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4311801B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112008002379B4 (de) | 2007-09-13 | 2018-07-05 | Thk Co., Ltd. | Linearantrieb mit einem Staubschutzmechanismus |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4769899B2 (ja) | 2010-01-15 | 2011-09-07 | Thk株式会社 | 防塵機構付きリニアアクチュエータ |
TWI655375B (zh) * | 2017-11-23 | 2019-04-01 | 上銀科技股份有限公司 | 線性模組 |
-
1999
- 1999-03-15 JP JP06817599A patent/JP4311801B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112008002379B4 (de) | 2007-09-13 | 2018-07-05 | Thk Co., Ltd. | Linearantrieb mit einem Staubschutzmechanismus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000266151A (ja) | 2000-09-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060112 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060119 |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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