JP2005278280A - ムービングコイル形リニアスライダ - Google Patents
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Abstract
【課題】リニアスケールの配置位置を、リニアモータの推力軸中心軸近傍に配置固定することで、推力変動の影響による速度リプルまたは発振を抑え、高速・高分解能のリニア駆動を得ることが可能なム−ビングコイル形リニアスライダを提供することを目的とする。
【解決手段】 ム−ビングコイル形リニアスライダにおいて、リニアスケールとセンサヘッドよりなる検出手段は、モータの推力中心軸の位置に近づくようにテーブル3とマグネットトラック4の間に配設したものであって、リニアスケール21の固定については、略U字状をした磁性体ヨーク4Aの開口部の反対側に設けた略L字状のスケールホルダ23の先端に取り付ける構造とし、また、センサヘッド22の固定については、テーブル3の内部に設けた取付け穴3Dに嵌合により取付け、リニアスケール21に対向するように固定する構造としてある。
【選択図】図2
【解決手段】 ム−ビングコイル形リニアスライダにおいて、リニアスケールとセンサヘッドよりなる検出手段は、モータの推力中心軸の位置に近づくようにテーブル3とマグネットトラック4の間に配設したものであって、リニアスケール21の固定については、略U字状をした磁性体ヨーク4Aの開口部の反対側に設けた略L字状のスケールホルダ23の先端に取り付ける構造とし、また、センサヘッド22の固定については、テーブル3の内部に設けた取付け穴3Dに嵌合により取付け、リニアスケール21に対向するように固定する構造としてある。
【選択図】図2
Description
本発明は、例えば、電気部品実装装置、半導体関連装置あるいは工作機械などの各種産業機械に使用されると共に、その直動機構の駆動用に好適なリニアモータに関し、特に電機子巻線を有した電機子を可動子とし、永久磁石よりなる界磁を固定子として構成するム−ビングコイル形(Moving Coil)形リニアスライダに関する。
従来、電気部品実装装置、半導体関連装置あるいは工作機械などの各種産業機械に使用されると共に、その直動機構の駆動用に好適なム−ビングコイル形リニアスライダは、図4、図5に示すようになっている。なお、図4は従来技術を示すム−ビングコイル形リニアスライダの平面図、図5は図4のA−A線に沿う正断面図である。
図4、5において、1は固定ベース、2は電機子、2Aは電機子ホルダ、2Bは電機子巻線、3はテーブル、4はマグネットトラック、4Aは磁性体ヨーク、4Bは界磁用永久磁石、5はリニアスケール、6はセンサヘッド、7はスライダ、8はガイドレール、9はケーブルベア、10はモータリード、11はリニアスケールリード、12は駆動ドライバ、13はスケールホルダ、20はケーブルカバーである。
ム−ビングコイル形リニアスライダは、基本的には、固定ベース1に平行に対向配置されたテーブル3の左右を移動自在に案内支持するガイドレール8とスライダ7からなるリニアガイドと、テーブル3を固定ベース1に対してガイドレール8上の長手方向に沿って往復動させるリニアモータと、テーブル3と固定ベース1の相対位置を検出するための検出手段とを備えている。
リニアモータについては、固定ベース1上に略U字状の断面形状を有し、かつ、その開口部が水平方向を向くように配設してなる磁性体ヨーク4Aを、該ベース1の長手方向に沿ってボルト18により固定すると共に、磁性体ヨーク4Aの内側対向面の長手方向に沿って極性が交互に異なる磁極が並設され、且つ、互いに対向する該磁極の極性が反対の極性となるように一対の界磁用永久磁石4Bを設けたマグネットトラック4と、前記テーブル3の下面に鉛直方向に電機子ホルダ2Aを取付け、電機子ホルダ2Aと直交するように前記一対の界磁用永久磁石4Bの内側に磁気的空隙を介してコアレス形の電機子巻線2Bを対向配置させた略T字状の断面形状を有してなる電機子2と、より構成されている。ここで、テーブル3とスライダ7の固定については、テーブル3に設けた貫通穴3Aにボルト14を挿入した後、スライダ7に設けた雌ねじ7Aにねじ込んで固定する。テーブル3と電機子ホルダ2Aの固定については、テーブル3に設けた貫通穴3Bにボルト15を挿入した後、電機子ホルダ2Aに設けた雌ねじ2Cにねじ込んで固定する。
また、検出手段については、固定ベース1の側面にスケールホルダ13を介して取り付けられたリニアスケール5と、テーブル3の側面にリニアスケール5に対向するように固定されたリニアスケール5を検出するためのセンサヘッド6とより構成されている。
このように、従来のリニアスライダは、スライダのテーブル3の側面に配置されたリニアスケール5の制御信号により、速度および位置制御を行うのである。リニアスライダは、その制御用リニアスケール5の配置位置を、リニアモータを挟み込むようにして、更に平行に配置されるリニアガイドの外側に配置されることが一般的である。(例えば、非特許文献1を参照)。
THKカタログNo.308、リニアモータアクチュエータ(コアレスフラットタイプ)、2003年6月、P2
図4、5において、1は固定ベース、2は電機子、2Aは電機子ホルダ、2Bは電機子巻線、3はテーブル、4はマグネットトラック、4Aは磁性体ヨーク、4Bは界磁用永久磁石、5はリニアスケール、6はセンサヘッド、7はスライダ、8はガイドレール、9はケーブルベア、10はモータリード、11はリニアスケールリード、12は駆動ドライバ、13はスケールホルダ、20はケーブルカバーである。
ム−ビングコイル形リニアスライダは、基本的には、固定ベース1に平行に対向配置されたテーブル3の左右を移動自在に案内支持するガイドレール8とスライダ7からなるリニアガイドと、テーブル3を固定ベース1に対してガイドレール8上の長手方向に沿って往復動させるリニアモータと、テーブル3と固定ベース1の相対位置を検出するための検出手段とを備えている。
リニアモータについては、固定ベース1上に略U字状の断面形状を有し、かつ、その開口部が水平方向を向くように配設してなる磁性体ヨーク4Aを、該ベース1の長手方向に沿ってボルト18により固定すると共に、磁性体ヨーク4Aの内側対向面の長手方向に沿って極性が交互に異なる磁極が並設され、且つ、互いに対向する該磁極の極性が反対の極性となるように一対の界磁用永久磁石4Bを設けたマグネットトラック4と、前記テーブル3の下面に鉛直方向に電機子ホルダ2Aを取付け、電機子ホルダ2Aと直交するように前記一対の界磁用永久磁石4Bの内側に磁気的空隙を介してコアレス形の電機子巻線2Bを対向配置させた略T字状の断面形状を有してなる電機子2と、より構成されている。ここで、テーブル3とスライダ7の固定については、テーブル3に設けた貫通穴3Aにボルト14を挿入した後、スライダ7に設けた雌ねじ7Aにねじ込んで固定する。テーブル3と電機子ホルダ2Aの固定については、テーブル3に設けた貫通穴3Bにボルト15を挿入した後、電機子ホルダ2Aに設けた雌ねじ2Cにねじ込んで固定する。
また、検出手段については、固定ベース1の側面にスケールホルダ13を介して取り付けられたリニアスケール5と、テーブル3の側面にリニアスケール5に対向するように固定されたリニアスケール5を検出するためのセンサヘッド6とより構成されている。
このように、従来のリニアスライダは、スライダのテーブル3の側面に配置されたリニアスケール5の制御信号により、速度および位置制御を行うのである。リニアスライダは、その制御用リニアスケール5の配置位置を、リニアモータを挟み込むようにして、更に平行に配置されるリニアガイドの外側に配置されることが一般的である。(例えば、非特許文献1を参照)。
THKカタログNo.308、リニアモータアクチュエータ(コアレスフラットタイプ)、2003年6月、P2
従来のリニアスライダのリニアスケールが配置される位置は、図示のようにリニアモータの推力中心からずれた位置に固定されているため、推力変動の影響によってリニアスケール信号にリニアモータ駆動時の微細振動が重畳され、速度リプルまたは発振の原因となるという問題があった。また、リニアスケールからの検出信号は、パルス列で伝送されることが多く、パルス列では、スケール信号しか伝送できないという問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、リニアスケールの配置位置を、推力軸中心近傍に配置固定することで、推力変動の影響による速度リプルまたは発振を抑え、高速・高分解能のリニア駆動を得ることが可能なム−ビングコイル形リニアスライダを提供することを目的とする。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、リニアスケールの配置位置を、推力軸中心近傍に配置固定することで、推力変動の影響による速度リプルまたは発振を抑え、高速・高分解能のリニア駆動を得ることが可能なム−ビングコイル形リニアスライダを提供することを目的とする。
上記問題を解決するため、本発明は次のように構成したのである。
請求項1に記載の発明は、固定ベースに平行に対向配置されたテーブルの左右を移動自在に案内支持するガイドレールとスライダからなるリニアガイドと、前記テーブルを前記固定ベースに対して前記ガイドレール上の長手方向に沿って往復動させるリニアモータと、前記テーブルと前記固定ベースの相対位置を検出するための検出手段と、を備え、前記リニアモータは、前記固定ベース上に略U字状の断面形状を有し、かつ、その開口部が水平方向を向くように配設してなる磁性体ヨークと、前記磁性体ヨークの内側対向面の長手方向に沿って極性が交互に異なる磁極が並設され、且つ、互いに対向する前記磁極の極性が反対の極性となるように設けた一対の界磁用永久磁石とよりなるマグネットトラックと、前記テーブルの下面に鉛直方向に取付けた電機子ホルダと直交するように、前記一対の界磁用永久磁石の内側に磁気的空隙を介してコアレス形の電機子巻線を対向配置させた略T字状の断面形状を有してなる電機子と、より構成されたムービングコイル形リニアスライダにおいて、前記検出手段は、前記略U字状をした磁性体ヨークの開口部の反対側に取付けた略L字状のスケールホルダと、該スケールホルダの先端に設けられたリニアスケールと、前記リニアスケールに対向するように前記テーブルに穿設した取付け穴に嵌合により取付けたセンサヘッドより構成されていることを特徴としている。
請求項2の発明は、請求項1記載のムービングコイル形リニアスライダにおいて、前記センサヘッドは、リニアモータの磁極検出信号およびスケール信号などをシリアル信号に変換させる回路を組み込んだものであることを特徴としている。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載のムービングコイル形リニアスライダにおいて、前記センサヘッドは、メモリを有し、リニアモータのモータパラメータを入力させ、このリニアスライダと駆動ドライバとを接続させた場合、このモータパラメータも前記シリアル信号変換回路により、シリアル信号化し、駆動ドライバに信号伝送させるする仕組みにしたことを特徴としている。
請求項4の発明は、請求項1〜3の何れか1項に記載のムービングコイル形リニアスライダにおいて、前記リニアスケールは、リニアモータ可動子の絶対位置信号を検出するアブソリュート形エンコーダを搭載したものであることを特徴としている。
請求項1に記載の発明は、固定ベースに平行に対向配置されたテーブルの左右を移動自在に案内支持するガイドレールとスライダからなるリニアガイドと、前記テーブルを前記固定ベースに対して前記ガイドレール上の長手方向に沿って往復動させるリニアモータと、前記テーブルと前記固定ベースの相対位置を検出するための検出手段と、を備え、前記リニアモータは、前記固定ベース上に略U字状の断面形状を有し、かつ、その開口部が水平方向を向くように配設してなる磁性体ヨークと、前記磁性体ヨークの内側対向面の長手方向に沿って極性が交互に異なる磁極が並設され、且つ、互いに対向する前記磁極の極性が反対の極性となるように設けた一対の界磁用永久磁石とよりなるマグネットトラックと、前記テーブルの下面に鉛直方向に取付けた電機子ホルダと直交するように、前記一対の界磁用永久磁石の内側に磁気的空隙を介してコアレス形の電機子巻線を対向配置させた略T字状の断面形状を有してなる電機子と、より構成されたムービングコイル形リニアスライダにおいて、前記検出手段は、前記略U字状をした磁性体ヨークの開口部の反対側に取付けた略L字状のスケールホルダと、該スケールホルダの先端に設けられたリニアスケールと、前記リニアスケールに対向するように前記テーブルに穿設した取付け穴に嵌合により取付けたセンサヘッドより構成されていることを特徴としている。
請求項2の発明は、請求項1記載のムービングコイル形リニアスライダにおいて、前記センサヘッドは、リニアモータの磁極検出信号およびスケール信号などをシリアル信号に変換させる回路を組み込んだものであることを特徴としている。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載のムービングコイル形リニアスライダにおいて、前記センサヘッドは、メモリを有し、リニアモータのモータパラメータを入力させ、このリニアスライダと駆動ドライバとを接続させた場合、このモータパラメータも前記シリアル信号変換回路により、シリアル信号化し、駆動ドライバに信号伝送させるする仕組みにしたことを特徴としている。
請求項4の発明は、請求項1〜3の何れか1項に記載のムービングコイル形リニアスライダにおいて、前記リニアスケールは、リニアモータ可動子の絶対位置信号を検出するアブソリュート形エンコーダを搭載したものであることを特徴としている。
請求項1に記載の発明によると、リニアスライダの高さを大幅に増やすことなくリニアスケールの位置を、リニアモータの推力中心部の近傍に配置することができ、応答性向上のため制御ゲインを上げて行く際の発振限界を高くでき、また高周波速度リプルを低減することができる。
また、請求項2に記載の発明によると、スケール信号をシリアル伝送化することで、パルス伝送に比べて大容量伝送が可能となるので、高速且つ高分解能のリニア駆動システムが可能となり、従来のパルス列伝送に比べて最少位置決め分解能を10倍に性能向上することができる。
請求項3によると、モータパラメータもシリアル伝送化することで、モータ定数情報等を予め、リニアスライダに記憶させ、駆動ドライバに接続した際にドライバ側にモータパラメータ情報を入力させることで、将来仮に駆動ドライバ破損交換の際、別の駆動ドライバに交換しても、即座に従来と同一の状態に復帰させることができる。
請求項4によると、電源投入時に原点復帰動作を必要としないアブソリュートリニアスケールを搭載したリニアスケールを提供することができる。
また、請求項2に記載の発明によると、スケール信号をシリアル伝送化することで、パルス伝送に比べて大容量伝送が可能となるので、高速且つ高分解能のリニア駆動システムが可能となり、従来のパルス列伝送に比べて最少位置決め分解能を10倍に性能向上することができる。
請求項3によると、モータパラメータもシリアル伝送化することで、モータ定数情報等を予め、リニアスライダに記憶させ、駆動ドライバに接続した際にドライバ側にモータパラメータ情報を入力させることで、将来仮に駆動ドライバ破損交換の際、別の駆動ドライバに交換しても、即座に従来と同一の状態に復帰させることができる。
請求項4によると、電源投入時に原点復帰動作を必要としないアブソリュートリニアスケールを搭載したリニアスケールを提供することができる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。なお、本発明の構成要素が従来技術と同じものついてはその説明を省略し、異なる点について説明する。
図1は本発明の実施例を示すムービングコイル形リニアスライダの平面図、図2は図1のA―A線に沿う正断面図である
図において、21はリニアスケール、22はセンサヘッド、23はスケールホルダである。
本発明が従来技術と異なる点は以下のとおりである。
すなわち、リニアスケールとセンサヘッドよりなる検出手段を、モータの推力中心軸の位置に近づくようにテーブル3とマグネットトラック4の間に配設したことが大きな特徴である。このうち、リニアスケール21の固定については、従来の固定ベースの側面にスケールホルダを介して取り付けた構造に替えて、略U字状をした磁性体ヨーク4Aの開口部の反対側に略L字状のスケールホルダ23を取付け、このスケールホルダ23の先端にリニアスケール21を取り付ける構造となっている。スケールホルダ23と磁性体ヨーク4Aの固定については、該ホルダ23に設けた貫通穴23Aにボルト17を挿入し、磁性体ヨーク4Aに設けた雌ねじ4Cにねじ込んで固定する構造となっている。また、リニアスケール21に対向するように配置するセンサヘッド22の固定については、テーブル3の内部に穿設した取付け穴3Dに嵌合により取付けた後、センサヘッド22に設けた貫通穴22Aにボルト16を挿入し、テーブル3に設けた雌ねじ3Cにねじ込んで固定する構造となっている。
さらに、そしてモータリード10、リニアスケールケーブルリード12は、スライダの片サイドにあるケーブルベア9の中を通って固定側に出され、駆動ドライバ12と接続されている。
それから、磁性体ヨーク4Aは、該ベース1の長手方向における両端部にボルト18により固定されている。
図において、21はリニアスケール、22はセンサヘッド、23はスケールホルダである。
本発明が従来技術と異なる点は以下のとおりである。
すなわち、リニアスケールとセンサヘッドよりなる検出手段を、モータの推力中心軸の位置に近づくようにテーブル3とマグネットトラック4の間に配設したことが大きな特徴である。このうち、リニアスケール21の固定については、従来の固定ベースの側面にスケールホルダを介して取り付けた構造に替えて、略U字状をした磁性体ヨーク4Aの開口部の反対側に略L字状のスケールホルダ23を取付け、このスケールホルダ23の先端にリニアスケール21を取り付ける構造となっている。スケールホルダ23と磁性体ヨーク4Aの固定については、該ホルダ23に設けた貫通穴23Aにボルト17を挿入し、磁性体ヨーク4Aに設けた雌ねじ4Cにねじ込んで固定する構造となっている。また、リニアスケール21に対向するように配置するセンサヘッド22の固定については、テーブル3の内部に穿設した取付け穴3Dに嵌合により取付けた後、センサヘッド22に設けた貫通穴22Aにボルト16を挿入し、テーブル3に設けた雌ねじ3Cにねじ込んで固定する構造となっている。
さらに、そしてモータリード10、リニアスケールケーブルリード12は、スライダの片サイドにあるケーブルベア9の中を通って固定側に出され、駆動ドライバ12と接続されている。
それから、磁性体ヨーク4Aは、該ベース1の長手方向における両端部にボルト18により固定されている。
図3は本発明のリニアスケール用のセンサヘッドを示す斜視図である。
図3において、24はシリアル変換回路、25はメモリICである。
センサヘッド22は、リニアモータの磁極検出信号およびスケール信号などをシリアル信号に変換させるシリアル変換回路24を組み込んだものとなっている。また、メモリIC25を有しリニアモータのモータパラメータを入力させ、このリニアスライダと駆動ドライバ12とを接続させた場合、このモータパラメータもシリアル信号変換回路24により、シリアル信号化し、駆動ドライバ12に信号伝送させるする仕組みにしてある。
図3において、24はシリアル変換回路、25はメモリICである。
センサヘッド22は、リニアモータの磁極検出信号およびスケール信号などをシリアル信号に変換させるシリアル変換回路24を組み込んだものとなっている。また、メモリIC25を有しリニアモータのモータパラメータを入力させ、このリニアスライダと駆動ドライバ12とを接続させた場合、このモータパラメータもシリアル信号変換回路24により、シリアル信号化し、駆動ドライバ12に信号伝送させるする仕組みにしてある。
次に、動作について説明する。
図1、2に示すように、リニアモータの電機子2に図示しない外部電源から通電すると、テーブル3を固定ベース1に対してガイドレール8上の長手方向に沿って往復動するが、その際、固定ベース1側に設けたリニアスケール21に対してテーブル3側に設けたセンサヘッド22により、テーブル3と固定ベース1の相対位置を検出すると、図3に示すように、センサヘッド22の内部にあるシリアル変換回路24によって、リニアスケール信号、磁極信号および、メモリIC25に記憶されたモータパラメータがシリアル変換され、駆動ドライバ12側へ通信伝送される。この駆動ドライバ12側へ伝送された前記信号やモータパラメータに基づいて、駆動ドライバ12によるリニアモータの高精度な位置決めが行われる。
図1、2に示すように、リニアモータの電機子2に図示しない外部電源から通電すると、テーブル3を固定ベース1に対してガイドレール8上の長手方向に沿って往復動するが、その際、固定ベース1側に設けたリニアスケール21に対してテーブル3側に設けたセンサヘッド22により、テーブル3と固定ベース1の相対位置を検出すると、図3に示すように、センサヘッド22の内部にあるシリアル変換回路24によって、リニアスケール信号、磁極信号および、メモリIC25に記憶されたモータパラメータがシリアル変換され、駆動ドライバ12側へ通信伝送される。この駆動ドライバ12側へ伝送された前記信号やモータパラメータに基づいて、駆動ドライバ12によるリニアモータの高精度な位置決めが行われる。
したがって、本発明の実施例はリニアスケールが、リニアモータの推力中心軸の近傍に配置できる構造をしているので、応答性向上のため制御ゲインを上げて行く際の発振限界を高くでき、また高周波速度リプルを低減することができる。
また、リニアスケールのセンサヘッドに、モータパラメータ記憶用メモリICおよびシリアル変換回路を持たせることで、高速且つ高分解能のリニア駆動システムが可能となり、さらには将来仮に駆動ドライバ破損交換の際、別の駆動ドライバに交換しても、即座に従来と同一の状態に復帰させることができる。
また、リニアスケールのセンサヘッドに、モータパラメータ記憶用メモリICおよびシリアル変換回路を持たせることで、高速且つ高分解能のリニア駆動システムが可能となり、さらには将来仮に駆動ドライバ破損交換の際、別の駆動ドライバに交換しても、即座に従来と同一の状態に復帰させることができる。
このようにリニアスケールをリニアモータの推力中心軸近傍に配置することができることによって、リニアモータの制御性能(高速応答性、速度リプル性能)を向上させることができるので、高速整定位置決めスライダユニット、低速度リプルを実現させた高精度一定送りスライダユニットという用途にも適用できる。
1 固定ベース
2 電機子
2A 電機子ホルダ、
2B 電機子巻線、
2C 雌ねじ
3 テーブル、
3A 貫通穴
3B 貫通穴
3C 雌ねじ
3D 取付け穴
4 マグネットトラック、
4A 磁性体ヨーク、
4B 界磁用永久磁石、
4C 雌ねじ
7 スライダ、
7A 雌ねじ
8 ガイドレール
9 ケーブルベア
10 モータリード
11 リニアスケールリード
12 駆動ドライバ
14、15、16、17、18 ボルト
20 ケーブルカバー
21 リニアスケール
22 センサヘッド
22A 貫通穴
23 スケールホルダ
23A 貫通穴
21:シリアル変換回路
23:メモリIC
24:駆動ドライバ
2 電機子
2A 電機子ホルダ、
2B 電機子巻線、
2C 雌ねじ
3 テーブル、
3A 貫通穴
3B 貫通穴
3C 雌ねじ
3D 取付け穴
4 マグネットトラック、
4A 磁性体ヨーク、
4B 界磁用永久磁石、
4C 雌ねじ
7 スライダ、
7A 雌ねじ
8 ガイドレール
9 ケーブルベア
10 モータリード
11 リニアスケールリード
12 駆動ドライバ
14、15、16、17、18 ボルト
20 ケーブルカバー
21 リニアスケール
22 センサヘッド
22A 貫通穴
23 スケールホルダ
23A 貫通穴
21:シリアル変換回路
23:メモリIC
24:駆動ドライバ
Claims (4)
- 固定ベースに平行に対向配置されたテーブルの左右を移動自在に案内支持するガイドレールとスライダからなるリニアガイドと、前記テーブルを前記固定ベースに対して前記ガイドレール上の長手方向に沿って往復動させるリニアモータと、前記テーブルと前記固定ベースの相対位置を検出するための検出手段と、を備え、
前記リニアモータは、前記固定ベース上に略U字状の断面形状を有し、かつ、その開口部が水平方向を向くように配設してなる磁性体ヨークと、前記磁性体ヨークの内側対向面の長手方向に沿って極性が交互に異なる磁極が並設され、且つ、互いに対向する前記磁極の極性が反対の極性となるように設けた一対の界磁用永久磁石とよりなるマグネットトラックと、
前記テーブルの下面に鉛直方向に取付けた電機子ホルダと直交するように、前記一対の界磁用永久磁石の内側に磁気的空隙を介してコアレス形の電機子巻線を対向配置させた略T字状の断面形状を有してなる電機子と、より構成されたムービングコイル形リニアスライダにおいて、
前記検出手段は、前記略U字状をした磁性体ヨークの開口部の反対側に取付けた略L字状のスケールホルダと、該スケールホルダの先端に設けてなるリニアスケールと、前記リニアスケールに対向するように前記テーブルに穿設した取付け穴の内部に嵌合により取付けたセンサヘッドより構成されていることを特徴とするムービングコイル形リニアスライダ。 - 前記センサヘッドは、リニアモータの磁極検出信号およびスケール信号などをシリアル信号に変換させる回路を組み込んだものであることを特徴とする請求項1記載のムービングコイル形リニアスライダ。
- 前記センサヘッドは、メモリを有しリニアモータのモータパラメータを入力させ、このリニアスライダと駆動ドライバとを接続させた場合、このモータパラメータも前記シリアル信号変換回路により、シリアル信号化し、駆動ドライバに信号伝送させるする仕組みにしたことを特徴とする請求項1または2に記載のムービングコイル形リニアスライダ。
- 前記リニアスケールは、リニアモータ可動子の絶対位置信号を検出するアブソリュート形エンコーダを搭載したものであることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のムービングコイル形リニアスライダ。
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JP2004086479A JP2005278280A (ja) | 2004-03-24 | 2004-03-24 | ムービングコイル形リニアスライダ |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004086479A JP2005278280A (ja) | 2004-03-24 | 2004-03-24 | ムービングコイル形リニアスライダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004086479A Pending JP2005278280A (ja) | 2004-03-24 | 2004-03-24 | ムービングコイル形リニアスライダ |
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7453172B2 (en) * | 2003-12-02 | 2008-11-18 | Smc Corporation | Linear slide apparatus |
US7659641B2 (en) * | 2004-05-14 | 2010-02-09 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Moving magnet type linear slider |
KR101022646B1 (ko) | 2009-08-31 | 2011-03-22 | 주식회사 져스텍 | 선형 모터 시스템 및 그 반발력 보상방법 |
CN104734454A (zh) * | 2013-12-19 | 2015-06-24 | 台达电子工业股份有限公司 | 线性马达及其适用的马达组 |
JP2015119615A (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | 台達電子工業股▲ふん▼有限公司 | リニアモータおよびそれを用いたモータ組 |
JP2019083597A (ja) * | 2017-10-27 | 2019-05-30 | キヤノン株式会社 | 搬送装置、加工システム、および物品の製造方法 |
JP2019083596A (ja) * | 2017-10-27 | 2019-05-30 | キヤノン株式会社 | 搬送装置、加工システム、および物品の製造方法 |
US11557954B2 (en) | 2017-10-27 | 2023-01-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Transport system, processing system, and article manufacturing method |
CN115912812A (zh) * | 2022-12-21 | 2023-04-04 | 阿帕斯数控机床制造(上海)有限公司 | 直线电机安装方法、结构及其用电设备 |
CN117220467A (zh) * | 2023-11-07 | 2023-12-12 | 果栗智造(上海)技术股份有限公司 | 电机传输系统 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH077911A (ja) * | 1993-04-08 | 1995-01-10 | Hitachi Metals Ltd | 高精度リニアモータ |
JPH08275490A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-18 | Minolta Co Ltd | エンコーダ付き電動モータ |
JPH09266659A (ja) * | 1996-03-28 | 1997-10-07 | Nippon Thompson Co Ltd | 小形リニアモータテーブル |
JP2000046585A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | エンコーダ |
JP2000333435A (ja) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Nippon Thompson Co Ltd | 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置 |
JP2002359961A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-13 | Hitachi Metals Ltd | リニアモータおよびステージ装置 |
JP2004056892A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-02-19 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ装置 |
-
2004
- 2004-03-24 JP JP2004086479A patent/JP2005278280A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH077911A (ja) * | 1993-04-08 | 1995-01-10 | Hitachi Metals Ltd | 高精度リニアモータ |
JPH08275490A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-18 | Minolta Co Ltd | エンコーダ付き電動モータ |
JPH09266659A (ja) * | 1996-03-28 | 1997-10-07 | Nippon Thompson Co Ltd | 小形リニアモータテーブル |
JP2000046585A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | エンコーダ |
JP2000333435A (ja) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Nippon Thompson Co Ltd | 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置 |
JP2002359961A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-13 | Hitachi Metals Ltd | リニアモータおよびステージ装置 |
JP2004056892A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-02-19 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ装置 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7453172B2 (en) * | 2003-12-02 | 2008-11-18 | Smc Corporation | Linear slide apparatus |
US7659641B2 (en) * | 2004-05-14 | 2010-02-09 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Moving magnet type linear slider |
KR101022646B1 (ko) | 2009-08-31 | 2011-03-22 | 주식회사 져스텍 | 선형 모터 시스템 및 그 반발력 보상방법 |
CN104734454A (zh) * | 2013-12-19 | 2015-06-24 | 台达电子工业股份有限公司 | 线性马达及其适用的马达组 |
JP2015119615A (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | 台達電子工業股▲ふん▼有限公司 | リニアモータおよびそれを用いたモータ組 |
US20150180322A1 (en) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | Delta Electronics, Inc. | Linear motor and motor set using same |
US9641058B2 (en) * | 2013-12-19 | 2017-05-02 | Delta Electronics, Inc. | Linear motor and motor set having multiple magnetic yoke portions supporting magnets |
CN104734454B (zh) * | 2013-12-19 | 2018-10-12 | 台达电子工业股份有限公司 | 线性马达及其适用的马达组 |
JP2019083597A (ja) * | 2017-10-27 | 2019-05-30 | キヤノン株式会社 | 搬送装置、加工システム、および物品の製造方法 |
JP2019083596A (ja) * | 2017-10-27 | 2019-05-30 | キヤノン株式会社 | 搬送装置、加工システム、および物品の製造方法 |
JP7058976B2 (ja) | 2017-10-27 | 2022-04-25 | キヤノン株式会社 | 搬送装置、加工システム、および物品の製造方法 |
JP7058977B2 (ja) | 2017-10-27 | 2022-04-25 | キヤノン株式会社 | 搬送装置、加工システム、および物品の製造方法 |
US11557954B2 (en) | 2017-10-27 | 2023-01-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Transport system, processing system, and article manufacturing method |
CN115912812A (zh) * | 2022-12-21 | 2023-04-04 | 阿帕斯数控机床制造(上海)有限公司 | 直线电机安装方法、结构及其用电设备 |
CN115912812B (zh) * | 2022-12-21 | 2023-10-13 | 阿帕斯数控机床制造(上海)有限公司 | 直线电机安装方法、结构及其用电设备 |
CN117220467A (zh) * | 2023-11-07 | 2023-12-12 | 果栗智造(上海)技术股份有限公司 | 电机传输系统 |
CN117220467B (zh) * | 2023-11-07 | 2024-02-20 | 果栗智造(上海)技术股份有限公司 | 电机传输系统 |
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