JP4403537B2 - リニアスライド装置 - Google Patents

Description

本発明は、ワークを取り扱うテーブルを電磁アクチュエータによりテーブルガイドに沿って直線的に移動させるリニアスライド装置に関するものである。

ワークを取り扱うテーブルを電磁アクチュエータで直線的に駆動するこの種のリニアスライド装置としては、従来より各種構造のものが提案されている。例えば、特許文献１に記載されたリニアスライダは、プレート形の固定台の上面にガイドレールを取り付け、このガイドレールに、電機子コアと電機子コイルとからなる可動子をスライダを介して摺動自在に支持させ、この可動子の上面にテーブルを取り付けている。また、上記固定台の両側端部にはそれぞれプレート状の界磁ヨークを立ち上がらせて上記可動子を両側から取り囲み、これらの界磁ヨークに永久磁石を取り付けて固定子とし、この固定子と上記可動子とによってリニアモータを構成している。そして、上記電機子コイルに通電したとき発生する推力で上記可動子をガイドレールに沿って移動させるものである。

ところが、このような従来のリニアスライダは、電機子コイルを有する可動子の上面にテーブルを直接取り付けているため、コイルからの発熱が該テーブルに直接伝達され、それがテーブル上のワークに伝わって温度上昇を来し易い。リニアスライダを半導体製造装置に用いるような場合には、半導体への熱の伝達をできるだけ防止する必要がある。

一方、特許文献２には、励磁コイルを有する電機子組立体を、テーブル側ではなくベッド側に設けたものが開示されている。このものは、上述した熱伝達の問題は解消することができるが、平行する２本のガイドレールによって上記テーブルを摺動自在に支持するものであるため、構造が複雑であり、しかも、上記２本のガイドレールの軸線と電磁駆動部の軸線とを一致させる作業が面倒である。
特開２００２−９６２３３号公報 特開２００１−３５２７４４号公報

本発明の課題は、電磁アクチュエータの励磁コイルからの発熱がテーブルに伝わりにくく、しかも、構造が簡単で軸合わせが容易なリニアスライド装置を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明のリニアスライド装置は、直線状に延びるテーブルガイドと、このテーブルガイドに沿って軸線方向に移動自在のテーブルと、該テーブルを駆動する電磁アクチュエータとを有し、上記テーブルガイドは、その内部に形成された中空孔と、この中空孔の外側を該テーブルガイドに沿って軸線方向に延び、上記テーブルを移動自在に支持する１つのレール部とを有し、上記電磁アクチュエータは、上記テーブルガイドに組み付けられていて、通電により磁気力を発生する励磁コイルと、この励磁コイルによる磁気力を推力として直線的に変位する可動体とを有し、この可動体が、上記テーブルガイドの中空孔内に該テーブルガイドの軸線方向に変位自在なるように配設されると共に、該可動体と上記テーブルとがジョイント部材を介して相互に連結されていることを特徴とするものである。

本発明の具体的な構成態様によれば、上記テーブルガイドが、略矩形の断面を有する幅広のベース部と、このベース部の上面中央位置から上向きに立ち上がった幅狭の上記レール部とを有していて、このレール部にスライドブロックが移動自在なるように組み付けられ、このスライドブロックに上記テーブルが結合されている。

本発明においては、上記電磁アクチュエータが、上記励磁コイルが組み付けられたコアを有し、これらの励磁コイルとコアとが上記テーブルガイドに組み込まれている。

具体的には、上記コアが、相互間に空隙を保って相対する第１コア部及び第２コア部とからなり、また、上記可動体が、永久磁石と、この永久磁石を保持する非磁性体製の磁石ホルダーとを有していて、上記永久磁石が上記両コア部間の空隙内を変位自在となっている。

更に具体的には、上記第１コア部が筒状をなすと共に、上記第２コア部が柱状をなしていて、該第２コア部が上記第１コア部の内部に同軸状に配設されており、また、上記永久磁石が筒状をなしていて、Ｎ極とＳ極とがラジアル方向に着磁され、この永久磁石が、上記テーブルガイドの中空孔内に上記両コア部と同軸状に配設されている。

本発明において好ましくは、上記テーブルガイドが磁性体により形成され、上記コアを兼用していることである。

本発明の他の構成態様によれば、リニアスライド装置が２組の励磁コイル及びコアと、１つの可動体とを有していて、上記２組の励磁コイル及びコアが互いに相対する位置に配設され、これらのコアの間に上記可動体が配設されている。

本発明においては、上記可動体及びテーブルを含む可動部分の変位を検出するための変位センサーを設けることができる。

本発明によれば、テーブルガイドの外面に形成した１つのレール部にテーブルが移動自在に支持されると共に、このテーブルガイドに電磁アクチュエータが組み付けられ、該電磁アクチュエータの可動体と上記テーブルとがジョイント部材を介して相互に連結されているので、電磁アクチュエータの励磁コイルからの発熱がテーブルに直接伝達されることがなく、しかも、複数のレール部を有する場合に比べて構造が簡単で軸合わせも容易である。

図１〜図６は本発明に係るリニアスライド装置の第１実施例を示すものである。このリニアスライド装置１Ａは、直線状に延びるテーブルガイド３と、このテーブルガイド３に沿ってその軸線方向に移動自在のテーブル４と、このテーブル４を駆動する電磁アクチュエータ５と、この電磁アクチュエータ５を制御するドライバ６とを有している。

上記テーブルガイド３は、全体として凸字形の断面形状を有するもので、断面が略矩形状をした幅広のベース部３ａと、該ベース部３ａの上面中央位置から上向きに立ち上がった幅狭のレール部３ｂとを一体に有しており、このテーブルガイド３の内部には、その軸線方向に延びる円形の中空孔１０が形成されている。上記ベース部３ａの四隅には、複数の取付孔１１が縦向きに形成され、これらの取付孔１１に挿通したボルトでテーブルガイド３を架台等に固定できるようになっている。このテーブルガイド３の基端部には、上記中空孔１０を塞ぐようにエンドブロック７が取り付けられ、このエンドブロック７の外面に上記ドライバ６が取り付けられており、テーブルガイド３の先端部は開放している。

また、上記テーブル４は、水平な第１部分４ａと、この第１部分４ａの先端から直角に下向きに延びる第２部分４ｂとにより、略Ｌ字形の全体形状を有するように形成され、上記第１部分４ａが、スライドブロック８を介して上記テーブルガイド３のレール部３ｂに移動自在に支持されている。上記第１部分４ａは、その上面に搬送すべきワークを載置するためのもので、上記テーブルガイド３とほぼ同じ横幅寸法を有している。また、上記第２部分４ｂは、ワークを押圧する工程などに使用されるもので、その下端部は上記テーブルガイド３の底部近くまで延び、電磁アクチュエータ５の可動体３０に、ジョイント部材１３を介してボルト１４で連結されている。このジョイント部材１３は、上記可動体３０から中空孔１０の外側に向けて軸線方向に延出するもので、後述する磁石ホルダー３９と一体をなすものである。しかし、このジョイント部材１３は、磁石ホルダー３９とは別に形成して相互に連結したものであっても良い。

上記スライドブロック８は、上記テーブルガイド３とほぼ同じ横幅と、該テーブルガイド３よりも短い軸方向長さとを有し、その下面中央部には、上記テーブルガイド３のレール部３ｂが嵌合する凹溝１５を有しており、該レール部３ｂに次のようにして移動自在に支持されている。即ち、図４及び図５から分かるように、上記レール部３ｂの左右両側面と、上記スライドブロック８の凹溝の左右両溝壁には、それらの互いに相対する位置に、Ｖ字形又は凹字形のガイド溝１６がテーブルガイド３の軸線方向に形成され、これらのガイド溝１６，１６間に複数の転動子１７が介在し、これらの転動子１７を介して上記スライドブロック８がレール部３ｂに移動自在に支持されている。上記転動子１７は、鉄製又はステンレス製の鋼球で形成されているが、硬質合成樹脂製の樹脂球であっても良く、このような球状の転動子１７が無端の長円形状に配列され、スライドブロック８の移動に伴って上記スライドブロック８とレール部３ｂとに転がり接触しながら循環的に転動するようになっている。上記転動子１７として樹脂球を使用する場合は、この樹脂球のみを単独で使用しても良いが、望ましくは樹脂球と鋼球とを混合して使用し、それらを交互に配置することである。

また、上記転動子１７は、無端状に配設されて転動する方式である必要はなく、定位置において上記スライドブロック８とレール部３ｂとに転がり接触する方式であっても構わない。更に、転動子１７の形状は球に限るものではなく、円柱状やそれ以外の形状であっても良い。あるいは、上記スライドブロック８をレール部３ｂ上に支持する支持機構は、車輪や滑り軸受を用いたものであっても、エア浮上式又は磁気浮上式の支持機構であっても良い。

上記スライドブロック８は、ダンパー機構２０によって移動範囲が規定されている。このダンパー機構２０は、図２及び図５から分かるように、上記テーブルガイド３の一方の側面に固定された凹字形のダンパーベース２１と、上記スライドブロック８の側面に固定されてこのダンパーベース２１の凹部２１ａ内に嵌合する当接子２２とを有している。上記ダンパーベース２１における凹部２１ａの左右両側壁部２１ｂ，２１ｂには、該凹部２１ａ内に先端が突出する螺子棒状のストッパ２３，２３が、上記テーブルガイド３の軸線と平行する向きにそれぞれナット２３ａで進退調節自在なるように取り付けられ、上記スライドブロック８が変位したとき、上記当接子２２がこれらのストッパ２３，２３に当接することにより、該スライドブロック８の両ストローク端の位置が規定されるようになっている。

また、上記電磁アクチュエータ５は、図４から明らかなように、励磁コイル３１に通電することにより発生する磁気力を推力として上記可動体３０を直線的に変位させる形式のもので、実施例では、磁石可動型のアクチュエータとして構成され、上記テーブルガイド３に組み付けられている。さらに詳述すると、この電磁アクチュエータ５は、上記励磁コイル３１と、この励磁コイル３１が組み付けられた磁性体製のコア３２と、上記可動体３０とを有していて、これらの励磁コイル３１とコア３２と可動体３０とが、上記テーブルガイド３に込み付けられ、上記励磁コイル３１とドライバ６とが、エンドブロック７を貫通するリード線３３で電気的に接続されている。上記ドライバ６は、回路がプリントされたプリント基板上に必要な電気部品を搭載することにより形成したもので、上記エンドブロック７の外側面に取り付けられ、着脱自在のカバー６ａで覆われている。

上記コア３２は、実質的に筒状をなす外側の第１コア部３２ａと、柱状をなす内側の第２コア部３２ｂとを有していて、上記第１コア部３２ａが、磁性体で形成された上記テーブルガイド３によって兼用されており、この第１コア部３２ａの内部、即ち上記中空孔１０の内部に、上記第２コア部３２ｂが同軸状に配設されている。そして、第２コア部３２ｂの外周の基端部寄りの位置に上記励磁コイル３１が巻かれ、この第２コア部３２ｂの先端部寄りの外周面と第１コア部３２ａの内周面との間に、上記可動体３０の永久磁石３５が移動するための空隙３６が形成されている。上記第２コア部３２ｂは第１コア部３２ａよりも短く形成されていて、この第２コア部３２ｂの先端部３７ｂは、第１コア部３２ａの先端部３７ａよりも軸線方向内側寄りの後退した配置を占めるように配設され、反対側の基端部は、上記エンドブロック７に保持されている。このエンドブロック７は磁性体で形成され、上記第１コア部３２ａに接触することによってこの第１コア部３２ａ及び第２コア部３２ｂと共に磁気回路を構成している。

上記第１コア部３２ａは、図示した実施例では上記テーブルガイド３によって兼用されているが、このテーブルガイド３とは別の独立する円筒部材として形成し、それを該テーブルガイド３の中空孔１０内に嵌め付けても良い。この場合に該テーブルガイド３は、磁性体によって形成する必要はない。このように上記第１コア部３２ａとテーブルガイド３とを別々に形成した場合でも、上記テーブルガイド３の中空孔１０の孔径が第１コア部３２ａの肉厚分だけ大きくなる程度で、リニアスライド装置のコンパクト化は実現することができるが、より構造を簡単にして一層のコンパクト化を図るためには、上記実施例のようにテーブルガイド３に第１コア部３２ａを兼用させることが望ましい。
なお、上記第１コア部３２ａをテーブルガイド３とは別に形成する場合、その長さをテーブルガイド３と同じにすることなく、該テーブルガイド３より短く形成して、その先端部３７ａを第２コア部３２ｂの先端部３７ｂとほぼ同位置に配置することもできる。

上記可動体３０は、Ｎ極とＳ極とがラジアル方向に着磁された円筒形の上記永久磁石３５と、この永久磁石３５を保持する円柱状をしたアルミニウム等の非磁性体製の磁石ホルダー３９とからなるもので、この磁石ホルダー３９の先端部に形成された筒部３９ａの外周に上記永久磁石３５が嵌め付けられている。この可動体３０は、上記第１コア部３２ａの内部先端寄りの位置に、上記永久磁石３５が上記両コア３２部と同軸状に位置するように配設され、該コア３２部の軸線方向に変位自在となっている。そして、上記永久磁石３５の外径は第１コア部３２ａの内径よりやや小さく形成され、また、該永久磁石３５の内径と磁石ホルダー３９の筒部の内径とは第２コア部３２ｂの外径よりやや大きく形成されているため、この永久磁石３５は、上記両コア３２部間の空隙３６内を変位することができる。上記磁石ホルダー３９の基端部に上記ジョイント部材１３が形成されている。

上記電磁アクチュエータ５において、上記励磁コイル３１に電流を流すと、上記第１コア部３２ａと第２コア部３２ｂとが互いにＮ，Ｓ逆の極性に磁化され、その極性は電流の向きに応じて変化する。そこで、例えば、上記永久磁石３５が内周側をＳ極に、外周側をＮ極に着磁されている場合、上記可動体３０が図４の第１位置を占めている状態で、上記励磁コイル３１に通電することによって上記第１コア部３２ａがＳ極に、第２コア部３２ｂがＮ極になると、永久磁石３５は、磁気吸引力により第２コア部３２ｂ側に引き付けられて図の左方向に移動し、両コア部３２ａ，３２ｂ間の空隙３６内に進入した第２位置に切り換わる。この永久磁石３５即ち可動体３０の変位よってテーブル４及びスライドブロック８もレール部３ｂに沿って第２位置に移動し、該テーブル４上に載置されたワークが搬送される。

上記励磁コイル３１に流れる電流の向きを逆にすると、上記第１コア部３２ａがＮ極になり、第２コア部３２ｂがＳ極になるため、これら両コア部３２ａ，３２ｂと永久磁石３５との間に作用する磁気反発力によって可動体３０は図の右方向に移動し、図４の第１位置に移動する。これに伴って上記テーブル４及びスライドブロック８も同じ第１位置に移動する。

なお、励磁コイル３１への非通電時に上記可動体３０は、永久磁石３５による磁気力の作用で上記第２コア部３２ｂ側に引き寄せられるため、基本的には上記第２位置を占めることになるが、この可動体３０又は上記スライドブロック８をコイルばね等のばね手段で付勢することにより、非通電時に、これらの可動体３０及びスライドブロック８を上記第１位置か第２位置の何れかの位置を占めるように構成することもできる。

上記励磁コイル３１は通電によって発熱するが、この熱は、上記テーブルガイド３やエンドブロック７等を通じて周囲に分散されて放熱され、テーブル４に直接伝わることがないため、このテーブル４上のワークが加熱されると言った不都合は回避される。特に、上記テーブル４が固定されているスライドブロック８は、テーブルガイド３の外面に形成された断面積の小さいレール部３ｂに支持されていて、このスライドブロック８とレール部３ｂ即ちテーブルガイド３との接触面積も非常に小さいため、該テーブルガイド３からの熱は上記スライドブロック８及びテーブル４に伝わりにくい。

なお、放熱性を向上させるため、上記励磁コイル３１を合成樹脂によってコーティングし、このコーティングした樹脂と上記第１コア部３２ａとを伝熱性に勝れた接着剤で接着することが望ましい。これにより、励磁コイル３１からの発熱が上記コーティング層から接着剤を介して上記第１コア部３２ａに直接伝達され、外気や架台等に向けて放熱されるため、放熱効率が一段と良好になって放熱時間も短縮される。また、その他の互いに接合する部材の間、例えば上記励磁コイル３１を巻いたボビン３１ａと第２コア部３２ｂとの間などを接着剤で接着する場合に、上述したような伝熱性に勝れた接着剤を使用することにより、放熱性が一段と向上する。

また、上記テーブルガイド３の上面中央位置に１本のレール部３ｂを形成し、このレール部３ｂに上記テーブル４をスライドブロック８を介して支持させているので、２本のレールに沿ってテーブル４を摺動させるものに比べて構造が簡単で、上記レール部３ｂと電磁アクチュエータ５との間の軸合わせも簡単である。

上記リニアスライド装置１Ａには、電磁アクチュエータ５で駆動される可動部分、つまり、上記可動体３０かスライドブロック８あるいはテーブル４といったような可動部分の動作位置を検出するための位置検出機構が付設されている。図示した実施例では、この位置検出機構が、上記スライドブロック８の変位を変位センサーで検出するように構成されている。即ち、上記テーブルガイド３の上記ダンパー機構２０を取り付けた側とは反対側の側面には、上記スライドブロック８の側面の少なくとも一部を覆うようにセンサーレール４３が取り付けられ、このセンサーレール４３に形成された２つの取付溝４４内の軸線方向互いに異なる位置に、磁気感応型の変位センサ４５がそれぞれ取り付けられている。これに対して上記スライドブロック８の側面には、上記変位センサー４５と対応する位置に、一つの被検出用マグネット４６が適宜のマグネットホルダによって取り付けられている。そして、この被検出用マグネット４６の変位に伴う磁束密度の変化を上記各変位センサー４５で検出することにより、上記スライドブロック８の両ストローク端の位置又はストローク中の全位置が検出されるように構成されている。上記変位センサー４５からの信号は、上記ドライバ６にフィードバックし、電磁アクチュエータ５の制御に利用することができる。

しかし、上記位置検出機構の構成は、このような検出方式のものに限定されない。例えば図７に示す第２実施例のリニアスライド装置１Ｂのように、エンコーダスケール４７の目盛をリーダーヘッド４８でカウントする方式であっても良い。この場合、図示したように、エンコーダスケール４７をスライドブロック８側に取り付け、リーダーヘッド４８をテーブルガイド３側に取り付けても、その逆に、エンコーダスケール４７をテーブルガイド３側に取り付け、リーダーヘッド４８をスライドブロック８側に取り付けても良い。

また、上記エンコーダスケール４７及びリーダーヘッド４８を設置する場所も、図７に示すような、テーブルガイド３におけるベース部３ａの側端部上面と、スライドブロック８の側端部下面とに限らず、テーブルガイド３におけるレール部３ｂの上面と、スライドブロック８の上記レールを覆う部分の下面とであっても、あるいは、上記テーブルガイド３の中空孔の内部と上記可動体とであっても良い。更には、図８及び図９に示す第３実施例のリニアスライド装置１Ｃのように、テーブルガイド３に、可動体３０が収容されている中空孔１０と平行に検出孔４９を形成し、この検出孔４９内に上記可動体３０と同期して移動する検出用の移動子５０を収容し、この移動子５０と検出孔４９側とに上記エンコーダスケール４７とリーダーヘッド４８とを設置しても良い。

図１０は本発明の第４実施例を示すもので、この第４実施例のリニアスライド装置１Ｄが上記第１実施例のリニアスライド装置１Ａと相違する点は、第１実施例では、可動体３０とテーブル４とが、テーブルガイド３の中空孔１０の軸線方向に延びるジョイント部材１３を介して相互に連結されているのに対し、この第４実施例では、可動体３０とテーブル４とが、中空孔１０の軸線と直角方向に延びてテーブルガイド３の一部を横切るジョイント部材１３を介して相互に連結されている点である。

即ち、上記テーブルガイド３の上面のスライドブロック８が配設されている部分に、中空孔１０に連なる切り欠き５３が形成され、この切り欠き５３を通じて可動体３０の磁石ホルダー３９と上記スライドブロック８とが、上記テーブルガイド３の軸線と直角に立ち上がった直棒状の上記ジョイント部材１３を介して相互に連結されている。このように構成することにより、第１実施例に比べてリニアスライド装置の軸方向長さを短縮することが可能になる。
この第４実施例の上記以外の構成及びその好ましい変形例等については、実質的に第１実施例と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に第１実施例と同じ符号を付してその説明は省略する。

図１１は本発明の第５実施例を原理的に示すもので、この第５実施例のリニアスライド装置１Ｅは、２組のコア３２，３２と１つの可動体３０とを有する点で上記各実施例と相違している。上記コア３２は、上記各実施例の場合と同様に、円筒状の第１コア部３２ａと、該第１コア部３２ａの内部に同軸状に設けられた円柱状の第２コア部３２ｂとからなっていて、この第２コア部３２ｂの基端部外周に励磁コイル３１が巻かれており、また、上記可動体３０は、ラジアル方向に着磁した円筒形の永久磁石３５を円筒形の磁石ホルダー３９に保持させたものである。そして、上記２組のコア３２，３２が、テーブルガイド３の中空孔１０内に間隔を保って互いに相対するように収容されると共に、それらの間に上記可動体３０が配設され、この可動体３０と、上記テーブルガイド３に支持されたスライドブロック８とが、ジョイント部材１３で相互に連結されている。

また、上記テーブルガイド３の両端部には、上記２組のコア３２の励磁コイル３１に通電するためのドライバ６がそれぞれ設けられているが、これらのドライバ６は一つにまとめても良い。この第５実施例の上記以外の構成及びその好ましい変形例等については、実質的に第４実施例と同じである。

なお、上記各実施例では、テーブルガイド３の中空孔１０が円形をなしていて、これに合わせて、電磁アクチュエータ５の第１コア部３２ａと第２コア部３２ｂ及び可動体３０が円筒形や円柱形などに形成されているが、それらは何れも矩形や凹形などの角形であっても良い。また、上記テーブルガイド３と第１コア部３２ａとを別に形成する場合には、上記中空孔１０を円形として、上記第１コア部３２ａと第２コア部３２ｂ及び可動体３０を角形に形成することも、その逆に、上記中空孔１０を角形として、上記第１コア部３２ａと第２コア部３２ｂ及び可動体３０を円形状に形成することもできる。さらに、上記中空孔１０も、全長を通じて完全に閉じた断面を有している必要はなく、上記第４実施例に示すように一部に切り欠き５３が形成されていても、側面がスリット等によって開放していても構わない。

図１２は本発明の第６実施例を原理的に示すもので、この第６実施例のリニアスライド装置１Ｆは、ボイスコイル型の電磁アクチュエータ５を有するものである。この電磁アクチュエータ５においては、ボビン３１ａに巻かれた励磁コイル３１が、第２コア部３２ｂの外周にそのほぼ全長にわたり装着されていて、この励磁コイル３１の外周と第１コア部３２ａの内周との間に形成された空隙３６内に可動体３０の永久磁石３５が移動自在に嵌合している。
この第６実施例の上記以外の構成及びその好ましい変形例等については、実質的に第１実施例と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に第１実施例と同じ符号を付してその説明は省略する。

なお、上記第６実施例では、励磁コイル３１が第２コア部３２ｂの外周に装着され、この励磁コイル３１の外周に永久磁石３５が配設されているが、上記励磁コイル３１を第１コア部３２ａの内周面側に装着し、この励磁コイル３１の内側、即ち、該励磁コイル３１の内周と第２コア部３２ｂの外周との間に永久磁石３５を配設しても良い。また、これらの例のようにコア３２側に励磁コイル３１を設け、可動体３０側に永久磁石３５を設ける代わりに、上記コア３２側、つまり第１コア部３２ａの内周又は第２コア部３２ｂの外周に永久磁石３５を設け、可動体３０側に励磁コイル３１を設けることにより、この励磁コイル３１が磁気力で変位するように構成することもできる。

図１３は本発明の第７実施例を原理的に示すもので、この第７実施例のリニアスライド装置１Ｇは、磁気力で鉄心が変位するソレノイド型の電磁アクチュエータ５を有するものである。即ち、この電磁アクチュエータ５においては、可動体３０が磁性体からなる可動鉄心部６０を有していて、この可動鉄心部６０が、第１コア部３２ａの中空部内に第２コア部３２ｂと相対するように配設され、励磁コイル３１の内側まで延びている。上記第２コア部３２ｂの先端３７ｂは、先細りのテーパーが付されることによって凸形形状に形成され、これに対する可動鉄心部６０の先端６０ａは、外広がりのテーパーが付された窪み６０ｂによって凹形形状に形成されている。そして、上記励磁コイル３１に通電することにより、上記可動鉄心部６０が第２コア部３２ｂに吸着されるものである。
この第７実施例の上記以外の構成及びその好ましい変形例等については、実質的に第１実施例と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に第１実施例と同じ符号を付してその説明は省略する。

本発明に係るリニアスライド装置の第１実施例を示す側面図である。 上記リニアスライド装置の図１とは反対側の側面図である。 図１の平面図である。 図３におけるIV−IV線での拡大断面図である。 図２におけるＶ−Ｖ線での断面図である。 図１におけるVI−VI線での部分断面図である。 本発明の第２実施例を示す側面図である。 本発明の第３実施例を示す縦断面図である。 図８におけるIX−IX線での断面図である。 本発明の第４実施例を示す縦断面図である。 本発明の第５実施例を示す縦断面図である。 本発明の第６実施例を示す縦断面図である。 本発明の第７実施例を示す縦断面図である。

符号の説明

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ，１Ｇ リニアスライド機構
３ テーブルガイド
３ａ ベース部
３ｂ レール部
５ 電磁アクチュエータ
１０ 中空孔
１３ ジョイント部材
３０ 可動体
３１ 励磁コイル
３２ コア
３５ 永久磁石
３６ 空隙
３９ 磁石ホルダー
４５ 変位センサー

Claims (8)

1. 直線状に延びるテーブルガイドと、このテーブルガイドに沿って軸線方向に移動自在のテーブルと、該テーブルを駆動する電磁アクチュエータとを有し、
   上記テーブルガイドは、その内部に形成された中空孔と、この中空孔の外側を該テーブルガイドに沿って軸線方向に延び、上記テーブルを移動自在に支持する１つのレール部とを有し、
   上記電磁アクチュエータは、上記テーブルガイドに組み付けられていて、通電により磁気力を発生する励磁コイルと、この励磁コイルによる磁気力を推力として直線的に変位する可動体とを有し、この可動体が、上記テーブルガイドの中空孔内に該テーブルガイドの軸線方向に変位自在なるように配設されると共に、該可動体と上記テーブルとがジョイント部材を介して相互に連結されている、
   ことを特徴とするリニアスライド装置。
2. 上記テーブルガイドが、略矩形の断面を有する幅広のベース部と、該ベース部の上面中央位置から上向きに立ち上がった幅狭の上記レール部とを有していて、このレール部にスライドブロックが移動自在なるように組み付けられ、このスライドブロックに上記テーブルが結合されていることを特徴とする請求項１に記載のリニアスライド装置。
3. 上記電磁アクチュエータが、上記励磁コイルが組み付けられたコアを有していて、これらの励磁コイルとコアとが上記テーブルガイドに組み込まれていることを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアスライド装置。
4. 上記コアが、相互間に空隙を保って相対する第１コア部及び第２コア部とからなり、また、上記可動体が、永久磁石と、この永久磁石を保持する非磁性体製の磁石ホルダーとを有していて、上記永久磁石が上記両コア部間の空隙内を変位自在であることを特徴とする請求項３に記載のリニアスライド装置。
5. 上記第１コア部が筒状をなすと共に、上記第２コア部が柱状をなしていて、該第２コア部が上記第１コア部の内部に同軸状に配設されており、また、上記永久磁石が筒状をなしていて、Ｎ極とＳ極とがラジアル方向に着磁され、この永久磁石が、上記テーブルガイドの中空孔内に上記両コア部と同軸状に配設されていることを特徴とする請求項４に記載のリニアスライド装置。
6. 上記テーブルガイドが磁性体により形成され、上記コアを兼用していることを特徴とする請求項３から５の何れかに記載のリニアスライド装置。
7. ２組の励磁コイル及びコアと、１つの可動体とを有し、上記２組の励磁コイル及びコアが互いに相対する位置に配設されていて、これらのコアの間に上記可動体が配設されていることを特徴とする請求項３から６の何れかに記載のリニアスライド装置。
8. 上記可動体及びテーブルを含む可動部分の変位を検出するための変位センサーを有することを特徴とする請求項１から７の何れかに記載のリニアスライド装置。
   

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